DE102013113049A1 - Contact device for connecting a heating element with a contact plate and heating device with such a contact device - Google Patents

Contact device for connecting a heating element with a contact plate and heating device with such a contact device Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum elektrischen und mechanischen Verbinden eines Heizelementes (10) einer Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors mit einem Stromversorgungselement (36), aufweisend einen Kopf (12), zum Verbinden mit dem Heizelement (10), einem Fuß (24) zum Verbinden mit dem Kontaktelement (36) und einem zwischen Kopf (12) und Fuß (24) angeordneten Schaft (21). Zur Verringerung der Temperaturgradienten, wird vorgeschlagen, dass der Schaft (21) zumindest bereichsweise eine geringere Querschnittsfläche aufweist als der Kopf (12). Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors, dessen Heizelement mit mindestens einem Konnektor mit einem Stromversorgungselement (36) verbunden ist.The invention relates to a device for electrically and mechanically connecting a heating element (10) of a heating device for heating a susceptor of a CVD reactor with a power supply element (36), comprising a head (12), for connection to the heating element (10), a foot (24) for connection to the contact element (36) and a between the head (12) and foot (24) arranged shaft (21). In order to reduce the temperature gradients, it is proposed that the shaft (21) at least in some areas have a smaller cross-sectional area than the head (12). The invention further relates to a heating device for heating a susceptor of a CVD reactor, whose heating element is connected to at least one connector with a power supply element (36).

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Figure DE102013113049A1_0001

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum elektrischen und mechanischen Verbinden eines Heizelementes einer Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors mit einem Stromversorgungselement, aufweisend einen Kopf, zum Verbinden mit dem Heizelement, einem Fuß zum Verbinden mit dem Kontaktelement und einem zwischen Kopf und Fuß angeordneten Schaft.The invention relates to a device for electrically and mechanically connecting a heating element of a heating device for heating a susceptor of a CVD reactor with a power supply element, comprising a head, for connection to the heating element, a foot for connection to the contact element and an arranged between the head and foot Shaft.

Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors, dessen Heizelement mit mindestens einem Konnektor mit einem Stromversorgungselement verbunden ist.The invention further relates to a heating device for heating a susceptor of a CVD reactor whose heating element is connected to at least one connector with a power supply element.

Konnektoren zum Verbinden der Heizelemente einer Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors eines CVD-Reaktors sind beispielsweise aus den US 4,292,504 , US 5,759,281 oder US 7,645,342 bekannt.Connectors for connecting the heating elements of a heating device for heating a susceptor of a CVD reactor, for example, from US 4,292,504 . US 5,759,281 or US 7,645,342 known.

Ein CVD-Reaktor besitzt ein Reaktorgehäuse, ein darin angeordnetes Gaseinlassorgan, mit dem Prozessgase in eine Prozesskammer eingeleitet werden. Die Prozesskammer besitzt einen Suszeptor, auf dem zu beschichtende Substrate aufliegen. Um die Substrate auf Beschichtungstemperatur zu bringen, wird der Suszeptor von unten mittels Wärmestrahlung beheizt. Zur Erzeugung der Wärmestrahlung dient eine erfindungsgemäße Heizvorrichtung. Die erfindungsgemäße Heizvorrichtung besitzt ein Stromversorgungselement, beispielsweise in Form einer Kontaktplatte, von der Konnektoren abragen. Jeder Konnektor ist mit mindestens einem Heizelement verbunden. Die beiden Enden eines jeden Heizelementes sind mit einem Konnektor mit zwei verschiedenen Stromversorgungselementen verbunden, so dass über die Stromversorgungselemente ein Strom durch die Heizelemente geleitet werden kann. Diese erwärmen sich dabei und geben ihre Wärme in Form von Wärmestrahlung an den Suszeptor ab. Die Heizelemente heizen sich dabei bis zur Weißglut auf. Extrem temperaturwiderstandsfähige Heizelemente werden von Wolfram-Drähten ausgebildet. Die Konnektoren können ebenfalls aus Wolfram, aber auch aus Edelstahl oder Molybdän bestehen. Da sie einen wesentlich größeren Durchmesser aufweisen, als die Heizelemente, besitzen sie einen erheblich geringeren Ohmschen Widerstand pro Längeneinheit als die Heizelemente. Dies hat zur Folge, dass sich an den Verbindungsstellen der Heizelemente mit dem Kopf des Konnektors sehr hohe Temperaturunterschiede (Temperaturgradienten) einstellen.A CVD reactor has a reactor housing, a gas inlet member arranged therein, with which process gases are introduced into a process chamber. The process chamber has a susceptor on which substrates to be coated rest. In order to bring the substrates to coating temperature, the susceptor is heated from below by means of thermal radiation. To generate the heat radiation, a heating device according to the invention is used. The heating device according to the invention has a power supply element, for example in the form of a contact plate, protrude from the connectors. Each connector is connected to at least one heating element. The two ends of each heating element are connected to a connector with two different power supply elements, so that a current can be passed through the heating elements via the power supply elements. These heat up and release their heat in the form of heat radiation to the susceptor. The heating elements heat up to white heat. Extremely temperature resistant heating elements are formed by tungsten wires. The connectors can also be made of tungsten, but also of stainless steel or molybdenum. Since they have a much larger diameter than the heating elements, they have a significantly lower ohmic resistance per unit length than the heating elements. This has the consequence that set at the junctions of the heating elements with the head of the connector very high temperature differences (temperature gradient).

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Maßnahmen zur Verringerung dieses Temperaturgradienten anzugeben.The invention has for its object to provide measures to reduce this temperature gradient.

Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung, wobei die Erfindung sowohl eine besondere Weiterbildung des Konnektors als auch eine Heizvorrichtung mit einem derartig weitergebildeten Konnektor betrifft.The object is achieved by the invention specified in the claims, wherein the invention relates both to a particular development of the connector and a heater with such a further developed connector.

