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Hintergrund
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Hier wird eine optische Untersuchungseinrichtung für ein Bauteil beschrieben sowie ein optisches Untersuchungsverfahren für ein Bauteil. Die Untersuchungseinrichtung hat einen ersten und einen zweiten Untersuchungsbereich.
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Ein Bauteil ist hier zum Beispiel ein (elektronisches) Halbleiterbauteil, auch als ”chip” oder ”die” bezeichnet. Ein solches Bauteil hat einen im wesentlichen polygonalen, zum Beispiel viereckigen (rechteckförmigen oder quadratischen) Querschnitt mit mehreren Mantelflächen sowie eine Stirnfläche und eine Deckfläche. Die Mantelflächen sowie die beiden (untere und obere) Deckflächen des Bauteils sind nachfolgend allgemein als Seitenflächen bezeichnet. Das Bauteil kann auch eine von vier abweichende Anzahl von Mantelflächen haben.
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In so genannten Aufnehm- und Absetzvorrichtungen (pick und place) werden die Bauteile von einem Festhalter aufgenommen und anschließend auf einem Träger oder in einem Transportbehälter oder dergl. abgelegt. Vor dem Ablegen des Bauteils findet üblicherweise eine Inspektion des Bauteils statt. Dazu werden Abbildungen einer oder mehrerer Seitenflächen eines Bauteils mit einer Kamera aufgenommen, um eine Abbildung von Seitenflächen des Bauteils zu Überprüfungszwecken zu erzeugen.
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Derartige Festhalter halten ein Bauteil während des Transports und während der Erfassung eines Bildes von einer, zum Beispiel der unteren, Deckfläche des Bauteiles fest. So zeigt die
DE 10 2008 018 586 A1 eine optische Erfassungsvorrichtung für die Erfassung von einer Oberfläche eines Bauteils, das von einer ersten zu einer zweiten Arbeitsstation transportiert wird, eine auf mindestens eine erste Oberfläche des Bauteils gerichtete Kamera, eine Lichtquelle, die kurzwellige Lichtstrahlen zur ersten Oberfläche sendet. Eine zweite Lichtquelle sendet langwellige Lichtstrahlen zu mindestens einer zweiten Oberfläche des Bauteils. Die Kamera empfängt die an den Oberflächen reflektierten ersten und zweiten Lichtstrahlen. Die zweite(n) Oberfläche(n) sind gegenüber der/den ersten Oberfläche(n) unterschiedlich orientiert, wie es bei beispielsweise quaderförmigen Bauteilen mit einer Unterseite und insgesamt vier seitlichen Oberflächen der Fall ist.
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Aus der
WO 95/21376 A1 ist eine Vorrichtung zum Abbilden eines dreidimensionalen Objekts bekannt. Hier wird ein zu prüfendes Bauteil mittels einer Transporteinrichtung durch einen Bilderfassungsbereich geführt. Eine bildgebende Vorrichtung hat zwei Kameras, die dazu eingerichtet sind auf eine Seitenfläche bzw. vier Seitenansichten des dreidimensionalen Objekts zu erfassen. Für die Erfassung der mehreren Seitenflächen sind geeignet angeordnete Umlenkspiegel vorgesehen. Die Belichtungszeiten der beiden Kameras überlappen bei dieser Anordnung annähernd. Hierdurch wird die Gleichzeitigkeit der verschiedenen Einzelabbildungen in beiden Kameras sichergestellt. Nach der erfolgten Abbildung werden die Bilddaten in eine Bildverarbeitungseinrichtung ausgelesen. Die beiden Kameras werden durch ein gemeinsames Blitzlicht 56 belichtet. Mithin wird hier die Unterseite des Objekts durch die eine Kamera erfasst und gleichzeitig die Untersuchung der Seitenflächen mit der zweiten Kamera ausgeführt. Ein Zeitversatz, der auch zu einem Ortsversatz des zu untersuchenden Objektes führen würde, ist durch die gemeinsame Blitzbelichtung ausgeschlossen. Mehrere nacheinander herzustellende Einzelabbildungen werden als nachteilig angesehen, da zwischen Einzelabbildungen die Bauteile bewegt werden und Vibrationen und Schwingungen der Anlage sowie der gesamten Umgebung signifikant als Messfehler in das Messergebnis eingehen können.
