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Aus
einer leiterähnlicher Verschaltung von Impedanzelementen
und insbesondere von Resonatoren zu so genannten Ladder Type- oder
Lattice-Anordnungen lassen sich Reaktanzfilter mit Bandpasscharakter
konstruieren. Aus der
EP
1196 991 A1 ist beispielsweise ein Ladder Type-Filter bekannt,
welches aus akustischen Eintorresonatoren in SAW Technik (SAW =
Surface Acoustic Wave) aufgebaut ist. Der Vorteil eines solchen
Reaktanzfilters ist es, dass durch die Anzahl und Art der verwendeten
Elemente die Filtereigenschaften eingestellt und insbesondere die
Sperrbereichsunterdrückung verbessert werden kann.
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Ein
aus BAW Resonatoren (BAW = Bulk Acoustic Wave) aufgebautes Reaktanzfilter
in Ladder Type-Anordnung ist beispielsweise aus der
EP 1407 546 A1 bekannt.
Die BAW-Technologie bietet dabei den Vorteil, dass frequenzgenaue
und leistungsfeste Bandpassfilter mit einem relativ geringen Temperaturgang
der Resonanzfrequenz erhalten werden können. Aufgrund der
Frequenzgenauigkeit von BAW-Filtern finden diese auch eine Hauptverwendung
in Duplexern.
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Ein
weiterer wesentlicher Vorteil der BAW Technologie sind die hohen
Güte größer 1000, die mit BAW Resonatoren
erreicht werden können. Das erlaubt sehr steile Filterflanken
bei BAW Reaktanzfiltern. Dies, der geringe Temperaturgang und die
hohe Frequenzgenauigkeit prädestinieren BAW Filter für Duplexer-Anwendungen
mit geringem Abstand zwischen Sende- und Empfangsband.
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Ein
Duplexer umfasst ein Sende- und ein Empfangsfilter, die üblicherweise
auf getrennten Substraten aufgebaut sind. Zwischen Sende- und Empfangsband
liegt ein oft nur geringer Bandabstand, der beispielsweise bei dem
in den USA verwendeten PCS-Mobilfunksystem lediglich 20 Megahertz
bei 1,9 Gigahertz Mittenfrequenz beträgt. Filter mit G-Banderweiterung
erfordern sogar Duplexer, deren Bandabstand weiter auf 15 Megahertz
reduziert ist. Ein solch geringer Abstand zwischen Sende- und Empfangsband
von weniger als einem Prozent relativer Breite erfordert neben einer
Resonatortechnologie mit hohen Güten und guter Temperaturstabilität
auch ein Filterdesign, welches steile Filterflanken für
die beiden im Duplexer vereinten Filter ermöglicht. Besonders
wichtig ist es, die beiden einander frequenzmäßig
zugewandt Flanken der beiden Passbänder steil zu gestalten,
um eine möglichst gute Abgrenzung zwischen den beiden Passbändern
zu erzielen. Für den genannten G-Band-Duplexer liegt die notwendige
Flankensteilheit unter Berücksichtigung von Fertigungsstreuungen
und temperaturabhängigen Schwankungen bei mindestens 5
dB/MHz. Es sind aber noch steilere Flanken wünschenswert,
da damit sowohl die Spezifikation der Filter beziehungsweise Duplexer
als auch die Fertigungsausbeute bei einer fertigungsbedingten Schwankung
erhöht werden kann.
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In
der bereits genannten
EP
1 407 546 A1 wird vorgeschlagen, eine Flanke des Passbandes dadurch
zu versteilern, dass in einem Resonator das Verhältnis
aus statischer und dynamischer Kapazität reduziert wird.
So wird die Antiresonanzfrequenz des Resonators gezielt erhöht
ohne dabei gleichzeitig die Resonanzfrequenz dieses Resonators zu
verändern. Damit erniedrigt sich die Kopplung und die dem
Resonator zugeordnete Flanke des Passbandes wird steiler. Zur Realisierung wird
vorgeschlagen, Piezomaterialien oder Elektrodenmaterialien mit geringerer
Kopplung einzusetzen. Als weitere Möglichkeit wird vorgeschlagen,
akustische Spiegel zu verwenden, die ebenfalls die akustische Kopplung
des jeweiligen Resonators erniedrigen können.
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Eine
weitere Möglichkeit, eine Flanke steiler zu gestalten besteht
darin, im Reaktanzfilter mehr parallele Resonatoren einzusetzen,
die ausgeprägtere oder zusätzliche Nullstellen
erzeugen und damit auch die Flanke versteilern. Nachteilig ist jedoch, dass
mit dieser Methode auch die ohmschen Verluste des Reaktanzfilters
durch die Anzahl der miteinander verschalteten Serienresonatoren
ansteigt. Weiter können die parallel geschalteten Resonatoren
im Reaktanzfilter mit Induktivitäten in Serie geschaltet
werden, wobei Nullstellen zu tieferen Frequenzen verschoben werden
können. Dies bewirkt nicht nur eine Erhöhung der
Isolation, sondern auch eine höhere Bandbreite des Bandpassfilters.
