DE102015008992A1 - Mediensensor mit mindestens einem Ultraschallwandler - Google Patents

Mediensensor mit mindestens einem Ultraschallwandler Download PDF

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Abstract

Bei einem Mediensensor zur Vermessung eines Mediums mit mindestens einem Ultraschallwandler, wobei der Ultraschallwandler mindestens ein Schaltungsträger und mindestens ein piezoelektrisches Element aufweist und wobei der Schaltungsträger und das piezoelektrische Element einen flächigen Kontakt aufweisen, ist erfindungswesentlich vorgesehen, dass das piezoelektrische Element auf der dem Medium abgewandten Seite des Schaltungsträgers angeordnet ist und dass der Schaltungsträger zumindest abschnittsweise, insbesondere vollständig, aus einem Kopplungsmaterial zur Verbesserung der Schallankopplung des piezoelektrischen Elementes an das Medium besteht.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Mediensensor zur Vermessung eines Mediums mit mindestens einem Ultraschallwandler, wobei der Ultraschallwandler mindestens einem Schaltungsträger und mindestens ein piezoelektrisches Element aufweist und wobei der Schaltungsträger und das piezoelektrische Element einen flächigen Kontakt aufweisen. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Mediensensors.
  • Mediensensoren werden beispielsweise in der Automobiltechnik zur Bestimmung des Füllstandes eines Fluides in einem Behälter eingesetzt. Die Mediensensoren weisen zumeist einen Ultraschallwandler auf, der zumeist im Bodenbereich des Behälters angeordnet ist. Für die Ultraschallmessungen werden häufig piezoelektrische Elemente eingesetzt. Um eine gute Ultraschallanbindung des Piezoelementes an das zu vermessende Medium sicher zu stellen, werden Kopplungsmaterialien eingesetzt.
  • Aus der DE 10 2007 05 584 A1 ist ein Füllstandsensor mit einem, in einem Bodenbereich eines Flüssigkeitsbehälters angeordneten Piezoelement bekannt. Der Füllstandsensor weist ein erstes Kontaktelement, dass mit der, der Flüssigkeit zugewandten Seite des Piezoelementes verbunden ist und ein zweites Kontaktelement, dass auf der, der Flüssigkeit abgewandten Seite des Piezoelementes verbunden ist, auf. Auf dem Piezoelement ist eine Ankoppelbeschichtung auf der, der Flüssigkeit zugewandten Seite aufgebracht. Zur Kontaktierung kann eines der Kontaktelemente seitlich neben dem Piezoelement angeordnet sein und kann über einen Verbindungsdraht mit der, der Flüssigkeit zugewandten Seite des Piezoelementes verbunden sein.
  • Nachteilig bei diesem Aufbau ist, dass die Kontaktierung der, der Flüssigkeit zugewandten Seite des Piezoelementes aufwendig ist und die Vielzahl der Komponenten mit Kopplungsmaterial und Kontaktierungsmaterial eine kostenaufwendige Produktion bedeuten kann.
  • Zur Kontaktierung von piezoelektrischen Elementen können Schaltungsträger, sogenannte Leadframes, zum Einsatz kommen, auf die eine Piezoscheibe aufgeklebt wird. Zur Verbesserung der Schallankopplung des Piezoelementes kann eine Metallscheibe auf die, der zu vermessenden Flüssigkeit zugewandten Seite des Piezoelementes geklebt werden. Die Komponenten sind also durch dünne Klebeschichten miteinander verbunden. Problematisch bei dieser Ausführung ist, dass die Klebestellen bei hohen Temperaturschwankungen ihre Festigkeit nicht verlieren dürfen. Zudem weist der diskrete Aufbau von Kopplungsmaterial, Piezoelement und Trägermaterial eine hohe Anzahl an benötigten Komponenten auf.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, mit der eine einfache Kontaktierung des Piezoelementes und eine Reduzierung der verwendeten Komponenten ermöglicht ist.
  • Die Lösung der Aufgabe erfolgt mit einem Mediensensor mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1, sowie mit einem Verfahren zur Herstellung des Mediensensors mit den Merkmalen des Patentanspruchs 8. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.