Zunächst und im Wesentlichen ist vorgesehen, dass der Schaft des Konnektors zumindest bereichsweise eine geringere Querschnittsfläche aufweist, als der Kopf. Bevorzugt besitzt der Kopf des Konnektors eine Querschnittsflähe, die größer ist, als die Querschnittsfläche eines Wendelgangs eines gewendelten Drahtes, welcher das Heizelement ausbildet. Der Draht, der das Heizelement ausbildet, ist vorzugsweise ein Wolfram-Filament. Es können zwei Filamente nebeneinander verlaufen und eine zweigängige Wendel ausbilden. Die Querschnittsfläche des Kopfes ist vorzugsweise mehr als doppelt so groß wie die Querschnittsfläche des Schaftes. Der Konnektor hat vorzugsweise eine geradlinige Erstreckung. Ein Ende des Konnektors bildet den Kopf aus. Das andere Ende des Konnektors bildet einen Fuß aus. Zwischen Kopf und Fuß verläuft der Schaft. Die Länge des Schaftes ist vorzugsweise größer als der Durchmesser des Schaftes. Der Schaft, der Kopf und der Fuß können jeweils eine kreisrunde Querschnittsfläche aufweisen, wobei die Querschnittsfläche des Fußes größer ist als die Querschnittsfläche des Schaftes. Die Querschnittsfläche des Fußes kann der Querschnittsfläche des Kopfes entsprechen. Der im Wesentlichen zylinderförmige Kopf kann unter Ausbildung eines konischen Abschnittes in den durchmesserverminderten Schaft übergehen. Der Schaft kann wiederum unter Ausbildung eines konischen Abschnittes des Fußes übergehen. Der Kopf und der Fuß können einstückig mit dem Schaft ausgebildet sein. Der Konnektor kann somit von einem Frästeil ausgebildet sein. In einer Variante der Erfindung ist vorgesehen, dass der Kopf einen Kanal mit einem im Wesentlichen kreisrunden Querschnitt aufweist. Die Öffnung kann zur Stirnseite des Kopfes offen sein. Die Achse der Öffnung verläuft bevorzugt quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes. In diesen Kanal kann ein Heizelement, insbesondere ein gewendeltes Filament gelegt werden. Es ist ein Befestigungsmittel vorgesehen, mit dem das Heizelement in dem Kanal befestigt werden kann. Bei dem Befestigungselement kann es sich um eine Madenschraube handeln, die durch eine Gewindebohrung der Wandung der Kanalöffnung geschraubt ist. In einer weiteren Variante kann der Kopf einen Kontaktarm ausbilden. Dieser Kontaktarm kann in Richtung quer zur Erstreckungsrichtung der Achse des Schaftes vom Kopf abragen. Er kann als Einsteckteil ausgebildet sein und mit einem Einsteckabschnitt in eine Einstecköffnung des Kopfes stecken. Der Kontaktarm ist mit dem Heizelement verbunden. Ist das Heizelement ein gewendeltes Filament, kann das Filament gewissermaßen auf den Kontaktarm aufgeschraubt werden. Dabei liegen die einzelnen Wendelgänge des Filamentes in Gewindegräben des Kontaktarms. Auf das Filament kann eine Hülse aufgesteckt sein. Der Kontaktarm steckt dann vorzugsweise in der Hülse. Die Innenwandung der Hülse liegt in berührender Anlage an den Wendeln des Heizelementes an. In einer weiteren Variante, die die Ausgestaltung des Fußes des Konnektors betrifft, ist vorgesehen, dass der Fuß einen konischen Abschnitt besitzt. Es handelt sich dabei um einen Kegelstumpfabschnitt, der sich vorzugsweise einem Zylinderabschnitt anschließt. Mit diesem kegelstumpfförmigen Abschnitt steckt der Fuß des Konnektors in einer konischen Bohrung einer Kontaktplatte. Hierdurch ist eine optimale Kontaktfläche zwischen dem Konnektor und der Kontaktplatte gegeben. An das durchmessergeringere Ende des kegelstumpfförmigen Abschnittes schließt sich ein Außengewindeabschnitt an, auf den eine Befestigungsmutter aufschraubbar ist. Unter Zwischenlage einer Unterlegscheibe stützt sich die Mutter an der Unterseite der Kontaktplatte ab. Es ist ein Sicherungselement vorgesehen, um zu vermeiden, dass sich beim Aufheizen und Abkühlen der Heizvorrichtung die Mutter vom Außengewinde löst. Das Sicherungselement kann ein Formschlusselement sein, welches durch eine Öffnung des Außengewindeabschnittes hindurchgesteckt ist. Es kann eine Zunge aufweisen, die abgebogen werden kann, um sich an eine Mehrkantfläche der Mutter anzulegen oder um sich in eine Axialnut der Außenwandung der Mutter einzulegen, um so deren Drehung zu vermeiden.First and essentially it is provided that the shaft of the connector at least partially has a smaller cross-sectional area than the head. Preferably, the head of the connector has a cross-sectional area which is larger than the cross-sectional area of a helix of a coiled wire forming the heating element. The wire forming the heating element is preferably a tungsten filament. It can run two filaments next to each other and form a zweigängige helix. The cross-sectional area of the head is preferably more than twice the cross-sectional area of the shaft. The connector preferably has a rectilinear extent. One end of the connector forms the head. The other end of the connector forms a foot. Between the head and foot of the shaft runs. The length of the shaft is preferably greater than the diameter of the shaft. The shaft, the head and the foot may each have a circular cross-sectional area, wherein the cross-sectional area of the foot is greater than the cross-sectional area of the shaft. The cross-sectional area of the foot may correspond to the cross-sectional area of the head. The substantially cylindrical head may merge into the reduced-diameter shank to form a conical section. The shaft can in turn pass to form a conical portion of the foot. The head and the foot may be formed integrally with the shaft. The connector can thus be formed by a milled part. In a variant of the invention it is provided that the head has a channel with a substantially circular cross-section. The opening may be open to the front of the head. The axis of the opening preferably extends transversely to the direction of extension of the shaft. In this channel, a heating element, in particular a coiled filament can be placed. There is provided a fastening means with which the heating element can be fixed in the channel. The fastening element may be a grub screw which is screwed through a threaded bore of the wall of the channel opening. In a further variant, the head can form a contact arm. This contact arm can protrude in the direction transverse to the direction of extension of the axis of the shaft from the head. It can be designed as a plug-in part and stuck with a plug-in in an insertion of the head. The contact arm is connected to the heating element. If the heating element is a coiled filament, the filament can be effectively screwed onto the contact arm. Here are the individual Spiral turns of the filament in threaded trenches of the contact arm. On the filament a sleeve can be attached. The contact arm is then preferably in the sleeve. The inner wall of the sleeve is in touching contact with the filaments of the heating element. In a further variant, which relates to the configuration of the foot of the connector, it is provided that the foot has a conical section. It is a truncated cone section, which preferably follows a cylindrical section. With this frustoconical section, the foot of the connector is inserted in a conical bore of a contact plate. As a result, an optimal contact surface between the connector and the contact plate is given. At the smaller diameter end of the frusto-conical portion, an external thread section connects, on which a fastening nut can be screwed. With the interposition of a washer, the nut is supported on the underside of the contact plate. A securing element is provided in order to prevent the mother from detaching from the external thread during heating and cooling of the heating device. The securing element may be a form-locking element which is inserted through an opening of the male threaded portion. It may have a tongue which can be bent to abut a polygonal surface of the nut or to engage in an axial groove of the outer wall of the nut so as to avoid its rotation.