Eine steilere rechte Flanke des Passbandes wird durch eine erhöhte
Anzahl serieller Resonatoren erreicht, deren Antiresonanz die Lage
der Flanke und damit deren Steilheit beeinflussen.
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Nachteilig
an den bekannten Lösungen zur Verbesserung der Flankensteilheit
ist allgemein, dass sie entweder höhere Verluste bewirken
oder nur mit erhöhtem Verschaltungs- und Herstellungsaufwand
erzeugt werden können. Ein weiter Nachteil ist hier, dass
für mehr Resonatoren auf dem Chip auch eine größere
Chipfläche notwendig ist. Fügt man zwei Serienresonatoren
hinzu, ist implizit auch mindestens ein Parallelresonator mehr erforderlich,
so dass insgesamt drei zusätzliche Resonatoren vorhanden
sind.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Reaktanzfilter anzugeben,
mit dem gezielt die rechte Flanke des Passbandes steiler gestaltet werden
kann.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Reaktanzfilter
mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen
der Erfindung gehen aus weiteren Ansprüchen hervor.
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Es
wird ein Reaktanzfilter in an sich bekannter Ladder Type oder Lattice-Anordnung
vorgeschlagen, welches zumindest einen Serienzweig umfasst, der
einen Signaleingang mit einem Signalausgang verbindet. Das Reaktanzfilter
weist außerdem zumindest einen Parallelzweig auf, der bei
einem Ladder Type-Filter vom Serienzweig gegen Masse abzweigt beziehungsweise
in einer Lattice-Anordnung die hier vorhandenen zwei seriellen Zweige
miteinander verbindet. In jedem Parallelzweig ist ein Parallelresonator
angeordnet und in jedem Serienzweig ist in dieser soweit bekannten
Reaktanzfilteranordnung eine Mehrzahl von Serienresonatoren seriell
verschaltet. Erfindungsgemäß ist nun parallel
zu zumindest einem der Serienresonatoren ein Kondensator geschaltet.
Dieser Parallelkondensator erhöht die wirksame statische
Kapazität C
0 des Serienresonators und
verändert dadurch das Verhältnis von dynamischer
zu statischer Kapazität des Resonators. Während
die Resonanzfrequenz des Serienresonators gemäß der
Formel
ausschließlich von
der dynamischen Kapazität C1 und der Induktivität
des Resonators abhängig ist, weist die Antiresonanzfrequenz
f
a gemäß der Formel
zusätzlich eine
Abhängigkeit von dem genannten Verhältnis aus
dynamischer zu statischer Kapazität auf. Mit der erfindungsgemäß erhöhten
statischen Kapazität verringert sich auch die Antiresonanzfrequenz
f
a, ohne dass sich dabei gleichzeitig die
Lage der Resonanzfrequenz verändert. Damit reduziert sich
die Kopplung des Resonators.
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Da
die Antiresonanzfrequenz fa der Serienresonatoren,
direkt die Position des rechten Filterpols (engl.: notch) bestimmt,
bewirkt diese reduzierte Kopplung eine Verschiebung des Pols nach
links zu niedrigeren Frequenzen, selbst wenn die Kopplungsreduktion
an nur einem oder jedenfalls an nicht allen Serienresonatoren vorgenommen
wird. Die Breite des Passbandes bleibt nahezu unverändert,
da zumindest einer der Serienresonatoren, nicht aber alle Serienresonatoren
einen parallel geschalteten Kondensator aufweisen. Effektiv wird
dadurch die Steilheit der rechten Passbandflanke erhöht,
ohne nennenswerte Einbußen bei der Bandbreite hinnehmen zu
müssen. Mit der angegebenen Reaktanzfilteranordnung gelingt
es, die Flankensteilheit um beispielsweise 1 dB/MHz zu erhöhen.
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Der
zu einem Serienresonator parallele Kondensator kann in einer beliebigen
Technologie ausgeführt sein. Er kann als externer Kondensator
mit den Resonatoren verschaltet werden.
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Vorteilhaft
ist es jedoch, den Kondensator integriert mit dem Reaktanzfilter
herzustellen und dazu insbesondere gemeinsame Fertigungsschritte
zu verwenden. Vorteilhaft ist es also, den Kondensator parallel
zu dem oder den Resonatoren herzustellen.
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Ein
aus SAW Eintorresonatoren aufgebautes Reaktanzfilter besitzt Wandler,
die eine Kapazität aufweisen. Ein zusätzlich erzeugter
Wandler mit verändertem Elektrodenfingerabstand lässt
daher bei Filtern aus SAW Eintorresonatoren als Kondensator nutzen.
