DE102015209030A1 - Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung - Google Patents
Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung Download PDFInfo
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Abstract
Die Erfindung schafft eine mikromechanische Vorrichtung sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Vorrichtung ist ausgebildet mit: Mikromechanische Vorrichtung (10) mit: einer Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516), welche an mindestens einem Anbindungspunkt (24-i; 124) der Federeinrichtung (16) bewegbar an eine Rahmeneinrichtung (14) ankoppelbar oder angekoppelt ist; wobei die Federeinrichtung (16; 216; 316; 416; 516) mindestens einen Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) aufweist, welcher sich von dem mindestens einen Anbindungspunkt (24-i; 124) ausgehend erstreckt; und wobei der mindestens eine Steg (18-i; 218-i; 318-i; 518-1) derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt (20-i; 220-i) sowie mindestens einen Verbreiterungsabschnitt (22-i; 222-i; 522) zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung (16) aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt (20-i; 220-i) verbreitert ist.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung und ein Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung.
- Stand der Technik
- Schwingende mikromechanische Vorrichtungen werden häufig in Resonanz betrieben, wobei eine Federeinrichtung der Vorrichtung resonant angetrieben wird und mit einer Resonanzfrequenz schwingt. Dadurch können beispielsweise Mikrospiegel oder andere Aktoren in gewünschter Weise ausgelenkt werden.
- In der
WO 2009 033914 A1 ist eine mikromechanische Federeinrichtung beschrieben. - Offenbarung der Erfindung
- Die vorliegende Erfindung offenbart eine mikromechanische Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und ein Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung, mit den Merkmalen des Patentanspruchs 10.
- Entsprechend wird gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung eine mikromechanische Vorrichtung bereitgestellt, mit: einer Federeinrichtung, welche an mindestens einem Anbindungspunkt der Federeinrichtung bewegbar an eine Rahmeneinrichtung ankoppelbar oder angekoppelt ist; wobei die Federeinrichtung mindestens einen Steg aufweist, welcher sich von dem mindestens einen Anbindungspunkt ausgehend erstreckt; und wobei der mindestens eine Steg derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt sowie einen Verbreiterungsabschnitt zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt verbreitert ist.
- Unter einer Breite ist insbesondere eine geometrische Ausdehnung des Stegs bzw. der Stege in einer Richtung zu verstehen, welche senkrecht auf einer Richtung steht, entlang welcher sich der Steg erstreckt, bei einem linear ausgebildeten Steg z.B. senkrecht zu der Länge des Stegs, bei einem kurvig ausgebildeten Steg z.B. senkrecht zu einer tangentialen Richtung.
- Weiterhin wird gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung ein Verfahren zum Herstellen einer mikromechanische Vorrichtung bereitgestellt, mit dem Schritt: Ausbilden einer Federeinrichtung, welche bewegbar an mindestens eine Rahmeneinrichtung ankoppelbar oder angekoppelt ist; wobei die Federeinrichtung mindestens einen Steg aufweist, welcher sich von der Rahmeneinrichtung ausgehend erstreckt; und wobei der mindestens eine Steg derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt sowie einen Verbreiterungsabschnitt zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt verbreitert ist.
- Die Federeinrichtung kann beispielsweise mit der Rahmeneinrichtung einstückig ausgebildet sein bzw. werden, sodass sie permanent an die Rahmeneinrichtung angekoppelt ist. Alternativ kann die Federeinrichtung auch an die Rahmeneinrichtung angefügt sein bzw. werden, beispielsweise angeklebt oder angebondet sein bzw. werden.
- Vorteile der Erfindung
- Die der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende Erkenntnis besteht darin, dass durch Beeinflussung von Schwingungsmoden, welche auch kurz als Moden bezeichnet werden, einer resonanten mikromechanischen Vorrichtung durch eine angepasste Gestaltung von Federn und Massen eine geringere Nichtlinearität der Vorrichtung erreichbar ist. Somit kann eine vorteilhaft verringerte Modenkopplung erzielt werden.
- Unter einer verringerten Modenkopplung soll insbesondere zu verstehen sein, dass Eigenfrequenzen unerwünschter Schwingungsmoden in dem gekoppelten Modenspektrum derart verschoben werden, dass sie bei einer Anregung einer gewünschten Schwingungsmode nicht, oder nur zu sehr geringem Anteil, beispielsweise unter fünf Prozent, mit angeregt werden.
