DE102007051291A1

DE102007051291A1 - Adaptierbares optisches System

Info

Publication number: DE102007051291A1
Application number: DE200710051291
Authority: DE
Inventors: Stefan Dr. Franz
Original assignee: Jenoptik Optical Systems GmbH
Current assignee: Jenoptik Optical Systems GmbH
Priority date: 2007-10-24
Filing date: 2007-10-24
Publication date: 2009-04-30
Anticipated expiration: 2027-10-25
Also published as: WO2009052819A9; DE102007051291B4; WO2009052819A3; WO2009052819A2

Abstract

Bei einem adaptierbaren optischen System besteht die Aufgabe, ein wenig störanfälliges aktives System zur Verfügung zu stellen, mit dem unterschiedliche thermisch abhängige Abbildungseigenschaften variiert werden können, um Temperaturschwankungen in einem weiten Temperaturbereich ausgleichen zu können. Das adaptierbare optische System enthält in mindestens einer Fassung mindestens eine optische Komponente, bestehend aus einem Material mit thermisch abhängigem Brechungsindex und/oder Ausdehnungskoeffizienten und Mittel zum Einbringen eines Temperaturgradienten in das optische System als Temperaturdifferenz zwischen optischen Komponenten oder in mindestens eine optische Komponente, wobei durch den einzubringenden Temperaturgradienten Brechkraft oder Korrektionszustand des optischen Systems veränderbar sind. Eine energetisch besonders günstige Variante besteht darin, Kühl- und Heizelemente zu kombinieren.