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Besonders
vorteilhaft ist es aus den bereits erwähnten Gründen,
ein Reaktanzfilter aus BAW-Resonatoren auszubilden. Diese weisen
einen strukturierten Schichtaufbau über einem Substrat
auf. Dieser Schichtaufbau umfasst zumindest eine Bottomelektrode,
eine piezoelektrische Schicht und eine Topelektrode. Ein integriert
mit dem Resonator hergestellter Kondensator nutzt dabei zumindest
eine der Elektrodenschichten als eine Kondensatorelektrode. Der
Kondensator weist beispielsweise eine Schichtfolge Metall 1/Dielektrikum/
Metall 2 auf, welche sich prinzipiell mit dem Schichtaufbau Bottomelektrode/piezoelektrische
Schicht/Topelektrode realisieren lässt. Damit ein solcher
Kondensator jedoch nicht ebenfalls als Resonator wirksam ist, sind
hier jedoch weitere Maßnahmen erforderlich, um die Resonanzfrequenz
des Kondensators in einen Bereich zu verschieben, der außerhalb
des Passbandes des Reaktanzfilters liegt.
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Eine
weitere Möglichkeit, den Kondensator parallel zu den Struktureinheiten
des Serienresonators herzustellen besteht darin, einen Serienresonator
mit einem akustischen Spiegel zu verwenden, der zwischen Substrat
und Serienresonator angeordnet ist. Der akustische Spiegel umfasst
eine Hochimpedanzschicht, die aus Metall ausgebildet ist. Diese kann
als eine Elektrodenschicht in der Schichtfolge für den
Kondensatoraufbau verwendet werden.
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Eine
einfache Möglichkeit zur parallelen Strukturierung des
Schichtaufbaus für die Resonatoren und der Schichtfolge
für den Kondensator besteht darin, den Kondensator und
die Resonatoren lateral nebeneinander in dem Schichtaufbau zu realisieren. Insbesondere
kann dazu ein Resonatorbereich lateral neben einem Kondensatorbereich
angeordnet sein. Im Resonatorbereich sind die Schichten und Schichtdicken
so eingestellt, dass sie die entsprechende Resonanzfrequenz ergeben.
Im lateral dazu angeordneten Kondensatorbereich hingegen wird die Schichtfolge
für den Kondensator z. B. bezüglich der Schichtdicken
so gestaltet, dass die Resonanzfrequenz des Kondensators außerhalb
des Passbandes des Reaktanzfilters liegt. Möglich ist es
jedoch auch, im Kondensatorbereich einzelne Schichten des Resonatorbereichs
weg zulassen oder andere Schichten ausschließlich im Kondensatorbereich,
z. B. oben auf die Topelektrode aufzubringen und so die Resonanzfrequenz
dieses Kondensators in einen unkritischen Bereich zu verschieben.
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Eine
Möglichkeit, die Schichtfolge so zu verändern,
dass sich die Resonanzfrequenz im Kondensatorbereich verschiebt,
besteht darin, die Schichtdicke der Bottomelektrode im Kondensatorbereich
zu verändern. Üblicherweise umfasst die Bottomelektrode
eine Schicht eines Hartmetalls und eine Schicht eines Weichmetalls.
Durch einen zusätzlichen Strukturierungsschritt kann dann
im Kondensatorbereich eine dieser beiden Schichten entfernt werden, üblicherweise
die obere Teilschicht der Bottomelektrode, die z. B. durch das Hartmetall
gebildet sein kann.
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Gemäß einer
weiteren Ausführung werden die Topelektrode des Resonators
und eine elektrisch leitfähige Schicht des akustischen
Spiegels im Kondensatorbereich als Metall 1 und Metall 2 in der Schichtfolge
für den Kondensator verwendet. Dazu wird die Bottomelektrode
im Kondensatorbereich vollständig entfernt, so dass der
Kondensator zwischen der Topelektrode und der Spiegelschicht gebildet
ist.
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Möglich
ist es jedoch auch, den Kondensator zwischen Bottomelektrode und
einer Hochimpedanzschicht des akustischen Spiegels auszubilden.
Dies hat den Vorteil, dass der Kondensator zum größten Teil
oder gänzlich unterhalb des Resonators ausgebildet werden
kann, ohne auf dem Substrat zusätzliche Fläche
zu benötigen. Ein solcher Kondensator ist daher besonders
einfach herstellbar und erhöht die Grundfläche
des Bauelements nicht oder nur unwesentlich.