- Vorrichtungen mit geringer Modenkopplung können unempfindlicher gegenüber Prozesstoleranzen oder variierenden Umwelt-/Montagebedingungen oder äußeren Anregungen sein. Weiterhin können Vorrichtungen mit geringer Modenkopplung durch Regelungstechnik leichter und/oder stabiler ansteuerbar sein.
- Die der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende Idee besteht nun darin, dieser Erkenntnis Rechnung zu tragen und eine mikromechanische Vorrichtung bereitzustellen, bei welcher eine Modenkopplung reduziert oder vermieden wird. Dies wird insbesondere durch zusätzliche Massen an der Federeinrichtung, insbesondere in Form von Verbreiterungsabschnitten, erreicht. Die Verbreiterungsabschnitte der Stege der Federeinrichtung sind im Vergleich zu dem restlichen Teil des jeweiligen Stegs beispielsweise mehr als zwanzig Prozent breiter, vorzugsweise mehr als fünfzig Prozent breiter, insbesondere mehr als einhundert Prozent breiter.
- Modenkopplungen können beispielsweise bei nichtidealen sinusförmigen Schwingungen auftreten. Diese können insbesondere bei mit großen Auslenkungen schwingenden Vorrichtungen auftreten. Große Auslenkungen sind vorteilhaft z.B. für mikromechanische Spiegelvorrichtungen, um eine hohe Ablenkbarkeit von Lichtstrahlen zu erzielen, oder für Drehratensensoren, um ausreichend große Messsignale zu erhalten. Vorteilhafterweise werden für die Anregung schwingender mikromechanischer Vorrichtungen Rechteckimpulse verwendet. Rechteckimpulse sind durch eine Elektronik mit geringerem Aufwand bereitzustellen, zu steuern und zu schalten.
- Insbesondere durch die nichtidealen sinusförmigen Schwingungen in Kombination mit Rechteckimpulsen als Erregerimpulsen entstehen Frequenzanteile mit einem, insbesondere ganzzahligen, Vielfachen n·f einer gewünschten Resonanzfrequenz f und/oder mit einem Produkt 1/n·f eines Kehrwerts 1/n einer ganzen Zahl n mit der gewünschten Resonanzfrequenz f. Diese erzeugten Frequenzanteile können in der mikromechanischen Vorrichtung vorhandene Moden anregen, wenn diese eine gleiche oder eine sehr ähnliche Frequenz aufweisen. Unerwünscht angeregte Moden können die Funktion der mikromechanischen Vorrichtung beinträchtigen.
- Das erfindungsgemäße Herstellungsverfahren ist insbesondere zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung gemäß einer der vorhergehenden Ausführungsformen verwendbar und ist insbesondere gemäß allen beschriebenen Weiterbildungen und Varianten der mikromechanischen Vorrichtungen und Federeinrichtungen anpassbar.
- Optional kann eine Rahmeneinrichtung als Teil der mikromechanischen Vorrichtung ausgebildet sein bzw. werden, welche mit der Federeinrichtung gekoppelt ist oder gekoppelt wird.
- Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Figuren.
- Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung weist der mindestens eine Verbreiterungsabschnitt eine höhere Querschnittsfläche auf als der erste Abschnitt des Stegs. Die Querschnittsfläche ist insbesondere als senkrecht auf der Richtung stehend zu verstehen, in welcher sich der Steg erstreckt.
- Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist der mindestens eine Verbreiterungsabschnitt zumindest zum Teil durch eine Masseeinrichtung gebildet, welche an dem Steg als Teil der Federeinrichtung ausgebildet ist. Unter einer Masseeinrichtung ist insbesondere eine Zusatzmasse zu verstehen, d.h. eine Masse, welche auf die Steifigkeit der Federeinrichtung keinen oder nur einen geringen Einfluss hat, aber die Gesamtmasse der Federeinrichtung erhöht. Unter einem geringen Einfluss ist insbesondere eine relative Änderung der Steifigkeit, d.h. Federelastizität, der Federeinrichtung um weniger als zehn Prozent, vorzugsweise um weniger als fünf Prozent, besonders bevorzugt um weniger als zwei Prozent, zu verstehen. Somit ist mindestens eine Frequenz einer Eigenschwingung der Federeinrichtung vorteilhaft verschiebbar.
