DE102013208377A1 - Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung mit hoher Energie der Laserpulse und hoher mittlerer Leistung - Google Patents

Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung mit hoher Energie der Laserpulse und hoher mittlerer Leistung Download PDF

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung mit hoher Energie der Laserpulse und hoher mittlerer Leistung. Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung anzugeben, die sowohl eine hohe Energie der einzelnen Laserpulse als auch eine hohe mittlere Leistung ermöglicht. Die Idee der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Scheibenlaser (30, 32) zur Erhöhung der mittleren Leistung in einen ringförmigen Resonator (42) zu integrieren. Somit weist die Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung mindestens einen Scheibenlaser (30, 32), Mittel (18, 22, 34) zum Einkoppeln eines Eingangslaserpulses (38), Mittel (20, 24, 34) zum Auskoppeln eines Ausgangslaserpulses (40) und eine Vielzahl von Spiegeln (10, 12, 14, 16) auf, wobei der mindestens eine Scheibenlaser (30, 32) und die Vielzahl der Spiegel (10, 12, 14, 16) erfindungsgemäß einen ringförmigen Resonator (42) ausbilden.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung mit hoher Energie der Laserpulse und hoher mittlerer Leistung.
  • Stand der Technik
  • Ringförmige Verstärker mit hohen Energien der Laserpulse sind beispielsweise aus „Compact, Multijoule-Output, Nd:Glass, Large-Aperture Ring Amplifier", LLE Review, Volume 58, Lab for Laser Energetics (LLE) Rochester, January-March 1994 DOE/SF/19460-17 bekannt. Ein sogenannter Large-Aperture Ring Amplifier (LARA) erreicht eine hohe Pulsenergie von größer als 1 J. Da das stabförmige, aktive Medium jedoch nicht besonders effizient gekühlt werden kann, ist die mittlere Leistung auf einige mW bzw. die Repetitionsrate auf weniger als 1 Hz begrenzt. Somit kann ein herkömmlicher Large-Aperture Ring Amplifier nachteilhafterweise nur geringe mittlere Leistungen erreichen.
  • Zur Erzielung hoher Energien ist es beispielsweise aus Brauch et al. „Multiwatt diodepumped Yb:YAG thin disk laser continuously tunable between 1018 and 1053 nm", Optics Letters, Vol. 20, No 7, S. 713–715 bekannt, einen Scheibenlaser im cw-Modus zu verwenden. Die Erzeugung gepulster Laserstrahlung ist bei der Verwendung von Scheibenlasern jedoch nachteilhafterweise auf sehr kleine Pulsenergien (wenige mJ) begrenzt.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung anzugeben, die sowohl eine hohe Energie der einzelnen Laserpulse als auch eine hohe mittlere Leistung (d.h. eine hohe Repetitionsrate) ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
  • Die Idee der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Scheibenlaser zur Erhöhung der mittleren Leistung in einen ringförmigen Resonator zu integrieren. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst mindestens einen Scheibenlaser, Mittel zum Einkoppeln eines Eingangslaserpulses, Mittel zum Auskoppeln eines Ausgangslaserpulses und eine Vielzahl von Reflektoren (vorzugsweise planare Spiegel), wobei der mindestens eine Scheibenlaser und die Vielzahl der Reflektoren einen ringförmigen Resonator ausbilden.
  • Der mindestens eine Scheibenlaser wird innerhalb des ringförmigen Resonators jedoch nicht transmissiv durchstrahlt, sondern fungiert vielmehr als eigenständiger Reflektor (Umlenkspiegel), der den ringförmigen Resonator zusammen mit den anderen Reflektoren ausformt.
  • Es wurde gefunden, dass Scheibenlaser aufgrund ihrer effizienten Kühlbarkeit innerhalb eines ringförmigen Resonators nicht nur hohe Energien der einzelnen Laserpulse, sondern auch eine hohe mittlere Leistung, also eine hohe Repititionsrate ermöglichen.
  • Zwar erreichen herkömmliche ringförmige Resonatoren mit einem Festkörper-Laserstab ebenfalls hohe Energien der einzelnen Laserpulse im Bereich von 1 J und höher, jedoch ist die mittlere Leistung dieser Resonatoren und damit die Repititionsrate stark begrenzt (Repititionsrate kleiner 1 Hz). Diese Nachteile können erfindungsgemäß durch die Verwendung eines Scheibenlasers als Reflektor innerhalb des Resonatorrings überwunden werden, so dass gleichzeitig hohe Energien der einzelnen Laserpulse und hohe mittlere Leistungen (Repititionsraten) im Bereich von mehr als 10 W bzw. mehr als 100 Hz erreicht werden können.
