DE102012205209A1 - Method for determination of temperature gradient of switch of power semiconductor switch module of power converter, involves determining temperature function, and determining gradient of switch by Fourier inverse transformation of function - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung des Temperaturverlaufs eines auf einem Substrat angeordneten ersten Leistungshalbleiterschalters eines Leistungshalbleiterschaltermoduls. Weiterhin betrifft die Erfindung ein diesbezügliches Leistungshalbleiterschaltermodul. The invention relates to a method for determining the temperature profile of a first semiconductor power switch arranged on a substrate of a power semiconductor switch module. Furthermore, the invention relates to a related power semiconductor switch module.
Leistungshalbleiterschalter werden unter anderem z.B. zum Gleichrichten und Wechselrichten von elektrischen Spannungen und Strömen verwendet, wobei in der Regel mehrere Leistungshalbleiterschalter, z.B. zur Realisierung eines Stromrichters, elektrisch miteinander verbunden werden. Die Leistungshalbleiterschalter sind dabei im Allgemeinen auf einem Substrat angeordnet, das in der Regel mit einem Kühlkörper verbunden ist. Power semiconductor switches are used inter alia, e.g. for rectifying and inverting electrical voltages and currents, typically involving multiple power semiconductor switches, e.g. for the realization of a power converter to be electrically connected to each other. The power semiconductor switches are generally arranged on a substrate, which is usually connected to a heat sink.
Beim Betrieb eines Leistungshalbleiterschalters, wie z.B. eines IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor), eines MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) oder eines Thyristors, fällt beim Ein- und Ausschalten des Leistungshalbleiterschalters im Leistungshalbleiterschalter Verlustenergie in Form von Wärme an, die zu einer Erwärmung des Leistungshalbleiterschalters führt. Die Verlustenergie hängt dabei im Wesentlichen von der Frequenz mit der der Leistungshalbleiterschalter ein- und ausgeschaltet wird, sowie dem durch ihn im Betrieb fließenden elektrischen Strom und der über ihm anliegenden Spannung ab. Überschreitet im Betrieb des Leistungshalbleiterschalters die Temperatur des Leistungshalbleiterschalters einen zulässigen Grenzwert, z.B. infolge einer dynamischen oder stationären Überlastung, kann dies zu Fehlfunktionen und im Extremfall zur Zerstörung des Leistungshalbleiterschalters führen. In the operation of a power semiconductor switch, such as e.g. an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor), a MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) or a thyristor, falls when turning on and off of the power semiconductor switch in the power semiconductor switch loss energy in the form of heat, which leads to a heating of the power semiconductor switch. The energy loss depends essentially on the frequency at which the power semiconductor switch is turned on and off, as well as the electrical current flowing through it during operation and the voltage applied across it. In operation of the power semiconductor switch, the temperature of the power semiconductor switch exceeds an allowable limit, e.g. due to dynamic or stationary overload, this can lead to malfunction and in extreme cases to the destruction of the power semiconductor switch.