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Aus der
DE 199 43 619 A1 ist eine Inspektionsvorrichtung für Bauteile bekannt, bei der ein zu prüfendes Bauteil an einer saugenden Tragvorrichtung festgehalten und von einer Videokamera inspiziert wird. Das Werkstück wird dabei von zwei unterschiedlichen Seiten durch unterschiedliche Strahlenwege von derselben Videokamera aufgenommen, in der zwei Bilder desselben Gegenstandes in unterschiedlichen Ansichten wiedergegeben und zur Bearbeitung ausgegeben werden. Dabei ist die Anordnung so gewählt, dass die Strahlenwege beider Bilder parallel zueinander auf die Videokamera stoßen und eine Strahlzusammenlegungsvorrichtung vorgesehen ist, die die Bilder zweier beabstandeter Bauteile gleichzeitig der Videokamera zuleitet.
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Aufgabe
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Eine optische Untersuchungseinrichtung für ein Bauteil soll unterschiedlich orientierte Seitenflächen eines Bauteiles schnell erfassen können, sowie an unterschiedliche Anforderungen einfach anzupassen sein.
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Lösung
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Diese Aufgabe löst eine optische Untersuchungseinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
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Während vorstehend ein erster und ein zweiter Untersuchungsbereich definiert sind, soll damit kein zeitlicher Ablauf oder eine Reihenfolge (zuerst eine Bilderfassung im ersten und dann eine Bilderfassung im zweitem Untersuchungsbereich) festgelegt sein. Vielmehr sind auch Fälle denkbar, in denen die umgekehrte Reihenfolge günstiger ist.
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Die im ersten Untersuchungsbereich erfasste(n) Seitenfläche(n) eines Bauteils können von den im zweiten Untersuchungsbereich erfassten mehreren der Seitenflächen des Bauteils abweichen.
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Ein Aspekt dieser optischen Untersuchungseinrichtung sieht vor, dass der Bauteilförderer mit einem Bauteil den Bauteilpfad vom ersten Untersuchungsbereich zum zweiten Untersuchungsbereich ohne Stillstand absolviert. Dabei werden während der Bewegung zuerst im ersten Untersuchungsbereich eine oder mehrere Seitenflächen eines Bauteils erfasst und dann im zweiten Untersuchungsbereich mehrere der Seitenflächen des Bauteils durch die bildgebende Vorrichtung optisch erfasst und anschließend mit Methoden der Bildverarbeitung ausgewertet.
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Die Bilderfassungseinrichtung hat eine Kamera, um ein Bild eines Bauteils am ersten Untersuchungsbereich getrennt von einem Bild eines Bauteils am zweiten Untersuchungsbereich zu erfassen. Nur einer Kamera ist gegenüber mehreren Kameras (zum Beispiel zwei) dann der Vorzug zu geben, wenn räumlich beengte Verhältnisse vorliegen und/oder Kosten eine Rolle spielen.
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Die Bilderfassungseinrichtung der optischen Untersuchungseinrichtung ist auch dazu eingerichtet, entlang eines ersten Lichtpfades auf eine Seitenfläche eines Bauteils am ersten Untersuchungsbereich gerichtet zu werden. Die Bildeinkoppeleinrichtung ist dazu eingerichtet, in den ersten Lichtpfad, auf die Bilderfassungseinrichtung hin gerichtet, ein Bild mehrerer der Seitenflächen eines Bauteils vom zweiten Untersuchungsbereich einzukoppeln. Dies erlaubt, mit einer Kamera die Bilder beider Untersuchungsbereiche zu erfassen.
