DE102014116697A1 - Chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber and gas separation chamber - Google Patents
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Abstract
Ein Kammerdeckel (100) zum Abdichten einer Kammeröffnung (104o) in einer Gasseparationskammer (300), wobei sich der Kammerdeckel (100) im Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt, kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe (804a, 804b) an den Kammerdeckel (100); wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) eine Öffnung (106a, 106b) aufweist, welche den Kammerdeckel (100) durchdringt; und ein Trennelement (110), welches sich quer zur Kammerdeckel-Ebene in der Öffnung (106a, 106b) derart erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss (126) mittels des Trennelements (110) in zumindest einen ersten Öffnungsbereich (113a) und einen zweiten Öffnungsbereich (113b) separiert ist. A chamber lid (100) for sealing a chamber opening (104o) in a gas separation chamber (300), wherein the chamber lid (100) extends substantially along a chamber lid level may comprise, in accordance with various embodiments: a high vacuum pump port (126) for Connecting a high vacuum pump (804a, 804b) to the chamber lid (100); the high vacuum pump port (126) having an opening (106a, 106b) penetrating the chamber lid (100); and a partition (110) extending transversely to the chamber lid level in the opening (106a, 106b) such that the high vacuum pump port (126) is separated into at least a first opening area (113a) and a second opening area by means of the partition (110) Opening area (113b) is separated.
Description
Die Erfindung betrifft einen Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer und eine Gasseparationskammer. The invention relates to a chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber and a gas separation chamber.
Im Allgemeinen können Vakuumprozessieranlagen verwendet werden, um Substrate, wie beispielsweise plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu prozessieren, z.B. zu bearbeiten, zu beschichten, zu erwärmen, zu ätzen und/oder strukturell zu verändern. Beispielsweise kann eine Vakuumprozessieranlage als Vakuumbeschichtungsanlage eingerichtet sein zum Beschichten eines Substrats innerhalb der Vakuumbeschichtungsanlage. Im Allgemeinen kann es erforderlich sein, ein zu prozessierendes Substrat in der Vakuumprozessieranlage zwischen unterschiedlichen Prozessbedingungen, z.B. unterschiedlichen Umgebungsdrücken oder z.B. unterschiedlichen Gaszusammensetzungen, zu transportieren. In general, vacuum processing equipment can be used to process substrates such as sheet substrates, glass sheets, wafers, or other substrates, e.g. to process, coat, heat, etch and / or modify structurally. For example, a vacuum processing plant may be configured as a vacuum coating plant for coating a substrate within the vacuum coating plant. In general, it may be necessary to place a substrate to be processed in the vacuum processing equipment between different process conditions, e.g. different ambient pressures or e.g. different gas compositions, transport.
Dazu kann eine Vakuumbeschichtungsanlage (Anlage) mehrere Kammern, Sektionen (Kompartments), z.B. Prozesskammern, aufweisen, sowie ein Transportsystem zum Transportieren des zu beschichtenden Substrats durch die Vakuumprozessieranlage hindurch. Verschiedene Kammern einer Vakuumprozessieranlage können mittels so genannter Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf-Beschichtungsanlagen (In-Line-Prozessieranlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw. vertikaler Schottwände. Dabei kann jede Kammerwand (Schottwand) eine Substrat-Transfer-Öffnung (einen Substrat-Transfer-Spalt) derart aufweisen, dass ein Substrat durch die Kammerwand hindurch transportiert werden kann, z.B. von einer ersten Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einem ersten Umgebungsdruck in eine zweite Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einem zweiten Umgebungsdruck. Durch die Substrat-Transfer-Öffnung hindurch kann dabei ein Austausch von Gas zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer erfolgen, so dass diese ungenügend voneinander gassepariert sind. For this purpose, a vacuum coating system (plant) several chambers, sections (compartments), e.g. Process chambers, and a transport system for transporting the substrate to be coated by the Vakuumprozessieranlage through. Various chambers of a vacuum processing plant can be separated from one another by means of so-called chamber walls or bulkhead walls, for example in horizontal continuous coating plants (in-line processing plants) by means of vertical chamber walls or vertical bulkhead walls. In this case, each chamber wall (bulkhead) may have a substrate transfer opening (a substrate transfer nip) such that a substrate can be transported through the chamber wall, e.g. from a first chamber of a vacuum processing plant with a first ambient pressure into a second chamber of a vacuum processing plant with a second ambient pressure. In this case, an exchange of gas between the first chamber and the second chamber can take place through the substrate transfer opening, so that they are insufficiently gas-separated from one another.
Komplexe Prozesse können eine wirkungsvollere Gasseparation (Gastrennung) erfordern als mittels einer Kammerwand mit einer Substrat-Transfer-Öffnung erreicht werden kann. Beispielsweise kann eine Beschichtung von Substraten mit Lagen unterschiedlicher Zusammensetzung (z.B. unterschiedlicher Materialien) verschiedene Prozessbedingungen (z.B. metallisch gegenüber reaktiv/oxydisch oder unterschiedliche Reaktivgaszusammensetzungen wie Ar/N2 gegenüber Ar/O2) und damit verbunden eine wirkungsvolle gastechnische Trennung der Prozessbedingungen voneinander erfordern, welche ein Vermischen der sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen verringert (Gasseparation). Complex processes may require more efficient gas separation (gas separation) than can be achieved by means of a chamber wall with a substrate transfer port. For example, a coating of substrates with layers of different composition (eg, different materials) may require different process conditions (eg metallic versus reactive / oxidic or different reactive gas compositions such as Ar / N 2 over Ar / O 2 ) and, associated therewith, efficient gas separation of process conditions from each other, which reduces mixing of the different process conditions (gas separation).
Dazu kann eine zusätzliche Kammer zwischen sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen angeordnet werden, z.B. zwischen zwei Prozesskammern, und als sogenannte Gasseparationskammer eingerichtet sein oder werden, mittels derer eine Vermischung der Prozessbedingungen, bzw. ein Austausch von Gas zwischen den zwei Prozesskammern, reduziert werden kann. For this purpose, an additional chamber may be arranged between mutually different process conditions, e.g. between two process chambers, and be set up as so-called gas separation chamber, by means of which a mixing of the process conditions, or an exchange of gas between the two process chambers, can be reduced.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden, welche es ermöglicht, zwei an die Gasseparationskammer angrenzende Prozessbedingungen wirksam voneinander zu separieren, ohne dass der Substrattransport zwischen den angrenzenden Prozessbedingungen beeinträchtigt wird. Beispielsweise können kontinuierlich Substrate durch die Gasseparationskammer hindurch transportiert werden und gleichzeitig ein Austausch von Gas zwischen den angrenzenden Prozessbedingungen begrenzt werden. According to various embodiments, a gas separation chamber may or may not be provided by means of a chamber housing which allows two process conditions adjacent to the gas separation chamber to be effectively separated from one another without adversely affecting substrate transport between adjacent process conditions. For example, substrates may be continuously transported through the gas separation chamber while limiting gas exchange between adjacent process conditions.
Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen einen Gasseparationskanal (Gastrennkanal) aufweisen, welcher die Substrat-Transfer-Öffnungen der angrenzenden Kammern miteinander verbindet und durch den das Substrat hindurch transportiert werden kann. Anschaulich erhöhen die geometrischen Abmessungen (z.B. dessen Querschnittsfläche) und die geometrische Form des Gasseparationskanals den Strömungswiderstand, welchen Gas überwinden muss, um durch den Gasseparationskanal hindurch zu gelangen, und damit die Gasseparation mittels des Gasseparationskanals. Ferner kann die Gasseparationskammer mit einer Pumpe (z.B. einer Hochvakuumpumpe, z.B. einer Turbomolekularpumpe) verbunden sein, welche es ermöglicht, einen Teil des Gases aus dem Gasseparationskanal abzupumpen zum Erhöhen der Gasseparation der Gasseparationskammer. Werden mehrere Pumpen verwendet, können die mittels der Pumpen abgepumpten Bereiche innerhalb der Gasseparationskammer mittels zusätzlicher Gastrennwände voneinander gassepariert sein, so dass ein Gasaustausch innerhalb der Gasseparationskammer zwischen den gasseparierten Bereichen reduziert werden kann. Die Überlagerung aller zur Gasseparation beitragenden Prozesse kann durch den (Gas-)Leitwert des Gasseparationskanals, bzw. der Gasseparationskammer, ausgedrückt werden, welcher umso kleiner ist, desto größer die Gasseparation ist. A gas separation chamber may, according to various embodiments, include a gas separation channel (gas separation channel) interconnecting the substrate transfer openings of the adjacent chambers and through which the substrate may be transported. Illustratively, the geometric dimensions (e.g., cross-sectional area thereof) and the geometric shape of the gas separation channel increase the flow resistance that gas must overcome to pass through the gas separation channel and thus the gas separation through the gas separation channel. Further, the gas separation chamber may be connected to a pump (e.g., a high vacuum pump, e.g., a turbomolecular pump) which allows a portion of the gas to be pumped out of the gas separation channel to increase the gas separation of the gas separation chamber. When multiple pumps are used, the pump-pumped regions within the gas separation chamber may be gas-separated from each other by means of additional gas partition walls so that gas exchange within the gas separation chamber between the gas-separated regions can be reduced. The superposition of all the processes contributing to the gas separation can be expressed by the (gas) conductance of the gas separation channel, or the gas separation chamber, which is the smaller the larger the gas separation.
Die Gasseparation beschreibt anschaulich einen Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z.B. gasseparierten Bereichen). Die Bauelemente (z.B. die Teile einer Gasseparationsstruktur), welche zur Gasseparation beitragen, können derart eingerichtet sein, dass der Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z.B. gasseparierten Bereichen) aufrecht erhalten werden kann (z.B. stabil). Mit anderen Worten kann ein Gasaustausch zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen und voneinander gasseparierten Bereichen verringert werden, z.B. je größer die Gasseparation zwischen den Bereichen ist. The gas separation clearly describes a difference in the gas pressure or in the gas composition between vacuum-technologically interconnected areas (eg gas-separated Areas). The components (eg the parts of a gas separation structure) which contribute to gas separation can be set up in such a way that the difference in gas pressure or gas composition can be maintained between vacuum-connected areas (eg gas-separated areas) (eg stable). In other words, gas exchange between vacuum interconnected and gas-separated regions can be reduced, eg, the greater the gas separation between the regions.
Damit das Innere der Gasseparationskammer gewartet werden kann, kann die Gasseparationskammer einen abnehmbaren Kammerdeckel aufweisen, welcher es ermöglicht, die Gasseparationskammer zu öffnen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel derart eingerichtet sein, dass eine Pumpe zum Abpumpen der Gasseparationskammer daran befestigt werden kann. Mit anderen Worten kann der Kammerdeckel als sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein. Dazu kann der Kammerdeckel eine entsprechende Anschlussöffnung für die Pumpe aufweisen, durch welche hindurch das Innere der Gasseparationskammer abgepumpt werden kann. Ein solcher Kammerdeckel kann anschaulich als sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein. In order for the interior of the gas separation chamber to be serviced, the gas separation chamber may include a removable chamber lid which allows the gas separation chamber to be opened. According to various embodiments, the chamber lid may be configured such that a pump for pumping the gas separation chamber may be attached thereto. In other words, the chamber lid can be configured as a so-called pump cover. For this purpose, the chamber lid may have a corresponding connection opening for the pump, through which the interior of the gas separation chamber can be pumped. Such a chamber lid can be clearly designed as a so-called pump cover.
Ein Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer, wobei sich der Kammerdeckel im Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt, kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss eine Öffnung aufweist, welche den Kammerdeckel durchdringt; und ein Trennelement, welches sich in der Öffnung derart quer zur Kammerdeckel-Ebene erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss mittels des Trennelements in zumindest einen ersten Öffnungsbereich und einen zweiten Öffnungsbereich separiert ist. A chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber, wherein the chamber lid extends substantially along a chamber lid level may, according to various embodiments, comprise: a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump to the chamber lid; wherein the high vacuum pump port has an opening which penetrates the chamber lid; and a partition member extending in the opening across the chamber lid plane such that the high vacuum pump port is separated into at least a first opening area and a second opening area by means of the partition member.
Mit anderen Worten kann die Öffnung des Hochvakuumpumpen-Anschlusses mittels des Trennelements in zumindest den ersten Öffnungsbereich und den zweiten Öffnungsbereich separiert sein. In other words, the opening of the high-vacuum pump port can be separated into at least the first opening area and the second opening area by means of the partitioning element.
Herkömmliche Gasseparationskammern und/oder mit herkömmlichen Kammerdeckeln ausgestattete Gasseparationskammern werden bisher in lediglich zwei (gas)separierte Teilvolumina unterteilt. Mit anderen Worten ermöglichen herkömmliche Anordnungen einen maximal zweistufigen Zugriff in die Gasseparationskammer, was die Flexibilität bisheriger Lösungen erheblich begrenzt. Beispielsweise lässt sich ein möglichst geringer Leitwert der Gasseparationskammer erreichen, indem beide gasseparierten Bereiche mit dem Gasseparationskanal verbunden sind, so dass dieser zweistufig aktiv abgepumpt werden kann. Conventional gas separation chambers and / or equipped with conventional chamber lids gas separation chambers are previously divided into only two (gas) separated sub-volumes. In other words, conventional arrangements allow maximum two-stage access into the gas separation chamber, which significantly limits the flexibility of previous solutions. For example, the lowest possible conductance of the gas separation chamber can be achieved by connecting the two gas-separated regions to the gas separation channel so that it can be actively pumped off in two stages.
Beispielsweise werden bisher für eine mehr als zweistufige aktive Gastrennung (Gasseparation) mindestens zwei Kammerdeckel und damit verbunden mindestens zwei Gasseparationskammern benötigt. Dies erfordert es, eine entsprechende Anlagenlänge und/oder eine entsprechende Anzahl von entsprechenden Kammern (bzw. Kompartments) vorzuhalten, welche mit den zusätzlichen Kammerdeckeln ausgestattet werden können. Bestimmte Prozessbedingungen und Schichtsysteme können beispielsweise die Verwendung mehrerer Gasseparationskammern und entsprechender Kammerdeckel hintereinander erfordern, was zur Verlängerung der Prozessieranlage um mindestens eine Kammer führt. For example, for a more than two-stage active gas separation (gas separation) at least two chamber lid and associated therewith at least two gas separation chambers are needed so far. This requires that a corresponding system length and / or a corresponding number of corresponding chambers (or compartments) be provided, which can be equipped with the additional chamber lids. For example, certain process conditions and layer systems may require the use of multiple gas separation chambers and corresponding chamber lids in sequence, resulting in the extension of the processing plant by at least one chamber.
Mit anderen Worten wird eine Prozessanlage bisher mit zusätzlichen Kammern ausgestattet, um die Anzahl gasseparierter Bereiche zu erhöhen, deren Betrieb an den Bedarf (z.B. an einen Prozess) angepasst werden kann. Das Ausrüsten bereits bestehender Anlagen mit zusätzlichen Kammern kann allerdings mit einem hohen Aufwand verbunden und unwirtschaftlich sein. In other words, a process plant has heretofore been provided with additional chambers to increase the number of gas-separated areas whose operation can be adapted to the need (e.g., a process). However, equipping existing systems with additional chambers can be costly and uneconomical.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gasseparation einer Gasseparationskammer pro Pumpe, welche an die Gasseparationskammer angeschlossen ist, erhöht werden. Dazu kann das Saugvermögen (Pumpleistung) einer Pumpe mittels des Trennelements aufgeteilt werden zum Abpumpen mindestens zweier gasseparierter Bereiche der Gasseparationskammer mittels der Pumpe. According to various embodiments, the gas separation of a gas separation chamber per pump connected to the gas separation chamber may be increased. For this purpose, the pumping speed of a pump can be divided by means of the separating element for pumping off at least two gas-separated regions of the gas separation chamber by means of the pump.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann dadurch die Anzahl von gasseparierten Bereichen in einer Gasseparationskammer bei gleichbleibender Länge der Gasseparationskammer gegenüber herkömmlichen Lösungen erhöht sein oder werden. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass die Gastrennung (Gasseparation) zwischen an die Gasseparationskammer angrenzenden Prozessen erhöht werden kann. According to various embodiments, this may increase the number of gas-separated regions in a gas separation chamber while the gas separation chamber has the same length as conventional solutions. This can be achieved, for example, that the gas separation (gas separation) between adjacent to the gas separation chamber processes can be increased.
