DE102007063040A1 - Herstellung von Mikroreaktoren - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Mikroreaktoren, bei denen eine mit eingelassenen Kanälen strukturierte Platte mit einer Fügeschicht und in den Kanälen mit einer Katalysatorträgerschicht versehen wird, wobei die beschichteten Platten anschließend gestapelt werden und beim Erhitzen der gestapelten Platten die Fügeschicht die Platten verbindet und die Katalysatorträgerschicht kalziniert wird. Ferner betrifft die Erfindung Mikroreaktoren, die nach einem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden, sowie die Verwendung der Mikroreaktoren zur Dampfreformierung von Methan.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Mikroreaktoren, bei denen eine mit eingelassenen Kanälen strukturierte Platte mit einer Fügeschicht und in den Kanälen mit einer Katalysatorträgerschicht versehen wird, wobei die beschichteten Platten anschließend gestapelt werden und beim Erhitzen der gestapelten Platten die Fügeschicht die Platten verbindet und die Katalysatorträgerschicht kalziniert wird. Ferner betrifft die Erfindung Mikroreaktoren, die nach einem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden sowie die Verwendung der Mikroreaktoren zur Dampfreformierung von Methan.
  • Bei Mikroreaktoren handelt es sich um eine Anordnung von Reaktionszellen, deren Abmessungen von wenigen Mikrometern bis zu einigen Millimetern betragen und somit sehr viel kleiner sind als die herkömmlichen Reaktoren. Mikroreaktoren haben gegenüber herkömmlichen Produktionsanlagen zur Umsetzung von Stoffen mehrere Vorteile. Die Reaktionszellen sind so ausgestaltet, dass in ihnen physikalische, chemische oder elektrochemische Reaktionen ablaufen können. Im Gegensatz zu einem herkömmlichen typischerweise porösen System, zum Beispiel beim Einsatz in der heterogenen Katalyse, sind die Abmessungen der Zellen durch die Konstruktion definiert. Auch die Anordnung einzelner Reaktionszellen im Ensemble des Reaktors ist geordnet, und zwar insbesondere periodisch in einer, zwei oder drei Dimensionen.
  • Zu den chemischen Mikroreaktoren werden im erweiterten Sinne auch die notwendigen Zu- und Ableitungsstrukturen für die Flu ide, Sensoren und Aktoren gerechnet, beispielsweise Ventile, die den Stoffstrom durch die einzelnen Zellen kontrollieren, sowie Heizelemente.
  • Mit Hilfe von Mikroreaktoren können Reaktanden ultraschnell vermischt werden, da die Reaktionsräume sehr klein sind. Aufgrund des großen Verhältnisses von Reaktorwand zu Reaktorvolumen können sehr effektive Wärmeübertragungen bewerkstelligt werden, so dass stark exotherme Reaktionen sicherer gesteuert werden können. Ein weiterer Vorteil von Mikroreaktoren betrifft die Verweilzeiten der Reaktanden und Produkte im Reaktor. Bei sehr schnellen Reaktionen können sehr kurze Verweilzeiten präzise eingestellt werden. Ferner bringen Mikroreaktoren eine hohe Betriebssicherheit mit sich, da das Reaktorvolumen sehr gering ist. Dies ist bei der Handhabung von explosiven Stoffen von sicherheitstechnischer Relevanz.
  • Mikroreaktoren zum Einsatz in der Katalyse werden bislang nach zwei Methoden hergestellt. Bei einer Methode werden mikrostrukturierte Bleche mit dem entsprechenden Katalysator beschichtet und anschließend in einem Gehäuse verschraubt. Dieser Ansatz hat den Nachteil einer geringen Druckstabilität des so erhaltenen Mikroreaktors, wodurch der mögliche Einsatzbereich solcher Reaktoren sehr limitiert ist.
  • Eine Abhilfe dieses Nachteils wäre, die Bleche zuerst mit einem Katalysator zu beschichten und dann anschließend zu verlöten. Allerdings würde durch die hohen Temperaturen bei Standardlötverfahren der Katalysator zerstört werden.
  • Bei der zweiten bekannten Methode werden die mikrostrukturierten Bleche zuerst verlötet und anschließend der Katalysator eingebracht. Der Katalysator wird dazu auf einem Träger, beispielsweise einem Schaum oder einem Vlies, aufgebracht oder es wird eine Katalysatorsuspension zur Beschichtung der Mikrokanäle verwendet. Eine nachträgliche Aufbringung des Katalysators führt jedoch zu dem Problem, dass eine gleichmäßige Aufbringung des Katalysators nahezu unmöglich ist. Es können daher nur sehr verdünnte Beschichtungssuspensionen eingesetzt werden, wodurch es ebenfalls schwierig ist, eine gleichmäßige Beschichtung zu erzielen. Ferner können auf diese Weise nur sehr geringe Schichtdicken aufgebracht werden.
  • Auch die Möglichkeit, den Katalysator auf einem anderen Träger nachträglich in die Mikrokanäle einzubringen ist, aufgrund der geringen Dimensionen der Kanäle sehr schwierig und ohne Katalysatorabrieb kaum möglich. Weiterhin ist es mit den vorgenannten Methoden nahezu unmöglich einen gleichmäßigen Druckverlust in den Kanälen einzustellen, was beim Betrieb eines so hergestellten Reaktors zu Unregelmäßigkeiten im Temperaturverhalten führt und den Gesamtdruckverlust des Reaktors erhöht.
  • Die Vorteile von Mikroreaktoren werden bereits in zahlreichen, aus Stand der Technik bekannten Verfahren genutzt. Sc ist die Verwendung von chemischen Mikroreaktoren zur Wasserstofferzeugung für Brennstoffzellen beispielsweise von R. Peters et al. in „Scouting Study about the Use of Microreactors for Gas Supply in a PEN-Fuel Cell System for Traction", Proceedings of the first International Conference an Microreaction Technology, Frankfurt, 1997 beschrieben worden. Das Konzept der Nutzung chemischer Mikroreaktoren wurde auch auf Wärmetauscher angewendet. In diesem Fall sind in den Wärmetauschern mindestens zwei voneinander getrennte Fluidkanäle vorhanden, die zur Wärmeübertragung von Fluid in einem Kanal zu Fluid in einem anderen Kanal dienen.
  • Verschiedene Vorschläge zur Herstellung chemischer Mikroreaktoren bzw. Wärmetauschern sind bekannt: Die US-A-5,543,328 be schreibt ein Herstellungsverfahren für Mikroreaktoren ausgehend von geätzten Silizium-Wafern, die zu einem Stapel verbunden werden. Durch das Ätzverfahren werden kleine Kanäle in den Oberflächen der Silizium-Wafer geschaffen. Um Fluide durch diese Kanäle zu leiten, werden Zu- und Ableitungen an den Wafern angebracht. Zur Durchführung katalytischer Reaktionen wird u. a. vorgeschlagen, die Wände der geschaffenen Reaktionskanäle in den Reaktoren mit einer katalytisch aktiven Schicht zu überziehen. In der DE-A-19708472 ist ein Herstellungsverfahren für chemische Mikroreaktoren beschrieben, bei dem Fluidkanäle in einzelnen Ebenen gebildet werden, indem mit Metalloberflächen versehene Substrate mittels photolithographischer Techniken oder im Siebdruckverfahren strukturiert und die gewünschten Kanalstrukturen durch Metallabtrags- oder -auftragungsverfahren gebildet werden. Die einzeln hergestellten Ebenen werden anschließend zu einem Stapel zusammengefasst und fest miteinander verbunden.
  • In den Fällen, in denen die katalytisch aktiven Schichten vor dem Zusammenfügen der Einzellagen zum Mikroreaktor aufgebracht werden, hat sich das Verbinden der einzelnen Bauteillagen als problematisch herausgestellt, da keine sichere Verbindung zwischen den einzelnen Lagen hergestellt werden konnte. Häufig wiesen die aus den Einzellagen hergestellten Bauteile Undichtigkeiten auf, aus denen das unter hohem Druck geführte Fluid aus den Kanälen nach außen dringt. Dies ist insbesondere bei Gasen kritisch, noch kritischer sind Reaktionen unter Umsetzung von Wasserstoff in diesen zusammengefügten Mikroreaktoren.
  • Nachteilig wirkt sich ferner aus, dass die katalytisch aktiven Schichten gegenüber den üblicherweise zum Fügen der Bauteillagen angewendeten Fügetemperaturen nicht beständig sind. Im Fall von Edelmetallen als katalytisch aktive Spezies kann es zu Legierungsbildung zwischen den Edelmetallen und Trägermetallen kommen. Metalle wie Platin, Iridium, Palladium und Gold, die zur Bildung der katalytisch aktiven Schichten aufgetragen werden, haben einen höheren Schmelzpunkt als das üblicherweise für das Bauelement verwendete Metall als Grundmaterial. Daher sollten sie bei einem Fügeverfahren, bei dem die Grundmaterialien zweier Bauteillagen miteinander verschweißt werden, thermisch beständig sein. Jedoch wurde in diesem und anderen ähnlich gelagerten Fällen auch festgestellt, dass beispielsweise beim sogenannten Diffusionsbonden derart beschichteter mikrostrukturierter Reaktorfolien so hohe Bondingtemperaturen verwendet werden, dass sich die katalytisch aktive Schicht und das Grundmaterial miteinander vermischen, bevor es zu einer ausreichenden Verbindung der Grundmaterialien der Bauteillagen untereinander kommt. Beispielsweise wurde gefunden, dass Palladium unter dem Einfluss von derart hohen Temperaturen in Kupfer schnell eindiffundiert.
  • Aus den genannten Gründen kann ein Herstellungsverfahren für Mikroreaktoren, bei denen die katalytisch aktive Schicht vor dem Zusammenfügen von Einzelbauteilen aufgebracht wird, als nicht praktikabel angesehen werden.
  • Eine Alternative zur Umgehung dieses Problems wäre die nachträgliche Auftragung der katalytisch aktiven Schicht nach dem Zusammenfügen der Bauteile. Bei einem solchen Verfahren würden zunächst Platten strukturiert, z. B. durch Ätzverfahren, anschließend durch ein Fügeverfahren, beispielsweise Diffusionsbonden oder Löten, miteinander verbunden werden, und anschließend würde der Katalysator in den Mikroreaktor eingebracht, indem eine Schicht aus einer Suspension aus Katalysatorträgerpartikeln und Suspensionshilfsmitteln, auch bekannt als „Washcoat", in den Mikroreaktor eingebracht wird.
  • Anschließend könnte die Washcoat-Schicht getrocknet und kalziniert werden. Diese nachträgliche Aufbringung einer Katalysatorträgerschicht hätte jedoch den Nachteil, dass eine gleichmäßige Aufbringung der Schicht nicht möglich ist. Ferner können dabei nur sehr verdünnte Beschichtungssuspensionen eingesetzt werden und eine gleichmäßige Schichtdicke sowie eine steuerbare Schichtdicke könnte nicht erzielt werden.
  • Die EP-A-1198344 offenbart ein Verfahren zum Herstellen von Mikrobauteilen, bei der funktionale Schichten, wie beispielsweise katalytisch aktive Schichten, auf Einzellagen oder Platten aufgetragen werden, bevor die Einzelbauteile oder Platten zusammengefügt werden. Bei dem Verfahren wird zunächst eine Einzellage hergestellt, indem eine erste Metallschicht oder Metallfolie auf eine Platte aufgetragen wird und anschließend eine innere Struktur in und/oder auf der ersten Metallschicht oder Metallfolie durch ein geeignetes Ätzverfahren und/oder Metallauftragungsverfahren gebildet wird. Ganz konkret wird auf diese erste Metallfolie eine fotoempfindliche Schicht, beispielsweise ein negativ arbeitender Fotolack, ganzflächig aufgebracht und entsprechend dem gewünschten Muster der zu bildenden Struktur belichtet. Alle nicht belichteten Bereiche des Fotolacks werden entfernt, wobei an den freiliegenden Flächen mit einem geeigneten Ätzmedium die erste Metallschicht geätzt wird, um Vertiefungen zu bilden. Unter Verwendung unterschiedlicher Verfahren kann dann eine funktionale Schicht, d. h. auch eine katalytisch aktive Schicht, in die geschaffene Struktur eingebracht werden. Anschließend kann die verbliebene Fotolackschicht entfernt werden und mit Hilfe unterschiedlicher Fügeverfahren können mehrere dieser behandelten Platten gestapelt und verbunden werden.
