DE102011119107A1 - Luftreinigung im Innenbereich von geschlossenen techni-schen Lagersystemen - Google Patents
Luftreinigung im Innenbereich von geschlossenen techni-schen Lagersystemen Download PDFInfo
- Publication number
- DE102011119107A1 DE102011119107A1 DE201110119107 DE102011119107A DE102011119107A1 DE 102011119107 A1 DE102011119107 A1 DE 102011119107A1 DE 201110119107 DE201110119107 DE 201110119107 DE 102011119107 A DE102011119107 A DE 102011119107A DE 102011119107 A1 DE102011119107 A1 DE 102011119107A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- storage system
- dust
- air
- cleaning
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
- F24F8/108—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering using dry filter elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/0001—Control or safety arrangements for ventilation
- F24F2011/0002—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air
- F24F2011/0005—Control or safety arrangements for ventilation for admittance of outside air to create underpressure in a room, keeping contamination inside
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung handelt es sich um spezifische Komponenten, die an spezifischer Position in einem geschlossenen technischen Lagersystem mit automatischer Beschickung positioniert sind – hiermit betriebskostenneutrale Zusatzfunktionen zur Herstellung von weitgehend staubfreier Raumluft innerhalb des Lagersystems verfügbar sind.
Description
- Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung handelt es sich um spezifische Komponenten, die an spezifischer Position in einem geschlossenem technischen Lagersystem mit automatischer Beschickung positioniert, betriebskostenneutrale Zusatzfunktionen verfügbar machen. Aus dem einschlägigen Stand der Technik sind auf die gleiche Funktion gerichtete Lösungen bekannt, die jedoch nur mit vergleichsweise extrem hohen Investitionskosten realisiert werden können und zusätzlich relativ hohe Betriebskosten verursachen.
- Die Erfindung betrifft Vorrichtungen aus praxisbewährten, konventionellen Komponenten, die in neuartiger Konzeption auf die individuellen Kriterien und Funktionen eines modernen technischen Lagersystems im „Liftprinzip” mit weitgehend automatischem Funktionsablauf abgestimmt sind und ohne Fremdenergie sämtliche einschlägigen Anforderungen erfüllen.
- Das erklärte Ziel der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist primär Verhinderung von Staubbelastung – infolge Staubablagerung – im Innenbereich eines geschlossenen Lagersystems durch latenten Luftaustausch (außen – innen) im Funktionsablauf des Lagersystems – insoweit rationale Optimierung der Raumluftqualität in vorherbestimmbarem Umfang.
- Mit nicht unerheblichem Aufwand verbundene manuelle Reinigungen können hierdurch maßgeblich reduziert werden oder ganz entfallen.
- Latent geringe Staubpartikelbelastung des Lagergutes erhält dessen Qualität und reduziert Risiken – insbesondere bei diesbezüglich empfindlichen Materialien, wie beispielsweise elektronische Bauteile.
- Darstellung der Erfindung
- Die konventionelle Bauform sowie das Funktionsprinzip der Lagersystemtechnik im Liftprinzip basiert auf zwei Lagerbereichen (
1 ) sowie einem Transportbereich (2 ), der zwischen den Lagerbereichen (1 ) angeordnet ist. - In den Lagerbereichen (
1 ) sind in Stapelposition mobile Regalböden (9 ) (Tablare) zur Aufnahme des Lagergutes positioniert. Die Teilbereiche Lager (1 ) und Transport (2 ) einschließlich Boden und Oberseite sind allseitig mit einer Verkleidung (7 ) (Segmenten aus Stahlblech) umgeben – insoweit ist die Funktionseinheit Lagersystem (1.0 +2.0 ) hergestellt. - In vertikaler „Auf-Ab-Funktion” transportiert die Fördereinrichtung (
3 ) die Regalböden (9 ) aus der spezifischen Raumposition zur Bedienungsöffnung (4 ) – nach erfolgter Warenentnahme oder Beschickung zurück zur Raumposition im Lagerbereich (1 ). Dieser hocheffiziente und praxisbewährte, elektronisch gesteuerte, Funktions- bzw. Handlungsablauf hat auch Nachteile. - Letztere ergeben sich einerseits aus dem Funktionsprinzip dadurch, dass die Fördereinrichtung (
3 ) in der Art eines „Hubkolbens” auf und ab bewegt wird – hierbei in Bewegungsrichtung vor der Fördereinrichtung (3 ) Raumluftüberdruck (5 ) entsteht – in Bewegungsrichtung hinter der Fördereinrichtung (3 ) hingegen Raumluftunterdruck (6 ) (1.0 +2.0 ). - Aufgrund dieser systembedingten Fakten erfolgt latenter Austausch zwischen der Raumluft im Innenbereich und der Raumluft im Aufstellungsbereich (außen) prinzipiell bei jeder Bewegung (auf oder ab) der Fördereinrichtung (