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Die Bilderfassungseinrichtung kann bei einer Variante der optischen Untersuchungseinrichtung auch eine erste Bildumlenkeinrichtung haben, die dazu eingerichtet ist, ein Bild mehrerer der Seitenflächen eines Bauteils zu der Bildeinkoppeleinrichtung zu lenken.
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Bei einer Variante dieser optischen Untersuchungseinrichtung ist die erste Bildumlenkeinrichtung zusammen mit dem Bauteilförderer entlang des Bauteilwegs beweglich. Der Bauteilförderer hat eine Halteeinrichtung, um ein Bauteil aufzunehmen und während des Förderns entlang des Bauteilwegs zu halten. Die erste Bildumlenkeinrichtung kann zwischen zwei Positionen in Bezug auf die Halteeinrichtung hin und her bewegbar sein. In einer ersten Position ist die erste Bildumlenkeinrichtung vom Bereich der Halteeinrichtung entfernt. In einer zweiten Position ist die erste Bildumlenkeinrichtung im Bereich der Halteeinrichtung um das Erfassen eines Bildes von Seitenflächen eines Bauteils zu ermöglichen. Da die erste Bildumlenkeinrichtung von der Halteeinrichtung weg bewegbar ist, wird das Aufnehmen und/oder das Absetzen eines Bauteils durch die erste Bildumlenkeinrichtung nicht beeinträchtigt.
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Die Bilderfassungseinrichtung kann im zweiten Untersuchungsbereich eine zweite Bildumlenkeinrichtung haben, die relativ zum Bauteilförderer ortsfest ist.
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Sowohl die erste als auch die zweite Bildumlenkeinrichtung kann dabei einen oder mehrere Spiegel, optische Prismen, Linsen oder dergl. haben.
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Die Bilderfassungseinrichtung kann im zweiten Untersuchungsbereich eine Bildfokussiereinrichtung haben, die ein Bild mehrerer der Seitenflächen eines Bauteils aus dem zweiten Untersuchungsbereich auf die Kamera oder die Bildeinkoppeleinrichtung hin fokussiert. Bei der Bildfokussiereinrichtung kann es sich um einen oder mehrere Spiegel, optische Prismen, Linsen oder dergl. handeln.
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Die optische Untersuchungseinrichtung kann mit ersten und zweiten Lichtquellenanordnungen an beiden Untersuchungsbereichen ausgestattet sein. Dabei kann die erste Lichtquellenanordnung dazu eingerichtet sein, Licht mit einem ersten Wellenlängenbereich zur Beleuchtung zumindest eines Abschnitts des Bauteils abzugeben. Die zweite Lichtquellenanordnung kann dazu eingerichtet sein, Licht mit einem zweiten Wellenlängenbereich zur Beleuchtung zumindest eines Abschnitts des Bauteils abzugeben.
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Der Wellenlängenbereich des Lichts der zweiten Lichtquellenanordnung kann vom Wellenlängenbereich des Lichts der ersten Lichtquellenanordnung zumindest teilweise abweichen. Der Wellenlängenbereich des Lichts der zweiten Lichtquellenanordnung kann aber auch mit dem Wellenlängenbereich des Lichts der ersten Lichtquellenanordnung übereinstimmen. So kann das Licht der ersten Lichtquellenanordnung rot, und das Licht der zweiten Lichtquellenanordnung kann blau sein. Es kann aber auch die umgekehrte Zuordnung oder eine andere Wellenlängenpaarung (zum Beispiel infrarotes und sichtbares Licht) gewählt sein.
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Ein Variante dieser optischen Untersuchungseinrichtung sieht vor, dass die beiden Lichtquellenanordnungen durch eine Steueranordnung in dem Moment jeweils kurz eingeschaltet werden, wenn sich der Bauteilförderer mit dem Bauteil im jeweiligen ersten oder zweiten Untersuchungsbereich befindet, so dass die Seitenflächen eines Bauteils mit einem kurzen Lichtblitz belichtet werden können.
