DE102008000825A1 - Keramik-Metall-Verbundsubstrat - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Keramik-Metall-Verbundsubstrat (1) mit einer Keramikschicht (3), einer Kupferleiterbahn (5, 7, 9, 11 und 16), einem Leistungsbauelement (4, 6, 8, 10, 12, 13 und 14), das auf einer Seite des Keramik-Metall-Verbundsubstrates (1) angeordnet ist, und einem elektrisch leitfähigen Verbindungselement (17-26) mit zwei Enden (30, 31). Erfindungsgemäß bildet eine Metallplatte (2), die an einer Seite, die der Seite mit dem Leistungsbauelement (4, 6, 8, 10, 12, 13 und 14) abgewandt ist, an dem Keramik-Metall-Verbundsubstrat (1) angeordnet ist, eine Stufe aus, auf der ein Ende (30, 31) des Verbindungselementes (17-26) angeordnet ist. Die Metallplatte (2) und eine Kupferleiterbahn (16) fungieren als Sammelleitungen, die parallel zueinander und mit geringem Abstand übereinanderliegend angeordnet sind. Induktive und ohmsche parasitäre Effekte sind vermieden.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Isolationsmaterial-Metall-Verbundsubstrat mit einer Isolationsschicht, einer Metallleiterbahn, einem Leistungsbauelement, das auf einer Seite des Isolationsmaterial-Metall-Verbundsubstrates angeordnet ist, und einem elektrisch leitfähigen Verbindungselement mit zwei Enden und ein Keramik-Metall-Verbundsubstrat mit einer Keramikschicht, einer Metallleiterbahn, einem Leistungsbauelement, das auf einer Seite des Keramik-Metall-Verbundsubstrates angeordnet ist, und einem elektrisch leitfähigen Verbindungselement mit zwei Enden.
- Aus der
DE 197 27 548 A1 ist ein darin als zweites Substrat bezeichnetes Keramik-Metall-Verbundsubstrat bekannt. Das Verbundsubstrat weist eine Keramik zwischen zwei Kupferschichten auf und wird auch als DBC-Substrat bezeichnet. DBC steht für den englischen Begriff Direct Bonded Copper. Als Keramiken sind ein Aluminiumoxid oder ein Aluminiumnitrid mit der chemischen Kurzformel Al2O3 oder AlN verwendet. Die Keramiken besitzen eine hohe Wärmeleitfähigkeit und dienen als Isolationsschicht. Auf dem Substrat sind großflächige metallische Anschlussleiterbahnen aus Kupfer oder Silber angeordnet. Die von Bonddrähten abgewandeten Enden der Leiterbahnen sind als großflächige Anschlussflächen ausgebildet. Auf jeder Anschlussfläche ist als Leistungsbauelement ein Zündungstransistor direkt aufgebracht, wobei der Kollektor auf der Unterseite des Transistors die zugehörige Anschlussleiterbahn kontaktiert. Die Leistungsbauelemente auf den Substraten sind für Hochstromanwendungen in einem Kraftfahrzeug vorgesehen. Hohe Ströme verursachen parasitäre Effekte, so dass die Leiterbahnen weit voneinander beabstandet sind. - Der Erfindung liegt von daher die Aufgabe zugrunde, Abstände von Leiterbahnen auf einem Substrat zu optimieren beziehungsweise zu minimieren und ein einfaches Substrat anzugeben. Insbesondere induktive und ohmsche parasitäre Effekte sollen vermieden sein.
- Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Hauptansprüche gelöst. Erfindungsgemäß weisen das Isolationsmaterial-Metall-Verbundsubstrat und das Keramik-Metall-Verbundsubstrat eine Metallplatte auf, an der ein Ende des elektrisch leitfähigen Verbindungselements angeordnet ist oder bildet eine Metallplatte, die an einer Seite, die der Seite mit dem Leistungsbauelement abgewandt ist, an dem Keramik-Metall-Verbundsubstrat angeordnet ist, eine Stufe aus, auf der ein Ende des Verbindungselementes angeordnet ist. Das andere Ende des Verbindungselements ist an einem Leistungsbauelement oder an einer Kupferleiterbahn angeordnet. Die Metallplatte fungiert als Leiterbahn. Ist die Metallplatte auf der Seite angeordnet, die der Seite mit den Leistungsbauelementen abgewandt ist, so sind eine große Fläche und übereinander liegende Hin- und Rückleitung gegeben. Somit sind parasitäre Effekte weitestgehend vermieden. Sind das Keramik-Metall-Verbundsubstrat und die Metallplatte als stufenförmiges Bauteil ausgebildet und das elektrisch leitfähige Verbindungselement auf der Stufenfläche befestigt, so sind Befestigungsebenen für beide Enden parallel und somit eine einfache Befestigung ermöglicht.
- In einfacher Weise ist die Stufe zumindest teilweise umlaufend, damit sind Anschlüsse des Pulswechselrichters und der Gleichrichter in eine Richtung ausrichtbar.
- In einfacher Weise ist das elektrisch leitfähige Verbindungselement ein Draht. Mit einem Draht sind einfache Befestigungsmethoden von Drahtenden auf einem elektronischen Leistungsbauelement, einer Leiterbahn oder einer Metallplatte ermöglicht. Die Enden sind auf der Metallplatte auflötbar, aufschweißbar oder per Ultraschall befestigbar. Die Befestigungsmethoden werden als Bonden bezeichnet, die Drähte als Bonddrähte oder kurz als Bonds.
- In vorteilhafter Weise ist die Metallplatte eine Aluminiumplatte. Aluminium ist elektrisch leitfähig und ein guter Wärmeleiter.
- In vorteilhafter Weise weist das Keramik-Metall-Verbundsubstrat mehrere als Transistoren ausgebildete Leistungsbauelemente auf, die Teil eines Pulswechselrichters, eines Synchrongleichrichters oder eines Dreiphasen-Gleichrichters sind. Für den Plus- oder Minuspol des Dreiphasen-Gleichrichters fungiert die Metallplatte als Sammelleitung. Drei Transistoren des Dreiphasen-Gleichrichters lassen jeweils eine Halbwelle der phasenverschobene Ströme auf die Sammelleitung durch. Auf der Metallplatte fließen somit hohe Ströme. Der Pulswechselrichter, der Synchrongleichrichter oder der Dreiphasen-Gleichrichter sind in einem Kraftfahrzeug einsetzbar.
- In vorteilhafter Weise sind die Transistoren Feldeffekttransistoren. Verwendet sind Metalloxid-Halbleiter Feldeffekttransistoren, die nahezu leistungslos steuerbar sind.
- Zum besseren Verständnis der Erfindung sind nachfolgend Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnung näher erläutert.
- Es zeigen
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1 einen Pulswechselrichter mit einem Vorwiderstand auf einem Keramik-Metall-Verbundsubstrat in vereinfachter perspektivischer Darstellung, -
2 einen Pulswechselrichter ohne Vorwiderstand auf einem Keramik-Metall-Verbundsubstrat in vereinfachter perspektivischer Darstellung, -
3 ein vereinfachtes Ersatzschaltbild des Pulswechselrichter mit dem Vorwiderstand und -
4 das Keramik-Metall-Verbundsubstrat in seitlicher Schnittdarstellung. - In den verschiedenen Figuren sind ähnliche oder dieselben Elemente durch gleiche Bezugszeichen bezeichnet.
