DE102012210355A1

DE102012210355A1 - Rotary anode and method for its production

Info

Publication number: DE102012210355A1
Application number: DE201210210355
Authority: DE
Inventors: Jörg Freudenberger; Stefan Lampenscherf; Gia Khanh Pham; Steffen Walter
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens Healthcare GmbH
Priority date: 2012-06-20
Filing date: 2012-06-20
Publication date: 2013-12-24
Also published as: CN104350574A; WO2013189713A1

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Drehanode (10) für eine Röntgenröhre, bei welchem ein Grundkörper (12) aus einer Keramik auf der Basis von Siliziumcarbid erzeugt und mit einer Wolframbrennbahn (14) versehen wird, wobei zwischen der Wolframbrennbahn (14) und dem Grundkörper (12) eine Zwischenschicht (16) erzeugt wird, welche zumindest ein Wolframsilicid und/oder Wolframcarbid umfasst.The invention relates to a method for producing a rotating anode (10) for an X-ray tube, in which a base body (12) made of a ceramic based on silicon carbide and provided with a tungsten filament (14), wherein between the tungsten filament (14) and the base body (12) an intermediate layer (16) is generated, which comprises at least one tungsten silicide and / or tungsten carbide.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Drehanode mit einem keramischen Grundkörper auf der Basis von Siliziumcarbid sowie eine Drehanode nach dem Oberbegriff von Patentanspruch 9. The invention relates to a method for producing a rotary anode with a ceramic base body on the basis of silicon carbide and a rotary anode according to the preamble of claim. 9

Röntgenröhren, wie sie beispielsweise in medizinischen Röntgengeräten Anwendung finden, umfassen eine Kathode, von der aus Elektronen auf eine rotierende Drehanode hin beschleunigt werden. Die Drehanode umfasst einen Grundkörper, der eine so genannte Brennbahn aus Wolfram oder einer Wolfram-Rhenium-Legierung trägt, welche die eigentliche Anode bildet. Werden Elektronen auf eine Brennbahn hinreichend beschleunigt und im Brennbahnmaterial abgebremst, so entsteht eine elektromagnetische Strahlung (Röntgenstrahlung) mit einer charakteristischen Wellenlänge. X-ray tubes, such as those used in medical X-ray devices, for example, comprise a cathode, from which electrons are accelerated toward a rotating rotary anode. The rotary anode comprises a base body which carries a so-called tungsten or tungsten-rhenium alloy focal plane, which forms the actual anode. If electrons are sufficiently accelerated onto a focal track and decelerated in the fuel track material, electromagnetic radiation (X-ray radiation) having a characteristic wavelength is produced.

Durch die Rotation der Drehanode soll dabei die thermische Belastung möglichst gering gehalten werden. Da gerade für die Röntgentomographie zunehmend höhere Strahlungsintensitäten erwünscht sind, soll dabei der Brennfleck der Elektronen auf der Brennbahn möglichst scharf fokussiert und klein sein, was wiederum zu hohen Leistungsdichten im Brennfleckbereich und damit zu einer besonders hohen Temperaturentwicklung führt. Um dies zu kompensieren sind wiederum besonders hohe Drehzahlen der Drehanode erwünscht. The rotation of the rotary anode while the thermal load should be kept as low as possible. Since increasingly higher radiation intensities are desired for X-ray tomography in particular, the focal spot of the electrons on the focal path should be focused as sharply and small as possible, which in turn leads to high power densities in the focal spot area and thus to a particularly high temperature development. In order to compensate for this, again particularly high rotational speeds of the rotary anode are desired.

Bekannte Drehanoden weisen einen Grundkörper aus einer Titan-Zirkon-Molybdän-Legierung auf, die eine relativ hohe Dichte bei relativ geringer Hochtemperaturfestigkeit aufweist. Aufgrund der mechanischen Eigenschaften derartiger Grundkörper können bei gängigen Drehanoden lediglich Drehfrequenzen von 200 Hz bis 250 Hz realisiert werden. Known rotary anodes have a base made of a titanium-zirconium-molybdenum alloy, which has a relatively high density with relatively low high-temperature strength. Due to the mechanical properties of such basic body can be realized in conventional rotary anodes only rotational frequencies of 200 Hz to 250 Hz.