Ferner kann der Leitwert des Gasseparationskanals (bzw. der Gasseparationskammer) sowohl vor, als auch nach der Anlagenmontage (z.B. nach der Fertigstellung einer Vakuumprozessieranlage) mit einfachen Mitteln auf ein Minimum reduziert und damit die Gastrennung maximiert werden. Beispielsweise können bereits bestehende Anlagen mit einfachen Mitteln umgerüstet werden, so dass deren Gastrennung kostengünstig und wirtschaftlich maximiert werden kann. Further, the conductance of the gas separation channel (or gas separation chamber) can be minimized both before and after plant assembly (e.g., after completion of a vacuum processing plant) with simple means, thus maximizing gas separation. For example, existing plants can be retrofitted with simple means, so that their gas separation can be economically and economically maximized.
Beispielsweise kann ein herkömmlicher Pumpdeckel, welcher beispielsweise zwei Pumpreihen aufweisen kann, mittels zusätzlicher Einbauten modifiziert werden und zu einem Pumpdeckel mit vierstufiger Gastrennung (mit anderen Worten mit vier Pumpstufen) umgerüstet werden. Beispielsweise kann jedes herkömmliche Teilvolumina durch ein weiteres Gastrennblech halbiert werden. Die Saugleistung (das Saugvermögen) der jeweiligen Pumpreihe wird somit ebenfalls aufgeteilt. Eine Pumpstufe (mit anderen Worten eine Gastrennstufe) kann einen separat abpumpbaren und gasseparierten Bereich der Gasseparationskammer bezeichnen. For example, a conventional pump cover, which may for example have two pumping rows, be modified by means of additional internals and converted to a pump cover with four-stage gas separation (in other words with four pumping stages). For example, any conventional partial volumes can be halved by another gas separation plate. The suction power (the suction capacity) of the respective pump series is thus also divided. A pumping stage (in other words, a gas separation stage) may designate a separately inflatable and gas-separated region of the gas separation chamber.
Anschaulich wurde erkannt, dass der verringernde Einfluss weiterer Pumpstufen auf den Leitwert der Gasseparationskammer (bzw. des Gasseparationskanals) größer ist als der Verlust an Saugleistung pro Pumpstufe. Somit kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine erhöhte Gastrennung gegenüber einer herkömmlichen zweistufigen Gastrennung erreicht werden, ohne die Anzahl der Pumpen zu erhöhen. Dies ermöglicht es, eine erhöhte Gastrennung kostengünstig bereitzustellen. It was clearly recognized that the decreasing influence of further pump stages on the conductance of the gas separation chamber (or of the gas separation channel) is greater than the loss of suction power per pump stage. Thus, according to various embodiments, increased gas separation over conventional two-stage gas separation can be achieved without increasing the number of pumps. This makes it possible to provide increased gas separation cost.
Analog lassen sich die herkömmlichen Teilvolumina mittels weiterer Gastrennwände in beliebig viele neue Teilvolumina aufteilen und somit die Anzahl der Gastrennstufen erhöhen, was zu einer erhöhten Gastrennung führen kann. Die Erhöhung der Gastrennung mit steigender Anzahl der Gastrennwände wird gleichzeitig von der Verringerung des Abstandes zweiter Gastrennwände voneinander überlagert, was das Abpumpen der gasseparierten Bereiche erschwert. Anschaulich erzeugt ein geringer Abstand der Gastrennwände zueinander einen Strömungswiderstand, welcher überwunden werden muss zum Abpumpen von Gas durch die Gastrennwände hindurch. Analogously, the conventional partial volumes can be divided by means of further gas dividing walls into any number of new partial volumes and thus increase the number of gas separation stages, which can lead to increased gas separation. The increase of the gas separation with increasing number of gas separation walls is simultaneously superimposed by the reduction of the distance of the second gas separation walls from each other, which makes it difficult to pump out the gas-separated areas. Clearly, a small distance between the gas separation walls generates a flow resistance, which must be overcome for pumping gas through the gas separation walls.
Für die Anzahl der Gastrennstufen gibt es daher ein von der Saugleistung der Pumpen und den Abmessungen der Gasseparationskammer abhängiges Optimum, welches für den jeweils vorliegenden Fall zu bestimmen ist zum Minimieren des Leitwerts der Gasseparationskammer (Leitwertreduktion). For the number of gas separation stages, there is therefore an optimum dependent on the suction power of the pumps and the dimensions of the gas separation chamber, which for the particular case to be determined is to minimize the conductance of the gas separation chamber (conductance reduction).
Dadurch können Gasseparationskammern eingespart werden, was es z.B. ermöglicht, Anlagen bei gleicher Funktionalität gegenüber herkömmlichen Lösungen kompakter (z.B. kürzer) bauen zu können. Kompaktere Anlagen können beispielsweise in kleinere Räumlichkeiten untergebracht werden und somit kostensenkend auf den Aufbau und/oder den Unterhalt der Anlage wirken. As a result, gas separation chambers can be saved, which is e.g. allows plants to be built more compactly (for example, shorter) than conventional solutions while retaining the same functionality. For example, more compact systems can be accommodated in smaller premises and thus have a cost-reducing effect on the construction and / or maintenance of the system.
Beispielsweise kann eine Gasseparationskammer bei gleichbleibender Anzahl von gasseparierten Bereichen gegenüber herkömmlichen Lösungen verkürzt sein oder werden. Damit kann erreicht werden, dass eine Prozessieranlage effizienter (z.B. kostensparender oder mit höherer Produktivität) betrieben werden und anschaulich mehr Funktionalität auf kürzeren Strecken (z.B. Länge der Prozessieranlage oder Abstand zweier gasseparierter Prozesskammern) untergebracht werden kann. For example, a gas separation chamber can be or become shorter than conventional solutions with a constant number of gas-separated regions. It can thus be achieved that a processing plant can be operated more efficiently (for example, more cost-effectively or with higher productivity) and clearly more functionality can be accommodated over shorter distances (for example, length of the processing plant or distance between two gas-separated process chambers).
Ferner wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Gasseparationsstruktur derart bereitgestellt, dass jeder der mittels der Gasseparationsstruktur gasseparierten Bereiche der Gasseparationskammer an mindestens eine Pumpe angrenzt. Dies ermöglicht es, jeden der gasseparierten Bereiche mittels der angrenzenden Pumpe abzupumpen. Further, according to various embodiments, a gas separation structure is provided such that each of the gas-separated regions of the gas separation chamber by means of the gas separation structure adjoins at least one pump. This makes it possible to pump each of the gas-separated areas by means of the adjacent pump.
Anschaulich kann mittels der hierin beschriebenen Anordnung eine möglichst große Gasseparation und/oder Flexibilität bei der Anlagenkonfiguration erreicht werden. Clearly, the largest possible gas separation and / or flexibility in the system configuration can be achieved by means of the arrangement described herein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement plattenförmig sein. According to various embodiments, the separating element may be plate-shaped.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei einander gegenüberliegende Endabschnitte des Trennelements an den Kammerdeckel angrenzen. According to various embodiments, two opposite end portions of the partition member may abut the chamber lid.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Hochvakuumpumpen-Anschluss einen Rohransatz aufweisen, welcher von der Öffnung weg erstreckt, wobei das Trennelement in den Rohransatz hinein erstreckt sein kann. According to various embodiments, the high vacuum pump port may include a pipe socket extending away from the opening, wherein the separator may extend into the pipe socket.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel ein Länge entlang einer Längsrichtung in der Kammerdeckel-Ebene und eine Breite quer zur Längsrichtung aufweisen, wobei die Breite kleiner ist als die Länge, wobei das Trennelement in die Längsrichtung erstreckt ist. According to various embodiments, the chamber lid may have a length along a longitudinal direction in the chamber lid plane and a width transverse to the longitudinal direction, wherein the width is smaller than the length, wherein the separator is extended in the longitudinal direction.