- Die Masseeinrichtung kann vorteilhafterweise an einem lokalen Maximum einer Krümmung eines jeweiligen Stegs angeordnet sein, beispielsweise in einem Bereich, an welchem der jeweilige Steg eine Haarnadelkurve ausführt, d.h., eine Richtungsänderung um zwischen 160° und 200°, insbesondere zwischen 170° und 190°, durchführt.
- Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung lässt die Masseeinrichtung die Steifigkeit der Federeinrichtung unverändert. Somit werden die weiteren gewünschten Eigenschaften der mikromechanischen Vorrichtung nicht beeinflusst.
- Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist die Masseeinrichtung zumindest zum Teil, vorzugsweise vollständig, einstückig mit dem Steg ausgebildet. Somit kann sich der technische Aufwand zur Herstellung der mikromechanischen Vorrichtung verringern. Alternativ kann die Masseeinrichtung auch an den Steg angefügt, z.B. angeklebt oder aufgebondet werden, was bei konkreten Ausgestaltungen aus Effizienzgründen vorteilhaft sein kann.
- Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung weist die Federeinrichtung mindestens zwei Stege jeweils mit dem ersten und dem mindestens einen Verbreiterungsabschnitt auf, wobei die mindestens zwei Stege zueinander symmetrisch ausgebildet sind. Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist mittels an die Federeinrichtung ein Mikrospiegel der mikromechanischen Vorrichtung angekoppelt. Bevorzugt ist über die Federeinrichtung der Mikrospiegel bewegbar an eine Rahmeneinrichtung der mikromechanischen Vorrichtung angekoppelt.
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
- Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:
-
1 eine schematische Draufsicht auf eine mikromechanische Vorrichtung10 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
2a eine beispielhafte Federeinrichtung116 ; -
2b eine Federeinrichtung216 gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
2c eine Federeinrichtung316 gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
2d eine Federeinrichtung416 gemäß einer zusätzlichen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und -
2e eine Federeinrichtung516 gemäß noch einer zusätzlichen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. - In allen Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente und Vorrichtungen – sofern nichts anderes angegeben ist – mit denselben Bezugszeichen versehen. Die Nummerierung von Verfahrensschritten dient der Übersichtlichkeit und soll insbesondere nicht, sofern nichts anderes angegeben ist, eine bestimmte zeitliche Reihenfolge implizieren. Insbesondere können auch mehrere Verfahrensschritte gleichzeitig durchgeführt werden.
- Beschreibung der Ausführungsbeispiele
-
1 zeigt eine schematische Draufsicht auf eine mikromechanische Vorrichtung10 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. - Die mikromechanische Vorrichtung
10 umfasst einen Mikrospiegel12 , dessen spiegelnde Oberfläche in1 in das Blatt hinein weist. Der Mikrospiegel12 weist einen Fuß auf, welcher einen Spiegelteller des Mikrospiegels12 , an welchem die spiegelnde Oberfläche ausgebildet ist, mit einem Verankerungspunkt13 verbindet. Der Verankerungspunkt13 ist über eine Federeinrichtung16 mit einer Rahmeneinrichtung14 verbunden. - Im Detail ist der Verankerungspunkt
13 über vier Stege18-1 ,18-3 ,18-3 ,18-4 , welche im Folgenden zusammenfassend kurz als18-i bezeichnet werden, der Federeinrichtung16 , mit der Rahmeneinrichtung14 verbunden. - Jeder der Stege
18-i weist jeweils zwei erste Abschnitte20-1 ,20-2 ,20-2 ,20-3 sowie jeweils einen zwischen den zwei ersten Abschnitten20-1 ,20-2 ,20-2 ,20-3 angeordneten Verbreiterungsabschnitt22-1 ,22-2 ,22-3 ,22-4 auf. Die ersten Abschnitte20-1 ,20-2 ,20-2 ,20-3 werden im Folgenden kurz mit20-i bezeichnet. Die Verbreiterungsabschnitte22-1 ,22-2 ,22-3 ,22-4 werden im Folgenden kurz mit22-i bezeichnet. Bei der Vorrichtung10 gemäß1 sind die Verbreiterungsabschnitte grob scheibenförmig, wobei die entsprechende Scheibe an einem Bereich ihres äußeren Umfangs mit dem jeweiligen Steg18-i verbunden ist. - Die Verbreiterungsabschnitte
