DE102014116697B4

DE102014116697B4 - Chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber and gas separation chamber

Info

Publication number: DE102014116697B4
Application number: DE102014116697.3A
Authority: DE
Inventors: Ronny Borchel; Christoph Häusler; Jochen Krause
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2014-11-14
Filing date: 2014-11-14
Publication date: 2016-10-13
Anticipated expiration: 2034-11-15
Also published as: DE102014116697A1

Abstract

Kammerdeckel (100) zum Abdichten einer Kammeröffnung (104o) in einer Gasseparationskammer (300), wobei sich der Kammerdeckel (100) im Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt, und wobei der Kammerdeckel (100) aufweist: • einen Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe (804a, 804b) an den Kammerdeckel (100); • wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) eine Öffnung (106a, 106b) aufweist, welche den Kammerdeckel (100) durchdringt; und • ein Trennelement (110), welches sich in der Öffnung (106a, 106b) derart quer zur Kammerdeckel-Ebene erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) mittels des Trennelements (110) in zumindest einen ersten Öffnungsbereich (113a) und einen zweiten Öffnungsbereich (113b) separiert ist.A chamber lid (100) for sealing a chamber opening (104o) in a gas separation chamber (300), the chamber lid (100) extending substantially along a chamber lid level, and wherein the chamber lid (100) comprises: a high vacuum pump port (126 ) for connecting a high vacuum pump (804a, 804b) to the chamber lid (100); Wherein the high vacuum pump port (126) has an opening (106a, 106b) penetrating the chamber lid (100); and • a partition member (110) extending in the opening (106a, 106b) across the chamber lid plane such that the high vacuum pump port (126) is separated into at least a first opening portion (113a) and the second portion by means of the partition member (110) second opening area (113b) is separated.

Description

Die Erfindung betrifft einen Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer und eine Gasseparationskammer.The invention relates to a chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber and a gas separation chamber.

Im Allgemeinen können Vakuumprozessieranlagen verwendet werden, um Substrate, wie beispielsweise plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu prozessieren, z. B. zu bearbeiten, zu beschichten, zu erwärmen, zu ätzen und/oder strukturell zu verändern. Beispielsweise kann eine Vakuumprozessieranlage als Vakuumbeschichtungsanlage eingerichtet sein zum Beschichten eines Substrats innerhalb der Vakuumbeschichtungsanlage. Im Allgemeinen kann es erforderlich sein, ein zu prozessierendes Substrat in der Vakuumprozessieranlage zwischen unterschiedlichen Prozessbedingungen, z. B. unterschiedlichen Umgebungsdrücken oder z. B. unterschiedlichen Gaszusammensetzungen, zu transportieren.In general, vacuum processing equipment can be used to process substrates such as sheet substrates, glass sheets, wafers, or other substrates, e.g. B. to edit, coat, heat, etch and / or structurally change. For example, a vacuum processing plant may be configured as a vacuum coating plant for coating a substrate within the vacuum coating plant. In general, it may be necessary to place a substrate to be processed in the vacuum processing plant between different process conditions, e.g. B. different ambient pressures or z. B. different gas compositions to transport.

Dazu kann eine Vakuumbeschichtungsanlage (Anlage) mehrere Kammern, Sektionen (Kompartments), z. B. Prozesskammern, aufweisen, sowie ein Transportsystem zum Transportieren des zu beschichtenden Substrats durch die Vakuumprozessieranlage hindurch. Verschiedene Kammern einer Vakuumprozessieranlage können mittels so genannter Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf-Beschichtungsanlagen (In-Line-Prozessieranlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw. vertikaler Schottwände. Dabei kann jede Kammerwand (Schottwand) eine Substrat-Transfer-Öffnung (einen Substrat-Transfer-Spalt) derart aufweisen, dass ein Substrat durch die Kammerwand hindurch transportiert werden kann, z. B. von einer ersten Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einem ersten Umgebungsdruck in eine zweite Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einem zweiten Umgebungsdruck. Durch die Substrat-Transfer-Öffnung hindurch kann dabei ein Austausch von Gas zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer erfolgen, so dass diese ungenügend voneinander gassepariert sind.For this purpose, a vacuum coating system (plant) several chambers, sections (compartments), z. B. process chambers, and a transport system for transporting the substrate to be coated by the Vakuumprozessieranlage through. Various chambers of a vacuum processing plant can be separated from one another by means of so-called chamber walls or bulkhead walls, for example in horizontal continuous coating plants (in-line processing plants) by means of vertical chamber walls or vertical bulkhead walls. In this case, each chamber wall (bulkhead) may have a substrate transfer opening (a substrate transfer nip) such that a substrate can be transported through the chamber wall, e.g. B. from a first chamber of a Vakuumprozessieranlage with a first ambient pressure in a second chamber of a Vakuumprozessieranlage with a second ambient pressure. In this case, an exchange of gas between the first chamber and the second chamber can take place through the substrate transfer opening, so that they are insufficiently gas-separated from one another.

Komplexe Prozesse können eine wirkungsvollere Gasseparation (Gastrennung) erfordern als mittels einer Kammerwand mit einer Substrat-Transfer-Öffnung erreicht werden kann. Beispielsweise kann eine Beschichtung von Substraten mit Lagen unterschiedlicher Zusammensetzung (z. B. unterschiedlicher Materialien) verschiedene Prozessbedingungen (z. B. metallisch gegenüber reaktiv/oxydisch oder unterschiedliche Reaktivgaszusammensetzungen wie Ar/N₂ gegenüber Ar/O₂) und damit verbunden eine wirkungsvolle gastechnische Trennung der Prozessbedingungen voneinander erfordern, welche ein Vermischen der sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen verringert (Gasseparation).Complex processes may require more efficient gas separation (gas separation) than can be achieved by means of a chamber wall with a substrate transfer port. For example, coating substrates having layers of different composition (eg, different materials) may have different process conditions (eg, metallic versus reactive / oxidic or different reactive gas compositions such as Ar / N ₂ versus Ar / O ₂ ) and, thus, an efficient gas technology Separation of the process conditions require each other, which reduces mixing of mutually differing process conditions (gas separation).

Dazu kann eine zusätzliche Kammer zwischen sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen angeordnet werden, z. B. zwischen zwei Prozesskammern, und als sogenannte Gasseparationskammer eingerichtet sein oder werden, mittels derer eine Vermischung der Prozessbedingungen, bzw. ein Austausch von Gas zwischen den zwei Prozesskammern, reduziert werden kann.For this purpose, an additional chamber between mutually different process conditions can be arranged, for. B. between two process chambers, and be set up as a so-called gas separation chamber, by means of which a mixing of the process conditions, or an exchange of gas between the two process chambers, can be reduced.

In der Druckschrift DE 10 2010 028 734 A1 wird ein Kammerdeckel beschrieben, mit welchem eine Kammeröffnung einer Vakuumkammer abgedeckt werden kann. Die Vakuumkammer weist eine Gastrennplatte auf, welche die Vakuumkammer in zwei Pumpbereiche teilt. Der Kammerdeckel weist eine Pumpöffnung auf, welcher über der Gastrennplatte angeordnet ist, so dass die Pumpleistung auf die zwei Pumpbereiche aufgeteilt wird.In the publication DE 10 2010 028 734 A1 a chamber lid is described with which a chamber opening of a vacuum chamber can be covered. The vacuum chamber has a gas separation plate which divides the vacuum chamber into two pumping areas. The chamber lid has a pumping opening which is arranged above the gas separation plate, so that the pumping power is divided between the two pumping areas.

In der Druckschrift DE 197 36 318 A1 wird eine Vakuumkammer mit einem Kammergehäuse beschrieben, dessen obere Kammerwand zwei Pumpöffnungen aufweist. Die Vakuumkammer weist eine Gastrennplatte auf, welche die Vakuumkammer in zwei Pumpbereiche teilt. Die Gastrennplatte ist zwischen den zwei Pumpöffnungen angeordnet.In the publication DE 197 36 318 A1 a vacuum chamber is described with a chamber housing, the upper chamber wall has two pumping holes. The vacuum chamber has a gas separation plate which divides the vacuum chamber into two pumping areas. The gas separation plate is arranged between the two pumping openings.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden, welche es ermöglicht, zwei an die Gasseparationskammer angrenzende Prozessbedingungen wirksam voneinander zu separieren, ohne dass der Substrattransport zwischen den angrenzenden Prozessbedingungen beeinträchtigt wird. Beispielsweise können kontinuierlich Substrate durch die Gasseparationskammer hindurch transportiert werden und gleichzeitig ein Austausch von Gas zwischen den angrenzenden Prozessbedingungen begrenzt werden.According to various embodiments, a gas separation chamber may or may not be provided by means of a chamber housing which allows two process conditions adjacent to the gas separation chamber to be effectively separated from one another without adversely affecting substrate transport between adjacent process conditions. For example, substrates may be continuously transported through the gas separation chamber while limiting gas exchange between adjacent process conditions.

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen einen Gasseparationskanal (Gastrennkanal) aufweisen, welcher die Substrat-Transfer-Öffnungen der angrenzenden Kammern miteinander verbindet und durch den das Substrat hindurch transportiert werden kann. Anschaulich erhöhen die geometrischen Abmessungen (z. B. dessen Querschnittsfläche) und die geometrische Form des Gasseparationskanals den Strömungswiderstand, welchen Gas überwinden muss, um durch den Gasseparationskanal hindurch zu gelangen, und damit die Gasseparation mittels des Gasseparationskanals. Ferner kann die Gasseparationskammer mit einer Pumpe (z. B. einer Hochvakuumpumpe, z. B. einer Turbomolekularpumpe) verbunden sein, welche es ermöglicht, einen Teil des Gases aus dem Gasseparationskanal abzupumpen zum Erhöhen der Gasseparation der Gasseparationskammer. Werden mehrere Pumpen verwendet, können die mittels der Pumpen abgepumpten Bereiche innerhalb der Gasseparationskammer mittels zusätzlicher Gastrennwände voneinander gassepariert sein, so dass ein Gasaustausch innerhalb der Gasseparationskammer zwischen den gasseparierten Bereichen reduziert werden kann. Die Überlagerung aller zur Gasseparation beitragenden Prozesse kann durch den (Gas-)Leitwert des Gasseparationskanals, bzw. der Gasseparationskammer, ausgedrückt werden, welcher umso kleiner ist, desto größer die Gasseparation ist.A gas separation chamber may, according to various embodiments, include a gas separation channel (gas separation channel) interconnecting the substrate transfer openings of the adjacent chambers and through which the substrate may be transported. Illustratively, the geometric dimensions (eg, its cross-sectional area) and the geometric shape of the gas separation channel increase the flow resistance which gas must overcome to pass through the gas separation channel and thus the gas separation by means of the gas separation channel. Further, the gas separation chamber may be connected to a pump (eg, a high vacuum pump, eg, a turbomolecular pump) which allows a portion of the gas to be pumped out of the gas separation channel Increase the gas separation of the gas separation chamber. When multiple pumps are used, the pump-pumped regions within the gas separation chamber may be gas-separated from each other by means of additional gas partition walls so that gas exchange within the gas separation chamber between the gas-separated regions can be reduced. The superposition of all the processes contributing to the gas separation can be expressed by the (gas) conductance of the gas separation channel, or the gas separation chamber, which is the smaller the larger the gas separation.

Die Gasseparation beschreibt anschaulich einen Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z. B. gasseparierten Bereichen). Die Bauelemente (z. B. die Teile einer Gasseparationsstruktur), welche zur Gasseparation beitragen, können derart eingerichtet sein, dass der Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z. B. gasseparierten Bereichen) aufrecht erhalten werden kann (z. B. stabil). Mit anderen Worten kann ein Gasaustausch zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen und voneinander gasseparierten Bereichen verringert werden, z. B. je größer die Gasseparation zwischen den Bereichen ist.The gas separation clearly describes a difference in the gas pressure or in the gas composition between vacuum-technically interconnected areas (eg gas-separated areas). The components (eg the parts of a gas separation structure) which contribute to gas separation can be set up in such a way that the difference in gas pressure or gas composition can be maintained between vacuum-connected regions (eg gas-separated regions) ( eg stable). In other words, a gas exchange between vacuum interconnected and gas-separated areas can be reduced, for. B. the greater the gas separation between the areas.

Damit das Innere der Gasseparationskammer gewartet werden kann, kann die Gasseparationskammer einen abnehmbaren Kammerdeckel aufweisen, welcher es ermöglicht, die Gasseparationskammer zu öffnen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel derart eingerichtet sein, dass eine Pumpe zum Abpumpen der Gasseparationskammer daran befestigt werden kann. Mit anderen Worten kann der Kammerdeckel als sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein. Dazu kann der Kammerdeckel eine entsprechende Anschlussöffnung für die Pumpe aufweisen, durch welche hindurch das Innere der Gasseparationskammer abgepumpt werden kann. Ein solcher Kammerdeckel kann anschaulich als sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein.In order for the interior of the gas separation chamber to be serviced, the gas separation chamber may include a removable chamber lid which allows the gas separation chamber to be opened. According to various embodiments, the chamber lid may be configured such that a pump for pumping the gas separation chamber may be attached thereto. In other words, the chamber lid can be configured as a so-called pump cover. For this purpose, the chamber lid may have a corresponding connection opening for the pump, through which the interior of the gas separation chamber can be pumped. Such a chamber lid can be clearly designed as a so-called pump cover.

Ein Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer, wobei sich der Kammerdeckel im Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt, kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss eine Öffnung aufweist, welche den Kammerdeckel durchdringt; und ein Trennelement, welches sich in der Öffnung derart quer zur Kammerdeckel-Ebene erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss mittels des Trennelements in zumindest einen ersten Öffnungsbereich und einen zweiten Öffnungsbereich separiert ist.A chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber, wherein the chamber lid extends substantially along a chamber lid level may, according to various embodiments, comprise: a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump to the chamber lid; wherein the high vacuum pump port has an opening which penetrates the chamber lid; and a partition member extending in the opening across the chamber lid plane such that the high vacuum pump port is separated into at least a first opening area and a second opening area by means of the partition member.

Mit anderen Worten kann die Öffnung des Hochvakuumpumpen-Anschlusses mittels des Trennelements in zumindest den ersten Öffnungsbereich und den zweiten Öffnungsbereich separiert sein.In other words, the opening of the high-vacuum pump port can be separated into at least the first opening area and the second opening area by means of the partitioning element.

Herkömmliche Gasseparationskammern und/oder mit herkömmlichen Kammerdeckeln ausgestattete Gasseparationskammern werden bisher in lediglich zwei (gas)separierte Teilvolumina unterteilt. Mit anderen Worten ermöglichen herkömmliche Anordnungen einen maximal zweistufigen Zugriff in die Gasseparationskammer, was die Flexibilität bisheriger Lösungen erheblich begrenzt. Beispielsweise lässt sich ein möglichst geringer Leitwert der Gasseparationskammer erreichen, indem beide gasseparierten Bereiche mit dem Gasseparationskanal verbunden sind, so dass dieser zweistufig aktiv abgepumpt werden kann.Conventional gas separation chambers and / or equipped with conventional chamber lids gas separation chambers are previously divided into only two (gas) separated sub-volumes. In other words, conventional arrangements allow maximum two-stage access into the gas separation chamber, which significantly limits the flexibility of previous solutions. For example, the lowest possible conductance of the gas separation chamber can be achieved by connecting the two gas-separated regions to the gas separation channel so that it can be actively pumped off in two stages.

Beispielsweise werden bisher für eine mehr als zweistufige aktive Gastrennung (Gasseparation) mindestens zwei Kammerdeckel und damit verbunden mindestens zwei Gasseparationskammern benötigt. Dies erfordert es, eine entsprechende Anlagenlänge und/oder eine entsprechende Anzahl von entsprechenden Kammern (bzw. Kompartments) vorzuhalten, welche mit den zusätzlichen Kammerdeckeln ausgestattet werden können. Bestimmte Prozessbedingungen und Schichtsysteme können beispielsweise die Verwendung mehrerer Gasseparationskammern und entsprechender Kammerdeckel hintereinander erfordern, was zur Verlängerung der Prozessieranlage um mindestens eine Kammer führt.For example, for a more than two-stage active gas separation (gas separation) at least two chamber lid and associated therewith at least two gas separation chambers are needed so far. This requires that a corresponding system length and / or a corresponding number of corresponding chambers (or compartments) be provided, which can be equipped with the additional chamber lids. For example, certain process conditions and layer systems may require the use of multiple gas separation chambers and corresponding chamber lids in sequence, resulting in the extension of the processing plant by at least one chamber.

Mit anderen Worten wird eine Prozessanlage bisher mit zusätzlichen Kammern ausgestattet, um die Anzahl gasseparierter Bereiche zu erhöhen, deren Betrieb an den Bedarf (z. B. an einen Prozess) angepasst werden kann. Das Ausrüsten bereits bestehender Anlagen mit zusätzlichen Kammern kann allerdings mit einem hohen Aufwand verbunden und unwirtschaftlich sein.In other words, a process plant is previously equipped with additional chambers to increase the number of gas-separated areas whose operation can be adapted to the demand (eg, to a process). However, equipping existing systems with additional chambers can be costly and uneconomical.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gasseparation einer Gasseparationskammer pro Pumpe, welche an die Gasseparationskammer angeschlossen ist, erhöht werden. Dazu kann das Saugvermögen (Pumpleistung) einer Pumpe mittels des Trennelements aufgeteilt werden zum Abpumpen mindestens zweier gasseparierter Bereiche der Gasseparationskammer mittels der Pumpe.According to various embodiments, the gas separation of a gas separation chamber per pump connected to the gas separation chamber may be increased. For this purpose, the pumping speed of a pump can be divided by means of the separating element for pumping off at least two gas-separated regions of the gas separation chamber by means of the pump.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann dadurch die Anzahl von gasseparierten Bereichen in einer Gasseparationskammer bei gleichbleibender Länge der Gasseparationskammer gegenüber herkömmlichen Lösungen erhöht sein oder werden. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass die Gastrennung (Gasseparation) zwischen an die Gasseparationskammer angrenzenden Prozessen erhöht werden kann.According to various embodiments, this may increase the number of gas-separated regions in a gas separation chamber be the same length of the gas separation chamber compared to conventional solutions increased or become. This can be achieved, for example, that the gas separation (gas separation) between adjacent to the gas separation chamber processes can be increased.

Ferner kann der Leitwert des Gasseparationskanals (bzw. der Gasseparationskammer) sowohl vor, als auch nach der Anlagenmontage (z. B. nach der Fertigstellung einer Vakuumprozessieranlage) mit einfachen Mitteln auf ein Minimum reduziert und damit die Gastrennung maximiert werden. Beispielsweise können bereits bestehende Anlagen mit einfachen Mitteln umgerüstet werden, so dass deren Gastrennung kostengünstig und wirtschaftlich maximiert werden kann.Furthermore, the conductance of the gas separation channel (or the gas separation chamber) can be reduced to a minimum by simple means both before and after plant assembly (eg after the completion of a vacuum processing plant) and thus gas separation can be maximized. For example, existing plants can be retrofitted with simple means, so that their gas separation can be economically and economically maximized.

