DE102009002068A1 - Dämpfungsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Es wird eine Vorrichtung zur Dämpfung einer Bewegung einer seismischen Masse eines mikromechanischen Inertialsensors vorgeschlagen, wobei die Vorrichtung eingerichtet ist, die seismische Masse in Abhängigkeit von Werten zumindest eines Bewegungsparameters der seismischen Masse mit einer die Bewegung der seismischen Masse dämpfenden Kraft zu beaufschlagen, wobei die Dämpfung elektrisch bewirkt wird.

Description

  • Die Erfindung beschreibt eine Dämpfungsvorrichtung, insbesondere eine Vorrichtung zur Dämpfung einer Bewegung einer seismischen Masse eines mikromechanischen Inertialsensors.
  • Stand der Technik
  • In der Mikrosystemtechnik wirken Komponenten mit Abmessungen im Mikrometerbereich in Systemen (MEMS = Micro-Electro-Mechanical Systems) für verschiedenste Anwendungen zusammen. Solche mikromechanischen Systeme weisen in der Regel einen oder mehrere Sensoren und Aktoren sowie eine Steuerungselektronik auf.
  • Der Einsatz von mikromechanischen Systemen ist überall dort denkbar, wo Sensoren bzw. Aktoren und Elektronik zusammenarbeiten. Einer der größten Anwendungsbereiche sind Inertialsensoren, wie z. B. Gyroskope, Beschleunigung- und Neigungssensoren. Sie werden unter anderem im Kraftfahrzeugbereich für die Auslösung von Airbags und für die Schleuder- und Überschlagsdetektion eingesetzt.
  • Einen großen Bereich auf dem Gebiet der Inertialsensoren stellen die reinen Beschleunigungssensoren dar, welche meist zur Erfassung linearer Beschleunigungen eingesetzt werden. Oft werden solche Beschleunigungssensoren aus Silizium hergestellt. Diese Sensoren sind in der Regel Feder-Masse-Systeme, bei denen die „Federn” nur wenige μm breite Silizium-Stege sind und auch die sogenannte seismische Masse, also das der zu detektierenden Beschleunigung ausgesetzte Masseelement, aus Silizium hergestellt ist. Durch die Auslenkung der seismischen Masse bei Beschleunigung kann zwischen dem gefedert aufgehängten Teil und einer festen Bezugselektrode eine Änderung der elektrischen Kapazität gemessen werden. Sie werden z. B. zur Auslösung von Airbags in Fahrzeugen eingesetzt. Einen Überblick über gängige Herstellungstechniken findet man z. B. in H.-P. Trah, R. Müller-Fiedler, Mikrosystemtechnik im Automobil, Physik Journal 1 (2002), Nr. 11, S. 39–44.
  • Einen weiteren großen Bereich auf dem Gebiet der Inertialsensoren stellen die Drehratensensoren (auch Drehgeschwindigkeitssensoren genannt) dar. Ein- oder mehrachsige mikromechanische Drehratensensoren werden für verschiedenste Anwendungen eingesetzt (im Kraftfahrzeugbereich z. B. für ESP, Navigation und Roll-Over-Sensing = ROSE; im Consumerbereich z. B. für Bildstabilisierung, Motion Detection und Navigation). Eine gängige Realisierungsform dieser Sensoren nutzt den Corioliseffekt: Eine an Federn aufgehängte Masse wird durch einen Antriebsmechanismus in Schwingungsbewegungen in eine erste Richtung versetzt, wodurch bei Anliegen einer Drehrate in einer zweiten Richtung eine Corioliskraft auf die Masse wirkt. Diese Kraft wirkt senkrecht sowohl zur Antriebsrichtung als auch zur anliegenden Drehrate und bewirkt beispielsweise eine Bewegung oder Oszillation der Masse in dieser dritten Richtung.
  • Üblicherweise werden mikromechanische Inertialsensoren durch schwingfähige Feder Masse-Dämpfersysteme realisiert. Speziell die reinen Beschleunigungssensoren werden dabei häufig durch einen Gaseinschluss mit einem bestimmten Innendruck in der Sensorkavität mit einer Gasdämpfung ausgestattet, die das Einschwingverhalten der Messelemente günstig beeinflusst. Ein als Beschleunigungssensor eingesetzter Schwinger benötigt eine niedrige mechanische Güte für seinen bestimmungsgemäßen Betrieb. Eine hinreichende mechanische Dämpfung begünstigt darüber hinaus das Clipping-Verhalten eines Beschleunigungssensors im Überlastfall. Ein Drehgeschwindigkeitssensor hingegen wird üblicherweise bei geringem Innendruck in der Sensorkavität und damit einer hohen mechanischen Güte betrieben. Damit erreicht man geringere erforderliche Antriebsleistungen, einen selektiveren Betrieb gegenüber Störbeschleunigungen und ein geringeres elektromechanisches Rauschen des Sensorelements. Man benötigt also bei Beschleunigungs- und Drehratensensoren unterschiedliche Güten und damit unterschiedliche Innendrücke in der Sensorkavität für optimalen Betrieb.