22-i beaufschlagen die Federeinrichtung16 jeweils mit zusätzlicher Masse. Die Verbreiterungsabschnitte22-i sind somit auch als Masseelemente oder als Zusatzmassen bezeichenbar. Durch die Verbreiterungsabschnitte22-i wird die Steifheit der Federeinrichtung16 nicht oder nur unwesentlich verändert. Vorteilhafterweise verändern die Verbreiterungsabschnitte22-i eine Eigenfrequenz und/oder ein Eigenfrequenzspektrum der Federeinrichtung16 derart, dass Eigenfrequenzen von unerwünschten Schwingungsmoden verschoben werden, vorteilhaft fort von einer Eigenfrequenz einer erwünschten Schwingungsmode der Federeinrichtung. - In
1 ist die Rahmeneinrichtung14 mit einer elektrischen Spuleneinrichtung36 fix verbunden, welche mit elektrischem Strom bestrombar ist. Wird die Spuleneinrichtung36 im magnetischen Feld eines Dauermagneten angeordnet, welcher ebenfalls Teil der mikromechanischen Vorrichtung10 sein kann, kann durch entsprechendes Bestromen der Spuleneinrichtung36 mit elektrischem Wechselstrom eine resonante Bewegung der Spuleneinrichtung36 erzeugt werden, welche, über die Rahmeneinrichtung14 , die Stege18-i und den Verankerungspunkt14 , zu einer resonanten Bewegung des Mikrospiegels12 führt. Zur Verringerung des Gewichts der Spuleneinrichtung36 ist diese mit einer Kaverne38 innerhalb von Wicklungen der Spuleneinrichtung36 ausgebildet. - Im Bereich der Spuleneinrichtung
36 ist die mikromechanische Vorrichtung10 über einen ersten und einen zweiten dehn- und stauchbaren Abstandshalter30-1 ,30-2 beweglich mit einer Umrandung34 der mikromechanischen Vorrichtung10 verbunden. Im Bereich der Rahmeneinrichtung14 ist die mikromechanische Vorrichtung10 über einen dritten und einen vierten dehn- und stauchbaren Abstandshalter32-1 ,32-2 beweglich mit der Umrandung34 verbunden. Der erste bis vierte Abstandshalter30-1 ,30-2 ,32-1 ,32-2 ist vorteilhaft jeweils mehrfach S-förmig schlängelnd ausgebildet. - Die Rahmeneinrichtung
14 , die Stege18-i , der Verankerungspunkt13 , der erste bis vierte Abstandshalter30-1 ,30-2 ,32-1 , die Umrandung34 und die Kavität38 sind vorteilhaft achsensymmetrisch zu einer Symmetrieachse A ausgebildet. -
2a zeigt eine beispielhafte Federeinrichtung119 , welche zwei Stege118-1 ,118-2 aufweist, welche über jeweils einen Anbindungspunkt124 des jeweiligen Stegs118-1 ,118-2 an eine nicht dargestellte Rahmeneinrichtung anbindbar oder angebunden ist. Bei der Rahmeneinrichtung kann es sich beispielsweise um eine Fixierung, um eine Masse oder einen Aktor handeln. Die Federeinrichtung116 weist einen ersten Quersteg119-1 und einen zweiten Quersteg119-2 auf, welche sich jeweils zwischen den beiden Stegen118-1 ,118-2 erstrecken. Der zweite Quersteg119-2 verbindet je ein von dem jeweiligen Anbindungspunkt124 abgewandtes Ende der Stege118-1 ,118-2 miteinander. - Der erste Quersteg
119-1 ist an jedem Steg118-1 ,118-2 jeweils zwischen den Enden des jeweiligen Stegs118-1 ,118-2 ausgebildet, wobei der erste Quersteg119-1 näher an dem zweiten Quersteg119-2 als an den Anbindungspunkten124 angeordnet sind, insbesondere näher an dem zweiten Quersteg119-2 als an der Mitte zwischen den beiden Enden jedes Stegs118-1 ,118-2 . Die Federeinrichtung116 ist zum Schwingen entlang einer Funktionsrichtung R ausgebildet, welche vorzugsweise parallel zu dem ersten und/oder dem zweiten Quersteg119-1 ,119-2 angeordnet ist. -
2b zeigt eine Federeinrichtung216 gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Federeinrichtung216 ist eine Variante der Federeinrichtung116 . - Die Stege
