DE102008008830A1 - Magnetischer Näherungssensor - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen magnetischen Näherungssensor zur Erkennung eines magnetisch permeablen Gegenstands. Dieser umfasst mindestens einen Magnetfeldsensor mmit einer Vorzugsachse und mindestens eine Magnetfeldquelle zur Beaufschlagung des Magnetfeldsensors mit einer Feldkomponente senkrecht zu der Vorzugsachse. Erfindungsgemäß ist der Näherungssensor zur Erkennung eines Gegenstands ausgebildet, der auf der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors liegt, beispielsweise durch eine den Magnetfeldsensor und die Magnetfeldquelle umgebende Abschirmung aus einem magnetisch permeablen Material, welche, in Richtung der Vorzugsachse des Magnetfeldsensor gesehen, eine Aussparung aufweist. Bei Annäherung eines permeablen Gegenstands wird das von der Magnetfeldquelle erzeugte Magnetfeld verzerrt und erhält eine Komponente in Richtung der Vorzugsachse des Magnefeldsensors, die vom Magnetfeldsensor registriert werden kann. Der Nährungssensor ist minaturisierbar und mit den in der Halbleitertechnik etablierten Fertigungsmethoden herstellbar.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen magnetischen Näherungssensor.
  • Stand der Technik
  • Näherungssensoren liefern ein Messsignal, welches sich in Abhängigkeit des Abstands zwischen dem Näherungssensor und einem zu erkennenden Gegenstand ändert. Magnetische Näherungssensoren haben gegenüber optischen Sensoren den Vorteil, dass sie auch einen Gegenstand erkennen können, zu dem keine Sichtverbindung besteht. Dabei sind sie robuster und einfacher herzustellen als induktive Sensoren oder Wirbelstromsensoren. Sie haben gegenüber diesen Sensoren den Vorteil, dass sie mit einem magnetischen Gleichfeld arbeiten, welches viele Materialien besser durchdringt. Zudem ist ein Gleichfeld einfacher herzustellen, und das Messergebnis kann ohne Demodulation mit einer Trägerfrequenz direkt weiterverarbeitet werden.
  • Aus der EP 0 234 458 A2 ist ein Näherungssensor bekannt, bei dem die Feldlinien eines Permanentmagneten in Abwesenheit eines magnetisierbaren Gegenstands magnetfeldabhängige Widerstände durchsetzen. Bei Annäherung des Gegenstands werden die Feldlinien zumindest teilweise durch diesen hindurch an den Widerständen vorbei geleitet. Nachteilig spricht dieser Sensor erst bei einem vergleichsweise geringen Abstand an, bei dem bereits erhebliche magnetische Kräfte zwischen dem Sensor und dem Gegenstand wirken.
  • Aus der DE 42 27 831 A1 ist ein Näherungssensor bekannt, bei dem ein Magnetfeldsensor in der neutralen Zone zwischen den Polen eines Permanentmagneten angeordnet ist. Bei Annäherung eines ferromagnetischen Gegenstands verschiebt sich diese neutrale Zone, so dass der Magnetfeldsensor ein Feld registriert. Nachteilig wird das Messergebnis dieses Sensors durch Hystereseeffekte im Material des Gegenstands verfälscht, so dass nur die An- oder Abwesenheit des Ge genstands sowie beim Einsatz zweier Sensoren die Richtung der Annäherung erkennbar sind.
  • Aufgabe und Lösung
  • Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, einen Näherungssensor zur Verfügung zu stellen, bei dem Hystereseeffekte des zu erkennenden Gegenstands einen geringeren Einfluss haben und bei dem die magnetischen Kräfte zwischen dem Sensor und dem Gegenstand geringer sind als nach dem Stand der Technik.
  • Diese Aufgaben werden erfindungsgemäß gelöst durch einen Näherungssensor gemäß Hauptanspruch und eine Anordnung aus solchen Sensoren gemäß Nebenanspruch. Ein Magnetlager, in dem der Sensor oder die Anordnung eine vorteilhafte Anwendung findet, ist Gegenstand eines weiteren Nebenanspruchs.
  • Gegenstand der Erfindung
  • Im Rahmen der Erfindung wurde ein Näherungssensor zur Erkennung eines magnetisch permeablen, insbesondere ferromagnetischen Gegenstands entwickelt. Dieser Näherungssensor umfasst mindestens einen Magnetfeldsensor mit einer Vorzugsachse und mindestens eine Magnetfeldquelle zur Beaufschlagung des Magnetfeldsensors mit einer Feldkomponente senkrecht zu der Vorzugsachse.
  • Erfindungsgemäß ist der Näherungssensor zur Erkennung eines Gegenstands ausgebildet, der auf der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors liegt.