Der Kammerdeckel und die Kammeröffnung des Kammergehäuses können derart eingerichtet sein, dass der Kammerdeckel die Kammeröffnung vakuumdicht verschließt, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. Dazu kann der Kammerdeckel passend zur Kammeröffnung geformt sein, so dass ein Spalt zwischen dem Kammerdeckel und dem Kammergehäuse möglichst klein ist, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. Ferner können der Kammerdeckel und/oder die Kammeröffnung beispielsweise entsprechende Dichtungen aufweisen, welche den (verbleibenden) Spalt zwischen dem Kammerdeckel und dem Kammergehäuse abdichten, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. The chamber lid and the chamber opening of the chamber housing may be configured such that the chamber lid closes the chamber opening in a vacuum-tight manner when the chamber lid is received in the chamber opening. For this purpose, the chamber lid may be shaped to match the chamber opening, so that a gap between the chamber lid and the chamber housing is as small as possible when the chamber lid is received in the chamber opening. Further, the chamber lid and / or the chamber opening may, for example, have corresponding seals which seal the (remaining) gap between the chamber lid and the chamber housing when the chamber lid is received in the chamber opening.
Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung zum Aufnehmen eines Kammerdeckels; einen abnehmbaren Kammerdeckel gemäß der vorangehenden Beschreibung, welcher in der Kammeröffnung aufgenommen diese vakuumdicht verschließt; ein Wandelement, welches zumindest einen ersten Bereich in dem Kammergehäuse von einem zweiten Bereich in dem Kammergehäuse gassepariert, wobei das Wandelement derart eingerichtet ist, dass dieses an das Trennelement angrenzt, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist, so dass der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist. A gas separation chamber may include, in accordance with various embodiments: a chamber housing having a Chamber opening for receiving a chamber lid; a removable chamber lid according to the foregoing description, which accommodates in the chamber opening closes this vacuum-tight; a wall member that gasifies at least a first region in the chamber housing from a second region in the chamber housing, the wall element being adapted to abut the separator element when the chamber lid is received in the chamber opening such that the first region extends through the first chamber the first opening area and the second area can be pumped through the second opening area.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: eine Dichtungsstruktur, welche derart eingerichtet ist, dass diese einen Spalt zwischen dem Trennelement und dem Wandelement abdichtet, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. According to various embodiments, a gas separation chamber may further include: a seal structure configured to seal a gap between the separator and the wall member when the chamber lid is received in the chamber opening.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammerwand; wobei die Kammerwand einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an die Kammerwand aufweisen kann; wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss eine Öffnung aufweisen kann, welche die Kammerwand durchdringt; ein Wandelement, welches sich in der Öffnung derart quer zur Kammerwand-Ebene erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss (anschaulich die Öffnung) mittels des Wandelements in zumindest einen ersten Öffnungsbereich und einen zweiten Öffnungsbereich separiert ist; wobei das Wandelement in das Kammergehäuse hinein erstreckt ist und in diesem zumindest einen ersten Bereich von einem zweiten Bereich gassepariert, wobei der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich hindurch und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist. According to various embodiments, a gas separation chamber may include: a chamber housing having a chamber wall; wherein the chamber wall may have a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump to the chamber wall; wherein the high vacuum pump port may have an opening which penetrates the chamber wall; a wall member extending in the opening across the chamber wall plane such that the high vacuum pump port (illustratively the opening) is separated by the wall member into at least a first opening portion and a second opening portion; wherein the wall element extends into the chamber housing and in this at least a first region of a second region gassepariert, wherein the first region through the first opening portion and the second region can be pumped through the second opening portion.
Die Kammerwand mit dem Wandelement kann beispielsweise analog zu dem Kammerdeckel mit dem Trennelement eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist. Beispielsweise kann das Wandelement plattenförmig sein, zwei einander gegenüberliegende Endabschnitten des Wandelements können an die Kammerwand angrenzen und/oder das Wandelement kann in den Rohransatz hinein erstreckt (z.B. eingesteckt) sein. Anschaulich kann das Trennelement ein Teil des Wandelements sein und mit diesem verbunden (z.B. stoffschlüssig oder einstückig) sein. The chamber wall with the wall element can be configured, for example, analogously to the chamber lid with the separating element, as described above. For example, the wall member may be plate-shaped, two opposite end portions of the wall member may be adjacent to the chamber wall, and / or the wall member may be extended (e.g., plugged) into the pipe socket. Illustratively, the separator may be part of and joined to the wall member (e.g., integral or integral).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammerwand als Kammerdeckel ausgebildet sein und das Kammergehäuse kann eine Kammeröffnung zum Aufnehmen des Kammerdeckels aufweisen. Ist das Trennelement Teil des Wandelements, kann dieses zum Verschließen des Kammergehäuses mit dem Kammerdeckel in die Öffnung, bzw. den Hochvakuumpumpen-Anschluss, einsteckbar eingerichtet sein. According to various embodiments, the chamber wall may be formed as a chamber lid and the chamber housing may have a chamber opening for receiving the chamber lid. If the separating element is part of the wall element, it can be designed to be plug-inable for closing the chamber housing with the chamber lid in the opening or the high-vacuum pump connection.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel mit dem Kammergehäuse abnehmbar gekuppelt sein, z.B. wenn dieser auf dem Kammergehäuse aufliegt oder das Kammergehäuse abdichtet. According to various embodiments, the chamber lid may be detachably coupled to the chamber housing, e.g. if it rests on the chamber housing or seals the chamber housing.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: ein weiteres Wandelement (Kanalwand), welches in dem Kammergehäuse angeordnet ist und mit diesem einen Gasseparationskanal bildet, wobei das Kammergehäuse zwei Verbindungsöffnungen aufweist, zum Anschließen des Kammergehäuses an ein gemeinsames Vakuumsystem einer Prozessieranlage, wobei der Gasseparationskanal zwischen den zwei Verbindungsöffnungen erstreckt ist, wobei das weitere Wandelement eine an den ersten Bereich angrenzende Durchgangsöffnung aufweist, so dass der Gasseparationskanal durch den ersten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist. According to various embodiments, a gas separation chamber may further comprise: another wall member (channel wall) disposed in and forming a gas separation channel with the chamber housing, the chamber housing having two connection openings for connecting the chamber housing to a common vacuum system of a processing plant; Gas separation channel between the two connection openings is extended, wherein the further wall element has a first opening adjacent to the through opening, so that the gas separation channel can be pumped through the first opening area.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: ein innerhalb des Kammergehäuses angeordnetes Transportsystem zum Transportieren eines Substrats durch den Gasseparationskanal und/oder durch die zwei Verbindungsöffnungen hindurch, wobei das Wandelement oberhalb des Transportsystems angeordnet ist. Das Transportsystem kann beispielsweise durch den Gasseparationskanal hindurch erstreckt sein. According to various embodiments, a gas separation chamber may further comprise: a transport system disposed within the chamber housing for transporting a substrate through the gas separation channel and / or through the two connection openings, the wall element being disposed above the transport system. The transport system may, for example, be extended through the gas separation channel.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: eine verstellbare Blendenstruktur welche sich in den Gasseparationskanal erstreckt und eine effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals definiert, wobei die Blendenstruktur derart eingerichtet ist, dass mittels Verstellens der Blendenstruktur die effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals verändert wird. According to various embodiments, a gas separation chamber may further include: an adjustable orifice structure extending into the gas separation channel and defining an effective cross-sectional area of the gas separation channel, the orifice structure configured to vary the effective cross-sectional area of the gas separation channel by adjusting the orifice structure.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die verstellbare Blendenstruktur in dem Gasseparationskanal angeordnet sein. According to various embodiments, the adjustable diaphragm structure may be arranged in the gas separation channel.
