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Die
Erfindung betrifft einen Tastkopf mit einem Wellenleiter mit konzentrierter,
insbesondere inhomogener Dämpfung.
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Um
in der Messtechnik Spannungen hochohmig und breitbandig abzugreifen
werden zumeist aktive Tastköpfe verwendet. Es gibt sie
in massebezogener oder differenzieller Ausführung. Neben
einem Pufferverstärker verfügen sie zumeist auch über ein
Teilernetzwerk, um den aktiven Spannungsbereich zu erweitern und
die Eingangskapazität zu minimieren. Je größer
die Bandbreite solcher Tastköpfe jedoch wird, umso kompakter
müssen Teilernetzwerk und Tastspitze sein, um Ausbreitungseffekte
elektromagnetischer Wellen gering zu halten. So würde beispielsweise
eine hochohmig abgeschlossene, 1,5 cm lange Tastspitze in Luft bereits
bei einer Frequenz von 5 GHz durch Impedanztransformation einen Kurzschluss
in der Messebene bewirken und damit das zu messende Signal zerstören.
Diese Eigenschaft breitbandiger Tastspitzen steht im direkten Widerspruch
zu einer komfortablen und flexiblen Adaption am Messpunkt, da Messpunkte
häufig schwer zugänglich und mit kurzen Tastspitzen
nicht zu erreichen sind. Um diesen Widerspruch zu vermeiden, werden
seit kurzem aktive Tastköpfe mit Teilernetzwerken vorgestellt,
die einen Wellenleiter als Verlängerungskabel enthalten. Üblicherweise
werden Koaxialleitungen als Wellenleiter eingesetzt.
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Die
große Herausforderung beim Design eines solchen Tastkopfes
mit Wellenleiter besteht nun darin, einen möglichst glatten
Frequenzgang zu erhalten. Da die gesamte Anordnung bei Gleichspannung
hochohmig abgeschlossen sein soll, das Kabel aber bei der oberen
Messfrequenz oft mehrere Wellenlängen lang ist, sind aufwändige
Kompensationsmaßnahmen unbedingt notwendig. Bei dem Einsatz verlustfreier
Wellenleiter ergibt sich jedoch trotz optimal gewählter übriger
Komponenten eine starke verbleibende Welligkeit der Übertragungsfunktion
des Tastkopfes. Ein Einsatz von gedämpften Wellenleitern
reduziert zwar die Welligkeit, aber eine Fertigung von Koaxialleitungen
mit einer starken homogenen Dämpfung ist nicht aufwandsarm
realisierbar.
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So
wird in der Europäischen Patentanmeldung
EP-A 1 605 588 ein Tastkopf
mit gedämpftem Wellenleiter gezeigt. Der Wellenleiter ist
dabei als Koaxialleitung ausgeführt. Die Dämpfung
ist dort durch einen Innenleiter der Koaxialleitung mit ohmschem
Widerstandsbelag realisiert. Die dort gezeigte Lösung ist
jedoch nachteilhaft, da eine deutliche Restwelligkeit verbleibt.
Weiterhin ist die Fertigung von Koaxialleitungen mit Innenleitern
mit ohmschem Widerstandsbelag aufwändig. Der maximale Widerstandsbelag
in koaxiler Ausführung ist auf ca. 1000 Ohm/m begrenzt.
Der Wellenwiderstand der Koaxialleitung kann nicht beliebig eingestellt
werden.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, einen Tastkopf zu schaffen,
welcher beliebige Signale aufnimmt und verlustarm, einkopplungsarm
und unverzerrt an ein Messgerät weiterleitet. Insbesondere
eine geringe Welligkeit der Übertragungsfunktion und eine
niedrige Eingangskapazität und ein hoher Eingangswiderstand
werden dabei angestrebt.
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Die
Aufgabe wird erfindungsgemäß für die Vorrichtung
durch die Merkmale des unabhängigen Anspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der hierauf rückbezogenen
Unteransprüche.
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Der
erfindungsgemäße Tastkopf beinhaltet zumindest
einen Wellenleiter, welcher zumindest einen Streifenleiter beinhaltet.