218-1 ,218-2 sowie der erste und der zweite Quersteg119-1 ,119-2 der Federeinrichtung216 sind achsensymmetrisch zu einer Symmetrieachse S1 ausgebildet. Jeder der Stege218-1 ,218-2 verjüngt sich von dem jeweiligen Anbindungspunkt124 ausgehend in Richtung des ersten Querstegs119-1 zunächst bis zu einer schmalsten Stelle220-1 ,220-2 des jeweiligen Stegs118-1 ,118-2 und verbreitert sich von dort bis hin zu dem zweiten Quersteg119-2 . Die schmalste Stelle220-1 ,220-2 wird auch Knickhöhe genannt. Der schmalsten Stelle220-1 ,220-2 gegenüber stellen die anderen Bereiche der Stege118-1 ,118-2 Verbreiterungsbereiche222-1 ,222-2 ,222-3 ,222-4 dar, welche zusammenfassend als222-i bezeichnet werden. Das Verjüngen und/oder das Verbreitern der Stege118-1 ,118-2 kann insbesondere stufenweise ausgebildet sein, gemäß einem bei einem Herstellungsverfahren verwendeten Raster. - Durch eine Gestaltung der schmalsten Stelle
220-1 ,220-1 an einer von Stress wenig belasteten oder unbelasteten Stelle ist die Eigenfrequenz der Federeinrichtung216 in günstiger Weise verschiebbar, d.h. anpassbar. Eine etwaige, mit der entsprechenden Gestaltung einhergehende Steifheitsänderung der Feder entlang der Funktionsrichtung R kann durch eine Längenänderung der Federeinrichtung216 , d.h. insbesondere durch eine Längenänderung der Stege218-1 ,218-2 ausgeglichen werden. Somit ist eine vorteilhafte Verschiebung der Eigenfrequenz und/oder eine Verminderung der Modenkopplung der Federeinrichtung216 erreichbar, ohne dass eine Steifheitsänderung, d.h. eine Änderung der Federelastizität, der Federeinrichtung216 damit einhergeht. -
2c zeigt eine Federeinrichtung316 gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Federeinrichtung316 ist eine Variante der Federeinrichtung216 . Die Federeinrichtung316 ist zunächst wie die Federeinrichtung216 ausgebildet. Die Stege318-1 ,318- der Federeinrichtung316 sind aber, im Unterschied zu der Federeinrichtung216 , derart ausgebildet, dass der zweite Quersteg119-2 nicht an Enden der Stege318-1 ,318-2 ausgebildet ist. Stattdessen erstrecken sich die Stege318-1 ,318-2 über den zweiten Quersteg119-2 hinaus weiter und sind an ihrem von den Verbindungspunkten124 abgewandten Enden durch einen dritten Quersteg319 verbunden. Der dritte Quersteg319 ist ebenfalls achsensymmetrisch zu der Symmetrieachse S1 ausgebildet. - In dem Bereich zwischen den Anbindungspunkten
124 und dem dritten Quersteg319 ist die Federeinrichtung316 identisch mit der Federeinrichtung216 ausgebildet. Zwischen dem zweiten Quersteg119-2 und dem dritten Quersteg319 verändert sich die Breite der Stege318-1 ,318-2 vorzugsweise nicht. -
2d zeigt eine Federeinrichtung416 gemäß einer zusätzlichen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Federeinrichtung416 ist eine Variante der Federeinrichtung216 und unterscheidet sich von dieser dadurch, dass an einer von den Anbindungspunkten124 abgewandten Kante des zweiten Querstegs119-2 eine Zusatzmasse426 angeordnet ist, welche ebenfalls achsensymmetrisch zu der Symmetrieachse S1 ausgebildet ist. Die Zusatzmasse426 kann beispielsweise quaderförmig oder scheibenförmig ausgebildet sein. -
2e zeigt eine Federeinrichtung516 gemäß noch einer zusätzlichen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Federeinrichtung516 ist eine Variante der Federeinrichtung116 und unterscheidet sich von dieser dadurch, dass an einem ersten Steg518-1 , welcher ansonsten gleich einem ersten Steg118-1 der Federeinrichtung116 ausgebildet ist, eine Zusatzmasse526 ausgebildet ist, wodurch ein Verbreiterungsabschnitt522 an dem ersten Steg518-1 entsteht. Die Zusatzmasse526 kann beispielsweise quaderförmig oder scheibenförmig ausgebildet sein. Insbesondere ist die Zusatzmasse526 nicht symmetrisch zu der Symmetrieachse S1 der Stege518-1 ,118-2 ausgebildet. - Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele vorstehend beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar. Insbesondere lässt sich die Erfindung in mannigfaltiger Weise verändern oder modifizieren, ohne vom Kern der Erfindung abzuweichen.