Geeignete Werkstoffe für die Herstellung von Grundkörpern für Drehanoden, die eine verbesserte Hochtemperaturfestigkeit besitzen und daher für höhere Drehfrequenzen geeignet sind, sind Keramiken auf der Grundlage von Siliziumcarbid, insbesondere bei Zusatz von hochtemperaturfesten Diboriden. Suitable materials for the production of base bodies for rotary anodes, which have an improved high-temperature strength and are therefore suitable for higher rotational frequencies, are ceramics based on silicon carbide, in particular with the addition of high-temperature-resistant diborides.

Bei diesen Materialien hat es sich jedoch bislang als problematisch erwiesen, die Wolframbrennbahn der Drehanode zuverlässig mit dem Grundkörper zu fügen. In these materials, however, it has so far proven to be problematic to reliably add the tungsten fuel path of the rotary anode with the body.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art bereitzustellen, welches die zuverlässige Applikation von Wolframbrennbahnen auf Drehanoden mit keramischen Grundkörpern auf SiC-Basis ermöglicht. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, eine Drehanode nach dem Oberbegriff von Patentanspruch 9 bereitzustellen, die einen besonders guten Halt der Wolframbrennbahn am keramischen Grundkörper besitzt. The present invention is therefore based on the object to provide a method of the type mentioned above, which allows the reliable application of tungsten fuel burners on rotary anodes with ceramic bodies based on SiC. The invention is further based on the object to provide a rotary anode according to the preamble of claim 9, which has a particularly good hold of the tungsten carbide on the ceramic body.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 sowie durch eine Drehanode mit den Merkmalen des Patentanspruchs 9 gelöst. This object is achieved by a method having the features of patent claim 1 and by a rotary anode having the features of patent claim 9.

Bei einem derartigen Verfahren zum Herstellen einer Drehanode für eine Röntgenröhre wird ein Grundkörper aus einer Keramik auf der Basis von Siliziumcarbid erzeugt und mit einer Wolframbrennbahn versehen, wobei zwischen der Wolframbrennbahn und dem Grundkörper eine Zwischenschicht erzeugt wird, welche zumindest ein Wolframsilicid und/oder Wolframcarbid umfasst. In such a method for producing a rotary anode for an X-ray tube, a base body made of a silicon carbide based ceramic is produced and provided with a tungsten filament, wherein between the tungsten filament and the base body an intermediate layer is produced, which comprises at least one tungsten silicide and / or tungsten carbide ,

Eine solche Zwischenschicht weist eine Temperaturbeständigkeit von bis zu 2100°C auf, so dass auf die Verwendung zusätzlicher Hochtemperaturlote zum Verbinden der Wolframbrennbahn mit dem Grundkörper verzichtet werden kann. Es ist daher im Idealfall möglich, mit dem beschriebenen Verfahren eine hochtemperaturfeste und haftungsvermittelnde Zwischenschicht ohne zusätzliche Verfahrensschritte zu schaffen. Such an intermediate layer has a temperature resistance of up to 2100 ° C, so that it is possible to dispense with the use of additional high-temperature solders for connecting the tungsten fuel path to the main body. It is therefore ideally possible to create a high-temperature resistant and adhesion-promoting intermediate layer without additional process steps with the described method.

Es ist dabei zweckmäßig, von einem bereits gesinterten Grundkörper auszugehen und diesen mit der Wolframbrennbahn zu fügen. In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann hierfür das Diffusionsschweißen Anwendung finden. Dabei werden Wolframringe oder -segmente auf dem Grundkörper unter mechanischem Druck fixiert und auf 1650–2000°C geheizt. Zwischen dem Wolfram und der Keramik kommt es zu Diffusion, wodurch an der Grenzfläche die gewünschte Wolframcarbid- und/oder -silicid-Zwischenschicht entsteht. It is expedient to start from an already sintered body and add this with the tungsten carbide. In a preferred embodiment of the invention, diffusion welding can be used for this purpose. This tungsten rings or segments are fixed on the body under mechanical pressure and heated to 1650-2000 ° C. Diffusion occurs between the tungsten and the ceramic, creating the desired tungsten carbide and / or silicide interlayer at the interface.