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1 zeigt ein Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 mit einer Aluminiumplatte2 , einer Keramikschicht3 , einen ersten Transistor4 auf einer ersten Kupferleiterbahn5 , einen zweiten Transistor6 auf einer zweiten Kupferleiterbahn7 , einen dritten Transistor8 auf einer dritten Kupferleiterbahn9 , einen Widerstand10 auf einer vierten Kupferleiterbahn11 , einen vierten Transistor12 , einen fünften Transistor13 und einen sechsten Transistor14 auf einer fünften Kupferleiterbahn16 . Die Transistoren4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 sowie der Widerstand10 sind elektronische Leistungsbauelemente. Auf dem vierten Transistor12 sind auf der Oberseite drei erste Bonddrähte17 angeordnet, mittels derer und weiterer elektrisch leitfähiger Verbindungselemente ein Wechselstrom einer Phase U von einem Drehstromgenerator abgreifbar ist. Auf dem fünften Transistor13 sind auf der Oberseite drei zweite Bonddrähte18 angeordnet, mittels derer und weiterer elektrisch leitfähiger Verbindungselemente ein Wechselstrom einer Phase V von dem Drehstromgenerator abgreifbar ist. Auf dem sechsten Transistor14 sind auf der Oberseite drei dritte Bonddrähte19 angeordnet, mittels derer und weiterer elektrisch leitfähiger Verbindungselemente ein Wechselstrom einer Phase W von dem Drehstromgenerator abgreifbar ist. Auf der Oberseite des vierten Transistors12 sind drei vierte Bonddrähte20 angeordnet, die eine elektrisch leitfähige Verbindung zu der ersten Kupferleiterbahn5 herstellen. Auf der Oberseite des fünften Transistors13 sind drei fünfte Bonddrähte21 angeordnet, die eine elektrisch leitfähige Verbindung zu der zweiten Kupferleiterbahn7 herstellen. Auf der Oberseite des sechsten Transistors14 sind drei sechste Bonddrähte22 angeordnet, die eine elektrisch leitfähige Verbindung zu der dritten Kupferleiterbahn9 herstellen. Von der Oberseite des ersten Transistors4 führen drei siebte Bonddrähte23 zu der Aluminiumplatte2 und sind mit dieser elektrisch leitfähig verbunden. Von der Oberseite des zweiten Transistors6 führen drei achte Bonddrähte24 zu der Aluminiumplatte2 und sind mit dieser elektrisch leitfähig verbunden. Von der Oberseite des dritten Transistors8 führen drei neunte Bonddrähte25 zu der Aluminiumplatte2 und sind mit dieser elektrisch leitfähig verbunden. Von der Aluminiumplatte2 führen drei zehnte Bonddrähte26 zu der vierten Kupferleiterbahn11 mit dem Widerstand10 . Pfeile27 und28 kennzeichnen Richtungen eines Gleichstromes, der über weitere Bonddrähte34 an dem Widerstand10 und der Kupferleiterbahn16 abgreifbar ist. Die Oberseite des Widerstands10 fungiert als Minuspol, die der Kupferleiterbahn16 als Pluspol. Die Anzahl der einzelnen Bonddrähte17 –26 und34 zwischen den Transistoren4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 , dem Widerstand10 und den Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 ,11 und16 sowie der Aluminiumplatte2 ist abhängig von der Stromstärke und dem Querschnitt der Bonddrähte17 –26 und34 . Aufgrund eines Ätzvorgangs sind Zwischenräume zwischen den einzelnen Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 ,11 und16 entstanden. Vor dem Ätzvorgang waren die einzelnen Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 ,11 und16 Teil einer einzigen auf der Keramik3 aufgebrachten Kupferschicht. Die Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 ,11 und16 weisen größere Abstände zueinander auf. Das Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 ist quaderförmig mit sechs Seiten ausgebildet. Auf einer Seite des Quaders1 sind die Leistungsbauelemente4 ,6 ,8 ,10 ,12 ,13 und14 auf den Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 ,11 und16 angeordnet. Auf der Seite, die der Seite mit den Leistungsbauelementen4 ,6 ,8 ,10 ,12 ,13 und14 abgewandt ist, ist die Aluminiumplatte2 