Die besondere Ausgestaltung des Kopfes, nämlich der Kanal beziehungsweise der Kontaktarm, und die besondere Ausgestaltung des Fußes, nämlich die konische Kontaktfläche, die an einer konischen Wandung einer Kontaktbohrung anliegt, sind eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik.The special design of the head, namely the channel or the contact arm, and the special design of the foot, namely the conical contact surface, which bears against a conical wall of a contact bore, are independent inventive developments of the prior art.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:Embodiments of the invention are explained below with reference to accompanying drawings. Show it:

1 lediglich der Anschauung halber die wesentlichen Elemente eines CVD-Reaktors in einer Querschnittsdarstellung, 1 for illustrative purposes only the essential elements of a CVD reactor in a cross-sectional view,

2 eine Seitenansicht auf eine Heizvorrichtung mit insgesamt drei Heizzonen, 2 a side view of a heater with a total of three heating zones,

3 eine Draufsicht auf die Heizvorrichtung, 3 a top view of the heater,

4 einen Schnitt gemäß der Linie IV-IV in 3, 4 a section along the line IV-IV in 3 .

5 ein erstes Ausführungsbeispiel eines Konnektors in der Ansicht, 5 A first embodiment of a connector in the view

6 den in 5 dargestellten Konnektor in einer perspektivischen Darstellung, 6 the in 5 shown connector in a perspective view,

7 den in der 5 dargestellten Konnektor in einer zweiten Seitenansicht, 7 in the 5 represented connector in a second side view,

8 eine perspektivische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels eines Konnektors, 8th a perspective view of a second embodiment of a connector,

9 den Schnitt gemäß der Linie IX-IX in 8, 9 the section according to the line IX-IX in 8th .

10 den Schnitt gemäß der Linie X-X in 8, 10 the section according to the line XX in 8th .

11 einen vergrößerten Ausschnitt aus 10, 11 an enlarged section 10 .

12 die Unteransicht gemäß Pfeil XII in 10, 12 the bottom view according to arrow XII in 10 .

13 eine Explosionsdarstellung des in der 8 perspektivisch dargestellten Ausführungsbeispiels, 13 an exploded view of the in the 8th Perspective illustrated embodiment,

14 die perspektivische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels und 14 the perspective view of a third embodiment and

15 den Schnitt gemäß der Linie XV-XV in 14. 15 the section according to the line XV-XV in 14 ,

Die 1 zeigt den grundsätzlichen Aufbau eines CVD-Reaktors, wobei eine Vielzahl zum Betrieb eines CVD-Reaktors erforderlichen Aggregate der Übersicht halber nicht dargestellt sind. In einem gasdichten Gehäuse 1 befindet sich ein Gaseinlassorgan 2, welches mit nicht dargestellten Gasversorgungsleitungen mit Prozessgasen, Trägergasen und Spülgasen versorgt werden. Diese Gase treten durch Gasaustrittsöffnungen in eine Prozesskammer 3 ein, deren Boden von einem Suszeptor 5 gebildet wird, auf den Substrate 4 aufliegen, die beschichtet werden. Es kann sich dabei um Siliziumsubstrate oder aber auch um III-V-Substrate handeln, auf denen Halbleiterschichten, isolierende Schichten oder leitende Schichten abgeschieden werden. Der aus beschichtetem Graphit bestehende Suszeptor 5 wird von unten mittels einer Heizvorrichtung 6 beheizt.The 1 shows the basic structure of a CVD reactor, with a large number required for the operation of a CVD reactor aggregates are not shown for clarity. In a gas-tight housing 1 there is a gas inlet organ 2 , which are supplied with process gases, carrier gases and purge gases with gas supply lines, not shown. These gases pass through gas outlet openings in a process chamber 3 one whose bottom is from a susceptor 5 is formed on the substrates 4 rest, which are coated. These may be silicon substrates or III-V substrates on which semiconductor layers, insulating layers or conductive layers are deposited. The coated graphite susceptor 5 is from below by means of a heater 6 heated.

Das oberhalb der Prozesskammer 3 angeordnete Gaseinlassorgan 2 kann aktiv gekühlt sein. Es bildet sich somit ein steiler Temperaturgradient zwischen Heizvorrichtung 6 und Gaseinlassorgan 2 aus. Die Heizeinrichtung 6 muss eine ausreichende Wärmeleistung liefern, um die zur Prozesskammer 3 gewandte Oberfläche des Suszeptors 5 auf Temperaturen über 1.000°C aufzuheizen.That above the process chamber 3 arranged gas inlet member 2 can be actively cooled. It thus forms a steep temperature gradient between the heater 6 and gas inlet member 2 out. The heater 6 must provide sufficient heat output to that to the process chamber 3 facing surface of the susceptor 5 to heat to temperatures above 1,000 ° C.