  • Hierbei ist es ausdrücklich nicht erforderlich, dass die Vorzugsachse des Magnetfeldsensors eine Symmetrieachse des Gegenstands ist. Ein an den Näherungssensor angenäherter Gegenstand liegt im Sinne dieser Erfindung bereits auf der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors, wenn die Vorzugsachse durch den Gegenstand hindurchtritt.
  • Es wurde erkannt, dass die Magnetfeldquelle, die den Magnetfeldsensor mit einem Feld beaufschlagt, ein Streufeld in dem Nahbereich des Näherungssensors erzeugt, der auf der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors liegt. Wird ein magne tisch permeabler und hier insbesondere ein ferromagnetischer Gegenstand in diesen Nahbereich gebracht, fließt ein erhöhter Anteil des magnetischen Flusses der Magnetfeldquelle durch diesen Gegenstand. Das Magnetfeld, mit dem der Magnetfeldsensor beaufschlagt wird, wird dadurch verzerrt und erhält einen zusätzlichen Beitrag entlang der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors. Dieser Beitrag kann vom Magnetfeldsensor registriert werden. Er ist umgekehrt proportional zum Abstand zwischen dem Gegenstand und dem Näherungssensor und daher ein Maß für diesen Abstand. Somit kann nicht nur das bloße Vorhandensein des Gegenstands erkannt werden, sondern es kann auch der Abstand zwischen dem Gegenstand und dem Näherungssensor überwacht werden. Diese Messung kann beispielsweise als Eingangsgröße für eine aktive Regelung des Abstands verwendet werden.
  • Da der Gegenstand lediglich in das Streufeld der Magnetfeldquelle eintritt, wird er nicht vom gesamten Fluss der Magnetfeldquelle durchsetzt. In Richtung der Vorzugsachse gesehen verlaufen die magnetischen Feldlinien des Streufelds beiderseits des Magnetfeldsensors, jedoch befindet sich der angenäherte Gegenstand nur auf einer Seite des Magnetfeldsensors. Die Flussdichte im Gegenstand ist daher in dem Bereich, in dem sie linear vom von der Magnetfeldquelle vorgelegten Magnetfeld abhängt, oder sie liegt zumindest näher an diesem linearen Bereich als bei magnetischen Näherungssensoren nach dem Stand der Technik. Dies bewirkt zugleich, dass die Kraftwechselwirkung zwischen dem Näherungssensor und dem Gegenstand minimiert wird.
  • In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung schließen die Vorzugsachse des Magnetfeldsensors und die Feldrichtung der Magnetfeldquelle einen Winkel zwischen 70 und 110 Grad, bevorzugt von 90 Grad, ein. Bei einem Winkel von 90 Grad ist das Signal des Magnetfeldsensors Null, wenn kein magnetisch permeabler Gegenstand in der Nähe des Näherungssensors ist. Da technisch besonders empfindlich festgestellt werden kann, ob ein Signal Null oder nicht Null ist, kann der Beginn einer Annäherung des Gegenstands frühzeitig erkannt werden.
  • Ist der Winkel dagegen wenig verschieden von 90 Grad, wird der Magnetfeldsensor ständig auch mit einer kleinen Feldkomponente entlang seiner Vorzugsachse beaufschlagt. Dementsprechend liefert er auch bei Abwesenheit des Gegenstands ständig ein kleines Messsignal, das genutzt werden kann, um die Funktion des Magnetfeldsensors zu überwachen. Ein Messsignal von Null zeigt in diesem Fall einen Ausfall des Sensors an. Das bei Abwesenheit des Gegenstands und funktionierendem Sensor gelieferte kleine Signal wachst bei Annäherung des Gegenstands umgekehrt proportional zum abnehmenden Abstand zwischen dem Gegenstand und dem Näherungssensor.
  • Vorteilhaft schließt die Vorzugsachse mit einer Grenzfläche des Magnetfeldsensors einen Winkel zwischen 70 und 110 Grad, bevorzugt von 90 Grad, ein. Bei einem gegebenen Abstand zwischen Gegenstand und Näherungssensor sind dann die Verzerrung des Magnetfeldes aus der Magnetfeldquelle und damit auch das vom Magnetfeldsensor registrierte Signal am größten.
  • In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist der Magnetfeldsensor magnetoresistiv und hier insbesondere ein GMR-Sensor. Diese Sensoren, insbesondere GMR-Sensoren sind besonders empfindlich im Bereich kleiner Magnetfelder, wie sie entlang der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors entstehen, wenn das Magnetfeld aus der Magnetfeldquelle durch Anwesenheit des Gegenstands verzerrt wird. GMR-Sensoren geraten jedoch schon bei vergleichsweise geringen magnetischen Flüssen in die Sättigung. In der Situation gemäß EP 0 234 458 A2 , wo die magnetfeldabhängigen Widerstände bei Abwesenheit des Gegenstands im Wesentlichen den vollen magnetischen Fluss der Magnetfeldquelle messen, könnten diese Widerstände daher nicht ohne Weiteres durch GMR-Sensoren ersetzt werden.
