DE102010060162B3

DE102010060162B3 - Verfahren zur Erhöhung der Genauigkeit der Führung des Bearbeitungslasers von Fügevorrichtungen

Info

Publication number: DE102010060162B3
Application number: DE102010060162A
Authority: DE
Inventors: Pravin Sievi
Original assignee: Scansonic MI GmbH
Current assignee: Scansonic MI GmbH
Priority date: 2010-08-12
Filing date: 2010-10-26
Publication date: 2011-12-08
Anticipated expiration: 2030-10-27
Also published as: EP2418040A1; EP2418040B1

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren, mit dem die Genauigkeit der Führung des Bearbeitungslasers von Fügevorrichtungen, die mittels einer Scanner-Optik (2) gesteuert werden, insbesondere bei Nähten, in deren Verlauf große Änderungen der Höhe relativ zur Scanner-Optik (2) auftreten, nachhaltig verbessert wird. Hierzu wird während der Erzeugung der Schweißnaht der Vorgabewert des Vorlaufs des Messlichts in Nahtlängsrichtung bezüglich der Auftreffposition des Laserstrahls verändert. Während des Schweißens werden Bildsignale aufgenommen, durch die mit einem Triangulationsverfahren die Topologie des Werkstücks in der Umgebung der zu erzeugenden Naht ermittelt und mit den Topologiedaten die Abweichung (14) des realen Arbeitsvorlaufs (13a) vom Sollwert des Arbeitsvorlaufs (13b) kompensiert wird, und/oder der Vorgabewertwert des Arbeitsvorlaufs (13a) wird mit Hilfe des Signal-/Rauschverhältnisses geregelt.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren, mit dem die Genauigkeit der Führung des Bearbeitungslasers von Fügevorrichtungen, die mittels einer Scanner-Optik gesteuert werden, insbesondere wenn im Verlauf der zu fügenden Naht große Änderungen der Höhe relativ zur Scanner-Optik auftreten, nachhaltig verbessert wird.
Aus dem Stand der Technik sind bereits Fügevorrichtungen bekannt, mit denen in Standardanwendungen bei der Führung des Bearbeitungslasers hohe Genauigkeiten erreicht werden.
So wird in DE 10 2009 057 209 A1 eine Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels Laser mit einer durch eine Führungsmaschine relativ zum zu bearbeitenden Werkstück beweglichen Scanner-Optik, die nach dem Prinzip des pre-objektivescanning oder des post-objective-scanning arbeitet und deren Strahlengang mittels einer oder mehrerer aktiver und/oder passiver Ablenkungseinheiten geführt ist, offenbart. Die Vorrichtung verfügt über einen mit der Scanner-Optik bewegten Projektor, der dazu dient, Messlicht in Form von Messstrukturen auf das zu bearbeitende Werkstück zu projizieren, und einen mit der Scanner-Optik bewegten Bildsensor, der sensitiv im Wellenlängenbereich des vom Projektor abgestrahlten Messlichts ist. Der Projektor ist außerhalb des Strahlengangs der Scanner-Optik angeordnet und das von ihm ausgestrahlte Messlicht besteht aus mindestens einer Linie, die quer zur Längsrichtung der auf dem Werkstück zu erzeugenden Naht verläuft und sich bevorzugt über das gesamte Arbeitsfeld der Scanner-Optik erstreckt. Mit Hilfe des Projektors kann in Nahtlängsrichtung mittels des sog. Vorgabewertes ein bestimmter Vorlauf zur Auftreffposition des Laserstrahls festgelegt werden.
Die DE 10 2006 004 919 A1 beschreibt einen Laserstrahlschweißkopf mit einem Schweißstrahl und Mitteln zur optischen Erfassung der Position einer Schweißnaht an einer vorlaufenden Messposition, wobei ein basierend auf einer Abweichung der Schweißnaht von einer Sollposition erzeugtes Korrektursignal unmittelbar und ohne Vorlaufberechnung zur Korrektur der Position des Schweißstrahls verwendbar ist.
