-
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Bildmessvorrichtung, auf ein Bildmessverfahren und auf ein Computerprogrammprodukt hierfür.
-
Konventioneller Weise ist für eine Bildmessvorrichtung oder ein Bildmessgerät bekannt, dass sie (es) eine Bilderfassungseinrichtung, welche ein Bild eines gemessenen Objekts bzw. Gegenstands erfasst, einen Bewegungsmechanismus, welcher eine relative Bewegung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung bewirkt, und eine Regel- bzw. Steuereinrichtung bzw. einen Controller aufweist, welche(r) die Bilderfassungseinrichtung und den Bewegungsmechanismus regelt bzw. steuert, in welcher(m) der gemessene Gegenstand basierend auf einem Bild gemessen wird, welches durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst bzw. aufgenommen wird (beispielsweise japanische Patentoffenlegung Veroffentlichung Nr.
JP 2000-346 638 A ). Eine dreidimensionale Messvorrichtung (eine Bildmessvorrichtung) mit einer Bildmessfähigkeit, welche in der japanischen Patentoffenlegung Veröffentlichung Nr.
JP 2000-346 638 A beschrieben ist, weist eine CCD Kamera (charge coupled device, ladungsgekoppelte Schaltung) (eine Bilderfassungseinrichtung), einen Bewegungsmechanismus, welcher eine relative dreidimensionale Bewegung zwischen einem gemessenen Gegenstand und der CCD Kamera bewirkt, und einen Computer (eine Regel- bzw. Steuereinrichtung bzw. einen Controller) auf.
-
Eine derartige Bildmesseinrichtung erlaubt eine Form bzw. Gestalt und von Abmessungen eines gemessenen Gegenstands durch ein Be- bzw. Verarbeiten eines Bilds, welches durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst wird. Spezifisch ist ein Abstand entsprechend einem Pixel bzw. Bildpunkt in einem Bild, welches durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst wird, bekannt. Daher kann beispielsweise basierend auf einer Anzahl von Bildpunkten zwischen Rändern bzw. Kanten eines gemessenen Gegenstands eine Abmessung des gemessenen Gegenstands gemessen werden. Es gibt jedoch einen Umstand, dass, wenn ein gemessener Gegenstand gemessen wird, welcher größer als ein Blick- bzw. Betrachtungsfeld der Bilderfassungseinrichtung ist, sich der gemessene Gegenstand über die Ränder eines Bilds erstreckt, welches durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst wird, und daher der gemessene Gegenstand nicht in geeigneter Weise gemessen werden kann.
-
6(A)–6(C) illustrieren Beispiele eines Messens eines Kreises 110, welcher größer ist als ein Gesichts- bzw. Betrachtungsfeld einer Bilderfassungseinrichtung. Um ein Muster 100 zu messen, welches den Kreis 110 als einen gemessenen Gegenstand beinhaltet, welcher beispielsweise größer ist als Gesichtsfelder R1–R4 der Bilderfassungseinrichtung, wie dies in 6(A) illustriert ist, weist eine Regel- bzw. Steuereinrichtung einen Bewegungsmechanismus an, relative Bewegungen zwischen dem Kreis 110 und der Bilderfassungseinrichtung zu bewirken, und weist die Bilderfassungseinrichtung an, Bilder von 4 Stellen auf einem Umfang des Kreises 110 zu erfassen bzw. aufzunehmen. Und es wird eine Rand- bzw. Kantendetektion relativ zu den 4 Bildern durchgeführt, welche durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst wurden, und dadurch werden ein Mittelpunkt, ein Durchmesser und dgl. des Kreises 110 gemessen.
-
Hier wird, um eine Last bzw. Belastung einer Bildbe- bzw. -verarbeitung zu reduzieren, die Randdetektion nicht relativ zu der Gesamtheit der Bilder durchgeführt, welche durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst werden, sondern wird im Hinblick auf das Innere von bogenförmigen Maskenmustern M1–M4 der Bilder durchgeführt, welche durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst werden. Die Maskenmuster M1–M4 werden gemäß der Form bzw. Gestalt des gemessenen Gegenstands innerhalb der Bilder spezifiziert, welche durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst werden. Daher gibt es einen Umstand, dass, wenn sich ein Ort des Kreises 110 außerhalb einer Ausrichtung bzw. fluchtenden Lage mit einem vorbestimmten Ort befindet (siehe 6(B)), oder wenn eine Abmessung des Kreises 110 größer ist als eine vorbestimmte Abmessung (siehe 6(C)), dann der Rand bzw. die Kante des Kreises 110 nicht ordnungsgemäß bzw. geeignet detektiert werden kann, und somit der Kreis 110 nicht ordnungsgemäß ver- bzw. gemessen werden kann.
-
Im Hinblick auf diesen Umstand weist in der dreidimensionalen Messvorrichtung, welche in der japanischen Patentoffenlegung Veröffentlichung Nr.
JP 2000-346 638 A beschrieben ist, der Computer den Bewegungsmechanismus an, relative Bewegungen zwischen einem gemessenen Gegenstand und der CCD Kamera zu bewirken, und weist die CCD Kamera an, eine Mehrzahl von Bildern zu erfassen. Die Bilder, welche durch die CCD Kamera erfasst werden, werden kombiniert, um ein kombiniertes Bild zu bilden. Mit dieser Anordnung kann eine Rand- bzw. Kantendetektion in Bezug auf das kombinierte Bild durchgeführt werden. Daher kann beispielsweise, wenn der oben erwähnte Kreis
110 gemessen wird, ein ringförmiges Maskenmuster, welches gemäß der Form des gemessenen Gegenstands in dem kombinierten Bild spezifiziert ist bzw. wird, verwendet werden, und der Rand des Kreises
110 kann geeignet im Vergleich zu dem Fall detektiert werden, dass die bogenförmigen Maskenmuster M1–M4 verwendet werden.
-
Jedoch weist in der dreidimensionalen Messvorrichtung, welche in der japanischen Patentoffenlegung Veröffentlichung Nr.
JP 2000-346 638 A beschrieben ist, der Computer die CCD Kamera an, jedes Bild zu erfassen, um ein Überlagern zwischen Bildern zu vermeiden. Daher gibt es ein Phänomen, dass aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung ein Spalt bzw. Zwischenraum an einem kombinierenden Abschnitt bzw. Querschnitt auftreten kann, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird, so dass der Mittelpunkt, der Durchmesser und dgl. des Kreises
110 nicht geeignet gemessen werden können, selbst wenn der Rand bzw. die Kante des Kreises
110 geeignet bzw. ordnungsgemäß detektiert bzw. festgestellt wird.