Bei diesen Temperaturen reagieren die in die Prozesskammer eingebrachten gasförmigen Prozessgase, bei denen es sich um metallorganische Verbindungen von Elementen der III.- oder II.-Hauptgruppe und um Hydride der IV.-, V.- oder VI.-Hauptgruppe handeln kann.At these temperatures, the introduced into the process chamber react gaseous Process gases, which may be organometallic compounds of elements of III. Or II. Main group and hydrides of IV., V. or VI. Main group.

Die 2 bis 4 zeigen eine typische Heizvorrichtung, wie sie in der 6 schematisch dargestellt ist. Die Heizvorrichtung 6 besteht aus drei Heizungen 7, 8, 9. Eine zentrale Heizung wird von einer kreisscheibenförmigen Heizzung 7 ausgebildet, die von zwei ringförmigen Heizungen 8, 9 umgeben ist. Jede der drei koaxial ineinandergeschachtelten Heizungen 7, 8, 9 kann unabhängig von der jeweils anderen Heizung bestromt werden.The 2 to 4 show a typical heater as used in the 6 is shown schematically. The heater 6 consists of three heaters 7 . 8th . 9 , A central heating is provided by a circular heating plate 7 formed by two annular heaters 8th . 9 is surrounded. Each of the three coaxial nested heaters 7 . 8th . 9 can be energized independently of the other heating.

Jeder der Heizungen 7, 8, 9 besitzt ein oder mehrere Heizelemente 10, die auf einer Spirallinie um das Zentrum der gesamten Heizvorrichtung gewunden ist. Es sind mehrere auf der Spirallinie hintereinanderliegende Heizelemente 10 vorgesehen, die jeweils mit Konnektoren 11 mit Kontaktplatten 36 verbunden sind. Die Kontaktplatten 36 dienen der Stromversorgung, so dass durch die Heizelemente 10 ein Strom hindurchfließen kann. Die Heizelemente 10 sind der Übersicht halber nicht im Detail dargestellt.Each of the heaters 7 . 8th . 9 has one or more heating elements 10 which is wound on a spiral line around the center of the entire heating device. There are several on the spiral line one behind the other heating elements 10 provided, each with connectors 11 with contact plates 36 are connected. The contact plates 36 Serve the power supply, allowing through the heating elements 10 a current can flow through it. The heating elements 10 are not shown in detail for the sake of clarity.

Die 5 bis 7 zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung, um ein Heizelement 10 mit einer Kontaktplatte 36 zu verbinden.The 5 to 7 show a first embodiment of the invention to a heating element 10 with a contact plate 36 connect to.

Bei dem Heizelement 10 handelt es sich um ein Zwillingsfilament, welches aus zwei wendelgangförmig gewundenen Wolframdrähten besteht. Das Heizelement 10 erstreckt sich in einer Parallelebene zur Ebene der Kontaktplatte 36. Mit dem Konnektor 11 ist das Ende des Heizelementes 10, also die letzten Gänge des Filamentes, mit der Kontaktplatte 36 verbunden.At the heating element 10 it is a twin filament, which consists of two helically wound tungsten wires. The heating element 10 extends in a parallel plane to the plane of the contact plate 36 , With the connector 11 is the end of the heating element 10 , so the last passages of the filament, with the contact plate 36 connected.

Der Konnektor 11 besitzt einen Kopf 12, der einen Kanal 14 aufweist, der einen kreisrunden Querschnitt aufweist. Die Kanalachse verläuft quer zur Längsachse des Konnektors 11. In dem Kanal liegen Windungen des Filamentes 10. Der Kanal 14 ist zur Stirnfläche des Kopfes 12 hin offen. Mittels einer Madenschraube 15, die in einer Gewindebohrung der Wandung des Kanales 14 eingedreht ist, kann das Heizelement 10 im Kanal 14 fixiert werden.The connector 11 has a head 12 who has a channel 14 has, which has a circular cross-section. The channel axis runs transversely to the longitudinal axis of the connector 11 , In the channel are turns of the filament 10 , The channel 14 is to the face of the head 12 open. By means of a grub screw 15 in a tapped hole of the wall of the canal 14 is screwed in, the heating element can 10 in the canal 14 be fixed.

Der Kopf 12 besitzt einen im Wesentlichen kreisrunden Querschnitt. Der Kanal 14 befindet sich in einem dem Ende des Konnektors 11 zugeordneten zylinderförmigen Abschnitt. Dieser, den Kopf bildende zylinderförmige Abschnitt geht unter Ausbildung eines Kegelstumpfabschnittes 22 in einen kreiszylinderförmigen Schaft 21 über. Die Achse des Schaftes 21 definiert die Längsachse des Konnektors 21. Der Durchmesser des Schaftes 21 ist geringer als der Durchmesser des Kopfes 12. Die Querschnittsfläche des Schaftes 21 ist kleiner als 50 Prozent der Querschnittsfläche des Kopfes 12.The head 12 has a substantially circular cross-section. The channel 14 is located in a the end of the connector 11 associated cylindrical section. This, the head forming cylindrical portion goes to form a truncated cone portion 22 in a circular cylindrical shaft 21 above. The axis of the shaft 21 defines the longitudinal axis of the connector 21 , The diameter of the shaft 21 is less than the diameter of the head 12 , The cross-sectional area of the shaft 21 is less than 50 percent of the cross-sectional area of the head 12 ,

An den Schaft 21 schließt sich ein weiterer Kegelstumpfabschnitt 23 an, der in einen durchmesservergrößerten Abschnitt 25 übergeht. Es handelt sich dabei um einen Zylinderabschnitt 25, dessen Durchmesser der Durchmesser des Kopfes 12 entspricht. Auch der Zylinderabschnitt 25 hat einen kreisförmigen Grundriss.To the shaft 21 closes another truncated cone section 23 which is in an enlarged diameter section 25 passes. It is a cylinder section 25 whose diameter is the diameter of the head 12 equivalent. Also the cylinder section 25 has a circular floor plan.