  • Möchte man Drehraten- und Beschleunigungssensorkerne gemeinsam in einer mikromechanischen Kavität unterbringen, ergibt sich das Problem, dass der Beschleunigungssensor eine niedrige mechanische Güte, also einen hohen Innendruck für seinen bestimmungsgemäßen Betrieb benötigt, während der Drehratensensor eine hohe mechanische Güte, also einen niedrigen Innendruck benötigt. Ein ähnliches Problem tritt auf bei Beschleunigungssensoren, wenn Verkappungstechnologien eingesetzt werden sollen, die zunächst einen niedrigen Innendruck begünstigen und man erst mit zusätzlichem Aufwand eine Gasfüllung vornehmen muss.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung stellt eine Vorrichtung zur Verfügung, welche die oben aufgeführten Einschränkungen überwindet. Erfindungsgemäß wird eine Vorrichtung zur Dämpfung einer Bewegung einer seismischen Masse eines mikromechanischen Inertialsensors vorgeschlagen, welche eingerichtet ist, die seismische Masse in Abhängigkeit von Werten zumindest eines Bewegungsparameters der seismischen Masse mit einer die Bewegung der seismischen Masse dämpfenden Kraft zu beaufschlagen, wobei die Dämpfung elektrisch, also z. B. elektrostatisch und/oder elektromagnetisch und/oder piezoelektrisch, bewirkt wird.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht es in vorteilhafter Weise, Beschleunigungs- und Drehratensensorkerne in einer gemeinsamen Sensorkavität mit für beide Sensortypen optimal einstellbaren Dämpfungen anzuordnen. Dies ist bei einer konventionellen reinen Gasdämpfung nicht realisierbar. Vorzugsweise ersetzt daher die vorliegende Erfindung die Gasdämpfung durch eine elektrostatische, elektromagnetische und/oder piezoelektrische Dämpfung, so dass in jedem Fall ein möglichst geringer Innendruck in der Sensorkavität verwendet wird und die Dämpfung und damit die resultierende Güte der Schwingstrukturen durch geeignet geregelte Kräfte bewirkt wird. Darüber hinaus besteht der Vorteil, dass bei Beschleunigungssensoren in Technologien, die niedrige Innendrücke in der Sensorkavität begünstigen, keine zusätzliche Gasfüllung erforderlich ist, wenn die erfindungsgemäßen Techniken der Dämpfungseinstellung eingesetzt werden. Bei Beschleunigungssensoren sind die erfindungsgemäßen Techniken der Dämpfungseinstellung im Normalbetrieb ohne weiteres einsetzbar. Wenn im Überlastfall die Kräfte, die diese erfindungsgemäßen Techniken aufbringen (insbesondere die elektrostatischen Gegenkopplungskräfte), vom Dämpfungsbedarf überstiegen werden sollten, besteht die Möglichkeit, die Sensorelemente weiter zu miniaturisieren. So können mit hinreichender Miniaturisierung von seismischen Massen und Abständen in den elektrostatischen Dämpfungsstrukturen sogar Hoch-G-Beschleunigungssensoren (z. B. für Airbag-Anwendungen) mit günstigen Clipping Eigenschaften betrieben werden.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen in den Unteransprüchen genannten Merkmalen.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen mit Bezug auf die Zeichnungsfiguren näher erläutert.
  • Kurzbeschreibung der Figuren
  • Es zeigen:
  • 1 eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 2 eine zweite Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 3a eine dritte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
  • 3b eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung, und
  • 3c eine fünfte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • 1 zeigt schematisch die Einbindung einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 zur Dämpfung einer Bewegung einer seismischen Masse 5 eines mikromechanischen Inertialsensors 7, 8 in ein mikromechanisches System. Wie durch den gestrichelten Block angedeutet, ist die Vorrichtung 1 eingerichtet, die seismische Masse 5 in Abhängigkeit von Werten zumindest eines Bewegungsparameters v(a), s(a) der seismischen Masse 5 mit einer die Bewegung der seismischen Masse 5 dämpfenden Kraft F(v, s) zu beaufschlagen. Die Dämpfung erfolgt elektrostatisch und/oder elektromagnetisch und/oder piezoelektrisch.