  • Bei einem Mediensensor zur Vermessung eines Mediums mit mindestens einem Ultraschallwandler, wobei der Ultraschallwandler mindestens einem Schaltungsträger und mindestens ein piezoelektrisches Element aufweist und wobei der Schaltungsträger und das piezoelektrische Element einen flächigen Kontakt aufweisen, ist erfindungswesentlich vorgesehen, dass das piezoelektrische Element auf der dem zu vermessenden Medium abgewandten Seite des Schaltungsträgers angeordnet ist und dass der Schaltungsträger zumindest abschnittsweise aus einem Kopplungsmaterial zur Verbesserung der Schallankopplung des piezoelektrischen Elements an das Medium ausgebildet ist. Der Schaltungsträger ist zur Kontaktierung des piezoelektrischen Elementes als ein sogenannter Leadframe ausgebildet. Die Kontaktierung des piezoelektrischen Elementes ist somit sichergestellt. Das piezoelektrische Element wird an der Seite des Schaltungsträgers aufgenommen, der dem zu vermessenden Medium abgewandt ist. Zur besseren Schallankopplung des Piezoelementes an das zu vermessende Medium weist der Mediensensor ein Kopplungsmaterial auf. Der Schaltungsträger ist zumindest abschnittsweise, beispielsweise in dem Bereich, in dem das piezoelektrische Element aufgenommen ist, aus dem Kopplungsmaterial ausgebildet. Durch die Herstellung des Schaltungsträgers aus dem Kopplungsmaterial ist eine Reduktion der Komponentenliste erreicht. Insbesondere kann der Schaltungsträger vollständig aus dem Kopplungsmaterial gefertigt sein, so dass keine Materialänderungen, beispielsweise bei Aufnahmen anderer elektrischer Komponenten, wie beispielsweise eines Temperaturelementes, auftreten. Somit ist eine Reduzierung der Kosten und eine erhöhte Qualität gegeben. Neben dem Ultraschallwandler kann der Mediensensor weiterhin beispielsweise einen Temperatursensor und weitere elektronische Bauteile aufweisen.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung handelt es sich bei dem Kopplungsmaterial um eine Metalllegierung, insbesondere um eine Aluminiumlegierung. Durch die Verwendung eines aus einem Kopplungsmaterial gefertigten Schaltungsträgers kann auf ein eigens hierfür vorgesehenes Element zur Schallankopplung des piezoelektrischen Elementes an das zu vermessende Medium verzichtet werden. Die Aluminiumlegierung AlMg3 verfügt über besonders geeignete Eigenschaften zur Ultraschallankopplung des piezoelektrischen Elementes an das zu vermessende Medium.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung ist der dem piezoelektrischen Element zugeordnete Bereich des Schaltungsträgers oberflächenbehandelt. Insbesondere ist der dem Medium zugewandte Bereich des Schaltungsträgers oberflächenbehandelt, an dessen Rückseite sich das piezoelektrische Element befindet. Durch die Oberflächenbehandlung ist eine besonders gute Ultraschallankopplung des piezoelektrischen Elementes an das zu vermessende Medium gegeben.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung handelt es sich bei der Oberflächenbehandlung um eine Plasmabehandlung und/oder eine mechanische Oberflächenbehandlung. Bei der Plasmabehandlung kann es sich beispielsweise um eine Plasmareinigung bzw. Plasmaaktivierung der Oberfläche handeln. In einer mechanischen Oberflächenbehandlung kann die Oberfläche, die dem Medium zugewandt ist, beispielsweise aufgerauht werden.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Mediensensor zumindest abschnittsweise, vorzugsweise zu mindestens 50%, besonders bevorzugt vollständig, einen umhüllenden Schutzüberzug auf. Durch den Schutzüberzug sind insbesondere der Schaltungsträger, sowie die gegebenenfalls darauf angeordneten elektrischen Komponenten, vor Einflüssen des zu vermessenden Mediums geschützt. Dies ist insbesondere bei elektrisch leitfähigen oder ätzenden Medien für die Betriebssicherheit des Mediensensors von besonderer Wichtigkeit. Ein auf dem Schaltungsträger angeordneter Temperatursensor kann ebenfalls von dem Schutzmaterial umhüllt sein. Der Schutzüberzug kann beispielsweise aus einem duroplastischen und/oder einem thermoplastischen Werkstoff bestehen. Insbesondere kann es sich bei dem thermoplastischen Werkstoff um ein Polyamid handeln.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung ist der Schutzüberzug in dem, dem piezoelektrischen Element zugeordneten Bereich des Schaltungsträgers als eine dünne Membran ausgebildet und die Membran ist auf die Oberfläche des Schaltungsträgers gespannt. Auf der dem Medium zugewandten Seite des Schaltungsträgers, auf dessen Rückseite sich das piezoelektrische Element befindet, ist der Schutzüberzug in Form einer Membran gespannt. In diesem Bereich kann der Schutzüberzug beispielsweise eine Stärke von 0,2 mm aufweisen. Hierdurch ist eine gute Ultraschallankopplung des Piezoelementes an das Medium gegeben, ohne dass der Schutzüberzug einen negativen Einfluss, beispielsweise eine dämpfende Wirkung, hat.
  • Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Mediensensors mit mindestens einem Schaltungsträger und mit mindestens einem piezoelektrischen Element, wobei erfindungswesentlich vorgesehen ist, dass das piezoelektrische Element auf der dem Medium abgewandten Seite zu dem Schaltungsträger in Anlage gebracht wird und dass der Schaltungsträger zumindest abschnittsweise, insbesondere vollständig, aus einem Kopplungsmaterial zur Verbesserung der Schallankopplung des piezoelektrischen Elementes an das Medium besteht. Zur Aufnahme des piezoelektrischen Elementes kann der Schaltungsträger eine komplementäre Mulde aufweisen. In dieser kann das piezoelektrische Element beispielsweise verklebt werden. Auch andere Verbindungsmöglichkeiten zwischen dem piezoelektrischen Element und dem Schaltungsträger sind möglich. Durch die Verbindung des piezoelektrischen Elementes und dem Schaltungsträger kann eine elektrisch leitende Verbindung zwischen diesen hergestellt sein. Die Seite des Schaltungsträgers, auf der das piezoelektrische Element angeordnet ist, wird zur Messung abgewandt zu dem zu vermessenden Medium angeordnet. Dadurch, dass der Schaltungsträger aus einer Metalllegierung zur Verbesserung der Schallankopplung des piezoelektrischen Elementes an das zu vermessende Medium besteht, kann auf die Anordnung eines zusätzlichen Kopplungselementes zwischen dem piezoelektrischen Element und Medium verzichtet werden. Somit ist eine Reduktion der Komponentenliste sowie des Montageaufwandes gegeben. Bei der Metalllegierung kann es sich beispielsweise um eine Aluminiumlegierung, insbesondere um AlMg3, handeln.
  • In einer Weiterbildung des Verfahrens wird der Mediensensor in einem Spritzprozess zumindest abschnittsweise, vorzugsweise mindestens zu 50%, besonders bevorzugt vollständig, mit einem aus Spritzgussmaterial bestehenden Schutzmaterial umhüllt. Insbesondere zur Vermessung von elektrisch leitfähigen oder ätzenden Flüssigkeiten ist eine Umhüllung des Mediensensors mit einem Schutzmaterial notwendig, um eine Schädigung des Mediensensors oder elektrische Kurzschlüsse zu verhindern.
  • In einer Weiterbildung des Verfahrens erfolgt der Spritzprozess in mindestens zwei Prozessschritten. Durch den Aufbau des Schutzüberzuges durch einen Umhüllungsprozess in mehreren Prozessschritten, können beispielsweise verschiedene Konturen bzw. Materialstärken des Schutzüberzuges erreicht werden.