Die DE 10 2008 056 695 A1 beschreibt einen Laserbearbeitungskopf mit einer Beleuchtungsvorrichtung mit einer ersten Lichtquelle zur Beleuchtung eines Arbeitsbereichs eines zu bearbeitenden Werkstücks, einer Lichtschnittvorrichtung mit einer zweiten Lichtquelle zum Erzeugen einer Lichtlinie innerhalb des Arbeitsbereichs, und einer Kamera zur Beobachtung des Arbeitsbereichs, wobei vor der Kamera ein optischer Bandpassfilter angeordnet ist und die erste und zweite Lichtquelle so beschaffen sind, dass sie ein Abstrahlmaximum im Wellenlängendurchlassbereich des Bandpassfilters aufweisen.
Die EP 2 062 674 A1 beschreibt ein Verfahren zum Vorbereiten eines Laserschweißprozesses, wobei mit einer Sensoreinrichtung die Position einer Fügestelle an einem Werkstück in einem ersten Messbereich vorlaufend zu einer Laserstrahlposition, in einem zweiten Messbereich an der Laserstrahlposition und/oder in einem dritten Messbereich nachlaufend zu der Laserstrahlposition, und die Laserstrahlposition in dem zweiten Messbereich erfasst werden, und wobei die Positionen der Fügestelle in den jeweiligen Messbereichen und die Laserstrahlposition zum Anpassen der Lage, der Ausrichtung und/oder des Koordinatensystems der Sensoreinrichtung und/oder eines Laserbearbeitungskopfs relativ zum Werkstück miteinander verglichen werden.
Bei der Bearbeitung von Werkstücken mit flacher Topologie, d. h. Werkstücken, bei denen im Nahtverlauf keine großen Änderungen der Höhe (des Abstands zwischen Werkstück und Scanner-Optik), wie z. B. steile Flanken oder Stufen, auftreten, wird mit der Vorrichtung sicher erreicht, dass die realen Vorläufe den Vorgabewerten der Vorläufe weitgehend entsprechen und infolgedessen die mindestens eine Linie des Messlichts in Nahtlängsrichtung immer einen definierten Abstand zur Auftreffposition des Laserstrahls einhält.
Die Vorrichtung nach DE 10 2009 057 209 A1 und auch andere zurzeit verwendeten Lösungen gehen bei ihren Berechnungen von einem konstanten Arbeitsvorlauf (Vorlauf, bei dem die zum Betrieb der Vorrichtung erforderlichen Messungen vorgenommen werden) zwischen dem Laserprozess und der auf das Bauteil projizierten mindestens einen Messlinie aus. Aus den Messungen werden Korrekturwerte ermittelt. Zu einem berechneten Zeitpunkt, an dem sich der Laserstrahl am entsprechenden Messort befinden müsste, werden dann die den Korrekturwerten entsprechenden Korrekturen durchgeführt.
Um günstige Triangulationswinkel zu erhalten, muss die optische Achse des Projektors gegenüber der optischen Achse des Bearbeitungslaserstrahls gekippt angeordnet sein. Bei einer solchen gekippten Anordnung führen jedoch Höhenänderungen (Erhebungen oder Senken) auf dem Werkstück aus Geometriegründen zu einer Verschiebung des realen Vorlaufs und damit zu Abweichungen zwischen dem Vorgabewert des Vorlaufs und dem sich real einstellenden Vorlauf.
Diese Abweichung des realen Vorlaufs vom Vorgabewert bringt zwei Nachteile mit sich.
Da erstens in den bekannten Vorrichtungen bei den Berechnungen der Korrekturwerte davon ausgegangen wird, dass der reale Arbeitsvorlauf mit dem Sollwert des Arbeitsvorlaufs (der ”gewollte” Arbeitsvorlauf) übereinstimmt, werden bei Höhenänderungen im Nachverlauf die Korrekturen zur falschen Zeit (und infolgedessen auch am falschen Ort) durchgeführt.
