DE102013020395B4

DE102013020395B4 - Verfahren zur Kompensation der Temperaturabhängigkeit eines Nutzsignals

Info

Publication number: DE102013020395B4
Application number: DE102013020395.3A
Authority: DE
Inventors: Michael Wagner; Thilo Rubehn
Original assignee: TDK Micronas GmbH
Current assignee: TDK Micronas GmbH
Priority date: 2013-12-10
Filing date: 2013-12-10
Publication date: 2019-03-21
Anticipated expiration: 2033-12-11
Also published as: DE102013020395A1

Abstract

Verfahren zur Kalibrierung der Temperaturabhängigkeit eines Nutzsignals eines integrierten Schaltkreises (IC), wobei
der Integrierte Schaltkreis (IC) gehäust ist und einen Magnetfeldsensor (HS) und einen Temperatursensor (TS) und eine Speichereinheit (SP1) umfasst, und beide Sensoren (HS; TS) und die Speichereinheit (SP1) monolithisch integriert sind, und
der Magnetfeldsensor (HS) mit einem ersten Betriebsstrom und der Temperatursensor (TS) mit einem zweiten Betriebsstrom beaufschlagt wird, und zur Bereitstellung des ersten Betriebsstroms und des zweiten Betriebsstroms der integrierte Schaltkreis (IC) von einer externen Testeinheit (TE) mit einer Betriebsspannung versorgt wird, und
von dem Magnetfeldsensor (HS) ein erstes Sensorsignal bereitgestellt wird, wobei
der Wert des ersten Sensorsignals von der Stärke eines anliegenden Magnetfeldes (B) und der Höhe der Temperatur (T) des integrierten Schaltkreises (IC) abhängt, und
von dem Temperatursensor (TS) ein zweites Sensorsignal bereitgestellt wird, und
der integrierte Schaltkreis (IC) während des Durchlaufens eines Temperaturintervalls mit einem konstanten Magnetfeld (B) beaufschlagt ist, wobei
von dem integrierten Schaltkreis (IC) zwischen einem ersten Zeitpunkt (t1) und einem zweiten Zeitpunkt (t2) das Temperaturintervall mit einer vorgegeben Startemperatur (-T1) und einer vorgegebenen Endtemperatur (T2) durchlaufen wird, wobei das zweite Sensorsignal als unkalibriertes Temperatursignal vorliegt und dem Wert des ersten Sensorsignals jeweils ein unkalibrierter Wert des zweiten Sensorsignals zugeordnet wird, und
mittels des ersten Sensors und des zweiten Sensors eine Vielzahl von Wertepaaren erfasst werden, wobei die Wertepaare aus einem Wert des ersten Sensorsignals und aus einem dem Wert des ersten Sensorsignal zugeordneten Wert des zweiten Sensorsignals bestehen und in der Speichereinheit (SP1) abgelegt werden, wobei die Schrittweite zwischen zwei aufeinanderfolgenden Wertepaaren zeitlich äquidistant gewählt wird, und
anschließend anhand der gespeicherten Wertepaare eine Ausgleichsfunktion In Form eines Polynoms ermittelt wird, und
das Polynom in dem integrierten Schaltkreis (IC) gespeichert wird, und
die Ermittlung der Ausgleichsfunktion des Polynoms von dem Integrierten Schaltkreis (IC) durchgeführt wird, und
in einem nachfolgenden Schritt von dem integrierten Schaltkreis (IC) mittels des Polynoms die gemessenen Werte des ersten Sensorsignals um den Einfluss der Temperatur (T) auf das erste Sensorsignal korrigiert werden.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibration der Temperaturabhängigkeit eines Nutzsignals gemäß Merkmalen des Patentanspruchs 1.