-
Aus der
DE 10 2004 058 655 A1 ist eine Anordnung und ein Verfahren zum Messen von im Wesentlichen zweidimensionalen Geometrien bzw. Strukturen eines Objekts mittels eines Koordinatenmessgerätes unter Verwendung einer CCD-Kamera bekannt, die in gewünschter Position relativ zu dem Objekt ausgerichtet wird, um sodann an mehreren Stellen Teilbilder aufzunehmen, die zu einem Gesamtbild mit äquidistanten Bildpunkten zusammengefügt werden, um sodann das Gesamtbild mittels zumindest einer Auswerteeinheit auszuwerten.
-
Ein nicht beschränkender Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es, eine Bildmessvorrichtung bzw. ein Bildmessgerät zur Verfügung zu stellen, welche(s) einem gemessenen Gegenstand bzw. Objekt erlaubt, geeignet bzw. ordnungsgemäß vermessen bzw. gemessen zu werden selbst für den Fall, wo ein gemessener Gegenstand größer als ein Gesichts- bzw. Betrachtungsfeld einer Bilderfassungseinrichtung gemessen wird.
-
Dieses Ziel wird gemäß der Erfindung durch die Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
-
Gemäß der Erfindung wird eine Bildmessvorrichtung bzw. ein Bildmessgerät zur Verfügung gestellt, umfassend: wenigstens eine Bilderfassungseinrichtung, welche konfiguriert bzw. ausgebildet ist, um ein Bild eines gemessenen Gegenstands bzw. Objekts zu erfassen, wobei die Bildmessvorrichtung konfiguriert ist, den gemessenen Gegenstand basierend auf einem Bild zu messen, welches durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst ist bzw. wird; eine Bewegungseinrichtung, welche konfiguriert ist, eine relative Bewegung und/oder Verschiebung bzw. Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung zu verleihen; und eine Regel- bzw. Steuereinrichtung bzw. einen Controller, welche(r) konfiguriert ist, die Bilderfassungseinrichtung und die Bewegungseinrichtung zu regeln bzw. zu steuern, wobei die Regel- bzw. Steuereinrichtung umfasst: eine Orterhalteinrichtung, welche konfiguriert ist, einen Ort zu erhalten, bei welchem die Bilderfassungseinrichtung ein Bild des gemessenen Gegenstands erfasst; eine Erzeugungseinrichtung eines kombinierten Bilds, welche konfiguriert ist, ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern von wenigstens einem Teil der Bilder zu bilden, welche durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst sind bzw. werden; eine Fehlerberechnungseinrichtung, welche konfiguriert ist, für wenigstens ein Teil von kombinierenden Abschnitten des kombinierten Bilds einen Fehler zu berechnen, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn das kombinierte Bild gebildet ist bzw. wird, und zwar basierend auf dem Ort, welcher durch die Orterhalteinrichtung erhalten ist bzw. wird; eine Bildmesseinrichtung, welche konfiguriert ist, den gemessenen Gegenstand basierend auf der Anzahl von Bildpunkten bzw. Pixeln in dem kombinierten Bild zu messen; und eine Korrektureinrichtung, welche konfiguriert ist, Messresultate der Bildmesseinrichtung basierend auf dem Fehler für wenigstens ein Teil der kombinierenden Abschnitte zu korrigieren, welcher durch die Fehlerberechnungseinrichtung berechnet ist.
-
Es ist somit möglich, eine Situation zu vermeiden, wo beispielsweise aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung ein Spalt bzw. Zwischenraum an einem kombinierenden Abschnitt bzw. Querschnitt auftritt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird. Jedoch gibt es, wenn ein kombiniertes Bild durch ein wenigstens teilweises Überlagern wenigstens eines Teils der Bilder gebildet wird, um die Bilder zu kombinieren, ein Phänomen, dass es aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung möglich ist, dass ein Fehler von weniger als einem Pixel bzw. Bildpunkt an einem kombinierenden Abschnitt in dem kombinierten Bild auftritt.
-
Gemäß einem nicht beschränkenden Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Regel- bzw. Steuereinrichtung eine Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung umfassen, welche konfiguriert ist, die Bewegungseinrichtung zu regeln bzw. zu steuern, um die relative Bewegung zu verleihen und/oder die relative Verschiebung bzw. Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung zu erhalten, und darüber hinaus konfiguriert ist, die Bilderfassungseinrichtung zu regeln bzw. zu steuern, um eine Mehrzahl von Bildern zu erfassen bzw. aufzunehmen.
-
Eine Bildmessvorrichtung in einer weiteren nicht beschränkenden Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Bilderfassungseinrichtung, welche ein Bild eines gemessenen Gegenstands erfasst bzw. aufnimmt; einen Bewegungsmechanismus (auch als eine Bewegungseinrichtung bezeichnet), welche(r) eine relative Bewegung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung bewirkt; und eine Regel- bzw. Steuereinrichtung bzw. einen Controller, welche(r) die Bilderfassungseinrichtung und den Bewegungsmechanismus regelt bzw. steuert. Die Bildmessvorrichtung misst den gemessenen Gegenstand basierend auf einem Bild, welches durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst wird. Die Regel- bzw. Steuereinrichtung beinhaltet eine Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung, welche den Bewegungsmechanismus anweist, relative Bewegungen zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung zu bewirken, und die Bilderfassungseinrichtung anweist, eine Mehrzahl von Bildern zu erfassen; eine Orterhalteinrichtung, welche einen Ort bzw. eine Stelle erhält, bei welchem(r) die Bilderfassungseinrichtung ein Bild des gemessenen Gegenstands erfasst; einen Generator bzw. eine Erzeugungseinrichtung eines kombinierten Bilds, welche(r) ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern von jedem der Bilder bildet, welche durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung erfasst werden, um die Bilder zu kombinieren; eine Fehlerberechnungseinrichtung, welche für jeden von kombinierenden Abschnitten bzw. Querschnitten einen Fehler berechnet, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn das kombinierte Bild basierend auf dem Ort gebildet wird, welcher durch die Orterhalteinrichtung erhalten wird; eine Bildmesseinrichtung, welche den gemessenen Gegenstand basierend auf der Anzahl von Pixeln bzw. Bildpunkten in dem kombinierten Bild misst; und eine Korrektur- bzw. Korrigiereinrichtung, welche Messresultate der Bildmesseinrichtung basierend auf dem Fehler für jeden der kombinierenden Abschnitte korrigiert, welcher durch die Fehlerberechnungseinrichtung berechnet wurde.
