DE102008018827B4 - Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas - Google Patents

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013029593A2 (de) 2011-08-31 2013-03-07 Martin Weisgerber Vorrichtung zur erzeugung von thermodynamisch kaltem mikrowellenplasma
DE102013100617A1 (de) 2013-01-22 2014-07-24 Reinhausen Plasma Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und Handgerät mit der Vorrichtung
DE102013107448A1 (de) 2013-07-15 2015-01-15 Reinhausen Plasma Gmbh Anordnung zur Keimreduktion mittels Plasma
DE102013112316A1 (de) * 2013-11-08 2015-05-13 Epcos Ag Piezoelektrischer Transformator und Gegenelektrode

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202008008980U1 (de) 2008-07-04 2008-09-04 Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas
DE102010027795A1 (de) 2010-04-15 2011-10-20 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Hausgerät mit Plasmagenerator und Verfahren zu seinem Betrieb
CN102523674B (zh) * 2011-11-30 2016-04-20 华中科技大学 手持式等离子体电筒
DE102012103938A1 (de) * 2012-05-04 2013-11-07 Reinhausen Plasma Gmbh Plasmamodul für eine Plasmaerzeugungsvorrichtung und Plasmaerzeugungsvorrichtung
DE102012104137A1 (de) 2012-05-11 2013-11-14 Maschinenfabrik Reinhausen Gmbh Feldgesteuerter Verbundisolator
CN103491699A (zh) * 2013-09-30 2014-01-01 东南大学 一种并联电容式低温等离子体射流产生装置
DE102015113656A1 (de) * 2015-08-18 2017-02-23 Epcos Ag Plasmagenerator und Verfahren zur Einstellung eines Ionenverhältnisses
DE102015119574A1 (de) * 2015-11-12 2017-05-18 Epcos Ag Ansteuerschaltung und Verfahren zur Ansteuerung eines piezoelektrischen Transformators
DE102016102585A1 (de) * 2016-02-15 2017-08-17 Epcos Ag Vorrichtung zur Erzeugung eines Atmosphärendruck-Plasmas
DE102016104490B3 (de) 2016-03-11 2017-05-24 Epcos Ag Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmas
DE102017118652A1 (de) * 2017-08-16 2019-02-21 Hochschule Für Angewandte Wissenschaft Und Kunst Hildesheim/Holzminden/Göttingen Plasmageneratormodul und dessen Verwendung
EP4142434A4 (en) * 2020-04-24 2024-05-22 Sekisui Chemical Co., Ltd. LIGHTING INSTRUMENT AND PLASMA DEVICE

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0761415A2 (de) * 1995-09-01 1997-03-12 Agrodyn Hochspannungstechnik GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken
US6294881B1 (en) * 1997-07-08 2001-09-25 Fujitsu Limited Discharging tube with piezoelectric substrate
DE69815285T2 (de) * 1997-10-07 2004-05-06 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Entladungslampe mit sekundarseite eines piezotransformators als elektrode
WO2007006298A2 (de) * 2005-07-14 2007-01-18 Je Plasmaconsult Gmbh Vorrichtung zur erzeugung eines atmosphärendruck-plasmas

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2830274A (en) * 1954-01-04 1958-04-08 Gen Electric Electromechanical transducer
JP2004237135A (ja) * 2003-02-03 2004-08-26 Nissan Motor Co Ltd 触媒素子及びこれを用いた排気ガス浄化装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0761415A2 (de) * 1995-09-01 1997-03-12 Agrodyn Hochspannungstechnik GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächen-Vorbehandlung von Werkstücken
US6294881B1 (en) * 1997-07-08 2001-09-25 Fujitsu Limited Discharging tube with piezoelectric substrate
DE69815285T2 (de) * 1997-10-07 2004-05-06 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Entladungslampe mit sekundarseite eines piezotransformators als elektrode
WO2007006298A2 (de) * 2005-07-14 2007-01-18 Je Plasmaconsult Gmbh Vorrichtung zur erzeugung eines atmosphärendruck-plasmas
DE102005032890B4 (de) * 2005-07-14 2009-01-29 Je Plasmaconsult Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung von Atmosphärendruck-Plasmen

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013029593A2 (de) 2011-08-31 2013-03-07 Martin Weisgerber Vorrichtung zur erzeugung von thermodynamisch kaltem mikrowellenplasma
DE102013100617A1 (de) 2013-01-22 2014-07-24 Reinhausen Plasma Gmbh Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und Handgerät mit der Vorrichtung
WO2014115050A1 (de) 2013-01-22 2014-07-31 Reinhausen Plasma Gmbh Vorrichtung zur erzeugung eines plasmas und handgerät mit der vorrichtung
DE102013100617B4 (de) * 2013-01-22 2016-08-25 Epcos Ag Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas und Handgerät mit der Vorrichtung
US9788404B2 (en) 2013-01-22 2017-10-10 Epcos Ag Apparatus for producing a plasma and hand-held device having the apparatus
DE102013107448A1 (de) 2013-07-15 2015-01-15 Reinhausen Plasma Gmbh Anordnung zur Keimreduktion mittels Plasma
WO2015008191A1 (de) 2013-07-15 2015-01-22 Reinhausen Plasma Gmbh Anordnung zur keimreduktion mittels plasma
DE102013107448B4 (de) * 2013-07-15 2016-11-24 Relyon Plasma Gmbh Anordnung zur Keimreduktion mittels Plasma
DE102013112316A1 (de) * 2013-11-08 2015-05-13 Epcos Ag Piezoelektrischer Transformator und Gegenelektrode
US10164165B2 (en) 2013-11-08 2018-12-25 Epcos Ag Piezoelectric transformer and counter electrode

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