-
Es wird ein organisches optoelektronisches Bauteil angegeben. Darüber hinaus wird ein Verfahren zur Bestimmung der Qualität einer Verkapselungsschichtenfolge in einem organischen optoelektronischen Bauteil angegeben.
-
Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein organisches optoelektronisches Bauteil anzugeben, bei dem eine Qualitätskontrolle besonders einfach und wirtschaftlich durchgeführt werden kann.
-
Bei dem hier beschriebenen organischen optoelektronischen Bauteil kann es sich beispielsweise um ein strahlungserzeugendes Bauteil wie beispielsweise eine organische Leuchtdiode (OLED) handeln. Ferner ist es möglich, dass das Bauteil eine organische Fotodiode oder eine organische Solarzelle bildet.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils umfasst das Bauteil eine erste Elektrode, die mit einem elektrisch leitenden Material gebildet ist.
-
Die erste Elektrode sowie auch die nachfolgend beschriebenen weiteren Elektroden können beispielsweise mit einem Metall und/oder mit einem Metalloxid gebildet sein. Die Elektroden können strahlungsdurchlässig oder strahlungsreflektierend ausgebildet sein.
-
Eine hier beschriebene strahlungsdurchlässige Elektrode ist beispielsweise für wenigstens 50 %, insbesondere für wenigstens 80 % der im Betrieb im Bauteil erzeugten oder empfangenen und auf sie treffenden elektromagnetischen Strahlung durchlässig. Eine strahlungsdurchlässige Elektrode kann dabei Strahlung streuend oder transparent, klarsichtig ausgebildet sein.
-
Eine hier beschriebene strahlungsreflektierende Elektrode ist beispielsweise für wenigstens 50 %, insbesondere für wenigstens 80 % der im Betrieb im Bauteil erzeugten oder empfangenen und auf sie treffenden elektromagnetischen Strahlung reflektierend. Eine strahlungsreflektierende Elektrode kann dabei diffus oder gerichtet reflektierend ausgebildet sein.
-
Bei der ersten Elektrode kann es sich um eine strahlungsreflektierende oder strahlungsdurchlässige Elektrode handeln.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils umfasst das Bauteil einen aktiven Bereich, der mit einem organischen Material gebildet ist. Je nach Art des Bauteils wird im Betrieb des Bauteils elektromagnetische Strahlung, insbesondere Licht, erzeugt oder empfangen.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils umfasst das Bauteil eine zweite Elektrode, die mit einem elektrisch leitenden Material gebildet ist. Bei der zweiten Elektrode kann es sich um eine strahlungsreflektierende oder strahlungsdurchlässige Elektrode handeln.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils umfasst das organische optoelektronische Bauteil eine Verkapselungsschichtenfolge, die mit einem dielektrischen Material gebildet ist. Die Verkapselungsschichtenfolge umfasst wenigstens eine Schicht, vorzugsweise eine Vielzahl von Schichten, die mit einem dielektrischen Material gebildet ist/sind.
-
Die Verkapselungsschichtenfolge ist dazu vorgesehen, das organische Material des aktiven Bereichs vor Feuchtigkeit und/oder atmosphärischen Gasen zu schützen. Beispielsweise hindert die Verkapselungsschichtenfolge Feuchtigkeit und /oder atmosphärische Gase am Durchtritt. Die Verkapselungsschichtenfolge kann den aktiven Bereich an sämtlichen freien Außenflächen des aktiven Bereichs bedecken.
-
Beispielsweise wird die Verkapselungsschichtenfolge auf die Außenfläche des aktiven Bereichs aufgedampft oder abgeschieden. Zum Beispiel kann die Verkapselungsschichtenfolge durch Verfahren wie CVD und/oder ALD erzeugt sein. Die Verkapselungsschichtenfolge kann dabei Materialien wie SiN, SiO2, AlN oder Al2O3 enthalten enthalten. Weitere Materialen sowie Herstellungsverfahren zur Herstellung einer Verkapselungsschichtenfolge sind zum Beispiel in der Druckschrift
US 2011/0049730 beschrieben, die hiermit per Rückbezug aufgenommen wird.