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Im
Reaktanzfilter ist der Kondensator parallel zu zumindest einem Serienresonator
geschaltet. Dazu ist es erforderlich, die Kondensatorelektroden mit
den entsprechenden Resonatorelektroden zu verbinden. Im Fall des
Kondensators, der zwischen Bottomelektrode und Hochimpedanzschicht
im akustischen Spiegel ausgebildet ist, wird dazu die Topelektrode
mit der Hochimpedanz mittels einer Durchkontaktierung elektrisch
leitend verbunden. Diese Durchkontaktierung ist vorzugsweise außerhalb
des Resonatorbereichs angeordnet.
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Vorteilhaft
sind auch alle anderen Anordnungen, bei denen sich Kondensatorbereich
und Resonatorbereich zumindest teilweise überlappen.
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In
einer bevorzugten Ausführung ist ein Kondensator parallel
zu dem Serienresonator geschaltet, der dem Signaleingang am nächsten
liegt. Zumindest einer der übrigen Serienresonatoren ist
ohne parallel geschalteten Resonator ausgebildet. Eine parallel geschaltete
Kapazität am Signaleingang kann bei vielen Konfigurationen
die Anpassung an diesem Eingang erleichtern. Man braucht dann zum
Beispiel eine kleinere Serieninduktivität um den Port an
50 Ohm anzupassen.
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Bei
einem erfindungsgemäßen Reaktanzfilter wird ein
maximaler Effekt bezüglich einer steileren oberen Flanke
erzielt, wenn die Kapazität des Kondensators im Bereich
zwischen 1 und 50% und bevorzugt im Bereich von 3–30% der
statischen Kapazität des Resonators liegt.
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Im
Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen
und der dazugehörigen Figuren näher erläutert.
Die Figuren dienen allein dem besseren Verständnis der
Erfindung und sind daher nur schematisch und nicht maßstabsgetreu
ausgeführt. Ebenso können einzelne Teile in der
Größe verändert dargestellt sein, so
dass den Figuren auch keine relativen Größenverhältnisse
zu entnehmen sind.
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1 zeigt
ein an sich bekanntes Reaktanzfilter, welches aus Resonatoren aufgebaut
ist,
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2 zeigt
ein erfindungsgemäßes Reaktanzfilter mit einer
externen Kapazität,
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3 zeigt
ein erfindungsgemäßes Reaktanzfilter mit einer
internen Kapazität,
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4 zeigt
einen Duplexer, der ein erfindungsgemäßes Reaktanzfilter
umfasst,
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5 zeigt
einen aus dem Schichtaufbau des Reaktanzfilters realisierten Kondensator,
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6 zeigt
einen Serienresonator mit daran anschließendem Kondensator,
bei dem sowohl der akustische Spiegel als auch der harte Teil der
Bottomelektrode entfernt wurden,
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7A und 7B zeigen
im schematischen Querschnitt und im Ersatzschaltbild einen Serienresonator
mit direkt verschaltetem Kondensator, der zwischen der Topelektrode,
einer Hochimpedanzschicht und der Bottomelektrode ausgebildet ist,
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8A und 8B zeigen
eine Anordnung aus Serienresonator und einem zwischen der Bottomelektrode
und einer Hochimpedanzschicht ausgebildeten Kondensator im schematischen
Querschnitt und im Blockschaltbild,
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9 zeigt
die Übertragungskurven eines erfindungsgemäßen
Reaktanzfilters im Vergleich zu einem bekannten ansonsten gleichartig
aufgebauten Reaktanzfilter,
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10 zeigt
einen beispielhaften Schichtaufbau für einen BAW-Resonator,
dessen Teilschichten zur Realisierung von Resonator und Kondensator
verwendet werden kann.
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1 zeigt
ein aus dem Stand der Technik bekanntes, auf einem Chip CH als Träger
aus Resonatoren ausgebildetes Reaktanzfilter mit Ladder Type-Aufbau.
Zwischen einem Signaleingang SE und einem Signalausgang SA ist ein
Serienzweig SZ geschaltet. Von Knotenpunkten des Serienzweiges abgehend
sind hier drei Parallelzweige PZ gegen ein Festpotenzial und insbesondere
gegen Masse geschaltet. In jedem der Parallelzweige PZ ist ein Parallelresonator
PR angeordnet. Der Serienzweig SZ umfasst eine Serienverschaltung
von Serienresonatoren SR.
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2 zeigt
ein Reaktanzfilter, bei dem parallel zu einem Serienresonator SR
ein Kondensator CAP geschaltet ist. Vorteile werden bereits erzielt, wenn
ein einziger der Serienresonatoren SR parallel zu einem Kondensator
geschaltet ist, wobei ein solcher Kondensator auch mehrere Serienresonatoren parallel überbrücken
kann (in der Figur nicht dargestellt). Zumindest einer der Serienresonatoren
bleibt demgegenüber unverändert.