Um dies zu verhindern ist es aus dem Stand der Technik bekannt auf dem Substrat einen Temperatursensor anzuordnen und die Substrattemperatur des Substrats zu messen, an das die Leistungshalbleiterschalter ihre Verlustenergie abgeben und das sich infolge erwärmt. Überschreitet die gemessene Substrattemperatur einen voreingestellten Grenzwert, dann werden die Leistungshalbleiterschalter abgeschaltet. Infolge der Wärmezeitkonstanten und der endlichen Wärmeleitfähigkeit des Substrats, folgt die Substrattemperatur nur relativ träge der Temperatur des Leistungshalbleiterschalters und stimmt im Zeitverlauf nicht mit ihr überein. Somit kann es bei techniküblichen Leistungshalbleiterschaltermodulen trotz der Überwachung der Substrattemperatur zu Fehlfunktionen oder zur Zerstörung der Leistungshalbleiterschalter, infolge zu hoher Temperaturen der Leistungshalbleiterschalter, kommen. To prevent this, it is known from the prior art to arrange a temperature sensor on the substrate and to measure the substrate temperature to which the power semiconductor switches give off their energy loss and which consequently heats up. If the measured substrate temperature exceeds a preset limit, then the power semiconductor switches are turned off. Due to the thermal time constant and the finite thermal conductivity of the substrate, the substrate temperature follows only relatively slowly the temperature of the power semiconductor switch and does not coincide with it over time. Thus, despite the monitoring of the substrate temperature, malfunction or destruction of the power semiconductor switches due to excessive temperatures of the power semiconductor switches may occur in technology-standard power semiconductor switch modules.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein zuverlässiges Verfahren zur Ermittlung des Temperaturverlaufs eines auf einem Substrat angeordneten Leistungshalbleiterschalters eines Leistungshalbleiterschaltermoduls und ein diesbezügliches Leistungshalbleiterschaltermodul zu schaffen. The invention has for its object to provide a reliable method for determining the temperature profile of a arranged on a substrate power semiconductor switch of a power semiconductor switch module and a related power semiconductor switch module.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zur Ermittlung des Temperaturverlaufs eines auf einem Substrat angeordneten ersten Leistungshalbleiterschalters eines Leistungshalbleiterschaltermoduls mit folgenden Verfahrensschritten:
- a) Ermittlung eines Substrattemperaturverlaufs des Substrats mittels eines auf dem Substrat angeordneten Temperatursensors,
- b) Ermittlung einer Fouriertransformierten durch Fouriertransformation des Substrattemperaturverlaufs,
- c) Ermittlung einer frequenzabhängigen Temperaturfunktion durch Multiplikation der Fouriertransformierten mit einer frequenzabhängigen Temperaturübertragungsfunktion, wobei die Temperaturübertragungsfunktion das frequenzabhängige Temperaturübertragungsverhalten von dem Substrattemperaturverlauf zum Temperaturverlauf des ersten Leistungshalbleiterschalters im Frequenzbereich angibt,
- d) Ermittlung des Temperaturverlaufs des ersten Leistungshalbleiterschalters durch Fourierrücktransformation der Temperaturfunktion.
- a) determination of a substrate temperature profile of the substrate by means of a temperature sensor arranged on the substrate,
- b) determination of a Fourier transform by Fourier transformation of the substrate temperature profile,
- c) determining a frequency-dependent temperature function by multiplication of the Fourier transform with a frequency-dependent temperature transfer function, the temperature transfer function indicating the frequency-dependent temperature transfer behavior of the substrate temperature profile to the temperature profile of the first power semiconductor switch in the frequency domain,
- d) determination of the temperature profile of the first power semiconductor switch by Fourier reverse transformation of the temperature function.
Es erweist sich dabei als vorteilhaft, wenn die Ermittlung der frequenzabhängigen Temperaturfunktion durch Multiplikation der Fouriertransformierten mit der frequenzabhängigen Temperaturübertragungsfunktion erfolgt, wenn der erste Leistungshalbleiterschalter eingeschaltet ist, und dass die Ermittlung der frequenzabhängigen Temperaturfunktion durch Multiplikation der Fouriertransformierten mit einer frequenzabhängigen Diodentemperatureinflussfunktion erfolgt, wenn der erste Leistungshalbleiterschalter ausgeschaltet ist und ein Laststrom durch eine auf dem Substrat angeordnete erste Diode fließt. Durch diese Maßnahme kann der Temperaturverlauf des ersten Leistungshalbleiterschalters besonders genau ermittelt werden. It proves to be advantageous if the determination of the frequency-dependent temperature function by multiplying the Fourierransformierten with the frequency-dependent temperature transfer function, when the first power semiconductor switch is turned on, and that the determination of the frequency-dependent temperature function by multiplying the Fourierransformierten with a frequency-dependent Diode temperature influence function, if the first Power semiconductor switch is turned off and a load current flows through a arranged on the substrate first diode. By this measure, the temperature profile of the first power semiconductor switch can be determined particularly accurately.
