DE102014103546A1 - Röntgenstrahlungsdurchtrittsfenster und Verfahren zur Herstellung desselben - Google Patents

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018134480A1 (en) * 2017-01-18 2018-07-26 Oxford Instruments Technologies Oy Radiation window
GB2561439A (en) * 2017-02-15 2018-10-17 Oxford Instruments Tech Oy Radiation window
WO2020193850A1 (en) 2019-03-27 2020-10-01 Oxford Instruments Technologies Oy Radiation window
DE102022104133A1 (de) 2022-02-22 2023-08-24 KETEK GmbH Halbleiter- und Reinraumtechnik Strahlungsdetektor für Röntgenstrahlung und Betriebsverfahren
EP4293697A3 (en) * 2022-05-24 2024-01-24 AMETEK Finland Oy Method for manufacturing a radiation window with an edge strengthening structure and a radiation window with an edge strengthening structure
JP7429422B2 (ja) 2020-01-08 2024-02-08 国立大学法人東海国立大学機構 グラフェン層とアルミ層を備えるフィルムおよびその製造方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4862490A (en) 1986-10-23 1989-08-29 Hewlett-Packard Company Vacuum windows for soft x-ray machines
JPH0353200A (ja) * 1989-07-20 1991-03-07 Fujitsu Ltd X線露光装置の製造方法
JPH06289145A (ja) * 1993-03-24 1994-10-18 Sumitomo Electric Ind Ltd X線窓材及びその製造方法
DE69114638T2 (de) * 1990-09-18 1996-07-25 Sumitomo Electric Industries Röntgenstrahlenfenster und Verfahren zu dessen Herstellung.
JP2002365370A (ja) 2001-06-11 2002-12-18 Jeol Ltd X線検出器
US7709820B2 (en) 2007-06-01 2010-05-04 Moxtek, Inc. Radiation window with coated silicon support structure
DE102008048817B3 (de) 2008-09-23 2010-05-20 Ifg - Institute For Scientific Instruments Gmbh Strahlenfenster für eine Röntgenstrahlenvorrichtung
US7737424B2 (en) 2007-06-01 2010-06-15 Moxtek, Inc. X-ray window with grid structure
DE102010046100A1 (de) 2010-09-21 2012-03-22 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Strahlungseintrittsfenster für einen Strahlungsdetektor
US20130051535A1 (en) * 2011-05-16 2013-02-28 Robert C. Davis Carbon composite support structure

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4862490A (en) 1986-10-23 1989-08-29 Hewlett-Packard Company Vacuum windows for soft x-ray machines
JPH0353200A (ja) * 1989-07-20 1991-03-07 Fujitsu Ltd X線露光装置の製造方法
DE69114638T2 (de) * 1990-09-18 1996-07-25 Sumitomo Electric Industries Röntgenstrahlenfenster und Verfahren zu dessen Herstellung.
JPH06289145A (ja) * 1993-03-24 1994-10-18 Sumitomo Electric Ind Ltd X線窓材及びその製造方法
JP2002365370A (ja) 2001-06-11 2002-12-18 Jeol Ltd X線検出器
US7709820B2 (en) 2007-06-01 2010-05-04 Moxtek, Inc. Radiation window with coated silicon support structure
US7737424B2 (en) 2007-06-01 2010-06-15 Moxtek, Inc. X-ray window with grid structure
US20100243895A1 (en) 2007-06-01 2010-09-30 Moxtek, Inc. X-ray window with grid structure
DE102008048817B3 (de) 2008-09-23 2010-05-20 Ifg - Institute For Scientific Instruments Gmbh Strahlenfenster für eine Röntgenstrahlenvorrichtung
DE102010046100A1 (de) 2010-09-21 2012-03-22 MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. Strahlungseintrittsfenster für einen Strahlungsdetektor
US20130051535A1 (en) * 2011-05-16 2013-02-28 Robert C. Davis Carbon composite support structure

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10943756B2 (en) 2017-01-18 2021-03-09 Oxford Instruments Technologies Oy Radiation window
DE112018000422B4 (de) 2017-01-18 2022-06-30 Oxford Instruments Technologies Oy Strahlungsfenster
CN110192124A (zh) * 2017-01-18 2019-08-30 牛津仪器技术股份公司 辐射窗口
GB2573073A (en) * 2017-01-18 2019-10-23 Oxford Instruments Tech Oy Radiation window
WO2018134480A1 (en) * 2017-01-18 2018-07-26 Oxford Instruments Technologies Oy Radiation window
JP2020507085A (ja) * 2017-01-18 2020-03-05 オックスフォード インストゥルメンツ テクノロジーズ オサケユイチア 放射線窓
GB2573073B (en) * 2017-01-18 2022-04-13 Oxford Instruments Tech Oy Radiation window
US20190355539A1 (en) * 2017-01-18 2019-11-21 Oxford Instruments Technologies Oy Radiation window
GB2561439B (en) * 2017-02-15 2020-07-08 Oxford Instruments Tech Oy Radiation window
GB2561439A (en) * 2017-02-15 2018-10-17 Oxford Instruments Tech Oy Radiation window
WO2020193850A1 (en) 2019-03-27 2020-10-01 Oxford Instruments Technologies Oy Radiation window
EP3948919A4 (en) * 2019-03-27 2022-12-21 Oxford Instruments Technologies Oy RADIATION WINDOW
US11662486B2 (en) 2019-03-27 2023-05-30 Oxford Instruments Technologies Oy Radiation window
JP7429422B2 (ja) 2020-01-08 2024-02-08 国立大学法人東海国立大学機構 グラフェン層とアルミ層を備えるフィルムおよびその製造方法
DE102022104133A1 (de) 2022-02-22 2023-08-24 KETEK GmbH Halbleiter- und Reinraumtechnik Strahlungsdetektor für Röntgenstrahlung und Betriebsverfahren
EP4293697A3 (en) * 2022-05-24 2024-01-24 AMETEK Finland Oy Method for manufacturing a radiation window with an edge strengthening structure and a radiation window with an edge strengthening structure

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