  • Vorteilhaft vermag die Magnetfeldquelle eine Feldstärke von 0,5 Tesla oder mehr, bevorzugt von 1 Tesla oder mehr, an mindestens einem Ort innerhalb des Magnetfeldsensors zu erzeugen. Insbesondere bei einer senkrechten Ausrichtung von Magnetfeld und Vorzugsachse des Magnetfeldsensors stört ein stärkeres Magnetfeld die Messung des Magnetfeldsensors nicht. Es führt aber dazu, dass bei einem gegebenen Abstand des Gegenstands die durch die Feldverzerrung bewirkte Magnetfeldkomponente entlang der Vorzugsachse größer wird. Damit wird die Genauigkeit der Abstandsmessung gesteigert. Bei einer gegebenen Nachweisempfindlichkeit des Magnetfeldsensors wachst der maximale Abstand, in dem der Gegenstand noch vom Näherungssensor erfasst werden kann.
  • Als Magnetfeldquelle ist insbesondere ein Permanentmagnet geeignet, da er keine Energiezufuhr benötigt. Es ist insbesondere ein Permanentmagnet geeignet, der eine Verbindung enthält, die mindestens ein ferromagnetisches Metall und mindestens ein Seltenerdmetall umfasst. Derartige Magnete können die größte magnetische Flussdichte erzeugen. Die Verbindung kann beispielsweise eine Neodym-Eisen-Bor- oder eine Samarium-Kobalt-Verbindung sein. Handelsübliche Magnete aus NdFeB haben eine Remanenzflussdichte von 1,2 T, 1,5 T sind aber möglich. Auch mit Samarium-Kobalt (SmCo) sind sehr hohe Remanenzflussdichten möglich, sie sind außerdem temperaturbeständiger. Dafür sind sie teurer und haben eine etwas geringere Energiedichte als Magnete aus NdFeB.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind mindestens ein Magnetfeldsensor und mindestens eine Magnetfeldquelle auf unterschiedlichen Seiten eines Substrates angeordnet, welches insbesondere Silizium enthalten kann. Dann können die halbleitertechnischen Methoden der Massenfertigung auch zur Herstellung großer Stückzahlen miniaturisierter erfindungsgemäßer Näherungssensoren verwendet werden. Insbesondere kann der Näherungssensor dann als integrierte Schaltung ausgebildet sein. Der begrenzende Faktor für die Miniaturisierung ist in aller Regel die Magnetfeldquelle.
  • Es ist aber auch beispielsweise eine handelsübliche Platine als Substrat geeignet.
  • Die Magnetfeldquelle und der Magnetfeldsensor können auch ohne dazwischen angeordnetes Substrat unmittelbar benachbart angeordnet und beispielsweise miteinander verklebt sein.
  • In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung umfasst der Näherungssensor eine den Magnetfeldsensor und die Magnetfeldquelle umgebende Abschirmung aus einem magnetisch permeablen, insbesondere ferromagnetischen Material, welche in Richtung der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors gesehen eine Aussparung aufweist. Besonders bevorzugt ist das Material der Abschirmung hochpermeabel. Die Wirkung setzt jedoch tendenziell bereits ein, sobald das Material magnetische Feldlinien besser konzentriert als Luft.
  • Durch die Abschirmung wird der Einfluss externer Störmagnetfelder auf das Messergebnis unterdrückt. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn der Näherungssensor in der Nähe anderer magnetischer Teile, wie zum Beispiel elektromagnetischer Spulen aktiv geregelter Magnetlager, angeordnet ist.
  • Zugleich lässt sich mit einer solchen Abschirmung auch der Arbeitspunkt des Näherungssensors beeinflussen: Je permeabler die Abschirmung ist, desto größer ist der Anteil des magnetischen Flusses aus der Magnetfeldquelle, der durch die Abschirmung kurzgeschlossen wird und einen im Nahbereich des Näherungssensors eventuell vorhandenen Gegenstand gar nicht erreicht. Die Abschirmung verringert somit die Empfindlichkeit des Näherungssensors.
  • Ist beispielsweise durch die erwähnte Massenherstellung eine große Anzahl identischer Näherungssensoren auf einem Siliziumwafer als Substrat hergestellt worden, so können diese nach dem Aufteilen des Siliziumwafers in einzelne Näherungssensoren durch Einbringen in unterschiedlich permeable und/oder unterschiedlich dicke Abschirmungen nachträglich in ihrer Empfindlichkeit verändert werden. Es ist kostengünstiger, die Empfindlichkeit auf diese Weise durch einen rein mechanischen Akt zu verändern, als die Parameter des halbleitertechnischen Herstellungsprozesses immer wieder anzupassen.