Aus der EP 2 071 291 A2 , EP 1 920 259 B1 , EP 1 564 888 A2 und der US 7 885 608 B2 sind Verfahren zum Abgleich eines temperaturabhängigen Nutzsignals bekannt. Insbesondere offenbart die EP 2 071 291 A2 ein Verfahren zur Kalibration eines Hallsensors, wobei die Temperaturabhängigkeit der Hallspannung in einem Intervall gemessen und mittels eines Polynoms nachgebildet wird. Anschließend werden die Koeffizienten des Polynoms in einem EEPROM abgelegt, um nach der Kalibration den Einfluss der Temperatur bei den mit dem Hallsensor gemessenen Spannungswerten zu korrigieren. Aus TLE4997_TC_setup_guide_n Rev. 1.2. pdf ist ein Verfahren zur Kalibration bekannt. Eine monolithisch integrierte Temperaturerfassungseinrichtung ist aus der DE 10 2008 042 533 A1 bekannt. Aus HAL 283x Linear Hall-Effect Sensor Family with SENT Interface, Firmenschrift der MICRONAS GmbH vom 6. 09. 2010 ist ein Hallsensorschaltkreis mit einer Temperaturkompensation bekannt. Aus FISK, R.P. [et al]: A Calibration-Free Low Cost Process-Compensated Temperature Sensor in 130nm CMOS. In: IEEE Sensors Journal 11(12), 2012. 3316-3329, ist ein CMOS Schalkreis mit unkalibrierten Temperatur Sensor bekannt.
Vor diesem Hintergrund besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Verfahren anzugeben, die den Stand der Technik weiterbildet.
Die Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Kalibration der Temperaturabhängigkeit eines Nutzsignals mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Gemäß dem Gegenstand der Erfindung wird ein Verfahren zur Kalibration der Temperaturabhängigkeit eines Nutzsignals eines integrierten Schaltkreises bereitgestellt, wobei der integrierte Schaltkreis gehäust ist und einen Magnetfeldsensor und einen Temperatursensor umfasst, und beide Sensoren monolithisch integriert sind, und der Magnetfeldsensor mit einem ersten Betriebsstrom und der Temperatursensor mit einem zweiten Betriebsstrom beaufschlagt wird, und zur Bereitstellung des ersten Betriebsstroms und des zweiten Betriebsstroms der integrierte Schaltkreis von einer externen Testeinheit mit einer Betriebsspannung versorgt wird, und von dem Magnetfeldsensor ein erstes Sensorsignal bereitgestellt wird, wobei der Wert des ersten Sensorsignals von der Stärke eines anliegenden Magnetfeldes und der Höhe der Temperatur des integrierten Schaltkreises abhängt, und wobei von dem Temperatursensor ein zweites Sensorsignal bereitgestellt wird, und wobei von dem integrierten Schaltkreis zwischen einen ersten Zeitpunkt und einem zweiten Zeitpunkt ein Temperaturintervall mit einer vorgegeben Startemperatur und einer vorgegebenen Endtemperatur durchlaufen wird, und während des Durchlaufens des Temperaturintervalls der integrierte Schaltkreis mit einem konstanten Magnetfeld beaufschlagt ist, und eine Vielzahl von Wertepaaren, bestehend aus einem Wert des ersten Sensorsignals und aus einem dem Wert des ersten Sensorsignal zugeordneten Wert des zweiten Sensorsignals, von dem integrierten Schaltkreis erfasst und in einer Speichereinheit abgelegt werden, und anschließend anhand den gespeicherten Wertepaaren eine Ausgleichsfunktion in Form eines Polynoms ermittelt wird, und das Polynom in dem integrierten Schaltkreis gespeichert wird, und in einem nachfolgenden Schritt von dem integrierten Schaltkreis mittels des Polynoms die gemessenen Werte des ersten Sensorsignals um den Einfluss der Temperatur auf das erste Sensorsignal zu korrigieren.