Der zumindest eine Streifenleiter beinhaltet mehrere konzentrierte
ohmsche Widerstände, welche in festgelegten Abständen über
die Länge des Streifenleiters verteilt sind. So ist eine
Verlängerung des Tastkopfes bei geringer Welligkeit der Übertragungsfunktion
und günstigem Wellenwiderstand gegeben. Aufwändige
Koaxialkabel können so vermieden werden.
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Vorteilhafterweise
stellen die Größe und Verteilung der konzentrierten
ohmschen Widerstände auf dem zumindest einen Streifenleiter
die Übertragungsfunktion des Wellenleiters ein.
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Der
Tastkopf beinhaltet vorzugsweise zumindest ein passives Teilerelement.
Damit ist die Messung von Signalen unterschiedlicher Spannungen möglich,
ohne die Hochfrequenzeigenschaften des Tastkopfes zu verschlechtern.
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Der
Tastkopf beinhaltet bevorzugt zumindest einen Pufferverstärker.
So ist eine Vorverstärkung des Signals vor Eingang in ein
Messgerät möglich. Dies reduziert die Anforderungen
an das Messgerät und verbessert die Qualität des
gemessenen Signals.
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Vorteilhafterweise
sind die mehreren konzentrierten ohmschen Widerstände durch
Strukturierung des Streifenleiters gebildet. So ist eine einfache Fertigung
der Widerstände gegeben. Übergangsstellen, welche
Störungen verursachen, werden so vermieden.
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Bevorzugt
sind die mehreren konzentrierten ohmschen Widerstände als
SMD Widerstände oder als eingebettete Widerstände
realisiert. So kann auf sehr verfügbare Standardbauteile
zur Realisierung zugegriffen werden.
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Der
zumindest eine Streifenleiter ist bevorzugt als eine metallisierte
Schicht auf einem Substrat ausgebildet. Dies erlaubt eine einfache
Fertigung bei großer Flexibilität des Einsatzes.
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Vorteilhafterweise
ist zwischen dem Substrat und der metallisierten Schicht eine leitfähige
Schicht aufgebracht, welche einen höheren ohmschen Widerstand
aufweist. Die mehreren konzentrierten ohmschen Widerstände
sind bevorzugt durch zumindest eine Aussparung der metallisierten
Schicht gebildet. So ist eine Strukturierung der metallisierten Schicht
einfach möglich. Das Verbleiben der leitfähigen
Schicht unterhalb der Aussparung ist eine sehr einfache Möglichkeit,
beliebige Widerstände lokal konzentriert zu fertigen.
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Vorteilhafterweise
ist die zumindest eine Aussparungen der metallisierten Schicht über
die gesamte Breite des Streifenleiters ausgebildet. Die Länge
der zumindest einen Aussparung der metallisierten Schicht bestimmt
bevorzugt die Größe der konzentrierten ohmschen
Widerstände. Auf Grund der geringen Breite des Streifenleiters
gegenüber seiner Länge sind so sehr geringe Toleranzen
der Widerstandsgröße zu erreichen. Eine Längenabweichung der
Aussparung wirkt sich nur gering auf den Widerstand aus.
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Die
zumindest eine Aussparung der metallisierten Schicht ist bevorzugt
durch einen Ätzvorgang erzeugt. So ist die Fertigung der
Aussparungen mit derselben Technologie wie die Fertigung des Streifenleiters
gewährleistet.
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Die
metallisierte Schicht besteht bevorzugt aus Gold oder Kupfer. Ein
sehr hoher Leitwert bei sehr hoher Genauigkeit der Fertigung und
Korrosionsbeständigkeit wird so erreicht.
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Die
leitfähige Schicht besteht bevorzugt aus einer Nickel-Chrom-Legierung.
Ein sehr genau einstellbarer Widerstandsbelag wird so erreicht.
Weiterhin ist die Fertigung einfach und das Material günstig verfügbar.
Der Widerstandsbelag ist außerdem nur wenig von der Temperatur
abhängig.
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Auf
der Rückseite des Substrats ist bevorzugt eine metallisierte
Lage als Masse aufgebracht. So werden störende Einkopplungen
verringert.
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Auf
der Vorderseite des Substrats sind bevorzugt metallisierte Streifen
als Masse aufgebracht. So werden störende Einkopplungen
verringert während gleichzeitig der Aufwand der Metallisierung
der Substratrückseite vermieden wird. Außerdem
bleibt so der kapazitive Belag der Leitung gering.