Der Zylinderabschnitt 25 gehört zu einem Fuß 24 des Konnektors 11, mit der der Konnektor 11 mit der Kontaktplatte 36 verbunden ist. Um einen möglichst großflächigen Kontakt zwischen Konnektor 11 und Kontaktplatte 36 zu gewährleisten, besitzt der Fuß 24 einen kegelstumpfförmigen Kontaktabschnitt 26, der in einer konischen Bohrung 37 der Kontaktplatte 36 steckt.The cylinder section 25 belongs to a foot 24 of the connector 11 with which the connector 11 with the contact plate 36 connected is. To maximize contact between connector 11 and contact plate 36 to ensure owns the foot 24 a frusto-conical contact portion 26 that in a conical bore 37 the contact plate 36 plugged.

Das dem Kopf 12 gegenüberliegende Ende des Konnektors 11 wird von einem Außengewindeabschnitt 27 ausgebildet, auf den eine Mutter 25 aufgeschraubt ist. Unter Zwischenlage einer Unterlegscheibe 34, in die sich der konische Abschnitt 26 hinein erstrecken kann, stützt sich die Mutter 25 an der Unterseite der Kontaktplatte 36 an, um auf den Kegelstumpfabschnitt 26 eine Zugspannung aufzubringen.That the head 12 opposite end of the connector 11 is from a male threaded section 27 trained on which a mother 25 is screwed on. With the interposition of a washer 34 into which is the conical section 26 can extend into it, the mother is supported 25 at the bottom of the contact plate 36 on to the truncated cone section 26 to apply a tensile stress.

Der Konnektor 11 ist im Wesentlichen ein rotationssymmetrischer Körper, dessen Kopf 12, Schaft 11 und Fuß 24 eine gemeinsame Erstreckungsachse ausbilden. Der Konnektor 11 kann als Frästeil ausgebildet werden. Es kann ein zylindrischer Rohling verwendet werden, bei dem der Schaft 11 und die Kegelstumpfabschnitte 22, 23, 26 sowie der Außengewindeabschnitt 27 durch eine spanabhebende Bearbeitung erzeugt werden.The connector 11 is essentially a rotationally symmetrical body whose head 12 , Shank 11 and foot 24 form a common extension axis. The connector 11 can be designed as a milled part. It can be used a cylindrical blank in which the shaft 11 and the truncated cone sections 22 . 23 . 26 and the male threaded portion 27 be produced by a machining.

Während des Aufheizens und des Abkühlens kommt es zu einer thermischen Bewegung. Um zu verhindern, dass sich dabei die Mutter 35 vom Außengewinde 27 löst, ist ein Sicherungselement 31 vorgesehen. Das Sicherungselement 31 ist ein Plättchen mit einer Zunge 32. Die Zunge bildet den T-Steg eines T-förmigen Körpers. Die beiden T-Schenkel 33 bilden Haltestege. Die Zunge 32 wird in eine schmale Queröffnung 29 durch den Außengewindeabschnitt 27 hindurchgesteckt. Das Ende der Zunge 32 wird dann in Richtung auf die Mutter hochgebogen, um sich an einer der Mehrkantflächen der Mutter 35 anzulegen.During heating and cooling, a thermal movement occurs. To prevent this while the mother 35 from the external thread 27 triggers is a security element 31 intended. The fuse element 31 is a small plate with a tongue 32 , The tongue forms the T-bridge of a T-shaped body. The two T-thighs 33 form retaining bars. The tongue 32 gets into a narrow transverse opening 29 through the male threaded portion 27 through put. The end of the tongue 32 It is then bent up towards the nut to attach itself to one of the polygonal surfaces of the nut 35 to apply.

Der Schlitz 29 ist mittels eines Schlitzabschnittes 30 zur Stirnseite 28 des Außengewindeabschnittes 27 offen. Der Schlitz zum Einstecken der Zunge 32 des Sicherungselementes 31 hat somit einen T-förmigen Querschnitt.The slot 29 is by means of a slot section 30 to the front 28 of the external thread section 27 open. The slot for inserting the tongue 32 of the fuse element 31 thus has a T-shaped cross-section.

Das in den 8 bis 13 dargestellte Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel im Wesentlichen lediglich durch die Gestalt der Mutter 35 und der elektrischen Kontaktierung des Filamentes 10 am Kopf 12. Die Mutter 35 ist hier als Rändelmutter ausgebildet. Sie besitzt in Achsrichtung verlaufende Nuten, die sich mit in Achsrichtung verlaufenden Stegen abwechseln. In die Nuten kann die hoch gebogene Zunge 32 des Sicherungselementes 31 eingelegt werden. Der Kopf 12 des Konnektors 11 besitzt eine Bohrung 17, in der ein Einsteckende eines Kontaktarmes 16 eingesteckt ist. Der Kontaktarm 16 erstreckt sich somit quer zur Erstreckungsrichtung des Konnektors 11 beziehungsweise des Schaftes 21 des Konnektors 11. Auf dem freien Ende des quer vom Kopf 12 abragenden Kontaktarmes 16 befindet sich ein Innengewinde 18. Der das Innengewinde 18 tragende Abschnitt des Kontaktarmes 16 ist leicht konisch ausgebildet. Der Kopf 12 bildet eine Stufe 19 aus, die von einer Ausnehmung ausgebildet ist. Die quer zur Stufe 19 verlaufende Wandung trägt die Öffnung der Bohrung 17, aus der der Gewindeabschnitt 18 des Kontaktarmes 16 herausragt. That in the 8th to 13 illustrated embodiment differs from the first embodiment substantially only by the shape of the mother 35 and the electrical contacting of the filament 10 at the head 12 , The mother 35 is designed here as a knurled nut. It has grooves running in the axial direction, which alternate with webs extending in the axial direction. Into the grooves can the high bent tongue 32 of the fuse element 31 be inserted. The head 12 of the connector 11 has a hole 17 in which a male end of a contact arm 16 is plugged in. The contact arm 16 thus extends transversely to the extension direction of the connector 11 or the shaft 21 of the connector 11 , On the free end of the cross from the head 12 protruding contact arm 16 there is an internal thread 18 , The internal thread 18 carrying section of the contact arm 16 is slightly conical. The head 12 forms a step 19 from, which is formed by a recess. The cross to the stage 19 running wall carries the opening of the hole 17 from which the threaded section 18 of the contact arm 16 protrudes.