-
Das Material der Verkapselungsschichtenfolge ist vorzugsweise ein Dielektrikum, also eine elektrisch schwach- oder nichtleitende, nichtmetallische Substanz. Die Verkapselungsschichtenfolge wirkt, zumindest im intakten Zustand, als elektrischer Isolator.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils umfasst das Bauteil eine dritte Elektrode, die mit einem elektrisch leitenden Material gebildet ist. Die dritte Elektrode kann beispielsweise eine strahlungsdurchlässige oder eine strahlungsreflektierende Elektrode sein.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils sind die erste Elektrode und die zweite Elektrode an unterschiedlichen Seiten des aktiven Bereichs angeordnet. Beispielsweise bedecken die beiden Elektroden zwei einander gegenüberliegenden Hauptflächen des aktiven Bereichs zumindest teilweise, insbesondere vollständig. Die erste und die zweite Elektrode sind dazu vorgesehen, den aktiven Bereich zu bestromen oder Ladungsträger vom aktiven Bereich abzuführen. Die erste und die zweite Elektrode sind jeweils elektrisch leitend mit dem aktiven Bereich und über den aktiven Bereich elektrisch leitend miteinander verbunden. Die erste und die zweite Elektrode dienen damit zum elektrischen Anschließen des aktiven Bereichs.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils ist die Verkapselungsschichtenfolge zwischen der ersten Elektrode und der dritten Elektrode angeordnet. Beispielsweise sind die erste Elektrode und die dritte Elektrode an unterschiedlichen einander gegenüberliegenden Hauptflächen der Verkapselungsschichtenfolge angeordnet. Die Verkapselungsschichtenfolge isoliert, zumindest im intakten Zustand, die erste Elektrode elektrisch von der dritten Elektrode. Die dritte Elektrode dient nicht zum elektrischen Anschließen des aktiven Bereichs. Die dritte Elektrode ist, falls die Verkapselungsschichtenfolge intakt ist, durch die Verkapselungsschichtenfolge elektrisch vom aktiven Bereich isoliert.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils sind die erste Elektrode, die zweite Elektrode und die dritte Elektrode von außerhalb des Bauteils kontaktierbar. Das heißt, für die drei Elektroden ist jeweils ein Kontakt vorhanden, über den die Elektrode elektrisch anschließbar ist. Über den elektrischen Kontakt, der der ersten Elektrode zugeordnet ist, und dem elektrischen Kontakt, der der zweiten Elektrode zugeordnet ist, kann der aktive Bereich des Bauteils betrieben werden.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils wird ein Bauteil angegeben, mit
- – einer ersten Elektrode, die mit einem elektrisch leitenden Material gebildet ist,
- – einem aktiven Bereich, der mit einem organischen Material gebildet ist,
- – einer zweiten Elektrode, die mit einem elektrisch leitenden Material gebildet ist,
- – einer Verkapselungsschichtenfolge, die mit einem dielektrischen Material gebildet ist, und
- – einer dritten Elektrode, die mit einem elektrisch leitenden Material gebildet ist, wobei
- – die erste Elektrode und die zweite Elektrode an unterschiedlichen Seiten des aktiven Bereichs angeordnet sind,
- – die Verkapselungsschichtenfolge zwischen der ersten Elektrode und der dritten Elektrode angeordnet ist, und
- – die erste Elektrode, die zweite Elektrode und die dritte Elektrode von außerhalb des Bauteils kontaktierbar sind.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Bauteils wird ein Bauteil angegeben, bei dem eine Verkapselungsschichtenfolge zwischen zwei Elektroden, beispielsweise der ersten Elektrode und der dritten Elektrode, angeordnet ist. Die Verkapselungsschichtenfolge ist mit einem dielektrischen Material gebildet und isoliert im intakten Zustand diese beiden Elektroden elektrisch voneinander.
-
Es wird weiter ein Verfahren zur Bestimmung der Qualität einer Verkapselungsschichtenfolge in einem organischen optoelektronischen Bauteil angegeben. Für das Verfahren wird ein Bauteil bereitgestellt, bei dem eine Verkapselungsschichtenfolge, die zum Beispiel mit einem dielektrischen Material gebildet ist, insbesondere unmittelbar zwischen zwei Elektroden angeordnet ist. Zwischen den beiden Elektroden wird eine elektrische Spannung angelegt. Aus Messungen elektrischer Eigenschaften der Verkapselungsschichtenfolge lassen sich Aussagen über die Integrität und damit die Qualität der Verkapselungsschichtenfolge treffen. Beispielsweise werden bei dem Verfahren die Permittivität und/oder der elektrische Widerstand der Verkapselungsschichtenfolge bestimmt.