  • Vorzugsweise ist der mindestens eine Scheibenlaser als Festkörperlaser mit einem scheibenförmigen aktiven Medium ausgebildet. Das scheibenförmige aktive Medium weist vorzugsweise planare Oberflächen und/oder eine uniforme Scheibendicke auf. Die (uniforme) Dicke des scheibenförmigen aktiven Mediums beträgt vorzugsweise zwischen 100 und 900 µm, bevorzugter 200 und 600 µm. Der Durchmesser des scheibenförmigen aktiven Mediums beträgt vorzugsweise zwischen 10 und 35 mm. Ein bevorzugtes Material des aktiven Mediums ist Yb:YAG.
  • Der Scheibenlaser wird vorzugsweise optisch gepumpt, wobei die optische Pumpstrahlung vorzugsweise seitlich auf die Front des scheibenförmigen aktiven Mediums eingestrahlt wird. Besonders bevorzugt sind für jeden Scheibenlaser mindestens zwei Pumpstrahlungsquellen vorgesehen, die von gegenüberliegenden Seiten auf das aktive Medium einstrahlen. Die Wellenlänge (maximaler Intensität) der Pumpstrahlung beträgt vorzugsweise zwischen 800 und 1100 nm, bevorzugter zwischen 900 und 1000 nm. Die Pumpstrahlungsquellen sind vorzugsweise als Diodenlaser ausgebildet.
  • Das scheibenförmige aktive Medium weist vorzugsweise eine frontseitig (dem Resonatorring zugewandt) angeordnete – bezogen auf die Pumpwellenlänge – antireflektive Beschichtung auf. Die Reflektivität der frontseitig angeordneten Beschichtung beträgt vorzugsweise kleiner als 1%, noch bevorzugter kleiner als 0,1%.
  • Das scheibenförmige aktive Medium weist vorzugsweise eine rückseitig (dem Resonatorring abgewandt) angeordnete – bezogen auf die Pumpwellenlänge – hochreflektive Beschichtung auf. Die Reflektivität der rückseitig angeordneten Beschichtung beträgt vorzugsweise größer als 99%, noch bevorzugter größer als 99,9%.
  • Das zwischen den Beschichtungen (antireflektiv, hochreflektiv) geschichtete aktive Medium ist vorzugsweise auf einen Träger montiert, wobei der Träger eine hohe Wärmeleitfähigkeit besitzt. Die Wärmeleitfähigkeit des Trägers beträgt vorzugsweise größer 100 W / (m·K), bevorzugter größer 500 W / (m·K), noch bevorzugter größer 1500 W / (m·K) und noch bevorzugter größer 2000 W / (m·K). Vorzugsweise ist der Träger aus Diamant ausgebildet. Vorzugsweise ist der Träger mit mindestens einer aktiven Kühlung (Wärmesenke) verbunden. In einer besonders bevorzugten Ausführungsvariante wird der Träger durch mindestens zwei Kühlfinger direkt kontaktiert, wobei die Kühlfinger beispielsweise mit einer Wasserkühlung verbunden sein können. Die Kühlfinger können beispielsweise aus Kupfer ausgebildet sein.
  • Das Mittel zum Einkoppeln eines Eingangslaserpulses ist vorzugsweise durch einen Polarisator und eine Pockels-Zelle ausgebildet. Dabei sind Polarisator und Pockels-Zelle derart im Ringresonator angeordnet, dass sie von der umlaufenden Strahlung transmissiv durchstrahlt werden. Somit kann ein Eingangslaserpuls von außerhalb des Ringresonators in den umlaufenden Strahlengang eingekoppelt werden. Durch geeignete Beschaltung der Pockels-Zelle kann der eingekoppelte Eingangslaserpuls innerhalb des Ringresonators durchgelassen oder geblockt werden.