  • In einer Weiterbildung des Verfahrens wird in einem ersten Prozessschritt der Mediensensor bei hoher Temperatur des Spritzgussmaterials mit dem Spritzgussmaterial umspritzt und in einem zweiten Prozessschritt wird das Spritzgussmaterial schnell abgekühlt. Das Spritzgussmaterial wird in einem ersten Prozessschritt bei hohen Temperaturen aufgetragen. Direkt anschließend wird in einem zweiten Prozessschritt das Spritzgussmaterial sehr schnell abgekühlt. Beispielsweise kann das Spritzgussmaterial durch Einfrieren zum Erstarren gebracht werden. Hierbei kann es sich beispielsweise um einen Abschreckprozess handeln. Durch den Abschreckprozess können beispielsweise sehr dünne Materialstärken des Spritzgussmaterials erreicht werden. Beispielsweise kann der Bereich an der dem Medium zugewandten Seite des Schaltungsträgers, an dessen Rückseite das piezoelektrische Element angeordnet ist, eine sehr dünne Materialstärke aufweisen, um eine gute Ultraschallübertragung vom Medium an das piezoelektrische Element zu erreichen.
  • In einer weiteren Weiterbildung des Verfahrens wird der, dem piezoelektrischen Element zugeordnete Bereich des Schaltungsträgers mit einem ersten Spritzgussmaterial umhüllt und weitere Konturen des Mediensensors werden mit einem zweiten Spritzgussmaterial ausgeformt. Durch die Verwendung von zwei verschiedenen Spritzgussmaterialien kann insbesondere eine sehr dünne Materialstärke in dem, dem piezoelektrischen Element zugeordneten Bereich erreicht werden. Ein weiteres Spritzgussmaterial kann eingesetzt werden, um Konturen des Mediensensors, die eine höhere Materialstärke aufweisen, beispielsweise zur Aufnahme weiterer Bauteile, wie beispielsweise eines Temperatursensors, auszubilden.
  • In einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens weist das erste Spritzgussmaterial in dem, dem piezoelektrischen Element zugeordneten Bereich des Schaltungsträgers eine geringere Materialstärke als das zweite, die weiteren Konturen des Mediensensors ausformende, Spritzgussmaterial auf. Insbesondere kann der Schutzüberzug auf dem Schaltungsträger oberhalb des piezoelektrischen Elementes eine Wandstärke von 0,2 mm aufweisen. In den zu diesem Bereich benachbarten Bereichen kann der Schutzüberzug eine höhere Materialstärke aufweisen. Das starke, schlagartige Abkühlen des Materials im zweiten Prozessschritt führt zu einer Schrumpfung des aufgespritzten Materials. Diese Schrumpfung ist bei der höheren Materialstärke stärker ausgeprägt als in dem Bereich mit einer geringen Materialstärke. Durch die stärkere Schrumpfung der Bereich, die den dem piezoelektrischen Element zugeordneten Bereich, umgeben, wird die Schutzschicht in dem, dem piezoelektrischen Element zugeordneten Bereich, auf den Schaltungsträger gespannt. Durch das Spannen der membranartigen Schutzumhüllung in diesem Bereich ist eine gleichmäßige Ultraschallankopplung des Schaltungsträgers und somit des piezoelektrischen Elementes an das zu vermessende Medium gegeben.
  • In einer weiteren Weiterbildung des Verfahrens handelt es sich bei dem Spritzgussmaterialien um thermoplastische Werkstoffe, insbesondere um Polyamide und/oder duroplastische Werkstoffe, insbesondere um Epoxide. Durch die Verwendung von thermoplastischen oder duroplastischen Werkstoffen sind sichere Schutzschichten für den Mediensensor realisierbar. Durch die Schutzschichten ist der Mediensensor vor Einflüssen des zu vermessenden Mediums und weiterer Umwelteinflüsse geschützt.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiels weiter erläutert. Im Einzelnen zeigt die schematische Darstellung in:
  • 1 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Mediensensors und
  • 2 das piezoelektrische Element, den Schaltungsträger und den Schutzüberzug des erfindungsgemäßen Mediensensors.