Zweitens führt die Abweichung des realen Vorlaufs vom Sollwert zu einem Arbeitsvorlauf, der nicht optimal ist. Da das Bildsignal aufgrund der durch den Schweißprozess verursachten Umwelteinflüsse (wie z. B. Schweißdampf) umso schlechter wird, je kleiner der Vorlauf gewählt wird (Verringerung der Nachführstabilität), anderseits jedoch die Genauigkeit der Regelung mit zunehmendem Vorlauf abnimmt, muss bei Scanner-Optiken der Sollwert des Arbeitsvorlaufs immer so gewählt werden, dass ein Optimum von Nachführstabilität und Genauigkeit erreicht wird.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu finden, mit dem die Genauigkeit der Führung des Bearbeitungslasers in Fügevorrichtungen, die mittels einer Scanner-Optik gesteuert werden, auch bei längs zur zu erzeugenden Naht auftretenden Höhenschwankungen zwischen Scanner-Optik und Bauteil nachhaltig verbessert wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst; vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen 2 bis 10.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird zur Steuerung einer Fügevorrichtung mit einem Bearbeitungslaser verwendet, deren Scanner-Optik mit mindestens einem externen Projektor ausgestattet ist. Der Projektor dient dazu, Messlicht in Form von Messstrukturen auf das zu bearbeitende Werkstück zu projizieren. Das Messlicht wird von einem mit der Scanner-Optik bewegten und im Wellenlängenbereich des Messlichts sensitiven Bildsensor erfasst. Die Scanner-Optik arbeitet nach dem Prinzip des pre-objektive-scanning oder des post-objective-scanning und wird mittels einer Führungsmaschine relativ zum zu bearbeitenden Werkstück bewegt. Der Strahlengang der Scanner-Optik ist mittels einer oder mehrerer aktiver und/oder passiver Ablenkungseinheiten geführt.
Voraussetzung für die Anwendung des Verfahrens ist, dass der Projektor außerhalb des Strahlengangs der Scanner-Optik angeordnet und seine optische Achse gegenüber der optischen Achse des Lasers um 5° bis 60°, bevorzugt 10° bis 25°, gekippt ist. Das vom Projektor ausgestrahlte Messlicht besteht aus mindestens einer Linie, die quer zur Längsrichtung der zu erzeugenden Naht verläuft.
Nach Maßgabe der Erfindung wird während der Erzeugung der Schweißnaht der Vorgabewert des Vorlaufs des Messlichts gegenüber der Auftreffposition des Laserstrahls in Nahtlängsrichtung gezielt verändert. Alle bekannten Verfahren arbeiten mit einem festen Vorgabewert des Vorlaufs, der reale Vorlauf kann allerdings auch bei diesen Verfahren, wie oben bereits diskutiert, aus Geometriegründen variieren.
Um den Vorlauf des Messlichts zur Auftreffposition des Laserstrahls (im Rahmen der apparativen Möglichkeiten) frei vorgeben zu können, wird ein Projektor eingesetzt, dessen Messlicht, z. B. durch Verändern seines Kippwinkels oder translatorisches Bewegen des gesamten Projektors oder mittels einer im ausgehenden Strahlengang des Projektors angeordneten, aktiven Umlenkungseinheit, unabhängig von der Führungsmaschine bewegt werden kann. Schließlich kann der Vorgabewert des Vorlaufs auch mittels der Scanner-Optik verändert werden.
Um den realen Arbeitsvorlauf auch bei Höhenschwankungen zwischen Scanner-Optik und Bauteil längs der zu erzeugenden Naht konstant zu halten, werden während der Erzeugung der Schweißnaht mit dem Bildsensor Bildsignale vom Messlicht aufgenommen.
Dabei wird der Vorgabewert des Vorlaufs entweder vorerst fest auf dem Vorgabewert des Arbeitsvorlaufs gehalten oder der Vorgabewert des Vorlaufs wird zyklisch variiert. Im Falle des festen Vorgabewerts (des Vorlaufs) werden mit dem Bildsensor Bildsignale während der Erzeugung der Naht aufgenommen. Bei einem zyklisch variierten Vorgabewert werden die Bildsignale hingegen während jeder Variation, die üblicherweise mit dem Vorgabewert des Arbeitsvorlaufs beginnt und sich zu größeren Vorgabewerten (weiter vom Auftreffpunkt des Laserstrahls entfernte) hin erstreckt, aufgenommen.