3 ) durch die Fugen (8 ) der Lagersystemverkleidung (7 ). - Die Höhe der „Störgröße” Überdruck (Pa), ursächlich Luftverdrängung durch die Dynamik der Fördereinrichtung (
3 ), steht in Abhängigkeit von deren Geschwindigkeit sowie des allseitigen Freiraums zu den angrenzenden Lager- und Seitenflächen. - Die jeweils gleitende dynamische Position der Fördereinrichtung (
3 ) bestimmt die Unterdruckbereiche (6 ) mit Außenluftansaugung, parallel hierzu die Überdruckbereiche (5 ) mit Luftaustritt (1.0 +2.0 ). - FUNKTIONSBEISPIEL
- Erfindungsgemäß soll das dargestellte Problem dadurch gelöst werden, dass die von der dynamischen Fördereinrichtung (
3 ) im Lagersystem (1 ) hergestellten Luftströme gezielt, d. h. zweckorientiert, geführt werden. - Hierfür sind an der Frontseite und/oder Rückseite des Lagersystems (
3.0 und4.0 ), bevorzugt in der Frontverkleidung (7 ), Ausnehmungen (11 ) vorgesehen. In, vor oder hinter diesen Ausnehmungen (11 ) können Staubfilter (10 ) eingesetzt werden, welche primär die „von außen” (Aufstellungsbereich) angesaugte, partikelbelastete Raumluft reinigen. - Die Qualität des spezifisch eingesetzten Filtersystems korrespondiert mit der Fugendurchlässigkeit der Verkleidungssegmente (
14 ) des Lagersystems (3.0 und4.0 ), d. h. bei geringer Fugendurchlässigkeit (hoher Luftwiderstand) können hierauf abgestimmte hohe Filterqualitäten eingesetzt werden und umgekehrt. - Der Luftwiderstand der Filtereinheiten ist funktionsbedingt grundsätzlich auf den von der Fördereinrichtung (
3 ) hergestellten Unterdruck abgestimmt. Insoweit korrespondiert die spezifische Qualität (Staubabscheidung) der Staubfiltereinheiten (10 ) mit den Imponderabilien, welche die Höhe des Unterdrucks bestimmen – insoweit ist die Fugendichtheit der gesamten Verkleidung (7 ) des Lagersystems maßgeblich für die Qualitätsbestimmung der Staubfiltereinheiten (10 ) - Theoretisch ist Reinraumqualität herstellbar.
- Bis auf die Reinigung oder dem Austausch der Filtereinheiten (
10 ) ist das Filtersystem betriebskostenneutral. BezugszeichenFig. 1.0 Geschlossenes technisches Lagersystem (Querschnitt) Situation: Fördereinrichtung in Aufwärtsbewegung Fig. 2.0 Geschlossenes technisches Lagersystem (Querschnitt) Situation: Fördereinrichtung in Abwärtsbewegung Fig. 3.0 Lagersystem mit Funktionen im Querschnitt Fig. 4.0 Lagersystem mit Funktionen In Draufsicht Fig. 5.0 Staubfilter und Jalousieklappe als Funktionseinheit in Vorderansicht Fig. 6.0 Luftkreislauf bei Funktion: Fördereinrichtung ( 3 ) „aufwärts”1 Lagerbereiche 2 Transportbereich 3 Fördereinrichtung 4 Bedienungsöffnung 5 Überdruckbereich (temporär) 6 Unterdruckbereich (temporär) 7 Verkleidung 8 Fugen/Spalte (in Verkleidung) 9 Regalböden (Tablare) 10 Staubfiltereinheiten (Band- oder Streifenfilter)
Claims (8)
- Vorrichtung, geeignet zur Reinigung der Raumluft im Innenbereich eines geschlossenen technischen Lagersystems (3.0/4.0) mit automatischer Beschickung, gekennzeichnet dadurch, dass der von der Dynamik der Fördereinrichtung (
3 ) im Betriebsablauf hergestellte Über- bzw. Unterdruck im Lagersystem (3.0/4.0) gegenüber dem Luftdruck im Aufstellungsbereich (außerhalb) durch Ausnehmungen (11 ) in der Verkleidung (7 ) in der Staubfilter (10 ) eingesetzt sind, zweckgebunden genutzt wird – insoweit prinzipkonform mit Staubpartikeln belastete Luftströme von außen nach innen über die Staubfilter (10 ) geführt und gereinigt werden. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Staubfilter (
10 ) in den Verkleidungen (7 ) bevorzugt an der Front- und Rückseite des Lagersystems positioniert sind. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Staubfilter (
19 ) ausgebildet als Band- oder Streifenfilter (10 ) eingesetzt wird und sich die Filterfläche auf die gesamte Höhe des Lagersystem (3.0) erstreckt. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Segmente der Verkleidung des Lagersystems auf die Abmessungen des/der Staubfiltereinheiten (
10 ) abgestimmt werden. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Staubfiltereinheiten (
10 ) aus Segmenten bestehen, die in einfacher Form ausgetauscht werden können. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Qualität der Staubfiltereinheiten (