Alternativ kann das Fügen von Grundkörper und Wolframbrennbahn auch durch Orbitalreibschweißen erfolgen. Hier werden Wolframplättchen in Form von Segmenten auf den Grundkörper aufgebracht. Die Reibung während des Reibschweißprozesses erhöht auch hier die Temperatur in der Fügezone auf 1600–2000°C, so dass ebenfalls durch Diffusion die erfindungsgemäße Zwischenschicht ausgebildet wird. Alternatively, the joining of the base body and the tungsten fuel path can also be carried out by orbital friction welding. Here tungsten platelets are applied in the form of segments on the base body. The friction during the friction welding process also increases the temperature in the joining zone to 1600-2000 ° C, so that also by diffusion, the intermediate layer according to the invention is formed.

Neben den obenstehend beschriebenen Fügeverfahren können auch generative Verfahren eingesetzt werden. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird hierzu das selektive Laserschmelzen eingesetzt, wobei Wolframpulver im Bereich der zu bildenden Brennbahn auf den Grundkörper mittels Laserstrahlung aufgeschmolzen wird. Der Energieeintrag durch die Laserstrahlung führt auch hier zur Bildung der Wolframcarbid- bzw. -silicid-Zwischenschicht. In addition to the joining methods described above, generative methods can also be used. In a further preferred embodiment of the method, the selective laser melting is used for this purpose, wherein tungsten powder is melted in the region of the focal path to be formed on the base body by means of laser radiation. The energy input by the laser radiation also leads here to the formation of the tungsten carbide or silicide intermediate layer.

Ein weiteres, alternativ einsetzbares Verfahren ist das feldaktivierte Sintern, auch als Spark-Plasma-Sintern bekannt. Wurde bereits ein keramischer Grundkörper bereitgestellt, so kann durch diese Methode sowohl Wolframpulver als auch ein vorgefertigter Wolframgrundkörper durch die Applikation von Gleichstrom unter Druck in Form der gewünschten Brennbahn aufgebracht werden. Durch den elektrischen Widerstand wird die elektrische Leistung in Wärmeleistung umgesetzt und ebenfalls die notwendige Sintertemperatur zur Bildung der Zwischenschicht erreicht. Another alternatively employable method is field activated sintering, also known as spark plasma sintering. If a ceramic base body has already been provided, by this method both tungsten powder and a prefabricated tungsten base body can be applied by the application of direct current under pressure in the form of the desired focal track. The electrical resistance converts the electrical power into heat output and likewise achieves the necessary sintering temperature for forming the intermediate layer.

Neben der Verbindung von vorgesinterten Grundkörpern erlaubt es das feldaktivierte Sintern auch, Grundkörper und Brennbahn gleichzeitig aus jeweiligen Pulvervorprodukten gemeinsam zur fertigen Drehanode zu sintern. In addition to the connection of pre-sintered bodies, the field-activated sintering also allows sintering of the base body and the fuel track simultaneously from respective powder precursors to the finished rotating anode.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfasst die für die Erzeugung des Grundkörpers genutzte Keramik zumindest ein hochtemperaturbeständiges Diborid. Durch einen solchen Zusatz zu SiC-basierten Keramiken kann deren Temperaturbeständigkeit und mechanische Festigkeit gesteigert werden, so dass besonders haltbare Drehanoden erhalten werden. In a further preferred embodiment of the invention, the ceramic used for the production of the base body comprises at least one high-temperature-resistant diboride. By such addition to SiC-based ceramics, their temperature resistance and mechanical strength can be increased, so that particularly durable rotary anodes are obtained.

Die Erfindung betrifft ferner eine Drehanode, wie sie mittels eines solchen Verfahrens erhältlich ist. Wie bereits anhand des erfindungsgemäßen Verfahrens geschildert, verleiht eine Zwischenschicht aus Wolframcarbiden und/oder Wolframsiliciden zwischen der Wolframbrennbahn und dem Siliciumcarbidbasierten Grundkörper der Drehanode eine besonders gute mechanische und thermische Beständigkeit. The invention further relates to a rotary anode, as obtainable by means of such a method. As already described with reference to the method according to the invention, an intermediate layer of tungsten carbides and / or tungsten silicides between the tungsten fuel rail and the silicon carbide-based main body of the rotary anode gives a particularly good mechanical and thermal resistance.

Auch hier ist es zur Verbesserung der Materialeigenschaften zweckmäßig, wenn der Grundkörper neben Siliziumcarbid zumindest ein hochtemperaturbeständiges Diborid umfasst. Again, it is useful to improve the material properties, if the main body in addition to silicon carbide comprises at least one high-temperature resistant diboride.