  • Im Stand der Technik sind ebenfalls verschiedene Verfahren zum Fügen von Werkstücken zum Aufbau mikrostrukturierter Bauteile bekannt. So offenbart beispielsweise die DE-A-102005032115 ein Verfahren zur Bildung hochfester Fügeverbindungen, die zur Herstellung von mikrostrukturierten Bauteilen aus mehreren Einzellagen geeignet sind. Bei dem Verfahren werden zwei Werkstücke zusammengefügt, wobei mindestens eine zwischen den Werkstücken platzierte metallische Fügeschicht vorhanden ist, und wobei Werkstücke mit Fügeschicht auf eine Fügetemperatur unterhalb der Schmelztemperatur der einen Fügeschicht erwärmt werden.
  • Mit Hilfe des in dieser Schrift offenbarten Verfahrens können Werkstücke bei relativ niedriger Temperatur gefügt werden. In dem Verfahren werden Fügeschichten mit einem chemischen oder elektrolytischen Verfahren auf einem oder auf beiden Werkstücken abgeschieden. Die Fügeschicht dient zur Erzeugung eines innigen Verbundes zwischen den Werkstückoberflächen. Durch die Verwendung derartiger Fügeschichten kann insbesondere eine sehr feste Fügeverbindung erzielt werden, wenn die Bestandteile der Fügeschicht in die Fügepartner, d. h. die Werkstücke, diffundieren und auch dann, wenn die Bestandteile der Werkstücke in die Fügeschicht diffundieren. Eine wesentliche Funktion der in dieser Schrift offenbarten Fügeschicht besteht also darin, Diffusionsvorgänge schon bei niedrigeren Temperaturen als den Schmelztemperaturen der Fügepartner zu ermöglichen bzw. zu beschleunigen. Die Fügeschicht ist keine Lotschicht im herkömmlichen Sinn, da sie niemals schmilzt, d. h. die Fügetemperatur liegt immer unterhalb der Schmelztemperatur.
  • Im Stand der Technik ist kein Verfahren bekannt, mit dem Mikroreaktoren für die katalytische Behandlung/Umsetzung von Kohlenwasserstoffen unter Bildung oder unter Einsatz von Wasserstoffgas hergestellt werden können, wobei bei dem Verfahren der Katalysator vor dem Fügen der Bauteillagen aufgetragen werden kann.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung bestand daher darin, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Mikroreaktoren für die katalytische Behandlung/Umsetzung von Kohlenwasserstoffen hergestellt werden können, wobei die Bauteillagen nach dem Auftragen des Katalysators gefügt werden können. Die Fügeverbindung sollte hohen Drücken und hohen Temperaturen standhalten und die Wirksamkeit des Katalysators sollte während des Fügens der Bauteillagen nicht beeinträchtigt werden.
  • Ferner war es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem Mikroreaktoren. in wenigen Verfahrensschritten hergestellt werden können.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung von Mikroreaktoren, bei dem eine Platte, die durch eine Mehrzahl (d. h. mehr als einen) eingelassener Kanäle strukturiert ist und Fügebereiche auf der Oberfläche aufweist, mit einer Fügeschicht beschichtet wird, in den eingelassenen Kanälen eine Schicht aus einer Katalysatorträgerpartikel enthaltenden Suspension aufgetragen wird, wodurch eine Katalysatorträgerschicht in den Kanälen erhalten wird, anschließend die Katalysatorträgerschicht mit einer ein Metall enthaltenden Lösung oder Suspension imprägniert wird, zwei oder mehr Fügeschicht und Katalysatorträgerschicht umfassende Platten aufeinander gestapelt werden und die gestapelten Platten auf eine Temperatur erhitzt werden, bei der die Fügeschicht die Platten verbindet und bei der die Katalysatorträgerschicht kalziniert wird.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren ist deswegen besonders vorteilhaft, da das Fügen der Platten, die auch als „Bauteillagen" oder „mikrostrukturierte Bleche" bezeichnet werden können, und das Kalzinieren der Katalysatorträgerschicht in einem einzigen Schritt durchgeführt werden. Beim erfindungsgemäßen Fügen werden die Bauteillagen so fest und dauerhaft verbunden, dass der fertige Mikroreaktor hohen Drücken Stand hält und zur Außenumgebung abgedichtet bleibt.
  • Das Strukturieren der Platte kann durch verschiedene im Stand der Technik bekannte Verfahren, z. B. Ätzverfahren durchgeführt werden. Zum Bespiel kann, wie in der EP-A-1198344 offenbart, unter Verwendung einer fotoempfindlichen Schicht der Bereich der Platte abgedeckt, d. h. maskiert werden, in den keine Kanäle eingelassen werden sollen. Mit Hilfe einer Metallätzlösung werden dann Schichten aus der Metallplatte herausgelöst, so dass eingelassene Kanäle in der Oberfläche der Platte entstehen. Diese eingelassenen Kanäle dienen nach dem Fügen der Platte als Strömungskanäle, in denen die gewünschte chemische Umsetzung, hier die katalytische Behandlung/Umsetzung von Kohlenwasserstoffen durchgeführt werden. Die Platte kann ferner durch andere Verfahren strukturiert werden. Für den Fall, dass größere Strukturen in die Platte eingelassen werden sollen, können beispielsweise auch mechanische Fräsverfahren zu diesem Zweck dienen.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung haben die Platten eine Länge von 2 cm bis 2 m, bevorzugt von 10 cm bis 1 m. In einer anderen Ausführungsform der Erfindung liegt die Plattenlänge im Bereich von 2 bis 10 cm. Die eingelassenen Kanäle sind zwischen 10 mm und 1 m, bevorzugter zwischen 20 bis 30 mm lang. Die Kanalbreiten betragen zwischen 200 und 800 μm, bevorzugter zwischen 400 und 600 μm und ihre Tiefen zwischen 100 und 500 μm, bevorzugter zwischen 200 und 300 μm. Auf diese Weise können zwischen 10 und 5000, bevorzugter zwischen 20 und 500 Kanäle in die Platte eingelassen werden. Durch die Ausmaße der Kanäle werden Durchflussleistung und Kontaktzeiten der Reaktanden mit dem Katalysator beein flusst. Für die mit den Mikroreaktoren durchzuführende Dampfreformierung sind die Ausmaße der Kanäle in den Platten besonders vorteilhaft.