Es sei angemerkt, dass die externe Testeinheit zur Versorgung des integrierten Schaltkreises vorzugsweise als sogenannter Endtester ausgebildet ist. Um eine Kalibrierung durchzuführen ist es hinreichend, den integrierten Schaltkreis mit der notwendigen Betriebsspannung zu versorgen und einen Kalibiermodus zu starten. Es sei angemerkt, dass außer den Messwertpaaren an den beiden Intervallgrenzen nur wenige weitere Wertepaare notwendig sind, um eine Ausgleichsfunktion zu berechnen. Hierbei umfasst ein Messwertpaar ein Wert des ersten Sensors und ein dem Wert des ersten Sensors zugeordneter Signalwert des Temperatursensors. Vorzugsweise sind neun, höchst vorzugsweise zwölf Wertepaare hinreichend. Außerdem sei angemerkt, dass es sich bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Korrektur des Temperatureinflusses bzw. zur Kalibrierung des Magnetfeldsensors handelt.
Ein Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es, dass für eine Korrektur des Nutzsignals um den Einfluss der Temperatur beide in dem Schaltkreis monolithisch integrierten Sensoren benutzt werden. Für die Erfassung und Verknüpfung der von den beiden Sensoren gemessen Werte werden die Werte zu sogenannten Wertepaaren verknüpft. Hierbei ist der integrierte Schaltkreis und nicht die Testeinheit für die Erfassung der Messwertepaare zuständig. Für die Ermittlung der Wertepaare wird der integrierte Schaltkreis von einer Testeinheit mit dem notwendigen Betriebsstrom bzw. der Betriebsspannung versorgt. Vorzugsweise entfällt eine externe Kontrolle und Erfassung der Temperatur und Erfassung der Wertepaare durch die Testeinheit. Ein weiterer Vorteil ist, dass bei der Erfassung der Werte der beiden Sensoren des integrierten Schaltkreises nur die Starttemperatur und die Endtemperatur bekannt sein müssen und im Allgemeinen den für die integrierte Schaltung spezifizierten Temperaturbereich entsprechen. Indem zur Erfassung der Messwertepaare die integrierte Schaltung und nicht die Testeinheit verwendet wird, entfällt eine mehrfache zeitraubende Übermittlung der Daten bzw. der Messwerte. Die Erwärmung oder Abkühlung zwischen der Starttemperatur und Endtemperatur geht kontinuierlich vonstatten. In der Phase, während sich die integrierte Schaltung erwärmt oder abkühlt, lässt sich eine Vielzahl von Messwertpaaren von dem integrierten Schaltkreis erfassen. Hierdurch wird die Genauigkeit der Anpassung an den Messwertverlauf mit einem Polynom erhöht. Bei den bisherigen Verfahren werden insbesondere von der Testeinheit aus Kostengründen nur sehr wenige, meist nur ein einziges Wertepaar, zwischen der Starttemperatur und Endtemperatur ermittelt, wobei die derartig gewonnenen Wertepaare im Allgemeinen sehr aufwändig mittels einer Klimakammer ermittelt werden.
Beispielsweise ist es hinreichend, den integrierten Schaltkreis zuerst zu kühlen, vorzugsweise in einer Kältekammer und anschließend mit der Erfassung der Sensorsignale zu starten und hiernach den integrierten Schaltkreis sich auf Raumtemperatur oder eine höhere Temperatur, beispielsweise mit einer Wärmeplatte, zu erwärmen. Es versteht sich, dass die Aufwärmrate oder gegebenenfalls eine Abkühlrate nicht erfasst werden muss. Eine externe Temperaturmessung erübrigt sich. Bevorzugt ist, dass die Aufnahme der Wertepaare und deren Abspeicherung ausschließlich von dem Schaltkreis ohne die Testeinheit übernommen wird. Untersuchungen haben gezeigt, dass es ausreichend ist, wenige Messwertepaare bei dem Durchlaufen des Temperaturintervalls aufzunehmen. Anschließend lässt sich mit dem erfindungsgemäßen Verfahren anhand der erfassten Messwertepaare eine Korrekturfunktion, welche auch als Polynom bezeichnet wird, ermitteln. Indem die Koeffizienten des Polynoms in dem integrierten Schaltkreis gespeichert sind, lässt sich zukünftig bei allen gemessenen Werten des Nutzsignals innerhalb des Temperaturintervalls der Temperatureffekt auf das erste Sensorsignals korrigieren. Anders ausgedrückt, lässt sich nach der Herstellung der Schaltkreise der jeweilige integrierte Magnetfeldsensor mittels des ebenfalls jeweilig integrierten zweiten Sensors abgleichen. Hierdurch wird bei jedem integrierten Schaltkreis der monolithisch integrierte Magnetfeldsensor wesentlich besser abgeglichen, indem die Kompensation der Temperaturabhängigkeit den Einfluss dieser Störgröße wesentlich unterdrückt.