Description

Bei Objektiven, insbesondere bei solchen, die ihre optische Leistung bei unterschiedlichen Temperaturen erbringen müssen, besteht außer einer thermischen Ausdehnung des optischen Materials sowie der mechanischen Fassungen, das Hauptproblem einer starken Temperaturabhängigkeit des Brechungsindex. Es ist deshalb vor allem erforderlich, Maßnahmen durchzuführen, um mit veränderlichen Brechungsindizes verbundenen Brennweitenänderungen aber auch thermischen Ausdehnungen entgegenzuwirken. Hierzu sind passiv und aktiv wirkende Systeme sowie Systeme geeignet, die sowohl eine passive als auch eine aktive Athermalisierung in sich vereinen.
Passive Systeme, wie z. B. aus der DE 199 21 492 A1 (afokales Teleskop) und der DE 33 20 092 A1 (Korrektur chromatischer und thermischer Aberration) bekannt, erreichen durch eine gezielte Auswahl optischer Materialien einen Kompensationseffekt, so dass temperaturbedingte Änderungen der Abbildungseigenschaften vermieden werden können.
Die JP 61 097 608 A beschreibt eine Linsenfassung aus zwei Materialien mit unterschiedlichem Ausdehnungskoeffizienten. Bei einer Temperaturänderung wird die Linse derart verformt, dass deren Brechkraftänderung kompensiert wird.
Aktive Systeme setzen üblicherweise mechanische Verstelleinrichtungen mit motorischen Antrieben oder Piezostellern ein, die thermisch bedingte Änderungen, insbesondere des Fokuszustandes ausgleichen oder Brennweitenänderungen vornehmen können. Von Nachteil ist es, dass mechanische Verstelleinrichtungen einem Verschleiß unterliegen, wodurch die Zuverlässigkeit beeinträchtigt werden kann.
In der US 2005/041301 A1 wird eine flüssige Linse derart verformt, dass die Brechkraftänderung einer Kunststofflinse kompensiert wird.
Es besteht die Aufgabe, ein wenig störanfälliges aktives System zur Verfügung zu stellen, das Temperaturschwankungen in einem weiten Temperaturbereich durch Variation unterschiedlicher thermisch abhängiger Abbildungseigenschaften ausgleichen kann.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch ein adaptierbares optisches System gelöst, das in mindestens einer Fassung mindestens eine optische Komponente, bestehend aus einem Material mit thermisch abhängigem Brechungsindex und/oder Ausdehnungskoeffizienten und Mittel zum Einbringen eines Temperaturgradienten in das optische System als Temperaturdifferenz zwischen optischen Komponenten oder in mindestens eine optische Komponente enthält, wobei durch den einzubringenden Temperaturgradienten Brechkraft oder Korrektionszustand des optischen Systems veränderbar sind.
Werden zusätzlich Mittel zum Regeln des Temperaturgradienten vorgesehen, lassen sich die Brechkraft oder der Korrektionszustand des optischen Systems stabilisieren.
Eine besondere Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass das optische System als optische Komponenten mindestens ein Paar optischer Linsen mit thermisch beeinflussbarem Brechungsindex enthält und der einzubringende Temperaturgradient als Temperaturunterschied zwischen den Linsen ausgebildet ist, wobei innerhalb einer jeden Linse eine homogene Temperaturverteilung vorherrschen soll. Für das Linsenpaar, bestehend aus einer Linse mit positiver Brechkraft und einer Linse mit negativer Brechkraft, die in getrennten Fassungen gehaltert sind, ist als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten ein Peltierelement vorgesehen, das mit beiden Fassungen im thermischen Kontakt steht, um eine der Linsen über eine der Fassungen zu kühlen und die andere der Linsen über die andere der Fassungen zu heizen.
Peltierelemente weisen gegenüber einer alternativ einsetzbaren Heizung zur Aufheizung von einer der beiden Linsen einen Vorteil auf, da sie bei gleichem Energieeintrag in das optische Teilsystem eine höhere Temperaturdifferenz im System erzeugen.
Eine andere Ausgestaltung der Erfindung sieht als eine optische Komponente in dem optischen System einen sphärischen oder parabolischen Spiegel aus einem Spiegelsubstrat mit thermisch abhängigem Ausdehnungskoeffizienten vor, wobei der in das Spiegelsubstrat einzubringende Temperaturgradient zur Spiegelverformung vorgesehen ist. Der Spiegel weist auf seiner Rückfläche als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten eine Heiz- und/oder Kühlelementestruktur zur lokal differenzierten Temperierung auf, die in ihrer geometrischen Anordnung und in der Ansteuerung derart ausgebildet ist, dass eine gewünschte Temperaturverteilung in das Spiegelsubstrat eingebracht werden kann.