  • Das Mittel zum Einkoppeln eines Eingangslaserpulses umfasst vorzugsweise eine Pulslichtquelle, die besonders bevorzugt durch einen Pulslaser oder durch eine Blitzlichtlampe ausgebildet ist. Vorzugsweise sind die Pulslichtquelle und die Pockels-Zelle miteinander synchronisiert. Die Repititionsrate der erfindungsgemäßen Verstärkervorrichtung wird damit durch die Repititionsrate der Pulslichtquelle vorgegeben.
  • Das Mittel zum Auskoppeln eines Ausgangslaserpulses ist vorzugsweise durch einen (weiteren) Polarisator und eine Pockels-Zelle ausgebildet. Es ist dabei ausreichend, dass eine Pockels-Zelle sowohl für das Mittel zum Einkoppeln eines Eingangslaserpulses als auch für das Mittel zum Auskoppeln eines Ausgangslaserpulses zur Verfügung steht. Dabei sind Polarisator und Pockels-Zelle derart im Ringresonator angeordnet, dass sie von der umlaufenden Strahlung transmissiv durchstrahlt werden. Durch geeignete Beschaltung der Pockels-Zelle kann der die umlaufende Strahlung (verstärkter Eingangslaserpuls) aus dem Ringresonators ausgekoppelt werden.
  • Zur Ausbildung eines ringförmigen Resonators sind neben dem als Reflektor fungierenden (mindestens einen) Scheibenlaser mindestens zwei weitere Reflektoren vorgesehen. Bei der Verwendung von insgesamt drei Reflektoren (inklusive des Scheibenlasers) kann ein dreieckförmiger Resonator ausgebildet werden. Es ist jedoch bevorzugt, neben dem mindestens (mindestens einen) Scheibenlaser mindestens drei, besonders bevorzugt vier planare Reflektoren zu verwenden. Dadurch kann ein Resonator ausgebildet werden, innerhalb dessen weitere, die Effizienz der Vorrichtung erhöhende Elemente angeordnet werden können.
  • Es ist insbesondere bevorzugt, ein Vakuum-Raumfilter im Strahlengang des ringförmigen Resonators anzuordnen. Dabei ist das Vakuum-Raumfilter derart im Ringresonator angeordnet, dass er von der umlaufenden Strahlung transmissiv durchstrahlt wird. Das Vakuum-Raumfilter umfasst eine Eintrittsfacette, eine Austrittsfacette und mindestens eine in einem Vakuum angeordnete Lochblende, die ausgebildet ist, ungewünschte Wellenfrontaberrationen zu eliminieren. Gleichzeitig bilden die Linsen des Filters die Strahlprofile des jeweils vorherigen Umlaufs in den folgenden Umlauf ab, sodass sich das Strahlprofil des zu verstärkenden Pulses während der ~5...20 Umläufe nicht wesentlich verändert. Dabei ist das Vakuum-Raumfilter ausgebildet, die die Eintrittsfacette passierende Strahlung auf die Lochblende zu fokussieren und die durch die Lochblende hindurchtretende Strahlung nachfolgend zu kollimieren. Die Lochblende ist vorzugsweise kreisförmig ausgebildet und weist vorzugsweise einen Durchmesser zwischen 0,8 und 1,5 mm auf.
  • Es ist weiterhin bevorzugt, ein optisches Korrekturelement im Strahlengang des ringförmigen Resonators anzuordnen. Das optische Korrekturelement ist vorzugsweise ausgebildet, eine durch den mindestens einen Scheibenlaser hervorgerufene Wellenfrontverzerrung der im ringförmigen Resonator umlaufenden Strahlung zu korrigieren. Besonders bevorzugt ist das optische Korrekturelement durch eine asphärische Linse ausgebildet. Es wurde gefunden, dass die Verwendung eines Scheibenlasers während des Betriebs aufgrund einer einhergehenden Erwärmung des Scheibenlasers zu erheblichen Wellenfrontverzerrungen führen kann, da sich die „Thin Disk“ des Scheibenlasers, also das scheibenförmige aktive Medium aufgrund unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten des aktiven Mediums und des Trägers, der das aktive Medium stützt, erheblich verkrümmen kann. Die aus dieser Verkrümmung resultierende Wellenfrontverzerrung kann mittels des optischen Korrekturelements signifikant – wenn nicht vollständig – reduziert werden.