In einer erfindungsgemäßen Ausführungsform wird die Schrittweite zwischen aufeinanderfolgenden Wertepaaren zeitlich äquidistant gewählt oder es wird gemäß einer nicht erfindungsgemäßen Ausführungsform die Schrittweite von der Größe der Änderung des Signalwertes des zweiten Sensorsignals bestimmt. Indem vorzugsweise eine exponentielle Erwärmung oder exponentielle Abkühlung gegeben ist, wird gemäß einer nicht erfindungsgemäßen Ausführungsform die Größe der Änderung des Signalwertes des zweiten Sensorsignals als Maß für die Einstellung der Schrittweite gewählt.
In einer nicht erfindungsgemäßen Ausführungsform wird die Größe der Änderung des Signalwertes des zweiten Sensorsignals mit einem vorgegebenen Schwellwert verglichen. Untersuchungen haben gezeigt, dass der Schwellwert dann vorzugsweise als Spannungswert ausgebildet ist und in einem Bereich zwischen 10 mV und 500 mV, höchst vorzugsweise in einem Bereich zwischen 50 mV und 150 mV liegt. Besonders bevorzugt liegt der Schwellwert bei 100 mV.
In einer bevorzugten erfindungsgemäßen Weiterbildung wird die Schrittweite zwischen aufeinanderfolgenden Wertepaaren von einem Taktsignal der integrierten Schaltung bestimmt. Hierbei versteht es sich, dass eine Teilung des Taktsignals besonders bevorzugt ist.
Erfindungsgemäß liegt das zweite Signal als unkalibriertes Temperatursignal vor, wobei dem Wert des ersten Sensorsignals jeweils ein unkalibrierter Wert des zweiten Sensorsignals zugeordnet wird.
Anders ausgedrückt, der Signalbereich des Temperatursensors wird auf einen vorgegebenen Temperaturbereich, der sich aus den Intervallgrenzen ergibt, abgebildet. Es sei angemerkt, dass das Signal des Temperatursensors im Allgemeinen als Spannungswert vorliegt.
In einer anderen Weiterbildung wird der integrierte Schaltkreis in dem ersten Zeitpunkt und / oder in dem zweiten Zeitpunkt in einer Klimakammer gelagert wird. Vorzugsweise wird zu einem ersten Zeitpunkt der integrierte Schaltkreis mit einer Temperatur von -40°C und in dem zweiten Zeitpunkt mit einer Temperatur von 170°C beaufschlagt. Während des Aufwärmens werden mehrere Messwertepaare ermittelt. In einer Ausführungsform ist das erste Sensorsignal als eine Hallspannung und das zweite Sensorsignal als eine Temperaturspannung ausgebildet.
In einer anderen Weiterbildung umfasst der integrierte Schaltkreis und / oder die Testeinheit eine Steuereinheit In Form einer Zustandsmaschine oder eines Prozessors. Es ist bevorzugt, mittels der Steuereinheit die Speicherung der ersten Wertenpaare und die Berechnung des ersten Polynoms durchzuführen. In einer nicht erfindungsgemäßen Ausführungsform werden die Wertepaare in der Testeinheit gespeichert und die Ermittlung der Ausgleichsfunktion wird von der Testeinheit durchgeführt. In einer anderen erfindungsgemäßen Ausführungsform werden die ersten Wertepaare in dem integrierten Schaltkreis gespeichert und die Ermittlung der Ausgleichsfunktion wird von dem integrierten Schaltkreis durchgeführt.