  • Die Magnetfeldquelle, der Magnetfeldsensor und gegebenenfalls das Substrat können beispielsweise in der Abschirmung vergossen sein, etwa mit einem Harz.
  • Die den Magnetfeldsensor und die Magnetfeldquelle umgebende Abschirmung aus einem magnetisch permeablen Material, welche in Richtung der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors gesehen eine Aussparung aufweist, bildet den Näherungssensor zur Erkennung eines Gegenstands aus, der auf der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors liegt. In Richtung der Vorzugsachse gesehen wird der magnetische Fluss aus der Magnetfeldquelle nicht durch die Abschirmung kurzgeschlossen. Stattdessen bildet er ein Streufeld. Ein permeabler Gegenstand, der in dieses Streufeld eintritt, verzerrt das Magnetfeld, mit dem der Magnetfeldsensor beaufschlagt wird.
  • Ein Näherungssensor zur Erkennung eines magnetisch permeablen Gegenstands, umfassend mindestens einen Magnetfeldsensor mit einer Vorzugsachse und mindestens eine Magnetfeldquelle zur Beaufschlagung des Magnetfeldsensors mit einer Feldkomponente senkrecht zu der Vorzugsachse, gekennzeichnet durch eine den Magnetfeldsensor und die Magnetfeldquelle umgebende Abschirmung aus einem magnetisch permeablen Material, welche in Richtung der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors gesehen eine Aussparung aufweist, ist somit ebenfalls ein erfindungsgemäßer Näherungssensor.
  • Im Rahmen der Erfindung wurde eine Anordnung aus mindestens zwei erfindungsgemäßen Näherungssensoren entwickelt. Diese Anordnung weist erfindungsgemäß eine Auswerteeinheit auf, welche die Differenz der Messsignale der Näherungssensoren zu bestimmen vermag. Es wurde erkannt, dass durch die Differenzbildung der Einfluss von Nichtlinearitäten der Magnetfeldsensoren stark vermindert wird. Zugleich werden Gleichtaktstörungen unterdrückt. Gleichtaktstörungen sind Störungen, die beide Sensoren gleichermaßen betreffen, wie etwa Schwankungen der Versorgungsspannung.
  • Im Rahmen der Erfindung wurde ein Magnetlager, umfassend einen Stator und einen Rotor, fortentwickelt. Die erfindungsgemäße Fortentwicklung besteht darin, dass mindestens ein erfindungsgemäßer Näherungssensor oder mindestens eine erfindungsgemäße Anordnung nach Anspruch 13 relativ zum Stator fixiert angeordnet ist. Das Messsignal kann in einem solchen Magnetlager als Eingangsgröße für dessen aktive Regelung herangezogen werden. Vorteilhaft sind hier der oder die Näherungssensoren abgeschirmt, so dass sie nicht oder nur unwesentlich durch die elektromagnetischen Spulen der aktiven Regelung beeinflusst werden.
  • Die Ausgangssignale der erfindungsgemäßen Näherungssensoren können auf die gleiche Weise für die Zwecke der aktiven Regelung ausgewertet werden wie die Ausgangssignale von Wirbelstromsensoren gemäß Stand der Technik. Somit lässt sich die erfindungsgemäße Anordnung beispielsweise herstellen, indem bestehende Näherungssensoren durch erfindungsgemäße ersetzt werden.
  • Spezieller Beschreibungsteil
  • Nachfolgend wird der Gegenstand der Erfindung anhand von Figuren näher erläutert, ohne dass der Gegenstand der Erfindung dadurch beschränkt wird. Es ist gezeigt:
  • 1: Ausführungsbeispiel für den erfindungsgemäßen Näherungssensor ohne (Teilbild a) und mit (Teilbild b) Gegenstand im Nahbereich.
  • 2: Fotografie zweier erfindungsgemäßer Näherungssensoren.
  • 3: Fotografie eines erfindungsgemäßen Magnetlagers.
  • 4: Schaltungsaufbau eines GMR-Sensors.
  • 5: Abstandskennlinie des ersten Prototyps des erfindungsgemäßen Näherungssensors.
  • 6: Vergleich der Abstandskennlinien zweier erfindungsgemäßer Näherungssensoren.
