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Hintergrund der Erfindung
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Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Formmessvorrichtung,
ein Formmessverfahren und ein Formmessprogramm, wie etwa die so
genannte Rundheitsmessmaschine, die Ausladungen synchron zum Drehwinkel
eines Zielobjekts misst, das sich relativ mit einer bestimmten Drehachse
als Zentrum dreht.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Beim
Messen eines Zielobjekts, das eine nichtsphärische Form
aufweist, wie etwa einer asphärischen Linse, umfasst ein
bekanntes Verfahren das Verschieben einer Kontaktmesssonde entlang der
X-Achse und der Y-Achse, die einander in einem rechten Winkel schneiden,
um mit der Sonde der Oberfläche des Zielobjekts zu folgen
und sie zu messen (siehe
JP
7-120239A ,
JP
2002-357415A ). Es ist auch ein Verfahren mit Verwendung
einer optischen Sonde bekannt (siehe
JP 4-340406A ,
JP 7-4929A ).
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Unter
diesen ist es mit dem Verfahren, welches das Verschieben der Kontaktmesssonde
entlang der X-Achse und der Y-Achse umfasst, schwierig, genaue Messdaten
als ebene Daten zu erlangen, wenn eine davon geringe Geradheitsgenauigkeit
aufweist, und es führt zu ungenügender Genauigkeit beim
Ermitteln von Messgrößen wie etwa der Koaxialität
und dem Schlag, die einem Rotationskörper, wie etwa einem
nichtsphärischen Körper, als Problem anhaften.
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Das
Verfahren mit Verwendung der optischen Sonde erfordert eine Laserlicht
aussendende Vorrichtung und führt zu dem Problem, dass
es die Vorrichtung groß und teuer macht.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung sieht eine Formmessvorrichtung zum Drehen
eines aus einem Rotationskörper bestehenden Zielobjekts
(4) mit einer bestimmten Drehachse als Zentrum und zum
Messen einer Ausladung einer Oberfläche des Zielobjekts
(4) bei jedem Drehwinkel vor, wobei die Vorrichtung umfasst:
ein erstes Mittel (41), das in der Lage ist, eine Vorabmessung
der Ausladung der Oberfläche des Zielobjekts (4)
bei jedem Drehwinkel zu steuern; ein zweites Mittel (41),
das in der Lage ist, einen durch die Vorabmessung erfassten Messwert
als Angabe über die Oberflächenstruktur des Zielobjekts
(4) mit einem zuvor gespeicherten Auslegungswert des Zielobjekts
(4) zu vergleichen, um den Abweichungsbetrag des Messwerts
von dem Auslegungswert zu berechnen; ein drittes Mittel (41),
das in der Lage ist, eine Position des Zielobjekts (4)
auf Grundlage des berechneten Abweichungsbetrags zu justieren; und ein
viertes Mittel (41), das in der Lage ist, das in der Position
justierte Zielobjekt (4) mit der Drehachse als Zentrum
zu drehen und für eine Hauptmessung der Ausladung der Oberfläche
des Zielobjekts (4) bei jedem Drehwinkel zu steuern.
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Die
vorliegende Erfindung sieht ein Formmessverfahren zum Drehen eines
aus einem Rotationskörper bestehenden Zielobjekts (4)
mit einer bestimmten Drehachse als Zentrum und zum Messen einer
Ausladung einer Oberfläche des Zielobjekts (4) bei
jedem Drehwinkel vor, wobei das Verfahren umfasst: Ausführen
einer Vorabmessung der Ausladung der Oberfläche des Zielobjekts
(4) bei jedem Drehwinkel; Vergleichen eines durch die Vorabmessung erfassten
Messwerts als Angabe über die Oberflächenstruktur
des Zielobjekts (4) mit einem zuvor gespeicherten Auslegungswert
des Zielobjekts (4), um den Abweichungsbetrag des Messwerts
von dem Auslegungswert zu berechnen; Justieren einer Position des
Zielobjekts (4) auf Grundlage des berechneten Abweichungsbetrags;
und Drehen des in der Position justierten Zielobjekts (4)
mit der Drehachse als Zentrum und Ausführen einer Hauptmessung
der Ausladung der Oberfläche des Zielobjekts (4)
bei jedem Drehwinkel.
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Die
vorliegende Erfindung sieht ein Formmessprogramm zum Drehen eines
aus einem Rotationskörper bestehenden Zielobjekts (4)
mit einer bestimmten Drehachse als Zentrum und zum Messen einer
Ausladung einer Oberfläche des Zielobjekts (4) bei
jedem Drehwinkel vor, wobei das Programm computerausführbar
umfasst: Ausführen einer Vorabmessung der Ausladung der
Oberfläche des Zielobjekts (4) bei jedem Drehwinkel;
Vergleichen eines durch die Vorabmessung erfassten Messwerts als Angabe über
die Oberflächenstruktur des Zielobjekts (4) mit
einem zuvor gespeicherten Auslegungswert des Zielobjekts (4),
um einen Abweichungsbetrag des Messwerts von dem Auslegungswert
zu berechnen; Justieren einer Position des Zielobjekts (4)
auf Grundlage des berechneten Abweichungsbetrags; und Drehen des
in der Position justierten Zielobjekts (4) mit der Drehachse
als Zentrum und Ausführen einer Hauptmessung der Ausladung
der Oberfläche des Zielobjekts (4) bei jedem Drehwinkel.
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Kurze Beschreibung der Zeichnung
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1 ist
eine äußere perspektivische Ansicht, die eine
knappe Anordnung einer Formmessvorrichtung gemäß einem
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
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2 ist
ein Blockdiagramm, das eine Anordnung eines Hauptteils 31 des
Arithmetikprozessors in der Formmessvorrichtung gemäß dem
Ausführungsbeispiel zeigt.
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3 ist
ein Flussdiagramm, das den Betrieb der Formmessvorrichtung gemäß dem
Ausführungsbeispiel zeigt.
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4 ist
eine Skizze zur Darstellung des Betriebs beim Schritt S112.
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5 ist
eine Skizze, welche die Pseudo-Messpunkte Pi zeigt.
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6 ist
eine Skizze zur Darstellung des Betriebs beim Schritt S113.
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7 ist
eine Skizze, die eine Verteilung von Pseudo-Messpunkten Pi zeigt,
die nach dem Schritt S11 (Schritt S114) erhalten wurden.
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8 ist
eine Skizze zur Darstellung der Methode der kleinsten Quadrate.
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Genaue Beschreibung der Ausführungsformen
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Die
Ausführungsform gemäß der vorliegenden
Erfindung wird nun als Nächstes mit Bezug auf die Zeichnung
beschrieben.
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[Anordnung einer Formmessvorrichtung gemäß einer Ausführungsform]
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Zuerst
wird auf 1 Bezug genommen, um eine Anordnung
einer Formmessvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel
zu beschreiben. 1 ist eine äußere
perspektivische Ansicht, die eine knappe Anordnung der Formmessvorrichtung
(Rundheitsmessvorrichtung) gemäß dem Ausführungsbeispiel zeigt.
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Die
Formmessvorrichtung dreht ein aus einem Rotationskörper
(zum Beispiel einer asphärischen Linse) bestehendes Zielobjekt 4 mit
einer bestimmten Drehachse als Zentrum und misst eine Ausladung
einer Oberfläche des Zielobjekts 4 bei jedem Drehwinkel.
Die Formmessvorrichtung umfasst eine Messmaschine 1 und
einen Arithmetikprozessor 2, der über eine Antriebssteuerung 1a mit
der Messmaschine 1 verbunden ist, wie in 1 gezeigt.
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Die
Messmaschine 1 enthält eine Basis 3,
einen auf der Basis 3 vorgesehenen Tisch 5, um
ein darauf montiertes halbkugelförmiges Zielobjekt 4 zu tragen
und zu drehen, einen Ausladungsdetektor 6, der in der Lage
ist, Ausladungen des auf dem Tisch 5 montierten Zielobjekts 4 zu
erfassen, und eine Bedienungseinheit 7 zum Bedienen dieser
Teile.
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Der
Tisch 5 treibt über einen darunter angeordneten
Drehantrieb 12 die Drehung einer scheibenförmigen
Halterung 11 an, um das auf der Halterung 11 montierte
Zielobjekt 4 zu drehen. Einstellknöpfe 13 sind
an der Seite des Drehantriebs 12 in der Umfangsrichtung
in Abständen von fast 90° angeordnet. Diese Einstellknöpfe 13 können
betätigt werden, um Zentrieren und Ausrichten der Halterung 11 durch
manuelle Bedienung auszuführen. Die Halterung 11 ist
nämlich in Richtung der X-Achse, der Y-Achse und der Z-Achse
einstellbar angeordnet. Zusätzlich ist die Halterung 11 so
gestaltet, dass ihre Zentrierung und Ausrichtung durch die später
beschriebene Steuereinheit 41 ausgeführt wird.
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Der
Ausladungsdetektor 6 ist wie folgt gestaltet. Eine sich
nach oben erstreckende Säule 21 ragt aus der Basis 3,
und ein Läufer 22 ist so an der Säule 21 montiert,
dass er sich nach oben/unten bewegen kann. Ein Taster 23 ist
am Läufer 22 montiert. Der Taster 23 ist
in der horizontalen (X-Achse, Y-Achse) und der vertikalen (Z-Achse)
Richtung antreibbar angeordnet, und seine Spitze ist mit einer Sonde 24 versehen.
Die Säule 21, der Läufer 22 und
der Taster 23 bilden eine Sonden-Antriebseinrichtung.
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Verschieben
des Läufers 22 und des Tasters 23 zum
Abtasten (Nachzeichnen) der Oberfläche des Zielobjekts 4 mit
der Sonde 24 ermöglicht es, die Höhe
Z der Oberfläche an jeder Position in Richtung der X-Achse
als Messdaten zu erhalten (Pseudo-Messpunkt Pi).
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Der
Arithmetikprozessor 2 erfasst die am Ausladungsdetektor 6 erhaltenen
Pseudo-Messpunkte Pi. Der Arithmetikprozessor 2 enthält
einen Hauptteil 31 des Arithmetikprozessors, Bedienungseinheiten 32 und
einen Anzeigebildschirm 33. Der Arithmetikprozessor 2 ist
so gestaltet, dass er wie die Bedienungseinheit 7 den Betrieb
der Messmaschine 1 steuern kann.
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Als
Nächstes wird Bezug auf 2 genommen,
um eine Anordnung des Hauptteils 31 des Arithmetikprozessors
zu beschreiben. 2 ist ein Blockdiagramm, das
die Anordnung des Hauptteils 31 des Arithmetikprozessors
gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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Wie
in 2 gezeigt, enthält der Hauptteil 31 des
Arithmetikprozessors hauptsächlich eine Steuereinheit (CPU:
Central Processing Unit, zentrale Verarbeitungseinheit) 41,
ein RAM (Random Access Memory, Arbeitsspeicher) 42, ein
ROM (Read Only Memory, Festwertspeicher) 43, ein HDD (Hard
Disk Drive, Festplattenlaufwerk) 44 und eine Anzeigesteuerung 45.
Der Hauptteil 31 des Arithmetikprozessors empfängt über
eine Schnittstelle 46a Codeinformationen und Positionsinformationen,
die von den Bedienungseinheiten 32 zugeführt werden.
Die Steuereinheit 41 führt verschiedene Verarbeitungen
gemäß im ROM 42 gespeicherten Makroprogrammen
sowie verschiedenen im RAM 42 von der Festplatte 44 über eine
Schnittstelle 46b gespeicherten Programmen aus.
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Die
Steuereinheit 41 steuert die Messmaschine 1 über
eine Schnittstelle 46c gemäß einer Messungsausführungs-Verarbeitung.
Die Festplatte 44 ist ein Speichermedium, in dem verschiedene Steuerprogramme
gespeichert sind. Das RAM 42 speichert verschiedene Programme
und sieht Arbeitsbereiche für verschiedene Verarbeitungen
vor. Die Steuereinheit 41 zeigt über die Anzeigesteuerung 45 Messergebnisse
und so weiter auf dem Anzeigebildschirm 33 an.
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Die
Steuereinheit 41 liest verschiedene Programme aus der Festplatte 44 aus
und führt die Programme aus, um später beschriebenen,
in 3 gezeigten Betrieb auszuführen. Die
Steuereinheit 41 steuert eine Vorabmessung der Ausladung
der Oberfläche des Zielobjekts 4 bei jedem Drehwinkel.
Die Steuereinheit 41 vergleicht einen durch die Vorabmessung
erfassten Messwert als Angabe über die Oberflächenstruktur
des Zielobjekts 4 mit einem zuvor gespeicherten Auslegungswert
des Zielobjekts 4, um den Abweichungsbetrag des Messwerts
von dem Auslegungswert zu berechnen. Die Steuereinheit 41 justiert
eine Position des Zielobjekts 4 auf Grundlage des berechneten
Abweichungsbetrags. Die Steuereinheit 41 dreht das in der
Position justierte Zielobjekt 4 mit der Drehachse als Zentrum
und steuert eine Hauptmessung der Ausladung der Oberfläche
des Zielobjekts 4 bei jedem Drehwinkel.
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[Betrieb einer Formmessvorrichtung gemäß einer Ausführungsform]
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Mit
Bezug auf 3 wird eine Beschreibung über
den Betrieb der Formmessvorrichtung gemäß dem
Ausführungsbeispiel gegeben. 3 ist ein Flussdiagramm,
das den Betrieb der Formmessvorrichtung gemäß dem
Ausführungsbeispiel zeigt.
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Zuerst
misst die Steuereinheit 41 die Ausladung der Oberfläche
des Zielobjekts 4 bei jedem Drehwinkel als Vorabmessung
(Schritt S11).
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Zum
Schritt S11 wird eine genauere Beschreibung gegeben. Im Schritt
S11 verschiebt die Steuereinheit 41 die Sonde 24 zu
einer Startposition Ps in der Richtung der X-Achse (Schritt S111).
Als Nächstes dreht die Steuereinheit 41 den Tisch 5 um 360° mit
der Z-Achse als Zentrum, wie in 4 gezeigt,
und verschiebt die Sonde 24 zum Abtasten, um Pseudo-Messpunkte
Pi zu erfassen (Schritt S112). Der Pseudo-Messpunkt Pi ist ein Punkt,
der eine bestimmte Position der Sonde 24 angibt, wenn sie
das Zielobjekt 4 berührt. Ein Segment, das mehrere Pseudo-Messpunkte
Pi verbindet, befindet sich in einem bestimmten Abstand von der
Arbeitsebene S0. Anschließend verschiebt die Steuereinheit 41 die Sonde 24 um
einen bestimmten Abstand L in der Richtung der X-Achse (Schritt
S113). Als Nächstes entscheidet die Steuereinheit 41,
ob sich die Sonde 24 an einer Endposition Pe in der Richtung
der X-Achse befindet (Schritt S114). Wenn die Steuereinheit 41 entscheidet,
dass sich die Sonde 24 nicht an der Endposition Pe in der
Richtung der X-Achse befindet (Schritt S114, N), führt
sie die Verarbeitung erneut aus, beginnend mit Schritt S112. Wenn
die Steuereinheit 41 andererseits entscheidet, dass sich
die Sonde 24 an der Endposition Pe in der Richtung der X-Achse
befindet (Schritt S114, J), dann geht sie zur Verarbeitung beim
Schritt S12.
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Beim
Schritt S12 vergleicht die Steuereinheit 41 einen durch
die Vorabmessung erfassten Messwert als Angabe über die
Oberflächenstruktur des Zielobjekts 4 mit einem
zuvor gespeicherten Auslegungswert des Zielobjekts 4, um
den Abweichungsbetrag des Messwerts von dem Auslegungswert zu berechnen
(Schritt S12). Genauer, die Steuereinheit 41 wendet die
Methode der kleinsten Quadrate (beste Anpassung) an, um die Pseudo-Messpunkte
Pi (Messwerte) mit einer Auslegungsebene f(a, x) (f(a, x) = 0) (Auslegungswert)
zu vergleichen, welche die Oberfläche des Zielobjekts 4 definiert,
und schätzt auf Grundlage des Vergleichs einen Anordnungszustand
(das Ausmaß an Abweichung) des Zielobjekts 4 ab.
Der Anordnungszustand des Zielobjekts 4 enthält
die Richtung der Mittelachse der Ausrichtung des Zielobjekts 4.
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Wenn
zum Beispiel die Mitte des Zielobjekts 4 in der Richtung
der Z-Achse zur Mitte der Drehachse (Z-Achse) des Tischs 5 ausgerichtet
ist, verteilen sich die im Schritt S12 benutzten Pseudo-Messpunkte
Pi in einer solchen Weise, dass sie mehrere konzentrische Kreise
entlang Messpfaden beschreiben, wie in 7 gezeigt.
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Als
Nächstes justiert die Steuereinheit 41 die Position
des Zielobjekts 4 auf Grundlage des berechneten Abweichungsbetrags
(Schritt S13). Genauer gesagt, die Steuereinheit 41 justiert
die Halterung 11, um die Position des Zielobjekts 4 auf
Grundlage des geschätzten Anordnungszustands des Zielobjekts 4 so
zu justieren, dass die Mittelachse des Zielobjekts 4 mit
der Drehachse der Halterung 11 übereinstimmt.
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Anschließend
dreht die Steuereinheit 41 das in der Position justierte
Zielobjekt 4 mit der Drehachse als Zentrum und misst als
Hauptmessung die Ausladung der Oberfläche des Zielobjekts 4 bei
jedem Drehwinkel (Schritt S14).
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Zum
Schritt S14 wird eine genauere Beschreibung gegeben. Im Schritt
S14 verschiebt die Steuereinheit 41 die Sonde 24 zu
einer Startposition Ps' in der Richtung der X-Achse (Schritt S141).
Als Nächstes dreht die Steuereinheit 41 den Tisch 5 um 360° mit
der Z-Achse als Zentrum und verschiebt die Sonde 24 zum
Abtasten, um Pseudo-Messpunkte Pi' zu erfassen (Schritt S142). Anschließend
verschiebt die Steuereinheit 41 die Sonde 24 um
einen bestimmten Abstand L in der Richtung der X-Achse (Schritt
S143). Als Nächstes entscheidet die Steuereinheit 41,
ob sich die Sonde 24 an einer Endposition Pe' in der Richtung
der X-Achse befindet (Schritt S144). Wenn die Steuereinheit 41 entscheidet,
dass sich die Sonde 24 nicht an der Endposition Pe' in
der Richtung der X-Achse befindet (Schritt S144, N), führt
sie die Verarbeitung erneut aus, beginnend mit Schritt S142. Wenn
die Steuereinheit 41 andererseits entscheidet, dass sich
die Sonde 24 an der Endposition Pe' in der Richtung der
X-Achse befindet (Schritt S114, J), beendet sie die Verarbeitung.
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Als
Nächstes wird Bezug auf 8 genommen,
um die Verarbeitung nach der Methode der kleinsten Quadrate zu beschreiben
(Schritt S105). Wie in 8 gezeigt, werden bei der Methode
der kleinsten Quadrate Pseudo-Messpunkte Pi (i = 1, 2, ..., n) und
eine Auslegungsebene f(a, x) benutzt. In der Auslegungsebene f(a,
x) bedeutet „a” einen Parameter, der die Auslegungsebene
ausdrückt, und in der Auslegungsebene f(a, x) bedeutet „x” eine
Koordinate, welche die Auslegungsebene festlegt.
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Die
Methode der kleinsten Quadrate wird benutzt, um den Pseudo-Messpunkt
Pi einer starren Bewegung durch Translation T und Rotation R zu
unterwerfen, um eine Position zu suchen, die am besten an die Auslegungsebene
f(a, x) angepasst ist. Diese Position ist durch Translation T und
Rotation R gegeben. „Eine Position zu suchen, die am besten
angepasst ist” bedeutet mathematisch Minimieren der Summe
der Quadrate des kürzesten Abstands zwischen dem Wert des
Pseudo-Messpunkts Pi nach der obigen starren Bewegung und der Auslegungsebene
f(a, x).
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In 8 ist
der starr durch Translation T und Rotation R bewegte Pseudo-Messpunkt
Pi als Punkt [xi] dargestellt. Der Punkt auf der Auslegungsebene, der
den minimalen Abstand zwischen dem Punkt xi und der Auslegungsebene
f(a, x) angibt, ist als ein Punkt [xi''] dargestellt. Der Pseudo-Messpunkt
Pi kann als die bestimmte Position der Sonde 24 erhalten
werden, wie oben beschrieben. Wenn ein Punkt [xi'] als ein wahrer Messpunkt
unter Berücksichtigung des Versatzes wegen der Form der
Sonde 24 angenommen wird, wird der nach der Methode der
kleinsten Quadrate zu minimierende Betrag zu [Σ|xi' – xi''|2]. So kann der Anordnungszustand des Zielobjekts 4 durch
Translation T und Rotation R abgeschätzt werden, die nach
der Methode der kleinsten Quadrate ermittelt werden.
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[Vorteile einer Formmessvorrichtung gemäß einer Ausführungsform]
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Die
folgende Beschreibung wird über Vorteile der Formmessvorrichtung
gemäß dem Ausführungsbeispiel gegeben.
In der Formmessvorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel
misst die Steuereinheit 41 vorab die Ausladung der Oberfläche
des Zielobjekts 4 bei jedem Drehwinkel und wendet den durch
die Vorabmessung erfassten Messwert und den zuvor gespeicherten
Auslegungswert des Zielobjekts 4 an, um den Abweichungsbetrag
des Messwerts von dem Auslegungswert zu berechnen. Bei der obigen
Anordnung kann die Formmessvorrichtung gemäß dem
Ausführungsbeispiel den Abweichungsbetrag des Zielobjekts 4 von
der Drehachse mit einer einfachen Anordnung genau herausfinden.
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Weiter
justiert die Steuereinheit 41 die Position des Zielobjekts 4 auf
Grundlage des berechneten Abweichungsbetrags und dreht das in der
Position justierte Zielobjekt 4 mit der Drehachse als Zentrum, um
als Hauptmessung die Ausladung der Oberfläche des Zielobjekts 4 bei
jedem Drehwinkel zu messen. Bei der obigen Anordnung kann die Formmessvorrichtung
gemäß dem Ausführungsbeispiel die Messgenauigkeit
schnell mit einer einfachen Anordnung gewährleisten.
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Mit
der obigen Garantie der Genauigkeit kann die Formmessvorrichtung
gemäß dem Ausführungsbeispiel verschiedene
geometrische Toleranzen messen. Zum Beispiel ist es möglich,
eine Beziehung (Koaxialität/Rechtwinkligkeit/Schlag/Flachheit) zwischen
der optischen Achse einer Linse (einer Oberflächenreferenz
der oberen Fläche) und dem Außenumfang der Linse
zu suchen. Zum Beispiel ist es möglich, eine Beziehung zwischen
der Achse der oberen Fläche einer Linse und der Achse ihrer
unteren Fläche zu suchen. Zum Beispiel ist es möglich, Zentrieren/Ausrichten
an der oberen Fläche der Linse vorzunehmen, um die Achse
ihrer unteren Fläche auszuwerten.
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Die
Formmessvorrichtung gemäß dem Ausführungsbeispiel
benutzt keine dreidimensionale Messmaschine, die zum Ausführen
der Messung die XYZ-Achsen verschiebt, sondern eine Rundheitsmessmaschine,
deren Drehungsgenauigkeit der θ-Achse (das Verhalten der
Tischfläche bei vertikaler/seitlicher Bewegung) gewährleistet
ist. Demgemäß ist es möglich, die dem
oben beschriebenen Rotationskörper eigene Messung genau
auszuführen.
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[Andere Ausführungsformen]
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Die
mit der Formmessvorrichtung verbundene Ausführungsform
wurde oben beschrieben, obwohl die vorliegende Erfindung nicht auf
das obige Ausführungsbeispiel beschränkt ist,
sondern mit verschiedenen Änderungen, Zusätzen,
Ersetzungen und so weiter versehen werden kann, ohne vom Umfang
und Erfindungsgedanken der Erfindung abzuweichen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 7-120239
A [0002]
- - JP 2002-357415 A [0002]
- - JP 4-340406 A [0002]
- - JP 7-4929 A [0002]