Beispielsweise kann ein herkömmlicher Pumpdeckel, welcher beispielsweise zwei Pumpreihen aufweisen kann, mittels zusätzlicher Einbauten modifiziert werden und zu einem Pumpdeckel mit vierstufiger Gastrennung (mit anderen Worten mit vier Pumpstufen) umgerüstet werden. Beispielsweise kann jedes herkömmliche Teilvolumina durch ein weiteres Gastrennblech halbiert werden. Die Saugleistung (das Saugvermögen) der jeweiligen Pumpreihe wird somit ebenfalls aufgeteilt. Eine Pumpstufe (mit anderen Worten eine Gastrennstufe) kann einen separat abpumpbaren und gasseparierten Bereich der Gasseparationskammer bezeichnen.For example, a conventional pump cover, which may for example have two pumping rows, be modified by means of additional internals and converted to a pump cover with four-stage gas separation (in other words with four pumping stages). For example, any conventional partial volumes can be halved by another gas separation plate. The suction power (the suction capacity) of the respective pump series is thus also divided. A pumping stage (in other words, a gas separation stage) may designate a separately inflatable and gas-separated region of the gas separation chamber.

Anschaulich wurde erkannt, dass der verringernde Einfluss weiterer Pumpstufen auf den Leitwert der Gasseparationskammer (bzw. des Gasseparationskanals) größer ist als der Verlust an Saugleistung pro Pumpstufe. Somit kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine erhöhte Gastrennung gegenüber einer herkömmlichen zweistufigen Gastrennung erreicht werden, ohne die Anzahl der Pumpen zu erhöhen. Dies ermöglicht es, eine erhöhte Gastrennung kostengünstig bereitzustellen.It was clearly recognized that the decreasing influence of further pump stages on the conductance of the gas separation chamber (or of the gas separation channel) is greater than the loss of suction power per pump stage. Thus, according to various embodiments, increased gas separation over conventional two-stage gas separation can be achieved without increasing the number of pumps. This makes it possible to provide increased gas separation cost.

Analog lassen sich die herkömmlichen Teilvolumina mittels weiterer Gastrennwände in beliebig viele neue Teilvolumina aufteilen und somit die Anzahl der Gastrennstufen erhöhen, was zu einer erhöhten Gastrennung führen kann. Die Erhöhung der Gastrennung mit steigender Anzahl der Gastrennwände wird gleichzeitig von der Verringerung des Abstandes zweiter Gastrennwände voneinander überlagert, was das Abpumpen der gasseparierten Bereiche erschwert. Anschaulich erzeugt ein geringer Abstand der Gastrennwände zueinander einen Strömungswiderstand, welcher überwunden werden muss zum Abpumpen von Gas durch die Gastrennwände hindurch.Analogously, the conventional partial volumes can be divided by means of further gas dividing walls into any number of new partial volumes and thus increase the number of gas separation stages, which can lead to increased gas separation. The increase of the gas separation with increasing number of gas separation walls is simultaneously superimposed by the reduction of the distance of the second gas separation walls from each other, which makes it difficult to pump out the gas-separated areas. Clearly, a small distance between the gas separation walls generates a flow resistance, which must be overcome for pumping gas through the gas separation walls.

Für die Anzahl der Gastrennstufen gibt es daher ein von der Saugleistung der Pumpen und den Abmessungen der Gasseparationskammer abhängiges Optimum, welches für den jeweils vorliegenden Fall zu bestimmen ist zum Minimieren des Leitwerts der Gasseparationskammer (Leitwertreduktion).For the number of gas separation stages, there is therefore an optimum dependent on the suction power of the pumps and the dimensions of the gas separation chamber, which for the particular case to be determined is to minimize the conductance of the gas separation chamber (conductance reduction).

Dadurch können Gasseparationskammern eingespart werden, was es z. B. ermöglicht, Anlagen bei gleicher Funktionalität gegenüber herkömmlichen Lösungen kompakter (z. B. kürzer) bauen zu können. Kompaktere Anlagen können beispielsweise in kleinere Räumlichkeiten untergebracht werden und somit kostensenkend auf den Aufbau und/oder den Unterhalt der Anlage wirken.As a result, gas separation chambers can be saved, what it z. B. allows plants with the same functionality compared to conventional solutions compact (eg shorter) to build. For example, more compact systems can be accommodated in smaller premises and thus have a cost-reducing effect on the construction and / or maintenance of the system.

Beispielsweise kann eine Gasseparationskammer bei gleichbleibender Anzahl von gasseparierten Bereichen gegenüber herkömmlichen Lösungen verkürzt sein oder werden. Damit kann erreicht werden, dass eine Prozessieranlage effizienter (z. B. kostensparender oder mit höherer Produktivität) betrieben werden und anschaulich mehr Funktionalität auf kürzeren Strecken (z. B. Länge der Prozessieranlage oder Abstand zweier gasseparierter Prozesskammern) untergebracht werden kann.For example, a gas separation chamber can be or become shorter than conventional solutions with a constant number of gas-separated regions. It can thus be achieved that a processing system can be operated more efficiently (eg cost-saving or with higher productivity) and clearly more functionality can be accommodated over shorter distances (eg length of the processing system or distance between two gas-controlled process chambers).

Ferner wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Gasseparationsstruktur derart bereitgestellt, dass jeder der mittels der Gasseparationsstruktur gasseparierten Bereiche der Gasseparationskammer an mindestens eine Pumpe angrenzt. Dies ermöglicht es, jeden der gasseparierten Bereiche mittels der angrenzenden Pumpe abzupumpen.Further, according to various embodiments, a gas separation structure is provided such that each of the gas-separated regions of the gas separation chamber by means of the gas separation structure adjoins at least one pump. This makes it possible to pump each of the gas-separated areas by means of the adjacent pump.

Anschaulich kann mittels der hierin beschriebenen Anordnung eine möglichst große Gasseparation und/oder Flexibilität bei der Anlagenkonfiguration erreicht werden.Clearly, the largest possible gas separation and / or flexibility in the system configuration can be achieved by means of the arrangement described herein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement plattenförmig sein.According to various embodiments, the separating element may be plate-shaped.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei einander gegenüberliegende Endabschnitte des Trennelements an den Kammerdeckel angrenzen.According to various embodiments, two opposite end portions of the partition member may abut the chamber lid.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Hochvakuumpumpen-Anschluss einen Rohransatz aufweisen, welcher von der Öffnung weg erstreckt, wobei das Trennelement in den Rohransatz hinein erstreckt sein kann.According to various embodiments, the high vacuum pump port may include a pipe socket extending away from the opening, wherein the separator may extend into the pipe socket.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel ein Länge entlang einer Längsrichtung in der Kammerdeckel-Ebene und eine Breite quer zur Längsrichtung aufweisen, wobei die Breite kleiner ist als die Länge, wobei das Trennelement in die Längsrichtung erstreckt ist.According to various embodiments, the chamber lid may have a length along a longitudinal direction in the chamber lid plane and a width transverse to the longitudinal direction, wherein the width is smaller than the length, wherein the separator is extended in the longitudinal direction.

Der Kammerdeckel und die Kammeröffnung des Kammergehäuses können derart eingerichtet sein, dass der Kammerdeckel die Kammeröffnung vakuumdicht verschließt, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. Dazu kann der Kammerdeckel passend zur Kammeröffnung geformt sein, so dass ein Spalt zwischen dem Kammerdeckel und dem Kammergehäuse möglichst klein ist, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. Ferner können der Kammerdeckel und/oder die Kammeröffnung beispielsweise entsprechende Dichtungen aufweisen, welche den (verbleibenden) Spalt zwischen dem Kammerdeckel und dem Kammergehäuse abdichten, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. The chamber lid and the chamber opening of the chamber housing may be configured such that the chamber lid closes the chamber opening in a vacuum-tight manner when the chamber lid is received in the chamber opening. For this purpose, the chamber lid may be shaped to match the chamber opening, so that a gap between the chamber lid and the chamber housing is as small as possible when the chamber lid is received in the chamber opening. Further, the chamber lid and / or the chamber opening may, for example, have corresponding seals which seal the (remaining) gap between the chamber lid and the chamber housing when the chamber lid is received in the chamber opening.

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung zum Aufnehmen eines Kammerdeckels; einen abnehmbaren Kammerdeckel gemäß der vorangehenden Beschreibung, welcher in der Kammeröffnung aufgenommen diese vakuumdicht verschließt; ein Wandelement, welches zumindest einen ersten Bereich in dem Kammergehäuse von einem zweiten Bereich in dem Kammergehäuse gassepariert, wobei das Wandelement derart eingerichtet ist, dass dieses an das Trennelement angrenzt, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist, so dass der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.A gas separation chamber, according to various embodiments, may include: a chamber housing having a chamber opening for receiving a chamber lid; a removable chamber lid according to the foregoing description, which accommodates in the chamber opening closes this vacuum-tight; a wall member that gasifies at least a first region in the chamber housing from a second region in the chamber housing, the wall element being adapted to abut the separator element when the chamber lid is received in the chamber opening such that the first region extends through the first chamber the first opening area and the second area can be pumped through the second opening area.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: eine Dichtungsstruktur, welche derart eingerichtet ist, dass diese einen Spalt zwischen dem Trennelement und dem Wandelement abdichtet, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist.According to various embodiments, a gas separation chamber may further include: a seal structure configured to seal a gap between the separator and the wall member when the chamber lid is received in the chamber opening.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammerwand; wobei die Kammerwand einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an die Kammerwand aufweisen kann; wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss eine Öffnung aufweisen kann, welche die Kammerwand durchdringt; ein Wandelement, welches sich in der Öffnung derart quer zur Kammerwand-Ebene erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss (anschaulich die Öffnung) mittels des Wandelements in zumindest einen ersten Öffnungsbereich und einen zweiten Öffnungsbereich separiert ist; wobei das Wandelement in das Kammergehäuse hinein erstreckt ist und in diesem zumindest einen ersten Bereich von einem zweiten Bereich gassepariert, wobei der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich hindurch und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.According to various embodiments, a gas separation chamber may include: a chamber housing having a chamber wall; wherein the chamber wall may have a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump to the chamber wall; wherein the high vacuum pump port may have an opening which penetrates the chamber wall; a wall member extending in the opening across the chamber wall plane such that the high vacuum pump port (illustratively the opening) is separated by the wall member into at least a first opening portion and a second opening portion; wherein the wall element extends into the chamber housing and in this at least a first region of a second region gassepariert, wherein the first region through the first opening portion and the second region can be pumped through the second opening portion.

Die Kammerwand mit dem Wandelement kann beispielsweise analog zu dem Kammerdeckel mit dem Trennelement eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist. Beispielsweise kann das Wandelement plattenförmig sein, zwei einander gegenüberliegende Endabschnitten des Wandelements können an die Kammerwand angrenzen und/oder das Wandelement kann in den Rohransatz hinein erstreckt (z. B. eingesteckt) sein. Anschaulich kann das Trennelement ein Teil des Wandelements sein und mit diesem verbunden (z. B. stoffschlüssig oder einstückig) sein.The chamber wall with the wall element can be configured, for example, analogously to the chamber lid with the separating element, as described above. For example, the wall element may be plate-shaped, two opposite end portions of the wall element may adjoin the chamber wall, and / or the wall element may extend into the pipe socket (eg, be plugged in). Illustratively, the separating element can be a part of the wall element and be connected to it (for example, materially bonded or in one piece).

Ist das Trennelement Teil des Wandelements, kann dieses zum Verschließen des Kammergehäuses mit dem Kammerdeckel in die Öffnung, bzw. den Hochvakuumpumpen-Anschluss, einsteckbar eingerichtet sein.If the separating element is part of the wall element, it can be designed to be plug-inable for closing the chamber housing with the chamber lid in the opening or the high-vacuum pump connection.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel mit dem Kammergehäuse abnehmbar gekuppelt sein, z. B. wenn dieser auf dem Kammergehäuse aufliegt oder das Kammergehäuse abdichtet.According to various embodiments, the chamber lid may be detachably coupled to the chamber housing, e.g. B. if this rests on the chamber housing or the chamber housing seals.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: ein weiteres Wandelement (Kanalwand), welches in dem Kammergehäuse angeordnet ist und mit diesem einen Gasseparationskanal bildet, wobei das Kammergehäuse zwei Verbindungsöffnungen aufweist, zum Anschließen des Kammergehäuses an ein gemeinsames Vakuumsystem einer Prozessieranlage, wobei der Gasseparationskanal zwischen den zwei Verbindungsöffnungen erstreckt ist, wobei das weitere Wandelement eine an den ersten Bereich angrenzende Durchgangsöffnung aufweist, so dass der Gasseparationskanal durch den ersten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.According to various embodiments, a gas separation chamber may further comprise: another wall member (channel wall) disposed in and forming a gas separation channel with the chamber housing, the chamber housing having two connection openings for connecting the chamber housing to a common vacuum system of a processing plant; Gas separation channel between the two connection openings is extended, wherein the further wall element has a first opening adjacent to the through opening, so that the gas separation channel can be pumped through the first opening area.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: ein innerhalb des Kammergehäuses angeordnetes Transportsystem zum Transportieren eines Substrats durch den Gasseparationskanal und/oder durch die zwei Verbindungsöffnungen hindurch, wobei das Wandelement oberhalb des Transportsystems angeordnet ist. Das Transportsystem kann beispielsweise durch den Gasseparationskanal hindurch erstreckt sein.According to various embodiments, a gas separation chamber may further comprise: a transport system disposed within the chamber housing for transporting a substrate through the gas separation channel and / or through the two connection openings, the wall element being disposed above the transport system. The transport system may, for example, be extended through the gas separation channel.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: eine verstellbare Blendenstruktur welche sich in den Gasseparationskanal erstreckt und eine effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals definiert, wobei die Blendenstruktur derart eingerichtet ist, dass mittels Verstellens der Blendenstruktur die effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals verändert wird.According to various embodiments, a gas separation chamber may further include: an adjustable orifice structure extending into the gas separation channel and defining an effective cross-sectional area of the gas separation channel, the orifice structure being such is set up that by means of adjusting the diaphragm structure, the effective cross-sectional area of the gas separation channel is changed.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die verstellbare Blendenstruktur in dem Gasseparationskanal angeordnet sein.According to various embodiments, the adjustable diaphragm structure may be arranged in the gas separation channel.

Ein Hochvakuumpumpen-Anschluss kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Öffnung (Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung) aufweisen, welche den Kammerdeckel durchdringt (mit anderen Worten eine Durchgangsöffnung in dem Kammerdeckel), z. B. eine Durchgangsöffnung mit einer kreisförmigen Querschnittsfläche. Die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung beschreibt anschaulich die Größe der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung und kann für eine kreisförmige Querschnittsfläche beispielsweise von einem Durchmesser der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung definiert sein.A high vacuum pump port may, according to various embodiments, include an opening (high vacuum pump port) which penetrates the chamber lid (in other words, a through hole in the chamber lid), e.g. B. a through hole with a circular cross-sectional area. The extent of a high vacuum pump port is illustrative of the size of the high vacuum pump port and may be defined for a circular cross sectional area, for example, by a diameter of the high vacuum pump port.

In einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung (bzw. der Durchgangsöffnung in dem Kammerdeckel) kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen ein Trennelement (z. B. ein Wandelement oder ein Steg) angeordnet sein, welches die Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung in zwei an das Trennelement angrenzende Öffnungsbereiche (Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungsbereiche) teilt. Das Trennelement kann beispielsweise Teil einer Gasseparationsstruktur (Gastrennstruktur) sein. Die Ausdehnung der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung mit mehreren Öffnungsbereichen kann als Ausdehnung der Fläche gesehen werden, über welche sich die mehreren Öffnungsbereiche erstrecken. Mit anderen Worten kann sich die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe über die funktionell gemeinsam wirksame Querschnittsfläche der Durchgangsöffnungen (bzw. der gemeinsam wirksamen Öffnungsbereiche) erstrecken, durch welche eine an die Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung angeschlossene Hochvakuumpumpe abpumpt.In a high-vacuum pump port (or the through-hole in the chamber lid), according to various embodiments, a partition member (eg, a wall member or a land) may be disposed which connects the high-vacuum pump port into two opening portions (high-vacuum pump port openings) adjacent to the partition member ) Splits. The separating element may for example be part of a gas separation structure (gas separation structure). The extension of the high vacuum pump port with a plurality of port areas may be seen as an extension of the area over which the plurality of port areas extend. In other words, the extension of a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump may extend over the functionally common effective cross sectional area of the through holes (or common opening portions) through which a high vacuum pump connected to the high vacuum pump port exhausts.

Die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen größer sein als ungefähr 150 mm, z. B. größer als ungefähr 200 mm. Beispielsweise kann die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung in einem Bereich von ungefähr 200 mm bis ungefähr 300 mm liegen.The extension of a high vacuum pump port may, according to various embodiments, be greater than about 150 mm, e.g. B. greater than about 200 mm. For example, the extension of a high vacuum pump port may range from about 200 mm to about 300 mm.

Eine Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung kann Teil eines Hochvakuumpumpen-Anschlusses sein, wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Hochvakuumpumpen-Anschluss eingerichtet sein kann. Beispielsweise kann der Kammerdeckel einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel aufweisen.A high vacuum pump port may be part of a high vacuum pump port, and the high vacuum pump port may be configured to connect a high vacuum pump to the high vacuum pump port. For example, the chamber lid may have a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump to the chamber lid.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Hochvakuumpumpen-Anschluss ein Rohr (z. B. ein Verbindungsrohr oder ein Rohransatz) aufweisen, welches sich von der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung weg erstreckt. An einem der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung gegenüberliegenden Endabschnitt des Rohres kann ein Anschlussflansch an dem Rohr befestigt sein.According to various embodiments, a high vacuum pumping port may include a tube (eg, a connecting tube or a tubular extension) extending away from the high vacuum pumping port. At one of the high vacuum pump port opening opposite end portion of the tube, a connection flange may be attached to the pipe.

Mit anderen Worten kann das Rohr zwischen dem Anschlussflansch und dem Kammerdeckel erstreckt sein und die Durchgangsöffnung der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung mit dem Anschlussflansch der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung verbinden, so dass der Anschlussflansch der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung in einem Abstand zu dem Kammerdeckel angeordnet sein kann. Das Rohr kann an dem Kammerdeckel befestigt sein und die Durchgangsöffnung umgeben und/oder kann in die Durchgangsöffnung hineinragen und in der Durchgangsöffnung befestigt sein. Anschaulich kann ein solcher Anschlussflansch vakuumdicht mit dem Kammerdeckel verbunden sein, z. B. mittels des Rohres.In other words, the tube may be extended between the port flange and the chamber lid and connect the through hole of the high vacuum pump port to the port of the high vacuum pump port so that the port of the high vacuum pump port may be spaced from the chamber cap. The tube may be attached to the chamber lid and surround the passage opening and / or may protrude into the passage opening and be secured in the passage opening. Illustratively, such a connection flange can be vacuum-tightly connected to the chamber lid, z. B. by means of the tube.

Der Anschlussflansch kann beispielsweise Bohrungen zum Befestigen einer Hochvakuumpumpe mittels Schrauben aufweisen, so dass eine Hochvakuumpumpe an dem Anschlussflansch befestigt werden kann, wobei zum Befestigen der Hochvakuumpumpe passende Schrauben in die Bohrungen geschraubt werden können.The connection flange may, for example, have bores for fastening a high vacuum pump by means of screws, so that a high vacuum pump can be fastened to the connection flange, suitable screws for fastening the high vacuum pump being screwed into the bores.

