DE102009000475B4 - Verfahren zur Quadraturkompensation - Google Patents

Verfahren zur Quadraturkompensation Download PDF

Info

Publication number
DE102009000475B4
DE102009000475B4 DE102009000475.0A DE102009000475A DE102009000475B4 DE 102009000475 B4 DE102009000475 B4 DE 102009000475B4 DE 102009000475 A DE102009000475 A DE 102009000475A DE 102009000475 B4 DE102009000475 B4 DE 102009000475B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
voltage
quadrature
quadrature voltage
square
compensation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102009000475.0A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE102009000475A1 (de
Inventor
Johannes Classen
Christoph Gauger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102009000475.0A priority Critical patent/DE102009000475B4/de
Priority to US12/645,010 priority patent/US8479555B2/en
Priority to ITMI2010A000070A priority patent/IT1397895B1/it
Priority to JP2010018594A priority patent/JP5665325B2/ja
Publication of DE102009000475A1 publication Critical patent/DE102009000475A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102009000475B4 publication Critical patent/DE102009000475B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/5755—Structural details or topology the devices having a single sensing mass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5726—Signal processing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
DE102009000475.0A 2009-01-29 2009-01-29 Verfahren zur Quadraturkompensation Active DE102009000475B4 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009000475.0A DE102009000475B4 (de) 2009-01-29 2009-01-29 Verfahren zur Quadraturkompensation
US12/645,010 US8479555B2 (en) 2009-01-29 2009-12-22 Method for compensating for quadrature
ITMI2010A000070A IT1397895B1 (it) 2009-01-29 2010-01-21 Procedimento per la compensazione di quadratura
JP2010018594A JP5665325B2 (ja) 2009-01-29 2010-01-29 直交補償方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009000475.0A DE102009000475B4 (de) 2009-01-29 2009-01-29 Verfahren zur Quadraturkompensation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102009000475A1 DE102009000475A1 (de) 2010-08-05
DE102009000475B4 true DE102009000475B4 (de) 2023-07-27

Family

ID=42308724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102009000475.0A Active DE102009000475B4 (de) 2009-01-29 2009-01-29 Verfahren zur Quadraturkompensation

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8479555B2 (enExample)
JP (1) JP5665325B2 (enExample)
DE (1) DE102009000475B4 (enExample)
IT (1) IT1397895B1 (enExample)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009019318A1 (de) * 2009-04-30 2011-03-24 Continental Teves Ag & Co. Ohg Verfahren zum präzisen Messbetrieb eines mikromechanischen Drehratensensors
DE102012200132A1 (de) * 2012-01-05 2013-07-11 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
DE102012224081A1 (de) * 2012-12-20 2014-06-26 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor zum Erfassen einer Drehrate eines Objektes
DE102017213815A1 (de) * 2017-08-08 2019-02-14 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor mit einem Substrat, Herstellungsverfahren für einen Drehratensensor
DE102021202134A1 (de) * 2020-03-25 2021-09-30 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur Bestimmung, Messung und/oder Überwachung von Eigenschaften eines Sensorsystems
US20230332890A1 (en) * 2022-04-18 2023-10-19 Analog Devices, Inc. Quadrature trim vertical electrodes for yaw axis coriolis vibratory gyroscope

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6230563B1 (en) 1998-06-09 2001-05-15 Integrated Micro Instruments, Inc. Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability
WO2003058167A1 (de) 2002-01-12 2003-07-17 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor
DE102004061804A1 (de) 2004-12-22 2006-07-06 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Drehratensensor mit Fehlerunterdrückung
DE69735759T2 (de) 1996-05-31 2006-11-02 The Regents Of The University Of California, Oakland Mikrogefertigter vibrationsdrehgeschwindigkeitskreisel
JP2008122371A (ja) 2006-10-16 2008-05-29 Honeywell Internatl Inc Ｍｅｍｓ慣性センサの力再平衡およびパラメトリック増幅