Weiterhin wird diese Aufgabe gelöst durch ein Leistungshalbleiterschaltermodul aufweisend,
- – ein Substrat und ein auf dem Substrat angeordneter Temperatursensor, der zur Ermittlung eines Substrattemperaturverlaufs des Substrats ausgebildet ist,
- – ein auf dem Substrat angeordneter erster Leistungshalbleiterschalter,
- – eine Fouriertransformationseinheit, die zur Ermittlung einer Fouriertransformierten durch Fouriertransformation des Substrattemperaturverlaufs ausgebildet ist,
- – eine Multiplikationseinheit, die zur Ermittlung einer frequenzabhängigen Temperaturfunktion durch Multiplikation der Fouriertransformierten mit einer frequenzabhängigen Temperaturübertragungsfunktion ausgebildet ist, wobei die Temperaturübertragungsfunktion das frequenzabhängige Temperaturübertragungsverhalten von dem Substrattemperaturverlauf zum Temperaturverlauf des ersten Leistungshalbleiterschalters im Frequenzbereich angibt, und
- – eine Fourierrücktransformationseinheit, die zur Ermittlung des Temperaturverlaufs des ersten Leistungshalbleiterschalters durch Fourierrücktransformation der Temperaturfunktion ausgebildet ist.
- A substrate and a temperature sensor arranged on the substrate, which is designed to determine a substrate temperature profile of the substrate,
- A first power semiconductor switch arranged on the substrate,
- A Fourier transformation unit which is designed to determine a Fourier transform by Fourier transformation of the substrate temperature profile,
- - A multiplication unit, which is designed to determine a frequency-dependent temperature function by multiplying the Fourier transform with a frequency-dependent temperature transfer function, the temperature transfer function indicating the frequency-dependent temperature transfer behavior of the substrate temperature profile to the temperature profile of the first power semiconductor switch in the frequency domain, and
- - A Fourierrücktransformationseinheit, which is designed to determine the temperature profile of the first power semiconductor switch by Fourierrücktransformation the temperature function.
Weiterhin wird diese Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zur Ermittlung des Temperaturverlaufs eines auf einem Substrat angeordneten ersten Leistungshalbleiterschalters eines Leistungshalbleiterschaltermoduls mit folgenden Verfahrensschritten:
- a) Ermittlung eines Substrattemperaturverlaufs des Substrats mittels eines auf dem Substrat angeordneten Temperatursensors,
- b) Ermittlung des Temperaturverlaufs des ersten Leistungshalbleiterschalters durch Faltung des Substrattemperaturverlaufs mit der Fourierrücktransformierten einer frequenzabhängigen Temperaturübertragungsfunktion, wobei die Temperaturübertragungsfunktion das frequenzabhängige Temperaturübertragungsverhalten von dem Substrattemperaturverlauf zum Temperaturverlauf des ersten Leistungshalbleiterschalters im Frequenzbereich angibt.
- a) determination of a substrate temperature profile of the substrate by means of a temperature sensor arranged on the substrate,
- b) Determining the temperature profile of the first power semiconductor switch by folding the substrate temperature curve with the Fourierrücktransformierten a frequency-dependent temperature transfer function, the temperature transfer function indicating the frequency-dependent temperature transfer behavior of the substrate temperature profile to the temperature profile of the first power semiconductor switch in the frequency domain.
Es erweist sich dabei als vorteilhaft, wenn die Ermittlung des Temperaturverlaufs des ersten Leistungshalbleiterschalters durch Faltung des Substrattemperaturverlaufs mit der Fourierrücktransformierten der frequenzabhängigen Temperaturübertragungsfunktion erfolgt, wenn der erste Leistungshalbleiterschalter eingeschaltet ist, und dass die Ermittlung des Temperaturverlaufs des ersten Leistungshalbleiterschalters durch Faltung des Substrattemperaturverlaufs mit der Fourierrücktransformierten einer frequenzabhängigen Diodentemperatureinflussfunktion erfolgt, wenn der erste Leistungshalbleiterschalter ausgeschaltet ist und ein Laststrom durch eine auf dem Substrat angeordnete erste Diode fließt. It proves to be advantageous if the determination of the temperature profile of the first power semiconductor switch by folding the substrate temperature curve with the Fourierrücktransformierten the frequency-dependent temperature transfer function occurs when the first power semiconductor switch is turned on, and that the determination of the temperature profile of the first power semiconductor switch by folding the substrate temperature curve with the Fourierrücktransformierten a frequency dependent diode temperature influence function occurs when the first power semiconductor switch is turned off and a load current flows through a first diode disposed on the substrate.