Weist der Hochvakuumpumpen-Anschluss kein Rohr auf, kann der Anschlussflansch an dem Kammerdeckel befestigt sein oder kann der Anschlussflansch ein Teil des Kammerdeckels sein. Beispielsweise können die Bohrungen in dem Kammerdeckel hineinragen.If the high vacuum pump connection does not have a pipe, the connection flange may be attached to the chamber cover or the connection flange may be part of the chamber cover. For example, the holes may protrude into the chamber lid.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung einen ringförmigen Dichtbereich aufweisen, welcher eingerichtet ist, gegen eine Hochvakuumpumpe gepresst zu werden, wenn diese an der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt wird. Der Dichtbereich kann derart eingerichtet sein, dass die Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung vakuumdicht mit der Hochvakuumpumpe verbunden wird, wenn die Hochvakuumpumpe an der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt wird. Dazu kann beispielsweise eine Dichtung, z. B. eine passende ringförmige Dichtung, z. B. eine Ringdichtung oder ein Zentrierring mit Dichtung, zwischen dem Dichtbereich und der Hochvakuumpumpe angeordnet werden zum Abdichten eines Spalts, welcher zwischen dem Dichtbereich und der Hochvakuumpumpe verbleiben kann, wenn die Hochvakuumpumpe an der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt ist (bzw. wenn die Hochvakuumpumpe gegen den Dichtbereich gepresst wird).According to various embodiments, a high vacuum pump port may include an annular sealing portion configured to be pressed against a high vacuum pump when attached to the high vacuum pump port. The sealing portion may be configured such that the high vacuum pump port is vacuum-tightly connected to the high vacuum pump when the high vacuum pump is attached to the high vacuum pump port. For example, a seal, for. B. a matching annular seal, z. As a ring seal or a centering ring with seal, be arranged between the sealing area and the high vacuum pump for sealing a gap which between the sealing area and the high vacuum pump may remain when the high vacuum pump is attached to the high vacuum pump port (or when the high vacuum pump is pressed against the sealing area).

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung (zum Aufnehmen eines Kammerdeckels); einen abnehmbaren Kammerdeckel gemäß der vorangehenden Beschreibung, welcher (in der Kammeröffnung aufgenommen) die Kammeröffnung vakuumdicht verschließt; ein sich von der Kammeröffnung aus in das Kammergehäuse erstreckendes Wandelement (z. B. eine Gastrennwand), welches einen an den ersten Öffnungsbereich angrenzenden ersten Bereich von einem an den zweiten Öffnungsbereich angrenzenden zweiten Bereich gassepariert, wobei das Wandelement an ein Trennelement des Kammerdeckels angrenzt, so dass der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich hindurch und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.A gas separation chamber may include, in accordance with various embodiments: a chamber housing having a chamber opening (for receiving a chamber lid); a removable chamber lid according to the preceding description, which (taken in the chamber opening) closes the chamber opening vacuum-tight; a wall member (eg, a gas separation wall) extending from the chamber opening into the chamber housing, which gasifies a first area adjacent to the first opening area from a second area adjacent to the second opening area, the wall element being adjacent a partition member of the chamber lid; such that the first region can be pumped through the first opening region and the second region can be pumped out through the second opening region.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammer (Kompartment) mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden oder mehrere Kammern (Kompartments) können in einem gemeinsamen Kammergehäuse bereitgestellt sein oder werden, wobei das Kammergehäuse beispielsweise mehrere Kammerwände aufweisen kann, welche die eine Kammer begrenzen bzw. die mehreren Kammern begrenzen und voneinander separieren.According to various embodiments, a chamber (compartment) may be provided by means of a chamber housing or multiple chambers (compartments) may be provided in a common chamber housing, wherein the chamber housing may for example have a plurality of chamber walls defining one or more chambers Limit chambers and separate from each other.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse zum Bereitstellen eines Vakuums oder zumindest eines Unterdrucks innerhalb des Kammergehäuses eingerichtet sein. Anschaulich kann das Kammergehäuse (z. B. dessen Kammerwände) derart stabil eingerichtet sein, dass dieses evakuiert (abgepumpt) werden kann, so dass von außen ein Druck (z. B. der herrschende Luftdruck oder ein Druck welcher mehrere Größenordnungen größer ist als der Druck im Inneren des Kammergehäuses) auf das Kammergehäuse (bzw. dessen Kammerwände) wirken kann, wenn dieses evakuiert ist, ohne dass das Kammergehäuse irreversibel verformt und/oder beschädigt wird. Mit anderen Worten kann das Kammergehäuse als Vakuumkammer eingerichtet sein.According to various embodiments, a chamber housing may be configured to provide a vacuum or at least a negative pressure within the chamber housing. Illustratively, the chamber housing (eg its chamber walls) can be set up so stably that it can be evacuated (pumped out) so that a pressure (for example the prevailing air pressure or a pressure of several orders of magnitude greater than the pressure prevails) Pressure inside the chamber housing) on the chamber housing (or its chamber walls) may act when it is evacuated without the chamber housing is irreversibly deformed and / or damaged. In other words, the chamber housing may be configured as a vacuum chamber.

Ein Kammergehäuse einer Vakuumprozessieranlage, z. B. einer Inline-Prozessieranlage, kann Bestandteil (ein Grundkörper) einer Vakuumkammer sein, z. B. einer Schleusenkammer, einer Pufferkammer, einer Transferkammer, einer Prozesskammer (z. B. einer Beschichtungskammer) oder einer Gasseparationskammer. Dabei kann die jeweilige Funktionsweise oder die Betriebsart der Vakuumkammer aufgrund des mit dem Kammergehäuse verwendeten Kammerdeckels in Verbindung mit den in dem Kammergehäuse angeordneten Einbauten (z. B. Gastrennwände, Ventile, Füllkörper, Transportsystem, usw.) definiert sein. Beispielsweise kann das Kammergehäuse mit einem Schleusenkammerdeckel als Schleusenkammer verwendet werden und mit einem Pufferkammerdeckel als Pufferkammer oder Transferkammer und mit einem noch anderen Kammerdeckel als Beschichtungskammer (oder Prozesskammer).A chamber housing a Vakuumprozessieranlage, z. As an inline processing, may be part (a body) of a vacuum chamber, z. A lock chamber, a buffer chamber, a transfer chamber, a process chamber (eg a coating chamber) or a gas separation chamber. In this case, the respective mode of operation or the operating mode of the vacuum chamber can be defined on the basis of the chamber cover used with the chamber housing in conjunction with the internals arranged in the chamber housing (eg gas partition walls, valves, packing, transport system, etc.). For example, the chamber housing can be used with a lock chamber lid as a lock chamber and with a buffer chamber lid as a buffer chamber or transfer chamber and with yet another chamber lid as a coating chamber (or process chamber).

Damit das Kammergehäuse evakuiert werden kann, kann das Kammergehäuse (z. B. der Kammerdeckel) mit einer Vorvakuumpumpen-Anordnung und/oder einer Hochvakuumpumpen-Anordnung gekoppelt sein. Somit kann in dem mittels des Kammerdeckels abgedichteten Kammergehäuse zumindest ein Vorvakuum (oder auch ein Hochvakuum) erzeugt werden oder bereitgestellt sein.In order for the chamber housing to be evacuated, the chamber housing (eg the chamber lid) may be coupled to a forevacuum pump arrangement and / or a high vacuum pump arrangement. Thus, at least one pre-vacuum (or even a high vacuum) can be generated or provided in the chamber housing sealed by means of the chamber cover.

Mit anderen Worten können ein Kammergehäuse und ein zugehöriger Kammerdeckel eine Vorvakuumversorgung aufweisen und/oder mit einer zum Vorvakuumversorgung verbunden sein zum Evakuieren zumindest einer Kammer der Prozessieranlage oder der gesamten Prozessieranlage und/oder zum Versorgen des Kammergehäuses oder anderer Pumpen (z. B. Hochvakuumpumpen) mit Vorvakuum.In other words, a chamber housing and an associated chamber cover may have a fore-vacuum supply and / or be connected to a fore-vacuum supply for evacuating at least one chamber of the processing installation or the entire processing installation and / or for supplying the chamber housing or other pumps (eg high-vacuum pumps). with pre-vacuum.

Zusätzlich zu der Vorvakuumversorgung kann ein Kammerdeckel eine Hochvakuumpumpen-Anordnung (z. B. eine oder mehrere Hochvakuumpumpen) aufweisen, welche mit Vorvakuum versorgt wird, um den Betrieb der Hochvakuumpumpen zu ermöglichen. Die Versorgung des Kammerdeckels mit Vorvakuum kann mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur (z. B. entsprechende Rohrverbindungen zu den Hochvakuumpumpen, Abluftrohren, usw.) erfolgen, welche mit einer Vorvakuumpumpen-Anordnung (z. B. eine oder mehrere Vorvakuumpumpen) gekoppelt sein kann. Ferner kann die Vorvakuumpumpen-Anordnung zusätzlich direkt an das Kammergehäuse gekoppelt sein zum Bereitstellen eines Vorvakuums in der Vakuumkammer der Prozessieranlage.In addition to the pre-vacuum supply, a chamber lid may include a high vacuum pump assembly (eg, one or more high vacuum pumps) which is pre-vacuumed to allow operation of the high vacuum pumps. The pre-vacuum supply of the chamber lid may be by means of a pre-vacuum supply structure (eg, corresponding pipe connections to the high vacuum pumps, exhaust pipes, etc.) which may be coupled to a roughing pump arrangement (eg, one or more backing pumps). In addition, the backing pump assembly may additionally be coupled directly to the chamber housing for providing an advance vacuum in the vacuum chamber of the processing plant.

Ferner kann die Vakuumprozessieranlage ein Transportsystem aufweisen zum Transportieren der Substrate durch die Vakuumprozessieranlage hindurch. Ein Transportsystem kann z. B. eine Vielzahl von Transportrollen und einen entsprechend mit den Transportrollen gekoppelten Antrieb aufweisen.Further, the vacuum processing system may include a transport system for transporting the substrates through the vacuum processing system. A transport system can, for. B. have a plurality of transport rollers and a drive coupled to the corresponding transport rollers.

Zum Einschleusen eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Vakuumprozessieranlage heraus, können beispielsweise eine oder mehrere Schleusenkammern, eine oder mehrere Pufferkammern und/oder eine oder mehrere Transferkammern verwendet werden. Zum Einschleusen mindestens eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein kann beispielsweise das mindestens eine Substrat in eine belüftete Schleusenkammer eingebracht werden, anschließend kann die Schleusenkammer mit dem mindestens einen Substrat evakuiert werden, und das Substrat kann schubweise aus der evakuierten Schleusenkammer heraus in eine angrenzende Vakuumkammer (z. B. in die Pufferkammer) der Vakuumprozessieranlage transportiert werden. Mittels der Pufferkammer kann beispielsweise ein Substrat vorgehalten werden und ein Druck kleiner als in der Schleusenkammer bereitgestellt werden. Mittels der Transferkammer können die schubweise eingebrachten Substrate zu einem so genannten Substratband zusammengeführt werden, so dass zwischen den Substraten nur kleine Lücken verbleiben, während die Substrate in entsprechenden Prozesskammern der Vakuumprozessieranlage prozessiert (z. B. beschichtet) werden. Alternativ kann ein Substrat auch direkt aus der Schleusenkammer in die Transferkammer eingebracht werden, ohne eine Pufferkammer zu verwenden, was beispielsweise eine verlängerte Taktzeit (die zum Einbringen eines Substrat in die Vakuumprozessieranlage hinein benötigte Zeitdauer) verursachen kann.For introducing a substrate into the vacuum processing system or for discharging a substrate from the vacuum processing system, one or more lock chambers, for example, may be one or more Buffer chambers and / or one or more transfer chambers are used. For introducing at least one substrate into the vacuum processing system, for example, the at least one substrate can be introduced into a ventilated lock chamber, then the lock chamber can be evacuated with the at least one substrate, and the substrate can be pushed out of the evacuated lock chamber into an adjacent vacuum chamber (eg B. in the buffer chamber) of the Vakuumprozessieranlage be transported. By means of the buffer chamber, for example, a substrate can be held and a pressure smaller than in the lock chamber can be provided. By means of the transfer chamber, the substrates introduced in batches can be combined to form a so-called substrate belt so that only small gaps remain between the substrates, while the substrates are processed (eg coated) in corresponding process chambers of the vacuum processing plant. Alternatively, a substrate may also be introduced directly from the lock chamber into the transfer chamber without using a buffer chamber, which may cause, for example, a prolonged cycle time (the time required to introduce a substrate into the vacuum processing equipment).

Ferner kann ein Kammergehäuse beispielsweise mittels eines entsprechenden Kammerdeckels als Prozesskammer oder Beschichtungskammer genutzt werden, wobei die Prozesskammer oder Beschichtungskammer beispielsweise im Hochvakuumbereich (z. B. im Bereich des Prozessvakuums, z. B. in einem Bereich von ungefähr 10^–3 mbar bis ungefähr 10^–7 mbar) betrieben werden kann. Dabei kann der Hochvakuumbereich beispielsweise mittels mindestens einer Hochvakuumpumpe (z. B. einer Turbomolekularpumpe) erzeugt werden, welche in den Kammerdeckel integriert und/oder daran befestigt sein kann und welche mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur mit Vorvakuum versorgt werden kann.Furthermore, a chamber housing can be used, for example, as a process chamber or coating chamber by means of a corresponding chamber lid, wherein the process chamber or coating chamber is, for example, in the high vacuum range (eg in the range of the process vacuum, eg in a range of approximately 10 ^-3 mbar to approximately 10 ^-7 mbar) can be operated. In this case, the high-vacuum region can be produced, for example, by means of at least one high-vacuum pump (for example a turbomolecular pump), which can be integrated into the chamber lid and / or fastened thereto and which can be supplied with pre-vacuum by means of a pre-vacuum supply structure.

In einer Prozesskammer können die eingeschleusten Substrate prozessiert werden, wobei die Prozesskammer einen Prozesskammerdeckel aufweisen kann, welcher die entsprechende Kammer in dem Kammergehäuse und/oder das entsprechende Kammergehäuse abdecken und vakuumdicht verschließen kann. An dem Prozesskammerdeckel kann eine Prozessquelle, beispielsweise ein Magnetron zum Beschichten eines Substrats oder beispielsweise mehrere Magnetrons, befestigt sein. Beispielsweise kann der Prozesskammerdeckel mindestens ein Rohrmagnetron oder Doppelrohr-Magnetron oder mindestens ein Planarmagnetron oder Doppel-Planarmagnetron aufweisen.The introduced substrates can be processed in a process chamber, the process chamber having a process chamber cover which can cover the corresponding chamber in the chamber housing and / or the corresponding chamber housing and seal it in a vacuum-tight manner. A process source, for example a magnetron for coating a substrate or, for example, a plurality of magnetrons, may be attached to the process chamber lid. By way of example, the process chamber lid can have at least one tubular magnetron or double-tube magnetron or at least one planar magnetron or double planar magnetron.

Je nach der Art des durchzuführenden Prozesses (z. B. Erwärmen, Ätzen und/oder strukturelles Verändern) können andere Prozessquellen an dem Prozesskammerdeckel befestigt sein, z. B. eine Blitzlampe, eine Ätzgasquelle, eine Ionenquelle, usw.Depending on the nature of the process to be performed (eg, heating, etching and / or structural alteration), other process sources may be attached to the process chamber lid, e.g. A flash lamp, an etching gas source, an ion source, etc.

Zwischen zwei Vakuumkammern (oder zwei Kompartments), z. B. zwei Prozesskammern, kann eine Gasseparationskammer angeschlossen sein, welche ermöglicht die zwei Prozesskammern wirksam voneinander zu separieren, ohne den Substrattransport zwischen den angrenzenden Vakuumkammern durch deren Substrat-Transfer-Öffnung hindurch zu beeinträchtigen, so dass z. B. kontinuierlich Substrate (z. B. schubweise oder als Substratband) zwischen den angrenzenden Vakuumkammern durch die Gasseparationskammer hindurch transportiert werden können.Between two vacuum chambers (or two compartments), z. B. two process chambers, a gas separation chamber may be connected, which allows the two process chambers to effectively separate from each other without affecting the substrate transport between the adjacent vacuum chambers through the substrate transfer opening therethrough, so that z. For example, continuous substrates (eg, batchwise or as a substrate belt) may be transported through the gas separation chamber between the adjacent vacuum chambers.

Innerhalb der Gasseparationskammer kann eine Gastrennwand zum Gasseparieren zweier Bereiche der Gasseparationskammer angeordnet sein. Die Gastrennwand kann beispielsweise weniger stabil (z. B. dünner) eingerichtet sein verglichen mit einer Kammerwand der Gasseparationskammer (z. B. weniger als halb so dünn), da diese einem geringeren Druckunterschied standhalten muss als die Kammerwand.Within the gas separation chamber, a gas separation wall may be arranged for gas separation of two regions of the gas separation chamber. For example, the gas separation wall may be less stable (eg, thinner) compared to a chamber wall of the gas separation chamber (eg, less than half as thin) as it must withstand a smaller pressure differential than the chamber wall.

In Verbindung mit der Gastrennwand und/oder einer Gasseparationsstruktur (welche z. B. den Gasseparationskanal bildet) und einem geeigneten Kammerdeckel kann eine Vakuumkammer als Gasseparationskammer betrieben werden.In conjunction with the gas separation wall and / or a gas separation structure (which eg forms the gas separation channel) and a suitable chamber lid, a vacuum chamber may be operated as a gas separation chamber.

Eine Gasseparationskammer für eine Prozessieranlage kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit zwei Verbindungsöffnungen zum Bilden eines gemeinsamen Vakuumsystems mit der Prozessieranlage, wobei das Kammergehäuse ferner eine Kammeröffnung aufweist; einen (abnehmbaren) Kammerdeckel zum vakuumdichten Verschließen der Kammeröffnung, welcher von einer Anschlussöffnung zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das gemeinsame Vakuumsystem durchdrungen ist; eine innerhalb der Anschlussöffnung angeordnete und sich in das Kammergehäuse erstreckende Gasseparationsstruktur, welche derart eingerichtet ist, dass ein Gasaustausch zwischen den zwei Verbindungsöffnungen verringert ist.A gas separation chamber for a processing plant, according to various embodiments, may include: a chamber housing having two communication openings for forming a common vacuum system with the processing plant, the chamber housing further having a chamber opening; a (removable) chamber lid for vacuum-sealing the chamber opening, which is penetrated by a connection opening for connecting a high vacuum pump to the common vacuum system; a gas separation structure disposed within the port opening and extending into the chamber housing, which is configured such that gas exchange between the two communication ports is reduced.

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Kammerkörper (Kammergehäuse) mit einer Kammeröffnung, wobei innerhalb des Kammerkörpers ein erster Abpumpbereich (erster Bereich) und ein zweiter Abpumpbereich (zweiter Bereich) erstreckt ist; einen die Kammeröffnung vakuumdicht verschließenden Kammerdeckel mit einem Pumpenanschluss zum Montieren einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; wobei der Anschlussflansch einen den Kammerdeckel durchdringenden ersten Öffnungsbereich zum Abpumpen des ersten Abpumpbereichs und einen den Kammerdeckel durchdringenden zweiten Öffnungsbereich zum Abpumpen des zweiten Abpumpbereichs aufweist; eine Gasseparationsstruktur, welche den ersten Öffnungsbereich von dem zweiten Öffnungsbereich trennt und sich zwischen dem ersten Abpumpbereich und dem zweiten Abpumpbereich in den Kammerkörper erstreckt, so dass ein Gasaustausch zwischen den zwei Abpumpbereichen im Wesentlichen verhindert wird.According to various embodiments, a gas separation chamber may include: a chamber body (chamber housing) having a chamber opening, a first pumping-out area (first area) and a second pumping-off area (second area) extending within the chamber body; a chamber lid which closes the chamber opening in a vacuum-tight manner and has a pump connection for mounting a high-vacuum pump to the chamber lid; the connecting flange a first opening portion for pumping the first Abpumpbereichs penetrating the chamber lid and a second opening portion penetrating the chamber lid for pumping the second Abpumpbereichs; a gas separation structure that separates the first opening area from the second opening area and extends into the chamber body between the first pumping area and the second pumping area, so that gas exchange between the two pumping areas is substantially prevented.