Im Folgenden werden die Erfindung und ihre bevorzugten Ausführungsformen anhand der Zeichnung näher erläutert. Die einzige FIG zeigt hierbei eine schematische Schnittdarstellung durch den Verbindungsbereich zwischen einem keramischen Grundkörper und einer Wolframbrennbahn eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Drehanode. In the following the invention and its preferred embodiments will be explained in more detail with reference to the drawing. The single FIGURE shows a schematic sectional view through the connection region between a ceramic base body and a tungsten filament web of an embodiment of a rotary anode according to the invention.

Eine im Ganzen mit 10 bezeichnete, in der Figur nur ausschnittsweise gezeigte Drehanode für eine Röntgenröhre umfasst einen Grundkörper 12 aus einer Keramik und eine Brennbahn 14 aus Wolfram, welche bei Elektronenbestrahlung Röntgenstrahlung abgibt. One in total with 10 designated, in the figure only partially shown rotary anode for an X-ray tube comprises a main body 12 from a ceramic and a focal track 14 made of tungsten, which emits X-rays upon electron irradiation.

Aufgrund der hohen Energiedichte im Betrieb moderner Röntgenröhren sind für den Grundkörper 12 Materialien notwendig, die sowohl hochtemperaturbeständig sind, als auch eine hinreichende mechanische Festigkeit bei hohen Temperaturen aufweisen, um Drehfrequenzen von 300–400 Hz standhalten zu können. Eine geeignete Materialklasse, die diese Bedingungen erfüllt, sind Keramiken aus Siliziumcarbid oder Siliziumcarbid/Diborid-Verbünden. Due to the high energy density in the operation of modern x-ray tubes are for the main body 12 Materials are necessary, which are both high temperature resistant, as well as a sufficient mechanical strength at high temperatures to withstand rotation frequencies of 300-400 Hz can. One suitable class of materials that meets these conditions are silicon carbide or silicon carbide / diboride composite ceramics.

Um den Halt der Brennbahn 14 auf einem Grundkörper aus solchen Materialien zu verbessern, wird bei der Herstellung der Drehanode 10 eine Zwischenschicht 16 zwischen Brennbahn 14 und Grundkörper 12 erzeugt, die aus hochtemperaturfesten Wolframcarbiden und Wolframsiliciden besteht. Die Zwischenschicht 16 bildet sich dabei durch thermisch geförderte Diffusionsprozesse zwischen dem metallischen Wolfram der Brennbahn 14 und der Keramik des Grundkörpers. Die Darstellung einer deutlich abgegrenzten Zwischenschicht 16 in der FIG ist daher schematisch zu verstehen – in der Realität gehen die Materialzusammensetzungen von Grundkörper 12 und Brennbahn 14 in einer kontinuierlichen Interfacezone ineinander über. To stop the focal track 14 To improve on a basic body of such materials is used in the manufacture of rotary anode 10 an intermediate layer 16 between the focal track 14 and basic body 12 produced from high temperature resistant tungsten carbides and tungsten silicides. The intermediate layer 16 is formed by thermally promoted diffusion processes between the metallic tungsten of the focal path 14 and the ceramic of the main body. The representation of a clearly defined intermediate layer 16 in the FIG is therefore to be understood schematically - in reality, the material compositions of basic body 12 and focal track 14 in a continuous interface zone into each other.

Zur Erzeugung einer derartigen Verbindung zwischen Brennbahn 14 und Grundkörper 12 existieren mehrere Möglichkeiten. To generate such a connection between the focal track 14 and basic body 12 There are several possibilities.

Beim Diffusionsschweißen werden zunächst Wolframringe oder Segmente in Form der zu bildenden Brennbahn 14 auf den Grundkörper 12 aufgelegt und unter mechanischem Druck fixiert. Durch Aufheizen dieses Verbundes auf 1650–2000°C kommt es zum erwünschten Diffusionsprozess zwischen dem Wolfram und der Keramik, wodurch sich die Zwischenschicht 16 ausbildet und die Brennbahn 14 fest am Grundkörper 12 fixiert wird. In diffusion welding, first tungsten rings or segments in the form of the focal path to be formed 14 on the main body 12 applied and fixed under mechanical pressure. By heating this composite at 1650-2000 ° C, the desired diffusion process between the tungsten and the ceramic occurs, which causes the intermediate layer 16 trains and the focal track 14 firmly on the body 12 is fixed.