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Der Bauteilförderer kann dazu eingerichtet sein, ein Bauteil mit einer Geschwindigkeit von etwa 0.1 m/s bis etwa 5 m/s entlang des Bauteilwegs zu fördern. Vorzugsweise kommt der Bauteilförderer mit einem Bauteil entlang des Bauteilwegs nicht zum Stillstand, sondern bewegt sich fortwährend. Lediglich in besonderen Fällen kann es sinnvoll sein, dass der Bauteilförderer an einer Stelle anhält, um beispielsweise zwei Aufnahmen der selben Seiten mit 2 verschiedenen Beleuchtungseigenschaften zu machen.
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Ein Verfahren zur optischen Untersuchung eines Bauteils in einem ersten und in einen zweiten Untersuchungsbereich hat die Schritte des Anspruchs 12.
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Dabei ist eine Bilderfassungseinrichtung der bildgebenden Vorrichtung auf eine Seitenfläche eines Bauteils am ersten Untersuchungsbereich gerichtet, und das Bild mehrerer der Seitenflächen eines Bauteils wird vom zweiten Untersuchungsbereich durch eine Bildeinkoppeleinrichtung in die Bilderfassungseinrichtung eingekoppelt.
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Die Bilderfassungseinrichtung erfasst ein Bild eines Bauteils am ersten Untersuchungsbereich getrennt von einem Bild eines Bauteils am zweiten Untersuchungsbereich mit einer Kamera.
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Die Bilderfassungseinrichtung ist entlang eines ersten Lichtpfades auf eine Seitenfläche eines Bauteils am ersten Untersuchungsbereich gerichtet, und die Bildeinkoppeleinrichtung koppelt in den ersten Lichtpfad, auf die Bilderfassungseinrichtung hin gerichtet, ein Bild mehrerer der Seitenflächen eines Bauteils vom zweiten Untersuchungsbereich ein.
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Mit einer ersten Bildumlenkeinrichtung kann ein Bild mehrerer der Seitenflächen eines Bauteils zu der Bildeinkoppeleinrichtung gelenkt werden.
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Die erste Bildumlenkeinrichtung kann zusammen mit dem Bauteilförderer entlang des Bauteilwegs bewegt werden.
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Eine Bildfokussiereinrichtung der Bilderfassungseinrichtung im zweiten Untersuchungsbereich kann ein Bild mehrerer der Seitenflächen eines Bauteils aus dem zweiten Untersuchungsbereich auf eine der Kameras oder die Kamera oder die Bildeinkoppeleinrichtung hin fokussieren.
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Licht mit einem ersten Wellenlängenbereich kann zur Beleuchtung zumindest eines Abschnitts des Bauteils im ersten Untersuchungsbereich abgegeben werden und Licht mit einem zweiten Wellenlängenbereich zur Beleuchtung zumindest eines Abschnitts des Bauteils kann im zweiten Untersuchungsbereich abgegeben werden. Dabei kann der Wellenlängenbereich des Lichts der zweiten Lichtquellenanordnung vom Wellenlängenbereich des Lichts der ersten Lichtquellenanordnung zumindest teilweise abweichen, oder der Wellenlängenbereich des Lichts der zweiten Lichtquellenanordnung kann mit dem Wellenlängenbereich des Lichts der ersten Lichtquellenanordnung übereinstimmen.
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Die Lichtquellenanordnung könnten zwischen der Kamera und der Bildeinkoppeleinrichtung, also zum Beispiel dem Spiegel liegen. Es ist auch möglich, die Lichtquellenanordnung direkt auf die abzubildenden Bereiche des Bauteils zu richten.