  • In 1 ist ein erfindungsgemäßer Mediensensor 1 mit einem Schaltungsträger 2, einem piezoelektrischem Element 3 und einem Schutzüberzug 4 dargestellt. Der Mediensensor 1 kann von einem Gehäuse 5 umgeben sein und einen Temperatursensor 6 aufweisen. Zur Kontaktierung weist der Mediensensor 1 Haltestrukturen 7, 8 auf. Der Mediensensor 1 kann beispielsweise zur Vermessung eines fluiden Mediums genutzt werden. Zur Vermessung des Mediums sind der Schaltungsträger 2, das piezoelektrische Element 3 und der Schutzüberzug 4 als eine Ultraschallwandlergruppe 9 ausgebildet. Zur Verbesserung der Ultraschallübertragung zwischen dem piezoelektrischen Element 3 und dem zu vermessenden Medium ist der Schaltungsträger 2 als ein Kopplungsmaterial, insbesondere aus der Aluminiumlegierung AlMg3, ausgebildet. Das piezoelektrische Element 3 ist auf der dem Medium abgewandten Seite des Schaltungsträgers 2 angeordnet. Durch die Ausbildung des Schaltungsträgers 2 aus einem Kopplungsmaterial ist ein zusätzliches, eigens hierfür vorgesehenes Kopplungselement zwischen dem piezoelektrischen Element 2 und dem zu vermessenden Medium nicht erforderlich. Der Schaltungsträger 2 kann somit die Funktion eines Kopplungselementes als auch die Funktion zur Kontaktierung des piezoelektrischen Elementes 3 erfüllen. Zum Schutz des elektrisch leitenden Schaltungsträgers 2 gegen eventuelle chemische Einflüsse des Mediums weist der Mediensensor 1 einen Schutzüberzug 4 auf, der beispielsweise aus thermoplastischen Kunststoffen, insbesondere Polyamid-6, als auch duroplastischen Werkstoffen, wie z. B. Epoxiden, bestehen kann. Die verwendeten Werkstoffe können dabei mit oder ohne Füllstoffe verwendet werden. Der Bereich des Schaltungsträgers 2, an dessen dem Medium angewandten Seite sich das piezoelektrische Element 3 befindet, kann oberflächenbehandelt sein, wobei eine Oberflächenbehandlung beispielsweise eine Plasmabehandlung oder eine mechanische Oberflächenbehandlung sein kann. Der Schutzüberzug 4 in diesem Bereich ist als eine dünne Membran ausgebildet, wobei die Schichtdicke der Membran bevorzugt zwischen 0,1 mm und 0,3 mm liegt. Durch die geringe Materialstärke des Schutzüberzuges 4 in dem, dem piezoelektrischen Element 3 zugeordneten Bereich des Schaltungsträgers 2, ist eine gute Ultraschallübertragung zwischen dem zu vermessenden Medium und dem piezoelektrischen Element 3 sichergestellt. Weitere Konturen des Mediensensors 1 können durch höhere Materialstärken des Schutzüberzuges 4 ausgeformt sein, wobei der Schutzüberzug 4 in diesen Bereichen durch ein anderes Spritzgussmaterial ausgebildet sein kann. Der Mediensensor 1 kann einen Temperatursensor 6 aufweisen, der weitere Informationen über das zu vermessende Medium liefern kann. Der Schaltungsträger 2 kann weiterhin eine integrierte Schaltung mit weiteren elektronischen Bauteilen aufweisen, die insbesondere gegen elektrostatische Entladung und weitere elektromagnetische Störungen geschützt sein können.
  • In 2 ist in einer vergrößerten Darstellung die Ultraschallwandlergruppe 9 nach 1 dargestellt. Gleiche Bauteile sind mit gleichen Bezugszeichen versehen. Das piezoelektrische Element 3 ist auf der dem Medium abgewandten Seite des Schaltungsträgers 2 angeordnet. Der Schaltungsträger 2 ist aus einem Kopplungsmaterial, wie beispielsweise der Aluminiumlegierung AlMg3, ausgebildet. Durch das Kopplungsmaterial ist eine verbesserte Ultraschallübertragung zwischen dem zu vermessenden Medium und dem piezoelektrischen Element 3 gewährleistet. Der Schaltungsträger 2 ist mit einem Schutzüberzug 4 vor dem Medium geschützt. Insbesondere in dem Bereich des Schaltungsträgers 2, der dem piezoelektrischen Element 3 zugeordnet ist, weist der Schutzüberzug 4 eine geringere Schichtdicke als in den übrigen Bereichen auf.