-
Gemäß einer derartigen Konfiguration kann die Regel- bzw. Steuereinrichtung die Erzeugungseinrichtung des kombinierten Bilds beinhalten, welche ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern von jedem der Bilder bildet, welche durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung erfasst werden, um die Bilder zu kombinieren. Es ist daher möglich, eine Situation zu vermeiden, wo aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung ein Spalt an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird. Jedoch gibt es, wenn ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern von jedem der Bilder gebildet wird, um die Bilder zu kombinieren, ein Phänomen, dass es aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung möglich ist, dass ein Fehler von weniger als einem Bildpunkt an einem kombinierenden Abschnitt in dem kombinierten Bild auftritt.
-
Gemäß einem nicht beschränkenden Aspekt der vorliegenden Erfindung kann die Regel- bzw. Steuereinrichtung die Fehlerberechnungseinrichtung beinhalten, welche für jeden von kombinierenden Abschnitte einen Fehler berechnet, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird, basierend auf der Stelle bzw. dem Ort, an welcher(m) die Bilderfassungseinrichtung ein Bild des gemessenen Gegenstands erfasst bzw. aufnimmt. Daher kann der Fehler, welcher an einem kombinierenden Abschnitt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird, aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung auftritt, berechnet werden. Und die Korrektureinrichtung korrigiert Messresultate der Bildmesseinrichtung basierend auf dem Fehler für jeden der kombinierenden Abschnitte, welcher durch die Fehlerberechnungseinrichtung berechnet wurde. Daher erlaubt die Bildmessvorrichtung, dass ein gemessener Gegenstand geeignet selbst in dem Fall gemessen wird, wo ein gemessener Gegenstand größer als ein Betrachtungs- bzw. Gesichtsfeld einer Bilderfassungseinrichtung gemessen ist bzw. wird.
-
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es wünschenswert, dass die Bildmesseinrichtung einen gemessenen Gegenstand durch ein Detektieren eines Rands bzw. einer Kante des gemessenen Gegenstands innerhalb des kombinierten Bild misst. Insbesondere wird die Rand- bzw. Kantendetektion in Bezug auf ein Inneres eines Maskenmusters durchgeführt, welches gemäß einer Form bzw. Gestalt des gemessenen Gegenstands innerhalb des kombinierten Bild spezifiziert ist bzw. wird. Gemäß einer derartigen Konfiguration detektiert die Bildmesseinrichtung den Rand bzw. die Kante unter Verwendung eines Maskenmusters, welches gemäß einer Form bzw. Gestalt des gemessenen Gegenstands bzw. Objekts innerhalb des kombinierten Bilds spezifiziert wird. Daher kann der Rand bzw. die Kante des gemessenen Gegenstands geeignet detektiert werden.
-
Gemäß einem anderen Aspekt der Erfindung wird ein Bildmessverfahren zum Messen eines gemessenen Gegenstands bzw. Objekts basierend auf einem Bild zur Verfügung gestellt, welches von dem gemessenen Gegenstand erfasst wird, wobei das Bildmessverfahren die folgenden Schritte umfasst: Erfassen bzw. Aufnehmen eines Bilds eines gemessenen Gegenstand mittels einer Bilderfassungseinrichtung; Verleihen einer relativen Bewegung und/oder Verschiebung bzw. Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung; Erhalten eines Orts bzw. einer Stelle, bei welchem(r) die Bilderfassungseinrichtung ein Bild des gemessenen Gegenstands erfasst; Ausbilden eines kombinierten Bilds durch ein Überlagern von wenigstens einem Teil der Bilder, welche durch die Bilderfassungseinrichtung erfasst werden; Berechnen für wenigstens ein Teil von kombinierenden Abschnitten des kombinierten Bilds eines Fehlers, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn das kombinierte Bild gebildet wird, basierend auf dem erhaltenen Ort der Bilderfassungseinrichtung; Messen des gemessenen Gegenstands basierend auf der Anzahl von Bildpunkten bzw. Pixeln in dem kombinierten Bild; und Korrigieren von Messresultaten des Bildmessschritts basierend auf dem berechneten Fehler für wenigstens ein Teil der kombinierenden Abschnitte.
-
In einem nicht beschränkenden Aspekt der vorliegenden Erfindung kann das Bildmessverfahren darüber hinaus ein Regeln bzw. Steuern einer Bewegungseinrichtung umfassen, um die relative Bewegung zu verleihen und/oder die relative Verschiebung bw. Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung zu erhalten, und/oder ein Regeln bzw. Steuern der Bilderfassungseinrichtung, um eine Mehrzahl von Bildern zu erfassen bzw. aufzunehmen.
-
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird in dem Messschritt der gemessene Gegenstand durch ein Detektieren eines Rands bzw. einer Kante des gemessenen Gegenstands innerhalb des kombinierten Bilds gemessen.
-
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Rand- bzw. Kantendetektion relativ zu einem Inneren eines Masken bzw. Maskierungsmusters durchgeführt, welches gemäß einer Form bzw. Gestalt des gemessenen Gegenstands innerhalb des kombinierten Bilds spezifiziert wird.
-
Gemäß einem anderen Aspekt der Erfindung wird ein Computerprogrammprodukt, welches insbesondere auf einem computerlesbaren Speichermedium verkörpert ist bzw. wird, als ein Signal und/oder als ein Datenstrom zur Verfügung gestellt, umfassend computerlesbare Instruktionen bzw. Anweisungen, welche, wenn sie auf ein geeignetes System geladen und auf diesem ausgeführt sind bzw. werden, die Schritte des Bildmessverfahrens gemäß der Erfindung oder einer bevorzugten Ausführungsform davon durchführen.