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Die beiden Lichtquellenanordnungen können durch eine Steueranordnung in dem Moment jeweils kurz eingeschaltet werden, wenn sich der Bauteilförderer mit dem Bauteil längs des Bauteilwegs bewegt und sich dabei im jeweiligen ersten oder zweiten Untersuchungsbereich befindet, so dass die Seitenflächen eines Bauteils mit einem kurzen Lichtblitz belichtet werden können.
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Der Bauteilförderer kann dabei ein Bauteil mit einer Geschwindigkeit von etwa 0.1 m/s bis etwa 5 m/s entlang des Bauteilwegs fördern. Obwohl angestrebt ist, den Bauteilförderer entlang des Bauteilwegs gar nicht anzuhalten, kann es im Einzelfall zu einer verbesserten Bildqualität führen. In einem solchen Fall kann es angezeigt und sinnvoll sein, den Bauteilförderer entlang des Bauteilwegs anzuhalten und die Bilder des Bauteils zu erfassen.
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Kurzbeschreibung der Figuren
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Weitere Merkmale, Eigenschaften, Vorteile und mögliche Abwandlungen werden für einen Fachmann anhand der nachstehenden Beschreibung deutlich, in der auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen ist. Dabei zeigen die Fig. schematisch eine optische Untersuchungseinrichtung für ein Bauteil, wobei die Untersuchungseinrichtung einen ersten und einen zweiten Untersuchungsbereich hat.
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1 zeigt schematisch einen Verfahrensschritt, mit dem in einem dem ersten Untersuchungsbereich vorgelagerten Bereich ein Bauteil von einem Substrat aufgenommen wird;
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2 zeigt schematisch einen Verfahrensschritt, bei dem von dem in der Halteeinrichtung gehaltenen Bauteil im ersten Untersuchungsbereich ein Bild wenigstens einer der Seitenflächen mit einer bildgebenden Vorrichtung optisch erfasst wird;
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2a zeigt ein reales Bild eines Bauteils, wie es im ersten Untersuchungsbereich erfasst wird;
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3 zeigt schematisch einen Verfahrensschritt, bei dem von dem in der Halteeinrichtung gehaltenen Bauteil im zweiten Untersuchungsbereich ein Bild mehrerer der Seitenflächen mit einer bildgebenden Vorrichtung optisch erfasst wird;
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3a zeigt ein reales Bild eines Bauteils, wie es im zweiten Untersuchungsbereich erfasst wird;
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3b zeigt eine schematische Draufsicht auf die Spiegel, mit denen im zweiten Untersuchungsbereich ein Bild mehrerer der Seitenflächen mit einer bildgebenden Vorrichtung optisch erfasst wird; und
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4 zeigt schematisch einen Verfahrensschritt, bei dem das in der Halteeinrichtung gehaltene Bauteil abgelegt wird.
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Detailbeschreibung der Figuren
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In 1 ist eine optische Untersuchungseinrichtung 10 für ein Bauteil 12 veranschaulicht. Diese optische Untersuchungseinrichtung 10 hat einen Bauteilförderer 14, der eine Halteeinrichtung 16 für das Bauteil 12 hat. In der hier veranschaulichten Variante ist die Halteeinrichtung 16 für das Bauteil 12 eine von einer Steuereinrichtung ECU gesteuerte Saugpipette. Der Bauteilförderer 14 ist dazu eingerichtet, an einer Aufnehmposition POS A mit der Saugpipette ein Bauteil 12 von einem Substrat 18 aufzunehmen, entlang eines Bauteilwegs 20 in einen ersten Untersuchungsbereich POS B, vom ersten Untersuchungsbereich POS B zu einem zweiten Untersuchungsbereich POS C, und weg vom zweiten Untersuchungsbereich POS C in einen Ablagebereich POS D zu fördern.
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Um das Bauteil 12 zur optischen Untersuchung in den ersten und zweiten Untersuchungsbereich zu bringen, wird es zuerst mit der Halteeinrichtung 16 des Bauteilförderers 14 aufgenommen und entlang des Bauteilwegs 20 zum ersten Untersuchungsbereich POS B gebracht.