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Die
Resonatoren SR, PR können in einer beliebigen Technologie
gefertigt sein, da die Wirkungsweise des parallel zum Serienzweig
geschalteten Kondensators eine elektrische ist und sich daher für alle
bekannten Resonatoren anwenden lässt. Der Kondensator CAP
ist wie in 2 dargestellt beispielsweise
ein externer Kondensator, der als SMD Bauelement oder in anderer
Technologie gefertigtes externes Schaltungselement mit dem Reaktanzfilter verschaltet
sein kann. Reaktanzfilter und Kondensator können beispielsweise
auf einer gemeinsamen Platine angeordnet sein. Möglich
ist es auch, einen diskreten Kondensator auf dem Chip des Reaktanzfilters
zu montieren. Anstelle einen SMD Kondensator zu verwenden, kann
die Kapazität auch in einer mehrlagigen Platine integriert
sein.
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Sämtliche
Serienresonatoren SR und Parallelresonatoren PR des Reaktanzfilters
können auf einem gemeinsamen Substrat, welcher beispielsweise als
Chip CH ausgebildet ist, angeordnet sein. Wegen der unterschiedlichen
Frequenzlage von Serienresonatoren und Parallelresonatoren kann
es jedoch auch vorteilhaft sein, Serienresonatoren und Parallelresonatoren
auf unterschiedlichen Substraten oder Chips zu realisieren.
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3 zeigt
ein Reaktanzfilter, bei dem der Kondensator CAP auf dem Chip CH
des Reaktanzfilters integriert ist. Zusätz lich ist angedeutet,
dass zwei der Parallelzweige auf oder außerhalb des Chips
zu einem gemeinsamen Zweig verbunden und mittels eines Impedanzelements
IE, insbesondere einer Induktivität mit Masse verschaltet
werden können. Auf diese Weise gelingt es, die mit den
Parallelresonatoren erzeugten Polstellen des Reaktanzfilters zu
verschieben.
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4 zeigt
eine vorteilhafte Anwendung für ein erfindungsgemäßes
Reaktanzfilter. Aufgrund dessen steiler oberer Flanke kann dieses
Reaktanzfilter insbesondere in einem Duplexer zur Ausbildung des
Sendefilters SF eingesetzt werden. Die obere Flanke des Passbandes
des Sendefilters weist zu der unteren Flanke des Passbandes des
Empfangsfilters EF, so dass die beiden Filter des Duplexers durch
die steilere obere Flanke des Passbandes des Sendefilters SF besser
gegeneinander isoliert sind. Beide Filter sind mit der Antenne A
verbunden. Nicht dargestellt ist ein Anpassnetzwerk, beispielsweise
eine Lambdavierteltransmissionsleitung, mit der verhindert wird,
dass beispielsweise Sendesignal vom Signalausgang des Sendefilters
SF in das Empfangsfilter EF einkoppeln.
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5 zeigt,
wie ein Schichtaufbau, der typischerweise zur Herstellung von BAW-Resonatoren genutzt
wird, erfindungsgemäß und in einfacher Weise auch
zur Herstellung des Kondensators mittels Prozessschritten gefertigt
werden kann, die auch zur Herstellung von BAW-Resonatoren eingesetzt
werden. Daher ist es möglich, bei BAW-Resonatoren die Herstellung
des Kondensators CAP in einfacher Weise in den Fertigungsprozess
der BAW-Resonatoren zu integrieren.
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Ein
solcher Schichtaufbau umfasst beispielsweise ein Substrat SU, eine
erste Metallschicht M1, die die Bottomelektrode der BAW-Resonatoren
darstellt, ein Dielektrikum D, welches die piezoelektrische Schicht
im Schichtaufbau der BAW-Resonatoren sein kann, sowie eine zweite
Metallschicht M2, wozu die Topelektrode verwendet werden kann.
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Der
aus der Schichtfolge erstes Metall M1/Dielektrikum D/zweites Metall
M2 gebildete Kondensator CAP wird über entsprechende Anschlüsse T1,
T2 angeschlossen. Die z. B. direkt auf dem Substrat oder auf einer
darüber aufgebrachten Isolationsschicht aufliegende erste
Metallschicht kann über eine Durchkontaktierung DK durch
das Dielektrikum hindurch angeschlossen werden. Zur besseren Verbindung
mit dem Elektrodenmaterial kann im Bereich der Durchkontaktierung
lokal ein weiteres Metall auf der ersten Metallschicht M1 aufgebracht
sein, hier insbesondere eine Hartmetallschicht HM. Mittels dieser
Durchkontaktierung DK ist es möglich, beide Anschlüsse
des Kondensators CAP auf der Oberfläche des Schichtaufbaus
vorzusehen, wo sie besonders einfach angeschlossen oder mit einer
externen Schaltungsumgebung verbunden werden können.
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Der
in der 5 dargestellte Kondensator kann an einer beliebigen
Stelle auf dem Substrat eines BAW-Resonators beziehungsweise auf
dem Substrat eines aus BAW-Resonatoren aufgebauten Reaktanzfilters
realisiert sein. In der dargestellten Form kann der Kondensator
CAP abseits des Resonatorbereichs realisiert sein.