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Bevorzugt
beinhaltet der Tastkopf zumindest zwei Streifenleiter, welche jeweils
mehrere konzentrierte ohmsche Widerstände beinhalten. Die
konzentrierten ohmschen Widerstände sind bevorzugt symmetrisch
auf den beiden Streifenleitern angeordnet. Die jeweils symmetrischen
ohmschen Widerstände auf den beiden Streifenleitern weisen
bevorzugt die gleiche Größe auf. Dies sorgt für
eine störungsfreie Übertragung des Signals an
das Messgerät. Verzerrungen durch asymmetrische Verteilung
der Widerstände und ungleiche Größen
treten nicht auf.
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Der
Tastkopf beinhaltet bevorzugt zumindest zwei Streifenleiter, welche
zumindest eine Überkreuzung aufweisen. Gegentakteinkopplungen
können kompensiert werden, da sie in jedem Abschnitt zwischen Überkreuzungen
mit wechselndem Vorzeichen eingehen.
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Die
mehreren konzentrierten ohmschen Widerstände können
gleichmäßig über die Länge des zumindest
einen Streifenleiters verteilt sein. Eine einfache Fertigung bei
hinreichend geringer Welligkeit der Übertragungsfunktion
ist so gegeben.
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Alternativ
sind die mehreren konzentrierten ohmschen Widerstände ungleichmäßig über
die Länge des zumindest einen Streifenleiters verteilt.
Eine hochgenaue Einstellbarkeit des Wellenwiderstandes und eine
extrem geringe Welligkeit der Übertragungsfunktion kann
so erreicht werden.
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Die
mehreren konzentrierten ohmschen Widerstände können
dieselbe Größe aufweisen. Eine sehr einfache Fertigung
ist so gewährleistet.
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Vorteilhafterweise
weisen die mehreren konzentrierten ohmschen Widerstände
unterschiedliche Größen auf. Eine sehr genaue
Einstellbarkeit des Wellenwiderstandes und eine sehr geringe Welligkeit der Übertragungsfunktion
kann so erreicht werden.
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Vorteilhafterweise
liegt der Widerstandswert der mehreren konzentrierten ohmschem Widerstände
im Bereich von 1 Ohm bis 100 Ohm, bevorzugt im Bereich von 10 Ohm
bis 50 Ohm, besonders bevorzugt im Bereich von 25 Ohm bis 35 Ohm.
Vorteilhafterweise liegt der Abstand zwischen den mehreren konzentrierten
ohmschen Widerständen auf dem Streifenleiter unterhalb
von 20 mm, bevorzugt unterhalb von 10 mm, besonders bevorzugt unterhalb
von 5 mm. So wird eine optimal geringe Restwelligkeit der Übertragungsfunktion
erreicht.
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Nachfolgend
wird die Erfindung anhand der Zeichnung, in der ein vorteilhaftes
Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt ist, beispielhaft
beschrieben. In der Zeichnung zeigen:
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1 ein
Blockdiagramm eines ersten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Tastkopfes;
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2 ein
Ersatzschaltbild eines ersten beispielhaften Wellenleiters;
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3a den
Aufbau eines ersten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Wellenleiters;
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3b den
Aufbau einer zweiten Ausgestaltung des ersten Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemäßen Wellenleiters;
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4 den
Aufbau eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Wellenleiters;
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5 eine
tabellarische Übersicht der Parameter mehrerer verschiedener
beispielhafter Tastköpfe;
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6 eine
erste Übertragungsfunktion eines bisher üblichen
beispielhaften Wellenleiters;
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7 eine Übertragungsfunktion
eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Wellenleiters;
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8 eine Übertragungsfunktion
eines weiteren Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Wellenleiters;
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9 ein
Blockdiagramm eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Tastkopfes;
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10 ein
Ersatzschaltbild eines dritten Ausführungsbeispiels des
erfindungsgemäßen Wellenleiters.
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Zunächst
wird anhand der 1 und 2 der Aufbau
und die Funktionsweise von herkömmlichen Tastköpfen
gezeigt und in die Funktion des erfindungsgemäßen
Tastkopfes eingeführt. Anhand der 3–11 wird der Aufbau und die Funktionsweise verschiedener
Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen
Tastkopfes erläutert. Identische Elemente wurden in ähnlichen
Abbildungen zum Teil nicht wiederholt dargestellt und beschrieben.