Der Kontaktarm 16 ist mit seinem Gewinde 18 in das wendelgangförmige Filament 10 eingeschraubt, so dass sich die Drähte in die Gräben der Gewindegänge hineinlegenThe contact arm 16 is with his thread 18 in the helical filament 10 screwed in so that the wires insert into the trenches of the threads

Beide Ausführungsbeispiele dienen nicht nur dazu, das Filament mechanisch zu halten, sondern auch das Filament 10 mit Strom zu versorgen.Both embodiments serve not only to mechanically hold the filament, but also the filament 10 to supply electricity.

Da der Durchmesser des Filamentes 10 erheblich geringer ist, als der Durchmesser des Konnektors 11, besitzt das Filament 10 einen wesentlich größeren Widerstand pro Längeneinheit, als das Filament 10, was zur Folge hat, dass über die Länge des Konnektors 11 erheblich weniger Spannung abfällt, als über die gleiche Länge des Filamentes 10. Aufgrund dessen heizt sich das Filament 10 auch erheblich stärker auf, als der Konnektor 11. Das Filament wird auf Temperaturen weit über 1.000°C aufgeheizt. Mit dem durchmesserverminderten Abschnitt, der von dem Schaft 21 ausgebildet ist, wird der Widerstand pro Längeneinheit im Bereich des Konnektors 11 reduziert. Dies hat zur Folge, dass sich der Konnektor 11 auch im Bereich des Schaftes nennenswert aufheizt. Dies hat zur Folge, dass der Temperaturgradient im Kopf 12 geringer ist, als er bei einem durchmessergrößeren Schaft 21 wäre.As the diameter of the filament 10 is considerably smaller than the diameter of the connector 11 , owns the filament 10 a much greater resistance per unit length than the filament 10 , which has the consequence that over the length of the connector 11 significantly less tension drops than about the same length of filament 10 , As a result, the filament heats up 10 considerably stronger than the connector 11 , The filament is heated to temperatures well above 1000 ° C. With the reduced diameter portion of the shaft 21 is formed, the resistance per unit length in the region of the connector 11 reduced. This has the consequence that the connector 11 heats appreciably in the area of the shaft. As a result, the temperature gradient in the head 12 is lower than he is with a larger diameter shaft 21 would.

Bei dem in den 14 und 15 dargestellten Ausführungsbeispiel ist auf den Kontaktarm 16 eine Hülse 20 aufgesteckt. Die Hülse erstreckt sich über den gesamten Kontaktarm 16 und liegt in berührender Anlage an der die Öffnung 17 ausbildenden Flanke der Stufe 19. Die Hülse 20 erstreckt sich in einer Querrichtung zur Erstreckungsrichtung des Konnektors 11. Die Filamente 10 liegen an der Innenwandung der Hülse 20 an und werden dadurch mechanisch in den Gewindegängen 18 gehalten.In the in the 14 and 15 illustrated embodiment is on the contact arm 16 a sleeve 20 attached. The sleeve extends over the entire contact arm 16 and is in touching contact with the opening 17 training edge of the stage 19 , The sleeve 20 extends in a transverse direction to the extension direction of the connector 11 , The filaments 10 lie on the inner wall of the sleeve 20 and thereby become mechanically in the threads 18 held.

Der Kontaktarm 16 besteht bevorzugt ebenfalls aus Wolfram. Das Einsteckende des Kontaktarms 16 kann mit einer nicht dargestellten Schraube oder einem Splint in der Öffnung 17 fixiert sein. Das Einsteckende kann auch leicht konisch ausgebildet sein, so dass eine Konusfläche an der Innenwandung mit einer dann auch konisch ausgebildeten Öffnung 17 anliegt.The contact arm 16 preferably also consists of tungsten. The insertion end of the contact arm 16 can with a screw, not shown, or a split pin in the opening 17 be fixed. The insertion can also be slightly conical, so that a conical surface on the inner wall with a then conical opening 17 is applied.

Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils eigenständig weiterbilden, nämlich:
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Schaft 21 zumindest bereichsweise eine geringere Querschnittsfläche aufweist als der Kopf 12;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Querschnittsfläche des Schaftes 21 weniger als 50 Prozent der Querschnittsfläche des Kopfes 12 beträgt;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der insbesondere einen kreisrunden Querschnitt aufweisende Kopf 12 unter Ausbildung eines konischen Abschnittes 22 in dem insbesondere einen kreisrunden Querschnitt aufweisenden Schaft 21 übergeht, wobei die Länge des Schaftes 21 größer ist, als dessen Durchmesser;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Querschnittsfläche des Fußes 24 größer ist, als die Querschnittsfläche des Schaftes und insbesondere etwa der Querschnittsfläche des Kopfes 12 entspricht;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die axiale Länge des Kopfes 12 etwa dem Durchmesser des Kopfes 12 entspricht;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Heizelement 10 von zumindest einem gewendelten Draht ausgebildet ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Kopf 12 einen insbesondere quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes 21 sich erstreckenden Kanal 14 aufweist zur Aufnahme des Heizelementes 10, welches im Kanal 14 insbesondere mittels einer Schraube 15 gesichert ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Kopf 12 einen Kontaktarm 16 aufweist, der das Heizelement 10 trägt, wobei das Heizelement 10 insbesondere von zwei nebeneinander verlaufenden gewendelten Drähten ausgebildet ist, die in Gewindegräben 18 des Kontaktarmes 15 einliegen und insbesondere vorgesehen ist, dass die in den Gewindegräben 18 einliegenden Wendelgangabschnitte in einer Hülse 20 stecken;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Fuß 24 einen Kegelstumpfabschnitt 26 aufweist, der in einer konischen Bohrung 37 einer das Stromversorgungselement 36 ausbildenden Kontaktplatte steckt, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass sich an den durchmessergeringeren Endabschnitt des Kegelstumpfabschnittes 26 ein Außengewinde 27 anschließt, auf das eine Mutter 35 aufschraubbar ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Mutter 35 mittels eines Sicherungselementes 31 drehgesichert ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Kopf 12 Kontaktmittel 14, 16 ausbildet, mit denen ein von einer Drahtwendel gebildetes Heizelement 10 mit dem Kopf 12 mechanisch und elektrisch verbindbar ist;
Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass der Fuß 24 einen Kegelstumpfabschnitt 26 aufweist, der mit seinem Stumpfende in einen Außengewindeabschnitt 27 übergeht.The above explanations serve to explain the inventions as a whole covered by the application, which independently further develop the state of the art, at least by the following combinations of features, namely:
A device characterized in that the shaft 21 at least partially has a smaller cross-sectional area than the head 12 ;
A device characterized in that the cross-sectional area of the shaft 21 less than 50 percent of the cross-sectional area of the head 12 is;
A device which is characterized in that the head, in particular having a circular cross-section 12 forming a conical section 22 in the particular having a circular cross-section shaft 21 passes, the length of the shaft 21 is greater than its diameter;
A device characterized in that the cross-sectional area of the foot 24 is greater than the cross-sectional area of the shaft and in particular approximately the cross-sectional area of the head 12 corresponds;
A device characterized in that the axial length of the head 12 about the diameter of the head 12 corresponds;
A device characterized in that the heating element 10 is formed by at least one coiled wire;
A device characterized in that the head 12 a particular transverse to the direction of extension of the shaft 21 extending channel 14 has for receiving the heating element 10 which is in the canal 14 in particular by means of a screw 15 is secured;
A device characterized in that the head 12 a contact arm 16 comprising the heating element 10 carries, wherein the heating element 10 is formed in particular by two coiled wires running side by side, in threaded trenches 18 of the contact arm 15 einliegen and is provided in particular that in the threaded trenches 18 enclosed Wendelgangabschnitte in a sleeve 20 stuck;
A device characterized in that the foot 24 a truncated cone section 26 which is in a conical bore 37 one the power supply element 36 forming contact plate inserted, wherein it is provided in particular that to the smaller diameter end portion of the truncated cone portion 26 an external thread 27 connects, on which a mother 35 can be screwed, in particular, it is provided that the mother 35 by means of a securing element 31 is rotationally secured;
A device characterized in that the head 12 contact means 14 . 16 forms, with which a formed by a wire helix heating element 10 with the head 12 mechanically and electrically connectable;
A device characterized in that the foot 24 a truncated cone section 26 having, with its stump end in an externally threaded portion 27 passes.

Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsgehalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf der Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.All disclosed features are essential to the invention (individually, but also in combination with one another). The disclosure of the associated / attached priority documents (copy of the prior application) is hereby also incorporated in full in the disclosure of the application, also for the purpose of including features of these documents in claims of the present application. The subclaims characterize with their features independent inventive developments of the prior art, in particular to make on the basis of these claims divisional applications.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
CVD-ReaktorCVD reactor
22
Gaseinlassgas inlet
33
Prozesskammerprocess chamber
44
Substratsubstratum
55
Suszeptorsusceptor
66
Heizvorrichtungheater
77
Heizungheater
88th
Heizungheater
99
Heizungheater
1010
Filamentfilament
1111
Konnektorconnector
1212
Kopfhead
1313
Stirnflächeface
1414
Kanalchannel
1515
Schraubescrew
1616
Kontaktarmcontact
1717
Bohrungdrilling
1818
Gewindethread
1919
Ausnehmungrecess
2020
Hülseshell
2121
Schaftshaft
2222
KegelstumpfabschnittTruncated cone section
2323
KegelstumpfabschnittTruncated cone section
2424
Fußfoot
2525
Zylinderabschnittcylinder section
2626
KegelstumpfabschnittTruncated cone section
2727
AußengewindeabschnittExternally threaded section
2828
Stirnflächeface
2929
Schlitzslot
3030
Schlitzabschnittslot portion
3131
Sicherungselementfuse element
3232
Zungetongue
3333
Haltestegholding web
3434
Unterlegscheibewasher
3535
Muttermother
3636
Kontaktplattecontact plate
3737
KontaktbohrungContact hole

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • US 7645342 [0003] US 7645342 [0003]

Claims (13)