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19939998A1 (de) * 1999-08-24 2001-03-01 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Vorspannungserzeugung für einen schwingenden Drehratensensor
JP3525862B2 (ja) * 2000-05-22 2004-05-10 トヨタ自動車株式会社 センサ素子及びセンサ装置
US7313958B2 (en) * 2002-01-12 2008-01-01 Robert Bosch Gmbh Rotational rate sensor
DE10350037A1 (de) * 2003-10-27 2005-05-25 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor
DE102006049887A1 (de) * 2006-10-23 2008-04-24 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor mit Quadraturkompensationsstruktur

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69735759T2 (de) 1996-05-31 2006-11-02 The Regents Of The University Of California, Oakland Mikrogefertigter vibrationsdrehgeschwindigkeitskreisel
US6230563B1 (en) 1998-06-09 2001-05-15 Integrated Micro Instruments, Inc. Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability
WO2003058167A1 (de) 2002-01-12 2003-07-17 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor
DE102004061804A1 (de) 2004-12-22 2006-07-06 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Drehratensensor mit Fehlerunterdrückung
JP2008122371A (ja) 2006-10-16 2008-05-29 Honeywell Internatl Inc Ｍｅｍｓ慣性センサの力再平衡およびパラメトリック増幅

Also Published As

Publication number Publication date
IT1397895B1 (it) 2013-02-04
JP5665325B2 (ja) 2015-02-04
ITMI20100070A1 (it) 2010-07-30
US8479555B2 (en) 2013-07-09
US20110153251A1 (en) 2011-06-23
JP2010175543A (ja) 2010-08-12
DE102009000475A1 (de) 2010-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102009000475B4 (de) Verfahren zur Quadraturkompensation
DE102009000606A1 (de) Mikromechanische Strukturen
EP1682853B1 (de) Drehratensensor
EP3153817B1 (de) Schaltungsanordnung und verfahren zur digitalen korrektur von modulationseffekten bei elektromechanischen delta-sigma-modulatoren
DE102009047018B4 (de) Verfahren zum Abgleich eines Beschleunigungssensors und Beschleunigungssensor
EP1478902A1 (de) Drehratensensor
EP2100151A2 (de) Mikromechanischer z-sensor
DE102006046772A1 (de) Anordnung zur Messung einer Drehrate mit einem Vibrationssensor
DE102010029284A1 (de) MEMS-Bauelement
DE102016207887A1 (de) Verfahren zum Verarbeiten von Signalen und Vorrichtung
DE102008054749A1 (de) Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
DE102009028623B4 (de) Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
DE102012219650A1 (de) Mechanisches Bauteil, mechanisches System und Verfahren zum Betreiben eines mechanischen Bauteils
DE102011006453A1 (de) Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
DE102013216935A1 (de) Drehratensensor mit voreingestelltem Quadratur-Offset
DE102004026972A1 (de) Drehratensensor mit Frequenznachführung
DE102010061790A1 (de) Digitale Ansteuerung für ein mikro-elektromechanisches Element
DE102018215528A1 (de) Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
DE102009045432A1 (de) Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
WO1998010258A1 (de) Verfahren zur antriebsanregung von schwingern zur kapazitiven messung von kraft, beschleunigung und/oder drehraten
DE102023208543A1 (de) MEMS-Sensor und Verfahren zur Kompensation von systematischen Messabweichungen bei MEMS-Sensoren
DE102018210487A1 (de) Elektrodenanordnung für ein mikroelektromechanisches System, mikroelektromechanisches System, Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Systems
DE102007062732B4 (de) Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors
DE102008054369B4 (de) Resonator, Drehratensensor mit Resonator, Herstellungsverfahren für einen Resonator und Verfahren zum Einstellen einer Eigenfrequenz eines Resonators
DE102020211308A1 (de) Sensorsystem, Verfahren zur Erzeugung eines Testsignals für einen Sensor eines Sensorsystems

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final