  • Wichtig für das Strömungsprofil der Reaktanden in den Kanälen ist das Aspektverhältnis der Kanäle. Darunter versteht man den Quotienten aus Breite der Kanäle zur Tiefe der Kanäle. Für die beabsichtigte Dampfreformierung von Methan ist ein Aspektverhältnis von 1 bis 3, ganz besonders bevorzugt von 1,2 bis 2,0, am meisten bevorzugt von 1,7 ± 0,1 vorteilhaft.
  • Auf die strukturierte Platte wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren eine Fügeschicht auf die Oberfläche der Platte aufgetragen. Das Material der Fügeschicht umfaßt Nickel und/oder Silber. Die Fügeschicht kann ferner Nichtmetalle und/oder Halbmetalle ausgewählt aus der Gruppe Phosphor, Bor und Kohlenstoff enthalten und die genannten Elemente können während des Fügevorgangs in die Platten eindiffundieren, so dass ein hochfester Verbund entsteht. Insbesondere Phosphor, Kohlenstoff und vor allem Bor weisen eine ausreichende Löslichkeit in Eisen und Nickel auf. Dies erleichtert die Diffusion dieser Elemente durch Werkstückoberflächen aus Nickel oder Nickelbasislegierungen beträchtlich.
  • In bevorzugten Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens kann die Fügeschicht entweder ganzflächig auf die Oberfläche der Platten aufgetragen werden oder aber nur auf die Fügebereiche. Die Fügebereiche sind die Bereiche der Oberfläche einer Platte, die die Bereiche einer weiteren Platte kontaktieren, um nach dem Fügen einen innigen Verbund zwischen den Platten herzustellen. Eine ganzflächige Auftragung der Fügeschicht hat den Vorteil, dass keine Bereiche der Oberfläche der Platte geschützt, d. h. maskiert werden müssen. Wird hingegen eine Auftragung der Fügeschicht lediglich auf den Fügeber eichen gewünscht, resultiert daraus der Vorteil in einer Materialeinsparung. Die Auftragung einer Fügeschicht in Kanälen könnte allerdings in Abhängigkeit des verwendeten Materials der Fügeschicht bzw. des verwendeten Materials der Katalysatorträgerschicht zu nachteiligen Wechselwirkungen zwischen den Materialien führen.
  • Verfahren zum Auftragen der Fügeschicht und mögliche Fügeschichtmaterialien sind in der DE-A-102005032115 ausführlich beschrieben. Auf die Offenbarung dieser Schrift wird hiermit vollumfänglich Bezug genommen.
  • Die Katalysatorträgerschicht wird erfindungsgemäß mit Hilfe einer Katalysatorträgerpartikel enthaltenden Suspension aufgetragen. Diese Suspension, besser bekannt unter dem Begriff „Wash-Coat", enthält hochoberflächige Metalloxide, oft ein Gemisch aus Aluminiumoxid, Siliziumoxid und weiteren Metalloxiden. Der Wash-Coat zeichnet sich nach dem Trocknen und Kalzinieren durch eine sehr beständige Schicht mit einer hohen Oberfläche aus, auf der katalytisch aktive Edelmetallkomponenten aufgetragen werden können.
  • Für die Auftragung des Wash-Coats auf die Oberfläche der Platte kann es nötig sein, die Fügeschicht mit einer Schutzschicht abzudecken, d. h. zu maskieren, da die Fügeschicht sehr eben und chemisch rein sein muss, um mechanisch feste Fügeverbindungen zwischen den Platten zu gewährleisten. Die auf die Fügebereiche aufgetragene Schutzschicht wird nach dem Auftragen des Wash-Coats wieder entfernt. Als Schutzschicht eignet sich beispielsweise ein Glasgewebeband, das auf den Fügebereichen aufgetragen wird und nach der Auftragung des Wash-Coats wieder abgezogen wird.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Katalysatorträgerpartikel enthaltende Suspension durch ein Sprühverfahren oder durch Stempeln aufgetragen. Bei einem Sprühverfahren handelt es sich um wenig aufwendiges Auftragungsverfahren. Beim Stempeln wird ein Stempel, der die Ausmaße der Auftragungsfläche hat, in die Suspension getaucht, so dass diese durch Adhesion an der Stempeloberfläche haftet. Anschließend wird ein Teil der anhaftenden Suspension durch Kontaktieren mit der Auftragungsfläche auf die Platte übertragen. Bei diesem Verfahren können konzentriertere, hochviskose Suspensionen übertragen werden.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die aufgetragene Katalysatorschicht vor dem Stapeln der Platten getrocknet, besonders vorteilhaft bei Temperaturen zwischen 60 und 120°C. Da die Suspension bevorzugt auf wässriger Basis vorliegt, können bei dieser Temperatur schnelle Trocknungsergebnisse erzielt werden.
  • Die Katalysatorträgerschicht erreicht vor dem Kalzinieren eine Schichtdicke von 100 nm bis 100 μm, bevorzugt von 1 μm bis 10 μm. Bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird eine Katalysatorträgerschicht erhalten, die eine einheitliche Schichtdicke aufweist.