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1 zeigt
ein Blockdiagramm eines ersten Ausführungsbeispiels des
erfindungsgemäßen Tastkopfes. Gezeigt wird ein
beispielhaftes Teilernetzwerk mit passiven Teilerelementen 23, 24,
einem Wellenleiter 15 und einem Pufferverstärker 21.
Dabei bilden die Widerstände 10, 12, 14, 17 und 18 gemeinsam
mit den Kapazitäten 11 und 19 passive
Teilerelemente 23, 24. Der Wellenleiter 15 ist
mit einer Schirmung versehen, welche mit einem Masseanschluss 16 verbunden
ist. Die passiven Teilerelemente 23, 24 sind ebenfalls
mit Masseanschlüssen 13 und 20 verbunden.
Der Widerstand 17 dient als Serienwiderstand. An dem Messpunkt
wird das Signal von dem Tastspitzenanschluss 9 aufgenommen.
Das übermittelte und verstärkte Signal wird über
den Messgeräteanschluss 22 an das Messgerät übertragen.
Ist der hier eingesetzte Wellenleiter 15 ein konventioneller
Wellenleiter, z. B. eine Koaxialleitung, so handelt es sich um einen
herkömmlichen Tastkopf. Handelt es sich bei dem Wellenleiter
um einen erfindungsgemäßen Wellenleiter handelt
es sich um einen erfindungsgemäßen Tastkopf.
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2 zeigt
ein Ersatzschaltbild eines ersten beispielhaften Wellenleiters.
Ein Abschnitt 32 des Wellenleiters wird dabei als Serienschaltung
eines idealen Wellenleiters 33 und eines ohmschen Serienwiderstandes 35 modelliert.
Ein infinitesimales Stück des Wellenleiters wird durch
eine Serieninduktivität und eine Parallelkapazität
nach Masse modelliert. Der Wellenleiter ist aus einer beliebigen
Anzahl solcher Abschnitte zusammengesetzt. Bei einem völlig ungedämpften
Wellenleiter ist der Serienwiderstand gleich Null. Bei dem Wellenleiter,
welcher in dem erfindungsgemäßen Tastkopf eingesetzt
wird, sind die ohmschen Serienwiderstände als diskrete
Bauteile realisiert. Damit erstrecken sie sich nur über
eine sehr kurze Distanz des Wellenleiters.
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In 3a wird
der Aufbau eines ersten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Wellenleiters dargestellt. Ein Streifen 46 aus Widerstandsmaterial
ist auf einem Substrat 50 aufgebracht. Das Substrat 50 verfügt
rückseitig über eine Metallisierung 51,
die als Masse dient. Auf dem Streifen 46 aus Widerstandsmaterial
ist eine Metallisierung 52 für den Streifenleiter 45 aufgebracht.
Durch Aussparungen 53 in der Metallisierung 52 sind
diskrete ohmsche Widerstände realisiert. In der Zeichnung
sind der besseren Übersichtlichkeit halber die Längen
der Aussparungen gegenüber den Längen der Streifenleiter
stark übertrieben dargestellt. Die Aussparungen 53 sind
in diesem Ausführungsbeispiel über die Länge
des Streifenleiters 45 gleichmäßig verteilt
und verfügen über identische Länge.
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In 3b ist
die metallisierte rückseitige Massefläche 51 aus 3a durch
vorderseitig angebrachte metallisierte Massestreifen 51a ersetzt.
Diese Lösung reduziert parasitäre Kapazitäten
gegenüber Masse.
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4 zeigt
den Aufbau eines zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen
Wellenleiters. Die Aussparungen 53 der Metallisierung 52 des
Streifenleiters 45 sind hier ungleichmäßig über der
Länge des Streifenleiters 45 verteilt. Außerdem verfügen
die Aussparungen 53 nicht über dieselbe Länge.