  • 1a zeigt ein Ausführungsbeispiel für den erfindungsgemäßen Näherungssensor X in Schnittzeichnung. Ein GMR-Sensor 1, dessen Vorzugsachse mit einem langen gestrichelten Pfeil dargestellt ist, und ein Permanentmagnet 2, dessen Feldrichtung mit einem kurzen fettgedruckten Pfeil dargestellt ist, sind gegenüber liegend auf unterschiedlichen Seiten eines Substrats 3 angeordnet. Das Substrat ist in diesem Ausführungsbeispiel ein Stück aus einer handelsüblichen Platine.
  • Das Magnetfeld des Permanentmagneten 2 steht senkrecht auf der Vorzugsrich tung des GMR-Sensors 1. Der Permanentmagnet 2 besteht aus einer Neodym-Eisen-Bor-Legierung und liefert auf seiner Oberfläche eine magnetische Flussdichte von 1,2 T. Die Vorzugsachse des GMR-Sensors 1 steht senkrecht auf der Grenzfläche des GMR-Sensors 1 am rechten Rand von 1a.
  • GMR-Sensor, Permanentmagnet und Substrat sind innerhalb einer permeablen Abschirmung aus Baustahl S235 angeordnet. Diese Abschirmung hat in Richtung der Vorzugsachse des GMR-Sensors gesehen eine Aussparung. Zusätzlich weist sie in 1a nicht sichtbare Schlitze 41 auf, die das Substrat 3 aufnehmen. Die Linie 6a skizziert beispielhaft den Verlauf einer derjenigen Feldlinien des von dem Permanentmagneten 2 erzeugten Magnetfelds, die von der Abschirmung 4 kurzgeschlossen werden.
  • In 1b ist dargestellt, wie sich die Situation ändert, wenn sich ein magnetisch permeabler Gegenstand 5 im Nahbereich des Näherungssensors befindet. Die Linie 6b skizziert beispielhaft den Verlauf einer Feldlinie, die nicht durch die Abschirmung 4 kurzgeschlossen wird, sondern zum Streufeld im Nahbereich des Näherungssensors beiträgt. Diese Feldlinie 6b tritt beim Einbringen des Gegenstands 5 in das Streufeld durch den Gegenstand 5 hindurch. Dadurch wird ihr Verlauf innerhalb des Näherungssensors verzerrt. Sie durchtritt den GMR-Sensor 1 jetzt nicht mehr nur senkrecht zu dessen Vorzugsrichtung, sondern weist auch eine Komponente in dieser Vorzugsrichtung auf. Diese Komponente kann vom GMR-Sensor registriert und als Signal für die Annäherung des Gegenstands 5 ausgewertet werden.
  • 2 ist eine Fotografie zweier erfindungsgemäßer Näherungssensoren X. In dieser Perspektive sind die Schlitze 41 in den Abschirmungen 4 zur Aufnahme des Substrats 3 sichtbar. Die Abschirmungen 4 weisen im hinteren Bereich, in dem die Zuleitungen eintreten, Außengewinde 42 zur Befestigung der Näherungssensoren am Einsatzort auf. Der GMR-Sensor 1 ist bei beiden Näherungssensoren X sichtbar, der Kontrast der Aufnahme reicht jedoch nicht aus, um den Permanentmagneten 2 oder das Substrat 3 zu erkennen.
  • Die Abschirmung 4 des linken in 2 gezeigten Näherungssensors besteht aus Messing, die Abschirmung 4 des rechten in 2 gezeigten Näherungssensors besteht aus Baustahl S235.
  • 3 ist eine Fotografie eines erfindungsgemäßen Magnetlagers in Aufsicht. Konzentrisch zu einem Basisträger 10, der aus zwei übereinander liegenden Metallringen besteht, ist ein Luftspaltrohr 11 angeordnet, in dem sich der Rotor 12 befindet. Das Magnetlager ist radial aktiv geregelt. Als Stellglieder in dieser Regelung dienen vier elektromagnetische Spulen 13, die entlang des Innenumfangs des Basisträgers 10 verteilt sind. Die Spulen 13 einschließlich der Polschuhe, auf die sie gesteckt sind, bilden den Stator des Magnetlagers. Der Stator enthält zusätzlich auch Permanentmagnete; diese sind in 3 nicht zu sehen. Sie sind für das Funktionieren des Magnetlagers nicht zwingend erforderlich, sondern geben einen Standardwert für die magnetische Flussdichte vor, der durch die Spulen 13 dann verringert oder verstärkt werden kann. Je näher dieser Standardwert am Durchschnittswert der magnetischen Flussdichte liegt, die während des Betriebs des Magnetlagers benötigt wird, desto weniger Strom wird für den Betrieb der Spulen 13 benötigt. Dadurch wird eine Erwärmung des Magnetlagers vorteilhaft minimiert.