  • Nach dem Auftragen der Beschichtungen werden die Platten gestapelt und anschließend erhitzt. Erfindungsgemäß erfolgen beim Erhitzen im Wesentlichen zeitgleich das Fügen der Platten sowie das Kalzinieren der Katalysatorträgerschicht. In einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die gestapelten Platten nicht über 850°C erhitzt. Unterhalb dieser Temperatur wird die spätere Wirkung des Katalysators nicht nachteilig beeinflusst. Gleichzeitig reicht diese Temperatur aus, um die Platten in ausreichender Geschwindigkeit zusammenzufügen.
  • In besonders bevorzugten Ausführungsformen wird das Fügen und Kalzinieren mittels einem Heizprogramm durchgeführt. Es hat sich als besonders vorteilhaft herausgestellt, die gestapelten Platten zunächst mit einer Aufheizrate von etwa 2 K/min zu erhitzen bis eine Temperatur von 500°C erreicht wird. Anschließend wird mit einer Heizrate von 25 bis 30 K/min erhitzt bis etwa 800°C erreicht werden. Der Fachmann versteht diese Heizrate als Sollheizrate. Tatsächlich werden die Platten zeitweise mit höheren als auch niedrigeren Heizraten aufgeheizt. Es wurde überraschenderweise gefunden, dass durch Verwendung eines solchen Heizprogramms einerseits die Platten besonders fest und dauerhaft gefügt werden, andererseits der kalzinierte Wash-Coat besonders fest auf den Platten haftet und keine abrasive Wirkung zeigt.
  • Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird die Katalysatorträgerschicht mit einer ein Metall enthaltenden Lösung oder Suspension imprägniert, indem die Katalysatorträgerschicht mit dieser Lösung oder Suspension kontaktiert wird, wobei das Metall ausgewählt ist aus Platin, Palladium, Rhodium, Ruthenium, Nickel, Kobalt, Silber oder Kupfer. Bei diesem Verfahrensschritt erhält die Katalysatorträgerschicht die katalytisch wirksamen Edelmetalle.
  • In einer besonders bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Katalysatorträgerschicht mit einer Rhodiumacetylacetonat oder einer Rhodiumnitrat enthaltenden Lösung imprägniert. Es wurde überraschenderweise gefunden, dass die Imprägnierung mit Hilfe dieser Lösungen zu einer Belegung der Katalysatorträgerschicht mit einem Edelmetall führt, die sich für die Dampfreformierung besonders gut eig net. Der durch diesen Verfahrensschritt erhaltene Katalysator ist besonders aktiv.
  • Die Imprägnierung kann vor dem Stapeln der Platten, vor dem Fügen oder nach dem Fügen der Platten durchgeführt werden. Wenn die Imprägnierung nach dem Fügen imprägniert wird, versteht es sich von selbst, dass die Katalysatorträgerschicht nochmals erhitzt werden muss. Die Aktivierung des Katalysators geschieht durch Erhitzen, wobei aus den gelösten oder suspendierten Metallen partikuläre Edelmetalle entstehen.
  • Es wäre auch möglich, eine Washcoatsuspension aufzutragen, die Katalysatorträgerpartikel enthält, die bereits mit Edelmetallbestandteilen beschichtet ist. Dann würde der Imprägnierungsschritt entfallen. Nachteil ist jedoch die geringe Aktivität der kalzinierten Katalysatorträgerschicht.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ein Austenitstahl oder eine Ni-Cr-Fe-Legierung als Material der Platte verwendet. Einerseits kann dieses Material durch ein Ätzverfahren leicht strukturiert werden. Zum anderen können diese Materialien bei ausreichend niedrigen Temperaturen unter Verwendung einer oben beschriebenen Fügeschicht fest zusammengefügt werden. Der durch das erfindungsgemäße Verfahren erhaltene Mikroreaktor soll erfindungsgemäß zur Dampfreformierung von Methan verwendet werden.
  • Verfahren zur Dampfreformierung sind im Stand der Technik beschrieben worden. Die Dampfreformierung ist ein Verfahren zur Herstellung von Synthesegas, einer Mischung von Kohlenmonoxid und Wasserstoff aus kohlenstoffhaltigen Energieträgern, wie beispielsweise Erdgas, Leichtbenzin, Methanol, Biogas oder Biomasse. Bei dem Verfahren wird heißer Wasserdampf mit dem zu reformierenden Gas, beispielsweise Methan, zu Kohlenmonoxid und Wasserstoff umgesetzt. In Abhängigkeit von Temperatur und dem verwendeten Katalysator kann während der Dampfreformierung Kohlenmonoxid und Wasser zu CO2 und Wasserstoff umgesetzt werden.
  • Die Dampfreformierung von Kohlenstoffen wird gewöhnlich zur Herstellung der Edukte für die Produktion von niederen Kohlenwasserstoffen (Fischer-Tropsch-Synthese) oder zur Methanolsynthese oder einfach nur zur Herstellung von Wasserstoff verwendet.
  • Die katalysierte Dampfreformierung von Methan ist im Stand der Technik bekannt. Beispielsweise offenbart US-A-6,607,678 ein Verfahren zur Dampfreformierung, das das Kontaktieren von Wasserdampf mit einem Kohlenwasserstoff in einer Reaktionskammer umfasst, wobei die Reaktionskammer einen Spinell enthaltenen Katalysator umfasst, der an seiner Oberfläche aktive Stellen aus einem Material umfasst, das ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Rhodium, Iridium, Nickel, Palladium, Platin, Ruthenium sowie Karbide der Gruppe VIb, wobei die Rate des Kontaktierens von Wasserdampf und Kohlenwasserstoff so gesteuert wird, dass die Aufenthaltsdauer in der Reaktionskammer kleiner als 0,1 s ist, wobei die Temperatur in der Reaktionskammer zwischen 500 und 1000°C liegt. Auch Dampfreformierungsverfahren unter Verwendung von Mikroreaktoren sind bekannt (siehe US-A-6607678 , US-A-6284217 und US-A-6969508 ).