-
Die vorliegende Erfindung wird darüber hinaus in der nachfolgenden detaillierten Beschreibung unter Bezugnahme auf die angemerkte Mehrzahl von Zeichnungen an Hand von nicht beschränkenden Beispielen von beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beschrieben, in welchen gleiche Bezugszeichen ähnliche Teile durch die verschiedenen Ansichten der Zeichnungen darstellen. Es sollte verstanden werden, dass, obwohl Ausführungsformen getrennt beschrieben werden, einzelne Merkmale davon zu zusätzlichen Ausführungsformen kombiniert werden können.
-
1 ist ein Blockdiagramm, welches eine schematische Konfiguration einer Bildmessvorrichtung bzw. eines Bildmessgeräts gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung illustriert;
-
2 ist ein Flussdiagramm, welches ein Messverfahren der Bildmessvorrichtung gemäß der Ausführungsform illustriert;
-
3(A)–3(C) illustrieren Zustände, in welchen eine Bilderfassungseinrichtung angewiesen ist bzw. wird, eine Mehrzahl von Bildern gemäß der Ausführungsform aufzunehmen bzw. zu erfassen;
-
4(A) und 4(B) sind vergrößerte Ansichten eines kombinierenden Abschnitts bzw. Querschnitts in einem kombinierten Bild gemäß der Ausführungsform;
-
5(A)–5(C) illustrieren Zustände, in welchen eine Bildmesseinrichtung einen gemessenen Gegenstand gemäß der Ausführungsform misst;
-
6(A)–6(C) illustrieren Beispiele eines Messens eines Kreises, welcher größer als ein Betrachtungs- bzw. Gesichtsfeld einer Bilderfassungseinrichtung ist.
-
Die hierin gezeigten Einzelheiten sind lediglich beispielhaft und für Zwecke einer illustrativen Diskussion der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und werden für den Zweck einer Bereitstellung dessen präsentiert, wovon angenommen wird, dass es die nützlichste und am leichtesten verständliche Beschreibung der Prinzipien und konzeptmäßigen Aspekte der vorliegenden Erfindung ist. In diesem Hinblick wird kein Versuch gemacht, strukturelle Details der vorliegenden Erfindung in größerem Detail zu zeigen, als dies für das fundamentale Verständnis der vorliegenden Erfindung notwendig ist, und es erfolgt die Beschreibung mit den Zeichnungen, welche für Fachleute ersichtlich macht, wie die Formen der vorliegenden Erfindung in der Praxis verkörpert werden können.
-
Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung basierend auf den Zeichnungen beschrieben bzw. erläutert.
-
Schematische Konfiguration der Bildmessvorrichtung
-
1 ist ein Blockdiagramm, welches eine schematische Konfiguration einer Bildmessvorrichtung bzw. eines Bildmessgeräts 1 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Wie dies in 1 illustriert ist, beinhaltet die Bildmessvorrichtung 1 einen Bildmessvorrichtungskörper 2 und eine Regel- bzw. Steuervorrichtung 3, welche den Bildmessvorrichtungskörper 2 regelt bzw. steuert. Der Bildmessvorrichtungsköper 2 beinhaltet eine Bilderfassungseinrichtung 21, welche insbesondere aus einer CCD Kamera, einer oder mehreren Fotodiode(n) oder dgl. besteht oder diese umfasst, welche ein Bild eines gemessenen Gegenstands bzw. Objekts (nicht gezeigt in der Figur) erfasst (erfassen) oder aufnimmt (aufnehmen) oder detektiert (detektieren), und einen Bewegungsmechanismus 22, welcher eine relative Bewegung oder Verschiebung bzw. Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung 21 bewirkt. Der Bewegungsmechanismus 22 kann ein beliebiger Mechanismus sein, welcher eine relative Bewegung oder Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung 21 bewirken kann. Beispielsweise kann er mit einem Tisch ausgebildet sein, welcher den gemessenen Gegenstand darauf montiert bzw. angeordnet aufweist und sich im Wesentlichen entlang einer Richtung einer ersten Achse bewegen (oder eine Verlagerung entlang derselben erlauben) kann, und ein Mechanismus oder ein Antriebssystem, welcher(s) die Bilderfassungseinrichtung 21 im Wesentlichen entlang einer Richtung einer zweiten Achse bewegen (oder eine Verlagerung davon erlauben) kann, wobei die zweite Achse unter einem von 0° oder 180° verschiedenen Winkel, vorzugsweise im Wesentlichen normal auf die erste Achse verläuft.
-
Als ein Controller bzw. eine Regel- bzw. Steuervorrichtung kann die Regel- bzw. Steuervorrichtung 3 konfiguriert sein, um eine CPU (Central Processing Unit, zentrale Recheneinheit), einen (flüchtigen und/oder nicht flüchtigen) Speicher und dgl. zu beinhalten, um die Bilderfassungseinrichtung 21 und den Bewegungsmechanismus (oder die Bewegungseinrichtung) 22 zu regeln bzw. zu steuern. Diese Regel- bzw. Steuereinrichtung 3 beinhaltet wenigstens einen Speicher oder eine Speichorvorrichtung 31, eine Bilderfassungs-Regel- bzw. Steuereinrichtung 32, eine Orterhalteinrichtung oder einen Sensor 33, einen Generator bzw. eine Erzeugungseinrichtung 34 für ein kombiniertes Bild, eine Fehlerberechnungseinrichtung 35, eine Bildmesseinrichtung oder einen Detektor 36 und/oder eine Korrektureinrichtung 37, und misst insbesondere einen gemessenen Gegenstand basierend auf einem Bild, welches durch die Bilderfassungseinrichtung 21 erfasst bzw. aufgenommen wird.
-
Der Speicher 31 speichert Information, welche verwendet wird, wenn ein gemessener Gegenstand gemessen wird. Die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 leitet oder steuert den Bewegungsmechanismus 22 (oder erlaubt eine Steuerung derselben), um eine relative Bewegung oder Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung 21 zu bewirken, und leitet bzw. steuert die Bilderfassungseinrichtung 21 (oder erlaubt eine Steuerung derselben), um eine Mehrzahl von Bildern zu erfassen bzw. aufzunehmen. Die Orterhalteinrichtung 33 erhält oder detektiert einen Ort bzw. eine Stelle, an welchem(r) die Bilderfassungseinrichtung 21 ein Bild des gemessenen Gegenstands bzw. Objekts erfasst. Die Orterhalteinrichtung 33 erhält den Ort insbesondere basierend auf einer Größe bzw. einem Ausmaß der relativen Bewegung oder Verlagerung, welche durch den Bewegungsmechanismus 22 zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung 21 bewirkt wird.