  • In einer besonders bevorzugten Ausführungsvariante weist der ringförmige Resonator einen ersten Scheibenlaser und einen zweiter Scheibenlaser auf, die beide als Reflektoren im ringförmigen Resonator fungieren. Es wurde gefunden, dass die Effizienz der Verstärkervorrichtung durch die Verwendung von zwei Scheibenlasern weiter erhöht werden kann. Dabei ist es bevorzugt, dass beide Scheibenlaser baugleich ausgebildet sind. Baugleich im Sinne der vorliegenden Erfindung bedeutet, dass das aktive Medium beider Scheibenlaser vorzugsweise aus dem gleichen Material ausgebildet ist und die Dicken der aktiven Medien beider Scheibenlaser vorzugsweise gleich sind. Besonders bevorzugt sind auch die Beschichtungen aus dem jeweils gleichen Material und besitzen jeweils eine gleiche Dicke.
  • Im Falle der Verwendung zweier Scheibenlaser ist es bevorzugt, beide Scheibenlaser innerhalb des Ringes nah zueinander anzuordnen. Dazu ist ein minimaler Weg entlang des Strahlengangs im ringförmigen Resonator zwischen dem ersten Scheibenlaser und dem zweiten Scheibenlaser geringer als 20%, bevorzugter geringer als 15% der Umlauflänge des Strahlengangs des ringförmigen Resonators. Es wurde gefunden, dass die Korrektur der Wellenfrontverzerrungen besonders effizient erfolgen kann, wenn der Abstand zwischen dem Korrekturelement und dem jeweiligen Scheibenlaser möglichst gering, d.h. vorzugsweise geringer als 10%, bevorzugter geringer als 8% der Umlauflänge des Strahlengangs des ringförmigen Resonators ist. Daher ist es möglich, für zwei nah zueinander angeordnete Scheibenlaser ein gemeinsames Korrekturelement zu verwenden, das dann zwischen den Scheibenlasern angeordnet ist.
  • Weitere zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.
  • Die vorliegende Erfindung offenbart weiterhin eine Vorrichtung zur Erzeugung von gepulster Laserstrahlung mit hoher Energie der Laserpulse und hoher mittlerer Leistung. Eine solche Vorrichtung zur Erzeugung von gepulster Laserstrahlung umfasst eine Pulslichtquelle sowie die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung, wobei die Pulslichtquelle ausgebildet ist, Laserpulse in die Verstärkungsvorrichtung einzuspeisen.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel in schematischer geschnittener Darstellung, und
  • 2 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel in schematischer geschnittener Darstellung.
  • Ausführliche Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel in schematischer geschnittener Darstellung.
  • Die erfindungsgemäße Verstärkungsvorrichtung weist einen Ringresonator 42 auf, der durch die planaren Umlenkspiegel 10, 12, 14 und 16 sowie durch die Scheibenlaser 30 und 32 ausgebildet wird. Dabei werden die Umlenkspiegel 10, 12, 14 und 16 und die Scheibenlaser 30 und 32 derart angeordnet, dass die Strahlengänge zwischen den Spiegeln 10 und 12 sowie zwischen den Spiegeln 14 und 16 parallel verlaufen. Weiterhin verlaufen die Strahlengänge zwischen dem Scheibenlaser 32 und dem Spiegel 10 sowie zwischen dem Scheibenlaser 30 und dem Spiegel 12 parallel zu einander. Mit anderen Worten wird ein sechseckiger symmetrischer Ringresonator 42 ausgebildet. Die Erfindung ist jedoch nicht auf diese Ringresonatorstruktur beschränkt und kann auch alternativ dreieckig, viereckig oder anderweitig ausgebildet werden. So wäre es im vorliegenden Ausführungsbeispiel beispielsweise möglich, die Spiegel 14 und 16 wegzulassen und die Scheibenlaser 30 und 32 entsprechend auszurichten. Die Verwendung der Spiegel 14 und 16 ist jedoch vorteilhaft, weil die Scheibenlaser 30 und 32 dann derart ausgerichtet werden können, dass ein optisches Pumpen der Scheibenlaser 30 und 32 mittels jeweils mehrerer, gegenüberliegend angeordneter Pumpoptiken 26 einfach möglich ist. Die Pumpoptiken 26 sind vorzugsweise als Diodenlaser ausgebildet.