Weiterhin wird diese Aufgabe gelöst durch ein Leistungshalbleiterschaltermodul aufweisend,
- – ein Substrat und ein auf dem Substrat angeordneter Temperatursensor, der zur Ermittlung eines Substrattemperaturverlaufs des Substrats ausgebildet ist,
- – ein auf dem Substrat angeordneter erster Leistungshalbleiterschalter, und
- – eine Faltungseinheit, die zur Ermittlung des Temperaturverlaufs des ersten Leistungshalbleiterschalters durch Faltung des Substrattemperaturverlaufs mit der Fourierrücktransformierten einer frequenzabhängigen Temperaturübertragungsfunktion ausgebildet ist, wobei die Temperaturübertragungsfunktion das frequenzabhängige Temperaturübertragungsverhalten von dem Substrattemperaturverlauf zum Temperaturverlauf des ersten Leistungshalbleiterschalters im Frequenzbereich angibt.
- A substrate and a temperature sensor arranged on the substrate, which is designed to determine a substrate temperature profile of the substrate,
- A first power semiconductor switch disposed on the substrate, and
- - A folding unit, which is designed to determine the temperature profile of the first power semiconductor switch by folding the substrate temperature curve with the Fourierrücktransformierten a frequency-dependent temperature transfer function, wherein the temperature transfer function indicates the frequency-dependent temperature transfer behavior of the substrate temperature profile to the temperature profile of the first power semiconductor switch in the frequency domain.
Weiterhin erweist es sich als vorteilhaft, wenn der Temperatursensor als elektrischer NTC-Widerstand oder als elektrischer PTC-Widerstand ausgebildet ist, da ein NTC-Widerstand oder ein PTC-Widerstand eine übliche Ausbildung eines Temperatursenors darstellt. Furthermore, it proves to be advantageous if the temperature sensor is designed as an electrical NTC resistor or as an electrical PTC resistor, since an NTC resistor or a PTC resistor represents a common formation of a temperature sensor.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen. Vorteilhafte Ausbildungen des Leistungshalbleiterschaltermoduls ergeben sich analog zu vorteilhaften Ausbildungen des Verfahrens und umgekehrt. Advantageous embodiments of the invention will become apparent from the dependent claims. Advantageous embodiments of the power semiconductor switch module are analogous to advantageous embodiments of the method and vice versa.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. Dabei zeigen: Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below. Showing:
Das erfindungsgemäße Leistungshalbleiterschaltermodul
Es sei an dieser Stelle angemerkt, dass das Leistungshalbleiterschaltermodul
Im Rahmen des Ausführungsbeispiels ist das Leistungshalbleiterschaltermodul mit einer Gleichspannungserzeugungseinrichtung, die der Übersichtlichkeit halber in
Wenn der erste Leistungshalbleiterschalter T1 eingeschaltet ist, fließt der Laststrom I durch den ersten Leistungshalbleiterschalter T1 und durch die externe Last
Wenn der erste Leistungshalbleiterschalter T1 ausgeschaltet wird, fließt der Laststrom I, infolge der Induktiviät der externen Last
In
Das erfindungsgemäße Leistungshalbleiterschaltermodul
Das Substrat kann z.B. in Form eines DCB-Substrats oder z.B. in Form eines Insulated Metal Substrats vorliegen. The substrate may e.g. in the form of a DCB substrate or e.g. in the form of an insulated metal substrate.