Vorrichtung zum elektrischen und mechanischen Verbinden eines Heizelementes (10) einer Heizvorrichtung (6) zum Beheizen eines Suszeptors (5) eines CVD-Reaktors (1) mit einem Stromversorgungselement (36), aufweisend einen Kopf (12), zum Verbinden mit dem Heizelement (10), einem Fuß (24) zum Verbinden mit dem Kontaktelement (36) und einem zwischen Kopf (12) und Fuß (24) angeordneten Schaft (21), dadurch gekennzeichnet, dass der Schaft (21) zumindest bereichsweise eine geringere Querschnittsfläche aufweist als der Kopf (12).Device for electrically and mechanically connecting a heating element ( 10 ) a heating device ( 6 ) for heating a susceptor ( 5 ) of a CVD reactor ( 1 ) with a power supply element ( 36 ), having a head ( 12 ), for connecting to the heating element ( 10 ), one foot ( 24 ) for connection to the contact element ( 36 ) and one between head ( 12 ) and foot ( 24 ) arranged shaft ( 21 ), characterized in that the shaft ( 21 ) at least partially has a smaller cross-sectional area than the head ( 12 ). Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Querschnittsfläche des Schaftes (21) weniger als 50 Prozent der Querschnittsfläche des Kopfes (12) beträgt.Device according to claim 1, characterized in that the cross-sectional area of the shank ( 21 ) less than 50 percent of the cross-sectional area of the head ( 12 ) is. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der insbesondere einen kreisrunden Querschnitt aufweisende Kopf (12) unter Ausbildung eines konischen Abschnittes (22) in dem insbesondere einen kreisrunden Querschnitt aufweisenden Schaft (21) übergeht, wobei die Länge des Schaftes (21) größer ist, als dessen Durchmesser.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the in particular a circular cross-section head ( 12 ) forming a conical section ( 22 ) in which in particular a circular cross section having shank ( 21 ), whereby the length of the shaft ( 21 ) is greater than its diameter. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Querschnittsfläche des Fußes (24) größer ist, als die Querschnittsfläche des Schaftes und insbesondere etwa der Querschnittsfläche des Kopfes (12) entspricht.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the cross-sectional area of the foot ( 24 ) is greater than the cross-sectional area of the shaft and in particular approximately the cross-sectional area of the head ( 12 ) corresponds. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Länge des Kopfes (12) etwa dem Durchmesser des Kopfes (12) entspricht.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the axial length of the head ( 12 ) about the diameter of the head ( 12 ) corresponds. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizelement (10) von zumindest einem gewendelten Draht ausgebildet ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the heating element ( 10 ) is formed by at least one coiled wire. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf (12) einen insbesondere quer zur Erstreckungsrichtung des Schaftes (21) sich erstreckenden Kanal (14) aufweist zur Aufnahme des Heizelementes (10), welches im Kanal (14) insbesondere mittels einer Schraube (15) gesichert ist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the head ( 12 ) one in particular transversely to the direction of extension of the shaft ( 21 ) extending channel ( 14 ) has for receiving the heating element ( 10 ), which in the channel ( 14 ) in particular by means of a screw ( 15 ) is secured. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf (12) einen Kontaktarm (16) aufweist, der das Heizelement (10) trägt, wobei das Heizelement (10) insbesondere von zwei nebeneinander verlaufenden gewendelten Drähten ausgebildet ist, die in Gewindegräben (18) des Kontaktarmes (15) einliegen und insbesondere vorgesehen ist, dass die in den Gewindegräben (18) einliegenden Wendelgangabschnitte in einer Hülse (20) stecken.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the head ( 12 ) a contact arm ( 16 ) having the heating element ( 10 ), wherein the heating element ( 10 ) is formed, in particular, by two coiled wires running side by side, which are arranged in threaded trenches ( 18 ) of the contact arm ( 15 ) and in particular it is provided that the in the thread trenches ( 18 ) enclosed Wendelgangabschnitte in a sleeve ( 20 ). Vorrichtung nach einem oder vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Fuß (24) einen Kegelstumpfabschnitt (26) aufweist, der in einer konischen Bohrung (37) einer das Stromversorgungselement (36) ausbildenden Kontaktplatte steckt, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass sich an den durchmessergeringeren Endabschnitt des Kegelstumpfabschnittes (26) ein Außengewinde (27) anschließt, auf das eine Mutter (35) aufschraubbar ist, wobei insbesondere vorgesehen ist, dass die Mutter (35) mittels eines Sicherungselementes (31) drehgesichert ist.Device according to one or the preceding claims, characterized in that the foot ( 24 ) a truncated cone section ( 26 ), which in a conical bore ( 37 ) one of the power supply element ( 36 ) forming contact plate, wherein it is provided in particular that at the smaller diameter end portion of the truncated cone portion ( 26 ) an external thread ( 27 ), to which a mother ( 35 ) is screwed, in particular, it is provided that the mother ( 35 ) by means of a securing element ( 31 ) is rotationally secured. Vorrichtung zum elektrischen und mechanischen Verbinden eines Heizelementes (10) einer Heizvorrichtung (6) zum Beheizen eines Suszeptors (5) eines CVD-Reaktors (1) mit einem Stromversorgungselement (36), aufweisend einen Kopf (12), zum Verbinden mit dem Heizelement (10), einem Fuß (24) zum Verbinden mit dem Kontaktelement (36) und einem zwischen Kopf (12) und Fuß (24) angeordneten Schaft (21), dadurch gekennzeichnet, dass der Kopf (12) Kontaktmittel (14, 16) ausbildet, mit denen ein von einer Drahtwendel gebildetes Heizelement (10) mit dem Kopf (12) mechanisch und elektrisch verbindbar ist.Device for electrically and mechanically connecting a heating element ( 10 ) a heating device ( 6 ) for heating a susceptor ( 5 ) of a CVD reactor ( 1 ) with a power supply element ( 36 ), having a head ( 12 ), for connecting to the heating element ( 10 ), one foot ( 24 ) for connection to the contact element ( 36 ) and one between head ( 12 ) and foot ( 24 ) arranged shaft ( 21 ), characterized in that the head ( 12 ) Contact agent ( 14 . 16 ) forms, with which a heating element formed by a wire helix ( 10 ) with the head ( 12 ) is mechanically and electrically connectable. Vorrichtung zum elektrischen und mechanischen Verbinden eines Heizelementes (10) einer Heizvorrichtung (6) zum Beheizen eines Suszeptors (5) eines CVD-Reaktors (1) mit einem Stromversorgungselement (36), aufweisend einen Kopf (12), zum Verbinden mit dem Heizelement (10), einem Fuß (24) zum Verbinden mit dem Kontaktelement (36) und einem zwischen Kopf (12) und Fuß (24) angeordneten Schaft (21), dadurch gekennzeichnet, dass der Fuß (24) einen Kegelstumpfabschnitt (26) aufweist, der mit seinem Stumpfende in einen Außengewindeabschnitt (27) übergeht.Device for electrically and mechanically connecting a heating element ( 10 ) a heating device ( 6 ) for heating a susceptor ( 5 ) of a CVD reactor ( 1 ) with a power supply element ( 36 ), having a head ( 12 ), for connecting to the heating element ( 10 ), one foot ( 24 ) for connection to the contact element ( 36 ) and one between head ( 12 ) and foot ( 24 ) arranged shaft ( 21 ), characterized in that the foot ( 24 ) a truncated cone section ( 26 ), which with its stump end in an externally threaded portion ( 27 ) passes over. Heizvorrichtung zum Beheizen eines Suszeptors (5) eines CVD-Reaktors (1) mit einem Stromversorgungselement (36) und mindestens einem Heizelement (10), dadurch gekennzeichnet, dass das Heizelement (10) mit einer Vorrichtung gemäß einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche mit dem Stromversorgungselement (36) verbunden ist.Heating device for heating a susceptor ( 5 ) of a CVD reactor ( 1 ) with a power supply element ( 36 ) and at least one heating element ( 10 ), characterized in that the heating element ( 10 ) with a device according to one or more of the preceding claims with the power supply element ( 36 ) connected is. Vorrichtung, gekennzeichnet durch eines oder mehrere der kennzeichnenden Merkmale eines der vorhergehenden Ansprüche.Device characterized by one or more of the characterizing features of one of the preceding claims.
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