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Vorteilhaft
ist es jedoch, den Kondensator CAP unmittelbar an einem Resonator
anschließend und insbesondere anschließend an
den mit ihm verbundenen Serienresonator SR auszubilden. 6 zeigt
eine Möglichkeit, durch entsprechende Strukturierung der
Bottomelektrode BE zwischen dem Bereich des Serien resonator SR (Resonatorbereich) und
dem Bereich des Kondensators CAP (Kondensatorbereich) zu unterscheiden.
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Die
Bottomelektrode umfasst zwei Metallschichten, nämlich eine
untere Weichmetallschicht WM und eine darüber angeordnete
Hartmetallschicht HM. Durch Entfernen der Hartmetallschicht HM im Kondensatorbereich
KB gelingt es, diesen mit anderen Resonanzeigenschaften als den
Resonatorbereich RB auszubilden, so dass im Kondensator eine vom
Serienresonator unterschiedliche Resonanzfrequenz erzielt wird.
Daher wirkt der Kondensator CAP im Bereich der Mittenfrequenz des
Reaktanzfilters ausschließlich über seine Kapazität
und daher nicht als Resonator, da seine Resonanzfrequenz außerhalb
der für das Passband des Reaktanzfilters maßgeblichen
Frequenzen liegt. Bei diesem Aufbau kann die Weichmetallschicht,
die Teil der Bottomelektrode BE ist, als erste Metallschicht M1
des Kondensators und die Topelektrode TE als zweite Metallschicht
M2 des Kondensators eingesetzt werden. Die piezoelektrische Schicht
PS des Serienresonators beziehungsweise des BAW-Schichtaufbaus wirkt
im Kondensatorbereich KB als Dielektrikum.
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Natürlich
ist es auch mit anderen Mitteln möglich, im Kondensatorbereich
KB eine Resonanz zu vermeiden, die im Bereich des Passbandes des Reaktanzfilters
liegt. So kann insbesondere die Schichtdicke des Dielektrikums D
der piezoelektrischen Schicht PS im Kondensatorbereich KB verändert
und insbesondere reduziert werden.
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In
der Figur ist außerdem ein akustischer Spiegel AS dargestellt,
der unterhalb der Bottomelektrode BE angeordnet ist. Dieser umfasst
alternierend aus Nieder- und Hochimpedanzschichten HI, die aus entsprechenden
Materialien mit hoher und niedriger akustischer Impedanz gefertigt
sind. Insbesondere bestehen die Hochimpedanzschichten HI aus einem schweren
Metall und sind daher elektrisch leitend. Als dazwischen liegende
Niederimpedanzschicht ist üblicherweise ein Dielektrikum
und insbesondere ein Oxid eingesetzt. Die Teilschichten des akustischen Spiegels
AS können Lambdaviertelschichten einer gegebenen Wellenlänge
sein, so dass an den Grenzflächen zwischen den Teilschichten
akustische Wellen im Bereich dieser Wellenlänge in den
Resonator zurück reflektiert werden können.
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In
der 6 ist dargestellt, dass der akustische Spiegel
sich nur über den Resonatorbereich RB erstreckt, beziehungsweise
dass die Hochimpedanzschichten HI im Kondensatorbereich KB ausgespart sind.
Für diese Ausführung ist es jedoch auch möglich,
dass der akustische Spiegel ganzflächig und damit auch
im Kondensatorbereich angeordnet ist.
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7A zeigt
eine Möglichkeit, den Kondensatorbereich zwischen der Topelektrode
TE und einer der Hochimpedanzschichten HI des akustischen Spiegels
AS auszubilden. Dazu ist im Kondensatorbereich KB die Bottomelektrode
entfernt, so dass Topelektrode und Hochimpedanzschicht HI1 nur durch die
piezoelektrische Schicht PS und das Dielektrikum D des akustischen
Spiegels AS getrennt sind. Diese Ausführung hat den Vorteil,
dass sich zwischen der Hochimpedanzschicht HI1 und der Bottomelektrode BE
ein weiterer Kondensator CAP2 ausbildet, der mit dem ersten Kondensator
CAP1 im Kondensatorbereich KB in Serie geschaltet ist. Auf diese
Weise kann eine direkte Kontaktierung der Hochimpedanzschicht HI1
eingespart werden, da die Hochimpedanzschicht HI1 eine floatende
Elektrode in der Serienverschaltung der beiden Kondensatoren CAP1
und CAP2 darstellt. 7B zeigt das Ersatzschaltbild
der in 7A im Querschnitt gezeigten
Anordnung, die wiederum nur einen Teil eines erfindungsgemäßen Reaktanzfilters
darstellt, wie es z. B. in einer der 2 bis 4 dargestellt
ist.