  • Alle in der vorstehenden Beschreibung und in den Ansprüchen genannten Merkmale sind in einer beliebigen Auswahl mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche kombinierbar. Die Offenbarung der Erfindung ist somit nicht auf die beschriebenen bzw. beanspruchten Merkmalskombinationen beschränkt, vielmehr sind alle im Rahmen der Erfindung sinnvollen Merkmalskombinationen als offenbart zu betrachten.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 10200705584 A1 [0003]

Claims (13)

  1. Mediensensor zur Vermessung eines Mediums mit mindestens einem Ultraschallwandler, wobei der Ultraschallwandler mindestens ein Schaltungsträger (2) und mindestens ein piezoelektrisches Element (3) aufweist und wobei der Schaltungsträger (2) und das piezoelektrische Element (3) einen flächigen Kontakt aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Element (3) auf der dem Medium abgewandten Seite des Schaltungsträgers (2) angeordnet ist und dass der Schaltungsträger (2) zumindest abschnittsweise, insbesondere vollständig, aus einem Kopplungsmaterial zur Verbesserung der Schallankopplung des piezoelektrischen Elementes (3) an das Medium besteht.
  2. Mediensensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Kopplungsmaterial um eine Metalllegierung, insbesondere um eine Aluminiumlegierung, handelt.
  3. Mediensensor nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der dem piezoelektrischen Element (3) zugeordnete Bereich des Schaltungsträgers (4) oberflächenbehandelt ist.
  4. Mediensensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Oberflächenbehandlung um eine Plasmabehandlung und/oder eine mechanische Oberflächenbehandlung handelt.
  5. Mediensensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Mediensensor (1) zumindest abschnittsweise, vorzugsweise mindestens zu 50%, besonders bevorzugt vollständig, einen umhüllenden Schutzüberzug (4) aufweist.
  6. Mediensensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Schutzüberzug (4) in dem, dem piezoelektrischen Element (3) zugeordneten, Bereich des Schaltungsträgers (2) als eine dünne Membran ausgebildet ist und dass die Membran auf die Oberfläche des Schaltungsträgers (4) gespannt ist.
  7. Verfahren zur Herstellung eines Mediensensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, mit mindestens einem Schaltungsträger (2) und mit mindestens einem piezoelektrischen Element (3), dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Element (3) auf der dem Medium abgewandten Seite zu dem Schaltungsträger (2) in Anlage gebracht wird und dass der Schaltungsträger (2) zumindest abschnittsweise, insbesondere vollständig, aus einem Kopplungsmaterial zur Verbesserung der Schallankopplung des piezoelektrischen Elementes (3) an das Medium besteht.
  8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Mediensensor (1) in einem Spritzprozess zumindest abschnittsweise, vorzugsweise mindestens zu 50%, besonders bevorzugt vollständig, mit einem aus Spritzgussmaterial bestehenden Schutzüberzug (4) umhüllt wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Spritzprozess in mindestens zwei Prozessschritten erfolgt.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Prozessschritt der Mediensensor (1) bei hoher Temperatur des Spritzgussmaterials mit dem Spritzgussmaterial umspritzt wird und dass in einem zweiten Prozessschritt das Spritzgussmaterial schnell abgekühlt wird.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der dem piezoelektrischen Element (3) zugeordnete Bereich des Schaltungsträgers (4) mit einem ersten Spritzgussmaterial umhüllt wird und dass weitere Konturen des Mediensensors (1) mit einem zweiten Spritzgussmaterial ausgeformt werden.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Spritzgussmaterial in dem, dem piezoelektrischen Element (3) zugeordneten Bereich des Schaltungsträgers (4) eine geringere Materialstärke als das zweite, die weiteren Konturen des Mediensensors (1) ausformende Spritzgussmaterial aufweist.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Spritzgussmaterial um einen thermoplastischen Werkstoff, insbesondere um ein Polyamid und/oder um einen duroplastischen Werkstoff, insbesondere um ein Epoxid, handelt.
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