Die zyklischen Variationen der Vorgabewerte des Vorlaufs können ausschließlich innerhalb des Bildbereichs des Bildsensors erfolgen, oder es wird der Bildbereich des Bildsensors, um noch größere Vorgabewerte des Vorlaufs (als die im Bildbereich des Bildsensors liegenden) zu erreichen, während der Variation der Vorgabewerte des Vorlaufs dem Messlicht mittels der Scanner-Optik nachgeführt. Bei der Nachführung des Bildsensors wird zwar, da der Arbeitslaser und der Bildsensor dieselbe Optik nutzen, auch der Arbeitslaser mitbewegt, die Variation der Vorgabewerte erfolgt jedoch in Grenzen (Geschwindigkeit, Amplitude), die vom Schweißprozess ohne Weiteres toleriert werden.
Aus den so gewonnenen Bildsignalen wird mittels eines Triangulationsverfahrens, vorzugsweise dem Lichtschnittverfahren, die Topologie des Werkstücks in der Umgebung der zu erzeugenden Naht ermittelt Mit Hilfe der Topologiedaten (Höhenwerte) werden dann die Vorgabewerte für den Arbeitsvorlauf derart angepasst, dass über den gesamten Verlauf der zu erzeugenden Naht jeweils die durch Höhenschwankungen verursachten Abweichungen des realen Arbeitsvorlaufs vom Sollwert des Arbeitsvorlaufs kompensiert werden. Auf diese Weise kann der reale Arbeitsvorlauf auf seinem optimalen Wert gehalten werden und die von der Scanner-Optik ermittelten Korrekturwerte kommen an den dafür vorgesehenen Positionen zum Einsatz.
Bei der Variante mit festen Vorgabewerten des Vorlaufs kann dabei lediglich auf die Topologiedaten vor und genau am Ort des Messlichts zurückgegriffen werden, während bei der Variante mit zyklischer Variation der Vorgabewerte des Vorlaufs auch in Vorschau, d. h. mit den Topologiedaten vor dem Ort des Messlichts gearbeitet, und infolgedessen noch genauer geregelt werden kann. Die Variante mit zyklischer Variation ist allerdings technologisch aufwendiger.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann darüber hinaus auch dazu genutzt werden, den realen Arbeitsvorlauf nicht festzuhalten, sondern auf einen so kleinen Wert einzustellen, dass die Qualität der Bildsignale gerade noch so gut ist, dass sie zur Regelung genutzt werden können. Auf diese Weise wird es möglich, sich im Schweißprozess stets an das Optimum von Nachführstabilität und Genauigkeit der Regelung heranzutasten.
Hierzu wird während der Erzeugung der Naht mit dem Bildsensor eine Anzahl von Einzelbildern pro Zeiteinheit aufgenommen, die größer ist (mindestens doppelt, üblicherweise fünfmal so groß) als die Anzahl der Einzelbilder, die zur Nahtführung erforderlich sind. Für jedes Einzelbild wird das Signal-/Rauschverhältnis bestimmt Wenn das Signal-/Rauschverhältnis einen zuvor festgelegten Wert überschreitet, wird das Bild als gut (Gutbild) eingestuft, sobald dieser Wert unterschritten wird, wird das Bild als schlecht (Schlechtbild) gewertet Aus den pro Zeiteinheit aufgenommen Einzelbildern wird der Fehlerquotient (Verhältnis von Schlechtbildern zu Gutbildern) ermittelt Schließlich wird der Vorgabewert (um einen kleinen Wert, z. B. 0,1 bis 5 mm) des Vorlaufs erhöht, wenn der Fehlerquotient der Einzelbilder einen bestimmten Wert überschreitet und verringert (ebenfalls um einen kleinen Wert), sobald der Fehlerquotient einen bestimmten Wert unterschreitet. Das Aufnehmen der Einzelbilder und die anschließende Veränderung des Vorgabewerts des Vorlaufs erfolgt während des gesamten Schweißvorgangs.
Es ist auch möglich, diese Methode (Herantasten an den optimalen Arbeitsvorlauf) mit der Methode zur Kompensation der Verschiebung des realen Arbeitsvorlaufs aufgrund von Höhenänderungen zu kombinieren, indem in einem ersten, groben Regelschritt Höhenänderungen kompensiert und in einem zweiten, feinen Regelschritt der Arbeitsvorlauf anhand des Bildsignals weiter angepasst wird.