  • Die erfindungsgemäßen Mikroreaktoren zeigen bei der Dampfreformierung von Methan wesentliche Vorteile. Sehr geringe Kontaktzeiten (3,6 bis 16 ms) und hohe Volumengeschwindigkeiten in den erfindungsgemäßen Mikroreaktoren, z. B. Raumgeschwindigkeiten gemessen in GHSV (englisch: Gas Hourly Space Velocity) von bis zu 1.000.000 h–1 mit Methanumsetzungen von bis zu 94,5 bei einer Temperatur von 850°C und S/C = 3, führten im Vergleich zu industriellen Dampfreformern (GHSV = 1.450 h–1) zu erhöhten Produktivitäten. Ferner ist die Auftragung von auf hochaktivem Rhodium basierten Katalysatorbeschichtungen von Vorteil. Im Vergleich zu den bisher verwendeten Katalysatorsystem Velocys/PNNL, bei dem Rhodiumbeladungen von bis zu 13,8 Gew.-% erforderlich sind, ist bei den erfindungsgemäßen Mikroreaktoren lediglich eine Rhodiumbeladung von weniger als 1 Gew.-% erforderlich.
  • Ferner sind die erfindungsgemäßen Mikroreaktoren besonders vorteilhaft, da das erfindungsgemäße Fügeverfahren im Vergleich zu dem üblicherweise angewendeten Diffusionsschweißverfahren erheblich kostengünstiger ist. Insbesondere ist es auch deshalb vorteilhaft, da eine einheitliche Katalysatorträgerschicht vor dem Fügen der Bauteile aufgetragen wird und das Fügen bei niedrigeren Temperaturen durchgeführt werden kann als bei herkömmlichen Fügeverfahren.
  • Die Erfindung wird anhand der folgenden Figuren und Beispiele näher beschrieben. Diese sollen jedoch für die Erfindung nicht als einschränkend angesehen werden. Es zeigen
  • 1: eine schematische Darstellung zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Mikroreaktors,
  • 2: ein Diagramm des Verlaufs der Methan-Umwandlung bei 850°C und einem S/C-Wert von 3 und einer Kontaktzeit von 9,9 ms in einem erfindungsgemäß enthaltenen Mikroreaktor mit verschiedenen Katalysatorausgangsverbindungen,
  • 3: ein Diagramm des Verlaufs der Methan-Umwandlung erfindungsgemäßer Reaktoren als Funktion der Temperatur in einem erfindungsgemäß enthaltenen Mikroreaktor mit verschiedenen Katalysatorausgangsverbindungen.
  • 1 zeigt beispielhaft die Beschichtung einer strukturierten Platte 101, in der Kanäle 102 eingelassen sind. Auf die Platte wird eine Fügeschicht 103 aufgetragen. Anschließend wird eine Wash-Coat-Beschichtung in den Kanälen eingebracht und getrocknet. Die beschichteten Platten werden gestapelt und anschließend erhitzt.
  • Beispiele
  • Beispiel 1: Basismaterial und Strukturierung
  • Eine Nikrofer3220H-Platte wurde als Reaktorbasismaterial bereitgestellt. Dieser Austenitstahl zeigt angemessene Eigenschaften bei den gewünschten Reaktionstemperaturen für die Dampfreformierung mit Methan (bis zu 850°C). In diesen Platten mit Außenmaß von 49 mm × 24 mm × 1 mm wurden 21 Mikrokanäle mit einer Länge von je 28 mm, einer Breite von 500 μm und einer Tiefe von 250 μm durch bekannte Verfahren geätzt. Die Platten wurden mit zwei Löchern versehen, um einen Zulauf und einen Ablauf zu gewährleisten. Die Platten wurden mit Aceton entfettet bevor die Fügeschicht aufgetragen wurde. Unter Verwendung eines Galvanischen Verfahrens wurde eine Nickel enthaltende Legierung auf den Platten aufgetragen. Die Schichtdicke und Schichtdickenverteilung wurde unter Verwendung von XRF-Verfahren bestimmt. Im nächsten Schritt wurde eine Fotoresistmaske auf die Oberfläche der Platten aufgetragen und an den Fügebereichen belichtet. Anschließend wurde der unbelichtete Fotoresistfilm von den strukturierten Bereichen der Platte entfernt. Nach der Auftragung der Wash-Coat-Suspension kann der belichtete Teil des Fotoresistfilms durch ein bekanntes chemisches Stripping-Verfahren entfernt werden.
  • Alternativ wurde in einem weiteren Beispiel auf die Auftragung von einer Schutzschicht auf den Fügebereichen verzichtet und stattdessen werden die Fügebereiche mechanisch gereinigt.
  • Beispiel 2: Herstellung der Wash-Coat-Suspension und Auftragung der Suspension auf die strukturierten Bereiche
  • Ein temperaturstabiler Wash-Coat wurde gemäß dem folgenden Verfahren hergestellt: 4,5 kg deionisiertes Wasser wurden in einem Becher gefüllt und 5 kg dotiertes Aluminiumoxidpulver wurde unter heftigem Rühren zugegeben. Die Suspension wurde mit einem „Ultrathorrax" bei 6.400 Umdrehungen pro Minute etwa fünf Minuten gemischt.
  • 150 g Essigsäure (99%-ig) und 500 ml deionisiertes Wasser wurden zu der Suspension gegeben. Die Suspension wurde anschließend unter Verwendung einer Kugelmühle (250 ml Kugeln, 4.200 Umdrehungen pro Minute) bei einer Pumprate von 12 Hz gemahlen. Nach dem Mahlen wurde 1 kg dotiertes Aluminiumoxidpulver zugegeben und der pH-Wert wurde auf 4,7 eingestellt, indem 75 g Essigsäure (99%-ig) zugegeben wurde. Anschließend wurde die Suspension wieder bei 12 Hz gemahlen und dann zweimal bei 10 Hz mit einer Kugelmühle mit den oben gegebenen Parametern weiter behandelt.