Ein Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer, der Kammerdeckel aufweisend: einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; ein Trennelement welches sich in den Anschlussflansch erstreckt und einen ersten Durchgangsbereich (ersten Öffnungsbereich) des Anschlussflanschs von einem zweiten Durchgangsbereich (zweiten Öffnungsbereich) des Anschlussflanschs separiert, wobei zwei gegenüberliegende Endabschnitte des Wandelements an den Anschlussflansch angrenzen.A chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber, the chamber lid comprising: a connection flange for connecting a high vacuum pump to the chamber lid; a separator extending into the terminal flange and separating a first passage area (first opening area) of the terminal flange from a second passage area (second opening area) of the terminal flange, wherein two opposite end portions of the wall element adjoin the terminal flange.

Beispielsweise können die zwei gegenüberliegenden Endabschnitte des Wandelements an dem Anschlussflansch befestigt sein. Beispielsweise können die zwei gegenüberliegenden Endabschnitte des Wandelements mit dem Anschlussflansch verbunden sein.For example, the two opposite end portions of the wall element may be fastened to the connection flange. For example, the two opposite end portions of the wall element may be connected to the connection flange.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.

Es zeigenShow it

1 eine herkömmliche Gasseparationskammer in einer schematischen Querschnittsansicht; 1 a conventional gas separation chamber in a schematic cross-sectional view;

2A einen Kammerdeckel gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht; 2A a chamber lid according to various embodiments in a schematic plan view or a schematic cross-sectional view;

2B einen Kammerdeckel gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 2 B a chamber lid according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

3A und 3B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 3A and 3B each a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

4A eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 4A a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

4B einen Kammerdeckel oder eine Gasseparationskammer mit Kammerdeckel jeweils gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht; 4B a chamber lid or a gas separation chamber with chamber lid respectively according to various embodiments in a schematic plan view or a schematic cross-sectional view;

5A und 5B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 5A and 5B each a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

6A und 6B jeweils einen Kammerdeckel gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht; 6A and 6B each a chamber lid according to various embodiments in a schematic plan view or a schematic cross-sectional view;

7 einen Kammerdeckel oder eine Gasseparationskammer mit Kammerdeckel jeweils gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht; 7 a chamber lid or a gas separation chamber with chamber lid respectively according to various embodiments in a schematic plan view or a schematic cross-sectional view;

8A und 8B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 8A and 8B each a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

9A und 9B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 9A and 9B each a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

10 eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 10 a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

11A bis 11C jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; 11A to 11C each a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view;

12A und 12B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht; und 12A and 12B each a gas separation chamber according to various embodiments in a schematic cross-sectional view; and

13 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht. 13 illustrates a vacuum chamber assembly according to various embodiments in a schematic cross-sectional view.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben”, „unten”, „vorne”, „hinten”, „vorderes”, „hinteres”, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It is understood that other embodiments may be used and structural or logical changes may be made without to deviate from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various exemplary embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe ”verbunden”, ”angeschlossen” sowie ”gekoppelt” verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.As used herein, the terms "connected," "connected," and "coupled" are used to describe both direct and indirect connection, direct or indirect connection, and direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.

1 veranschaulicht eine herkömmliche Gasseparationskammer 50 in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene welche quer zu einer Transportrichtung verläuft, entlang derer ein Substrat 306 durch die Gasseparationskammer 50 hindurch transportiert werden kann. 1 illustrates a conventional gas separation chamber 50 in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane which is transverse to a transport direction, along which a substrate 306 through the gas separation chamber 50 can be transported through.

Herkömmliche Gasseparationskammern 50 und/oder mit herkömmlichen Kammerdeckeln ausgestattete Gasseparationskammern werden bisher in lediglich zwei (gas)separierte Teilvolumina 51, 53 (erste Pumpstufe 51 und zweite Pumpstufe 53) unterteilt. Die separierten Teilvolumina 51, 53 sind mit einem Gasseparationskanal 55 verbunden, so dass dieser zweistufig aktiv abgepumpt werden kann.Conventional gas separation chambers 50 and / or equipped with conventional chamber lids gas separation chambers are so far in only two (gas) separated sub-volumes 51 . 53 (first pumping stage 51 and second pumping stage 53 ). The separated partial volumes 51 . 53 are with a gas separation channel 55 connected so that it can be actively pumped out in two stages.

Zum Abpumpen wird an jedes Teilvolumen 51, 53 mindestens eine Hochvakuumpumpe (TMP) angeschlossen. Jede der angeschlossenen Hochvakuumpumpen versorgt dabei genau eines der Teilvolumen 51, 53 mit Vakuum. Mit anderen Worten pumpt jede der angeschlossenen Hochvakuumpumpen genau eines der Teilvolumen 51, 53 ab.For pumping is to each sub-volume 51 . 53 at least one high vacuum pump (TMP) connected. Each of the connected high-vacuum pumps supplies exactly one of the sub-volumes 51 . 53 with vacuum. In other words, each of the connected high vacuum pumps pumps exactly one of the partial volumes 51 . 53 from.

Werden mehr als zwei Pumpstufen 51, 53 benötigt, werden bisher mehrere herkömmliche Gasseparationskammern 50 in Reihe hintereinander geschaltet, so dass deren Gasseparationskanäle 55 miteinander verbunden sind.Become more than two pumping stages 51 . 53 requires, so far several conventional gas separation chambers 50 connected in series one behind the other so that their gas separation channels 55 connected to each other.

2A veranschaulicht einen Kammerdeckel 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer Draufsicht (aus einer Richtung 105) oder einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 107 (vergleiche beispielsweise 2B). 2A illustrates a chamber lid 100 According to various embodiments in a plan view (from one direction 105 ) or a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 107 (compare for example 2 B ).

Der Kammerdeckel 100 kann eine Grundplatte 102 aufweisen, z. B. eine Metallplatte 102, z. B. eine Stahlplatte 102. Der Kammerdeckel 100 (bzw. die Grundplatte 102) kann im Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt sein. Im Wesentlichen entlang der Kammerdeckel-Ebene erstreckt kann derart verstanden werden, dass eine Ausdehnung des Kammerdeckels entlang der Kammerdeckel-Ebene deutlich größer ist als eine Ausdehnung des Kammerdeckels senkrecht zu der Kammerdeckel-Ebene. Beispielsweise kann der Kammerdeckel plattenförmig sein, leicht gekrümmt sein oder Unebenheiten aufweisen. Ferner kann der Kammerdeckel Anschlüsse zum Betreiben des Kammerdeckels oder eine Versteifungsstruktur zum Versteifen des Kammerdeckels aufweisen, welche aus der Kammerdeckel-Ebene herausragen können.The chamber lid 100 can be a base plate 102 have, for. B. a metal plate 102 , z. B. a steel plate 102 , The chamber lid 100 (or the base plate 102 ) may extend substantially along a chamber lid plane. Extending substantially along the chamber lid plane can be understood to mean that an expansion of the chamber lid along the chamber lid plane is significantly greater than an extension of the chamber lid perpendicular to the chamber lid plane. For example, the chamber lid may be plate-shaped, slightly curved or have unevenness. Further, the chamber lid may have ports for operating the chamber lid or a stiffening structure for stiffening the chamber lid, which may protrude from the chamber lid level.

Die Grundplatte 102 kann von einer Durchgangsöffnung 106a (Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a) durchdrungen sein, welche Teil eines Hochvakuumpumpen-Anschlusses 126 sein kann. Die Durchgangsöffnung 106a kann eine Ausdehnung 116d (z. B. einen Durchmesser 116d) aufweisen. Die Durchgangsöffnung 106a kann eine Axialrichtung definieren, welche quer zu deren Durchmesser 116d verlaufen kann. Die Axialrichtung kann beispielsweise quer zu der von der Richtung 103 und der Richtung 101 aufgespannten Ebene (Kammerdeckel-Ebene) verlaufen.The base plate 102 can from a passage opening 106a (High vacuum port opening 106a ), which are part of a high vacuum pump connection 126 can be. The passage opening 106a can be an extension 116d (eg a diameter 116d ) exhibit. The passage opening 106a can define an axial direction which is transverse to its diameter 116d can run. For example, the axial direction may be transverse to that of the direction 103 and the direction 101 spanned level (chamber lid level) run.

In der Durchgangsöffnung 106a kann ein Blech 110 (Trennelement 110), z. B. ein Metallblech 110, z. B. ein Stahlblech 110 oder ein Aluminiumblech 110 angeordnet sein. Das Blech 110 kann quer zur Kammerdeckel-Ebene erstreckt (z. B. längserstreckt) sein (z. B. in Richtung 105). Beispielsweise kann das Blech 110 plattenförmig sein. Ferner kann das Blech 110 an die Grundplatte 102 (mit anderen Worten an die Umfangswandung der Durchgangsöffnung 106a) angrenzen. Die Umfangswandung der Durchgangsöffnung 106a kann eine die Durchgangsöffnung 106a (z. B. in der Kammerdeckel-Ebene) begrenzende Wand der Grundplatte 102 aufweisen.In the passage opening 106a can a sheet metal 110 (Separating element 110 ), z. B. a metal sheet 110 , z. B. a steel sheet 110 or an aluminum sheet 110 be arranged. The sheet 110 may extend transversely to the chamber lid plane (eg, longitudinally extended) (eg, in the direction of 105 ). For example, the sheet metal 110 be plate-shaped. Furthermore, the sheet metal 110 to the base plate 102 (In other words, to the peripheral wall of the through hole 106a ). The peripheral wall of the passage opening 106a can one the passage opening 106a (eg in the chamber lid level) bounding wall of the base plate 102 exhibit.

Das Blech 110 kann in der Durchgangsöffnung 106a befestigt sein, z. B. kann das Blech 110 geklemmt sein oder werden. Dazu kann das Blech 110 beispielsweise mit einer Kraft gegen die Grundplatte 102 pressen. Zum Klemmen des Blechs 110 kann beispielsweise ein elastisch verformbares Blech 110 verwendet werden. Dieses kann leicht gekrümmt in der Durchgangsöffnung 106a angeordnet werden, wobei das Blech 110 beim Einnehmen seiner Ursprungsform mit der Kraft gegen die Grundplatte 102 presst.The sheet 110 can in the passage opening 106a be attached, z. B. can the sheet 110 be pinched or become. This can be the sheet metal 110 for example, with a force against the base plate 102 press. For clamping the sheet 110 For example, an elastically deformable sheet 110 be used. This can be slightly curved in the passage opening 106a be arranged, with the sheet 110 when taking its original shape with the force against the base plate 102 pressed.

Alternativ kann das Blech 110 nicht lösbar (dauerhaft) an der Grundplatte 102 befestigt sein oder werden, z. B. kann das Blech 110 mit der Grundplatte 102 verbunden, z. B. verschweißt, sein oder werden. Dazu kann das Blech 110 eine Länge entlang dessen Längserstreckung (bzw. quer zu der Axialrichtung) aufweisen, welche im Wesentlichen dem Durchmesser 116d der Durchgangsöffnung 106a entspricht.Alternatively, the sheet metal 110 not detachable (permanently) on the base plate 102 be attached or be, for. B. can the sheet 110 with the base plate 102 connected, z. B. welded, his or be. This can be the sheet metal 110 a length along its longitudinal extent (or transversely to the axial direction), which are substantially the diameter 116d the passage opening 106a equivalent.

Alternativ kann das Blech 110 auf jede andere Art an der Grundplatte 102 befestigt und/oder mit der Grundplatte 102 verbunden sein oder werden, z. B. mittels Schraubens, Klebens oder Lötens.Alternatively, the sheet metal 110 in any other way on the base plate 102 attached and / or with the base plate 102 be connected or become, for. B. by means of screws, gluing or soldering.

Das Blech 110 kann die Durchgangsöffnung 106a in einen ersten Öffnungsbereich 113a und einen zweiten Öffnungsbereich 113b separieren (aufteilen). Somit kann erreicht werden, dass eine an den Hochvakuumpumpen-Anschluss 126 angeschlossene Hochvakuumpumpe sowohl durch den ersten Öffnungsbereich 113a, als auch den zweiten Öffnungsbereich 113b hindurch abpumpen kann. Anschaulich wird das mittels der Hochvakuumpumpe bereitgestellte Saugvermögen auf den ersten Öffnungsbereich 113a und den zweiten Öffnungsbereich 113b aufgeteilt.The sheet 110 can the passage opening 106a in a first opening area 113a and a second opening area 113b separate (split). Thus it can be achieved that one to the high vacuum pump port 126 connected high vacuum pump through both the first opening area 113a , as well as the second opening area 113b can pump through. Illustratively, the pumping speed provided by the high vacuum pump becomes the first opening area 113a and the second opening area 113b divided up.

Damit das Blech 110 möglichst wenig Querschnittsfläche (in Kammerdeckel-Ebene) der Durchgangsöffnung 106a einnimmt, kann das Blech 110 eine geringe Dicke (Materialstärke quer zur Längserstreckung des Blechs, z. B. in Richtung 101) aufweisen. Beispielsweise kann das Blech 110 eine Dicke von weniger als ungefähr 2 cm aufweisen, z. B. weniger als ungefähr 1 cm, z. B. weniger als ungefähr 0,5 cm. Umso geringer die Dicke des Blechs 110 ist, desto größer kann einerseits die Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a sein, welche abzüglich des Blechs 110 verbleibt (verbleibende Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a) und damit verbunden andererseits das mittels der Hochvakuumpumpe durch die Durchgangsöffnung 106a hindurch bereitgestellte Saugvermögen sein. Die verbleibende Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a kann von der Querschnittsfläche des ersten Öffnungsbereich 113a und der Querschnittsfläche des zweiten Öffnungsbereich 113b definiert sein, z. B. deren Summe. Beispielsweise kann die verbleibende Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a größer sein als ungefähr 80% der Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a, z. B. größer als 90% der Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a.So the sheet 110 as small as possible cross-sectional area (in the chamber lid level) of the passage opening 106a can take the sheet metal 110 a small thickness (thickness of material transverse to the longitudinal extent of the sheet, eg in the direction 101 ) exhibit. For example, the sheet metal 110 have a thickness of less than about 2 cm, e.g. B. less than about 1 cm, z. B. less than about 0.5 cm. The smaller the thickness of the sheet 110 is, the larger, on the one hand, the cross-sectional area of the passage opening 106a be which minus the sheet 110 remains (remaining cross-sectional area of the through hole 106a ) and connected thereto, on the other hand, by means of the high vacuum pump through the passage opening 106a be provided by suction. The remaining cross-sectional area of the passage opening 106a may depend on the cross-sectional area of the first opening area 113a and the cross-sectional area of the second opening area 113b be defined, z. B. their sum. For example, the remaining cross-sectional area of the passage opening 106a greater than about 80% of the cross-sectional area of the through-hole 106a , z. B. greater than 90% of the cross-sectional area of the passage opening 106a ,

2B veranschaulicht einen Kammerdeckel 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109 (vergleiche beispielsweise 2A). 2 B illustrates a chamber lid 100 according to various embodiments in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 (compare for example 2A ).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Blech 110 entlang der Axialrichtung (z. B. entlang Richtung 105) erstreckt sein. Beispielsweise kann das Blech 110 eine Ausdehnung entlang der Axialrichtung (quer zur Kammerdeckel-Ebene) aufweisen, welche einer Dicke 102d der Grundplatte 102 in Axialrichtung entspricht. Damit kann erreicht werden, dass eine Hochvakuumpumpe bündig auf dem Kammerdeckel 100 (bzw. der Grundplatte 102) angeordnet werden kann.According to various embodiments, the sheet may 110 along the axial direction (eg along direction 105 ) extends. For example, the sheet metal 110 an extent along the axial direction (transverse to the chamber lid plane), which has a thickness 102d the base plate 102 in the axial direction corresponds. This can be achieved that a high vacuum pump flush on the chamber lid 100 (or the base plate 102 ) can be arranged.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Blech 110 eine Ausdehnung entlang der Axialrichtung aufweisen, welche größer ist als die Dicke 102d der Grundplatte 102. Ein solches Blech 110 kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass das Blech 110 in eine Hochvakuumpumpe hinein ragen kann, z. B. wenn das Blech 110 an der Grundplatte 102 befestigt ist.According to various embodiments, the sheet may 110 have an extent along the axial direction, which is greater than the thickness 102d the base plate 102 , Such a sheet 110 For example, it may be arranged such that the sheet metal 110 can protrude into a high vacuum pump, z. B. when the sheet 110 at the base plate 102 is attached.

3A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 (z. B. den in 2A gezeigten Kammerdeckel 100) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z. B. quer zur Kammerdeckel-Ebene). 3A illustrates a gas separation chamber 300 according to various embodiments with a chamber lid 100 (eg the in 2A shown chamber lid 100 ) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 (along the from direction 101 and direction 105 spanned level, z. B. across the chamber lid level).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer 300 ein Kammergehäuse 104 mit einer Kammeröffnung 104o aufweisen. Ferner kann die Gasseparationskammer 300 ein sich von der Kammeröffnung 104o aus in das Kammergehäuse 104 erstreckendes Wandelement 112 aufweisen, welches einen ersten Bereich 111a von einem zweiten Bereich 111b gassepariert. Mit anderen Worten kann das Wandelement 112 als Gastrennwand 112 eingerichtet sein. Das Wandelement 112 kann beispielsweise plattenförmig als Gasseparationsplatte 112 eingerichtet sein.According to various embodiments, a gas separation chamber 300 a chamber housing 104 with a chamber opening 104o exhibit. Furthermore, the gas separation chamber 300 a from the chamber opening 104o out into the chamber housing 104 extending wall element 112 which has a first area 111 from a second area 111b gas separated. In other words, the wall element 112 as a gas separation wall 112 be furnished. The wall element 112 can for example be plate-shaped as a gas separation plate 112 be furnished.

Die Gastrennwand 112 kann ein Blech 112 (Gastrennblech 112) aufweisen, z. B. ein Metallblech 112, z. B. ein Stahlblech 112 oder eine Aluminiumblech 112. Die Gastrennwand 112 kann in dem Kammergehäuse 104 befestigt, z. B. mit dem Kammergehäuse 104 verbunden sein, z. B. verschweißt, verklebt oder verlötet. Die Gastrennwand 112 kann alternativ lösbar in dem Kammergehäuse 104 befestigt sein, z. B. geklemmt oder formschlüssig in einer dazu passenden Nut in dem Kammergehäuse 104. Beispielsweise kann die Gastrennwand 112 ein an dem Kammergehäuse 104 verschweißtes Metallblech 112 aufweisen.The gas separation wall 112 can a sheet metal 112 (Gas separation sheet 112 ), z. B. a metal sheet 112 , z. B. a steel sheet 112 or an aluminum sheet 112 , The gas separation wall 112 can in the chamber housing 104 attached, z. B. with the chamber housing 104 be connected, z. B. welded, glued or soldered. The gas separation wall 112 may alternatively be detachable in the chamber housing 104 be attached, z. B. clamped or positive fit in a mating groove in the chamber housing 104 , For example, the gas separation wall 112 a on the chamber housing 104 welded sheet metal 112 exhibit.