Des Weiteren ist das erfindungsgemäße Verfahren gut zur Kombination mit dem bereits bekannten, so genannten ”on-the-Fly-Verfahren” geeignet, bei dem die Arbeitsgeschwindigkeit des Lasers temporär dadurch erhöht wird, dass zur Bewegung des Lasers durch die Führungsmaschine eine Bewegung des Lasers durch die Scanneroptik hinzugefügt wird.
Die Wirkungsweise des erfindungsgemäßen Verfahrens, eingesetzt zur Kompensation von Höhenänderungen, wird nachfolgend anhand der Figur, die eine Fügevorrichtung in seitlicher Ansicht zeigt, näher erläutert.
Beim Auftreffen des vom Projektor 7 ausgesandten Messlichts 8, das hier aus einer Linie besteht, auf ein Werkstück 11, das nicht eben ist, sondern Erhebungen 12 oder Senken aufweist, würde die unkorrigierte Messlinie 8a bei einer Position 13a auf das Werkstück auftreffen. Bei der Berechnung der Korrekturen der Scanner-Optik würde jedoch von der Soll-Position 13b ausgegangen. Zwischen dem realen Arbeitsvorlauf (entsprechend Position 13a) und dem Sollwert des Arbeitsvorlaufs (entsprechend Position 13b) träte damit eine Abweichung 14 auf.
Mit Hilfe des Projektors 7, der über einen Freiheitsgrad 10 in Nahtlängsrichtung 9 verfügt, wird ständig eine zyklische Variation des Soll-Vorlaufs in Nahtlängsrichtung 9 durchgeführt und aus den dabei gewonnenen Bilddaten mit Hilfe des Lichtschnittverfahrens die Topologie des Werkstücks ermittelt. Die Abweichung 14 kann mittels der Topologiedaten dadurch kompensiert werden, dass die ursprüngliche (keine Kompensation des durch die Höhenänderung verursachten Fehlers) Messlinie 8a derart um einen Korrekturwinkel α gekippt wird (Kippen des Projektors 7 oder einer aktiven Ablenkungseinheit 3), dass der ursprüngliche, geometrisch verschobene Arbeitsvorlauf 13a auf den dem Sollwert entsprechenden Arbeitsvorlauf 13b geschwenkt wird (Messlinie 8b).
So wird sichergestellt, dass einerseits der Arbeitsvorlauf zur Auftreffposition 6 des Bearbeitungslasers 1 bezüglich Nachführstabilität und Genauigkeit einem Optimum entspricht und andererseits die von der Scanner-Optik ermittelten Korrekturwerte an der vorgesehenen Position angewandt werden.
Bezugszeichenliste

1: Bearbeitungslaser
2: Scanner-Optik
3: Ablenkungseinheit
4: Laserbearbeitungsstrahl
5: Werkstück
6: Auftreffposition
7: Projektor
8: Messlicht/Messlinie
8a: ursprüngliche Messlinie
8b: korrigierte Messlinie
9: Nahtlängsrichtung
10: Projektor-Freiheitsgrade in Nahtlängsrichtung
11: Werkstückoberfläche
12: Erhebung
13a: realer Arbeitsvorlaufs
13b: Sollwert des Arbeitsvorlaufs
14: Abweichung des Arbeitsvorlaufs
α: Korrekturwinkel

Claims

Verfahren zur Steuerung einer Vorrichtung zum Schweißen mittels eines von einem Laser (1) emittierten Laserstrahls (4), wobei die Vorrichtung eine durch eine Führungsmaschine relativ zu einem zu bearbeitenden Werkstück (5) bewegte Scanner-Optik (2), die nach dem Prinzip des pre-objektive-scanning oder des post-objective-scanning arbeitet und deren Strahlengang mittels einer oder mehrerer aktiver und/oder passiver Ablenkungseinheiten (3) geführt ist, einen mit der Scanner-Optik (2) mitbewegten Projektor (7), der dazu dient, Messlicht (8) in Form von Messstrukturen auf das zu bearbeitende Werkstück (5) zu projizieren, und einen mit der Scanner-Optik (2) mitbewegten Bildsensor, der sensitiv im Wellenlängenbereich des vom Projektor (7) abgestrahlten Messlichts (8) ist, umfasst, wobei der Projektor (7) außerhalb des Strahlengangs der Scanner-Optik (2) angeordnet und seine optische Achse gegenüber