  • Die Dichte wurde unter Verwendung einer Spindel zu 1,57 g/cm3 bestimmt. Der Feststoffgehalt wurde zu 75,58 % bestimmt. Die Teilchengröße betrug 2,476 μm (50 % Wert), 5,50 μm (90 % Wert).
  • Beispiel 3: Beschichtung des Trägers mit einer Wash-Coat-Suspension
  • Drei unterschiedliche Verfahren zur Auftragung der Wash-Coat-Suspension auf die strukturierten Bereiche der Platten wurden getestet. Ein Spray-Verfahren ist leicht in die Produktion zu transferieren und wurde daher als Verfahren versuchsweise getestet. Dabei wurden 50 ml Wash-Coat-Suspension in den Behälter einer Air-Brush-Pistole gefüllt. Die Platten wurden mit Aceton und destilliertem Wasser gereinigt, getrocknet und vor dem Sprühen der Wash-Coat-Suspension gewogen. Die Ein- und Auslassbereiche und auch die Fügebereiche wurden mit einem Glasgewebeband geschützt. Aus einer Entfernung von 15 cm zwischen der Metallschicht und der Spitze der Air-Brush-Pistole wurden die Platten mit einem Druck von 4 bar besprüht. Vier Durchläufe mit zwei Sprühzyklen wurden angewendet, um eine Wash-Coat-Beladung von 20 mg in den Kanälen zu erreichen. Zwischen den Durchläufen wurde die Wash-Coat-Beschichtung mit einem Heißluftföhn bei 80°C eine Minute lang getrocknet. Nachdem die Metallplatten beschichtet wurden, wurde das Glasgewebeband entfernt.
  • In zwei weiteren Verfahren wurde die Wash-Coat-Suspension durch Spincoaten bzw. durch Stempeln aufgetragen. Im Fall der Auftragung durch das Spincoatverfahren wurden Wash-Coat-Schichten erhalten, die einerseits nicht einheitlich waren und andererseits eine mittlere bis geringe Stabilität zeigten.
  • Im Ergebnis zeigte die Auftragung durch das Sprühverfahren eine vorteilhafte Beschichtung, eine gute Adhesion und ferner eine hervorragende Stabilität der Wash-Coat-Schicht.
  • Die Stabilitätstests wurden durchgeführt, indem ein Klebestreifen auf die durch das oben beschriebene Verfahren hergestellte Wash-Coat-Schicht appliziert wurde. Der Klebestreifen wurde zehn Minuten auf den beschichteten Kanälen haften gelassen und schließlich abgezogen. Eine hervorragende Stabilität der Wash-Coat-Schicht wurde erhalten in den Fällen, in denen die Wash-Coat-Schicht durch das Sprühverfahren und durch das Stempeln aufgetragen wurde.
  • Beispiel 4: Fügen und Kalzinieren
  • Mehrere beschichtete Platten wurden übereinander gestapelt, so dass zwei Stapel von geschichteten Platten erhalten wurden. Mit Stapel 1 wurde ein Standardfügeverfahren angewendet, bei dem der Stapel mit einer Temperaturrate von 26,2 K/min von Raumtemperatur auf 200°C erhitzt wurde, anschließend wurde etwa eine Minute diese Temperatur gehalten, bevor die gestapelten Platten erneut mit einer Heizrate von 26,2 K/min auf 800°C aufgeheizt wurde.
  • Der zweite Stapel wurde zunächst mit einer Heizrate von 2 K/min von ca. 50°C auf 500°C erhitzt. Die Temperatur von 500°C wurde eine Minute gehalten, bevor mit einer Heizrate von 27,3 K/min eine Temperatur von 800°C erreicht wurde.
  • Lediglich der zweite Stapel zeigte Wash-Coat-Schichten, die frei waren von sichtbaren Rissen.
  • Beispiel 5: Imprägnierung der Katalysatorträgerschicht
  • Die Imprägnierung wurde durchgeführt, indem eine Vorläuferlösung durch die Kanäle des Reaktors geleitet wurde. Die Parameter wurden optimiert mit einer wässrigen Lösung von blauem Marker zur besseren Detektion der Imprägnierung. Die Pumprate wurde variiert zwischen 0,5 und 1,5 ml/min. Die Pumpzeit wurde variiert zwischen 2 und 15 Minuten. Es wurde gefunden, dass Pumpraten von 0,5 ml/min und Imprägnierungszeiten von 2 Minuten die besten Ergebnisse erzielten. Tabelle 1 zeigt vier unterschiedliche Reaktoren, die sich insbesondere in der Vorläu fermetallverbindung für die Imprägnierlösung unterscheiden.
  • Die Imprägnierlösungen haben ferner einen unterschiedlichen Rhodiumgehalt.
  • Es ist festzuhalten, dass der Rhodiumgehalt in den verwendeten Imprägnierlösungen erheblich unter dem Rhodiumgehalt der im Stand der Technik verwendeten Imprägnierlösungen liegt. Tab. 1: Imprägnierungen der Katalysatorträgerschichten unterschiedlicher Mikroreaktoren
    Experiment Vorläufer Washcoat mg RH-Gehalt in Lösung Gew.-% RH Gew.-%
    Reaktor MSR 037 (Ex4561.4) Rh-Nitrat 47,6 0,69 1,000
    Reaktor MSR 049 (Ex4561.5) Rh-Nitrat 44,9 0,17 0,250
    Reaktor MSR 058 (Ex4730.4) Rh-Acetylacetonat 44,8 0,16 0,500
    Reaktor MSR 059 (Ex4730.9) Rh-Acetylacetonat 46,4 0,17 0,500
  • Beispiel 6: Testergebnisse der Dampfreformierung von Methan
  • Die Leistungsfähigkeit der in Tabelle 1 aufgeführten Mikroreaktoren wurde unter verschiedenen Prozessbedingungen analysiert. Die Tests wurden bei drei unterschiedlichen Reaktionstemperaturen (850°C, 750°C und 600°C), drei Raumgeschwindigkeiten (GHSV) und zwei unterschiedlichen Dampf-zu-Kohlenstoff-Verhältnissen (S/C), nämlich S/C = 3 und S/C = 1,5 durchgeführt.