-
Dem hier beschriebenen Bauteil und dem hier beschriebenen Verfahren liegt dabei unter anderem die Erkenntnis zu Grunde, dass mittels des Aufbringens der dritten Elektrode über der Verkapselungsschichtenfolge die Integrität der Verkapselungsschichtenfolge und damit die Qualität der Verkapselung des Bauteils getestet werden kann. Beispielsweise kann eine Spannung zwischen der ersten Elektrode und der dritten Elektrode, die jeweils die Verkapselungsschichtenfolge angrenzen, angelegt werden. Dadurch können zum Beispiel die dielektrischen Eigenschaften wie die Permittivität und/oder der elektrische Widerstand der Verkapselungsschichtenfolge zerstörungsfrei getestet werden. Auf diese Weise ist es möglich, die Integrität der Verkapselungsschichtenfolge zu messen und schlecht verkapselte Bauteile zu erkennen. Dabei kann sowohl eine schlechte Verkapselung, die durch eingedrückte Partikel, die zum Beispiel beim Aufbringen einer Abdeckung auf die Verkapselungsschichtenfolge entsteht, oder eine schlechte Verkapselung, die durch einen nicht fehlerfreien Herstellungsprozess erzeugt wurde, erkannt werden.
-
Eine aufgrund einer fehlerhaften Herstellung schlechte Verkapselung kann beispielsweise daran erkannt werden, dass die Permittivität der Verkapselungsschichtenfolge unterhalb eines Sollwerts liegt, was beispielsweise Lufteinschlüsse in der Verkapselungsschichtenfolge anzeigen kann. Ferner können beispielsweise so genannte Pinholes durch einen elektrischen Widerstand angezeigt werden, der unterhalb eines Sollwerts liegt. Auch Einschlüsse von Fremdpartikeln in der Verkapselungsschichtenfolge können durch ein Abweichen der Permittivität und/oder des elektrischen Widerstands von einem Sollwert erkannt werden.
-
Das Verfahren kann dabei beispielsweise an einem hier beschriebenen Bauteil durchgeführt werden. Das heißt, sämtliche für das Bauteil offenbarten Merkmale sind auch für das Verfahren offenbart und umgekehrt.
-
Es hat sich weiter gezeigt, dass die dritte Elektrode neben ihrem Einsatz zum Testen der Qualität der Verkapselungsschichtenfolge weitere Vorteile mit sich bringen kann. Beispielsweise kann die dritte Elektrode je nach Material und Dicke einen Schutz gegenüber Partikeln, die bei weiteren Prozessschritten eingedrückt werden können, bilden. Ferner kann die die dritte Elektrode eine Verkapselungs-Wirkung aufweisen und damit die Verkapselung des Bauteils weiter verbessern. Ferner kann die dritte Elektrode mechanische Verspannungen (zum Beispiel Schichtstress) im Bauteil reduzieren.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils grenzt die Verkapselungsschichtenfolge unmittelbar an die erste Elektrode und die dritte Elektrode an. Das heißt, die Verkapselungsschichtenfolge und die angrenzenden Elektroden weisen gemeinsame Schnittflächen auf, an denen sie in direktem Kontakt miteinander stehen. Beispielsweise können die erste Elektrode und die dritte Elektrode einander gegenüberliegenden Hauptflächen der Verkapselungsschichtenfolge vollständig bedecken und stellenweise einer lateraler Richtung, also einer Richtung parallel zur Haupterstreckungsebene der Verkapselungsschichtenfolge, überragen.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils sind die erste Elektrode und die zweite Elektrode elektrisch leitend mit dem aktiven Bereich verbunden und die dritte Elektrode ist durch die Verkapselungsschichtenfolge vom aktiven Bereich elektrisch isoliert. Beispielsweise ist die zweite Elektrode an einer Unterseite des aktiven Bereichs. Die erste Elektrode kann dann an der der zweiten Elektrode abgewandten Oberseite des aktiven Bereichs angeordnet sein. Die Verkapselungsschichtenfolge kann dann an der dem aktiven Bereich abgewandten Oberseite der ersten Elektrode angeordnet sein. An der der ersten Elektrode abgewandten Oberseite der Verkapselungsschichtenfolge ist dann die dritte Elektrode angeordnet.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils sind die erste Elektrode und die zweite Elektrode durch die Verkapselungsschichtenfolge von der dritten Elektrode elektrisch isoliert. Die erste und die zweite Elektrode können dabei durch den aktiven Bereich elektrisch leitend miteinander verbunden sein.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils umfasst das Bauteil zumindest eine weitere Verkapselungsschichtenfolge und zumindest eine weitere, zum Beispiel vierte Elektrode. Die weitere Verkapselungsschichtenfolge ist dabei zwischen der weiteren Elektrode und einer anderen Elektrode des Bauteils angeordnet. Über die weitere Elektrode und die andere Elektrode des Bauteils kann durch Anlegen einer Spannung an den beiden Elektroden die Qualität, insbesondere die Integrität, der weiteren Verkapselungsschichtenfolge bestimmt werden.