  • Die Scheiben der Scheibenlaser 30 und 32 werden durch die Pumpoptiken 26 von vorn gepumpt. Vorzugsweise werden Pumpoptiken 26 verwendet, die einen mehrfachen Durchgang der Pumpstrahlung durch die Scheiben der Scheibenlaser 30 und 32 realisieren, da pro Durchgang nur 10 bis 20% absorbiert werden. Durch den mehrfachen Durchgang der Pumpstrahlung durch die Scheiben der Scheibenlaser 30 und 32 kann eine Absorption zwischen 90 und 95% erreicht werden.
  • Der Abstand zwischen den Spiegeln 10 und 12 sowie zwischen den Spiegeln 14 und 16 beträgt im vorliegenden bevorzugten Ausführungsbeispiel zwischen 0,4 und 0,6 m. Der Abstand zwischen dem Scheibenlaser 32 und dem Spiegel 10 sowie zwischen dem Scheibenlaser 30 und dem Spiegel 12 beträgt im vorliegenden bevorzugten Ausführungsbeispiel zwischen 1,8 und 2,2 m.
  • Im Strahlengang 46 zwischen dem Scheibenlaser 32 und dem Spiegel 10 sind planare Polarisatoren 18 und 20 und zwischen den Polarisatoren eine Pockels-Zelle 34 angeordnet. Ein beispielsweise durch eine Pulslichtquelle 27 (die jedoch nicht notwendigerweise Teil der Verstärkungsvorrichtung ist) erzeugter Laserpuls 38 kann dann über den Reflektor 22 und den Polarisator 18 in den ringförmigen Strahlengang des Ringresonators 46 eingekoppelt werden. Je nach Schaltzustand der Pockels-Zelle 34 wird ein Eingangslaserpuls 38 über den Reflektor 22/Polarisator 18 eingekoppelt oder der verstärkte Puls 40 – nach Verstärkung des Eingangslaserpulses im Ringresonator 46 – ausgekoppelt. Dazu sind Pulslichtquelle 27 und Pockels-Zelle 34 im vorliegenden bevorzugten Ausführungsbeispiel derart synchronisiert, dass die Pockels-Zelle 34 im Zeitpunkt der Erzeugung eines Eingangslaserpulses 38 durch die Pulslichtquelle 27 diesen Eingangslaserpuls 38 in den Strahlengang des Ringresonators 46 einkoppelt und nach einer gewissen Zeit – die für die Verstärkung des Eingangslaserpulses 38 notwendig ist – den verstärkten Laserpuls 40 aus dem Ringresonator 46 durch Änderung ihres Schaltzustands auskoppelt. Die Anzahl von Umläufen des Pulses im Ringresonator liegt typisch zwischen 5 und 20. Die Zeit zwischen den beiden Schaltflanken der Pockels-Zelle liegt beispielsweise zwischen 100 und 600 ns. Die Auskopplung erfolgt dann über den Polarisator 20 und den Umlenkspiegel 24.
  • Im Strahlengang 50 zwischen dem Spiegel 12 und dem Scheibenlaser 30 ist ein Vakuum-Raumfilter 28 angeordnet, dessen Länge im vorliegenden bevorzugten Ausführungsbeispiel ein Viertel der Umlauflänge des Ringresonators 46 beträgt. Das Vakuum-Raumfilter 28 weist ein Gehäuse 28d auf, wobei innerhalb des Gehäuses 28d ein Vakuum vorhanden ist.
  • Der Umlauf innerhalb des Ringresonators 46 erfolgt im Uhrzeigersinn, so dass die Linse 28b die umlaufende Strahlung auf die Lochblende 28c fokussiert. Die Lochblende 28c ist im Vakuum angeordnet, um eine Überhitzung im Fokus aufgrund der hohen Leistungsdichten zu verhindern. Die Lochblende 28c eliminiert unerwünschte Wellenfrontaberrationen.
  • In der Nähe der Spiegel 14 und 16 sind die Scheibenlaser 30 und 32 angeordnet, die den Ringresonator 46 ebenfalls als Reflektoren ausbilden. Die Scheibenlaser 30 und 32 sind im vorliegenden Ausführungsbeispiel baugleich gewählt und symmetrisch angeordnet. Die Scheibenlaser 30 und 32 weisen jeweils ein scheibenförmiges, aktives Medium 30a, 32a bestehend aus Yb:YAG auf, das jeweils zwischen einer (hier nicht dargestellten) antireflektiven, den Spiegeln 14 bzw. 16 zugewandten Frontbeschichtung und einer (hier nicht dargestellten) hochreflektiven, den Spiegeln 14 bzw. 16 abgewandten Rückbeschichtung eingebettet ist. Das scheibenförmige, aktive Medium 30a, 32a ist jeweils auf einem Diamantträger 30b, 32b angeordnet, der über (hier nicht dargestellte) Kühlfinger mit einer aktiven Kühlung 30c, 32c, beispielsweise einer Wasserkühlung oder einem Peltier-Element verbunden ist.