Die Gastrennwand 112 kann derart eingerichtet, z. B. angeordnet und geformt, sein, dass dieses an das Trennelement 110 angrenzt, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist (aufgesetzter Kammerdeckel 100). Damit kann erreicht werden, dass der erste Bereich 111a durch den ersten Öffnungsbereich 113a hindurch und der zweite Bereich 111b durch den zweiten Öffnungsbereich 113b hindurch abpumpbar ist, z. B. mittels einer an den Hochvakuumpumpe-Anschluss 126 angeschlossenen Hochvakuumpumpe.The gas separation wall 112 can be set up such. B. arranged and shaped, that this to the separating element 110 adjoins when the chamber lid 100 in the chamber opening 104o is received (attached chamber lid 100 ). This can be achieved that the first area 111 through the first opening area 113a through and the second area 111b through the second opening area 113b can be pumped through, z. B. by means one to the high vacuum pump port 126 connected high vacuum pump.

Damit kann anschaulich ferner erreicht werden, dass möglichst wenig Gas zwischen dem ersten Bereich 111a und dem zweiten Bereich 111b ausgetauscht wird (z. B. durch die Hochvakuumpumpe-Anschlussöffnung 106a hindurch). Anschaulich wurde erkannt, dass die Erhöhung der Gasseparation zwischen dem ersten Bereich 111a und dem zweiten Bereich 111b mittels des Trennelements 110 größer ist als eine Verringerung der Gasseparation aufgrund eines damit verbundenen Verlustes an Querschnittfläche, durch welche eine angeschlossene Hochvakuumpumpe hindurch abpumpen kann. 3B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. quer zu der Schnittebene 109 (z. B. entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z. B. quer zur Kammerdeckel-Ebene).In this way, it can be further clearly achieved that as little gas as possible is between the first region 111 and the second area 111b is replaced (eg by the high vacuum pump port 106a therethrough). Clearly it was recognized that increasing the gas separation between the first area 111 and the second area 111b by means of the separating element 110 greater than a reduction in gas separation due to an associated loss of cross-sectional area through which a connected high vacuum pump can pump through. 3B illustrates a gas separation chamber 300 according to various embodiments with a chamber lid 100 in a schematic cross-sectional view, z. B. transverse to the cutting plane 109 (eg along the direction of 101 and direction 105 spanned level, z. B. across the chamber lid level).

Die Gastrennwand 112 kann sich entlang deren Längserstreckung durch das gesamte Kammergehäuse 104 hindurch erstrecken, so dass zwei gegenüberliegende Endabschnitte der Gastrennwand 112 an das Kammergehäuse 104 angrenzen. Ferner können die Gastrennwand 112 und der Kammerdeckel 100 passend zueinander eingerichtet, z. B. geformt, sein, so dass diese aneinandergrenzen, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist. Beispielsweise kann ein Spalt zwischen der Gastrennwand 112 und dem Kammerdeckel 100 möglichst klein sein, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist. Ferner kann zwischen der Gastrennwand 112 und dem Kammerdeckel 100 eine Dichtungsstruktur (z. B. eine Gummidichtung) angeordnet sein, welche den Spalt abdichtet.The gas separation wall 112 can along its longitudinal extent through the entire chamber housing 104 extend through, so that two opposite end portions of the gas separation wall 112 to the chamber housing 104 adjoin. Furthermore, the gas separation wall 112 and the chamber lid 100 matched to each other, z. B. shaped, so that they adjoin when the chamber lid 100 in the chamber opening 104o is included. For example, a gap between the gas separation wall 112 and the chamber lid 100 be as small as possible when the chamber lid 100 in the chamber opening 104o is included. Furthermore, between the gas separation wall 112 and the chamber lid 100 a sealing structure (eg a rubber seal) may be arranged which seals the gap.

4A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 (z. B. den in 2A gezeigten Kammerdeckel 100) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z. B. quer zur Kammerdeckel-Ebene). 4A illustrates a gas separation chamber 300 according to various embodiments with a chamber lid 100 (eg the in 2A shown chamber lid 100 ) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 (along the from direction 101 and direction 105 spanned level, z. B. across the chamber lid level).

Die Gasseparationskammer 300 kann eine Gasseparationsstruktur 312 aufweisen, welche mehrere Bereiche 111a, 111b voneinander gassepariert. Die vorangehend beschriebene Gastrennwand 112 kann Teil der Gasseparationsstruktur 312 sein. Ferner kann das vorangehend beschriebene Trennelement 110 Teil der Gasseparationsstruktur 312 sein, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist.The gas separation chamber 300 can be a gas separation structure 312 which have several areas 111 . 111b gassepariert from each other. The gas partition wall described above 112 can be part of the gas separation structure 312 be. Furthermore, the separating element described above 110 Part of the gas separation structure 312 be when the chamber lid 100 in the chamber opening 104o is included.

Anschaulich können die Teile der Gasseparationsstruktur 312 in Wechselwirkung zueinander stehen und gemeinsam (z. B. zusammengefügt) eine Gasseparation bewirken, so dass mittels der Gasseparationsstruktur 312 ein Kammergehäuse 104 als Gasseparationskammer 300 betrieben werden kann. Zum Betreiben des Kammergehäuses 104 als Gasseparationskammer 300 kann ferner ein geeigneter Kammerdeckel 100 (z. B. ein Kammerdeckel 100 gemäß der vorangehenden Beschreibung) benötigt werden.Illustratively, the parts of the gas separation structure 312 interact with each other and cause (eg joined together) a gas separation, so that by means of the gas separation structure 312 a chamber housing 104 as a gas separation chamber 300 can be operated. To operate the chamber housing 104 as a gas separation chamber 300 may also be a suitable chamber lid 100 (eg a chamber lid 100 as described above).

Das Kammergehäuse 104 der Gasseparationskammer 300 kann eine erste Verbindungsöffnung 302 und eine zweite Verbindungsöffnung 304 (zwei Verbindungsöffnungen 302, 304) aufweisen. Die zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 können zum Verbinden der Gasseparationskammer 300 mit weiteren (z. B. an die Gasseparationskammer 300 angrenzenden) Kammern einer Vakuumprozessieranlage, z. B. einer Vakuumbeschichtungsanlage, z. B. einer In-Line-Prozessieranlage, eingerichtet sein. Anschaulich kann die Gasseparationskammer 300 zwischen zwei Kammern, welche an die Gasseparationskammer 300 angrenzen, angeordnet sein oder werden, wobei die zwei Kammern jeweils mittels der Verbindungsöffnungen 302, 304 durch die Gasseparationskammer 300 hindurch miteinander verbunden sein können.The chamber housing 104 the gas separation chamber 300 can be a first connection opening 302 and a second connection opening 304 (two connection openings 302 . 304 ) exhibit. The two connection openings 302 . 304 can connect to the gas separation chamber 300 with further (eg to the gas separation chamber 300 adjacent) chambers of a Vakuumprozessieranlage, z. B. a vacuum coating system, for. As an in-line processing, be set up. Illustratively, the gas separation chamber 300 between two chambers, which are connected to the gas separation chamber 300 be adjacent, be arranged or, wherein the two chambers each by means of the connection openings 302 . 304 through the gas separation chamber 300 through each other.

Anschaulich kann mittels Verbindens der Gasseparationskammer 300 mit angrenzenden Kammern der Vakuumprozessieranlage ein gemeinsames Vakuumsystem der Vakuumprozessieranlage gebildet werden (mit anderen Worten die Gasseparationskammer 300 an das gemeinsame Vakuumsystem angeschlossen werden). In dem gemeinsamen Vakuumsystem kann beispielsweise ein Substrat 306 transportiert und prozessiert werden, z. B. mittels geeigneter Prozesskammern. Das gemeinsame Vakuumsystem kann die dazu notwendigen Prozessbedingungen zu Prozessieren des Substrats 306 bereitstellen, z. B. einen Umgebungsdruck oder eine Gaszusammensetzung.Illustratively, by connecting the gas separation chamber 300 with adjacent chambers of the vacuum processing system, a common vacuum system of the vacuum processing system are formed (in other words, the gas separation chamber 300 connected to the common vacuum system). In the common vacuum system, for example, a substrate 306 be transported and processed, for. B. by means of suitable process chambers. The common vacuum system can process the necessary process conditions to process the substrate 306 provide, for. B. an ambient pressure or a gas composition.

Zum Transportieren eines Substrats 306 in die Gasseparationskammer 300 hinein (z. B. aus einer ersten angrenzenden Kammer), zum Transportieren des Substrats 306 (Carrier 306) aus der Gasseparationskammer 300 heraus (z. B. in eine zweite angrenzende Kammer) oder zum Transportieren des Substrats 306 in der Gasseparationskammer 300 kann die Gasseparationskammer 300 ein Transportsystem 324 aufweisen. Das Transportsystem 324 kann beispielsweise mehrere Transportrollen 324r aufweisen, auf denen das Substrat 306 entlang einer Transportebene 301 transportiert werden kann.For transporting a substrate 306 into the gas separation chamber 300 into it (eg, from a first adjacent chamber) to transport the substrate 306 (Carrier 306 ) from the gas separation chamber 300 out (eg into a second adjacent chamber) or to transport the substrate 306 in the gas separation chamber 300 can the gas separation chamber 300 a transport system 324 exhibit. The transport system 324 For example, you can have several transport wheels 324R have on which the substrate 306 along a transport plane 301 can be transported.

Mit anderen Worten kann das Transportsystem 324 die Transportebene 301 definieren, in der das Substrat 306 mittels des Transportsystems 324 transportiert werden kann. Beispielsweise kann das Substrat 306 entlang einer Transportrichtung (z. B. entlang Richtung 101) transportiert werden (oder alternativ entgegen Richtung 101).In other words, the transport system 324 the transport level 301 define in the the substrate 306 by means of the transport system 324 can be transported. For example, the substrate 306 along a transport direction (eg along direction 101 ) or alternatively in the opposite direction 101 ).

Das Substrat 306 kann beispielsweise aus der ersten angrenzenden Kammer durch die erste Verbindungsöffnung 302 hindurch in die Gasseparationskammer 300 hinein transportiert werden und anschließend durch die zweite Verbindungsöffnung 304 hindurch aus der Gasseparationskammer 300 heraus in die zweite angrenzende Kammer.The substrate 306 may, for example, from the first adjacent chamber through the first connection opening 302 through into the gas separation chamber 300 are transported into and then through the second connection opening 304 through from the gas separation chamber 300 out into the second adjacent chamber.

Anschaulich können die zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 als Substrat-Transfer-Öffnung 302, 304 eingerichtet sein, so dass ein Substrat 306 durch die zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 hindurch transportiert werden kann.Illustratively, the two connection openings 302 . 304 as a substrate transfer opening 302 . 304 be set up, leaving a substrate 306 through the two connection openings 302 . 304 can be transported through.

Die Gasseparationsstruktur 312 kann ferner eine Kanalwand 322 (weiteres Wandelement 322) aufweisen, welche einen Gasseparationskanal 311 (Gastrennkanal 311) begrenzen kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kanalwand 322 derart eingerichtet sein (z. B. angeordnet und ausgebildet), dass diese zusammen mit dem Kammergehäuse 104 den Gasseparationskanal 311 begrenzt. Der Gasseparationskanal 311 kann sich derart zwischen den zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 erstrecken, dass ein Substrat 306 mittels des Transportsystems 324 durch den Gasseparationskanal 311 (Substratkanal 311) hindurch transportiert werden kann.The gas separation structure 312 can also be a channel wall 322 (another wall element 322 ) having a gas separation channel 311 (Gas separation channel 311 ) can limit. According to various embodiments, the channel wall 322 be arranged (eg, arranged and formed) that this together with the chamber housing 104 the gas separation channel 311 limited. The gas separation channel 311 can be so between the two connection openings 302 . 304 extend that to a substrate 306 by means of the transport system 324 through the gas separation channel 311 (Substrate channel 311 ) can be transported through.

Anschaulich kann das Innere des Gasseparationskanals 311 einen mittels der Kanalwand 322 von dem ersten Bereich 111a und von dem zweiten Bereich 111b gasseparierten Bereich 311 (Substrattransportbereich 311) bilden. Mit anderen Worten kann die Kanalwand 322 als Gastrennwand 322 wirken. Mittels des Gasseparationskanals 311 kann ein Austausch von Gas zwischen der ersten angrenzenden Kammer und der zweiten angrenzenden Kammer verringert werden. Mit anderen Worten kann der Gasseparationskanal 311 die Gasseparation der Gasseparationskammer 300 erhöhen.The interior of the gas separation channel can be clearly illustrated 311 one by means of the channel wall 322 from the first area 111 and from the second area 111b gas-conditioned area 311 (Substrate transport sector 311 ) form. In other words, the channel wall 322 as a gas separation wall 322 Act. By means of the gas separation channel 311 For example, an exchange of gas between the first adjacent chamber and the second adjacent chamber can be reduced. In other words, the gas separation channel 311 the gas separation of the gas separation chamber 300 increase.

Die Kanalwand 322 kann von einer ersten Durchgangsöffnung 312a durchdrungen sein, welche an den ersten Bereich 111a angrenzt. Damit kann erreicht werden, dass der Gasseparationskanal 311 durch die erste Durchgangsöffnung 312a hindurch abgepumpt werden kann, z. B. durch den ersten Öffnungsbereich 113a hindurch.The canal wall 322 can from a first through hole 312a be penetrated, which at the first area 111 borders. This can be achieved that the gas separation channel 311 through the first passage opening 312a can be pumped through, z. B. through the first opening area 113a therethrough.

Analog kann die Kanalwand 322 von einer zweiten Durchgangsöffnung 312b durchdrungen sein, welche an den zweiten Bereich 111b angrenzt. Damit kann erreicht werden, dass der Gasseparationskanal 311 durch die zweite Durchgangsöffnung 312b hindurch abgepumpt werden kann, z. B. durch den zweiten Öffnungsbereich 113b hindurch.Analog can the channel wall 322 from a second passage opening 312b be penetrated, which to the second area 111b borders. This can be achieved that the gas separation channel 311 through the second passage opening 312b can be pumped through, z. B. through the second opening area 113b therethrough.

Die Gasseparationskammer 300 kann einen Volumenkörper 324v oder mehrere Volumenkörper 324v aufweisen, welche/r in dem Gasseparationskanal 311 angeordnet ist/sind. Beispielsweise können die Volumenkörper 324v als Hohlkörper ausgebildet sein, deren Inneres gegenüber dem Äußeren vakuumdicht abgeschlossen ist. Ein solcher Volumenkörper 324v kann beispielsweise zwischen zwei Transportrollen 324r angeordnet sein.The gas separation chamber 300 can be a solid 324v or more solids 324v which is in the gas separation channel 311 is / are arranged. For example, the solids can 324v be formed as a hollow body, the interior of which is closed to the outside vacuum-tight. Such a solid 324v for example, between two transport rollers 324R be arranged.

Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass ein Volumen in der Gasseparationskammer 300 (z. B. in dem Gasseparationskanal 311), welches abgepumpt wird zum Bereitstellen eines Vakuums innerhalb der Gasseparationskammer 300 (bzw. des Gasseparationskanals 311), verringert werden kann, z. B. um das Volumen welches ein Volumenkörper 324v verdrängt. Umso geringer das Volumen ist, welches abgepumpt wird, desto schneller kann beispielsweise das Abpumpen des Kammergehäuses 104 erfolgen zum Herstellen von Prozessbereitschaft, z. B. nachdem das Kammergehäuse 104 belüftet wurde. Die Gasseparationskammer 300 kann eine Breite 404b entlang der Transportrichtung (z. B. entlang Richtung 101) aufweisen, welche kleiner ist als die Länge der Gasseparationskammer 300 quer zur Transportrichtung.This can be achieved, for example, that a volume in the gas separation chamber 300 (eg in the gas separation channel 311 ) which is pumped out to provide a vacuum within the gas separation chamber 300 (or the gas separation channel 311 ), can be reduced, for. B. the volume which is a solid 324v repressed. The lower the volume that is pumped out, the faster, for example, the pumping of the chamber housing 104 done to establish process readiness, z. B. after the chamber housing 104 was ventilated. The gas separation chamber 300 can be a width 404b along the transport direction (eg along direction 101 ), which is smaller than the length of the gas separation chamber 300 transverse to the transport direction.

4B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 oder einen Kammerdeckel 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen jeweils in einer Draufsicht (aus einer Richtung 105) oder einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 107 (vergleiche beispielsweise 23 oder 4A). 4B illustrates a gas separation chamber 300 or a chamber lid 100 According to various embodiments, each in a plan view (from one direction 105 ) or a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 107 (compare for example 23 or 4A ).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Trennsteg 110 (Trennelement 110) in die Grundplatte 102 integriert sein, z. B. kann der Trennsteg 110 ein Teil der Grundplatte 102 sein, z. B. kann der Trennsteg 110 als monolithisch mit der Grundplatte 102 verbundener Steg 110 ausgebildet sein.According to various embodiments, a divider 110 (Separating element 110 ) in the base plate 102 be integrated, for. B. can the divider 110 a part of the base plate 102 be, z. B. can the divider 110 as monolithic with the base plate 102 connected footbridge 110 be educated.

Dazu können zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b separat in die Grundplatte 102 getrieben, z. B. gefräst oder gebohrt, sein oder werden. Die Öffnungsbereiche 113a, 113b können derart eingerichtet (z. B. geformt und angeordnet) sein, dass eine an den Hochvakuumpumpe-Anschluss 126 angeschlossene Hochvakuumpumpe durch die zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b hindurch abpumpen kann. Mit anderen Worten können die zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b gemeinsam als Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a wirken, welche gemeinsam quer zu dem Trennsteg 110 (bzw. zur Längserstreckung des Trennstegs 110) einen Durchmesser 116d der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a definieren können.These can be two opening areas 113a . 113b separately in the base plate 102 driven, z. B. milled or drilled, be or become. The opening areas 113a . 113b may be configured (eg, molded and arranged) such that one connects to the high vacuum pump port 126 connected high vacuum pump through the two opening areas 113a . 113b can pump through. In other words, the two opening areas 113a . 113b together as a high vacuum pump connection opening 106a act, which together across the divider 110 (or to the longitudinal extent of the separating web 110 ) one diameter 116d the high vacuum pump port 106a can define.

Wie in 4B dargestellt ist, kann eine die zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b in der Kammer-Ebene begrenzende Umfangswandung im Wesentlichen (ausgenommen des Trennstegs 110) kreisförmig sein. Mit anderen Worten können die zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b im Wesentlichen eine gemeinsame kreisförmige Querschnittsfläche aufweisen. Beispielsweise kann die Ausdehnung dem Durchmesser eines Umkreises entsprechen, welcher alle gemeinsamen Durchgangsöffnungen (bzw. alle Öffnungsbereiche) einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung umgibt.As in 4B is shown, one of the two opening areas 113a . 113b in the chamber level limiting peripheral wall substantially (except the divider 110 ) be circular. In other words, the two opening areas 113a . 113b have a common circular cross-sectional area substantially. For example, the extent may correspond to the diameter of a circumference surrounding all common passage openings (or all opening areas) of a high-vacuum pump connection opening.