Es versteht sich, dass bei weiteren integrierten Schaltkreisen für jeden Schaltkreis ein individuelles Polynom aus von den jeweiligen Schaltkreisen erfassten Werten ermittelt wird. Ein Vorteil ist, dass sich die Genauigkeit der Magnetfeldsensoren in den jeweiligen Schaltkreisen, insbesondere der Hallsensoren, mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens erhöht.
Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Hierbei sind gleichartige Teile mit identischen Bezeichnungen beschriftet. Die dargestellten Ausführungsformen sind stark schematisiert, d.h. die Abstände und die laterale und die vertikale Erstreckungen sind nicht maßstäblich und weisen, sofern nicht anders angegeben auch keine ableitbare geometrische Relation zueinander auf. Darin zeigen die:

1 eine Veranschaulichung des erfindungsgemäßen Verfahrens an einem integrierten Schaltkreis,
2 ein Blockschaltbild von wichtigen Funktionsgruppen des integrierten Schaltkreises,
3 Verlauf der Magnetfeldspannung UMS über der Zelt,
4 Verfahren nach dem Stand der Technik.

Die Abbildung der 1 zeigt eine erste Veranschaulichung des erfindungsgemäßen Verfahrens mit einem integrierten Schaltkreis IC. Der integrierte Schaltkreis IC ist mit einer Testeinheit TE mittels einer Verbindung 21 verschaltet, wobei die Verbindung 21 als eine Zweidraht- oder als eine Mehrdrahtverbindung ausgeführt ist. Mittels der Verbindung 21 wird das IC während der gesamten Messdauer von der Testeinheit TE mit Strom versorgt. In einem ersten Diagramm I ist die Temperatur T über die Zeit t aufgetragen und in einem zweiten Diagramm II ist die Größe des auf den integrierten Schaltkreis einwirkenden Magnetfeld B ebenfalls über die Zelt t aufgetragen. Zu einem ersten Zeitpunkt t1 befindet sich der integrierte Schaltkreis IC mit den beiden integrierten Sensoren in einer Kältekammer KAE und ist auf eine- vorgegebeneerste- Temperatur -T1 abgekühlt. Hierbei beträgt die erste Temperatur -T1 vorzugsweise -40°C in der Kältekammer KAE. Nach einer kurzen Phase der Stabilisierung der Temperatur in dem integrierten Schaltkreis, wird das IC aus der Kältekammer KAE entfernt und erwärmt sich gemäß einer ersten Kurve an einem zweiten Zeitpunkt t2 auf eine vorgegebene zweite Temperatur +T2. Die zweite Temperatur +T2 beträgt vorzugsweise +170°C. Es sei darauf hingewiesen, dass auch andere Temperaturverläufe bei der Erwärmung möglich sind. Derartige andere Erwärmungsverläufe sind beispielsweise mit der zweiten Kurve und der dritten Kurve veranschaulicht. Vorliegend beginnen alle Temperaturverläufe immer bei der Temperatur -T1 und enden bei der wesentlich höheren Temperatur +T2. Aus dem zweiten Diagramm II ergibt sich, dass zwischen dem ersten Zeitpunkt t1 und dem zweiten Zeitpunkt t2 der integrierte Schaltkreis IC einem zeitlich konstanten Magnetfeld ausgesetzt ist. Es sei angemerkt, dass das Magnetfeld B hinsichtlich der Ausdehnung des integrierten Schaltkreises IC auch räumlich konstant ist.