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8A zeigt
eine weitere Möglichkeit, den Kondensator im Schichtaufbau
eines BAW-Resonators zu realisieren. In der dargestellten Variante
von 8A ist der Kondensator CAP zwischen der Hochimpedanzschicht
HI des akustischen Spiegels und der Bottomelektrode BE des Serienresonators
SR ausgebildet. Dabei ist der Kondensator direkt unterhalb des Serienresonators
angeordnet und benötigt keine zusätzliche Fläche.
An einer Stelle ist lediglich eine Durchkontaktierung DK zum elektrischen
Anschluss der Hochimpedanzschicht HI ausgeführt, um dadurch
die zweite Elektrode des Kondensators elektrisch zu kontaktieren.
Diese Ausführung ist besonders Platz sparend und erfordert
zur Herstellung einen nur geringen Strukturierungsaufwand. In der Durchkontaktierung
DK ist die Topelektrode elektrisch leitend mit der Hochimpedanzschicht
HI verbunden.
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8B zeigt
das Ersatzschaltbild der Anordnung, welche wiederum einen Teilausschnitt
eines Blockschaltbilds eines erfindungsgemäßen
Reaktanzfilters bildet, wie es z. B. in einer der 2 bis 4 dargestellt
ist.
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Der
gewünschte Effekt der Versteilerung der rechten Flanke
wird mit jedem zusätzlichen Kapazitätswert erreicht,
der durch Parallelschaltung mit dem Serienresonator dessen statische
Kapazität erhöht. Ein guter Effekt und eine ausreichende
Versteilerung der oberen Passbandflanke des Reaktanzfilters wird mit
einem Kondensator erreicht, dessen Kapazität im Bereich
von 3–30% der statischen Kapazität des Serienresonators
liegt.
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In
der 9 ist die simulierte Übertragungskurve
K1 (S21) eines erfindungsgemäß gemäß 3 ausgebildeten
Reaktanzfilters mit der simulierten Übertragungskurve K2
eines gemäß 1 ausgebildeten
bekannten Reaktanzfilters verglichen. Der Kondensator des erfindungsgemäßen
Reaktanzfilters weist eine Kapazität von 0,32 pF auf, während die
statische Kapazität des seriellen Resonators bei ca. 1,2
pF liegt. Es zeigt sich, dass sich die rechte Flanke des Passbandes
beim erfindungsgemäßen Reaktanzfilters um zirka
0,7 dB/MHz versteilert. Die Steigung der Kurve K1 beträgt
4,7 dB/MHz, die Steigung der Kurve K2 des bekannten Filters beträgt
4,0 dB/MHz. Im übrigen Bereich des Passbandes sind beide
Kurven nahezu deckungsgleich. Das zeigt, dass durch die zusätzliche
parallel zum Serienresonator geschaltete Kapazität CAP
andere Filtereigenschaften nicht oder nur unwesentlich betroffen
sind.
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In
der Figur rechts unten ist ein Ausschnitt des unteren Teils der
Roll-off-Flanke für beide Kurven K1, K2 vergrößert
dargestellt. Die steilere Kurve K1 des erfindungsgemäßen
Reaktanzfilters erreicht früher ein vorgegebenes Isolationsniveau,
so dass das Passband stärker gegen benachbarte Frequenzen abgegrenzt
ist. Demnach ist es besonders vorteilhaft, wenn das Filter als Sendefilter
in einem Duplexer mit höher liegendem Empfangsband eingesetzt
wird, insbesondere in einem Duplexer mit niedrigem Bandabstand,
wie es beispielsweise das in den USA verwendete PCS-Band der Fall
ist.
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10 zeigt
nochmals schematisch einen möglichen kompletten Schichtaufbau
SAB, wie er bei der Herstellung von BAW-Resonatoren eingesetzt werden
kann. Als Substrat SU dient üblicherweise ein kristallines
Material, insbesondere ein Siliziumwafer. Bei der Aufbauvariante
als SMR-Resonator (SMR = Surface Mounted Resonator) ist direkt über
dem Substrat SU ein akustischer Spiegel AS aufgebaut, welcher eine
alternierende Abfolge von Hochimpedanzschichten HI und Niederimpedanzschichten
LI umfasst. Ein ausreichend funktionsfähiger akustischer Spiegel
AS wird mit zwei Paaren von Hochimpedanz- und Niederimpedanzschichten
erhalten. Als Hochimpedanzschichten werden insbesondere schwere
Metalle wie Wolfram, Platin oder Molybdän eingesetzt, während
die Niederimpedanzschichten produktionsbedingt üblicherweise
ein in der Halbleitertechnologie eingesetztes Oxid, insbesondere
Siliziumoxid sein kann.