10 ) auf die vorbestimmbare Fugendichtheit (Luftdurchlässigkeit) der einzelnen Segmente der Verkleidung (7 ) des spezifischen Lagersystems (3.0/4.0) abgestimmt werden kann. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass Teilbereiche der konventionellen Lagersystemtechnik (1.0/2.0) partiell oder insgesamt auf die Funktionen der Luftreinigung modifiziert werden – beispielsweise Abdichtung der Fugen (
8 ) in der allseitigen Verkleidung (7 ) und im Bodenbereich sowie Reduzierung der allseitigen Freiräume um die Fördereinrichtung (3 ) auf Mindestabmessungen zur funktionalen Steigerung von Über- und Unterdruck durch Reduzierung der jeweils von der dynamischen Fördereinrichtung (3 ) verdrängten internen Luftmengen. - Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass alternativ zu den Funktionen 1–7 Staubeinfall in das Lagersystem verhindert und Luftreinigung hergestellt wird – beispielsweise dadurch, dass in den Auflageflächen der Fördereinrichtung (
7 ) und/oder in den Regalböden (9 ) freie Querschnitte hergestellt werden, in die Staubfilter eingesetzt werden können.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE201110119107 DE102011119107A1 (de) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | Luftreinigung im Innenbereich von geschlossenen techni-schen Lagersystemen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE201110119107 DE102011119107A1 (de) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | Luftreinigung im Innenbereich von geschlossenen techni-schen Lagersystemen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102011119107A1 true DE102011119107A1 (de) | 2013-05-23 |
Family
ID=48222033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE201110119107 Withdrawn DE102011119107A1 (de) | 2011-11-22 | 2011-11-22 | Luftreinigung im Innenbereich von geschlossenen techni-schen Lagersystemen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102011119107A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107887304A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-04-06 | 重庆凯西驿电子科技有限公司 | 功率晶体管表面钝化装置 |
-
2011
- 2011-11-22 DE DE201110119107 patent/DE102011119107A1/de not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107887304A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-04-06 | 重庆凯西驿电子科技有限公司 | 功率晶体管表面钝化装置 |
CN107887304B (zh) * | 2017-11-01 | 2019-09-03 | 重庆凯西驿电子科技有限公司 | 功率晶体管表面钝化装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102005028072B4 (de) | Fußbodenpaneel | |
WO2017009228A1 (de) | Vorrichtung zum abscheiden von overspray und oberflächenbehandlungsanlage | |
DE202010007281U1 (de) | Magnetfördereinrichtung | |
EP3881923B1 (de) | Aerosolabscheider sowie verfahren zum einbau eines koaleszenz-filterelementes in einen aerosolabscheider | |
EP1477427A2 (de) | Mehretagiger Behälter aus stirnseitig nach aussen gebördeltem Metallblech | |
DE10154553B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Profilstrangs an einem Bauteil | |
DE102016002469A1 (de) | Glasführung | |
DE202006016304U1 (de) | Filterbeutel | |
DE102011119107A1 (de) | Luftreinigung im Innenbereich von geschlossenen techni-schen Lagersystemen | |
DE102010039411A1 (de) | Filtereinheit für eine Dunstabzugshaube sowie Dunstabzugshaube | |
EP2486987B1 (de) | Saugschlitzkanalabsaugsystem | |
DE102014223320A1 (de) | Ölabscheide-Vorrichtung | |
DE102011102401A1 (de) | Vorrichtung, ausgebildet als Luftfiltersystem für geschlossene, technische Lagersysteme | |
DE102008041496A1 (de) | Lagerstelle für ein Flächenelement einer Dunstabzugshaube | |
DE202016100873U1 (de) | Mobile Entstaubungsvorrichtung zum Abscheiden von Verunreinigungen aus einem Luftstrom | |
DE102012017512A1 (de) | Vorrichtung, geeignet zur Reinigung der Raumluft im Innenbereich von geschlossenen technischen Lagersystemen | |
DE102010032962A1 (de) | Transportcontainer | |
DE1508475A1 (de) | Sinterapparat | |
WO2008089813A1 (de) | Membranpumpe mit zwei membranköpfen und zwei separaten pumpengehäusen | |
DE202014100562U1 (de) | Containerkühlregal | |
DE102006018465A1 (de) | Schallisolierendes Bauteil für Kraftfahrzeuge und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102018001567A1 (de) | Vorrichtung u. Verfahren geeignet zur Neutralisierung(Druckausgleich) oder maßgeblicher Reduzierung von negativem Raumluftüber- bzw. -unterdruck in geschlossenen technischen Lagersystemen mit Lifttechnik | |
DE102014018299A1 (de) | Arbeitsmaschine mit Kabine | |
DE102017007073A1 (de) | Vorrichtung u. Verfahren zur Herstellung und Aufrechterhaltung staubfreier Raumluft in geschlossenen technischen Lagersystemen | |
DE102014014063B3 (de) | Arbeitsplatzanordnung mit einem Reinraum |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |