DE102009018871A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen, insbesondere Schienen-Kugelwälzführungen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen, insbesondere Schienen-Kugelwälzführungen Download PDF

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Dominik Karolewski
Michael Katzschmann
Torsten Maaß
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Institut fur Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme Ggmbh
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    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N19/00Investigating materials by mechanical methods
    • G01N19/02Measuring coefficient of friction between materials

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen, insbesondere Schienen-Kugelwälzführungen. Erfindungsgemäß wird der für die Vermessung der Führung notwendige Bewegungsweg durch eine Verschiebung des Schlittens mittels eines Linearantriebs erzeugt. Der Linearantrieb beschleunigt den Schlitten auf eine definierte, konstante Fahrgeschwindigkeit. Es erfolgt dann ein positionsabhängiges Erfassen der Schwankungen der Fahrgeschwindigkeit über die Änderungen des Linearmotorantriebsstroms. Hieraus wird die Varianz der Reibkraft des Schlittens in der Führung über den zurückgelegten Weg berechnet.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen, insbesondere Schienen-Kugelwälzführungen gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß Anspruch 4.
  • Aus der DE 41 34 100 A1 ist ein Linearmotorantrieb mit einer Schiene vorbekannt, wobei die Schiene der Aufnahme eines Schlittens dient. Schiene und Schlitten stehen über eine Mehrzahl von Wälzlagerelementen in Verbindung, um eine sichere, längsverschiebliche Führung zu gewährleisten. Schiene und Schlitten weisen im Querschnitt ein U-Profil auf und sind mit ihren U-förmigen Schenkeln zueinander gerichtet derart, dass die Schiene in ihrem Schenkelzwischenraum den eigentlichen Schlitten nahezu bündig aufnimmt. Ein derartig geführter Antrieb weist jedoch aufgrund unterschiedlicher Reibungsverhältnisse in der Führung Bewegungsungenauigkeiten auf, die es an sich zu vermeiden gilt, um gewünschte hochgenaue Positionierungen entsprechender Objekte, die sich auf dem Schlitten befinden, zu gewährleisten.
  • Zum Stand der Technik sei ergänzend auf die DE 196 01 018 Ab1 verwiesen, die einen linear verstellbaren Präzisionstisch offenbart, der zur Verstellung einer Deckplatte relativ zu einer Basisplatte für die Bewegung in zumindest einer Koordinatenachse einen Linearantrieb umfasst. Der Linearantrieb wiederum weist einen Magneten und eine Spule auf. Der Magnet oder die Spule des Linearantriebs sind hierbei so angeordnet, dass der Linearantrieb eine resultierende Kraft zentral auf die zu bewegende Platte ausübt.
  • Bei Linearantrieben nach dem bekannten Tauchspulenantrieb wird das physikalische Prinzip der Lorentzkraft genutzt. Üblicherweise weisen derartige Linearantriebe rechteckförmige Spulen auf, die um einen quaderförmigen Eisenkern gewickelt innerhalb von zwei quaderförmigen Hochleistungsmagneten angeordnet sind. Diese Hochleistungsmagneten befinden sich üblicherweise an äußeren Eisen-Jochteilen. Innerer Kern sowie das äußere Eisenteil bilden das Joch für den so ausgestalteten Linearmotor. Das Magnetfeld der eingesetzten Hochleistungs-Permanentmagneten ist radial auf das Spulenpaket bzw. die Spulenanordnung gerichtet, wobei bei Stromzuführung die axial gerichtete Lorentzkraft auf die Spule wirkt. Die Spule wird dann aus dem magnetischen Wirkraum der am Joch gestellfest angebrachten Magneten bewegt. Spulenstrom und die geradlinig wirkende Kraft des Antriebs verhalten sich proportional zueinander, so dass die Stärke der Antriebskraft üblicherweise sehr feinfühlig über den Betriebsstrom der Spule geregelt werden kann. Für das Erreichen einer entsprechenden Feinpositionierung werden inkrementelle Wegmesssysteme eingesetzt, die üblicherweise mit der Regelung des Linearmotors in Verbindung stehen.
  • Bekanntermaßen entstehen Gleichlaufschwankungen an Führungen dann, wenn während des Betriebs Glieder des mechanischen Aufbaus der entsprechenden Führung zusätzlich zur systemspezifischen Roll- oder Gleitreibung des Gesamtführungssystems zeitlich begrenzt oder ständig Reibung erzeugen.
  • Ursachen für solche das Gleichlaufverhalten beeinflussende Effekte können fertigungstechnischer Natur oder wie bei zwangsgeführten Kugelkäfigen in manchen Rollelemente-Führungen zeitlich begrenzt auftretende Reibkräfte sein, die z. B. in der Nebenführung eines Zwangskugelkäfigs, z. B. durch ein zeitlich begrenztes Eingreifen eines Ritzels in eine Zahnstange entstehen.
  • Es ist bekannt, Führungsbahnen durch Autokollimation oder durch direktes Antasten der Führung mittels hochauflösender Kraftsensoren zu vermessen. Ein Nachteil dieser Messverfahren besteht darin, dass zum Messbetrieb der Führung ein Bewegungserzeuger separat angekoppelt werden muss und dass z. B. die Erfassung von Reibwertunterschieden mittels Kraftsensoren ein direktes Antasten des Messsystems an den Prüfling, d. h. die Führung notwendig ist.
  • Beim Ermitteln des Gleichlaufverhaltens von Führungen im praktischen Betriebsmodus und bei verschiedenen Geschwindigkeiten erzeugen angekoppelte Messfühler und entsprechende Antriebe nicht zu vernachlässigende Einflüsse auf den Prüfling, die sich im Messergebnis als Störgrößen manifestieren und somit in der Regel das Messergebnis verfälschen bzw. einen zusätzlichen Fehlerausgleich notwendig machen.
  • Aus dem Vorgenannten ist es daher Aufgabe der Erfindung, ein weiterentwickeltes Verfahren sowie eine zugehörige Vorrichtung zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen, insbesondere Schienen-Kugelwälzführungen oder dergleichen Führungen anzugeben. Die ermittelten Reibungsverläufe der jeweiligen Führung sollen über den Verfahrweg aufgelöst abspeicherbar sein, um einen späteren sicheren Betrieb mit Hilfe der entsprechenden Führung zu gewährleisten.
  • Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt verfahrensseitig durch die Lehre nach Patentanspruch 1 sowie vorrichtungsseitig durch die Merkmalskombination nach Patentanspruch 4, wobei die Unteransprüche mindestens zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen darstellen.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen wird zunächst der für die Vermessung der Führung notwendige Bewegungsweg durch eine Verschiebung des Schlittens mittels eines Linearmotors erzeugt. Dabei ist der Linearmotor bzw. Linearantrieb mit der Führung, respektive dem Schlitten verbunden. Der Linearantrieb kann hier gleichzeitig der spätere Antrieb, z. B. für die Bewegung eines Objekts oder eines Messtisches oder dergleichen sein.
  • Der Linearmotor beschleunigt dann den Schlitten auf eine definierte, konstante Verfahrgeschwindigkeit. Positionsabhängige Schwankungen der Fahrgeschwindigkeit werden nun über Änderungen des Linearmotorantriebsstroms erfasst. Hieraus wird die Varianz der Reibkraft des Schlittens in der Führung über den zurückgelegten Weg berechnet und abgespeichert.
  • Bevorzugt ist ein Linearmotor eingesetzt, der über einen Tauchspulenantrieb verfügt, wobei aus dem über den Messweg ermittelten Spulenstrom Änderungen der Reibungsverlauf in der Führung berechenbar ist.
  • In einer bevorzugten Ausgestaltung ist das Verfahren durch folgende Schritte gekennzeichnet.
  • Zunächst erfolgt ein Einprägen eines konstanten Stroms auf die mindestens eine Antriebsspule zum Erzeugen der definierten Verfahrgeschwindigkeit. Die Antriebsspule ist hierbei diejenige eines Tauchspulen-Linearantriebs. Es erfolgt dann eine Beschleunigung des Schlittens auf eine nahezu konstante Verfahrgeschwindigkeit. Weiterhin wird laufend ein Erfassen positionsabhängiger Verfahrgeschwindigkeitsänderungen über den gesamten Verfahrweg der Führung vorgenommen, und zwar mittels des sich entsprechend ändernden Antriebsspulenstroms. Im nächsten Schritt erfolgt ein Zuordnen der relativen Änderungen der Verfahrgeschwindigkeit über den Weg zur relativen Änderung der Reibkraft des Schlittens über diesen in der Führung zurückgelegten Weg sowie ein Dokumentieren dieser Größe für den späteren hochgenauen Betrieb unter Nutzung der entsprechend geprüften und quasi reibungsseitig kalibrierten Führung.
  • Bei der Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens wird von einer Führung ausgegangen, die ein schienenartiges Gestellteil und ein bewegliches Führungsteil, d. h. den Schlitten aufweist. Parallel zur Führung ist ein Linearmotor mit Spule angeordnet. Das Joch des Linearmotors ist in der Ebene der Bewegungsrichtung der Spule geteilt und weist zwei U-förmige, zueinander weisende erste Jochteile sowie ein drittes, zwischen den ersten Jochteilen befindliches weiteres Jochteil auf, welches die Spule aufnimmt.
  • Die Spule steht über ein Koppelteil mit dem beweglichen Führungsteil, d. h. dem Schlitten oder einer dort fixierten Trägerplatte in Verbindung.
  • Am beweglichen Führungsteil oder der Trägerplatte ist eine Maßverkörperung, z. B. ein linearer Maßstab angebracht oder entsprechend dort befindlich. Die Maßverkörperung verläuft parallel zum Bewegungsweg. Weiterhin steht die Maßverkörperung mit einem Längenmess-Sensor in Verbindung oder tritt in Wechselwirkung mit einem solchen Längenmess-Sensor, wobei sowohl der Sensor als auch die Stromversorgung der Spule an einen Rechner angeschlossen ist. Der Rechner kann darüber hinaus mit einer Anzeigeeinrichtung in Verbindung stehen oder eine solche Anzeige aufweisen.
  • Die Erfindung soll nachstehend anhand von Figuren sowie eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.
  • Hierbei zeigen:
  • 1 die erfindungsgemäße Vorrichtung in Vorderansicht und
  • 2 eine räumliche Darstellung der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen mit einer angedeuteten Verschaltung bezüglich einer Stromversorgung für Antriebsspule des Linearantriebs zu einem Rechner und einer Anzeigeeinheit.
  • Gemäß dem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird von einem Verfahren und einer Vorrichtung zum hochgenauen Detektieren der Reibung in Führungen ausgegangen, wobei der Effekt der Gleichlaufschwankungen an Gleit- oder Rollführungen zur Detektierung genutzt wird.
  • Die Amplituden der Gleichlaufschwankungen stellen ein Maß für die Reibungsverhältnisse in der jeweiligen Führung dar. Diese Schwankungen werden erfindungsgemäß dynamisch erfasst, ohne dass verfälschende Einflüsse von Seiten des Antriebs und der notwendigen Messsensorik das Messergebnis beeinträchtigen.
  • Erfindungsgemäß werden die Nachteile des bekannten Standes der Technik dadurch vermieden, dass der für die Vermessung der Führung einzubringende Messweg durch Verschiebung eines Führungsschlittens mittels Linearmotor auf der Basis des bekannten Tauchspulenantriebs erfolgt. Die im Magnetfeld der Vorrichtung reibungsfrei bewegte Luftspule treibt hier direkt den Führungsschlitten an und prägt somit den Messweg ein.
  • Reibungsunterschiede in der Führungsbahn verursachen Reaktionskräfte des Schlittens in der Führung. Soll nun die Verfahrgeschwindigkeit, die quasi die Messgeschwindigkeit darstellt, konstant gehalten werden, ist ein Nachregeln des Antriebsspulenstroms erforderlich. Im dynamischen Betrieb über den Messweg gewonnene Spulenstromänderungen stellen damit ein Maß für die Reibungsverhältnisse in der geprüften oder untersuchten Führung dar.
  • Bei einer entsprechend bevorzugten Ausführungsform trägt der Schlitten der Führung eine Maßverkörperung als Maßstab des Längenmess-Systems. Gegenüber der Maßverkörperung ist gestellfest ein Längenmess-Sensor positioniert, der den Messweg des Führungsschlittens erfasst. Dieser ist signalschlussseitig mit einem Rechner in Verbindung stehend.
  • Die in Luft magnetisch bewegte Antriebsspule des Linearmotors ist über geeignete Koppelteile fest mit dem Führungsschlitten verbunden. Eine Stromversorgung dient zum Betrieb der Spule, wobei die Unterschiede des Spulenstroms in der Regelungseinheit für den Linearmotor verarbeitet werden. Die erhaltenen Messergebnisse können auf der erwähnten Anzeigeeinrichtung des Rechners visualisiert werden.
  • Die Darstellung nach 1 zeigt eine Vorderansicht der Messanordnung, wobei die Prüflingsführung aus einem schienenartigen Gestellteil 1a und einem beweglichen Führungsteil 1b (dem Schlitten) besteht.
  • Diese Teile sind auf einem Gestell 2 montiert.
  • Parallel zur Führung befindet sich ein Linearmotor 4, der aus zwei U-förmigen zueinander weisenden ersten, äußeren Jochteilen 11 sowie einem dritten, zwischen den ersten Jochteilen 11 befindlichen weiteren Jochteil 12 besteht.
  • Das Jochteil 12 nimmt die Spule 10 auf.
  • Die Spule 10 steht über einen Spulenhalter 5 und eine Koppeleinheit 9 mit einer Trägerplatte 3 in Verbindung. Die Trägerplatte 3 stellt ein tragendes Element der Antriebsspule 10 und einer Lineal-Maßverkörperung 8 dar und wird parallel zur Laufrichtung des Linearmotors 4 ausgerichtet.
  • Zudem kann die Antriebsspule 10 vertikal am Koppelteil 9 zur Laufrichtung des Motors 4 ausgerichet werden.
  • Am Spulenhalter 5 befindet sich ein Stromversorgungskabel 6 für die Antriebsspule 10. Gegenüber dem Linearmotor 4 kolinear über der Maßverkörperung 8 ist ein Längenmess-Sensor 7 des Messsystems positioniert.
  • Ergänzend zeigt die 2 noch die Anordnung der Permanentmagneten 13a (unterer Magnet) und 13b (oberer Magnet). Vom Kabelanschluss 6 besteht eine Verbindung zur Stromversorgung 14 für die Antriebsspule 10. Der Rechner 15, der mit einer Anzeige 16 in Verbindung steht, steuert zum einen die Stromversorgung 14 und wertet zum anderen die Signale des Längenmess-Sensors 7 aus.
  • 1a
    schienenartiges Gestellteil
    1b
    bewegliches Führungsteil (Schlitten)
    2
    Gestell
    3
    Trägerplatte
    4
    Linearmotor
    5
    Spulenhalter
    6
    Kabelanschluss
    7
    Längenmess-Sensor
    8
    Maßverkörperung
    9
    Verbinder Spule – Führung (Koppelteil)
    10
    Antriebsspule
    11
    U-förmige zueinander weisende äußere Jochteile
    12
    inneres Jochteil
    13a, 13b
    Permanentmagnete
    14
    Stromversorgungseinheit für die Spule
    15
    Rechner
    16
    Anzeigevorrichtung
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 4134100 A1 [0002]
    • - DE 19601018 A1 [0003]

Claims (5)

  1. Verfahren zur Bestimmung des Reibungsverlaufs in mechanischen Schlitten-Führungen, insbesondere Schienen-Kugelwälzführungen, dadurch gekennzeichnet, dass der für die Vermessung der Führung notwendige Bewegungsweg durch eine Verschiebung des Schlittens mittels eines Linearantriebs erzeugt wird, der Linearantrieb den Schlitten auf eine definierte, konstante Verfahrgeschwindigkeit beschleunigt, positionsabhängige Schwankungen der Verfahrgeschwindigkeit über Änderungen des Linearmotorantriebsstroms erfasst und hieraus die Varianz der Reibkraft des Schlittens in der Führung über den zurückgelegten Weg berechnet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Linearantrieb ein Linearmotor mit Tauchspulenantrieb eingesetzt wird, wobei aus den über den Messweg ermittelten Spulenstromänderungen der Reibungsverlust in der Führung berechnet wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch folgende Schritte: – Einprägen eines konstanten Stroms auf die mindestens eine Antriebsspule zum Erzeugen der definierten Fahrgeschwindigkeit; – Beschleunigung des Schlittens auf eine nahezu konstante Fahrgeschwindigkeit; – Erfassen positionsabhängiger Verfahrgeschwindigkeitsschwankungen über den gesamten Verfahrweg der Führung mittels des sich entsprechend ändernden Antriebsspulenstroms; – Zuordnung der relativen Änderungen der Verfahrgeschwindigkeit über den Weg zur relativen Änderung der Reibkraft des Schlittens über diesen in der Führung zurückgelegten Weg sowie Dokumentieren dieser Größe für den späteren hochgenauen Betrieb unter Nutzung der geprüften Führung.