  • Zwischen jeweils zwei Spulen 13 ist ein erfindungsgemäßer Näherungssensor X angeordnet, von dem jeweils nur die Abschirmung 4 zu sehen ist. Während die Abschirmung 4 bei den in 2 gezeigten Sensoren zylindrisch ist, ist sie hier quaderförmig. Dies hat keinen wesentlichen Einfluss auf die Funktion der Sensoren, jedoch sind quaderförmige Sensoren einfacher zu befestigen, hier mit einer Madenschraube.
  • Die Vorzugsachse des GMR-Sensors 1 eines jeden Näherungssensors X zeigt auf die Drehachse des Rotors 12. Die Näherungssensoren X überwachen somit jeweils den Abstand des Rotors 12 zum jeweiligen Sensor X und damit auch zur Wandung des Luftspaltrohrs 11. Der Abstand des Rotors 12 zu jedem Näherungssensor X beträgt im Betrieb etwa 1 mm. Der Rotor kann bis zu einem Abstand von etwa 4 mm vor einem Näherungssensor X erfasst werden. Die Näherungssensoren X sind mit einer Auswerteeinheit verbunden, die die Differenz der Messsignale der Näherungssensoren X auswertet.
  • 4 zeigt den Schaltungsaufbau eines GMR-Sensors 1. Der GMR-Sensor 1 besteht aus einer Brückenschaltung von vier identischen magnetfeldabhängigen Widerständen, von denen zwei magnetisch abgeschirmt sind und somit nicht mehr auf äußere Magnetfelder reagieren. Er hat vier Anschlüsse a, b, c und d. Der Anschluss a liegt an Versorgungsspannung Uin und der Anschluss b an Masse. Bei einem anliegenden Magnetfeld entsteht zwischen den Anschlüssen c und d ein Differenzsignal Uout.
  • Für die Signalauswertung im in 3 dargestellten Magnetlager werden die Differenzsignale in der Auswerteeinheit zunächst in massebezogene Signale umgewandelt. Diese Signale werden anschließend in einer mit Potentiometern justierbaren Korrekturschaltung, die herstellungsbedingte Unterschiede zwischen den Kennlinien nominell identischer GMR-Sensoren ausgleicht, aneinander angeglichen. Differenzen zwischen den solchermaßen angeglichenen Signalen zweier gegenüber liegender Näherungssensoren X sind dann jeweils ein Maß für die Position des Rotors 12 auf der Verbindungsachse zwischen diesen beiden Sensoren. Hieraus wird die Position des Rotors 12 auf der Achse zwischen zwei gegenüber liegenden Spulen 13 mit einer weiteren analogen Schaltung errechnet, indem die Differenzsignale der beiden Sensorpaare addiert bzw. subtrahiert werden. Die Verbindungsachsen zwischen den Näherungssensoren X schließen mit den Achsen zwischen gegenüber liegenden Spulen 13 einen Winkel von 45 Grad ein.
  • Die Korrekturschaltung in der Auswerteeinheit ist in diesem Ausführungsbeispiel so eingestellt, dass jeder GMR-Sensor 1 und damit auch jeder Näherungssensor X ein Signal zwischen 0 und 1 Volt liefert. Durch die Umrechnung auf die Achse zwischen zwei gegenüber liegenden Spulen 13 entsteht hieraus ein Signal zwischen –√2 und +√2 Volt.
  • Induktive und Wirbelstromsensoren, die üblicherweise eine Trägerfrequenz von 1 MHz haben, können auf Grund des Skineffekts den Rotor 12 nicht durch das Luftspaltrohr hindurch erkennen.
  • 5 zeigt die Abstandskennlinie des ersten Prototyps des erfindungsgemäßen Näherungssensors. Dieser Prototyp enthält einen GMR-Sensor 1 des Typs NVE-AA 004-02 mit einer Sättigungsflussdichte von 3,5 mT und einen auf dessen IC-Gehäuse geklebten Permanentmagneten 2. Der Permanentmagnet ist 5 mm × 5 mm × 2 mm groß und hat einen Magnetisierungsgrad von N38, was einer remanenten Flussdichte von etwa 1,2 T entspricht. Dies ist etwa das 340-Fache der Sättigungsflussdichte des GMR-Sensors 1. Der GMR-Sensor ist in dieser Anordnung funktionsfähig, weil seine Vorzugsrichtung senkrecht auf der Feldrichtung des Permanentmagneten 2 steht.
  • In 5 ist die Ausgangsspannung Uout des GMR-Sensors als Funktion des Abstandes des Nährungssensors zu einem Stück Baustahl S235 aufgetragen, das hier als permeabler Gegenstand 5 fungiert. Das Stück Baustahl wurde dem Näherungssensor entlang der Vorzugsachse des GMR-Sensors 1 sukzessive genähert. Bereits ab einem Abstand von 5 mm vermag der Näherungssensor die Anwesenheit des Baustahls zu registrieren. Sodann beschleunigt sich der Anstieg von Uout mit abnehmendem Abstand, bis er sich unterhalb eines Abstandes von etwa 1,5 mm wieder verlangsamt.
