DE102012210308A1 - Verfahren zur Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan - Google Patents
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- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 31
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 title claims abstract description 31
- OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N Allyl chloride Chemical compound ClCC=C OSDWBNJEKMUWAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 21
- OOXSLJBUMMHDKW-UHFFFAOYSA-N trichloro(3-chloropropyl)silane Chemical compound ClCCC[Si](Cl)(Cl)Cl OOXSLJBUMMHDKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000066 reactive distillation Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 239000002815 homogeneous catalyst Substances 0.000 title claims abstract description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 25
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 title abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 28
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 claims description 5
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 5
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 4
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 claims description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 5
- 238000006459 hydrosilylation reaction Methods 0.000 description 5
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 5
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N Propene Chemical compound CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 1-dodecene Chemical compound CCCCCCCCCCC=C CRSBERNSMYQZNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002638 heterogeneous catalyst Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000005053 propyltrichlorosilane Substances 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- DOEHJNBEOVLHGL-UHFFFAOYSA-N trichloro(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](Cl)(Cl)Cl DOEHJNBEOVLHGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 125000002015 acyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000000536 complexating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 229940069096 dodecene Drugs 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007210 heterogeneous catalysis Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 description 1
- CLSUSRZJUQMOHH-UHFFFAOYSA-L platinum dichloride Chemical class Cl[Pt]Cl CLSUSRZJUQMOHH-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000002574 poison Substances 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 238000012958 reprocessing Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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-
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- C07—ORGANIC CHEMISTRY
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Abstract
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan, bei dem Trichlorsilan mit Allylchlorid in Gegenwart eines homogenen Katalysators, enthaltend Pt, umgesetzt wird, wobei die Umsetzung in einer Reaktivdestillationskolonne erfolgt, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Umsetzung ein aus den Abgasen eines Verfahrens zur Abscheidung von polykristallinem Silicium abgetrenntes Trichlorsilan verwendet wird.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan in einer Reaktivdestillationskolonne.
- Siliziumorganische Verbindungen mit halogensubstituierten organischen Funktionsgruppen wie (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan sind von großer wirtschaftlicher Bedeutung, da sie als Ausgangsprodukte für die Herstellung von vielen wichtigen Produkten dienen, beispielsweise Silicone, Haftvermittler, Hydrophobierungs- und Bautenschutzmittel.
- Die Herstellung solcher siliciumorganischer Verbindungen erfolgt beispielsweise über die sogenannte Hydrosilylierungsreaktion. Dabei wird die Si-H-Funktion unter Einfluss von Katalysatoren an ungesättigte cyclische oder acyclische organische Moleküle beispielsweise an Alkene addiert. Man unterscheidet dabei zwischen homogenen und heterogenen Hydrosilylierungsbedingungen.
- Bei der homogenen Hydrosilylierung werden lösliche Katalysatoren verwendet, bei der heterogenen Hydrosilylierung verwendet man beispielsweise elementares Platin oder an Träger gebundene Katalysatoren.
-
EP 0 823 434 A1 beschreibt ein kontinuierliches Verfahren zur Herstellung von (3-Halogen-Propyl)-Organosilanen, bei dem die Bildung von Nebenprodukten unterdrückt werden soll. Dies wird dadurch erreicht, dass die Reaktion mit einem Teilumsatz der Edukte durchgeführt wird. Dabei erfolgt die Abtrennung des Nebenprodukts Propen simultan im Reaktor oder nachgeschaltet mittels mindestens einer Trennstufe. Nachteilig an diesem Verfahren sind die höheren Kosten des Verfahrens, die mit der Rückführung nicht umgesetzter Edukte verbunden sind. - Die Patentanmeldung
DE 34 04 703 A1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan mit einem speziellen platinhaltigen, heterogenen Katalysator mit höherer Selektivität unter gleichzeitiger Propenabtrennung. Der Nachteil dieses Verfahrens liegt in der sehr aufwendigen und damit teuren Herstellung des heterogenen Katalysators. - Die Patentanmeldung
DE 101 53 795 A1 beschreibt ein Verfahren in einer Reaktivdestillationskolonne unter der Verwendung von heterogenen Platinkatalysatoren. Nachteilig sind die bekannten Probleme bei heterogener Katalyse wie geringerer Umsatz bei nachlassender Katalysator-Aktivität. Zudem ist bei zu geringer Aktivität ein Katalysator-Austausch notwendig, welcher mit Anlagenstillstand und Produktionsausfall verbunden ist. - Aus
US 2008/0045737 A1 - Es hat sich gezeigt, dass die Katalysator-Aktivität während der Durchführung des Verfahrens sinkt, wobei neben dem Zielprodukt (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan vermehrt auch das unerwünschte Nebenprodukt Propyltrichlorsilan entsteht. Bezogen auf die AC-Ausbeute kann die Selektivität der Hydrosilylierung auf weniger als 75% fallen. Dem kann nur durch erhöhten Katalysator-Verbrauch entgegengesteuert werden, was verfahrenstechnisch nachteilig ist.