angeordnet. Die Aluminiumplatte2 schließt an drei Seiten bündig mit dem Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 ab und weist ein verlängertes Teil auf, das an einer Seite des Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 übersteht. Das Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 und die Aluminiumplatte2 bilden ein stufenförmiges Bauteil29 aus. Die Bonddrähte23 ,24 und25 , die die Leistungsbauelemente4 ,6 und8 mit der Aluminiumplatte2 elektrisch leitfähig verbinden, weisen jeweils Enden30 und31 auf, von denen eines auf dem Leistungsbauelement4 ,6 und8 und das andere auf der Aluminiumplatte2 angeordnet ist. Die Bonddrähte26 , die die Kupferleiterbahn11 mit der Aluminiumplatte2 elektrisch leitfähig verbinden, weisen jeweils Enden30 und31 auf, von denen eines auf der Kupferleiterbahn11 und das andere auf der Aluminiumplatte2 angeordnet ist. Das auf der Aluminiumplatte2 angeordnete Ende31 ist auf einer Stufenfläche32 des Bauteiles29 angeordnet. Die Aluminiumplatte2 bildet eine Stufe35 aus. -
2 zeigt die auf dem Verbundsubstrat angeordneten Transistoren4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 , die Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 und16 sowie die Aluminiumplatte2 . Die Transistoren4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 , die Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 und16 und die Aluminiumplatte2 bilden einen Pulwechselrichter33 , kurz als PWR bezeichnet, mit drei Transistorpaaren4 und12 ,6 und13 ,8 und14 aus. Die drei Transistorenpaare4 und12 ,6 und13 ,8 und14 sind parallel zueinander angeordnet und so über Sammelleitungen2 und16 , die von der Aluminiumplatte2 und der fünften Kupferleiterbahn16 gebildet sind, untereinander verbunden, das auf den Sammelleitungen2 und16 ein Pulswechselstrom erzeugt und abgreifbar ist. Die Sammelleitungen2 und16 sind auch als Hin- und Rückleiter oder als Sammelschienen bezeichnet. Die Sammelschienen2 und16 sind plattenförmig ausgebildet und übereinander liegend angeordnet. Idealerweise liegen sie mit geringem Abstand parallel zueinander und überlappen zumindest teilweise. -
3 zeigt ein vereinfachtes Ersatzschaltbild der auf dem Verbundsubstrat angeordneten Transistoren4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 , des Widerstandes10 , der Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 ,11 und16 sowie der Aluminiumplatte2 . Die Transistoren4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 , der Widerstand10 , die Kupferleiterbahnen5 ,7 ,9 ,11 und16 und die Aluminiumplatte2 bilden einen Pulswechselrichter33 mit drei Transistorpaaren4 und12 ,6 und13 ,8 und14 aus. Das erste Transistorpaar4 und12 wird von dem ersten und dem vierten in Reihe geschalteten Transistoren4 und12 , das zweite Transistorpaar6 und13 wird von dem zweiten und dem fünften in Reihe geschalteten Transistoren6 und13 und das dritte Transistorpaar8 und14 wird von dem dritten und dem sechsten in Reihe geschalteten Transistoren8 und14 gebildet. Zwischen den Transistoren4 und12 des ersten Transistorpaares4 und12 ist ein erster Anschluss17 angeordnet, der von den drei ersten Bonddrähte17 gebildet ist und mittels dessen der Strom der Phase U von dem Drehstromgenerator abgreifbar ist. Zwischen den Transistoren6 und13 des zweiten Transistorpaares6 und13 ist ein zweiter Anschluss18 angeordnet, der von den drei zweiten Bonddrähte18 gebildet ist und mittels dessen der Strom der Phase V von dem Drehstromgenerator abgreifbar ist. Zwischen den Transistoren8 und14 des dritten Transistorpaares8 und14 ist ein dritter Anschluss19 angeordnet, der von den drei dritten Bonddrähte19 gebildet ist und mittels dessen der Strom der Phase W von dem Drehstromgenerator abgreifbar ist. Die drei Transistorenpaare4 und12 ,6 und13 ,8 und14 sind parallel zueinander angeordnet und so über die Sammelleitungen2 und16 , die von der Aluminiumplatte2 und der fünften Kupferleiterbahn16 gebildet sind, untereinander verbunden, das auf den Sammelleitungen2 und16 ein Pulswechselstrom erzeugt und abgreifbar ist. Der Pulswechselrichter33 ist in einem Kraftfahrzeug einsetzbar. -