Der erste und der zweite Leistungshalbleiterschalter T1 und T2 und die erste und die zweite Diode D1 und D2 sind auf der strukturierten Leitungsschicht des Substrats
Weiterhin ist zur Messung eines Substrattemperaturverlaufs Tse(t) des Substrats
Im Betrieb des Leistungshalbleiterschaltermoduls
Das Leistungshalbleiterschaltermodul
Der gemessene Substrattemperaturverlauf Tse(t) wird erfindungsgemäß einer Temperaturermittlungseinheit
In
Die Fouriertransformation erfolgt dabei nach der Beziehung: mit der Kreisfrequenz ω = 2πf
Zeit: t
Frequenz: f
imaginäre Einheit: j
Laufparameter des Fensters: τThe Fourier transformation takes place according to the relationship: with the angular frequency ω = 2πf
Time: t
Frequency: f
imaginary unit: j
Running parameters of the window: τ
Die sogenannte Fensterfunktion g(t – τ) ist im Rahmen des Ausführungsbeispiels eine Rechteckfensterfunktion, d.h. die Fensterfunktion g(t – τ) ist „1“ innerhalb des Fensters und „0“ außerhalb des Fensters. Die Fensterlänge ist frei wählbar und bestimmt über welchen Zeitraum der Substrattemperaturverlauf Tse(t) bei der Ermittlung der Fouriertransformierten F(Tse(t)) berücksichtigt werden soll, wobei im Rahmen des Ausführungsbeispiels die Fensterlänge 60 Sekunden beträgt. Selbstverständlich sind aber auch andere aus der Signalverarbeitung bekannte Fensterfunktionen möglich. Der Substrattemperaturverlauf Tse(t) wird solchermaßen in den Frequenzbereich transformiert. The so-called window function g (t-τ) is a rectangular window function in the context of the exemplary embodiment. the window function g (t - τ) is "1" within the window and "0" outside the window. The window length is freely selectable and determines over which period of time the substrate temperature profile Tse (t) is to be taken into account when determining the Fourier transform F (Tse (t)), wherein in the exemplary embodiment the window length is 60 seconds. Of course, other known from the signal processing window functions are possible. The substrate temperature profile Tse (t) is thus transformed into the frequency domain.
Die Fouriertransformierte F(Tse(t)) wird anschließend einer Multiplikationseinheit
Anschließend wird die Temperaturfunktion T1(jω) in den Zeitbereich von einer Fourierrücktransformationseinheit
Die Fourierrücktransformation erfolgt dabei innerhalb des Fensters der Fensterfunktion nach der Beziehung (3) und ist „0“ außerhalb des Fensters: The Fourier inverse transformation takes place within the window of the window function according to relationship (3) and is "0" outside the window:
Die frequenzabhängige Temperaturübertragungsfunktion H1(jω) wird vorzugsweise einmalig empirisch, bei z.B. einem Prototypen des erfindungsgemäßen Leistungshalbleiterschaltermoduls ermittelt, indem der erste Leistungshalbleiterschalter T1 mit einem elektrischen Strom, der einen sprungförmigen Verlauf aufweist, für eine bestimmte Zeit belastet wird und dabei der Temperaturverlauf Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 und der Substrattemperaturverlauf Tse(t) gemessen werden, und anschließend beide Temperaturverläufe in den Frequenzbereich fouriertransformiert werden. Die frequenzabhängige Temperaturübertragungsfunktion H1(jω) ergibt sich als Quotient der Fouriertransformierten des gemessenen Temperaturverlaufs Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 dividiert durch die Fouriertransformierte des gemessenen Substrattemperaturverlaufs Tse(t). Die frequenzabhängige Temperaturübertragungsfunktion H1(jω) wird anschließend gespeichert. The frequency dependent temperature transfer function H1 (jω) is preferably determined once empirically, e.g. a prototype of the power semiconductor switch module according to the invention determined by the first power semiconductor switch T1 is charged with an electric current having a sudden waveform for a certain time and thereby the temperature profile Tsch (t) of the first power semiconductor switch T1 and the substrate temperature Tse (t) are measured , and then both temperature curves are Fourier transformed into the frequency domain. The frequency-dependent temperature transfer function H1 (jω) results as a quotient of the Fourier transform of the measured temperature profile Tsch (t) of the first power semiconductor switch T1 divided by the Fourier transform of the measured substrate temperature profile Tse (t). The frequency-dependent temperature transfer function H1 (jω) is then stored.
Alternativ kann die frequenzabhängige Temperaturübertragungsfunktion H1(jω) z.B. aber auch in Form einer empirisch ermittelten frequenzabhängigen Näherungsfunktion vorliegen. Alternatively, the frequency-dependent temperature transfer function H1 (jω) may be e.g. but also in the form of an empirically determined frequency-dependent approximation function.