- Aus dieser Problematik ergab sich die Aufgabenstellung der vorliegenden Erfindung.
- Die Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch ein Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan, bei dem Trichlorsilan mit Allylchlorid in Gegenwart eines homogenen Katalysators, enthaltend Pt, umgesetzt wird, wobei die Umsetzung in einer Reaktivdestillationskolonne erfolgt, dadurch gekennzeichnet, dass ein bei der Umsetzung aus den Abgasen eines Verfahrens zur Abscheidung von polykristallinem Silicium abgetrenntes Trichlorsilan verwendet wird.
- Durch ein solches Verfahren lässt sich ein Abfall der Selektivität auf weniger als 75% verhindern.
- Wesentlich für das Gelingen der Erfindung ist der Einsatz von Trichlorsilan aus den Abgasen der Abscheidung von polykristallinem Silicium.
- Die Abscheidung von polykristallinem Silicium erfolgt vorzugsweise mittels des Siemens-Verfahrens.
- Dabei werden in einem glockenförmigem Reaktor Trägerkörper, üblicherweise dünne Filamentstäbe (Dünnstäbe) aus Silicium, durch direkten Stromdurchgang erhitzt und ein Reaktionsgas enthaltend Wasserstoff und eine oder mehrere Silicium enthaltende Komponenten eingeleitet.
- Üblicherweise wird als Silicium enthaltende Komponente Trichlorsilan (TCS) oder eine Mischung von Trichlorsilan mit Dichlorsilan (DOS) und/oder mit Siliciumtetrachlorid (STC) eingesetzt.
- Als Abgase fallen bei der Abscheidung Siliciumtetrachlorid (STC) und HCl sowie nicht reagiertes TCS und Wasserstoff an.
- Vorzugsweise werden diese Stoffe getrennt und gereinigt. TCS aus dem Abgas der Abscheidung wird dann im erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan eingesetzt.
- Dabei handelt es sich um sog. electronic grade TCS (EG-TCS). Dieses TCS enthält nur geringe Mengen an Verunreinigungen. Von dem als Katalysatorgift wirkenden Arsen sind vorzugsweise höchstens 20 ppta, besonders bevorzugt 5–20 ppta, von Phosphor-Verbindungen vorzugsweise höchstens 120 ppta, besonders bevorzugt 70–120 ppta enthalten.
- Die Arsen- bzw. Phosphorbestimmung erfolgt gem. den standardisierten Testverfahren SEMI MF1723 und MF1389.
- Durch den Einsatz von EG-TCS werden überraschenderweise sowohl die Selektivität als auch die Anlagenbetriebszeiten erhöht und der Katalysatorverbrauch reduziert.
- Vorzugsweise wird das EG-TCS destillativ gereinigt, bevor es zur Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan eingesetzt wird. Neben rein destillativen Verfahren kommen dazu auch Verfahren mit einem Hydrolyse-, Komplexierungs- oder einem Adsorptionsschritt in Betracht.