  4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Führung ein schienenartiges Gestellteil (1a) und ein bewegliches Führungsteil (1b) aufweist, parallel zur Führung ein Linearmotor (4) mit Spule (10) angeordnet ist, das Joch des Linearmotors in der Ebene der Bewegungsrichtung der Spule (10) geteilt ist und zwei U-förmige, zueinander weisende erste Jochteile (11) sowie ein drittes, zwischen den ersten Jochteilen (11) befindliches weiteres Jochteil (12) aufweist, welches die Spule (10) aufnimmt, die Spule (10) über ein Koppelteil (9) mit dem beweglichen Führungsteil (1a) oder einer dort fixierten Trägerplatte (3) in Verbindung steht, am beweglichen Führungsteil (1b) oder an der Trägerplatte (3) eine Maßverkörperung (8) angebracht oder befindlich ist, welche parallel zum Bewegungsweg verläuft und die mit einem Längenmess-Sensor (7) in Verbindung steht oder mit diesem wechselwirkt, wobei sowohl der Sensor (7) als auch eine Stromversorgung (14) für die Spule (10) an einen Rechner (15) angeschlossen ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Rechner (15) mit einer Anzeigeeinheit (16) in Verbindung steht.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019162001A1 (de) * 2018-02-26 2019-08-29 Krones Ag Verfahren und vorrichtung zur justage eines transportfahrzeugs für eine behälterbehandlungsanlage
DE102022116268A1 (de) 2022-06-29 2024-01-04 Accuride International Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Bereitstellen eines gekrümmten Verschiebewegs

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4134100A1 (de) 1990-10-16 1992-04-23 Nippon Thompson Co Ltd Linearmotor-antriebseinheit
DE19601018A1 (de) 1995-01-27 1996-08-01 Zeiss Carl Fa Linear verstellbarer Präzisionstisch
DE19952389A1 (de) * 1999-10-31 2001-06-07 Eugen Saffert Verfahren zur Parameterbestimmung eines elektrisch angetriebenen Motorsystems
DE102006052364A1 (de) * 2006-11-07 2008-05-08 Carl Zeiss Ag Präzisionslinearantrieb

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4134100A1 (de) 1990-10-16 1992-04-23 Nippon Thompson Co Ltd Linearmotor-antriebseinheit
DE19601018A1 (de) 1995-01-27 1996-08-01 Zeiss Carl Fa Linear verstellbarer Präzisionstisch
DE19952389A1 (de) * 1999-10-31 2001-06-07 Eugen Saffert Verfahren zur Parameterbestimmung eines elektrisch angetriebenen Motorsystems
DE102006052364A1 (de) * 2006-11-07 2008-05-08 Carl Zeiss Ag Präzisionslinearantrieb

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019162001A1 (de) * 2018-02-26 2019-08-29 Krones Ag Verfahren und vorrichtung zur justage eines transportfahrzeugs für eine behälterbehandlungsanlage
US11904700B2 (en) 2018-02-26 2024-02-20 Krones Ag Method and device for adjusting a transport vehicle for a container-handling system
DE102022116268A1 (de) 2022-06-29 2024-01-04 Accuride International Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Bereitstellen eines gekrümmten Verschiebewegs

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