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In 2 ist veranschaulicht, wie das Bauteil 12, während es entlang des Bauteilwegs 20 gefördert wird, im ersten Untersuchungsbereich POS B von einer bildgebenden Vorrichtung optisch erfasst wird. Genauer gesagt wird im ersten Untersuchungsbereich POS B ein Bild einer der Seitenflächen – hier der unteren Deckfläche 12a – des Bauteils 12 erfasst. Die bildgebende Vorrichtung 22 hat eine Bilderfassungseinrichtung 24 mit einer Kamera, um ein Bild des Bauteils 12 am ersten Untersuchungsbereich POS B getrennt von einem Bild des Bauteils 12 am zweiten Untersuchungsbereich POS C zu erfassen. Die Bilderfassungseinrichtung 24 ist entlang eines ersten Lichtpfades 26 auf die eine Seitenfläche 12a, d. h. die untere Deckfläche des Bauteils 12 am ersten Untersuchungsbereich POS B gerichtet.
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Die bildgebende Vorrichtung hat eine Bildeinkoppeleinrichtung 28, die hier in Form eines dichroitischen Spiegels ausgestaltet ist. Die Bildeinkoppeleinrichtung 28 ist eingerichtet, in den ersten Lichtpfad 26, auf die Bilderfassungseinrichtung 24 hin gerichtet ein Bild mehrerer der Seitenflächen – hier der Seitenflächen 12b, 12c, 12d, 12e des Bauteils 12 – vom zweiten Untersuchungsbereich POS C einzukoppeln. Dazu ist der dichroitische Spiegel schräg (hier unter einem Winkel von etwa 45°) relativ zum ersten Lichtpfad 26 geneigt.
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Der dichroitische Spiegel reflektiert nur einen Teil des Lichtspektrums und lässt den Rest des Lichtspektrums durch. Er trennt dabei das einfallende Licht nach der Wellenlänge. Der hier einzusetzende Spiegel kann dichroitisch sein; es sind aber auch andere Varianten möglich.
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Entscheidend ist, dass die Bildeinkoppeleinrichtung 28 nur einen Teil des Lichts durchlässt und einen Teil reflektiert. Ein dichroitischer Spiegel optimiert die Lichtausbeute um einen Faktor von etwa 2, was die Bilderfassung mit der Kamera vereinfacht.
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Das den ersten Untersuchungsbereich POS B entlang eines Bauteilwegs 20 passierende Bauteil 12 wird von einer ersten Lichtquellenanordnung 30 im ersten Untersuchungsbereich POS B beleuchtet. Die erste Lichtquellenanordnung 30 bestrahlt das Bauteil 12 mit einem Lichtspektrum, das der dichroitische Spiegel entlang des ersten Lichtpfades 26 zu der Bilderfassungseinrichtung 24 durchlässt. So kann die Bilderfassungseinrichtung 24 das Bild des Bauteils 12 aufnehmen, wie es in 2 schematisch veranschaulicht ist. In 2a ist ein reales Bild der Seitenfläche – der unteren Deckfläche 12a – des Bauteils 12 gezeigt, wie es im ersten Untersuchungsbereich POS B erfasst wird.
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Um das Bauteil 12 zur optischen Untersuchung von der ersten zur zweiten Untersuchungsbereich POS C zu bringen, wird es von der Halteeinrichtung 16 des Bauteilförderers 14 entlang des Bauteilwegs 20 zum zweiten Untersuchungsbereich POS C gebracht.
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In 3 ist veranschaulicht, wie das Bauteil 12, während es entlang des Bauteilwegs 20 gefördert wird, im zweiten Untersuchungsbereich POS B von der bildgebenden Vorrichtung optisch erfasst wird. Genauer gesagt wird im zweiten Untersuchungsbereich POS C ein Bild der Seitenflächen 12b, 12c, 12d, 12e des Bauteils 12 erfasst.