-
Das Bauteil kann eine Vielzahl von Verkapselungsschichtenfolgen aufweisen, wobei vorzugsweise jeder Verkapselungsschicht ein Paar von Elektroden zugeordnet ist, über das die Qualität der Verkapselungsschichtenfolge mit einem hier beschriebenen Verfahren überprüft werden kann. Jede der Elektroden ist dazu von außerhalb des Bauteils elektrisch anschließbar.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils umfasst das Bauteil eine vierte Elektrode, die mit einem elektrisch leitenden Material gebildet ist und eine weitere Verkapselungsschichtenfolge, die mit einem dielektrischen Material ist. Dabei ist es insbesondere möglich, dass die weitere Verkapselungsschichtenfolge unmittelbar zwischen der dritten Elektrode und der vierten Elektrode oder unmittelbar zwischen der zweiten Elektrode und der vierten Elektrode angeordnet ist. Über die Elektroden, zwischen dem die weitere Verkapselungsschichtenfolge angeordnet ist, kann mit dem hier beschriebenen Verfahren die Qualität der weiteren Verkapselungsschichtenfolge bestimmt werden.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils ist die dritte Elektrode für im Betrieb des Bauteils im aktiven Bereich erzeugte oder empfangene elektromagnetische Strahlung durchlässig ausgebildet. Das heißt, zum Beispiel im Bauteil erzeugte elektromagnetische Strahlung verlässt das Bauteil zumindest zum Teil durch die Verkapselungsschichtenfolge und die dritte Elektrode.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils überragt die dritte Elektrode den aktiven Bereich in der lateralen Richtung. Auf diese Weise kann die dritte Elektrode besonders einfach von außerhalb des Bauteils kontaktiert werden, da sie lateral beabstandet zum aktiven Bereich frei zugänglich ist.
-
Gemäß zumindest einer Ausführungsform des organischen optoelektronischen Bauteils ist ein für die im Betrieb des Bauteils im aktiven Bereich erzeugte oder empfangene elektromagnetische Strahlung durchlässiger Abdeckkörper an einer dem aktiven Bereich abgewandten Seite der dritten Elektrode angeordnet. Der Abdeckkörper bildet dabei einen mechanischen Schutz für die darunterliegenden Schichten des Bauteils. Beispielsweise wird der Abdeckkörper auf die der Verkapselungsschichtenfolge abgewandte Oberseite der dritten Elektrode aufgeklebt oder auflaminiert. Die dritte Elektrode kann dabei einen mechanischen Schutz der Verkapselungsschichtenfolge vor Partikeln bilden, die beim Aufbringen des Abdeckkörpers ohne die dritte Elektrode in die Verkapselungsschichtenfolge eingedrückt werden und ihre Qualität mindern. Vor und nach dem Aufbringen des Abdeckkörpers kann die Qualität der Verkapselungsschichtenfolge mit dem hier beschriebenen Verfahren überprüft werden. Auf diese Weise kann durch Vergleich der Messwerte vor und nach dem Aufbringen erkannt werden, ob die Verkapselungsschichtenfolge durch das Aufbringen des Abdeckkörpers Schaden genommen hat.
-
Insgesamt ist es möglich, dass das hier beschriebene Verfahren am selben Bauteil mehrmals durchgeführt wird. Beispielsweise wird das Verfahren nach bestimmten Verarbeitungsschritten wie beispielsweise dem Aufbringen des Abdeckkörpers und vor diesen Verarbeitungsschritten durchgeführt. Ein Vergleich der dabei erhaltenen Messwerte beispielsweise für die Permittivität oder den elektrischen Widerstand der vermessenen Verkapselungsschichtenfolge kann Auskunft darüber geben, ob eine Beschädigung der Verkapselungsschichtenfolge beim Verarbeitungsschritt erfolgt ist. Auch in der Entwicklung von hier beschriebenen Bauteilen kann mit dem Verfahren Auskunft darüber erhalten werden, welche Verarbeitungsschritte im Hinblick auf eine Beschädigung der Verkapselung besonders kritisch sind.