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- WO 2009033914 A1 [0003]
Claims (10)
- Mikromechanische Vorrichtung (
10 ) mit: einer Federeinrichtung (16 ;216 ;316 ;416 ;516 ), welche an mindestens einem Anbindungspunkt (24-i ;124 ) der Federeinrichtung (16 ) bewegbar an eine Rahmeneinrichtung (14 ) ankoppelbar oder angekoppelt ist; wobei die Federeinrichtung (16 ;216 ;316 ;416 ;516 ) mindestens einen Steg (18-i ;218-i ;318-i ;518-1 ) aufweist, welcher sich von dem mindestens einen Anbindungspunkt (24-i ;124 ) ausgehend erstreckt; und wobei der mindestens eine Steg (18-i ;218-i ;318-i ;518-1 ) derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt (20-i ;220-i ) sowie mindestens einen Verbreiterungsabschnitt (22-i ;222-i ;522 ) zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung (16 ) aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt (20-i ;220-i ) verbreitert ist. - Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei der mindestens eine Verbreiterungsabschnitt (
22-i ;222-i ;522 ) eine höhere Querschnittsfläche aufweist als der erste Abschnitt (20-i ;220-i ). - Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der mindestens eine Verbreiterungsabschnitt (
22-i ;222-i ;522 ) zumindest zum Teil durch eine Masseeinrichtung (26-i ;526 ) gebildet ist, welche an dem Steg (18-i ;218-i ;318-i ;518-1 ) als Teil der Federeinrichtung (16 ;216 ;316 ;516 ) ausgebildet ist. - Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Masseeinrichtung (
26-i ;526 ) die Steifigkeit der Federeinrichtung (16 ;516 ) unverändert lässt. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 oder 4, wobei die Masseeinrichtung (
26-i ;526 ) zumindest zum Teil einstückig mit dem Steg (18-i ;518-1 ) ausgebildet ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei die Masseeinrichtung (
26-i ) scheibenförmig ausgebildet ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei die Masseeinrichtung (
526 ) quaderförmig ausgebildet ist. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Federeinrichtung (
16 ;216 ;316 ;416 ) mindestens zwei Stege (18-i ;218-i ;318-i ) jeweils mit dem ersten und dem mindestens einen Verbreiterungsabschnitt (20-i ;220-i ,22-i ;222-i ) aufweist, wobei die mindestens zwei Stege (18-i ;218-i ;318-i ) zueinander symmetrisch bezüglich einer Symmetrieachse (S1) ausgebildet sind. - Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Federeinrichtung (
16 ) an einen Mikrospiegel (12 ) der mikromechanischen Vorrichtung (10 ;110 ;210 ) angekoppelt ist. - Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung (
10 ) mit dem Schritt: Ausbilden einer Federeinrichtung (16 ;216 ;316 ;416 ;516 ), welche an mindestens einem Anbindungspunkt (24-i ;124 ) der Federeinrichtung (16 ;216 ;316 ;416 ;516 ) bewegbar an eine Rahmeneinrichtung (14 ) ankoppelbar oder angekoppelt ist; wobei die Federeinrichtung (16 ;216 ;316 ;416 ;516 ) mindestens einen Steg (18-i ;218-i ;318-i ;518-1 ) aufweist, welcher sich von dem mindestens einen Anbindungspunkt (24-i ;124 ) ausgehend erstreckt; und wobei der mindestens eine Steg (18-i ;218-i ;318-i ;518-1 ) derart strukturiert ist, dass er mindestens einen ersten Abschnitt (20-i ;220-i ) sowie einen Verbreiterungsabschnitt (22-i ;222-i ;522 ) zum Verringern einer Nichtlinearität der Federeinrichtung (16 ;216 ;316 ;416 ;516 ) aufweist, welcher gegenüber dem ersten Abschnitt (20-i ;220-i ) verbreitert ist.
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