-
Den Generator bzw. die Erzeugungseinrichtung 34 eines kombinierten Bilds bildet ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern von wenigstens einem Teil (insbesondere jedes) der Bilder, welche durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 erfasst bzw. aufgenommen werden, um die Bilder zu kombinieren. Die Fehlerberechnungseinrichtung 35 berechnet, für wenigstens ein Teil (insbesondere jeden) von kombinierenden Abschnitten einen Fehler, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn das kombinierte Bild gebildet wird, insbesondere basierend auf dem Ort, welcher durch die Orterhalteinrichtung 33 erhalten wird. Die Bildmesseinrichtung 36 misst den gemessenen Gegenstand (oder bestimmt eine Größe und/oder eine Form bzw. Gestalt desselben), insbesondere basierend auf der Anzahl von Pixeln bzw. Bildpunkten in dem kombinierten Bild. Die Korrektureinrichtung 37 korrigiert Messresultate der Bildmesseinrichtung 36, insbesondere basierend auf dem Fehler für jeden der kombinierenden Abschnitte, welcher durch die Fehlerberechnungseinrichtung 35 berechnet wird.
-
Messverfahren der Bildmessvorrichtung
-
2 ist ein Flussdiagramm, welches ein spezielles Messverfahren der Bildmessvorrichtung bzw. des Bildmessgeräts 1 illustriert. Wie 2 illustriert, führt, nachdem eine Messung eines gemessenen Gegenstands gestartet wird, die Bildmessvorrichtung 1 die folgenden Schritte S1–S7 durch. Nachdem eine Messung eines gemessenen Gegenstands durch die Bildmessvorrichtung 1 gestartet wird, steuert die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 den Bewegungsmechanismus 22, um eine relative Bewegung oder Verlagerung zwischen dem gemessenen Gegenstand und der Bilderfassungseinrichtung 21 zu bewirken, und steuert die Bilderfassungseinrichtung 21, um eine Mehrzahl von Bildern zu erfassen bzw. aufzunehmen oder zu detektieren oder zu empfangen (S1: Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuerschritt).
-
Nachdem ein Bild des gemessenen Gegenstands bei dem Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuerschritt S1 erfasst wurde, erhält oder bestimmt oder detektiert die Orterhalteinrichtung 33 einen Ort, bei welchem die Bilderfassungseinrichtung 21 das Bild des gemessenen Gegenstands erfasst (S2: Orterfassungs- bzw. -erhaltschritt). Nachdem der Ort, an welchem das Bild des gemessenen Gegenstands erfasst wird, erhalten wurde, bestimmt die Regel- bzw. Steuereinrichtung 3, ob alle Bilder in einem bestimmten (vorbestimmten oder vorbestimmbaren) Bereich (welcher insbesondere durch einen Benutzer der Bildmessvorrichtung 1 spezifiziert wird) erfasst bzw. aufgenommen sind (S3: Bestimmungsschritt einer Vervollständigung einer Bilderfassung).
-
3(A)–3(C) illustrieren Zustände, in welchen die Bilderfassungseinrichtung 21 angewiesen bzw. gesteuert wird, eine Mehrzahl von Bildern zu erfassen. 3(A)–3(C) illustrieren auch Beispiele eines Messens eines Musters 100, welches einen Kreis 110 als einen gemessenen Gegenstand größer als ein Betrachtungs- bzw. Gesichtsfeld R der Bilderfassungseinrichtung 21 beinhaltet. In 3(A)–3(C) wird eine Achse normal auf eine Papierebene als Z-Achse gewählt, und zwei Achsen normal auf die Z-Achse werden als X-Achse und Y-Achse gewählt. Spezifisch leitet, wie in 3(A) illustriert, die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 den Bewegungsmechanismus 22 an, eine relative Bewegung zwischen dem Muster 100 und der Bilderfassungseinrichtung 21 zu bewirken, um das Betrachtungsfeld R der Bilderfassungseinrichtung 21 nach oben links des Musters 100 zu bewegen. Dann leitet die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 die Bilderfassungseinrichtung 21 an oder steuert diese, ein Bild des Musters 100 zu erfassen bzw. aufzunehmen. Und die Orterhalt- bzw. -erfassungseinrichtung 33 erhält oder bestimmt oder detektiert einen Ort, an welchem die Bilderfassungseinrichtung 21 das Bild des Musters 100 erfasst. Das Bild, welches durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 erfasst wurde, und der Ort, welcher durch die Orterhalteinrichtung 33 erhalten wurde, werden in dem Speicher 31 gespeichert.
-
Als nächstes leitet, wie in 3(B) illustriert, die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 den Bewegungsmechanismus 22 an oder steuert diesen, um eine relative Bewegung oder Verlagerung zwischen dem Muster 100 und der Bilderfassungseinrichtung 21 zu bewirken, um das Gesichtsfeld R der Bilderfassungseinrichtung 21 in Richtung zu der Richtung der +X-Achse (nach rechts in 3(A)–3(C)) zu bewegen, um wenigstens teilweise das bereits erfasste Bild des Musters 100 (mit zwei Punkten strichlierte Linie in 3(B)) zu überlagern. Dann leitet die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 die Bilderfassungseinrichtung 21 an oder steuert diese, ein Bild des Musters 100 zu erfassen. Und die Orterhalteinrichtung 33 erhält oder bestimmt oder detektiert einen Ort, an welchem die Bilderfassungseinrichtung 21 das Bild des Musters 100 erfasst. Darüber hinaus leitet, wie in 3(C) illustriert, die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 den Bewegungsmechanismus 22 an oder steuert diesen, um relative Bewegungen oder Verlagerungen zwischen dem Muster 100 und der Bilderfassungseinrichtung 21 zu bewirken, und leitet die Bilderfassungseinrichtung 21 an oder steuert diese, um wenigstens ein Teil (insbesondere alle) der Bilder in dem bestimmten (vorbestimmten oder vorbestimmbaren) Bereich wenigstens teilweise zu erfassen, wie dies durch den Benutzer der Bildmessvorrichtung 1 spezifiziert ist bzw. wird.