- Durch Verwendung von destillativ gereinigtem EG-TCS direkt aus dem Stoffverbund ”Polysilicium-Silan” kann die Selektivität auf mehr als 85% gesteigert werden, wenn der Arsengehalt kleiner als 3 ppta bzw. der Phosphorgehalt kleiner als 25 ppta beträgt. Der Borgehalt sollte weniger als 5 ppta betragen.
- Zur Durchführung des Verfahrens eignen sich alle üblichen Destillationskolonnen zur kontinuierlichen Reaktionsführung.
- Allylchlorid (AC) kann sowohl im Überschuss als auch im Unterschuss zu TCS eingesetzt werden. Vorzugsweise liegt das Molverhältnis AC: TCS zwischen 0,1 und 20, besonders bevorzugt zwischen 0,8 und 1,5.
- Beim Katalysator handelt es sich um einen der in
2008/0045737 A1 - Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird als Katalysator Pt in Mengen von 1 bis 1000 ppmw, berechnet als elementares Pt und bezogen auf das Gesamtgewicht der in den Massen vorliegenden Komponenten AC und TCS eingesetzt. Bevorzugt werden 2 bis 150 ppmw, besonders bevorzugt 5 bis 50 ppmw eingesetzt.
- Bevorzugt werden die Pt-Katalysatoren in Lösungsmitteln gelöst, besonders bevorzugt in organischen, ionischen Flüssigkeiten. Ebenso ist es bevorzugt, wenn die Pt-Katalysatoren im Zielprodukt (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan gelöst vorliegen. Dies ermöglicht die Zugabe des Katalysators teilweise oder sogar komplett in Feedströmen.
- Bevorzugte Durchführung des Verfahrens
- Die bevorzugte Durchführung des Verfahrens erfolgt gemäß
US 2008/0045737 A1 - Als Edukte werden AC und TCS (aus der Abscheidung, gegebenenfalls destillativ gereinigt) eingesetzt.
- Zum Anfahren der Reaktivdestillation werden im ersten Schritt AC und Produkt (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan vorgelegt und mit vollständigem Rücklauf und ohne Sumpfabzug das Kolonnenprofil aufgebaut.
- Im zweiten Schritt erfolgt die Dosierung der Katalysatorlösung, von AC und von TCS.
- Es entsteht das Zielprodukt (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan sowie die Nebenprodukte, die gemeinsam als Schwersieder aus dem Sumpf abgezogen werden. Ein Überschuss an AC führt zu einer Verbesserung der Selektivität zum Zielprodukt.
- Für die Abtrennung des Katalysators sind zwei Varianten bevorzugt.
- Entweder erfolgt die Abtrennung direkt im Kolonnensumpf, wenn die Katalysatorlösung eine zweite Phase bildet beispielsweise bei Einsatz von organisch, ionischen Flüssigkeiten.
- Alternativ erfolgt die Abtrennung in einer nachgeschalteten Apparatur, beispielsweise in einem Dünnschichtverdampfer oder einem Phasenscheider. Die abgetrennte Katalysatorlösung kann bei ausreichender Katalysatoraktivität wieder der Reaktionskolonne zugeführt werden.
- In einem besonders bevorzugten Verfahren wird der Pt-Katalysator oder dessen Lösung in einer der Reaktivdestillationskolonne nachgeschalteten Apparatur, oder in der Kolonne beispielsweise über einen Phasentrenner, von der Reaktionsmischung abgetrennt und in die Reaktivdestillationskolonne zurückgeführt bzw. zur Wiederaufarbeitung und Herstellung neuen Katalysators abgetrennt.
- Vorzugsweise wird das Verfahren bei einer Reaktionstemperatur von 0–200°C, besonders bevorzugt bei 20 bis 120°C durchgeführt.
- Der Reaktionsdruck beträgt bevorzugt 0,5–150 bar, besonders bevorzugt 1–20 bar.