Alternativ kann auch das orbitale Reibschweißen zur Herstellung der Drehanode 12 verwendet werden. Hierbei werden Wolframplättchen in Form von Segmenten auf den Grundkörper 12 appliziert. Der Grundkörper 12 wird dann mit den Wolframplättchen in einer Reibschweißanlage fest eingespannt und die korrespondierenden Reibflächen angepresst. Durch eine orbitale Bewegung beider Seiten resultiert Reibungswärme, die den Anbindungsbereich der Brennbahn 14 auf 1600–2000°C erhitzt, so dass ebenfalls eine feste Anbindung der Brennbahn 14 am Grundkörper unter Ausbildung einer Wolframcarbide und Wolframsilicide enthaltenden Zwischenschicht 16 zustande kommt. Alternatively, the orbital friction welding for the production of the rotary anode 12 be used. In this case, tungsten platelets in the form of segments on the body 12 applied. The main body 12 is then firmly clamped with the tungsten platelets in a friction welding and pressed the corresponding friction surfaces. An orbital movement of both sides results in frictional heat, which is the connection area of the focal track 14 heated to 1600-2000 ° C, so that also has a fixed connection of the focal path 14 at the base to form a tungsten carbide and tungsten silicides containing intermediate layer 16 comes about.

Neben den bereits geschilderten Fügeverfahren können auch generative Verfahren zum Herstellen der Drehanode 10 verwendet werden. Ein Beispiel hierfür ist das selektive Laserschmelzen. Hierbei wird die Brennbahn 14 aus einem Bett von Wolframpulver kontinuierlich aufgebaut. Der Grundkörper 12 wird hierzu drehbar über dem Pulverbett montiert und anfangs mit einer dünnen Schicht Wolframpulver überzogen, welche zunächst durch Laserbestrahlung relativ geringer Leistung vorgewärmt wird, um die Haftung zu verbessern. Anschließend wird die Laserleistung gesteigert, wobei die Wolframpartikel versintern und durch Diffusion zwischen dem Wolfram und dem Grundkörper 12 die Zwischenschicht 16 aufgebaut wird. Nach Versintern einer Schicht wird der Grundkörper 12 abgesenkt und erneut mit Wolframpulver überzogen und die Laserbehandlung wiederholt, bis die gewünschte Brennbahndicke erreicht ist. In addition to the joining methods already described, generative methods for producing the rotary anode can also be used 10 be used. An example of this is selective laser melting. This is the focal point 14 built up continuously from a bed of tungsten powder. The main body 12 is rotatably mounted above the powder bed and initially coated with a thin layer of tungsten powder, which is first preheated by laser irradiation relatively low power to improve the adhesion. Subsequently, the laser power is increased, wherein the tungsten particles sinter and by diffusion between the tungsten and the main body 12 the intermediate layer 16 is built. After sintering a layer becomes the main body 12 lowered and again coated with tungsten powder and the laser treatment repeated until the desired focal length thickness is reached.

Ein weiteres generatives Verfahren, welches zur Herstellung der Drehanode 10 eingesetzt werden kann, ist das feldaktivierte Sintern oder Plasma-Spark-Sintern. Bei diesem mit dem Heißpressen vergleichbaren Sinterverfahren werden die zu versinternden Pulver oder Vorkörper in einer Negativform vorverdichtet und mit Graphitelektroden in Kontakt gebracht. Über eine hydraulische Presse wird über den gesamten Sinterprozess Druck auf das Material ausgeübt. Gleichzeitig werden die Graphitelektroden mit Gleichstrom von einigen Kiloampere bei Spannungen von einigen Volt beaufschlagt. Der direkt durch das zu versinternde Material geleitete Gleichstrom erzeugt aufgrund des Ohm’schen Widerstands im Material Wärme, so dass dieses bis zur Sintertemperatur aufgeheizt wird. Another generative process, which is used to produce the rotary anode 10 can be used is field-activated sintering or plasma spark sintering. In this sintering process, which is comparable to hot pressing, the powders or preforms to be sintered are precompressed in a negative mold and brought into contact with graphite electrodes. A hydraulic press exerts pressure on the material throughout the sintering process. At the same time, the graphite electrodes are subjected to direct current of a few kiloamperes at voltages of a few volts. The direct current conducted directly through the material to be sintered generates heat due to the ohmic resistance in the material, so that it is heated up to the sintering temperature.