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Im zweiten Untersuchungsbereich POS C wird das Bild des Bauteils 12 am zweiten Untersuchungsbereich POS C getrennt von dem Bild des Bauteils 12 am ersten Untersuchungsbereich POS B erfasst.
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Dazu hat die Bilderfassungseinrichtung der optischen Untersuchungseinrichtung eine erste Bildumlenkeinrichtung 32, die zusammen mit dem Bauteilförderer 14 entlang des Bauteilwegs 20 beweglich ist. Die erste Bildumlenkeinrichtung 32 ist hier durch vier Spiegel 32a, 32b, 32c, 32d gebildet, welche die Halteeinrichtung 16 des Bauteilförderers 14 entlang deren Umfangs umgebend angeordnet sind. Dazu sind die vier Spiegel 32a, 32b, 32c, 32d der ersten Bildumlenkeinrichtung 32 schräg (hier unter einem Winkel von etwa 45°) zu den Seitenflächen 12b, 12c, 12d, 12e des Bauteils 12 geneigt (Siehe auch 3b). Die erste Bildumlenkeinrichtung 32 ist relativ zur Halteeinrichtung 16 des Bauteilförderers 14 zwischen einer ersten (in den Fig. oberen) und einer zweiten (in den Fig. unteren) Position verschiebbar. Dazu ist die erste Bildumlenkeinrichtung 32 über zwei Linearaktoren 34a, 34b in Längsrichtung mit dem Bauteilförderer 14 verbunden. In der ersten – zurückgezogenen – Position ist die erste Bildumlenkeinrichtung 32 von der Halteeinrichtung 16 des Bauteilförderers 14 soweit weg verschoben, dass ein Bauteil 12 in der Aufnehmposition POS A mit der Saugpipette ein Bauteil 12 von einem Substrat 18 ungehindert aufgenommen werden kann. In der zweiten – vorgeschobenen – Position ist die erste Bildumlenkeinrichtung 32 relativ zur Halteeinrichtung 16 des Bauteilförderers 14 soweit vorgeschoben, dass die (Mantel-)Seitenflächen 12b, 12c, 12d, 12e des von der Halteeinrichtung 16 gehaltenen Bauteils 12 von der ersten Bildumlenkeinrichtung 32 umgeben sind.
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Im zweiten Untersuchungsbereich POS C sind zweite Lichtquellenanordnungen 38 angeordnet, die die (Mantel-)Seitenflächen 12b, 12c, 12d, 12e des von der Halteeinrichtung 16 gehaltenen Bauteils 12 mit einem Lichtspektrum beleuchten, das der dichroitische Spiegel reflektiert. Im zweiten Untersuchungsbereich Pos C befindet sich weiterhin eine relativ zum Bauteilförderer 14 ortsfeste zweite Bildumlenkeinrichtung 36 in Form eines Spiegels. Diese zweite Bildumlenkeinrichtung 36 lenkt von der ersten Bildumlenkeinrichtung 32 kommendes Licht auf den dichroitischen Spiegel der Bildeinkoppeleinrichtung 28. Der dichroitische Spiegel reflektiert das Licht entlang des ersten Lichtpfades 26 zu der Bilderfassungseinrichtung 24 hin.
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Die Bilderfassungseinrichtung hat im zweiten Untersuchungsbereich POS C eine Bildfokussiereinrichtung in Form einer Linsenanordnung 40. Die Linsenanordnung 40 hat einen Stellantrieb 42 und fokussiert das von der zweiten Bildumlenkeinrichtung 34 kommende Bild mehrerer der Seitenflächen des Bauteils 12 aus dem zweiten Untersuchungsbereich POS C auf den dichroitischen Spiegel der Bildeinkoppeleinrichtung 28 bzw. die nachgeschaltete Bilderfassungseinrichtung 24 hin. Da die zweiten Lichtquellenanordnungen 38 so ausgerichtet sind, dass die (Mantel-)Seitenflächen 12b, 12c, 12d, 12e des von der Halteeinrichtung 16 gehaltenen Bauteils 12 beleuchtet sind, wird die untere Deckfläche 12a des Bauteils 12 im zweiten Untersuchungsbereich POS C praktisch nicht erfasst. Dies ist auch in der 3a zu sehen, die ein reales Bild der die (Mantel-)Seitenflächen 12b, 12c, 12d, 12e des von der Halteeinrichtung 16 gehaltenen Bauteils 12 zeigt, wie es im zweiten Untersuchungsbereich POS C erfasst wird.