5A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu der in 3A und 4A gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z. B. quer zur Kammerdeckel-Ebene). 5A illustrates a gas separation chamber 300 according to various embodiments with a chamber lid 100 (eg analogous to the in 3A and 4A shown arrangement) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 (along the from direction 101 and direction 105 spanned level, z. B. across the chamber lid level).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in der Durchgangsöffnung 106a ein weiteres Trennelement 410 (zweites Trennelement 410) angeordnet sein, z. B. ein Trennsteg 410 oder ein Blech 410, analog zur vorangehenden Beschreibung. Mittels des weiteren Trennelements 410 kann die Durchgangsöffnung 106a in einen dritten Öffnungsbereich 113c separiert werden. Das weitere Trennelement 410 kann beispielsweise zwischen dem zweiten Öffnungsbereich 113b und dem dritten Öffnungsbereich 113c erstreckt sein. Das vorangehend beschriebene Trennelement 110 (erstes Trennelement 110) kann zwischen dem zweiten Öffnungsbereich 113b und dem ersten Öffnungsbereich 113a erstreckt sein. Das zweite Trennelement 410 kann Teil der Gasseparationsstruktur 312 sein.According to various embodiments, in the through hole 106a another separating element 410 (second separator 410 ), z. B. a divider 410 or a sheet 410 , analogous to the previous description. By means of the further separating element 410 can the passage opening 106a in a third opening area 113c be separated. The further separating element 410 For example, between the second opening area 113b and the third opening area 113c extends its. The separator described above 110 (first separator 110 ) can between the second opening area 113b and the first opening area 113a extends its. The second separator 410 can be part of the gas separation structure 312 be.

Passend zu dem zweiten Trennelement 410 kann in dem Kammergehäuse 104 eine weitere Gastrennwand 412 (zweite Gastrennwand 412) erstreckt sein. Die zweite Gastrennwand 412 kann analog zu der vorangehend beschriebenen Gastrennwand 112 (erste Gastrennwand 112) eingerichtet sein, z. B. angeordnet und geformt. Die zweite Gastrennwand 412 kann an das zweite Trennelement 410 angrenzen, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist. Die zweite Gastrennwand 412 kann einen dritten Bereich 111c von dem zweiten Bereich 111b gasseparieren. Die zweite Gastrennwand 412 kann Teil der Gasseparationsstruktur 312 sein.Fits the second separator 410 can in the chamber housing 104 another gas separation wall 412 (second gas separation wall 412 ) extends. The second gas separation wall 412 can analogously to the previously described gas separation wall 112 (first gas partition 112 ), z. B. arranged and shaped. The second gas separation wall 412 can be attached to the second separator 410 adjoin when the chamber lid 100 in the chamber opening 104o is included. The second gas separation wall 412 can a third area 111c from the second area 111b alley parry. The second gas separation wall 412 can be part of the gas separation structure 312 be.

5B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem in der Kammeröffnung 104o aufgenommenem Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu der in 3A und 4A gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z. B. quer zur Kammerdeckel-Ebene). 5B illustrates a gas separation chamber 300 according to various embodiments with one in the chamber opening 104o recorded chamber lid 100 (eg analogous to the in 3A and 4A shown arrangement) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 (along the from direction 101 and direction 105 spanned level, z. B. across the chamber lid level).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 100 zusätzlich zu der vorangehend beschriebenen Durchgangsöffnung 106a (erste Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a) eine weitere Durchgangsöffnung 106b (zweite Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106b) aufweisen. Analog zu der vorangehenden Beschreibung kann in der weiteren Durchgangsöffnung 106b ein Trennelement 110 angeordnet sein (vereinfacht dargestellt).According to various embodiments, the chamber lid 100 in addition to the passage opening described above 106a (first high vacuum pump port 106a ) another passage opening 106b (second high vacuum pump port 106b ) exhibit. Analogous to the preceding description, in the further passage opening 106b a separating element 110 be arranged (simplified).

Passend dazu kann die Gasseparationsstruktur 312 drei Gastrennwände 112 aufweisen, welche vier Bereiche 111a, 111b, 111c, 111d voneinander gasseparieren.Fits to the gas separation structure 312 three gas partitions 112 which have four areas 111 . 111b . 111c . 111d Gasparate each other.

6A und 6B veranschaulichen einen Kammerdeckel 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer Draufsicht (aus einer Richtung 105) oder einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 107 (vergleiche beispielsweise 2B), mit mehreren Trennelementen 110, analog zu 2A. 6A and 6B illustrate a chamber lid 100 According to various embodiments in a plan view (from one direction 105 ) or a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 107 (compare for example 2 B ), with several separators 110 , analogous to 2A ,

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können drei Trennelemente 110 in der Durchgangsöffnung 106a angeordnet sein, so dass vier Öffnungsbereiche 113a, 113b, 113c, 113d voneinander gassepariert sind.According to various embodiments, three separating elements 110 in the passage opening 106a be arranged so that four opening areas 113a . 113b . 113c . 113d are gas separated from each other.

Die Querschnittsflächen der vier Öffnungsbereiche 113a, 113b, 113c, 113d können an eine Vorgabe (z. B. eine vorgegebenes Verhältnis der Querschnittsflächen zueinander oder eine vorgegebene Aufteilung des Saugvermögens) angepasst sein. Soll beispielsweise ein größeres Saugvermögen durch den ersten Öffnungsbereich 113a hindurch bereitgestellt sein oder werden, kann das Trennelement 110, welches den ersten Öffnungsbereich 113a begrenzt, entsprechend versetzt werden, so dass die Querschnittsfläche des ersten Öffnungsbereichs 113a vergrößert wird.The cross-sectional areas of the four opening areas 113a . 113b . 113c . 113d can be adapted to a specification (eg a predetermined ratio of the cross-sectional areas to each other or a predetermined distribution of the pumping speed). For example, if a larger suction through the first opening area 113a be provided through, the separating element 110 which is the first opening area 113a limited, be offset accordingly, so that the cross-sectional area of the first opening area 113a is enlarged.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Querschnittsfläche des ersten Öffnungsbereichs 113a im Wesentlichen der Querschnittsfläche des zweiten Öffnungsbereichs 113b entsprechen. Analog dazu kann die Querschnittsfläche des dritten Öffnungsbereichs 113c im Wesentlichen der Querschnittsfläche des zweiten Öffnungsbereichs 113c entsprechen. Dies ermöglicht anschaulich ein gleichmäßiges Abpumpen.According to various embodiments, the cross-sectional area of the first opening area 113a essentially the cross-sectional area of the second opening area 113b correspond. Similarly, the cross-sectional area of the third opening area 113c essentially the cross-sectional area of the second opening area 113c correspond. This clearly allows a uniform pumping.

Analog zum vorangehend Beschriebenen können die Trennelemente 110 jeweils ein Blech 110 aufweisen, wie in 6A dargestellt ist, oder einen Trennsteg 110 aufweisen, wie in 6B dargestellt ist. Analogously to the above described, the separating elements 110 one sheet each 110 have, as in 6A is shown, or a divider 110 have, as in 6B is shown.

7 veranschaulicht einen Kammerdeckel 100 oder eine Gasseparationskammer 300 mit Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu 2A, 4B, 6A oder 6B) in einer schematischen Draufsicht, z. B. quer zur Kammerdeckel-Ebene oder einer Querschnittsansicht, z. B. entlang der Kammerdeckel-Ebene (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene), z. B. entlang einer Schnittebene 107. 7 illustrates a chamber lid 100 or a gas separation chamber 300 with chamber lid 100 (eg analogous to 2A . 4B . 6A or 6B ) in a schematic plan view, z. B. transverse to the chamber lid level or a cross-sectional view, for. B. along the chamber lid level (along the direction of 101 and direction 105 spanned level), z. B. along a cutting plane 107 ,

Der Kammerdeckel 100, welcher sich im Wesentlichen in der Kammerdeckel-Ebene erstrecken kann, kann in eine erste Richtung (Längserstreckung) längserstreckt sein und eine Länge 702l entlang der ersten Richtung (entlang Richtung 103) aufweisen. Die erste Richtung kann entlang der Kammerdeckel-Ebene verlaufen. Mit anderen Worten kann der Kammerdeckel 100 entlang der Kammerdeckel-Ebene längserstreckt sein. Der Kammerdeckel 100 kann quer zu der ersten Richtung (mit anderen Worten quer zu dessen Längserstreckung) eine Breite 702b (entlang Richtung 101) aufweisen, wobei die Breite 702b des Kammerdeckels 100 kleiner sein kann als die Länge 702l des Kammerdeckels 100.The chamber lid 100 which may extend substantially in the chamber lid plane may be longitudinally extended in a first direction (longitudinal extent) and a length 702L along the first direction (along direction 103 ) exhibit. The first direction may be along the chamber lid level. In other words, the chamber lid 100 be extended along the chamber lid level. The chamber lid 100 may be transverse to the first direction (in other words, transverse to its longitudinal extension) a width 702b (along direction 101 ), wherein the width 702b the chamber lid 100 can be smaller than the length 702L the chamber lid 100 ,

Die Breite des Kammerdeckels kann beispielsweise kleiner sein als ungefähr 75% der Länge (entlang der Längserstreckung) des Kammerdeckels, z. B. kleiner als ungefähr 50% der Länge des Kammerdeckels, z. B. kleiner als ungefähr 30% der Länge des Kammerdeckels. Die Länge des Kammerdeckels kann beispielsweise größer sein als 1 m, z. B. größer sein als 2 m, z. B. größer sein als 3 m.For example, the width of the chamber lid may be less than about 75% of the length (along the longitudinal extent) of the chamber lid, e.g. B. less than about 50% of the length of the chamber lid, z. B. less than about 30% of the length of the chamber lid. The length of the chamber lid, for example, be greater than 1 m, z. B. be greater than 2 m, z. B. be greater than 3 m.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei Durchgangsöffnungen 106a, 106c Teil einer ersten Durchgangsöffnungs-Reihe 706a (ersten Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungs-Reihe 706a) und zwei weitere Durchgangsöffnungen 106b, 106d Teil einer zweiten Durchgangsöffnungs-Reihe 706b (zweiten Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungs-Reihe 706a) sein.According to various embodiments, two through holes 106a . 106c Part of a first porthole series 706a (first high vacuum pump connection port series 706a ) and two further passage openings 106b . 106d Part of a second passage opening series 706b (second high vacuum pump connection port series 706a ) be.

An jede Durchgangsöffnung einer Durchgangsöffnungs-Reihe 706a, 706b kann eine Hochvakuumpumpe angeschlossen werden, welche analog dazu eine Hochvakuumpumpen-Reihe (Pumpreihe) bilden können. Die Pumpreihen können sich jeweils quer zur Transportrichtung erstrecken.At each passage opening of a passage opening row 706a . 706b can be connected to a high vacuum pump, which can form a high-vacuum pump series (pump series) analogous thereto. The pumping rows can each extend transversely to the transport direction.

Die Durchgangsöffnungen der erste Durchgangsöffnungs-Reihe 706a können auf eine Projektionsebene projiziert einander überlappen, z. B. vollständig überlappen, wobei sich die Projektionsebene quer zu der Kammerdeckelebene erstrecken kann. Beispielsweise kann die Projektionsebene quer zu einer Längserstreckung des Kammerdeckels 100 (in Richtung 103) verlaufen. Ist der Kammerdeckel 100 auf die Gasseparationskammer 300 aufgesetzt, kann sich die Projektionsebene entlang der Transportrichtung (Richtung 103) erstrecken.The through holes of the first passage opening row 706a can overlap on a projection plane projected overlapping each other, eg. B. completely overlap, wherein the projection plane can extend transversely to the chamber top layer. For example, the projection plane transverse to a longitudinal extent of the chamber lid 100 (in the direction 103 ). Is the chamber lid 100 on the gas separation chamber 300 mounted, the projection plane along the transport direction (direction 103 ).

Analog können die Durchgangsöffnungen jeder weiteren Durchgangsöffnungs-Reihe auf die Projektionsebene projiziert einander überlappen.Similarly, the passage openings of each further passage opening row projected onto the projection plane may overlap one another.

In jeder Durchgangsöffnung der Durchgangsöffnungs-Reihen 706a, 706b können analog zum vorangehend Beschriebenen jeweils ein Trennelement 110 oder mehrere Trennelemente 110 angeordnet sein.In each passage opening of the passage opening rows 706a . 706b can analogously to the above described in each case a separating element 110 or more separators 110 be arranged.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein die erste Durchgangsöffnungs-Reihen 706a (analog die zweite Durchgangsöffnungs-Reihen 706a) mehr als zwei Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungen 106a, 106c aufweisen, z. B. drei oder vier Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungen. Analog können die daran angeschlossene Pumpreihe drei oder vier Hochvakuumpumpen aufweisen.According to various embodiments, one of the first passage opening rows 706a (Analogously, the second passage opening rows 706a ) more than two high vacuum pump ports 106a . 106c have, for. B. three or four high vacuum pump port openings. Analogously, the pump series connected to it can have three or four high-vacuum pumps.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammerdeckel 100 mehr als zwei Durchgangsöffnungs-Reihen 706a, 706b aufweisen, z. B. drei, vier oder mehr als vier Durchgangsöffnungs-Reihen 706a, 706b. Analog können die daran angeschlossenen Hochvakuumpumpen drei, vier oder mehr als vier Pumpreihen bilden.According to various embodiments, a chamber lid 100 more than two passage opening rows 706a . 706b have, for. B. three, four or more than four passage opening rows 706a . 706b , Similarly, the connected high vacuum pumps can form three, four or more than four pumping rows.

8A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu der in 3A und 4A gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 eine Hochvakuumpumpe 804a, z. B. eine Turbomolekularpumpe (TMP), angeschlossen ist. 8A illustrates a gas separation chamber 300 with a chamber lid 100 (eg analogous to the in 3A and 4A shown arrangement) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 , being attached to the chamber lid 100 a high vacuum pump 804a , z. As a turbomolecular pump (TMP) is connected.

Der Hochvakuumpumpen-Anschluss 126 kann ein Rohr 802 (oder einen Rohransatz 802) aufweisen, welcher sich von der Durchgangsöffnung 106a weg erstreckt. Das Trennelement 110 kann in das Rohr 802 hinein erstreckt sein, so dass ein Abstand zwischen dem Trennelement 110 und der Hochvakuumpumpe 804a möglichst klein ist. Beispielsweise kann das Trennelement 110 bis an ein Schutzgitter 814 (gestrichelt dargestellt) der Hochvakuumpumpe 804a heranreichen.The high vacuum pump connection 126 can a pipe 802 (or a pipe socket 802 ), which extends from the passage opening 106a extends away. The separating element 110 can in the pipe 802 extends into it, so that a distance between the separating element 110 and the high vacuum pump 804a as small as possible. For example, the separating element 110 to a protective grid 814 (shown in dashed lines) of the high vacuum pump 804a come close.

Mittels eines derartigen Kammerdeckels 100 können beispielsweise zwei gasseparierte Bereiche 111a, 111b einer herkömmlichen Gasseparationskammer mit einer geringeren Anzahl von Hochvakuumpumpen abgepumpt werden. Dies kann Kosten sparen, einen einfacheren Aufbau der Gasseparationskammer ermöglichen und die Wirtschaftlichkeit leistungsfähigerer Hochvakuumpumpen ermöglichen.By means of such a chamber lid 100 For example, two gas-separated areas 111 . 111b a conventional gas separation chamber with a smaller number of high vacuum pumps are pumped. This can Save costs, enable a simpler construction of the gas separation chamber and enable the efficiency of more powerful high-vacuum pumps.

Alternativ können zwei gasseparierte Bereiche 111a, 111b einer Gasseparationskammer 300 mittels lediglich einer Pumpreihe 806a (mehrere in einer Reihe angeordnete Hochvakuumpumpen 804a) abgepumpt werden, was eine kleinere (z. B. kürzere) Gasseparationskammer ermöglicht. Beispielsweise kann die Hochvakuumpumpe 804a Teil einer Pumpreihe 806a sein.Alternatively, two gas-separated areas 111 . 111b a gas separation chamber 300 by means of only one pump row 806a (several high vacuum pumps arranged in a row 804a ), allowing for a smaller (eg, shorter) gas separation chamber. For example, the high vacuum pump 804a Part of a pump series 806a be.

8B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu der in 3A, 4A und 8A gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 mehrere Hochvakuumpumpen 804a, 804b angeschlossen sind. 8B illustrates a gas separation chamber 300 with a chamber lid 100 (eg analogous to the in 3A . 4A and 8A shown arrangement) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 , being attached to the chamber lid 100 several high vacuum pumps 804a . 804b are connected.

Die vorangehend beschriebene Hochvakuumpumpe 804a (erste Hochvakuumpumpe 804a) kann Teil einer ersten Pumpreihe 806a sein. Eine zweite Hochvakuumpumpe 804b kann Teil einer zweiten Pumpreihe 806b sein.The above-described high vacuum pump 804a (first high vacuum pump 804a ) can be part of a first pump series 806a be. A second high vacuum pump 804b can be part of a second pump series 806b be.

Die Gasseparationsstruktur 312 kann derart eingerichtet sein, dass vier Bereiche 111a, 111b, 111c, 111d voneinander gassepariert sein können. Ferner kann jeder der vier Bereiche 111a, 111b, 111c, 111d durch jeweils eine Durchgangsöffnung in der Kanalwand 322 hindurch mit dem Gasseparationskanal 311 verbunden sein zum Abpumpen des Gasseparationskanals 311 (vierstufiger Pumpzugriff).The gas separation structure 312 can be set up so that four areas 111 . 111b . 111c . 111d can be gas separated from each other. Furthermore, each of the four areas 111 . 111b . 111c . 111d by a passage opening in the channel wall 322 through to the gas separation channel 311 be connected to pump out the gas separation channel 311 (four-stage pump access).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 100 ein Deckelgehäuse 904 zum Aufnehmen einer Hochvakuumpumpe 804a aufweisen. Analog dazu können die Hochvakuumpumpen 804a, 804b einer Pumpreihe 806a, 806b in einem Deckelgehäuse 904 angeordnet sein.According to various embodiments, the chamber lid 100 a lid housing 904 for picking up a high vacuum pump 804a exhibit. Analogously, the high-vacuum pumps 804a . 804b a pump series 806a . 806b in a lid housing 904 be arranged.

9A und 9B veranschaulichen jeweils eine Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu der beispielsweise in 3A, 4A, 8A und 8B gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 mehrere Hochvakuumpumpen 804a, 804b angeschlossen sind. 9A and 9B each illustrate a gas separation chamber 300 with a chamber lid 100 (For example, analogous to the example in 3A . 4A . 8A and 8B shown arrangement) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 , being attached to the chamber lid 100 several high vacuum pumps 804a . 804b are connected.

Wie vorangehend beschrieben ist, kann die Gasseparationsstruktur 312 derart eingerichtet sein, z. B. mit mehreren Trennelementen 110 (vergleiche beispielsweise 6A und 6B) und mehreren Gastrennwänden 112, dass mehrere gasseparierte Bereiche bereitgestellt werden können (mit anderen Worten mehrere Pumpstufen), z. B. mehr als vier, z. B. mehr als zehn gasseparierte Bereiche (Pumpstufen). Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann durch die mehreren gasseparierten Bereiche hindurch der Gasseparationskanal 311 abgepumpt werden.As described above, the gas separation structure 312 be set up such. B. with multiple separators 110 (compare for example 6A and 6B ) and several gas partitions 112 in that a plurality of gas-separated areas can be provided (in other words, a plurality of pump stages), e.g. B. more than four, z. B. more than ten gas-separated areas (pumping stages). According to various embodiments, the gas separation channel may pass through the plurality of gas-separated regions 311 be pumped out.