Ein Hochvakuumpumpen-Anschluss kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Öffnung (Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung) aufweisen, welche den Kammerdeckel durchdringt (mit anderen Worten eine Durchgangsöffnung in dem Kammerdeckel), z.B. eine Durchgangsöffnung mit einer kreisförmigen Querschnittsfläche. Die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung beschreibt anschaulich die Größe der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung und kann für eine kreisförmige Querschnittsfläche beispielsweise von einem Durchmesser der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung definiert sein. A high vacuum pump port may, according to various embodiments, include an opening (high vacuum pump port) that penetrates the chamber lid (in other words, a through hole in the chamber lid), eg, a through hole having a circular cross sectional area. The extension of a high vacuum pump port Describes illustratively the size of the high vacuum pump port and may be defined for a circular cross sectional area, for example, by a diameter of the high vacuum pump port.
In einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung (bzw. der Durchgangsöffnung in dem Kammerdeckel) kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen ein Trennelement (z.B. ein Wandelement oder ein Steg) angeordnet sein, welches die Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung in zwei an das Trennelement angrenzende Öffnungsbereiche (Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungsbereiche) teilt. Das Trennelement kann beispielsweise Teil einer Gasseparationsstruktur (Gastrennstruktur) sein. Die Ausdehnung der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung mit mehreren Öffnungsbereichen kann als Ausdehnung der Fläche gesehen werden, über welche sich die mehreren Öffnungsbereiche erstrecken. Mit anderen Worten kann sich die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe über die funktionell gemeinsam wirksame Querschnittsfläche der Durchgangsöffnungen (bzw. der gemeinsam wirksamen Öffnungsbereiche) erstrecken, durch welche eine an die Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung angeschlossene Hochvakuumpumpe abpumpt. In a high vacuum pump port (or the through hole in the chamber lid), according to various embodiments, a partition member (e.g., a wall member or a land) may be arranged dividing the high vacuum pump port into two opening portions (high vacuum pump port areas) adjacent to the partition member. The separating element may for example be part of a gas separation structure (gas separation structure). The extension of the high vacuum pump port with a plurality of port areas may be seen as an extension of the area over which the plurality of port areas extend. In other words, the extension of a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump may extend over the functionally common effective cross sectional area of the through holes (or common opening portions) through which a high vacuum pump connected to the high vacuum pump port exhausts.
Die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen größer sein als ungefähr 150 mm, z.B. größer als ungefähr 200 mm. Beispielsweise kann die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung in einem Bereich von ungefähr 200 mm bis ungefähr 300 mm liegen. The extent of a high vacuum pump port may, according to various embodiments, be greater than about 150 mm, e.g. greater than about 200 mm. For example, the extension of a high vacuum pump port may range from about 200 mm to about 300 mm.
Eine Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung kann Teil eines Hochvakuumpumpen-Anschlusses sein, wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Hochvakuumpumpen-Anschluss eingerichtet sein kann. Beispielsweise kann der Kammerdeckel einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel aufweisen. A high vacuum pump port may be part of a high vacuum pump port, and the high vacuum pump port may be configured to connect a high vacuum pump to the high vacuum pump port. For example, the chamber lid may have a high vacuum pump port for connecting a high vacuum pump to the chamber lid.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Hochvakuumpumpen-Anschluss ein Rohr (z.B. ein Verbindungsrohr oder ein Rohransatz) aufweisen, welches sich von der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung weg erstreckt. An einem der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung gegenüberliegendem Endabschnitt des Rohres kann ein Anschlussflansch an dem Rohr befestigt sein. According to various embodiments, a high vacuum pumping port may include a tube (e.g., a connecting tube or a tubular extension) extending away from the high vacuum pumping port. At one of the high vacuum pump port opening opposite end portion of the tube, a connection flange may be attached to the pipe.
Mit anderen Worten kann das Rohr zwischen dem Anschlussflansch und dem Kammerdeckel erstreckt sein und die Durchgangsöffnung der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung mit dem Anschlussflansch der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung verbinden, so dass der Anschlussflansch der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung in einem Abstand zu dem Kammerdeckel angeordnet sein kann. Das Rohr kann an dem Kammerdeckel befestigt sein und die Durchgangsöffnung umgeben und/oder kann in die Durchgangsöffnung hineinragen und in der Durchgangsöffnung befestigt sein. Anschaulich kann ein solcher Anschlussflansch vakuumdicht mit dem Kammerdeckel verbunden sein, z.B. mittels des Rohres. In other words, the tube may be extended between the port flange and the chamber lid and connect the through hole of the high vacuum pump port to the port of the high vacuum pump port so that the port of the high vacuum pump port may be spaced from the chamber cap. The tube may be attached to the chamber lid and surround the passage opening and / or may protrude into the passage opening and be secured in the passage opening. Illustratively, such a connection flange can be connected in a vacuum-tight manner to the chamber lid, e.g. by means of the pipe.
Der Anschlussflansch kann beispielsweise Bohrungen zum Befestigen einer Hochvakuumpumpe mittels Schrauben aufweisen, so dass eine Hochvakuumpumpe an dem Anschlussflansch befestigt werden kann, wobei zum Befestigen der Hochvakuumpumpe passende Schrauben in die Bohrungen geschraubt werden können. The connection flange may, for example, have bores for fastening a high vacuum pump by means of screws, so that a high vacuum pump can be fastened to the connection flange, suitable screws for fastening the high vacuum pump being screwed into the bores.
Weist der Hochvakuumpumpen-Anschluss kein Rohr auf, kann der Anschlussflansch an dem Kammerdeckel befestigt sein oder kann der Anschlussflansch ein Teil des Kammerdeckels sein. If the high vacuum pump connection does not have a pipe, the connection flange may be attached to the chamber cover or the connection flange may be part of the chamber cover.
Beispielsweise können die Bohrungen in dem Kammerdeckel hineinragen. For example, the holes may protrude into the chamber lid.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung einen ringförmigen Dichtbereich aufweisen, welcher eingerichtet ist, gegen eine Hochvakuumpumpe gepresst zu werden, wenn diese an der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt wird. Der Dichtbereich kann derart eingerichtet sein, dass die Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung vakuumdicht mit der Hochvakuumpumpe verbunden wird, wenn die Hochvakuumpumpe an der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt wird. Dazu kann beispielsweise eine Dichtung, z.B. eine passende ringförmige Dichtung, z.B. eine Ringdichtung oder ein Zentrierring mit Dichtung, zwischen dem Dichtbereich und der Hochvakuumpumpe angeordnet werden zum Abdichten eines Spalts, welcher zwischen dem Dichtbereich und der Hochvakuumpumpe verbleiben kann, wenn die Hochvakuumpumpe an der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt ist (bzw. wenn die Hochvakuumpumpe gegen den Dichtbereich gepresst wird). According to various embodiments, a high vacuum pump port may include an annular sealing portion configured to be pressed against a high vacuum pump when attached to the high vacuum pump port. The sealing portion may be configured such that the high vacuum pump port is vacuum-tightly connected to the high vacuum pump when the high vacuum pump is attached to the high vacuum pump port. For example, a seal, e.g. a suitable annular seal, e.g. a ring seal or a centering ring with seal, between the sealing region and the high vacuum pump are arranged for sealing a gap, which can remain between the sealing region and the high vacuum pump when the high vacuum pump is attached to the high vacuum pump port opening (or if the high vacuum pump against the sealing area is pressed).
Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung (zum Aufnehmen eines Kammerdeckels); einen abnehmbaren Kammerdeckel gemäß der vorangehenden Beschreibung, welcher (in der Kammeröffnung aufgenommen) die Kammeröffnung vakuumdicht verschließt; ein sich von der Kammeröffnung aus in das Kammergehäuse erstreckendes Wandelement (z.B. eine Gastrennwand), welches einen an den ersten Öffnungsbereich angrenzenden ersten Bereich von einem an den zweiten Öffnungsbereich angrenzenden zweiten Bereich gassepariert, wobei das Wandelement an ein Trennelement des Kammerdeckels angrenzt, so dass der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich hindurch und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist. A gas separation chamber may include, in accordance with various embodiments: a chamber housing having a chamber opening (for receiving a chamber lid); a removable chamber lid according to the preceding description, which (taken in the chamber opening) closes the chamber opening vacuum-tight; a wall element extending from the chamber opening into the chamber housing (eg a gas separation wall), which has a The first region adjacent to the first opening region is gas-separated from a second region adjoining the second opening region, wherein the wall element adjoins a separating element of the chamber lid, so that the first region can be pumped through the first opening region and the second region can be pumped through the second opening region.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammer (Kompartment) mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden oder mehrere Kammern (Kompartments) können in einem gemeinsamen Kammergehäuse bereitgestellt sein oder werden, wobei das Kammergehäuse beispielsweise mehrere Kammerwände aufweisen kann, welche die eine Kammer begrenzen bzw. die mehreren Kammern begrenzen und voneinander separieren. According to various embodiments, a chamber (compartment) may be provided by means of a chamber housing or multiple chambers (compartments) may be provided in a common chamber housing, wherein the chamber housing may for example have a plurality of chamber walls defining one or more chambers Limit chambers and separate from each other.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse zum Bereitstellen eines Vakuums oder zumindest eines Unterdrucks innerhalb des Kammergehäuses eingerichtet sein. Anschaulich kann das Kammergehäuse (z.B. dessen Kammerwände) derart stabil eingerichtet sein, dass dieses evakuiert (abgepumpt) werden kann, so dass von außen ein Druck (z.B. der herrschende Luftdruck oder ein Druck welcher mehrere Größenordnungen größer ist als der Druck im Inneren des Kammergehäuses) auf das Kammergehäuse (bzw. dessen Kammerwände) wirken kann, wenn dieses evakuiert ist, ohne dass das Kammergehäuse irreversibel verformt und/oder beschädigt wird. Mit anderen Worten kann das Kammergehäuse als Vakuumkammer eingerichtet sein. According to various embodiments, a chamber housing may be configured to provide a vacuum or at least a negative pressure within the chamber housing. Illustratively, the chamber housing (eg, its chamber walls) can be set up so stably that it can be evacuated (pumped out) so that a pressure (eg the prevailing air pressure or a pressure of several orders of magnitude greater than the pressure inside the chamber housing) can be applied from the outside. can act on the chamber housing (or its chamber walls), if this is evacuated, without the chamber housing is irreversibly deformed and / or damaged. In other words, the chamber housing may be configured as a vacuum chamber.
Ein Kammergehäuse einer Vakuumprozessieranlage, z.B. einer Inline-Prozessieranlage, kann Bestandteil (ein Grundkörper) einer Vakuumkammer sein, z.B. einer Schleusenkammer, einer Pufferkammer, einer Transferkammer, einer Prozesskammer (z.B. einer Beschichtungskammer) oder einer Gasseparationskammer. Dabei kann die jeweilige Funktionsweise oder die Betriebsart der Vakuumkammer aufgrund des mit dem Kammergehäuse verwendeten Kammerdeckels in Verbindung mit den in dem Kammergehäuse angeordneten Einbauten (z.B. Gastrennwände, Ventile, Füllkörper, Transportsystem, usw.) definiert sein. Beispielsweise kann das Kammergehäuse mit einem Schleusenkammerdeckel als Schleusenkammer verwendet werden und mit einem Pufferkammerdeckel als Pufferkammer oder Transferkammer und mit einem noch anderen Kammerdeckel als Beschichtungskammer (oder Prozesskammer). A chamber housing a vacuum processing plant, e.g. an in-line processing plant, may be part (a body) of a vacuum chamber, e.g. a lock chamber, a buffer chamber, a transfer chamber, a process chamber (e.g., a coating chamber), or a gas separation chamber. The particular operation or mode of operation of the vacuum chamber may be defined by virtue of the chamber lid used with the chamber housing in conjunction with the internals (e.g., gas walls, valves, packing, transport system, etc.) disposed within the chamber housing. For example, the chamber housing can be used with a lock chamber lid as a lock chamber and with a buffer chamber lid as a buffer chamber or transfer chamber and with yet another chamber lid as a coating chamber (or process chamber).
Damit das Kammergehäuse evakuiert werden kann, kann das Kammergehäuse (z.B. der Kammerdeckel) mit einer Vorvakuumpumpen-Anordnung und/oder einer Hochvakuumpumpen-Anordnung gekoppelt sein. Somit kann in dem mittels des Kammerdeckels abgedichteten Kammergehäuse zumindest ein Vorvakuum (oder auch ein Hochvakuum) erzeugt werden oder bereitgestellt sein. In order for the chamber housing to be evacuated, the chamber housing (e.g., the chamber lid) may be coupled to a forevacuum pump assembly and / or a high vacuum pump assembly. Thus, at least one pre-vacuum (or even a high vacuum) can be generated or provided in the chamber housing sealed by means of the chamber cover.
Mit anderen Worten können ein Kammergehäuse und ein zugehöriger Kammerdeckel eine Vorvakuumversorgung aufweisen und/oder mit einer zum Vorvakuumversorgung verbunden sein zum Evakuieren zumindest einer Kammer der Prozessieranlage oder der gesamten Prozessieranlage und/oder zum Versorgen des Kammergehäuses oder anderer Pumpen (z.B. Hochvakuumpumpen) mit Vorvakuum. In other words, a chamber housing and associated chamber lid may have a pre-vacuum supply and / or be connected to a pre-vacuum supply for evacuating at least one chamber of the processing plant or the entire processing facility and / or for supplying the chamber housing or other pumps (e.g., high-vacuum pumps) with pre-vacuum.
Zusätzlich zu der Vorvakuumversorgung kann ein Kammerdeckel eine Hochvakuumpumpen-Anordnung (z.B. eine oder mehrere Hochvakuumpumpen) aufweisen, welche mit Vorvakuum versorgt wird, um den Betrieb der Hochvakuumpumpen zu ermöglichen. Die Versorgung des Kammerdeckels mit Vorvakuum kann mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur (z.B. entsprechende Rohrverbindungen zu den Hochvakuumpumpen, Abluftrohren, usw.) erfolgen, welche mit einer Vorvakuumpumpen-Anordnung (z.B. eine oder mehrere Vorvakuumpumpen) gekoppelt sein kann. Ferner kann die Vorvakuumpumpen-Anordnung zusätzlich direkt an das Kammergehäuse gekoppelt sein zum Bereitstellen eines Vorvakuums in der Vakuumkammer der Prozessieranlage. In addition to the pre-vacuum supply, a chamber lid may include a high vacuum pump assembly (e.g., one or more high vacuum pumps) which is pre-vacuumed to allow operation of the high vacuum pumps. Pre-vacuuming of the chamber lid may be accomplished by means of a pre-vacuum supply structure (e.g., corresponding tubing connections to the high vacuum pumps, exhaust ducts, etc.) which may be coupled to a roughing pump arrangement (e.g., one or more roughing pumps). In addition, the backing pump assembly may additionally be coupled directly to the chamber housing for providing an advance vacuum in the vacuum chamber of the processing plant.
Ferner kann die Vakuumprozessieranlage ein Transportsystem aufweisen zum Transportieren der Substrate durch die Vakuumprozessieranlage hindurch. Ein Transportsystem kann z.B. eine Vielzahl von Transportrollen und einen entsprechend mit den Transportrollen gekoppelten Antrieb aufweisen. Further, the vacuum processing system may include a transport system for transporting the substrates through the vacuum processing system. A transport system may e.g. have a plurality of transport rollers and a corresponding coupled to the transport rollers drive.