  • Die Leistungsergebnisse der Methanumwandlung bei einer Temperatur von 850°C und einer Dampf-zu-Kohlenstoff-Verhältnis von 3 bei einer Kontaktzeit von 9,9 ms sind in 2 gezeigt. Alle Katalysatoren, die mit Rhodiumnitrat- oder Rhodiumacetylacetonat-Vorläufern imprägniert wurden, zeigten bei allen Raumgeschwindigkeiten bei 850°C akzeptable Methanumsätze.
  • Die 3 zeigt die wirtschaftlich relevanten Reaktoren im Vergleich mit der thermodynamischen Gleichgewichtskurve bei einem Dampf-zu-Kohlenstoff-Verhältnis von 3 und einer Kontaktzeit von 9,9 ms. Die Reaktoren MSR 058 und MSR 059 unterscheiden sich in ihrer Imprägnierungstemperatur, daher wird erwartet, dass sie mit 0,5 Gew.-% fast dieselbe Rhodiumbeladung aufweisen. Die Abweichungen in den Testergebnissen ergeben sich aus Abweichungen in der Herstellung und bei den Leistungsversuchen. Alle Reaktoren erreichen eine Gleichgewichtskonzentration bei 850°C. Die Reaktoren MSR 037 und MSR 049 wurden mit einer Rhodiumnitratlösung imprägniert und zeigten einen unterschiedlichen Rhodiumgehalt. Die Rhodiumbeladung des MSR 037 beträgt 1 Gew.-%, während der MSR 049 eine Beladung von 0,25 Gew.-% zeigte. Beide Reaktoren zeigten Gleichgewichtsumsätze bei 850°C. Jedoch ist die Abnahme des Methanumsatzes bei niedrigeren Temperaturen bei dem Reaktor MSR 047 erheblich größer als bei allen anderen Reaktoren.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
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    • - US 6284217 A [0044]
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  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - R. Peters et al. in „Scouting Study about the Use of Microreactors for Gas Supply in a PEN-Fuel Cell System for Traction", Proceedings of the first International Conference an Microreaction Technology, Frankfurt, 1997 [0009]

Claims (21)

  1. Verfahren zur Herstellung von Mikroreaktoren, worin a) eine Platte, die durch eine Mehrzahl von eingelassenen Kanälen strukturiert ist und Fügebereiche auf der Oberfläche aufweist, mit einer Fügeschicht beschichtet wird, b) in den eingelassenen Kanälen eine Schicht aus einer Katalysatorträgerpartikel enthaltenden Suspension aufgetragen wird, um eine Katalysatorträgerschicht in den Kanälen zu erhalten, c) die Katalysatorträgerschicht mit einer ein Metall enthaltenden Lösung oder Suspension imprägniert wird, d) zwei oder mehr Fügeschicht und Katalysatorträgerschicht umfassende Platten aufeinander gestapelt werden und e) die gestapelten Platten auf eine Temperatur erhitzt werden, bei der die Fügeschicht die Platten verbindet und bei der die Katalysatorträgerschicht kalziniert wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanäle eine Länge im Bereich 10 mm bis 1 m, eine Breite im Bereich von 200 bis 800 μm und eine Tiefe im Bereich von 100 bis 500 μm aufweisen.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass in der Platte 10 bis 5000 Kanäle eingelassen sind.
  4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Aspektverhältnis der Kanäle auf einen Wert im Bereich von 1 bis 3 eingestellt wird.
  5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Fügeschicht ganzflächig oder nur auf den Fügebereichen aufgetragen wird.
  6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Fügeschicht vor dem Auftragen der Katalysatorträgerpartikel enthaltenden Suspension mit einer Schutzschicht maskiert wird und die Schutzschicht nach dem Auftragen der Katalysatorträgerpartikel enthaltenden Suspension wieder delaminiert wird.
  7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerpartikel enthaltende Suspension durch Sprühen oder Stempeln aufgetragen wird.
  8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerschicht vor dem Stapeln der Platten getrocknet wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerschicht bei Temperaturen zwischen 60 und 120°C getrocknet wird.
  10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerschicht vor dem Kalzinieren eine Schichtdicke von 100 nm bis 100 μm aufweist.
  11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die gestapelten Platten auf maximal 850°C erhitzt werden.
  12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die gestapelten Platten zunächst mit einer Aufheizrate von etwa 2 K/min auf 500°C erhitzt werden und anschließend mit 25 bis 30 K/min auf 800°C erhitzt werden.
  13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerschicht imprägniert wird, indem die Katalysatorträgerschicht mit einer ein Metall enthaltenden Lösung oder Suspension kontaktiert wird, wobei das Metall ausgewählt ist aus Platin, Palladium, Rhodium, Ruthenium, Nickel, Kobalt, Eisen oder Kupfer.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerschicht imprägniert wird, indem die Katalysatorträgerschicht mit einer Rhodiumacetylacetonat und/oder einer Rhodiumnitrat enthaltenden Lösung kontaktiert wird.
  15. Verfahren nach Anspruch 13 oder Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerschicht vor dem Stapeln der Platten oder vor dem Fügen oder nach dem Fügen imprägniert wird.
  16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Platte aus einem Austenitstahl oder einer Ni-Cr-Fe-Legierung besteht.
  17. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Katalysatorträgerpartikel enthaltende Suspension ein Metalloxid ausgewählt aus Aluminiumoxid, Eisenoxid, Titanoxid, Siliziumoxid, Ceroxid, Zirkonoxid, Al/Si-Mischoxid und Mischungen davon enthält.
  18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Fügeschicht aus einer Nickel enthaltenden Legierung besteht.
  19. Mikroreaktor erhältlich nach einem Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 18.
  20. Verwendung des Mikroreaktors gemäß Anspruch 19 zur Dampfreformierung von Methan.
  21. Verfahren zur Dampfreformierung von Methan unter Verwendung eines Mikroreaktors gemäß Anspruch 19.
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