- Vergleichsbeispiel
- Das Vergleichsbeispiel basiert auf Beispiel 1 in
US 2008/0045737 A1 DE 10 2006 039 191 A1 in einer Reaktivdestillationskolonne zusammengeführt. - Als Katalysator wurde eine Lösung von PtCl4 in 1-Dodecen (Pt-Gehalt 0,1 Gew.-%) verwendet. Die Pt-Konzentration in der Kolonne betrug 5 Gew.-ppm. Zum Anfahren der Reaktivdestillation wurde im ersten Schritt AC und (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan vorgelegt und mit vollständigem Rücklauf und ohne Sumpfabzug das Kolonnenprofil aufgebaut. Im zweiten Schritt erfolgte die Dosierung der Katalysatorlösung, von AC und von TCS mit einem Molverhältnis AC:TCS = 1,2:1. Es entstand als Zielprodukt (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan sowie die Nebenprodukte Propyltrichlorsilan und STC.
- Die Anlage ist 24 Stunden kontinuierlich gelaufen, die AC-bezogene Selektivität lag bei 70%.
- Beispiel
- Abweichend vom Vergleichsbeispiel wurde EG-TCS aus den Abgasen der Abscheidung eingesetzt. Der B-Gehalt betrug weniger als 2 ppta, der P-Gehalt weniger als 15 ppta und der As-Gehalt weniger als 2 ppta.
- Die Anlage ist 72 Stunden kontinuierlich gelaufen, die AC-bezogene Selektivität lag bei 79%.
- Der spezifische Verbrauch an Katalysator war um 50% geringer als im Vergleichsbeispiel.
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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- Zitierte Patentliteratur
-
- EP 0823434 A1 [0005]
- DE 3404703 A1 [0006]
- DE 10153795 A1 [0007]
- US 2008/0045737 A1 [0008, 0026, 0029, 0040]
- DE 102006039191 A1 [0040]
Claims (6)
- Verfahren zur kontinuierlichen Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan, bei dem Trichlorsilan mit Allylchlorid in Gegenwart eines homogenen Katalysators, enthaltend Pt, umgesetzt wird, wobei die Umsetzung in einer Reaktivdestillationskolonne erfolgt, dadurch gekennzeichnet, dass bei der Umsetzung ein aus den Abgasen eines Verfahrens zur Abscheidung von polykristallinem Silicium abgetrenntes Trichlorsilan verwendet wird.
- Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Katalysator in einer organisch, ionischen Flüssigkeit oder im Zielprodukt (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan gelöst vorliegt.
- Verfahren nach Anspruch 1 oder nach Anspruch 2, wobei das Trichlorsilan höchstens 20 ppta Arsen und höchstens 120 ppta Phosphor enthält.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Trichlorsilan aus den Abgasen der Abscheidung abgetrennt und destillativ gereinigt wird, bevor es der Reaktivdestillationskolonne zugeführt wird.
- Verfahren nach Anspruch 4, wobei das destillativ gereinigte Trichlorsilan weniger als 3 ppta Arsen und weniger als 25 ppta Phosphor enthält.
- Verfahren nach Anspruch 4 oder nach Anspruch 5, wobei das destillativ gereinigte Trichlorsilan weniger als 5 ppta Bor enthält.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012210308A DE102012210308A1 (de) | 2012-06-19 | 2012-06-19 | Verfahren zur Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012210308A DE102012210308A1 (de) | 2012-06-19 | 2012-06-19 | Verfahren zur Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102012210308A1 true DE102012210308A1 (de) | 2012-11-08 |
Family
ID=47019813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102012210308A Withdrawn DE102012210308A1 (de) | 2012-06-19 | 2012-06-19 | Verfahren zur Herstellung von (3-Chlorpropyl)-Trichlorsilan |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102012210308A1 (de) |
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- 2012-06-19 DE DE102012210308A patent/DE102012210308A1/de not_active Withdrawn
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CN105541895A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-05-04 | 淄博市临淄齐泉工贸有限公司 | 一种γ-氯丙基三氯硅烷的生产方法 |
CN105541895B (zh) * | 2015-12-25 | 2017-12-29 | 淄博市临淄齐泉工贸有限公司 | 一种γ‑氯丙基三氯硅烷的生产方法 |
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