  • Die Scheibenlaser 30 und 32 werden jeweils durch zwei (hier nicht dargestellte) Laserdioden gepumpt, die jeweils von gegenüberliegenden Seiten auf das aktive Medium 30a, 32a einstrahlen.
  • Im Strahlengang 44 zwischen dem Scheibenlaser 30 und dem Scheibenlaser 32 ist das Korrekturelement 36 angeordnet. Das Korrekturelement 36 ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel symmetrisch zu den Scheibenlasern 30 und 32 positioniert, so dass die Teilstrahlengänge 44a und 44b gleich lang sind. Das Korrekturelement 36 ist durch eine asphärische Einzellinse ausgebildet und eliminiert unerwünschte Wellenfrontverzerrungen.
  • 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel in schematischer geschnittener Darstellung.
  • Die erfindungsgemäße Verstärkungsvorrichtung weist gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel einen Ringresonator 42 auf, der durch die planaren Umlenkspiegel 10, 12, 14 und 16 sowie durch einen Scheibenlaser 30 ausgebildet wird. Die in 1 und 2 verwendeten jeweils identisch verwendeten Bezugszeichen repräsentieren dieselben Elemente mit gleicher Funktionalität. Im zweiten Ausführungsbeispiel wird jedoch im Gegensatz zum ersten Ausführungsbeispiel lediglich ein Scheibenlaser 30 statt zweier Scheibenlaser 30 und 32 verwendet, wodurch eine besonders kostengünstige Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Laserstrahlung ausgebildet werden kann, die sowohl eine hohe Energie der einzelnen Laserpulse als auch eine hohe mittlere Leistung (d.h. eine hohe Repetitionsrate) ermöglicht.
  • Bezugszeichenliste
  • 10
    Umlenkspiegel
    12
    Umlenkspiegel
    14
    Umlenkspiegel
    16
    Umlenkspiegel
    18
    Einkoppelspiegel
    20
    Auskoppelspiegel
    22
    Umlenkspiegel
    24
    Umlenkspiegel
    26
    Pumplaser (Pulslichtquelle)
    27
    Lichtquelle für Eingangspuls
    28
    Vakuum-Raumfilter
    28a
    Linse
    28b
    Linse
    28c
    Lochblende
    28d
    Gehäuse
    30
    Scheibenlaser
    30a
    aktives Medium
    30b
    Diamantträger
    30c
    aktive Kühlung
    32
    Scheibenlaser
    32a
    aktives Medium
    32b
    Diamantträger
    32c
    aktive Kühlung
    34
    Pockels-Zelle
    36
    Korrekturplatte
    38
    Eingangspuls
    40
    Ausgangspuls
    42
    Ringförmiger Resonator
    44
    Strahlengang zwischen den Scheibenlasern
    44a
    Teilstrahlengang
    44b
    Teilstrahlengang
    46
    Strahlengang zwischen Scheibenlaser und Umlenkspiegel
    48
    Strahlengang zwischen Scheibenlaser und Umlenkspiegel
    50
    Strahlengang zwischen zwei Umlenkspiegeln
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • „Compact, Multijoule-Output, Nd:Glass, Large-Aperture Ring Amplifier“, LLE Review, Volume 58, Lab for Laser Energetics (LLE) Rochester, January-March 1994 DOE/SF/19460-17 [0002]
    • „Multiwatt diodepumped Yb:YAG thin disk laser continuously tunable between 1018 and 1053 nm“, Optics Letters, Vol. 20, No 7, S. 713–715 [0003]

Claims (10)

  1. Vorrichtung zur Verstärkung von gepulster Strahlung, umfassend: mindestens einen Scheibenlaser (30, 32); Mittel (18, 22, 34) zum Einkoppeln eines optischen Eingangspulses (38); Mittel (20, 24, 34) zum Auskoppeln eines optischen Ausgangspulses (40); eine Vielzahl von Reflektoren (10, 12, 14, 16); dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Scheibenlaser (30, 32) und die Vielzahl der Reflektoren (10, 12, 14, 16) einen ringförmigen Resonator (42) ausbilden.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Scheibenlaser (30, 32) als Reflektor innerhalb des ringförmigen Resonators (42) fungiert.