Zum Einschleusen eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Vakuumprozessieranlage heraus, können beispielsweise eine oder mehrere Schleusenkammern, eine oder mehrere Pufferkammern und/oder eine oder mehrere Transferkammern verwendet werden. Zum Einschleusen mindestens eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein kann beispielsweise das mindestens eine Substrat in eine belüftete Schleusenkammer eingebracht werden, anschließend kann die Schleusenkammer mit dem mindestens einen Substrat evakuiert werden, und das Substrat kann schubweise aus der evakuierten Schleusenkammer heraus in eine angrenzende Vakuumkammer (z.B. in die Pufferkammer) der Vakuumprozessieranlage transportiert werden. Mittels der Pufferkammer kann beispielsweise ein Substrat vorgehalten werden und ein Druck kleiner als in der Schleusenkammer bereitgestellt werden. Mittels der Transferkammer können die schubweise eingebrachten Substrate zu einem so genannten Substratband zusammengeführt werden, so dass zwischen den Substraten nur kleine Lücken verbleiben, während die Substrate in entsprechenden Prozesskammern der Vakuumprozessieranlage prozessiert (z.B. beschichtet) werden. Alternativ kann ein Substrat auch direkt aus der Schleusenkammer in die Transferkammer eingebracht werden, ohne eine Pufferkammer zu verwenden, was beispielsweise eine verlängerte Taktzeit (die zum Einbringen eines Substrat in die Vakuumprozessieranlage hinein benötigte Zeitdauer) verursachen kann. For introducing a substrate into the vacuum processing system or for discharging a substrate out of the vacuum processing system, one or more lock chambers, one or more buffer chambers and / or one or more transfer chambers can be used, for example. For introducing at least one substrate into the vacuum processing system, for example, the at least one substrate can be introduced into a ventilated lock chamber, then the lock chamber can be evacuated with the at least one substrate, and the substrate can be pushed out of the evacuated lock chamber into an adjacent vacuum chamber (eg into the buffer chamber) of the vacuum processing system. By means of the buffer chamber, for example, a substrate can be held and a pressure smaller than in the lock chamber can be provided. By means of the transfer chamber, the bump-introduced substrates are combined to form a so-called substrate band, so that only small gaps remain between the substrates, while the substrates are processed in corresponding process chambers of the vacuum processing plant (eg coated). Alternatively, a substrate may also be introduced directly from the lock chamber into the transfer chamber without using a buffer chamber, which may cause, for example, a prolonged cycle time (the time required to introduce a substrate into the vacuum processing equipment).
Ferner kann ein Kammergehäuse beispielsweise mittels eines entsprechenden Kammerdeckels als Prozesskammer oder Beschichtungskammer genutzt werden, wobei die Prozesskammer oder Beschichtungskammer beispielsweise im Hochvakuumbereich (z.B. im Bereich des Prozessvakuums, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10–3 mbar bis ungefähr 10–7 mbar) betrieben werden kann. Dabei kann der Hochvakuumbereich beispielsweise mittels mindestens einer Hochvakuumpumpe (z.B. einer Turbomolekularpumpe) erzeugt werden, welche in den Kammerdeckel integriert und/oder daran befestigt sein kann und welche mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur mit Vorvakuum versorgt werden kann. Furthermore, a chamber housing can be used, for example, by means of a corresponding chamber lid as a process chamber or coating chamber, wherein the process chamber or coating chamber, for example in the high vacuum range (eg in the range of the process vacuum, eg in a range of about 10 -3 mbar to about 10 -7 mbar) are operated can. In this case, the high-vacuum region can be produced, for example, by means of at least one high-vacuum pump (for example a turbomolecular pump), which can be integrated into the chamber lid and / or fastened thereto and which can be supplied with pre-vacuum by means of a pre-vacuum supply structure.
In einer Prozesskammer können die eingeschleusten Substrate prozessiert werden, wobei die Prozesskammer einen Prozesskammerdeckel aufweisen kann, welcher die entsprechende Kammer in dem Kammergehäuse und/oder das entsprechende Kammergehäuse abdecken und vakuumdicht verschließen kann. An dem Prozesskammerdeckel kann eine Prozessquelle, beispielsweise ein Magnetron zum Beschichten eines Substrats oder beispielsweise mehrere Magnetrons, befestigt sein. Beispielsweise kann der Prozesskammerdeckel mindestens ein Rohrmagnetron oder Doppelrohr-Magnetron oder mindestens ein Planarmagnetron oder Doppel-Planarmagnetron aufweisen. The introduced substrates can be processed in a process chamber, the process chamber having a process chamber cover which can cover the corresponding chamber in the chamber housing and / or the corresponding chamber housing and seal it in a vacuum-tight manner. A process source, for example a magnetron for coating a substrate or, for example, a plurality of magnetrons, may be attached to the process chamber lid. By way of example, the process chamber lid can have at least one tubular magnetron or double-tube magnetron or at least one planar magnetron or double planar magnetron.
Je nach der Art des durchzuführenden Prozesses (z.B. Erwärmen, Ätzen und/oder strukturelles Verändern) können andere Prozessquellen an dem Prozesskammerdeckel befestigt sein, z.B. eine Blitzlampe, eine Ätzgasquelle, eine Ionenquelle, usw. Depending on the type of process to be performed (e.g., heating, etching and / or structural altering), other process sources may be attached to the process chamber lid, e.g. a flash lamp, an etching gas source, an ion source, etc.
Zwischen zwei Vakuumkammern (oder zwei Kompartments), z.B. zwei Prozesskammern, kann eine Gasseparationskammer angeschlossen sein, welche ermöglicht die zwei Prozesskammern wirksam voneinander zu separieren, ohne den Substrattransport zwischen den angrenzenden Vakuumkammern durch deren Substrat-Transfer-Öffnung hindurch zu beeinträchtigen, so dass z.B. kontinuierlich Substrate (z.B. schubweise oder als Substratband) zwischen den angrenzenden Vakuumkammern durch die Gasseparationskammer hindurch transportiert werden können. Between two vacuum chambers (or two compartments), e.g. two process chambers, a gas separation chamber may be connected which enables the two process chambers to be effectively separated from each other without affecting the substrate transport between the adjacent vacuum chambers through their substrate transfer opening, e.g. continuously substrates (e.g., batchwise or as a substrate belt) can be transported between the adjacent vacuum chambers through the gas separation chamber.
Innerhalb der Gasseparationskammer kann eine Gastrennwand zum Gasseparieren zweier Bereiche der Gasseparationskammer angeordnet sein. Die Gastrennwand kann beispielsweise weniger stabil (z.B. dünner) eingerichtet sein verglichen mit einer Kammerwand der Gasseparationskammer (z.B. weniger als halb so dünn), da diese einem geringeren Druckunterschied standhalten muss als die Kammerwand. Within the gas separation chamber, a gas separation wall may be arranged for gas separation of two regions of the gas separation chamber. For example, the gas separation wall may be less stable (e.g., thinner) compared to a chamber wall of the gas separation chamber (e.g., less than half as thin) as it must withstand a smaller pressure differential than the chamber wall.
In Verbindung mit der Gastrennwand und/oder einer Gasseparationsstruktur (welche z.B. den Gasseparationskanal bildet) und einem geeigneten Kammerdeckel kann eine Vakuumkammer als Gasseparationskammer betrieben werden. In conjunction with the gas separation wall and / or a gas separation structure (forming, for example, the gas separation channel) and a suitable chamber lid, a vacuum chamber may be operated as a gas separation chamber.
Eine Gasseparationskammer für eine Prozessieranlage kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit zwei Verbindungsöffnungen zum Bilden eines gemeinsamen Vakuumsystems mit der Prozessieranlage, wobei das Kammergehäuse ferner eine Kammeröffnung aufweist; einen (abnehmbaren) Kammerdeckel zum vakuumdichten Verschließen der Kammeröffnung, welcher von einer Anschlussöffnung zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das gemeinsame Vakuumsystem durchdrungen ist; eine innerhalb der Anschlussöffnung angeordnete und sich in das Kammergehäuse erstreckende Gasseparationsstruktur, welche derart eingerichtet ist, dass ein Gasaustausch zwischen den zwei Verbindungsöffnungen verringert ist. A gas separation chamber for a processing plant, according to various embodiments, may include: a chamber housing having two communication openings for forming a common vacuum system with the processing plant, the chamber housing further having a chamber opening; a (removable) chamber lid for vacuum-sealing the chamber opening, which is penetrated by a connection opening for connecting a high vacuum pump to the common vacuum system; a gas separation structure disposed within the port opening and extending into the chamber housing, which is configured such that gas exchange between the two communication ports is reduced.
Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Kammerkörper (Kammergehäuse) mit einer Kammeröffnung, wobei innerhalb des Kammerkörpers ein erster Abpumpbereich (erster Bereich) und ein zweiter Abpumpbereich (zweiter Bereich) erstreckt ist; einen die Kammeröffnung vakuumdicht verschließenden Kammerdeckel mit einem Pumpenanschluss zum Montieren einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; wobei der Anschlussflansch einen den Kammerdeckel durchdringenden ersten Öffnungsbereich zum Abpumpen des ersten Abpumpbereichs und einen den Kammerdeckel durchdringenden zweiten Öffnungsbereich zum Abpumpen des zweiten Abpumpbereichs aufweist; eine Gasseparationsstruktur, welche den ersten Öffnungsbereich von dem zweiten Öffnungsbereich trennt und sich zwischen dem ersten Abpumpbereich und dem zweiten Abpumpbereich in den Kammerkörper erstreckt, so dass ein Gasaustausch zwischen den zwei Abpumpbereichen im Wesentlichen verhindert wird. According to various embodiments, a gas separation chamber may include: a chamber body (chamber housing) having a chamber opening, a first pumping-out area (first area) and a second pumping-off area (second area) extending within the chamber body; a chamber lid which closes the chamber opening in a vacuum-tight manner and has a pump connection for mounting a high-vacuum pump to the chamber lid; wherein the connection flange has a first opening area penetrating the chamber lid for pumping off the first pump-off area and a second opening area penetrating the chamber lid for pumping off the second pump-off area; a gas separation structure that separates the first opening area from the second opening area and extends into the chamber body between the first pumping area and the second pumping area, so that gas exchange between the two pumping areas is substantially prevented.
Ein Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer, der Kammerdeckel aufweisend: einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; ein Trennelement welches sich in den Anschlussflansch erstreckt und einen ersten Durchgangsbereich (ersten Öffnungsbereich) des Anschlussflanschs von einem zweiten Durchgangsbereich (zweiten Öffnungsbereich) des Anschlussflanschs separiert, wobei zwei gegenüberliegende Endabschnitte des Wandelements an den Anschlussflansch angrenzen. A chamber lid for sealing a chamber opening in a gas separation chamber, the chamber lid comprising: a connection flange for connecting a high vacuum pump to the chamber lid; a separator extending into the terminal flange and separating a first passage area (first opening area) of the terminal flange from a second passage area (second opening area) of the terminal flange, wherein two opposite end portions of the wall element adjoin the terminal flange.
Beispielsweise können die zwei gegenüberliegenden Endabschnitte des Wandelements an dem Anschlussflansch befestigt sein. Beispielsweise können die zwei gegenüberliegenden Endabschnitte des Wandelements mit dem Anschlussflansch verbunden sein. For example, the two opposite end portions of the wall element may be fastened to the connection flange. For example, the two opposite end portions of the wall element may be connected to the connection flange.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.
Es zeigen Show it
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert. In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various exemplary embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe "verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist. In this description, the terms "connected,""connected," and "coupled" are used to describe both direct or indirect connection, direct or indirect connection and direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.
Herkömmliche Gasseparationskammern
Zum Abpumpen wird an jedes Teilvolumen
Werden mehr als zwei Pumpstufen
Der Kammerdeckel
Die Grundplatte
In der Durchgangsöffnung
Das Blech
Alternativ kann das Blech
Alternativ kann das Blech
Das Blech
Damit das Blech
Die verbleibende Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Blech
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Blech
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer
Die Gastrennwand
Die Gastrennwand
Die Gastrennwand
Damit kann anschaulich ferner erreicht werden, dass möglichst wenig Gas zwischen dem ersten Bereich
Die Gastrennwand
Die Gasseparationskammer
Anschaulich können die Teile der Gasseparationsstruktur
Das Kammergehäuse
Anschaulich kann mittels Verbindens der Gasseparationskammer
Zum Transportieren eines Substrats
Mit anderen Worten kann das Transportsystem
Das Substrat
Anschaulich können die zwei Verbindungsöffnungen
Die Gasseparationsstruktur
Anschaulich kann das Innere des Gasseparationskanals
Die Kanalwand
Analog kann die Kanalwand
Die Gasseparationskammer
Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass ein Volumen in der Gasseparationskammer
Die Gasseparationskammer
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Trennsteg
Dazu können zwei Öffnungsbereiche
Wie in
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in der Durchgangsöffnung
Passend zu dem zweiten Trennelement
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel
Passend dazu kann die Gasseparationsstruktur
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können drei Trennelemente
Die Querschnittsflächen der vier Öffnungsbereiche
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Querschnittsfläche des ersten Öffnungsbereichs
Analog zum vorangehend Beschriebenen können die Trennelemente
Der Kammerdeckel
Die Breite des Kammerdeckels kann beispielsweise kleiner sein als ungefähr 75% der Länge (entlang der Längserstreckung) des Kammerdeckels, z.B. kleiner als ungefähr 50% der Länge des Kammerdeckels, z.B. kleiner als ungefähr 30% der Länge des Kammerdeckels. Die Länge des Kammerdeckels kann beispielsweise größer sein als 1 m, z.B. größer sein als 2 m, z.B. größer sein als 3 m. For example, the width of the chamber lid may be less than about 75% of the length (along the longitudinal extent) of the chamber lid, e.g. less than about 50% of the length of the chamber lid, e.g. less than about 30% of the length of the chamber lid. For example, the length of the chamber lid may be greater than 1 m, e.g. greater than 2 m, e.g. bigger than 3 m.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei Durchgangsöffnungen
An jede Durchgangsöffnung einer Durchgangsöffnungs-Reihe
Die Durchgangsöffnungen der erste Durchgangsöffnungs-Reihe
Analog können die Durchgangsöffnungen jeder weiteren Durchgangsöffnungs-Reihe auf die Projektionsebene projiziert einander überlappen. Similarly, the passage openings of each further passage opening row projected onto the projection plane may overlap one another.
In jeder Durchgangsöffnung der Durchgangsöffnungs-Reihen
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein die erste Durchgangsöffnungs-Reihen
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammerdeckel
Der Hochvakuumpumpen-Anschluss
Mittels eines derartigen Kammerdeckels
Alternativ können zwei gasseparierte Bereiche
Die vorangehend beschriebene Hochvakuumpumpe
Die Gasseparationsstruktur
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel
Wie vorangehend beschrieben ist, kann die Gasseparationsstruktur
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement
Ist das Trennelement
Die Dichtungsstruktur
Alternativ kann die Dichtungsstruktur
Die Dichtungsstruktur
Ist die Dichtungsstruktur
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Hochvakuumpumpen-Anschluss
Herkömmlicherweise befindet sich zwischen den unterschiedlichen Prozessbedingungen ein Gasseparationskanal
Aus fertigungs- und montageseitigen Gründen weist die Kanalwand
Umso größer eine Querschnittsfläche (und/oder eine Höhe
Die Querschnittsfläche (und/oder die Höhe
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in dem Gasseparationskanal
Die Blendenstruktur
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann z.B. jeweils an den Ein- und Ausgangsöffnungen des Gasseparationskanals
Die Blende
Ferner kann die effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals
Die Blende
Alternativ kann die Blende
Alternativ kann die mechanische Kraft von Hand, z.B. mittels eines Stellrads oder eines Stellhebels, auf die Blende
Mittels Stellens der Blende
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zwischen zwei Durchgangsöffnungen
Weist die Kanalwand
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Gasseparationskammer
Beispielsweise kann die Dicke der Vakuumkammer-Seitenwände
Wie vorangehend beschrieben ist, kann die Gasseparationskammer
Die Gasseparationsstruktur
Mindestens einer der Bereiche, z.B. ein mittlerer Bereich
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse
Die zwei Prozesspumpöffnungen
Dabei können die äußeren Bereiche
Wird das Substrat beispielsweise in eine Transportrichtung transportiert, welche von der ersten Verbindungsöffnung
Analog kann die Gasseparationskammer
Mit anderen Worten kann die Saugleistung der an die Gasseparationskammer
Die Vakuumkammeranordnung
Analog kann die Vakuumkammeranordnung
Ferner kann mindestens eine Vakuumkammer
Ein Kammerdeckel
Wie vorangehend beschrieben ist, kann die Gasseparationskammer
Claims (13)
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