  • 6 zeigt Abstandskennlinien zweier verschiedener erfindungsgemäßer Näherungssensoren 1 und 2. Bei beiden Sensoren umgibt eine Abschirmung aus Messing, die in Richtung der Vorzugsachse des GMR-Sensors 1 gesehen eine Aussparung aufweist, den GMR-Sensor 1 und den Permanentmagneten 2. Aufgetragen ist jeweils das Messsignal des Näherungssensors in Abhängigkeit des Abstands zum Ende einer Mikrometerschraube, die zugleich als ferromagnetischer Gegenstand 5 und als Messinstrument für den Abstand zu diesem Gegenstand dient. In der Legende geben die Zahlen 1 und 2 an, ob es sich um den ersten oder um den zweiten Sensor handelt. Die Zeichen + und – geben in der Legende an, ob der Abstand zum Ende der Mikrometerschraube bei der Messung gerade erhöht oder verringert wird. Für jeden Sensor ist somit eine Abweichung zwischen seinen mit „+" und „–" bezeichneten Kurven ein Maß dafür, in welchem Maße die Messung durch Hystereseeffekte beeinflusst wird.
  • Es zeigt sich, dass die Kennlinien der beiden Näherungssensoren deutlich voneinander abweichen. Dies ist zum Einen durch herstellungsbedingte Abweichungen der Kennlinien nominell identischer GMR-Sensoren 1 bedingt und zum Anderen durch Schwankungen bei der hier noch manuellen Vereinigung von GMR-Sensor 1 und Permanentmagnet 2 zu einem Näherungssensor. So hängt die Kennlinie beispielsweise empfindlich von der Positionierung des Permanentmagneten 2 relativ zum GMR-Sensor 1 ab.
  • Die Kurve „2K1" verdeutlicht, wie mit der oben genannten Korrekturschaltung in der Auswerteeinheit der erfindungsgemäßen Anordnung die Kennlinie des zweiten Näherungssensors an die des ersten Näherungssensors angepasst werden kann. Dazu wird die Kennlinie des zweiten Näherungssensors mit einem konstanten Faktor multipliziert, und es wird ein konstanter Offset zu ihr addiert. In einem Abstandsbereich zwischen etwa 0,4 und etwa 1,0 mm lässt sich eine gute Übereinstimmung der beiden Kennlinien erzielen.
  • Wird die Abschirmung 4 aus Messing durch eine aus ferromagnetischem Stahl ersetzt, so nimmt die Signalstärke deutlich ab, da ein größerer Anteil des magnetischen Flusses des Permanentmagneten 2 durch die Abschirmung 4 kurzgeschlossen wird und nicht mehr zum Messsignal beiträgt. Im Gegenzug wird die Messung unempfindlicher gegen äußere Störungen.
  • Obwohl, wie zuvor gesehen, die Abstandskennlinie eines jeden Näherungssensors hyperbolisch ist, ist die Differenz zwischen den Signalen zweier Näherungssensoren in guter Näherung linear, sofern wie oben beschrieben die herstellungsbedingten Unterschiede zwischen den Näherungssensoren ausgeglichen wurden. Experimentell konnte eine Anordnung realisiert werden, in der die Differenz über einen Abstandsbereich von 1 mm hinweg linear ist. Für die Anwendung in einem Magnetlager muss die Differenz nicht über den gesamten mechanischen Bewegungs bereich des Rotors linear sein. Es reicht aus, wenn sie um die angestrebte Ruhelage des Magnetlagers herum linear ist. Es ist für eine aktive Regelung des Magnetlagers wichtig, dass die Differenz zwischen den Signalen zweier Näherungssensoren gerade in diesem Bereich linear ist. Nichtlineare Effekte führen zu Oberwellen und daher zu Schwingungen der Regelung. Mit der experimentell realisierten Anordnung konnte das Magnetlager, dessen Ruhelage a priori instabil ist, erfolgreich zum Hängen (Schweben) gebracht werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - EP 0234458 A2 [0003, 0015]
    • - DE 4227831 A1 [0004]

Claims (14)

  1. Näherungssensor zur Erkennung eines magnetisch permeablen, insbesondere ferromagnetischen Gegenstands, umfassend mindestens einen Magnetfeldsensor mit einer Vorzugsachse und mindestens eine Magnetfeldquelle zur Beaufschlagung des Magnetfeldsensors mit einer Feldkomponente senkrecht zu der Vorzugsachse, dadurch gekennzeichnet, dass der Näherungssensor zur Erkennung eines Gegenstands ausgebildet ist, der auf der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors liegt.