der optischen Achse des Lasers (1) gekippt ist, und das vom Projektor (7) ausgestrahlte Messlicht (8) aus mindestens einer Linie besteht, die quer zu einer Längsrichtung (9) einer auf dem zu bearbeitenden Werkstück (5) zu erzeugenden Schweißnaht verläuft, dadurch gekennzeichnet, dass während der Erzeugung der Schweißnaht ein Vorgabewert eines Vorlaufs des Messlichts (8) in Nahtlängsrichtung (9) bezüglich einer Auftreffposition (6) des Laserstrahls (4) verändert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Änderung des Vorgabewerts des Vorlaufs ein Kippwinkel des Projektors (7) verändert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorgabewert des Vorlaufs mittels der Scanner-Optik (2) verändert wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass, um den realen Arbeitsvorlauf (13a) auch bei Höhenschwankungen zwischen Scanner-Optik (2) und Bauteil (5) längs der zu erzeugenden Schweißnaht konstant zu halten, – während der Erzeugung der Schweißnaht mit dem Bildsensor Signale vom Messlicht (8) aufgenommen werden, – aus den Bildsignalen mittels eines Triangulationsverfahrens die Topologie des zu bearbeitenden Werkstücks (5) in der Umgebung der zu erzeugenden Schweißnaht ermittelt wird – und mithilfe der Topologiedaten die Vorgabewerte für den Arbeitsvorlauf derart angepasst werden, dass im Verlauf der Schweißnaht die durch Höhenschwankungen verursachten Abweichungen (14) des realen Arbeitsvorlaufs (13a) vom Sollwert des Arbeitsvorlaufs (13b) kompensiert werden.
Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass als Triangulationsverfahren ein Lichtschnittverfahren eingesetzt wird.
Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorgabewert des Vorlaufs mittels des Projektors (7), beginnend mit dem Vorgabewert des Arbeitsvorlaufs zyklisch hin zu größeren Vorgabewerten variiert wird und die Bildsignale während jeder dieser Variationen vom Bildsensor aufgenommen werden.
Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Variation der Vorgabewerte des Vorlaufs ausschließlich innerhalb des Bildbereichs des Bildsensors erfolgt.
Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass, um größere Vorgabewerte des Vorlaufs als die im Bildbereich des Bildsensors liegenden Vorgabewerte zu ermöglichen, während der Variation der Vorgabewerte des Vorlaufs der Bildbereich des Bildsensors mittels der Scanner-Optik (2) dem Messlicht (8) nachgeführt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es die Schritte – Aufnehmen einer Anzahl von Einzelbildern pro Zeiteinheit mit dem Bildsensor, wobei die Anzahl der Einzelbilder mindestens doppelt so groß ist, wie die Anzahl, die zur Nahtführung erforderlich ist, – Ermitteln des Signal-/Rauschverhältnisses jedes Einzelbilds, – Einteilung der Einzelbilder in Gutbilder, wenn das Signal-/Rauschverhältnis einen festgelegten Wert überschreitet, und in Schlechtbilder, sofern der festgelegte Wert unterschritten wird, – Ermitteln eines Fehlerquotienten aus Schlechtbildern und Gutbildern, – Erhöhung des Vorgabewerts des Vorlaufs, wenn der Fehlerquotient der Einzelbilder einen bestimmten Wert überschreitet und Verringerung des Vorgabewerts des Vorlaufs, sobald der Fehlerquotient einen bestimmten Wert unterschreitet, umfasst.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Arbeitsgeschwindigkeit des Laserstrahls (4) temporär dadurch erhöht wird, dass zur Bewegung des Laserstrahls (4) durch die Führungsmaschine eine Bewegung des Laserstrahls (4) durch die Scanner-Optik (2) hinzugefügt wird.