-
Nachdem bestimmt wird, dass die entsprechenden bzw. jeweiligen (insbesondere allen) Bilder bei dem Bestimmungsschritt 53 einer Vervollständigung einer Bilderfassung erfasst wurden, bildet der Generator bzw. die Erzeugungseinrichtung 34 eines kombinierten Bilds ein kombiniertes Bild, indem wenigstens teilweise (insbesondere alle) die Bilder (oder wenigstens ein Teil ihres Inhalts) überlagert wird, welche durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 erfasst wurden, um die Bilder zu kombinieren (S4: Ausbildungsschritt des kombinierten Bilds). Hier ist es, wenn ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern (insbesondere jedem) der Bilder gebildet wird, um die Bilder zu kombinieren, beispielsweise aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung möglich, dass ein Fehler von weniger als einem Pixel bzw. Bildpunkt insbesondere an einem kombinierenden Abschnitt in dem kombinierten Bild auftritt. In der Ausführungsform kombiniert, wenn jedes der Bilder kombiniert wird, die Erzeugungseinrichtung 34 für das kombinierte Bild die Bilder in einer Weise, dass das kombinierte Bild entlang einer kombinierenden bzw. Kombinationsrichtung ausgebreitet wird.
-
4(A) und 4(B) sind vergrößerte Ansichten eines kombinierenden Abschnitts in einem kombinierten Bild. Spezifisch sind 4(A) und 4(B) vergrößerte Ansichten eines Bereichs bzw. einer Fläche A, welche(r) durch eine strich-punktierte Linie in 3(C) umschlossen wird, in welchem jeder Bildpunkt als ein Quadrat illustriert ist bzw. wird. Spezifisch kombiniert, wenn jedes der Bilder kombiniert wird, die Erzeugungseinrichtung 34 für ein kombiniertes Bild die Bilder in einer Weise, dass das kombinierte Bild entlang einer kombinierenden Richtung ausgebreitet wird. Daher kann, wie dies in 4(A) und 4(3) illustriert ist, wenn die Erzeugungseinrichtung 34 für das kombinierte Bild die entsprechenden Bilder (vorzugsweise jedes derselben) kombiniert, eine Fehlausrichtung von einem Pixel bzw. Bildpunkt an einem kombinierenden Abschnitt in dem kombinierten Bild auftreten (strich-punktierte Linie in 4(A) und 4(B)), in einem Fall, wo kein Fehler auftritt (siehe 4(A)), und in einem Fall, wo ein Fehler auftritt (siehe 4(B)).
-
Nachdem ein kombiniertes Bild an dem Ausbildungsschritt S4 des kombinierten Bilds basierend auf dem Ort gebildet wird, welcher durch die Orterhalteinrichtung 33 erhalten oder bestimmt oder detektiert wird bzw. wurde, berechnet die Fehlerberechnungseinrichtung 35 für die kombinierenden Abschnitte (vorzugsweise für jeden derselben) einen Fehler, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn das kombinierte Bild gebildet wird (S5: Fehlerberechnungsschritt). Beispielsweise wird in 3(B), wenn ein kombiniertes Bild eines bereits erfassten Bilds des Musters 100 (mit zwei Punkten strichlierte Linie in 3(B)) und ein neu erfasstes Bild des Musters 100 gebildet wird, d. h. das Bild des Musters 100, welches in dem Betrachtungs- bzw. Gesichtsfeld R der Bilderfassungseinrichtung 21 enthalten ist, um einen Fehler zu berechnen, welcher an einem kombinierenden Abschnitt bzw. Querschnitt auftritt, den folgenden Prozeduren gefolgt. In der nachfolgenden Erklärung wird das bereits erfasste Bild des Musters 100 als ein Bild Im1 bezeichnet, und das neu erfasste Bild des Musters 100 wird als ein Bild Im2 bezeichnet.
-
Ein Ort, an welchem die Bilderfassungseinrichtung 21 das Bild Im1 erfasst oder detektiert oder bestimmt, wird als (X1, Y1) bezeichnet, und ein Ort, an welchem die Bilderfassungseinrichtung 21 das Bild Im2 erfasst oder detektiert oder bestimmt, wird als (X2, Y2) bezeichnet. Dann wird ein Ausmaß (dX, dY) einer relativen Bewegung zwischen dem Muster 100 und der Bilderfassungseinrichtung 21 durch die folgenden Gleichungen (1) und (2) ausgedrückt. In der vorliegenden Ausführungsform bewegen sich das Muster 100 und die Bilderfassungseinrichtung 21 nicht entlang der Richtung der Y-Achse. Daher dY = 0. dX = X2 – X1 (1) dY = Y2 – Y1 (2)
-
Hier wird ein Abstand entlang der Richtung der X-Achse (insbesondere entsprechend wenigstens einem Pixel oder Bildelement) in einem Bild, welches durch die Bilderfassungseinrichtung 21 erfasst wird, als psX bezeichnet, und ein Abstand entlang der Y-Achse wird als psY bezeichnet. Ein Fehler entlang der Richtung der X-Achse, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird, wird als erX bezeichnet, und ein Fehler entlang der Richtung der Y-Achse wird als erY bezeichnet. Dann wird ein Zusammenhang dieser Größen mit dem Ausmaß (dX, dY) einer relativen Bewegung zwischen dem Muster 100 und der Bilderfassungseinrichtung 21 durch die folgenden Gleichungen (3) und (4) ausgedrückt. dX = a1·psX + erX (3) dY = a2·psY + erY (4)
-
Hier sind a1 und a2 ganze Zahlen und werden aus den zwei folgenden Anforderungen bzw. Erfordernissen bestimmt. Eine Anforderung ist, dass, wenn jedes der Bilder kombiniert wird, die Erzeugungseinrichtung 34 des kombinierten Bilds die Bilder in einer Weise kombiniert, dass das kombinierte Bild entlang einer kombinierenden Richtung ausgebreitet oder erstreckt wird. Die andere Anforderung ist, dass, wie dies durch die folgenden Gleichungen (5) und (6) ausgedrückt wird, der Fehler, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, weniger als der Abstand (psX, psY) entsprechend einem Pixel (oder Bildelement) in einem Bild ist, welches durch die Bilderfassungseinrichtung 21 erfasst ist bzw. wird. 0 <= erX < psX (5) 0 <= erY < psY (6)
-
Daher berechnet, basierend auf den folgenden Gleichungen (7) und (8) die Fehlerberechnungseinrichtung 35 den Fehler (erX, erY), welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird. Und die Fehlerberechnungseinrichtung 35 speichert den Fehler (erX, erY) für jeden von kombinierenden Abschnitten in dem Speicher 31. erX = dX – a1·psX (7) erY = dY – a2·psY (8)
-
Nachdem der Fehler (erX, erY), welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, für jeden von kombinierenden Abschnitten an dem Fehlerberechnungsschritt S5 berechnet wird, misst die Bildmesseinrichtung 36 den Kreis 110 oder bestimmt diesen basierend auf der Anzahl von Pixeln bzw. Bildpunkten (oder Bildelementen) in einem kombinierten Bild (S6: Bildmessschritt).