-
Beim hier beschriebenen Abdeckkörper kann es sich beispielsweise um eine Glasscheibe, eine Metallfolie, eine Graphitfolie oder eine Kunststofffolie handeln. Der Abdeckkörper kann auflaminiert oder aufgeklebt werden.
-
Im Folgenden werden das hier beschriebene Bauteil sowie das hier beschriebene Verfahren anhand von Ausführungsbeispielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert.
-
Die 1, 2, 3, und 4 zeigen Ausführungsbeispiele von hier beschriebenen Bauteilen in schematischen Schnittdarstellungen.
-
Die 5, 6, 7 zeigen Ausführungsbeispiele von hier beschriebenen Bauteilen anhand schematischer Draufsicht.
-
Gleiche, gleichartige oder gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht als maßstäblich zu betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente zur besseren Darstellbarkeit und/oder für eine bessere Verständlichkeit übertrieben groß dargestellt sein.
-
In der 1 ist anhand einer schematischen Schnittdarstellung ein erstes Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen Bauteils näher erläutert. Das Bauteil umfasst einen Träger 7. Der Träger 7 ist beispielsweise mit einem Metall, einem Kunststoff und/oder einem Glas gebildet.
-
An der Oberseite des Trägers 7 ist die zweite Elektrode 2 angeordnet. Bei der zweiten Elektrode 2 handelt es sich vorliegend beispielsweise um eine Anode. Die zweite Elektrode 2 kann vorliegend strahlungsreflektierend ausgebildet sein.
-
An der dem Träger 7 abgewandten Oberseite der zweiten Elektrode 2 ist der aktive Bereich 8 angeordnet, der mit einem organischen Material gebildet ist. Beispielsweise handelt es sich bei dem gezeigten Bauteil um eine organische Leuchtdiode, in deren Betrieb im aktiven Bereich 8 Licht erzeugt wird.
-
An der der zweiten Elektrode 2 abgewandten Oberseite des aktiven Bereichs 8 ist die erste Elektrode 1 angeordnet, die vorliegend beispielsweise strahlungsdurchlässig ausgebildet ist. Bei der ersten Elektrode 1 handelt es sich beispielsweise um eine Kathode des Bauteils.
-
An der dem aktiven Bereich 8 abgewandten Oberseite der ersten Elektrode 1 ist die Verkapselungsschichtenfolge 5 angeordnet, die vorliegend als Dünnfilmverkapselung ausgebildet ist.
-
An der der ersten Elektrode 1 abgewandten Oberseite der Verkapselungsschichtenfolge 5 ist die dritte Elektrode 3 angeordnet.
-
Sämtliche Elektroden 1, 2 und 3 sind von außerhalb des Bauteils elektrisch kontaktierbar, was in der 1 durch Pfeile angedeutet ist. Die dritte Elektrode 3 bildet weder eine Anode noch eine Kathode des Bauteils und dient nicht zum elektrischen Anschluss oder zum Betreiben des aktiven Bereichs 8.
-
Beim Bauteil des Ausführungsbeispiels der 1 kann ein hier beschriebenes Verfahren durch Anlegen einer Spannung an die erste Elektrode 1 und die dritte Elektrode 3 durchgeführt werden. Dadurch können zum Beispiel die dielektrischen Eigenschaften wie die Permittivität und/oder der elektrische Widerstand der Verkapselungsschichtenfolge 5 zerstörungsfrei getestet werden. Auf diese Weise ist es möglich, die Integrität der Verkapselungsschichtenfolge 5 zu messen und schlecht verkapselte Bauteile zu erkennen. Dabei kann sowohl eine schlechte Verkapselung, die durch eingedrückte Partikel, die zum Beispiel beim Aufbringen des Abdeckkörpers 6 auf die Verkapselungsschichtenfolge 5 entsteht oder eine schlechte Verkapselung, die durch einen nicht fehlerfreien Herstellungsprozess erzeugt wurde, erkannt werden. Dies beruht auf der Erkenntnis, dass sich die dielektrischen Eigenschaften der Verkapselungsschichtenfolge 5 durch Fehler wie beispielsweise Pinholes und eingedrückte Partikel verhindern.