  2. Näherungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorzugsachse des Magnetfeldsensors und die Feldrichtung der Magnetfeldquelle einen Winkel zwischen 70 und 110 Grad, bevorzugt von 90 Grad, einschließen.
  3. Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorzugsachse des Magnetfeldsensors mit einer Grenzfläche des Magnetfeldsensors einen Winkel zwischen 70 und 110 Grad, bevorzugt von 90 Grad, einschließt.
  4. Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch einen magnetoresistiven Magnetfeldsensor.
  5. Näherungssensor nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch einen GMR-Sensor als Magnetfeldsensor.
  6. Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Magnetfeldquelle, die eine Feldstärke von 0,5 Tesla oder mehr, bevorzugt von 1 Tesla oder mehr, an mindestens einem Ort innerhalb des Magnetfeldsensors zu erzeugen vermag.
  7. Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch mindestens einen Permanentmagneten als Magnetfeldquelle.
  8. Näherungssensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Permanentmagnet eine Verbindung enthält, die mindestens ein ferromagnetisches Metall und mindestens ein Seltenerdmetall umfasst.
  9. Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Magnetfeldsensor und mindestens eine Magnetfeldquelle auf unterschiedlichen Seiten eines Substrates angeordnet sind.
  10. Näherungssensor nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch ein Substrat enthaltend Silizium.
  11. Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass er als integrierte Schaltung ausgebildet ist.
  12. Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch eine den Magnetfeldsensor und die Magnetfeldquelle umgebende Abschirmung aus einem magnetisch permeablen, insbesondere ferromagnetischen Material, welche in Richtung der Vorzugsachse des Magnetfeldsensors gesehen eine Aussparung aufweist.
  13. Anordnung aus mindestens zwei Näherungssensoren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch eine Auswerteeinheit, welche die Differenz der Messsignale der Näherungssensoren zu bestimmen vermag.
  14. Magnetlager, umfassend einen Stator und einen Rotor, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Näherungssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 12 oder mindestens eine Anordnung nach Anspruch 13 relativ zum Stator fixiert angeordnet ist.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2532981B2 (de) * 1974-07-26 1977-03-24 Sony Corp., Tokio Magnetfeldfuehlvorrichtung
US4039936A (en) * 1976-04-05 1977-08-02 International Business Machines Corporation Interleaved magnetoresistive displacement transducers
EP0234458A2 (de) 1986-02-19 1987-09-02 Alcatel SEL Aktiengesellschaft Näherungssensor
DE4227831A1 (de) 1992-07-09 1994-01-13 Siemens Ag Näherungsschalter mit einem Magnetfeld-Sensor
DE19851839A1 (de) * 1998-04-23 1999-11-11 Mitsubishi Electric Corp Magnetischer Detektor

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3634925A1 (de) * 1986-10-14 1988-04-21 Knuefelmann Manfred Drehzahlmessvorrichtung, insbesondere fuer antiblockiervorrichtungen fuer fahrzeuge, mit magnetoresistivem sensor
EP0578261A1 (de) * 1992-07-09 1994-01-12 Siemens Aktiengesellschaft Näherungsschalter mit einem Magnetfeld-Sensor
FR2775772B1 (fr) * 1998-03-06 2000-05-26 Crouzet Automatismes Detecteur de proximite utilisant des magnetoresistances
AU2002363481A1 (en) * 2001-11-05 2003-05-19 Dana Corporation Minature magnetic device package
KR100590211B1 (ko) * 2002-11-21 2006-06-15 가부시키가이샤 덴소 자기 임피던스 소자, 그를 이용한 센서 장치 및 그 제조방법
JP4969026B2 (ja) * 2004-06-15 2012-07-04 三菱電機株式会社 磁気検出装置
JP4561613B2 (ja) * 2005-11-28 2010-10-13 株式会社デンソー 磁気センサ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2532981B2 (de) * 1974-07-26 1977-03-24 Sony Corp., Tokio Magnetfeldfuehlvorrichtung
US4039936A (en) * 1976-04-05 1977-08-02 International Business Machines Corporation Interleaved magnetoresistive displacement transducers
EP0234458A2 (de) 1986-02-19 1987-09-02 Alcatel SEL Aktiengesellschaft Näherungssensor
DE4227831A1 (de) 1992-07-09 1994-01-13 Siemens Ag Näherungsschalter mit einem Magnetfeld-Sensor
DE19851839A1 (de) * 1998-04-23 1999-11-11 Mitsubishi Electric Corp Magnetischer Detektor

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
tm-Technisches Messen 68 (2001) 6, S. 269-279 *

Also Published As

Publication number Publication date
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