  • Vorzugsweise ist die zu dämpfende Bewegung der seismischen Masse 5 diejenige Bewegung, welche von der Beschleunigung a verursacht wird, welcher der Inertialsensor 7, 8 ausgesetzt ist. Diese Bewegung unterscheidet sich beispielsweise von der angetriebenen Schwingungsbewegung eines Drehratensensors, welche eine Referenzrichtung für eine zu messende Drehrate unter Ausnutzung des Coriolis-Effekts darstellt. Als Bewegungsparameter kommen beispielsweise die durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachte Auslenkung s(a) der seismischen Masse 5 und/oder die Geschwindigkeit v(a) der durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachten Auslenkung s(a) der seismischen Masse 5 in Frage.
  • Dabei ist es zum einen möglich, dass die Abhängigkeit der die Bewegung der seismischen Masse 5 dampfenden Kraft F(v, s) von den Werten des zumindest einen Bewegungsparameters v(a), s(a) durch die physikalische Wirkungsweise der Dämpfung selbst gegeben ist. Im Falle einer elektrostatischen Dämpfung ist es beispielsweise möglich, dass sich gleichsinnig aufgeladene bewegte und dämpfende Strukturen bei zunehmender Annäherung immer starker abstoßen und somit die dämpfende Kraft F(v, s) mit zunehmender Auslenkung s(a) „automatisch” größer wird. Die Abhängigkeit der dämpfenden Kraft F(v, s) folgt also eigenständig physikalischen Gesetzen, wie zum Beispiel den Gesetzen der Elektrostatik.
  • Es ist aber genauso gut möglich, dass die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zusätzlich eine Detektionseinrichtung 6 umfasst, welche eingerichtet ist, zumindest einen der besagten Bewegungsparameter v(a), s(a) der seismischen Masse (5) aktiv zu detektieren. Über eine Dämpfungseinrichtung 10, welche eingerichtet ist, die seismische Masse 5 in Abhängigkeit von erfassten Werten des zumindest einen detektierten Bewegungsparameters v(a), s(a) mit einer die Bewegung der seismischen Masse 5 dämpfenden Kraft (F(v, s)) zu beaufschlagen, können dann auch Dämpfungsprofile realisiert werden, welche über die Möglichkeiten der zuerst beschriebenen selbstgegengekoppelnden Dämpfungseinstellung hinausgehen.
  • Wenn die dämpfende Kraft F(v, s) von der durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachten Auslenkung s(a) der seismischen Masse 5 abhängig ist, bietet es sich an, dass die dämpfende Kraft F(v, s) umso größer ist, je größer die durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachte Auslenkung s(a) der seismischen Masse 5 ist. Dadurch wird einer Überlastung des Inertialsensors 7, 8 entgegenwirkt. Insbesondere ist es beispielsweise möglich, dass die dämpfende Kraft F(v, s) proportional zu der durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachten Auslenkung s(a) der seismischen Masse (5) ist. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die dämpfende Kraft F(v, s) proportional zum Quadrat der durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachten Auslenkung s(a) der seismischen Masse 5 ist. Dies lässt sich beispielsweise besonders einfach durch die schon oben beschriebene elektrostatische Dämpfung realisieren, denn die Kraft zwischen zwei elektrisch geladenen Körpern ist umgekehrt proportional zum Quadrat des (wachsenden) Abstands der beiden Körper, bzw. die Kraft zwischen beiden Körpern wächst mit Verringerung des Abstandes quadratisch an.
  • In analoger Weise ist es vorteilhaft, wenn die dämpfende Kraft F(v, s) von der durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachten momentanen Geschwindigkeit der Auslenkungsbewegung der seismischen Masse 5 abhängig ist, dass die dämpfende Kraft F(v, s) umso größer ist, je größer die durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachte momentane Geschwindigkeit der Auslenkungsbewegung der seismischen Masse 5 ist. So kann beispielsweise die dämpfende Kraft F(v, s) proportional zur momentanen Auslenkungsgeschwindigkeit v(a) der durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachten Auslenkungsbewegung der seismischen Masse 5 sein. Es ist auch möglich, dass die dämpfende Kraft F(v, s) proportional zum Quadrat der momentanen Auslenkungsge schwindigkeit v(a) der durch die Beschleunigung a des Inertialsensors 7, 8 verursachten Auslenkungsbewegung der seismischen Masse 5 ist.