4 zeigt das Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 mit der Aluminiumplatte2 auf einem Träger41 , der Wärme ableitet und als Wärmesenke dient. Das Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 weist die Keramikschicht3 zwischen der Kupferleiterbahn5 und einer Kupferschicht42 auf. Zwischen der Kupferschicht42 und der Aluminiumplatte2 ist eine Lotschicht43 , auch als Hartlotschicht43 bezeichnet, angeordnet. Mittels der Hartlotschicht43 ist die Aluminiumplatte2 an dem Keramik-Metall-Verbundsubstrat1 befestigt. Die Aluminiumplatte2 weist an der der Hartlotschicht43 abgewandten Seite eine Isolationsschicht44 auf, die die Aluminiumplatte2 elektrisch von der Wärmesenke41 isoliert. Auf der Kupferleiterbahn5 ist mittels einer Lotschicht45 der erste Transistor4 befestigt. Der erste Transistor4 ist als Metalloxid-Halbleiter Feldeffekttransistor ausgebildet, englisch als metalloxid semiconductor field-effect-transistor oder kurz als MOS-FET bezeichnet. Auch die Transistoren6 ,8 ,12 ,13 und14 sind als MOS-FETs ausgebildet. - Auf dem ersten MOS-FET
4 ist der Bonddraht23 angeordnet, der eine elektrisch leitfähige Verbindung zu der Aluminiumplatte2 herstellt. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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- Zitierte Patentliteratur
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- - DE 19727548 A1 [0002]
Claims (12)
- Isolationsmaterial-Metall-Verbundsubstrat (
1 ) mit einer Isolationsschicht (3 ), einer Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ), einem Leistungsbauelement (4 ,6 ,8 ,10 ,12 ,13 und14 ), das auf einer Seite des Isolationsmaterial-Metall-Verbundsubstrates (1 ) angeordnet ist, und einem elektrisch leitfähigen Verbindungselement (17 –26 ) mit zwei Enden (30 ,31 ), dadurch gekennzeichnet, dass das Isolationsmaterial-Metall-Verbundsubstrat (1 ) eine Metallplatte aufweist, an der ein Ende (30 ,31 ) des elektrisch leitfähigen Verbindungselements (17 –26 ) angeordnet ist. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat (
1 ) mit einer Keramikschicht (3 ), einer Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ), einem Leistungsbauelement (4 ,6 ,8 ,10 ,12 ,13 und14 ), das auf einer Seite des Keramik-Metall-Verbundsubstrates (1 ) angeordnet ist, und einem elektrisch leitfähigen Verbindungselement (17 –26 ) mit zwei Enden (30 ,31 ), dadurch gekennzeichnet, dass das Keramik-Metall-Verbundsubstrat (1 ) eine Metallplatte aufweist, an der ein Ende (30 ,31 ) des elektrisch leitfähigen Verbindungselements (17 –26 ) angeordnet ist. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat (
1 ) mit einer Keramikschicht (3 ), einer Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ), einem Leistungsbauelement (4 ,6 ,8 ,10 ,12 ,13 und14 ), das auf einer Seite des Keramik-Metall-Verbundsubstrates (1 ) angeordnet ist, und einem elektrisch leitfähigen Verbindungselement (17 –26 ) mit zwei Enden (30 ,31 ), dadurch gekennzeichnet, dass eine Metallplatte (2 ), die an einer Seite, die der Seite mit dem Leistungsbauelement (4 ,6 ,8 ,10 ,12 ,13 und14 ) abgewandt ist, an dem Keramik-Metall-Verbundsubstrat (1 ) angeordnet ist, eine Stufe ausbildet, auf der ein Ende (30 ,31 ) des Verbindungselementes (17 –26 ) angeordnet ist. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Stufe (
35 ) zumindest teilweise umlaufend ist. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach einem mehreren der Ansprüche 1–4, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallplatte (
2 ) und zumindest eine Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ) plattenförmig ausgebildet und übereinanderliegend angeordnet sind. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach einem mehreren der Ansprüche 1–5, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallplatte (
2 ) und zumindest eine Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ) mit geringem Abstand parallel zueinander angeordnet sind. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach einem mehreren der Ansprüche 1–6, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallplatte (
2 ) und zumindest eine Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ) zumindest teilweise überlappen. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach einem mehreren der Ansprüche 1–7, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallplatte (
2 ) und zumindest eine Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ) als Sammelschienen (2 ,16 ) für einen Pulswechselrichter (33 ) verwendet sind. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach einem mehreren der Ansprüche 1–7, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallplatte (
2 ) und zumindest eine Metallleiterbahn (5 ,7 ,9 ,11 und16 ) als Sammelschienen (2 ,16 ) für einen Synchrongleichrichter verwendet sind. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach einem mehreren der Ansprüche 1–9, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallplatte (
2 ) eine Aluminiumplatte ist. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach einem mehreren der Ansprüche 1–10, dadurch gekennzeichnet, dass das Keramik-Metall-Verbundsubstrat (
1 ) mehrere als Transistoren (4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 ) ausgebildete Leistungsbauelemente aufweist. - Keramik-Metall-Verbundsubstrat nach Anspruch 8, 9 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein Anschluss zumindest eines Transistors
4 ,6 ,8 ,12 ,13 und14 ) auf eine Sammelschiene (2 ,16 ) geschaltet ist.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2521175A1 (de) * | 2011-05-03 | 2012-11-07 | ALSTOM Transport SA | Elektrische Anschlussvorrichtung zum Anschluss mindestens eines elektronischen Bauelements mit einer Stromversorgung, welche Anschlussvorrichtung Mittel zur Verringerung der Induktivität der Schleife zwischen einer ersten und einer zweiten Anschlussklemme umfasst |
EP2833399A4 (de) * | 2012-03-30 | 2015-12-30 | Mitsubishi Materials Corp | Leistungsmodulsubstrat, leistungsmodulsubstrat mit kühlkörper und leistungsmodul |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19727548A1 (de) | 1997-06-28 | 1999-01-07 | Bosch Gmbh Robert | Elektronisches Steuergerät |
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2008
- 2008-03-26 DE DE102008000825A patent/DE102008000825A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19727548A1 (de) | 1997-06-28 | 1999-01-07 | Bosch Gmbh Robert | Elektronisches Steuergerät |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2521175A1 (de) * | 2011-05-03 | 2012-11-07 | ALSTOM Transport SA | Elektrische Anschlussvorrichtung zum Anschluss mindestens eines elektronischen Bauelements mit einer Stromversorgung, welche Anschlussvorrichtung Mittel zur Verringerung der Induktivität der Schleife zwischen einer ersten und einer zweiten Anschlussklemme umfasst |
FR2974969A1 (fr) * | 2011-05-03 | 2012-11-09 | Alstom Transport Sa | Dispositif d'interconnexion electrique d'au moins un composant electronique avec une alimentation electrique comprenant des moyens de diminution d'une inductance de boucle entre des premiere et deuxieme bornes |
EP2833399A4 (de) * | 2012-03-30 | 2015-12-30 | Mitsubishi Materials Corp | Leistungsmodulsubstrat, leistungsmodulsubstrat mit kühlkörper und leistungsmodul |
US9480144B2 (en) | 2012-03-30 | 2016-10-25 | Mitsubishi Materials Corporation | Power module substrate, power module substrate with heat sink, and power module |
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