-
Die dritte Elektrode 3 kann dabei noch weitere funktionale Aufgaben im Bauteil übernehmen. Zum Beispiel bildet die dritte Elektrode 3 einen mechanischen Schutz der darunterliegenden Schichten und/oder bildet eine weitere Verkapselung insbesondere des organischen Materials des aktiven Bereichs 8 gegen Feuchtigkeit und/oder atmosphärische Gase aus.
-
Der Abdeckkörper 6 ist dabei beispielsweise ein auflaminiertes Glas oder eine aufgeklebte Folie und ist an der der Verkapselungsschichtenfolge 5 abgewandten Oberseite der dritten Elektrode 3 angeordnet.
-
In Verbindung mit der schematischen Schnittdarstellung der 2 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen Bauteils erläutert. Im Unterschied zum Bauteil der 1 ist die Verkapselungsschichtenfolge 5 in diesem Ausführungsbeispiel aus zwei oder mehr Schichten gebildet. Unterschiedliche Schichten der Verkapselungsschichtenfolge können dabei aus unterschiedlichen Materialien bestehen und/oder mit unterschiedlichen Verfahren hergestellt sein. Im Unterschied zum Bauteil, das in Verbindung mit der 1 beschrieben ist, weist das Bauteil, das in Verbindung mit der 3 beschrieben ist, eine weitere Verkapselungsschichtenfolge 5' auf, die an der der Verkapselungsschichtenfolge 5 abgewandten Oberseite der dritten Elektrode 3 angeordnet ist. Das Bauteil weist zusätzlich eine vierte Elektrode 4 auf, die an der der dritten Elektrode 3 abgewandten Oberseite der weiteren Verkapselungsschichtenfolge 5' angeordnet ist.
-
Es hat sich gezeigt, dass die Messungen an der Verkapselungsschichtenfolge 5 mit größer werdenden Schichtdicken der Verkapselungsschichtenfolge 5 ungenauer werden. Im Ausführungsbeispiel der 3 ist dieses Problem dadurch gelöst, dass mehrere Verkapselungsschichtenfolgen 5 vorhanden sind, wobei jeder weiteren Verkapselungsschichtenfolge eine weitere Elektrode zugeordnet ist. Zudem können die weiteren Schichten weitere Funktionen übernehmen. Je nach dem gewählten Material leisten Sie einen Beitrag zu Verkapselung-Wirkung, zur Reduktion von mechanische Verspannungen, zum Schutz vor eingedrückt Partikeln und/oder zum mechanischen Schutz des Bauteils.
-
Beim Bauteil der 4 ist die weitere Verkapselungsschichtenfolge 5' unterhalb der ersten Elektrode 1 angeordnet. Die vierte Elektrode 4 ist dabei zwischen den Träger 7 und der weiteren Verkapselungsschichtenfolge 5' angeordnet. Dies erweist sich insbesondere für Top-Emitter oder beidseitig emittierende Bauteile als vorteilhaft.
-
Anhand der 5, 6 und 7 ist die Kontaktierung der Elektroden eines hier beschriebenen Bauteils näher erläutert.
-
Die 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines hier beschriebenen Bauteils anhand einer schematischen Draufsicht.
-
Im Ausführungsbeispiel der 5 ist die dritte Elektrode 3 derart ausgebildet, dass sie den aktiven Bereich 8 in lateraler Richtung überragt. Auf diese Weise entstehen Kontaktbereiche 31 zur Kontaktierung der dritten Elektrode 3. Im Ausführungsbeispiel der 5 ist die Verkapselungsschichtenfolge 5 ebenfalls großflächig ausgebildet, so dass sie den aktiven Bereich 8 in gleicher Weise wie die dritte Elektrode 3 in lateraler Richtung überragt. Auf diese Weise ist es möglich, dass die dritte Elektrode 3 mit den beiden weiteren Elektroden 1, 2 des Bauteils überlappt.
-
In Verbindung mit der 6 ist ein Ausführungsbeispiel gezeigt, bei dem die Verkapselungsschichtenfolge 5 nicht ganzflächig ausgeführt ist, sondern lediglich den aktiven Bereich 8 bedeckt. Im Ausführungsbeispiel der 6 sind daher Kontaktbereiche 31 in Form von Kontaktstegen von der dritten Elektrode 3 nach außen geführt, um einen Kurzschluss mit den beiden weiteren Elektroden 1, 2 des Bauteils zu vermeiden.
-
In Verbindung mit der 7 ist eine Kombination der Ausführungsbeispiele der 5 und 6 erläutert.
-
Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele auf diese beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-