-
5(A)–5(C) illustrieren Zustände, in welchen die Bildmesseinrichtung 36 den Kreis 110 misst. In 5(A)–5(C) ist ein kombiniertes Bild Im, welches durch die Erzeugungseinrichtung 34 für das kombinierte Bild gebildet wird, mit einer durchgehenden Linie angedeutet. Die Bildmesseinrichtung 36 misst oder bestimmt eine Form bzw. Gestalt, Abmessungen und/oder dgl. des Kreises 110 durch ein Be- bzw. Verarbeiten des kombinierten Bilds Im, welches durch die Erzeugungseinrichtung 34 für das kombinierte Bild gebildet wird. Spezifisch misst die Bildmesseinrichtung 36 den Kreis 110 (oder bestimmt einen oder mehrere Parameter desselben) durch ein Detektieren eines Rands bzw. einer Kante des Kreises 110 innerhalb des kombinierten Bilds Im. Die Kanten- bzw. Randdetektion, wie dies in 5(A) illustriert ist, wird relativ zu einem Inneren eines ringförmigen Maskenmusters M durchgeführt, welches gemäß der Form bzw. Gestalt des Kreises 110 innerhalb des kombinierten Bilds Im spezifiziert ist bzw. wird.
-
Daher kann, selbst wenn sich ein Ort des Kreises 110 außerhalb einer Ausrichtung mit einem bestimmten (vorbestimmten oder vorbestimmbaren) Ort (siehe 5(B)) befindet, oder wenn eine Abmessung des Kreises 110 größer als eine bestimmte (vorbestimmte oder vorbestimmbare) Abmessung ist (siehe 5(C)), der Rand bzw. die Kante oder die Größe des Kreises 110 entsprechend detektiert werden. Und die Bildmesseinrichtung 36 misst einen Mittelpunkt, einen Durchmesser und/oder dgl. des Kreises 110 basierend auf der Anzahl von Pixeln (oder Bildelementen) zwischen Rändern bzw. Kanten des Kreises 110 und dem Abstand (psX, psY) entsprechend einem Pixel (oder Bildelement) in einem Bild, welches durch die Bilderfassungseinrichtung 21 erfasst wird.
-
Nachdem der Kreis 110 an dem Bildmessschritt S6 gemessen wird, korrigiert die Korrektureinrichtung 37 Messresultate der Bildmesseinrichtung 36, insbesondere basierend auf dem Fehler für jeden der kombinierenden Abschnitte, welcher durch die Fehlerberechnungseinrichtung 35 berechnet wurde (S7: Korrekturschritt). Beispielsweise korrigiert, wenn die Bildmesseinrichtung 36 eine Anzahl von Pixeln (oder Bildelemente) zwischen Rändern des Kreises 110 misst, in einem Fall, wo mehr als ein kombinierender Abschnitt zwischen Bildern existiert, für welche ein Rand detektiert wird (wobei die Bilder unter denjenigen Bildern sind, welche durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 erfasst wurden), die Korrektureinrichtung 37 die Messresultate der Bildmesseinrichtung 36 insbesondere basierend auf einer Aufsummierung (oder Kombination) von Fehlern der kombinierenden Abschnitte, welche zwischen den Bildern existieren, für welche ein Rand detektiert wird.
-
Demgemäß beinhaltet eine Bildmessvorrichtung eine Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung, eine Orterhalteinrichtung, einen Generator bzw. eine Erzeugungseinrichtung für ein kombiniertes Bild, eine Fehlerberechnungseinrichtung, eine Bildmesseinrichtung und/oder eine Korrektureinrichtung. Die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung bewirkt relative Bewegungen zwischen einem gemessenen Gegenstand bzw. Objekt und einer Bilderfassungseinrichtung. Die Orterhalteinrichtung erhält einen Ort, an welchem die Bilderfassungseinrichtung ein Bild des gemessenen Gegenstands erfasst. Die Erzeugungseinrichtung für ein kombiniertes Bild bildet ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern der Bilder, welche durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung erfasst wurden. Die Fehlerberechnungseinrichtung berechnet, für jeden von kombinierenden Abschnitten, einen Fehler, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn das kombinierte Bild gebildet wird, basierend auf dem Ort, welcher durch die Orterhalteinrichtung erhalten wurde. Die Bildmesseinrichtung misst den gemessenen Gegenstand basierend auf der Anzahl von Pixeln bzw. Bildpunkten in dem kombinierten Bild. Die Korrektureinrichtung korrigiert Messresultate der Bildmesseinrichtung basierend auf dem Fehler für jeden der kombinierenden Abschnitte, welcher durch die Fehlerberechnungseinrichtung berechnet wurden.
-
Die vorliegende Ausführungsform, wie oben beschrieben, hat die folgenden Effekte.
- (1) Die Regel- bzw. Steuereinrichtung 3 beinhaltet die Erzeugungseinrichtung 34 für das kombinierte Bild, welche das kombinierte Bild Im durch ein wenigstens teilweises Überlagern von jedem der Bilder bildet, welche durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 erfasst wurden, um die Bilder zu kombinieren. Daher ist es möglich, eine Situation zu vermeiden, wo aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung 21 ein Spalt bzw. Zwischenraum an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird.