  • 2 zeigt in einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ein Blockschaltbild einer bevorzugten Regelung der Dämpfungskraft F(v, s). Dieser Regelung liegt ein gegengekoppelter Betrieb eines als Feder-Masse-Dämpfer-System ausgeführten Sensorelements 7, 8 zu Grunde, dessen seismische Masse 5 der zu messenden Beschleunigung a ausgesetzt ist. Diese Beschleunigung a bewirkt im Sensorelement eine Auslenkungsbewegung der seismischen Masse 5. Verschiedene Parameter dieser Auslenkungsbewegung, beispielsweise die Auslenkung s(a) und/oder die Geschwindigkeit v(a) der Auslenkung s(a) der seismischen Masse 5, werden von der Detektionseinrichtung 6 detektiert. Die detektierten Werte der Auslenkungsbewegung werden von der Detektionseinrichtung 6 an die Dämpfungseinrichtung 1, 10 übermittelt, welche über einen Kompensator K eine Kraft F(v, s) erzeugt, welche der momentanen Auslenkungsbewegung der seismischen Masse 5 entgegen gerichtet ist. Die Dämpfungseinrichtung 1, 10 beaufschlagt dann die seismische Masse 5 mit dieser zusätzlichen Dämpfungskraft F(v, s). Diese Dämpfungskraft kann elektrostatisch, piezoelektrisch und/oder elektromagnetisch auf die seismische Masse 5 angewandt werden.
  • 3a zeigt in einer dritten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Realisierung mit einem Beschleunigungssensor 7 und einer auf diesen wirkenden Dämpfungseinrichtung 1, 10, welche in einer Sensorkavität 9 angeordnet sind. Im Fall des Einsatzes von Beschleunigungssensoren 7 werden Kräfte über geeignete Kompensatoren an die seismische Masse 5 zurückgekoppelt. Als Kompensatoren eignen sich hier unter anderem die Typen PDT1 und PIDT1, PT2, es sind aber auch komplexere Typen möglich. Die geringe Dämpfung einer mit niedrigem Gasdruck eingeschlossenen Schwingerstruktur wird damit so weit erhöht, dass man zu einem optimierten Einschwingverhalten kommt. Da man mit Beschleunigungssensoren üblicherweise auch DC-Signale erfassen möchte, kommen im Fall von Beschleunigungssensoren insbesondere elektrostatische und elektromagnetische Kräfte für die Gegenkopplung in Frage.
  • 3b zeigt in einer vierten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Realisierung mit einem Drehratensensor 8 und einer auf diesen wirkenden Dämpfungseinrichtung 1, 10, welche in einer Sensorkavität 9 angeordnet sind. Im Fall des Einsatzes von Drehratensensoren werden häufig mit Beschleunigungssensorstrukturen Coriolisbeschleunigungen gemessen und daraus die Drehraten bestimmt. Zur Dämpfungseinstellung werden auch hier Kräfte über geeignete Kompensatoren an die seismische Masse 5 zurückgekoppelt Als Kompensatoren eignen sich hier z. B. die Typen DT1 und PT2, es sind aber auch hier komplexere Typen möglich. Die mechanische Güte der Schwinger wird bei Drehratensensoren mit diesen Kompensatoren so weit verringert, dass die Resonanzkurve eine Bandbreite er reicht, so dass mindestens die gewünschte Messbandbreite der Drehratensensoren erreicht wird. Die Frequenz der Resonanzüberhöhung wird möglichst wenig beeinflusst. Da man bei Drehratensensoren Coriolisbeschleunigungen nur im Frequenzbereich um deren Schwingfrequenz erfassen möchte, ist es nicht nötig, DC-Signale zu erfassen, so dass hier sowohl elektrostatische, elektromagnetische als auch piezoelektrische Kräfte für die Gegenkopplung gut geeignet sind.
  • 3c zeigt in einer fünften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung eine Realisierung mit einem Beschleunigungssensor 7 und einem Drehratensensor 8 und einer auf diese wirkenden Dämpfungseinrichtung 1, 10, welche gemeinsam in einer Sensorkavität 9 angeordnet sind. Dabei weist die Kavität 9 vorzugsweise einen möglichst geringen, idealerweise keinen Innendruck auf, so dass keine oder nur eine sehr geringe Gasdämpfung der Sensorenelemente auftritt. So kann durch die erfindungsgemäße elektrostatische, elektromagnetische und/oder piezoelektrische Dämpfung eine für beide Sensortypen optimal ein stellbare Dämpfung erzielt werden.