In der Abbildung der 2 ist ein Blockschaltbild von wichtigen Funktionsgruppen des integrierten Schaltkreises IC dargestellt. Im Folgenden werden die Unterschiede zu der Darstellung der 1 erläutert. Der integrierte Schaltkreis IC weist einen als Hallsensor HS ausgebildeten Magnetfeldsensor für einen ersten Sensor und einen Temperatursensor TS als einen zweiten Sensor auf. Beide Sensoren sind monolithisch mit einer integrierten Steuereinheit STE und einer Speichereinheit SP1 auf einem gemeinsamen Substrat - nicht dargestelltintegriert. Mittels der Steuereinheit STE wird während der Erwärmungsphase von der erste Temperatur T1 auf die zweite Temperatur T2 eine Erfassung von Messwertpaaren, bestehend jeweils aus einem Spannungswert für die Hallspannung und einem Spannungswert des Temperatursensors, zu einem vorgegeben Zeitpunkt oder einer vorgegeben Spannungsdifferenz des Temperatursensors abgespeichert. In der dargestellten Ausführungsform werden von der Steuereinheit STE, welche als Zustandsmaschine oder als Prozessor ausgebildet ist, die Messwertpaare in der ersten Speichereinheit SP1 abgelegt.
In der Abbildung der 3 ist der Verlauf einer Hallspannung UMS über der Zeit t für die in der 2 in den ersten Diagramm I unter dem Kurvenverlauf L dargestellten Erwärmungsphase abgebildet. Im Folgenden werden die Unterschiede zu den vorangegangenen Figuren erläutert. Während der Erwärmungsphase fallen die Werte für die Hallspannung UMS von dem ersten Zeitpunkt t1 bis zu dem zweiten Zeitpunkt t2 kontinuierlich ab. Zu diskreten Zeitpunkten, dargestellt mit vertikalen Linien, wird der Wert der Hallspannung UMS gemessen. Des Weiteren wird zum jeweiligen Zeitpunkt auch der Temperaturwert - nicht dargestellt - jeweils gemessen und dem Wert der Hallspannung zugeordnet und als Wertepaar in der Speichereinheit SP1 angelegt. Hierbei zeigen die durchgezogenen Linien an den Zeitpunkten t1, t2 und tn, den Stand der Technik. Im Unterschied dazu werden entsprechend dem erfindungsgemäßen Verfahren eine Vielzahl von zusätzlichen Werten, gekennzeichnet mittels gestrichelten vertikalen Linien, aufgenommen, wobei die zeitlichen Abstände zwischen den vertikalen Linien äquidistant sind. Vorzugsweise wird der Abstand zwischen aufeinanderfolgenden Messungen bzw. die Schrittweite zwischen aufeinander folgenden Messwertpaaren von der jeweiligen Taktrate beispielsweise des Systemtakts oder eine Teiles des Systemtaktes bestimmt. Es versteht sich, dass auch andere Takte des integrierten Schaltkreises sich einsetzten lassen.
In der Abbildung der 4 ist der Stand der Technik dargestellt. Im Folgenden werden die Unterschiede zu den vorangegangenen Figuren erläutert. Der integrierte Schaltkreis liegt in einem Anfangszeitpunkt in einer ersten Klimakammer KK1 bei eine Anfangstemperatur T1 unterhalb von 0°C und anschließend an einem Endzeitpunkt in einer zweiten Klimakammer KK2 mit einer Endtemperatur T2 oberhalb von 100°C. Ferner liegt ein konstantes Magnetfeld B an - nicht dargestellt. In beiden Zeitpunkten wird von der Testeinheit TE die Werte der Hallspannung UMS aus dem integrierten Schaltkreis IC ausgelesen. Hierbei werden die Hallspannungswerte UMs unmittelbar nach der jeweiligen Messung von der Testeinheit TE als Daten D ausgelesen und nach Abschluss der wenigstens zweiten Messung eine Polynomfunktion in der Testeinheit TE errechnet und die Koeffizienten KF in die integrierte Schaltung IC zurückgeschrieben.