Das Einbringen von Wärme kann auf unterschiedliche Art und Weise erfolgen. Es kann eine Heizelementestruktur mit Widerstandsheizelementen vorgesehen sein, die durch Wärmeleitung eine lokal differenzierte Erwärmung des Spiegelsubstrats hervorrufen kann. Es kann aber auch eine als projiziertes Wärmestrahlungsmuster oder als Konvektionsheizung ausgebildete Heizelementestruktur vorgesehen sein.
In einer weiteren Ausgestaltung des erfindungsgemäßen adaptierbaren optischen Systems sind die optischen Komponenten transmittierend ausgebildet, wobei die Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten mit mindestens einer optischen Komponente im thermischen Kontakt stehen.
Die transmittierenden optischen Komponenten können als optische Linsen oder als Planplatten ausgebildet sein.
Als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten eignen sich sowohl einzelne Heiz- und/oder Kühlelemente als auch strukturierte Heizungen, die am Umfang, auf der Oberfläche oder im Volumen der optischen Komponente vorgesehen sein können.
Die Erfindung kann weiterhin derart ausgestaltet sein, dass eine optische Komponente ein Planplattenpaar, bestehend aus einer ersten und einer zweiten Planplatte umfasst, wobei die Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten im Mittenbereich zwischen den beiden Planplatten angeordnet sind, und die Fassung als Wärmesenke ausgebildet ist, wodurch in den beiden Planplatten ein Temperaturgradient erzeugbar ist, der von der Mitte der Planplatten zum Planplattenrand gerichtet ist.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind den abhängigen Ansprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung ist besonders für Systeme aus optischen Materialien mit stark temperaturabhängigem Brechungsindex, wie z. B. Germanium oder Silizium geeignet, die in Infrarotsystemen zum Einsatz kommen. Hierbei bietet sich eine Integration der Temperierungsmittel in das Halbleitermaterial an.
Jedoch beschränkt sich die Anwendung der Erfindung nicht ausschließlich auf Infrarotsysteme, sondern ist auch für UV-Systeme und für VIS-Systeme anwendbar.
UV-Systeme, bei denen z. B. Kalziumfluorid oder Quarz als optisches Material verwendet wird, können trotz einer wesentlich geringeren Temperaturabhängigkeit des Brechungsindex als bei Germanium oder Silizium ebenfalls ein Temperaturproblem aufweisen, denn die unter Laborbedingungen auftretenden geringen Temperaturschwankungen können bereits ausreichend sein, um die Brechkraftspezifikation, wie z. B. bei Teleskopen, unzulässig zu überschreiten. Ähnliche Probleme können bei Objektiven auftreten, indem sich der Arbeitsabstand oder der Korrektionszustand aufgrund von Brechkraftschwankungen ändert.
Ferner ist die Erfindung dafür geeignet, Fehler höherer Ordnung (Öffnungsfehler) zu minimieren, die insbesondere bei Objektiven großer Öffnungsweite auftreten. Hierzu wäre z. B. ein Linsenpaar innerhalb des Objektivs mit einem Temperaturunterschied zu beaufschlagen.
Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigen:
1 eine optische Komponente aus einer Linsenkombination sphärischer oder asphärischer Linsen, die für eine Fokuskorrektor ausgebildet ist
2 eine qualitative Darstellung des Verlaufes der Brechkraft f' und/oder der sphärischen Aberration in Abhängigkeit vom Temperaturunterschied zwischen den Linsen einer Linsenkombination gemäß 1
3 ein mit Mitteln zum Regeln des Temperaturgradienten ausgestattetes adaptives optisches System
4 einen Spiegel mit Korrektionsfunktion
5 eine qualitative Darstellung einer mit der Spiegelkonfiguration gemäß 4 gesteuerten Phasenfunktion der Wellenfront
6 ein transmissives Phasenkorrektionselement
7 eine qualitative Darstellung einer mit einem Phasenkorrektionselement gemäß 6 gesteuerten Phasenfunktion
8 eine erste Peltierelementanordnung zur Erzeugung einer Temperaturverteilung in der optischen Linse