  • Die Bezugszeichen und Verweise auf Figuren in den nachfolgenden Patentansprüchen dienen ausschließlich der leichteren Orientierung in den Anmeldungsunterlagen und sind in keinem Fall in einer Weise zu verstehen, welche den Anspruchsgegenstand auf eine in den Figuren gezeigte oder in der Beschreibung dargelegte Ausführungsform beschränkt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - H.-P. Trah, R. Müller-Fiedler, Mikrosystemtechnik im Automobil, Physik Journal 1 (2002), Nr. 11, S. 39–44 [0004]

Claims (15)

  1. Vorrichtung (1) zur Dämpfung einer Bewegung einer seismischen Masse (5) eines mikromechanischen Inertialsensors (7, 8), wobei die Vorrichtung (1) eingerichtet ist, die seismische Masse (5) in Abhängigkeit von Werten zumindest eines Bewegungsparameters (v(a), s(a)) der seismischen Masse (5) mit einer die Bewegung der seismischen Masse (5) dämpfenden Kraft (F(v, s)) zu beaufschlagen, wobei die Dämpfung elektrisch, insbesondere elektrostatisch und/oder elektromagnetisch und/oder piezoelektrisch, bewirkt wird.
  2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, wobei die Abhängigkeit der die Bewegung der seismischen Masse (5) dämpfenden Kraft (F(v, s)) von den Werten des zumindest einen Bewegungsparameters (v(a), s(a)) durch die physikalische Wirkungsweise der Dämpfung gegeben ist.
  3. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, ferner umfassend eine Detektionseinrichtung (6) zum Detektieren des zumindest einen Bewegungsparameters (v(a), s(a)) der seismischen Masse (5), und eine Dämpfungseinrichtung (10), welche eingerichtet ist, die seismische Masse (5) in Abhängigkeit von erfassten Werten des zumindest einen detektierten Bewegungsparameters (v(a), s(a)) mit einer die Bewegung der seismischen Masse (5) dämpfenden Kraft (F(v, s)) zu beaufschlagen.
  4. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die zu dämpfende Bewegung der seismischen Masse (5) diejenige Bewegung ist, welche von der Beschleunigung (a) verursacht wird, welcher der Inertialsensor (7, 8) ausgesetzt ist.
  5. Vorrichtung (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei einer der Bewegungsparameter (v(a), s(a)) der seismischen Masse (5) die durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachte Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  6. Vorrichtung (1) nach Anspruch 5, wobei die dämpfende Kraft (F(v, s)) umso größer ist, je größer die durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachte Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  7. Vorrichtung (1) nach Anspruch 5 oder 6, wobei die dämpfende Kraft (F(v, s)) proportional zu der durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachten Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  8. Vorrichtung (1) nach Anspruch 5 oder 6, wobei die dämpfende Kraft (F(v, s)) proportional zum Quadrat der durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachten Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  9. Vorrichtung (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei einer der Bewegungsparameter (v(a), s(a)) der seismischen Masse (5) die Geschwindigkeit (v(a)) der durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachten Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  10. Vorrichtung (1) nach Anspruch 9, wobei die dämpfende Kraft (F(v, s)) umso größer ist, je größer die Geschwindigkeit (v(a)) der durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachten Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  11. Vorrichtung (1) nach Anspruch 9 oder 10, wobei die dämpfende Kraft (F(v, s)) proportional zur Geschwindigkeit (v(a)) der durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachten Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  12. Vorrichtung (1) nach Anspruch 9 oder 10, wobei die dämpfende Kraft (F(v, s)) proportional zum Quadrat der Geschwindigkeit (v(a)) der durch die Beschleunigung (a) des Inertialsensors (7, 8) verursachten Auslenkung (s(a)) der seismischen Masse (5) ist.
  13. Vorrichtung (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie mit einem Drehratensensorkern und einem Beschleunigungssensorkern, insbesondere mit der seismischen Masse (5) des Beschleunigungssensors (7) und des Drehratensensors (8), wirkungsgekoppelt ist.
  14. Vorrichtung (1) nach Anspruch 13, wobei der Drehratensensorkern und der Beschleunigungssensorkern gemeinsam in einer mikromechanischen Kavität (9) angeordnet sind.
  15. Vorrichtung (1) nach Anspruch 14, wobei die Kavität (9) einen möglichst geringen, idealerweise keinen Innendruck aufweist, so dass keine oder nur eine sehr geringe Gasdämpfung der Sensorenelemente auftritt.
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