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In 5 wird
eine tabellarische Übersicht der Parameter mehrerer verschiedener
beispielhafter Tastköpfe gezeigt. Die hier dargestellten
Parameter und die Übertragungsfunktionen der zugehörigen Tastköpfe
werden anhand der 6–8 näher
erläutert. L' und C' sind die Induktivitäts- und
Kapazitäts-Beläge des Wellenleiters. Die Widerstände RI_1–RI_8
sind die auf dem Wellenleiter 45 aufgebrachten Widerstände.
Die Widerstände R1–R8 sind gleichmäßig
mit einem Mittenabstand von 10 mm über den Wellenleiter 45 angebracht.
Vor dem ersten und nach dem letzten Widerstand R1–R8 erstrecken sich
je 5 mm Wellenleiter. Damit ergibt sich eine Gesamtlänge
des Wellenleiters 45 von 80 mm. Es wird auch deutlich,
wie sich die Werte R1, R2, R4, R5 und C1 gegenüber einer
ungedämpften Koaxialleitung ändern.
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6 zeigt
eine Übertragungsfunktion des ersten beispielhaften Wellenleiters
aus 1. Die hier gezeigte Übertragungsfunktion
entspricht einem Tastkopf mit einem ungedämpften Koaxialleiter
als Wellenleiter. Die Parameter dieses Tastkopfes sind in 5 in
Spalte (a) gezeigt. Man erkennt deutlich eine starke Welligkeit
durch den nicht reflexionsfrei abgeschlossenen Wellenleiter. Durch
eine Erhöhung der Kapazitäten 11, 19 (C1,
C2) wäre diese Welligkeit zwar zu reduzieren, es ergäbe
sich aber eine hohe Eingangskapazität, die für
aktive Tastköpfe unerwünscht ist und den Vergleich
zu den folgenden Maßnahmen verfälscht.
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Hinzu
kommen die prinzipiellen Nachteile eines koaxialen Wellenleiters.
Diese sind nicht in gängiger, planarer Leiterplattentechnologie
auszuführen. Es können also keine Bauelemente
bestückt werden. Der Übergang auf planare Technologie
erfolgt über Stecker, die mehr oder minder große
Störstellen darstellen. Der Wellenwiderstand ist nicht
frei wählbar und kann im Allgemeinen nicht viel größer
als 100 Ohm sein. Will man Verbinder verwenden, ist man meist auf
50 Ohm beschränkt. Die Anordnung samt Stecker verbraucht
viel Platz, ist teuer und die Kabel samt Schirmgeflecht haben ein
hohes Gewicht. Bei differenzieller Übertragung betragen
die Wellenwiderstände meist 100 Ohm für den differenziellen
Modus und 25 Ohm für den Gleichtaktmodus. Auch hier gibt
es kaum Freiheitsgrade. Längentoleranzen der beiden Einzelkabel
führen zu Konversion und damit schlechter Gleichtaktunterdrückung.
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Führt
man den Wellenleiter aus 1 und 2 statt
als Koaxialkabel als Dünnschichtschaltung auf flexiblem
Grundmaterial, wie z. B. in 3 dargestellt,
aus, so können die oben genannten Probleme elegant umgangen
werden. Durch sehr dünne Schichten im nm-Bereich können
beliebig große Widerstandsbeläge erzeugt werden.
Durch laterale Strukturierung können sogar konzentrierte
Widerstände erzeugt werden. In 7 wird die Übertragungsfunktion
eines Tastkopfes mit einem solchen Wellenleiter gezeigt. Die Dimensionierung
entspricht dabei der Spalte (c) aus 5. Ein Widerstand
von 28 Ohm auf jedem Zentimeter der Leitung dämpft die Welligkeit.
Dadurch ist die Welligkeit (hier ca. 0,1 dB) viel geringer als bei
der koaxialen Variante (ca. 4 dB). Dadurch, dass die Widerstände
einzeln getrimmt werden können, ist die Toleranz des Widerstandsbelags
vernachlässigbar. Damit ist auch die Spannungsübertragungsfunktion
sehr robust gegen Produktionstoleranzen.
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Geht
man noch einen Schritt weiter, sind bei der planaren Schaltung sogar
variable Widerstände realisierbar. 8 zeigt
die Übertragungsfunktion derselben Leitung mit variablen
Widerständen auf jedem Zentimeter der Leitung, entsprechend
der Dimensionierung aus Spalte (d) in 5.