Claims

Verfahren zur Kalibrierung der Temperaturabhängigkeit eines Nutzsignals eines integrierten Schaltkreises (IC), wobei der Integrierte Schaltkreis (IC) gehäust ist und einen Magnetfeldsensor (HS) und einen Temperatursensor (TS) und eine Speichereinheit (SP1) umfasst, und beide Sensoren (HS; TS) und die Speichereinheit (SP1) monolithisch integriert sind, und der Magnetfeldsensor (HS) mit einem ersten Betriebsstrom und der Temperatursensor (TS) mit einem zweiten Betriebsstrom beaufschlagt wird, und zur Bereitstellung des ersten Betriebsstroms und des zweiten Betriebsstroms der integrierte Schaltkreis (IC) von einer externen Testeinheit (TE) mit einer Betriebsspannung versorgt wird, und von dem Magnetfeldsensor (HS) ein erstes Sensorsignal bereitgestellt wird, wobei der Wert des ersten Sensorsignals von der Stärke eines anliegenden Magnetfeldes (B) und der Höhe der Temperatur (T) des integrierten Schaltkreises (IC) abhängt, und von dem Temperatursensor (TS) ein zweites Sensorsignal bereitgestellt wird, und der integrierte Schaltkreis (IC) während des Durchlaufens eines Temperaturintervalls mit einem konstanten Magnetfeld (B) beaufschlagt ist, wobei von dem integrierten Schaltkreis (IC) zwischen einem ersten Zeitpunkt (t1) und einem zweiten Zeitpunkt (t2) das Temperaturintervall mit einer vorgegeben Startemperatur (-T1) und einer vorgegebenen Endtemperatur (T2) durchlaufen wird, wobei das zweite Sensorsignal als unkalibriertes Temperatursignal vorliegt und dem Wert des ersten Sensorsignals jeweils ein unkalibrierter Wert des zweiten Sensorsignals zugeordnet wird, und mittels des ersten Sensors und des zweiten Sensors eine Vielzahl von Wertepaaren erfasst werden, wobei die Wertepaare aus einem Wert des ersten Sensorsignals und aus einem dem Wert des ersten Sensorsignal zugeordneten Wert des zweiten Sensorsignals bestehen und in der Speichereinheit (SP1) abgelegt werden, wobei die Schrittweite zwischen zwei aufeinanderfolgenden Wertepaaren zeitlich äquidistant gewählt wird, und anschließend anhand der gespeicherten Wertepaare eine Ausgleichsfunktion In Form eines Polynoms ermittelt wird, und das Polynom in dem integrierten Schaltkreis (IC) gespeichert wird, und die Ermittlung der Ausgleichsfunktion des Polynoms von dem Integrierten Schaltkreis (IC) durchgeführt wird, und in einem nachfolgenden Schritt von dem integrierten Schaltkreis (IC) mittels des Polynoms die gemessenen Werte des ersten Sensorsignals um den Einfluss der Temperatur (T) auf das erste Sensorsignal korrigiert werden.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Schrittweite zwischen aufeinanderfolgenden Wertepaaren von einem Taktsignal der integrierten Schaltung (IC) bestimmt wird.
Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der integrierte Schaltkreis (IC) zum ersten Zeitpunkt (t1) oder zum zweiten Zeitpunkt (t2) in einer Klimakammer (KAE) gelagert wird.
Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zum ersten Zeitpunkt (t1) der integrierte Schaltkreis (IC) mit einer Temperatur von -40°C und zum zweiten Zeitpunkt (t2) mit einer Temperatur von 170°C beaufschlagt wird.
Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Sensorsignal als eine Hallspannung (UMS) und das zweite Sensorsignal als eine Temperaturspannung ausgebildet ist.
Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der integrierte Schaltkreis (IC) eine Steuereinheit (STE) in Form einer Zustandsmaschine oder eines Prozessors umfasst und mittels der Steuereinheit (STE) die Speicherung der Wertepaare und die Berechnung des Polynoms durchgeführt werden.
Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass bei weiteren integrierten Schaltkreisen für jeden integrierten Schaltkreis ein individuelles Polynom aus von den jeweiligen integrierten Schaltkreisen erfassten Werte ermittelt wird.