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Über
dem akustischen Spiegel ist die Bottomelektrode BE angeordnet. Diese
kann mehrschichtig sein und insbesondere eine Weichmetallschicht WM
und darüber eine Hartmetallschicht HM aufweisen. Als Weichmetall
ist beispielsweise Aluminium geeignet, als Hartmetall HM dagegen
wieder Molybdän und Wolfram.
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Über
der Bottomelektrode BE ist die piezoelektrische Schicht PS angeordnet.
Diese ist üblicherweise homogen und vorteilhaft aus einem
piezoelektrischen Material wie Aluminiumnitrid, Zinkoxid oder ähnlichen
Materialien aufgebaut.
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Über
der piezoelektrischen Schicht PS ist die Topelektrode TE aufgebracht,
welche ein- oder mehrschichtig sein kann. In der einfachsten Variante
ist die Topelektrode TE eine Aluminium schicht. Sie kann aber wie
die Bottomelektrode ebenfalls aus einem schweren Metal ausgebildet
werden.
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Innerhalb
dieses möglichen Schichtaufbaus SAB für die BAW-Resonatoren
können nun zwei beliebige elektrisch leitende Schichten
zum Aufbau des erfindungsgemäß eingesetzten Kondensators
CAP genutzt werden. Vorteilhaft werden zwei elektrisch leitende
Schichten verwendet, die im Schichtaufbau SAB einen nur geringen
Abstand zueinander aufweisen.
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Die
Einstellung der Kapazität des Kondensators CAP gelingt über
entsprechende Strukturierung einer der beiden für den Kondensator
verwendeten elektrisch leitenden Schichten (Elektroden- oder Spiegelschichten).
Werden für den Kondensator CAP Teilschichten des Resonators
wie Topelektrode, piezoelektrische Schicht und Bottomelektrode eingesetzt,
so wird dieser Schichtaufbau im Kondensatorbereich KB bezüglich
zumindest einer der Schichten variiert, um die Resonanzfrequenz
entsprechend zu verschieben. Dies kann auch die Topelektrode TE sein.
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Das
erfindungsgemäße Reaktanzfilter ist nicht auf
die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt.
Die Erfindung ist technologieunabhängig, wird jedoch vorteilhaft
mit BAW-Resonatoren und in den Schichtaufbau der BAW-Resonatoren
integriertem Kondensator realisiert.
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Ein
erfindungsgemäßes Filter kann sich von den dargestellten
Reaktanzfiltern bezüglich der Anzahl der Serienresonatoren,
der Parallelresonatoren und der parallel geschalteten Kondensatoren
unterscheiden. Zusätzlich kann das Reaktanzfilter mit weiteren
Impedanzelementen verschaltet sein, insbesondere mit Induktivitäten
oder Kapazitäten. Teile der Resonatoren eines erfindungsgemäßen
Reaktanzfilters können durch andere Impedanzelemente ersetzt sein.
In der Verschaltung können einzelne Elemente wie Resonatoren
auch durch eine Serien- oder Parallelverschaltung von zwei oder
mehreren gleichartigen Elementen ersetzt werden, ohne dass dadurch die
Eigenschaften des Filters verschlechtert werden.
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Weiterhin
kann das Reaktanzfilter auch auf Membran-basierten BAW Resonatoren
aufgebaut sein. In diesem Fall gibt es keinen akustischen Spiegel,
aber die Frequenzverschiebung des Kondensatorbereichs kann wie zuvor
beschrieben durch Ätzung oder Dünnung der harten
Bottomelektrodenschicht bewerkstelligt werden. Alternativ dazu kann im
Kondensatorbereich auch eine zusätzliche Schicht auf der
Topelektrode abgeschieden werden.
- A
- Antenne
- AS
- akustischer Spiegel
- BE
- Bottomelektrode des
Serienresonators
- CAP
- Kondensator
- CH
- Chip
- D
- Dielektrikum
- DK
- Durchkontaktierung
- EF
- Empfangsfilter
- HI
- Hochimpedanzschicht
des akustischen Spiegels, elektrisch leitend
- HM
- Hartmetall-Schicht
der Bottomelektrode
- IE
- Impedanzelement
- K1, K2
- Übertragungskurven
- KB
- Kondensatorbereich
- NI
- Niederimpedanzschicht
- PR
- Parallelresonator
- PS
- piezoelektrische Schicht
- PZ
- Parallelzweig
- RB
- Resonatorbereich
- SA
- Signalausgang
- SAB
- Schichtaufbau für
Resonator (und Kondensator)
- SE
- Signaleingang
- SF
- Sendefilter
- SR
- Serienresonator
- SU
- Substrat
- SZ
- Serienzweig
- T1, T2
- Anschlüsse
- TE
- Topelektrode des Serienresonators
- WM
- Weichmetall-Schicht
der Bottomelektrode
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - EP 1196991
A1 [0001]
- - EP 1407546 A1 [0002, 0005]