In
Die Ausbildung der Erfindung gemäß
Im Rahmen des Ausführungsbeispiels erfolgt die Ermittlung der frequenzabhängigen Temperaturfunktion T1(jω) durch Multiplikation der Fouriertransformierten F(Tse(t)) mit einem Faktor von „1“, wenn der erste Leistungshalbleiterschalter T1 ausgeschaltet ist und kein Laststrom I durch die erste Diode D1 fließt. Anstatt der Verwendung eines konstanten Faktors von „1“ sind jedoch auch andere komplexere Funktionen denkbar. In the exemplary embodiment, the determination of the frequency-dependent temperature function T1 (jω) by multiplying the Fourier transform F (Tse (t)) by a factor of "1", when the first power semiconductor switch T1 is turned off and no load current I flows through the first diode D1 , However, instead of using a constant factor of "1", other more complex functions are also conceivable.
Die Temperaturermittlungseinheit
Die frequenzabhängige Diodentemperatureinflussfunktion H2(jω) wird vorzugsweise einmalig empirisch bei z.B. einem Prototyp des erfindungsgemäßen Leistungshalbleiterschaltermoduls ermittelt, indem die erste Diode D1 mit einem elektrischen Strom, der einen sprungförmigen Verlauf aufweist, für eine bestimmte Zeit belastet wird und dabei der Temperaturverlauf Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 und der Substrattemperaturverlauf Tse(t) gemessen werden, und anschließend beide Temperaturverläufe in den Frequenzbereich fouriertransformiert werden. Die frequenzabhängige Diodentemperatureinflussfunktion H2(jω) ergibt sich als Quotient der Fouriertransformierten des gemessenen Temperaturverlaufs Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 dividiert durch die Fouriertransformierte des gemessenen Substrattemperaturverlaufs Tse(t). Die Diodentemperatureinflussfunktion H2(jω) beschreibt den Einfluss der ersten Diode D1 auf den Substrattemperaturverlauf Tse(t) und auf den Temperaturverlauf Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 The frequency-dependent diode temperature influence function H2 (jω) is preferably determined once empirically at e.g. a prototype of the power semiconductor switch module according to the invention determined by the first diode D1 is charged with an electric current having a sudden waveform for a certain time and thereby the temperature profile Tsch (t) of the first power semiconductor switch T1 and the substrate temperature Tse (t) are measured , and then both temperature curves are Fourier transformed into the frequency domain. The frequency-dependent diode temperature influence function H2 (jω) results as a quotient of the Fourier transform of the measured temperature profile Tsch (t) of the first power semiconductor switch T1 divided by the Fourier transform of the measured substrate temperature profile Tse (t). The diode temperature influence function H2 (jω) describes the influence of the first diode D1 on the substrate temperature profile Tse (t) and on the temperature profile Tsch (t) of the first power semiconductor switch T1
Alternativ kann die frequenzabhängige Diodentemperatureinflussfunktion aber auch z.B. in Form einer empirisch ermittelten frequenzabhängigen Näherungsfunktion vorliegen. Alternatively, however, the frequency dependent diode temperature influence function may also be e.g. in the form of an empirically determined frequency-dependent approximation function.
Der Laststrom I fließt im Rahmen des Ausführungsbeispiels durch die erste Diode D1, wenn der erste Leitungshalbleiterschalter T1 ausgeschaltet ist und der zweite Leitungshalbleiterschalter T2 gerade ausgeschaltet worden ist, im Zeitraum zwischen dem Ausschalten des zweiten Leitungshalbleiterschalters T2 und dem Wiedereinschalten des zweiten Leitungshalbleiterschalters T2. Die Steuereinheit
In
Die Faltungseinheit
Die Fourierrücktransformierte h1(t), der frequenzabhängigen Temperaturübertragungsfunktion H1(jω) wird vorzugsweise einmalig, bei z.B. einem Prototyp des erfindungsgemäßen Leistungshalbleiterschaltermoduls, ermittelt und gespeichert. Der Temperaturverlauf Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 wird anschließend von der Faltungseinheit
In
Die Ausbildung der Erfindung gemäß
Wenn der erste Leistungshalbleiterschalter T1 ausgeschaltet ist und kein Laststrom I durch die erste Diode D1 fließt wird im Rahmen des Ausführungsbeispiels der gemessene Substrattemperaturverlauf Tse(t) als Temperaturverlauf Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 definiert, d.h. der Temperaturverlauf Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 wird mit dem gemessenen Substrattemperaturverlauf Tse(t) gleich gesetzt. Dies ist der Übersichtlichkeit halber in
Die Ermittlung der Fourierrücktransformierten h2(t) der frequenzabhängigen Diodentemperaturbeeinflussungsfunktion H2(jω) erfolgt innerhalb des Fensters der Fensterfunktion nach der Beziehung (8) und ist „0“ außerhalb des Fensters. The determination of the inverse Fourier transform h2 (t) of the frequency-dependent diode temperature influencing function H2 (jω) occurs within the window of the window function according to the relation (8) and is "0" outside the window.