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Die beiden Lichtquellenanordnungen werden durch eine Steueranordnung ECU in dem Moment jeweils kurz eingeschaltet, wenn sich der Bauteilförderer mit dem Bauteil 12 im jeweiligen ersten bzw. zweiten Untersuchungsbereich befindet. Dazu können nicht weiter veranschaulichte Positionssensoren an den beiden Untersuchungsbereichen befinden. Alternativ dazu kann die Steueranordnung ECU, die auch mit dem Antrieb des Bauteilförderers gekoppelt ist, dessen Antriebssignale auswerten um festzustellen, wenn sich der Bauteilförderer in den passenden Positionen in den beiden Untersuchungsbereich befindet, um die Seitenflächen eines Bauteils mit einem kurzen Lichtblitz zu belichten.
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Als Lichtspektrum stahlt in dieser Anordnung die erste Lichtquellenanordnung ein rotes Licht, und die zweite Lichtquellenanordnung ein blaues Licht aus. Mit einem
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Der Bauteilförderer 14 transportiert die Bauteile 12 zum Beispiel mit einer Geschwindigkeit von etwa 1,5–2 m/s (zum Beispiel etwa 1,75 m/s), ohne dabei von der POS A (nach dem Aufnehmen) bis zur POS D (vor dem Ablegen) anzuhalten. Durch die kompakte Gesamtanordnung können die ersten und zweiten Untersuchungsbereiche sehr dicht bei einander liegen (ca. 20 mm bis 50 mm, zum Beispiel 35 mm zwischen der Position der Aufnahme des ersten Bildes und der Position der Aufnahme des zweiten Bildes). Somit steuert die Steueranordnung ECU die zweite Lichtquellenanordnung etwa 20 ms nach der ersten Lichtquellenanordnung an. So erlaubt die vorliegende Anordnung eine optimales Auslegen des Sehfeldes für die jeweilige Gegebenheiten der Bilderfassung. Dazu kann im ersten Untersuchungsbereich die in der Regel kritischer zu beurteilende untere Seitenfläche des Bauteils größer dargestellt werden als die im zweiten Untersuchungsbereich zu erfassenden (Mantel-)Seitenflächen. Insgesamt ist im ersten Untersuchungsbereich POS B die Bilderfassung optimal an die untere Seitenfläche des Bauteils angepasst und im zweiten Untersuchungsbereich POS C die Bilderfassung optimal an die (Mantel-)Seitenflächen des Bauteils angepasst. Da der Bauteilförderer 14 die Bauteile 12 entlang des Bauteilpfades 20 ohne anzuhalten transportieren kann, während die Bilderfassung in den beiden Untersuchungsbereichen stattfindet, kann der Durchsatz gegenüber herkömmlichen Anordnungen erheblich gesteigert werden.
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In 4 ist veranschaulicht, wie das Bauteil 12 am Ende des Bauteilwegs 20 im Ablagebereich POS D in einem sog. Indexer abgelegt wird. Dazu wird, während des Transports zu dem Ablagebereich POS D die erste Bildumlenkeinrichtung 32 von der Halteeinrichtung 16 des Bauteilförderers 14 soweit weg in die erste – zurückgezogene – Position verschoben, dass ein Bauteil 12 ungehindert von der Saugpipette in den Indexer abgelegt werden kann.