Bei diesem Verfahren können sowohl die Brennbahn 14 als auch der Grundkörper 12 gleichzeitig aus entsprechenden Wolfram- bzw. SiC/Diborid-Pulvern aufgebaut werden. Sowohl für den Grundkörper 12 als auch für die Brennbahn 14 können jedoch auch vorgeformte Formkörper eingesetzt und versintert werden. In allen Fällen kommt es auch hier zu Diffusionsprozessen zwischen dem Wolfram und der Keramik, die zur Ausbildung der Zwischenschicht 16 führen. In this process, both the focal track 14 as well as the basic body 12 be built up at the same time from corresponding tungsten or SiC / diboride powders. Both for the main body 12 as well as for the focal track 14 However, preformed moldings can also be used and sintered. In all cases, diffusion processes occur between the tungsten and the ceramic, which leads to the formation of the intermediate layer 16 to lead.

Die zuletzt geschilderten generativen Verfahren bringen den zusätzlichen Vorteil mit sich, dass sie die Ausbildung komplex geformter Brennbahnen 14 auch auf gekrümmten oder andersartig komplex geformten Oberflächen ermöglichen. Gleichzeitig können generative Mikrostrukturen zur Reduzierung von Eigenspannungen und zur Kontrolle der Rissstruktur in die Brennbahn 14 eingebracht werden. The last-mentioned generative methods bring the additional advantage that they form the formation of complex shaped focal lengths 14 allow on curved or otherwise complex shaped surfaces. At the same time, generative microstructures can be used to reduce internal stresses and to control the crack structure in the focal path 14 be introduced.

Eine besonders schnelle Herstellung der Drehanode 10 ist dabei insbesondere mit dem feldaktivierten Sintern möglich, welches Zykluszeiten von 2–4 h aufweist. Kurze Sinterzeiten sind insbesondere von Bedeutung, da zu langes Halten bei Sintertemperatur zu Riesenkornwachstum und Rekristallisation im Wolfram der Brennbahn 14 führen können, was deren Lebensdauer beeinträchtigen kann. A particularly fast production of the rotary anode 10 is possible in particular with field-activated sintering, which has cycle times of 2-4 h. Short sintering times are particularly important because too long holding at sintering temperature to giant grain growth and recrystallization in the tungsten of the focal path 14 which may affect their service life.

Claims

Method for producing a rotary anode ( 10 ) for an x-ray tube in which a basic body ( 12 ) produced from a ceramic based on silicon carbide and with a tungsten filament ( 14 ), wherein between the tungsten fuel path ( 14 ) and the basic body ( 12 ) an intermediate layer ( 16 ), which comprises at least one tungsten silicide and / or tungsten carbide.

Method according to claim 1, characterized in that the basic body ( 12 ) is produced by sintering a mixture of silicon carbide ceramic powder and at least one high temperature resistant diboride.

Method according to claim 2, characterized in that the tungsten filament ( 14 ) by diffusion welding onto the base body ( 12 ) is applied.

Method according to claim 2, characterized in that the tungsten filament ( 14 ) by orbital friction welding on the base body ( 12 ) is applied.

Method according to claim 2, characterized in that the tungsten filament ( 14 ) by selective laser melting on the base body ( 12 ) is applied.

Method according to claim 2, characterized in that the tungsten filament ( 14 ) by field-activated sintering on the base body ( 12 ) is applied.

Method according to claim 1, characterized in that the basic body ( 12 ) simultaneously with the tungsten burner ( 14 ) is produced by field-activated sintering of a mixture of ceramic powder based on silicon carbide in the presence of tungsten powder.

Method according to one of claims 1 to 7, characterized in that for generating the basic body ( 12 ) used ceramic comprises at least one high-temperature resistant diboride.

Rotary anode ( 10 ) for an X-ray tube, with a ceramic base body ( 12 ) based on silicon carbide, which has a focal length ( 14 ) of tungsten for emission of X-radiation in the case of electron irradiation, characterized in that the basic body ( 12 ) via an intermediate layer ( 16 ), which comprises at least one tungsten silicide and / or tungsten carbide, with the focal track ( 14 ) connected is.

Rotary anode ( 10 ) according to claim 9, characterized in that the ceramic of the base body ( 12 ) comprises at least one high temperature resistant diboride.