10 veranschaulichen jeweils eine Gasseparationskammer 300 in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. einem Querschnitt entlang der Transportrichtung (Richtung 101). 10 each illustrate a gas separation chamber 300 in a schematic cross-sectional view, z. B. a cross section along the transport direction (direction 101 ).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement 110 zumindest in die erste Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a hineinragen. Das Trennelement 110 kann beispielsweise in ein Rohr 1304 des Hochvakuumpumpen-Anschlusses 126 hineinragen und in dem Rohr 1304 und damit an dem Kammerdeckel 100 befestigt sein.According to various embodiments, the separating element 110 at least in the first high vacuum pump port 106a protrude. The separating element 110 For example, in a pipe 1304 the high vacuum pump connection 126 protrude and in the pipe 1304 and thus on the chamber lid 100 be attached.

Ist das Trennelement 110 an dem Kammerdeckel 100 befestigt, kann dieser gemeinsam mit dem Kammerdeckel 100 von der Gastrennwand 112 abnehmbar eingerichtet sein. Damit das Trennelement 110 mit der Gastrennwand 112 gasdicht (z. B. vakuumdicht) verbunden ist, wenn der Kammerdeckel 100 auf dem Kammergehäuse 104 aufliegt, bzw. in der Kammeröffnung 104o des Kammergehäuses 104 aufgenommen ist, kann zwischen dem Trennelement 110 und der Gastrennwand 112 eine Dichtungsstruktur 112d angeordnet sein, welche einen Spalt zwischen dem Trennelement 110 und der Gastrennwand 112 abdichtet.Is the separating element 110 on the chamber lid 100 attached, this can be shared with the chamber lid 100 from the gas wall 112 be removable. So that the separating element 110 with the gas separation wall 112 gastight (eg vacuum-tight) is connected when the chamber lid 100 on the chamber housing 104 rests, or in the chamber opening 104o of the chamber housing 104 is included, can between the separator 110 and the gas separation wall 112 a sealing structure 112d be arranged, which has a gap between the separating element 110 and the gas separation wall 112 seals.

Die Dichtungsstruktur 112d kann beispielsweise eine Gummidichtung aufweisen, z. B. eine Dichtlippe oder eine Profildichtung. Dazu kann die Dichtungsstruktur 112d ein elastisches Material aufweisen, z. B. einen Kautschuk oder ein Silikon.The seal structure 112d For example, may have a rubber seal, z. B. a sealing lip or a profile seal. This may be the sealing structure 112d having an elastic material, for. As a rubber or silicone.

Alternativ kann die Dichtungsstruktur 112d eine andere Dichtung, z. B. eine Labyrinthdichtung oder eine Nut, welche einen dazu passenden Vorsprung umgreift, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist.Alternatively, the sealing structure 112d another seal, z. As a labyrinth seal or a groove which engages a mating projection when the chamber lid 100 in the chamber opening 104o is included.

Die Dichtungsstruktur 112d kann beispielsweise an dem Trennelement 110 befestigt sein oder alternativ an der Gastrennwand 112. Die Dichtungsstruktur 112d kann sich zumindest über eine Ausdehnung der Kammeröffnung 104o (quer zur Transportrichtung), mit anderen Worten über eine Breite der Kammeröffnung 104o erstrecken, so dass diese den gesamten Spalt zwischen dem Trennelement 110 und der Gastrennwand 112 abdichtet.The seal structure 112d can, for example, on the separator 110 be attached or alternatively on the gas wall 112 , The seal structure 112d may be at least about an extension of the chamber opening 104o (Transversely to the transport direction), in other words over a width of the chamber opening 104o extend so that it covers the entire gap between the separator 110 and the gas separation wall 112 seals.

Ist die Dichtungsstruktur 112d z. B. an der Gastrennwand 112 befestigt, z. B. an einer Kante der Gastrennwand 112, kann diese sich auch über eine Ausdehnung der Gastrennwand 112 (quer zur Transportrichtung), mit anderen Worten über eine Breite der Gastrennwand 112 erstrecken, so dass diese den gesamten Spalt zwischen der Gastrennwand 112 und dem Kammerdeckel 100 abdichtet. Beispielsweise kann sich die Dichtungsstruktur 112d über eine Ausdehnung der Gasseparationskammer 300, mit anderen Worten von einer Vakuumkammer-Seitenwand zu einer gegenüberliegenden Vakuumkammer-Seitenwand des Kammergehäuses 104 erstrecken, wobei sich die Vakuumkammer-Seitenwände entlang der Transportrichtung erstrecken und die Gasseparationskammer 300 entlang der Transportrichtung begrenzen.Is the seal structure 112d z. B. on the gas wall 112 attached, z. B. at an edge of the gas separation wall 112 , this can also be an extension of the gas separation wall 112 (transverse to the transport direction), in other words, over one Width of the gas partition 112 extend so that this covers the entire gap between the gas separation wall 112 and the chamber lid 100 seals. For example, the sealing structure may 112d over an extension of the gas separation chamber 300 in other words, from a vacuum chamber sidewall to an opposing vacuum chamber sidewall of the chamber housing 104 extend, wherein the vacuum chamber side walls extend along the transport direction and the gas separation chamber 300 limit along the transport direction.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Hochvakuumpumpen-Anschluss 126 (z. B. jeder Hochvakuumpumpen-Anschluss 126) einen Anschlussflansch 1302 aufweisen, an welchem eine Hochvakuumpumpe 804a, 804b befestigt sein oder werden kann. Beispielsweise kann der Anschlussflansch 1302 passend zu einem Gegenflansch an der Hochvakuumpumpe 804a, 804b eingerichtet sein, so dass diese mittels Schrauben oder mittels Klemmen an dem Anschlussflansch 1302 befestigt sein oder werden kann.According to various embodiments, a high vacuum pump port 126 (eg every high vacuum pump connection 126 ) a connection flange 1302 at which a high vacuum pump 804a . 804b be attached or can be. For example, the connection flange 1302 suitable for a counter flange on the high vacuum pump 804a . 804b be set up so that these by means of screws or clamps on the flange 1302 be attached or can be.

11A, 11B und 11C veranschaulichen jeweils eine Gasseparationskammer 300 in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. einem Querschnitt entlang der Transportrichtung (Richtung 101) mit aufgesetztem Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu 2A, 4B, 6A oder 6B). 11A . 11B and 11C each illustrate a gas separation chamber 300 in a schematic cross-sectional view, z. B. a cross section along the transport direction (direction 101 ) with attached chamber lid 100 (eg analogous to 2A . 4B . 6A or 6B ).

Herkömmlicherweise befindet sich zwischen den unterschiedlichen Prozessbedingungen ein Gasseparationskanal 311, welcher an die Dicke 306d (Höhe 306d) des Substrats 306 (Substratdicke 306d, bzw. Carrierhöhe 306d) und an die Breite des Substrats 306 (Substratbreite), mit anderen Worten die Ausdehnung des Substrats quer zur Transportrichtung (z. B. quer zur Richtung 101 und quer zur Richtung 105, die Carrierbreite) angepasst ist.Conventionally, there is a gas separation channel between the different process conditions 311 , which is the thickness 306d (Height 306d ) of the substrate 306 (Substrate thickness 306d , or carrier height 306d ) and to the width of the substrate 306 (Substrate width), in other words the extension of the substrate transversely to the transport direction (eg., Transversely to the direction 101 and across the direction 105 , the carrier width) is adjusted.

Aus fertigungs- und montageseitigen Gründen weist die Kanalwand 322 (weitere Gastrennwand 322) herkömmlicherweise einen Mindestabstand zum Substrat 306 auf, z. B. damit ein Kontakt zwischen dem Substrat 306 und der Kanalwand 322 vermieden werden kann, z. B. beim Transportieren des Substrats 306 durch den Gasseparationskanal 311 hindurch. Aufgrund des verbleibenden Spalts 1104 zwischen Substrat 306 und Kanalwand 322 wird der Leitwert des Gasseparationskanals 311 anlagenspezifisch nach unten hin begrenzt. Mit anderen Worten ist die maximal erreichbare Gastrennung (Gasseparation) mittels des Gasseparationskanals 311 aufgrund des verbleibenden Spalts 1104 beschränkt.For manufacturing and assembly reasons, the channel wall 322 (further gas separation wall 322 ) conventionally a minimum distance to the substrate 306 on, z. B. thus a contact between the substrate 306 and the canal wall 322 can be avoided, for. B. when transporting the substrate 306 through the gas separation channel 311 therethrough. Due to the remaining gap 1104 between substrate 306 and canal wall 322 becomes the conductance of the gas separation channel 311 plant-specific limited downwards. In other words, the maximum achievable gas separation (gas separation) by means of the gas separation channel 311 due to the remaining gap 1104 limited.

Umso größer eine Querschnittsfläche (und/oder eine Höhe 311d) des Gasseparationskanals 311 ist, desto größer kann der verbleibende Spalt 1104 zwischen Substrat 306 und Kanalwand 322 sein, was den Leitwert des Gasseparationskanals 311 vergrößert.The larger a cross-sectional area (and / or a height 311d ) of the gas separation channel 311 is, the larger the remaining gap 1104 between substrate 306 and canal wall 322 be what the guiding value of the gas separation channel 311 increased.

Die Querschnittsfläche (und/oder die Höhe 311d) des Gasseparationskanals 311 kann beispielsweise von dem Abstand 311d der Kanalwand 322 zu einer den Gasseparationskanal 311 begrenzenden Kammerwand 104s (Kammerboden 104s) definiert sein. Ferner kann die Querschnittsfläche des Gasseparationskanals 311 von der Breite des Gasseparationskanals 311 (quer zur Richtung 105 und Richtung 101) definiert sein.The cross-sectional area (and / or height 311d ) of the gas separation channel 311 for example, from the distance 311d the canal wall 322 to a gas separation channel 311 bounding chamber wall 104s (Chamber floor 104s ). Furthermore, the cross-sectional area of the gas separation channel 311 from the width of the gas separation channel 311 (transverse to the direction 105 and direction 101 ).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in dem Gasseparationskanal 311 eine steilbare Blendenstruktur 1102 angeordnet sein zum Verringern der Querschnittsfläche (und/oder der Höhe 311d) des Gasseparationskanals 311 auf eine effektive Querschnittsfläche (und/oder effektive Höhe 1102d)According to various embodiments, in the gas separation channel 311 a steep aperture structure 1102 be arranged to reduce the cross-sectional area (and / or the height 311d ) of the gas separation channel 311 on an effective cross-sectional area (and / or effective height 1102d )

Die Blendenstruktur 1102 kann z. B. eine in den Gasseparationskanal 311 hineinragende Blende 1102 aufweisen, z. B. ein Blech 1102, z. B. ein bewegbar gelagertes Blech 1102, z. B. ein mittels eines Scharniers an der Kanalwand 322 befestigtes Blech 1102, so dass das Blech 1102 mittels Verstellens (mit anderen Worten mittels Stellens) bewegt werden kann.The aperture structure 1102 can z. B. one in the gas separation channel 311 protruding aperture 1102 have, for. B. a sheet 1102 , z. B. a movably mounted sheet 1102 , z. B. a means of a hinge on the channel wall 322 fixed sheet metal 1102 so that the sheet metal 1102 can be moved by means of Verstellens (in other words by means of placement).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann z. B. jeweils an den Ein- und Ausgangsöffnungen des Gasseparationskanals 311 (z. B. an den Substrat-Transfer-Öffnungen 302, 304), oder jeweils an den Durchgangsöffnungen 312a, 312b in der Gasseparationsstruktur 312 mindestens eine Blende 1102 angeordnet sein.According to various embodiments, z. B. respectively at the inlet and outlet openings of the gas separation channel 311 (eg at the substrate transfer openings 302 . 304 ), or at each of the through holes 312a . 312b in the gas separation structure 312 at least one aperture 1102 be arranged.

Die Blende 1102 kann derart eingerichtet sein, dass diese in den Gasseparationskanal 311 hineinragt. Die effektive Querschnittsfläche (und/oder die effektive Höhe 1102d) des Gasseparationskanals 311 kann von dem geringsten Abstand 1102d der Blende 1102 zu der den Gasseparationskanal 311 begrenzenden Kammerwand 104s (z. B. dem Kammerboden 104s) definiert sein. Mit anderen Worten kann die effektive Querschnittsfläche (und/oder die effektive Höhe 1102d) des Gasseparationskanals 311 von dem auf eine quer zur Transportrichtung (oder Transportebene 301) verlaufende Ebene projizierten Abstand 1102d der Blende 1102 zu der den Gasseparationskanal 311 begrenzenden Kammerwand 104s (z. B. dem Kammerboden 104s) definiert sein.The aperture 1102 may be arranged such that these in the gas separation channel 311 protrudes. The effective cross-sectional area (and / or effective height 1102d ) of the gas separation channel 311 can be from the smallest distance 1102d the aperture 1102 to the the gas separation channel 311 bounding chamber wall 104s (eg the chamber floor 104s ). In other words, the effective cross-sectional area (and / or effective height 1102d ) of the gas separation channel 311 of which on a transversely to the transport direction (or transport plane 301 ) extending plane projected distance 1102d the aperture 1102 to the the gas separation channel 311 bounding chamber wall 104s (eg the chamber floor 104s ).

Ferner kann die effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals 311 von der Breite des Gasseparationskanals 311 (quer zur Richtung 105 und Richtung 101) definiert sein.Furthermore, the effective cross-sectional area of the gas separation channel 311 from the width of the gas separation channel 311 (transverse to the direction 105 and direction 101 ).

Die Blende 1102 kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass diese zum Stellen der Blende 1002 von Hand verformbar und/oder bewegbar ist. Dies ermöglicht eine abschließende Feinjustierung der Kanalöffnung (mit anderen Worten der Querschnittsfläche des Gasseparationskanals 311), z. B. nach der Anlagenmontage, und damit eine Minimierung des Leitwerts des Gasseparationskanals 311. Ein geringerer Leitwert des Gasseparationskanals 311 erlaubt potentiell, Anlagen kürzer zu bauen, was sich kostensenkend auswirken kann. The aperture 1102 For example, it can be set up in such a way that it is used to set the aperture 1002 deformable by hand and / or is movable. This allows a final fine adjustment of the channel opening (in other words, the cross-sectional area of the gas separation channel 311 ), z. B. after plant installation, and thus a minimization of the conductance of the gas separation channel 311 , A lower conductance of the gas separation channel 311 potentially allowing plants to be built shorter, which can reduce costs.

Alternativ kann die Blende 1102 mit einem Stellglied gekuppelt sein, welches es ermöglicht, die Blende 1102 mittels eines elektrischen Signals, welches auf das Stellglied übertragen wird, z. B. reversibel, zu stellen. Dazu kann das Stellglied in Abhängigkeit des elektrischen Signals eine mechanische Kraft auf die Blende 1102 übertragen. Dies ermöglicht beispielsweise eine reversible Feinjustierung der Kanalöffnung (z. B. während des Betriebs der Prozessanlage).Alternatively, the aperture 1102 be coupled with an actuator, which makes it possible, the aperture 1102 by means of an electrical signal which is transmitted to the actuator, for. B. reversible to ask. For this purpose, the actuator in dependence of the electrical signal, a mechanical force on the panel 1102 transfer. This allows, for example, a reversible fine adjustment of the channel opening (eg during operation of the process plant).

Alternativ kann die mechanische Kraft von Hand, z. B. mittels eines Stellrads oder eines Stellhebels, auf die Blende 1102 übertragen werden.Alternatively, the mechanical force by hand, z. B. by means of a thumbwheel or a control lever on the panel 1102 be transmitted.

Mittels Stellens der Blende 1102 kann beispielsweise ein Winkel zwischen der Blende 1102 und der Kanalwand 322 oder der Abstand der Blende 1102 zu dem Kammerboden 104s verändert werden, so dass die effektive Höhe 1102d verändert wird. Mit anderen Worten kann mittels Stellens der Blende 1102 die effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals 311 verändert werden.By placing the aperture 1102 For example, an angle between the aperture 1102 and the canal wall 322 or the distance of the aperture 1102 to the chamber floor 104s be changed, so that the effective height 1102d is changed. In other words, by placing the aperture 1102 the effective cross-sectional area of the gas separation channel 311 to be changed.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zwischen zwei Durchgangsöffnungen 312a, 312b in der Kanalwand 322 eine Blendenstruktur mit zwei Blenden 1102 angeordnet sein, wie in 11B veranschaulicht ist.According to various embodiments, between two through holes 312a . 312b in the canal wall 322 a diaphragm structure with two panels 1102 be arranged as in 11B is illustrated.

Weist die Kanalwand 322 mehr als zwei Durchgangsöffnungen 312a, 312b (mehrere Durchgangsöffnungen) auf, kann die Blendenstruktur 1102 mehrere Blenden 1102 aufweisen, welche jeweils zwischen zwei Durchgangsöffnungen 312a, 312b der mehreren Durchgangsöffnungen 312a, 312b der Kanalwand 322 angeordnet sind, wie in 11C veranschaulicht ist.Indicates the canal wall 322 more than two through holes 312a . 312b (multiple passages), the aperture structure can 1102 several apertures 1102 each having between two through holes 312a . 312b the multiple passage openings 312a . 312b the canal wall 322 are arranged as in 11C is illustrated.

12A und 12B veranschaulichen jeweils eine Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z. B. analog zu der in 3A, 4A, 8A und 8B gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z. B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 mehrere Hochvakuumpumpen 804a, 804b angeschlossen sind. 12A and 12B each illustrate a gas separation chamber 300 with a chamber lid 100 (eg analogous to the in 3A . 4A . 8A and 8B shown arrangement) in a schematic cross-sectional view, z. B. along a cutting plane 109 , being attached to the chamber lid 100 several high vacuum pumps 804a . 804b are connected.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer 300 ein Transportsystem 324 aufweisen, analog zu der in 4A dargestellten Anordnung, zum Transportieren eines Substrats 306 entlang einer Transportrichtung durch die Gasseparationskammer 300 hindurch. Die Gasseparationskammer 300 kann entlang der Transportrichtung (z. B. von der ersten Verbindungsöffnung 302 in Richtung der zweiten Verbindungsöffnung 304) mittels Vakuumkammer-Seitenwänden 104a, 104b, welche sich quer zu der Transportrichtung erstrecken, begrenzt sein. Die Vakuumkammer-Seitenwände 104a, 104b können stoffschlüssig Teil des Kammergehäuses 104 sein, d. h. stoffschlüssig mit dem Kammergehäuse 104 verbunden sein. Die Vakuumkammer-Seitenwände 104a, 104b können eine Dicke entlang der Transportrichtung aufweisen, welche größer ist, als eine Dicke der Gasseparationsplatten 112 (mit anderen Worten der Gastrennwände 112), z. B. mindestens doppelt so groß wie die Dicke der Gasseparationsplatten 112.According to various embodiments, a gas separation chamber 300 a transport system 324 have, analogous to in 4A illustrated arrangement, for transporting a substrate 306 along a transport direction through the gas separation chamber 300 therethrough. The gas separation chamber 300 can along the transport direction (eg., From the first connection opening 302 in the direction of the second connection opening 304 ) by means of vacuum chamber sidewalls 104a . 104b , which extend transversely to the transport direction, be limited. The vacuum chamber sidewalls 104a . 104b can cohesively part of the chamber housing 104 be, ie cohesively with the chamber housing 104 be connected. The vacuum chamber sidewalls 104a . 104b may have a thickness along the transport direction which is larger than a thickness of the gas separation plates 112 (in other words the gas partitions 112 ), z. B. at least twice as large as the thickness of the gas separation plates 112 ,

Beispielsweise kann die Dicke der Vakuumkammer-Seitenwände 104a, 104b, welche sich quer zu der Transportrichtung erstrecken, entlang der Transportrichtung in einem Bereich von ungefähr 1,5 cm bis ungefähr 5 cm liegen, und eine Dicke der Gasseparationsplatten 112, welche sich quer zu der Transportrichtung erstrecken, entlang der Transportrichtung in einem Bereich von ungefähr 1 mm bis ungefähr 10 mm liegen.For example, the thickness of the vacuum chamber side walls 104a . 104b , which extend transversely to the transport direction, are in the range of about 1.5 cm to about 5 cm along the transport direction, and a thickness of the gas separation plates 112 , which extend transversely to the transport direction, along the transport direction in a range of about 1 mm to about 10 mm.