9 eine zweite Peltierelementanordnung zur Erzeugung einer Temperaturverteilung in der optischen Linse
10 eine erste Temperieranordnung für UV-Optiken
11 eine zweite Temperieranordnung für UV-Optiken
1 zeigt eine optische Komponente, bestehend aus zwei, in Fassungen 1, 2 gehalterten Linsen 3, 4, aus identischem oder unterschiedlichem Material, dessen Brechungsindex sich mit der Temperatur ändert. Die beiden Linsen 3, 4 weisen ähnliche, aber entgegengesetzt wirkende Brechkräfte auf, so dass bei gleicher Temperierung eine Brechkraft von null resultiert, wodurch die optische Komponente optische Eigenschaften besitzt, die einer Planplatte ähneln.
Zwischen die Fassungen 1, 2 ist in dem Fassungsstapel ein Peltierelement 5 eingebracht, das sich über die gesamte Fassungsstirnfläche erstreckt. Elektrische Anschlüsse 6, 7 dienen einer steuerbaren Stromzufuhr zu dem Peltierelement 5, das dafür vorgesehen ist, über die Fassungen 1, 2 sich voneinander unterscheidende Temperaturen in den beiden Linsen 3, 4 einzustellen. In jeder der Linsen 3, 4 soll die Temperaturverteilung bei diesem Ausführungsbeispiel im Wesentlichen konstant sein, d. h. sie soll keinen wesentlichen Temperaturgradienten in irgendeine Richtung aufweisen. Durch den erzeugten Temperaturunterschied zwischen den beiden Linsen 3, 4 erhält die optische Komponente eine von null verschiedene Brechkraft, die je nach der an dem Peltierelement 5 angelegten Spannung positiv oder negativ sein kann.
Das Peltierelement 5 weist als Mittel zur Temperierung aufgrund seiner gleichzeitig kühlenden und heizenden Eigenschaften wesentliche Vorteile gegenüber einer alternativ einsetzbaren Heizung auf. Da zwischen den beiden Linsen 3, 4 ein Temperaturunterschied zu erzeugen ist, werden diese Eigenschaften des Peltierelementes 5 effektiv ausgenutzt, so dass die in die optische Komponente einzubringende thermische Leistung reduziert werden kann. Thermische Kopplung und Isolation sind geeignet auszuführen, Verlustleistung ist über einen thermischen Kontakt nach außen abzuführen.
In einer anderen Ausführung gemäß 3 ist ein adaptives optisches System AOS zur Stabilisierung der Brechkraft oder des Korrektionszustandes mit Mitteln zum Regeln der Temperaturdifferenz ausgestattet, die eine Regeleinrichtung 8 sowie auf die Linsen 3, 4, das adaptive optische System und auf einen Bereich außerhalb des adaptiven optischen Systems verteilte Temperaturfühler 9 umfassen.
Weiterhin ist es möglich, auch eine echte Regelung nach optischen Parametern (Fokussierung, Wellenfrontaberration) durchzuführen, wenn anstelle der Außentemperatur ein solcher Parameter direkt gemessen wird.
Der in 4 gezeigte und auf einer Wärmesenke 10 aufgebrachte sphärisch oder parabolisch ausgebildete Spiegel 11 weist auf seiner Rückseite eine Struktur aus Heiz- und/oder Kühlelementen 12 auf. Die Heiz- und/oder Kühlelemente 12 sind einzeln ansteuerbar, um auf dem Spiegel 11 eine gewünschte Temperaturverteilung zu erzeugen, über die z. B. die Phasenfunktion Y über dem Radius R entsprechend 5 verändert werden kann.
Der Spiegel 11 sollte als adaptives Bauteil entsprechend dünn ausgeführt sein, da in diesem Ausführungsbeispiel der temperaturabhängige Ausdehnungskoeffizient des Spiegelsubstrats ausgenutzt wird.
Adaptive Bauteile können insgesamt auch transparent ausgeführt sein. Das kann z. B. dadurch erfolgen, dass für die optische Strahlung transparentes Material für eine Heizelementestruktur verwendet wird. Dabei kann es vorteilhaft sein, die Heizelementestruktur in oder unter die Oberfläche des optischen Elementes zu integrieren, wie es z. B. in Halbleiterprozessen üblich ist.
Bei dem in 6 gezeigten Phasenkorrektionselement sind zwei Platten 13, 14, die z. B. aus Silizium oder einem anderen Halbleiter bestehen sollen, in einer gemeinsamen Fassung 15 gehaltert. Zwischen den beiden Platten 13, 14 ist ein bevorzugt als elektrischer Widerstand ausgebildetes Heizelement 16 eingebettet. Das Heizelement 16 lässt sich vorteilhaft durch Dotierung des Halbleiters herstellen, wodurch ein lokaler Höhenaufbau vermieden werden kann. Transparente Elektroden 17, 18 gewährleisten die Transparenz des Phasenkorrektionselementes, bei dem das Heizelement 16 in der Elementmitte zwischen den aneinander gefügten Platten 13, 14 liegt.