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In
dieser Ausführung ist die verbleibende Welligkeit der Übertragungsfunktion
vernachlässigbar klein (0,04 dB). Um die optimale Dimensionierung zu
finden, ist die Verwendung eines Optimierungsalgorithmus nützlich.
Dieser ist in der Lage, eine optimale Widerstandsverteilung für
dieses hochdimensionale Problem zu finden. Es ergeben sich so glättere Frequenzgänge,
als dies durch anschauliche Dimensionierungsvorschriften möglich
wäre.
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Hinzu
kommen die prinzipiellen Vorteile einer planare Leitung. Eine solche
Leitung ist komplett in planarer Technologie herzustellen. Sie kann
ohne Störstellen an das Signal erzeugende Bauelemente angeschlossen
werden. Der Wellenwiderstand ist nahezu beliebig frei einstellbar.
Unnötig große Kapazitäten durch eine
Schirmmasse entfallen. Die Anordnung auf flexibler Leiterplatte
ist extrem leicht, preisgünstig, Platz sparend und kann
nahezu beliebig mechanisch verlegt werden. Im differenziellen Fall
gibt es keine Längentoleranzen der Einzelleiter und damit verbundene
Modenkonversion.
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In 9 wird
ein Blockdiagramm eines sechsten Ausführungsbeispiels des
erfindungsgemäßen Tastkopfes dargestellt. Hier
wird der erfindungsgemäße Tastkopf für
differentielle Leitungen gezeigt. Die Widerstände 60, 62, 63 bilden
mit der Kapazität 61 ein Teilerelement 80 für
den ersten Tastspitzenanschluss 68. Symmetrisch für
den zweiten Tastspitzenanschluss 69 bilden die Widerstände 64, 65 und 66 mit
der Kapazität 67 ein Teilerelement 82.
Der differentielle Wellenleiter 70, welcher über
eine Schirmung mit einem Masseanschluss 71 verfügt,
leitet die Signale an weitere symmetrische Teilerelemente 81, 83 weiter.
Diese werden durch die Widerstände 72, 73, 76, 77 und
die Kapazitäten 74 und 75 gebildet. Abschließend
wird das differentielle Signal von dem Pufferverstärker 78 verstärkt
und über den Anschluss 79 an das Messgerät
geleitet.
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10 zeigt
den Aufbau des in 10 eingesetzten erfindungsgemäßen
Wellenleiters. Auf dem Substrat 50 sind zwei Streifen 46, 86 einer
hochohmig leitfähigen Schicht aufgebracht. Auf diesen Streifen 46, 86 sind
Metallisierungen 52, 82 der Streifenleiter 45, 85 aufgebracht.
Durch die Aussparungen 53, 83 in den Metallisierungen 52, 82 sind
diskrete ohmsche Widerstände realisiert. In der Zeichnung sind
der besseren Übersichtlichkeit halber die Längen
der Aussparungen gegenüber den Längen der Streifenleiter
stark vergrößert dargestellt. Die Aussparungen
sind im Ausführungsbeispiel über die Länge
des Streifenleiters gleichmäßig verteilt und verfügen über
identische Länge. Die Aussparungen sind bei beiden Streifenleitern 45, 85 auf
gleicher Position und mit gleicher Länge ausgeführt,
um Symmetrie der Signalübertragung zu erzielen. Das Substrat 50 verfügt
zusätzlich vorderseitig über eine Metallisierung 51a,
die als Masseleiter dient. Diese ist für die Funktion im
differentiellen Betrieb nicht notwendig und kann auch entfallen.
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Die
Erfindung ist nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel
beschränkt. Wie bereits erwähnt, können
unterschiedliche Signale übertragen werden. Eine Beschränkung
auf differentielle Signale ist nicht gegeben. Auch ist ein Einsatz
von Wellenleitern mit einer größeren Anzahl an
Leitern denkbar. Eine große Vielfalt an Substratmaterialien
kann darüber hinaus eingesetzt werden. Alle vorstehend
beschriebenen Merkmale oder in den Figuren gezeigten Merkmale sind
im Rahmen der Erfindung beliebig miteinander kombinierbar. Insbesondere
lassen sich die in den 4 und 11 dargestellten
Ausführungsbeispiele miteinander kombinieren.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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