- (2) Die Regel- bzw. Steuereinrichtung 3 beinhaltet die Fehlerberechnungseinrichtung 35 für ein Berechnen für wenigstens einen Teil (insbesondere jeden) von kombinierenden Abschnitten eines Fehlers, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn das kombinierte Bild Im gebildet wird, basierend auf einem Ort, an welchem die Bilderfassungseinrichtung 21 ein Bild des Kreises 110 erfasst oder detektiert. Daher ist es möglich, den Fehler zu berechnen, welcher an einem kombinierenden Abschnitt, wenn das kombinierte Bild Im gebildet wird, beispielsweise aufgrund eines Quantisierungsfehlers und dgl. der Bilderfassungseinrichtung 21 auftritt. Und die Korrektureinrichtung 37 kann Messresultate der Bildmesseinrichtung 36 insbesondere basierend auf dem Fehler für jeden der kombinierenden Abschnitte korrigieren, welcher durch die Fehlerberechnungseinrichtung 35 berechnet wurde. Daher erlaubt die Bildmessvorrichtung 1, dass der Kreis 110 adäquat bzw. geeignet selbst für den Fall gemessen wird, wo der Kreis 110 größer als das Gesichts- bzw. Betrachtungsfeld R der Bilderfassungseinrichtung 21 gemessen wird.
- (3) Die Bildmesseinrichtung 36 detektiert einen Rand bzw. eine Kante oder eine Position durch ein Verwenden des Maskenmusters M, welches gemäß einer Form bzw. Gestalt des Kreises 110 innerhalb des kombinierten Bilds Im spezifiziert ist. Daher kann der Rand bzw. die Kante des Kreises 110 adäquat bzw. geeignet detektiert bzw. festgestellt werden.
-
MODIFIKATIONEN DER AUSFÜHRUNGSFORM
-
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt. Variationen oder Modifikationen, Verbesserungen und dgl. innerhalb des Rahmens bzw. Bereichs eines Erzielens des Zwecks der vorliegenden Erfindung sind in der vorliegenden Erfindung beinhaltet. Beispielsweise detektiert in der Ausführungsform die Bildmesseinrichtung 36 einen Rand durch ein Verwenden des Maskenmusters M, welches gemäß einer Form des Kreises 110 innerhalb des kombinierten Bilds Im spezifiziert ist. Es ist jedoch auch möglich, einen Rand unter Verwendung eines Maskenmusters einer unterschiedlichen Form bzw. Gestalt zu detektieren. Es ist auch möglich, einen Rand bzw. eine Kante ohne ein Verwenden eines Maskenmusters zu detektieren. Darüber hinaus ist es für die Bildmesseinrichtung auch möglich, einen gemessenen Gegenstand durch ein Durchführen einer Bildbe- bzw. -verarbeitung verschieden von einer Rand- bzw. Kantendetektion zu messen. Der Punkt ist insbesondere, dass die Bildmesseinrichtung einen gemessenen Gegenstand basierend auf der Anzahl von Pixeln (oder Bildelementen) in einem kombinierten Bild misst.
-
In der Ausführungsform kombiniert, wenn jedes von Bildern kombiniert wird, die Erzeugungseinrichtung 34 des kombinierten Bilds die Bilder in einer Weise, dass das kombinierte Bild entlang einer kombinierenden Richtung ausgebreitet oder verteilt oder verlängert bzw. erstreckt ist bzw. wird. Es ist jedoch auch möglich, die Bilder in einer Weise zu kombinieren, dass das kombinierte Bild verschmälert wird. Beispielsweise ist es darüber hinaus auch möglich zu entscheiden, ob die Bilder in einer Weise kombiniert werden, dass das kombinierte Bild ausgebreitet ist bzw. wird, oder in einer Weise, dass das kombinierte Bild gemäß einem Zustand von jedem der zu kombinierenden Bilder verschmälert wird. In diesem Fall modifiziert die Fehlerberechnungseinrichtung insbesondere ein Fehlerberechnungsverfahren gemäß dem jeweiligen Bildkombinationsverfahren. Der Punkt ist, dass die Erzeugungseinrichtung für das kombinierte Bild ein kombiniertes Bild durch ein Überlagern von jedem der Bilder bildet, welches durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung erfasst wurden, um die Bilder zu kombinieren.
-
In der Ausführungsform berechnet, nachdem die Erzeugungseinrichtung 34 für das kombinierte Bild das kombinierte Bild Im bildet, die Fehlerberechnungseinrichtung 35 für die kombinierenden Abschnitte (insbesondere jeden derselben) einen Fehler, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt. Es ist jedoch auch möglich, für die kombinierenden Abschnitte (insbesondere jeden derselben) einen Fehler zu berechnen, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn ein Bild neu durch die Bilderfassungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 32 erfasst wird. Der Punkt ist, dass die Fehlerberechnungseinrichtung für jeden von kombinierenden Abschnitten einen Fehler berechnet, welcher an einem kombinierenden Abschnitt auftritt, wenn ein kombiniertes Bild gebildet wird, basierend auf einem Ort, welcher durch die Orterhalteinrichtung erhalten wird.
-
Die vorliegende Erfindung kann geeignet als eine Bildmessvorrichtung bzw. ein Bildmessgerät verwendet werden.
-
Es wird festgehalten, dass die vorangehenden Beispiele lediglich für den Zweck einer Erläuterung zur Verfügung gestellt wurden und in keiner Weise als die vorliegende Erfindung beschränkend anzusehen bzw. auszulegen sind. Während die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf beispielhafte Ausführungsformen beschrieben wurde, ist zu verstehen, dass die Worte bzw. Ausdrücke, welche hierin verwendet wurden, Worte bzw. Ausdrücke einer Beschreibung und Illustration anstelle von Worten bzw. Ausdrücken einer Beschränkung sind. Änderungen können innerhalb des Bereichs bzw. Anwendungsbereichs der beigeschlossenen Ansprüche, wie sie gegenwärtig formuliert sind und wie sie geändert werden, durchgeführt werden, ohne von dem Rahmen und Geist der vorliegenden Erfindung in ihren Aspekten abzuweichen. Obwohl die vorliegende Erfindung hierin unter Bezugnahme auf bestimmte Strukturen, Materialien und Ausführungsformen beschrieben wurden, ist für die vorliegende Erfindung nicht beabsichtigt, auf die hierin geoffenbarten Merkmale bzw. Eigenschaften begrenzt bzw. beschränkt zu sein; eher erstreckt sich die vorliegende Erfindung auf alle funktionell äquivalenten Strukturen, Verfahren und Verwendungen bzw. Einsatzzwecke, wie sie innerhalb des Rahmens der beigeschlossenen Ansprüche liegen.
-
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt und verschiedene Variationen bzw. Abwandlungen und Modifikationen können möglich sein, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