  3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Vakuum-Raumfilter (28) im Strahlengang des ringförmigen Resonators (42) angeordnet ist.
  4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein optisches Korrekturelement (36) im Strahlengang des ringförmigen Resonators (42) angeordnet ist.
  5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Korrekturelement (36) ausgebildet ist, eine durch den mindestens einen Scheibenlaser (30, 32) hervorgerufene Wellenfrontverzerrung der im ringförmigen Resonator (42) umlaufenden Strahlung zu korrigieren.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Korrekturelement (36) eine asphärische Linse aufweist.
  7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein erster Scheibenlaser (30) und ein zweiter Scheibenlaser (32) im Strahlengang des ringförmigen Resonators (42) angeordnet sind.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein minimaler Weg (44) entlang des Strahlengangs im ringförmigen Resonator (42) zwischen dem ersten Scheibenlaser (30) und dem zweiten Scheibenlaser (32) geringer als 20% der Umlauflänge des Strahlengangs des ringförmigen Resonators (42) beträgt.
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Korrekturelement (36) zwischen dem ersten Scheibenlaser (30) und dem zweiten Scheibenlaser (32) entlang des minimalen Wegs (44) angeordnet ist.
  10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein minimaler Weg (44a) entlang des Strahlengangs im ringförmigen Resonator (42) zwischen dem ersten Scheibenlaser (30) und dem optischen Korrekturelement (36) gleich einem minimalen Weg (44b) entlang des Strahlengangs im ringförmigen Resonator (42) zwischen dem optischen Korrekturelement (36) und dem zweiten Scheibenlaser (32) ist.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015107040A1 (de) * 2015-05-06 2016-11-10 Trumpf Laser Gmbh Corner-cube-artiger Reflektor
RU2713561C1 (ru) * 2019-05-28 2020-02-05 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) Дисковый лазерный неустойчивый резонатор для обеспечения выходного лазерного сигнала с близким к дифракционному качеством пучка

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4344227A1 (de) * 1993-07-02 1995-01-19 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Laserverstärkersystem
DE19907722A1 (de) * 1998-02-25 1999-08-26 Dentek Lasersystems Produktion Lasersystem zur Erzeugung ultrakurzer Lichtimpulse
US20020172253A1 (en) * 2001-05-18 2002-11-21 Jan Vetrovec Solid-state laser oscillator with gain media in active mirror configuration
EP1689053A1 (de) * 2005-02-04 2006-08-09 TRUMPF Laser GmbH + Co. KG Regenerativer Verstärker mit internem Teleskop aus Zylinderlinsen

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4344227A1 (de) * 1993-07-02 1995-01-19 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Laserverstärkersystem
DE19907722A1 (de) * 1998-02-25 1999-08-26 Dentek Lasersystems Produktion Lasersystem zur Erzeugung ultrakurzer Lichtimpulse
US20020172253A1 (en) * 2001-05-18 2002-11-21 Jan Vetrovec Solid-state laser oscillator with gain media in active mirror configuration
EP1689053A1 (de) * 2005-02-04 2006-08-09 TRUMPF Laser GmbH + Co. KG Regenerativer Verstärker mit internem Teleskop aus Zylinderlinsen

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Compact, Multijoule-Output, Nd:Glass, Large-Aperture Ring Amplifier", LLE Review, Volume 58, Lab for Laser Energetics (LLE) Rochester, January-March 1994 DOE/SF/19460-17
"Multiwatt diodepumped Yb:YAG thin disk laser continuously tunable between 1018 and 1053 nm", Optics Letters, Vol. 20, No 7, S. 713-715

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102015107040A1 (de) * 2015-05-06 2016-11-10 Trumpf Laser Gmbh Corner-cube-artiger Reflektor
DE102015107040B4 (de) * 2015-05-06 2021-04-01 Trumpf Laser Gmbh Corner-cube-artiger Reflektor
RU2713561C1 (ru) * 2019-05-28 2020-02-05 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук" (ИПФ РАН) Дисковый лазерный неустойчивый резонатор для обеспечения выходного лазерного сигнала с близким к дифракционному качеством пучка

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