Wie vorangehend beschrieben ist, kann die Gasseparationskammer 300 entlang der Transportrichtung von weiteren einander gegenüberliegenden Vakuumkammer-Seitenwänden, welche sich entlang der Transportrichtung erstrecken, begrenzt sein. Die Vakuumkammer-Seitenwände, welche zusammen die Gasseparationskammer 300 begrenzen, können jeweils paarweise aneinander grenzen und anschaulich einen Kammerinnenraum der Gasseparationskammer 300 umgeben oder zumindest definieren. Jede der Vakuumkammer-Seitenwände kann mit einer angrenzenden Vakuumkammer-Seitenwand stoffschlüssig verbunden sein, z. B. verschweißt sein, z. B. vakuumdicht verbunden sein.As described above, the gas separation chamber 300 be limited along the transport direction of further opposing vacuum chamber side walls, which extend along the transport direction. The vacuum chamber side walls, which together form the gas separation chamber 300 limit, each pair adjacent to each other and vividly a chamber interior of the gas separation chamber 300 surround or at least define. Each of the vacuum chamber side walls may be materially bonded to an adjacent vacuum chamber side wall, e.g. B. welded, z. B. be connected vacuum-tight.

Die Gasseparationsstruktur 312 kann mehrere Gasseparationsplatten 112 aufweisen, welche derart in der Gasseparationskammer 300 angeordnet sind, dass sie in Transportrichtung mindestens zwei Bereiche, wie in 3A dargestellt ist, z. B. drei Bereiche 111a, 111b, 111c, wie in 5A dargestellt ist, oder z. B. vier Bereiche 111a, 111b, 111c, 111d, wie in 5B oder 12A dargestellt ist, voneinander gasseparieren. Beispielsweise können sich mindestens drei Gasseparationsplatten 112 quer zu der Transportrichtung (welche beispielsweise entlang oder entgegen Richtung 101 zeigen kann) erstrecken.The gas separation structure 312 can have several gas separation plates 112 which are so in the gas separation chamber 300 are arranged in the transport direction at least two areas, as in 3A is shown, for. B. three areas 111 . 111b . 111c , as in 5A is shown, or z. B. four areas 111 . 111b . 111c . 111d , as in 5B or 12A is shown, gasseparieren from each other. For example, at least three gas separation plates 112 transverse to the transport direction (which, for example, along or opposite direction 101 can show).

Mindestens einer der Bereiche, z. B. ein mittlerer Bereich 111b, analog zu 5A oder 11C, oder z. B. zwei mittlere Bereiche 111b, 111c, wie in 12A dargestellt ist, können jeweils durch eine Durchgangsöffnung 312b, 312c in der Gasseparationsstruktur 312 hindurch mit dem Gasseparationskanal 311 verbunden sein, so dass der Gasseparationskanal 311 durch die mittleren Bereiche 111b, 111c hindurch abgepumpt werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gasseparationsstruktur 312 (oder können zumindest die Gasseparationsplatten 112) in das Kammergehäuse 104 eingesteckt sein. At least one of the areas, e.g. B. a middle area 111b , analogous to 5A or 11C , or z. B. two middle areas 111b . 111c , as in 12A is shown, each through a through hole 312b . 312c in the gas separation structure 312 through to the gas separation channel 311 be connected so that the gas separation channel 311 through the middle areas 111b . 111c can be pumped through. According to various embodiments, the gas separation structure 312 (or at least the gas separation plates 112 ) in the chamber housing 104 be plugged.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 104 mindestens eine weitere Verbindungsöffnung (auch als Prozesspumpöffnung bezeichnet) zum Anschließen des Kammergehäuses 104 an ein gemeinsames Vakuumsystem einer Prozessieranlage aufweisen, z. B. zwei Prozesspumpöffnungen 1204, 1206, wie in 12A dargestellt ist.According to various embodiments, the chamber housing 104 at least one further connection opening (also referred to as a process pumping opening) for connecting the chamber housing 104 to a common vacuum system of a processing plant, z. B. two Prozesspumpöffnungen 1204 . 1206 , as in 12A is shown.

Die zwei Prozesspumpöffnungen 1204, 1206 können an die äußeren Bereiche 111a, 111d (z. B. an den ersten Bereich 111a und den vierten Bereich 111d, z. B. auch an den ersten Bereich 111a und den dritten Bereich 111c, analog zu 5A) angrenzen, so dass die zwei Prozesspumpöffnungen 1204, 1206 jeweils mit mindestens einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung verbunden werden können. Damit kann erreicht werden, dass mindestens ein der Gasseparationskammer 300 benachbarter Prozess einer Prozessieranlage mittels der Gasseparationskammer 300 abgepumpt werden kann.The two process pump openings 1204 . 1206 can be attached to the outer areas 111 . 111d (eg to the first area 111 and the fourth area 111d , z. B. also to the first area 111 and the third area 111c , analogous to 5A ) so that the two process pump openings 1204 . 1206 each can be connected to at least one high vacuum pump port. This can be achieved that at least one of the gas separation chamber 300 adjacent process of a processing plant by means of the gas separation chamber 300 can be pumped out.

Dabei können die äußeren Bereiche 111a, 111d (d. h. die Bereiche, welche an die Vakuumkammer-Seitenwände 104a, 104b angrenzen, z. B. auch an der erste Bereich 111a und der dritte Bereich 111c, analog zu 5A) beispielsweise mittels der Gasseparationsstruktur 312 von dem Gasseparationskanal 311 getrennt sein (z. B. vakuumdicht). Mit anderen Worten können die erste Durchgangsöffnung 312a und eine entsprechende vierte Durchgangsöffnung 312d (vergleiche 12B) in der Kanalwand 322 fehlen oder abgedichtet sein, z. B. permanent mittels einer Platte oder mittels eines verstellbaren Ventils. Die Kanalwand 322 kann dann lediglich zwei Durchgangsöffnungen 312b, 312c aufweisen, welche die mittleren Bereiche 111b, 111c mit dem Gasseparationskanal 311 verbinden.This can be the outer areas 111 . 111d (ie, the areas attached to the vacuum chamber sidewalls 104a . 104b adjoin, z. B. also at the first area 111 and the third area 111c , analogous to 5A ), for example by means of the gas separation structure 312 from the gas separation channel 311 be separate (eg vacuum-tight). In other words, the first passage opening 312a and a corresponding fourth passage opening 312d (see 12B ) in the canal wall 322 be missing or sealed, z. B. permanently by means of a plate or by means of an adjustable valve. The canal wall 322 then only two through holes 312b . 312c which have the middle areas 111b . 111c with the gas separation channel 311 connect.

Wird das Substrat beispielsweise in eine Transportrichtung transportiert, welche von der ersten Verbindungsöffnung 302 in Richtung der zweiten Verbindungsöffnung 304 zeigt (z. B. entlang Richtung 101), kann eine vorangehende Vakuumkammer 1002b (nicht dargestellt, vergleiche 13) mit einem vorangehenden Prozess (z. B. einem Sputterprozess) mittels einer ersten Prozesspumpöffnung 1204 abgepumpt werden und eine nachfolgende Vakuumkammer 1002d (nicht dargestellt, vergleiche 13) mit einem nachfolgenden Prozess kann mittels einer zweiten Prozesspumpöffnung 1206 abgepumpt werden.If the substrate is transported, for example, in a transport direction, which from the first connection opening 302 in the direction of the second connection opening 304 shows (eg along direction 101 ), can be a preceding vacuum chamber 1002b (not shown, compare 13 ) with a preceding process (eg, a sputtering process) by means of a first process pumping port 1204 be pumped and a subsequent vacuum chamber 1002d (not shown, compare 13 ) with a subsequent process can by means of a second process pumping opening 1206 be pumped out.

Analog kann die Gasseparationskammer 300 auch nur eine Prozesspumpöffnung 1204 aufweisen, wobei der vierte Bereich durch eine vierte Durchgangsöffnung 312d mit dem Gasseparationskanal 311 verbunden sein kann, wie in 12B dargestellt ist. Beispielsweise kann die zweite Prozesspumpöffnung 1206 fehlen oder abgedichtet sein, z. B. permanent mittels einer Platte oder mittels eines verstellbaren Ventils. Mit anderen Worten können in Abhängigkeit der erforderlichen Prozessbedingungen ein benachbarter Prozess oder auch zwei benachbarte Prozesse mittels der Gasseparationskammer 300 abgepumpt werden, ohne das Abpumpen des Gasseparationskanals 311 unterbrechen zu müssen oder zumindest wesentlich zu beeinträchtigen.Analogous to the gas separation chamber 300 even just a process pump opening 1204 , wherein the fourth region through a fourth passage opening 312d with the gas separation channel 311 can be connected, as in 12B is shown. For example, the second process pumping opening 1206 be missing or sealed, z. B. permanently by means of a plate or by means of an adjustable valve. In other words, depending on the required process conditions, an adjacent process or even two adjacent processes by means of the gas separation chamber 300 be pumped out, without pumping the gas separation channel 311 to interrupt or at least significantly affect.

Mit anderen Worten kann die Saugleistung der an die Gasseparationskammer 300 (z. B. in einem Kompartment) angeschlossenen Hochvakuumpumpen nicht nur für die Gastrennung, sondern auch zum Pumpen eines benachbarten Sputterprozesses genutzt werden. In dem Fall ist die Gasseparationskammer 300 kein reines Gasseparationskompartment sondern kann als ein Prozesspump- und Gastrennkompartment bezeichnet werden.In other words, the suction power to the gas separation chamber 300 (eg in a compartment) connected high vacuum pumps are not only used for gas separation, but also for pumping a neighboring sputtering process. In that case the gas separation chamber is 300 not a pure gas separation compartment but may be referred to as a process pump and gas separation compartment.

13 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung 1000 mit mehreren Vakuumkammern 1002a bis 1002e in einer schematischen Querschnittsansicht (z. B. analog zu der Ansicht in 3A, 4A, 8A und 8B), z. B. entlang einer Schnittebene 109. 13 illustrates a vacuum chamber assembly 1000 with several vacuum chambers 1002a to 1002e in a schematic cross-sectional view (eg analogous to the view in FIG 3A . 4A . 8A and 8B ), z. B. along a cutting plane 109 ,

Die Vakuumkammeranordnung 1000 kann ein Transportsystem 324 aufweisen zum Transportieren eines Substrats 306 entlang einer Transportrichtung (z. B. entlang Richtung 101) durch die mehreren Vakuumkammern hindurch, wobei die Vakuumkammern 1002a bis 1002e in der Transportrichtung mittels Vakuumkammer-Seitenwänden 1304a, 104a, 104b, 1304b, welche sich quer zu der Transportrichtung erstrecken, voneinander getrennt sind. Jede Vakuumkammer 1002a bis 1002e kann eine Kammeröffnung 104o, z. B. eine in einer Kammerdecke angeordnete Kammeröffnung 104o, eine so genannte Kammerdecken-Öffnung 104o aufweisen, wie vorangehend beschrieben ist.The vacuum chamber arrangement 1000 can be a transport system 324 have for transporting a substrate 306 along a transport direction (eg along direction 101 ) through the plurality of vacuum chambers, the vacuum chambers 1002a to 1002e in the transport direction by means of vacuum chamber side walls 1304a . 104a . 104b . 1304b , which extend transversely to the transport direction, are separated from each other. Every vacuum chamber 1002a to 1002e can be a chamber opening 104o , z. B. arranged in a chamber ceiling chamber opening 104o , a so-called chamber ceiling opening 104o as described above.

Analog kann die Vakuumkammeranordnung 1000 mehrere Kammerdeckel aufweisen, wobei jeweils ein Kammerdeckel einer Kammeröffnung 104o zugeordnet ist zum vakuumdichten Verschließen der jeweiligen Vakuumkammer 1002a bis 1002e.Analogously, the vacuum chamber arrangement 1000 have a plurality of chamber lid, wherein in each case a chamber lid of a chamber opening 104o is assigned to the vacuum-tight sealing of the respective vacuum chamber 1002a to 1002e ,

Ferner kann mindestens eine Vakuumkammer 3002c der mehreren Vakuumkammern 1002a bis 1002e als Gasseparationskammer 300 eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist.Furthermore, at least one vacuum chamber 3002c the several vacuum chambers 1002a to 1002e as a gas separation chamber 300 be set up as described above.

Ein Kammerdeckel 100 der mehreren Kammerdeckel, welcher der Gasseparationskammer 300 zugeordnet ist, kann beispielsweise eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist, und z. B. eine oder mehrere Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungen, wie z. B. in 2A oder 7 dargestellt ist, aufweisen zum Anschließen jeweils einer Hochvakuumpumpe an die Gasseparationskammer 300.A chamber lid 100 the multiple chamber lid, which is the gas separation chamber 300 may be arranged, for example, as described above, and z. B. one or more high vacuum pump port openings such. In 2A or 7 is shown, for connecting in each case a high vacuum pump to the gas separation chamber 300 ,

Wie vorangehend beschrieben ist, kann die Gasseparationskammer 300 mindestens eine Prozesspumpöffnung aufweisen. Damit dann zumindest ein der Gasseparationskammer 300 benachbarter Prozess, z. B. eine vorangehende Vakuumkammer 1002b und/oder eine nachfolgende Vakuumkammer 1002d und gleichzeitig der Gasseparationskanal 311 abgepumpt werden.As described above, the gas separation chamber 300 have at least one Prozesspumpöffnung. Then at least one of the gas separation chamber 300 adjacent process, eg. B. a preceding vacuum chamber 1002b and / or a subsequent vacuum chamber 1002d and at the same time the gas separation channel 311 be pumped out.

Claims

Chamber lid ( 100 ) for sealing a chamber opening ( 104o ) in a gas separation chamber ( 300 ), wherein the chamber lid ( 100 ) extends substantially along a chamber lid plane, and wherein the chamber lid ( 100 ): a high vacuum pump connection ( 126 ) for connecting a high vacuum pump ( 804a . 804b ) to the chamber lid ( 100 ); • where the high vacuum pump connection ( 126 ) an opening ( 106a . 106b ) having the chamber lid ( 100 penetrates); and a separating element ( 110 ), which is located in the opening ( 106a . 106b ) extends transversely to the chamber lid plane such that the high vacuum pump connection ( 126 ) by means of the separating element ( 110 ) in at least a first opening area ( 113a ) and a second opening area ( 113b ) is separated.

Chamber lid ( 100 ) according to claim 1, wherein the separating element ( 110 ) is plate-shaped.

Chamber lid ( 100 ) according to claim 1 or 2, wherein two opposite end portions of the separating element ( 110 ) to the chamber lid ( 100 ).

Chamber lid ( 100 ) according to one of claims 1 to 3, wherein the high-vacuum pump connection ( 126 ) a pipe socket ( 1304 ) which extends from the opening ( 106a . 106b ) extends away, and wherein the separating element ( 110 ) in the pipe socket ( 1304 ) extends into it.

Chamber lid ( 100 ) according to one of claims 1 to 4, wherein the chamber lid ( 100 ) a length ( 702L ) along a longitudinal direction in the chamber lid level and a width ( 702b ) transverse to the longitudinal direction, wherein the width ( 702b ) is smaller than the length ( 702L ), and wherein the separating element ( 110 ) is extended along the longitudinal direction.

Gas separation chamber ( 300 ) comprising: a chamber housing ( 104 ) with a chamber opening ( 104o ) for receiving a chamber lid ( 100 ); • a chamber lid ( 100 ) according to one of claims 1 to 5, which in the chamber opening ( 104o ) taken this vacuum-tight closes; A wall element ( 112 ), which comprises at least a first area ( 111 ) in the chamber housing ( 104 ) from a second area ( 111b ) in the chamber housing ( 104 ) gas-separated, wherein the wall element ( 112 ) is arranged such that this to the separating element ( 110 ) when the chamber lid ( 100 ) in the chamber opening ( 104o ), so that the first area ( 111 ) through the first opening area ( 113a ) and the second area ( 111b ) through the second opening area ( 113b ) is pumped through.

Gas separation chamber ( 300 ) according to claim 6, further comprising: a sealing structure ( 112d ) which is arranged such that it has a gap between the separating element ( 110 ) and the wall element ( 112 ) seals when the chamber lid ( 100 ) in the chamber opening ( 104o ) is recorded.

Gas separation chamber ( 300 ) comprising: a chamber housing ( 104 ) with a chamber wall; • wherein the chamber wall has a high-vacuum pump connection ( 126 ) for connecting a high vacuum pump ( 804a . 804b ) to the chamber wall; the high vacuum pump connection ( 126 ) an opening ( 106a . 106b ) penetrating the chamber wall; A wall element ( 110 . 112 ), which is located in the opening ( 106a . 106b ) extends transversely to the chamber wall plane such that the high vacuum pump connection ( 126 ) by means of the wall element ( 110 . 112 ) in at least a first opening area ( 113a ) and a second opening area ( 113b ) is separated; Where the wall element ( 110 . 112 ) into the chamber housing ( 104 ) and in this at least a first area ( 111 ) from a second area ( 111b ), the first region ( 111 ) through the first opening area ( 113a ) and the second area ( 111b ) through the second opening area ( 113b ) is pumped through.

Gas separation chamber ( 300 ) according to claim 6, wherein the chamber lid ( 100 ) with the chamber housing ( 104 ) is detachably coupled.

Gas separation chamber ( 300 ) according to one of claims 6 to 9, further comprising: a further wall element ( 322 ), which in the chamber housing ( 104 ) is arranged and with this a gas separation channel ( 311 ), wherein the chamber housing ( 104 ) two connection openings ( 302 . 304 ), for connecting the chamber housing ( 104 ) to a common vacuum system of a processing plant, wherein the gas separation channel ( 311 ) between the two connection openings ( 302 . 304 ) is extended, wherein the further wall element ( 322 ) one to the first area ( 111 ) adjacent passage opening ( 312a ), so that the gas separation channel ( 311 ) through the first opening area ( 113a ) is pumped through.

Gas separation chamber ( 300 ) according to claim 10, further comprising: an inside of the chamber housing ( 104 ) arranged transport system ( 324 ) for transporting a substrate ( 306 ) through the gas separation channel ( 311 ) and / or through the two connection openings ( 302 . 304 ), wherein the wall element ( 112 ) above the transport system ( 324 ) is arranged.

Gas separation chamber ( 300 ) according to one of claims 10 or 11, further comprising: an adjustable diaphragm structure ( 1102 ), which enter the gas separation channel ( 311 ) and an effective cross-sectional area of the gas separation channel (FIG. 311 ), wherein the diaphragm structure ( 1102 ) is arranged such that by means of placing the diaphragm structure ( 1102 ) the effective cross-sectional area of the gas separation channel ( 311 ) is changed.