Der Temperaturverlauf Tsch(t) des ersten Leistungshalbleiterschalters T1 wird von der Faltungseinheit
Die Temperaturermittlungseinheit
Es sei an dieser Stelle angemerkt, dass wenn, wie in der Technik häufig üblich, der Substrattemperaturverlauf nicht in Form eines analogen Signals sondern in Form einen digitalisierten Signals bei dem der Substrattemperaturverlauf in Form von zeitlich äquidistant beabstandeten Substrattemperaturwerten vorliegt, anstatt der oben beschriebenen Fouriertransformation bzw. Fourierrücktransformation eines analogen Signals die sogenannte Diskrete Fouriertransformation (DFT) bzw. Diskrete Fourierrücktransformation (iDFT) zu verwenden ist. Die Diskrete Fouriertransformation kann dabei z.B. in Form der sogenannten Fast-Fouriertransformation oder Short Time Fourriertransformation vorliegen. Die Fourierrücktransformation kann dabei z.B. in Form der sogenannten Fast-Fourierrücktransformation oder Short Time Fourrierrücktransformation vorliegen. Es sei an dieser Stelle angemerkt, dass im Rahmen der vorliegenden Erfindung unter dem Begriff Fouriertransformation sowohl die Fouriertransformation eines analogen Signals als auch die Diskrete Fouriertransformation verstanden wird. Die Fouriertransformation und Fourierrücktransformation sind allgemein bekannter Stand der Technik. It should be noted at this point that if, as is common in the art, the substrate temperature profile is not in the form of an analog signal but in the form of a digitized signal in which the substrate temperature profile is in the form of equidistantly spaced substrate temperature values, instead of the Fourier transform or the above described Fourier backward transformation of an analog signal to use the so-called discrete Fourier transform (DFT) or discrete Fourier back transformation (iDFT). The discrete Fourier transform may be e.g. in the form of the so-called fast Fourier transformation or short-time Fourier transformation. The Fourier reverse transformation may be e.g. in the form of the so-called fast Fourier back transformation or short time Fourier back transformation. It should be noted at this point that in the context of the present invention the term Fourier transformation is understood to mean both the Fourier transformation of an analog signal and the discrete Fourier transformation. The Fourier transform and Fourier back transform are well known in the art.
Weiterhin sei an dieser Stelle angemerkt, dass im Rahmen der Erfindung mittels der Fouriertransformation die Amplituden- und Phaseninformation des Spektrums für mindestens einen vordefinierten Frequenzbereich oder mindestens eine vordefinierte Frequenz des Spektrums ermittelt wird und die Fourierrücktransformation entsprechend anhand dieser Amplituden- und Phaseninformation durchgeführt wird. Furthermore, it should be noted at this point that the amplitude and phase information of the spectrum for at least one predefined frequency range or at least one predefined frequency of the spectrum is determined within the scope of the invention by means of the Fourier transformation and the Fourier reverse transformation is carried out correspondingly on the basis of this amplitude and phase information.
Ferner sei angemerkt, dass die Temperaturermittlungseinheit und die Steuereinheit in Form von Hardware oder Software oder in Form einer Kombination von Hardware und Software vorliegen können. It should also be noted that the temperature detection unit and the control unit may be in the form of hardware or software or in the form of a combination of hardware and software.
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