Die gleichzeitig als Wärmesenke fungierende Fassung 15 wird auf einer kühleren Temperatur als die Siliziumplatten 13, 14 gehalten, so dass sich ein von der Mitte des Phasenkorrektionselementes zur Fassung 15 gerichteter Temperaturgradient ausbildet. Die dazugehörige Phasenfunktion ist in 7 gezeigt. Mit diesem Phasenkorrektionselement gemäß 6 lassen sich gezielt Öffnungsfehler korrigieren.
Bringt man andere Strukturen auf, können auch Abbildungsfehler höherer Ordnung korrigiert werden. Mit einer universelleren Anordnung der Heiz-/Kühlelemente, wie sie z. B. für Anzeigegeräte (Pixel) oder elektrostatisch verformbare Spiegel (Ringe oder Ringsektoren) verwendet werden, kann auch eine frei programmierbare Abbildungsfunktion realisiert werden.
Die in den 8 und 9 gezeigten Peltierelementanordnungen sind zur Erzeugung unterschiedlicher Temperaturverteilungen in einer Linse 19, 20 vorgesehen, so dass durch eine Änderung des Brechzahlgradienten eine astigmatische Wellenfrontdeformation herbeigeführt werden kann. Die Peltierelemente 21, 22 sind in beiden Ausführungen um den Linsenumfang 23, 24 der Linsen 19, 22 verteilt angeordnet, um selektiv zu erwärmen oder zu kühlen, was durch eine punktiert skizzierte Wärmeverteilung verdeutlicht werden soll. Astigmatismus ist dadurch in gewissen Grenzen in der Stärke und der Orientierung einstellbar.
Während die Peltierelemente 21 in 8 mit beiden thermisch wirksamen Seiten in thermischem Kontakt mit dem Linsenumfang 23 stehen, sind die Peltierelemente 22 in 9 über einen Fassungsring 25 einseitig thermisch kurzgeschlossen und nur über die jeweils andere thermisch wirksame Seite mit dem Linsenumfang 24 verbunden, um die erforderliche Nenntemperatur in der Linse einstellen zu können.
Zur Sicherstellung des thermischen Kontaktes zwischen den Peltierelementen 21, 22 und dem Linsenumfang 23, 24 eignen sich Wärmekontaktelemente 26, 27, die durch Löten auf oberflächlichen Metallisierungen des Linsenumfanges 23, 24 oder mittels Kitt oder Wärmeleitpasten auf dem Linsenumfang 23, 24 aufgebracht sind.
UV-Optiken werden üblicherweise in spannungsarmen Fassungen gehaltert, die im Wesentlichen nur einen punktförmigen Kontakt zu den optischen Elementen aufweisen, wodurch eine Temperierung über die Fassung unvorteilhaft ist.
Deshalb sind bei Linsenkombination gemäß 10 und 11 das Fassen von Linsen 28–32 und das Temperieren funktionell getrennt. Bei der Ausführung gemäß 10 ist vorgesehen, lediglich eine der Linsen 30 mit in Nuten umfänglich um die Linse 30 gewickeltem Heizdraht 33 zu erwärmen. Durch Anbringen eines Temperaturfühlers 34, 35 an der zu temperierenden Linse 30 und an mindestens einer weiteren Stelle am Objektiv 36 kann ein Regelkreis aufgebaut werden, wie er bereits anhand der Ausführung gemäß 3 beschrieben ist.
11 zeigt eine Temperierung mittels Peltierelementen 37, bei der eine Temperaturdifferenz zwischen die in Fassungen 38, 39 gehalterten optischen Linsen 31, 32 über thermische Kontaktelemente 40 eingebracht wird, die mit dem Linsenumfang der Linsen 31, 32 in thermischem Kontakt stehen und die Peltierelemente 37 tragen. Durch Temperatursensoren 41, 42 an den Linsen 31, 32 ist die Voraussetzung einer Regelung des Temperaturunterschiedes zwischen den beiden Linsen 31, 32 gegeben.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- DE 19921492 A1 [0002]
- DE 3320092 A1 [0002]
- JP 61097608 A [0003]
- US 2005/041301 A1 [0005]

Claims

Adaptierbares optisches System, das in mindestens einer Fassung (1, 2, 10, 15, 25, 38, 39) mindestens eine optische Komponente, bestehend aus einem Material mit thermisch abhängigem Brechungsindex und/oder Ausdehnungskoeffizienten und Mittel zum Einbringen eines Temperaturgradienten in das optische System als Temperaturdifferenz zwischen optischen Komponenten oder in mindestens eine optische Komponente enthält, wobei durch den einzubringenden Temperaturgradienten Brechkraft oder Korrektionszustand des optischen Systems veränderbar sind.
Optisches System nach Anspruch 1, das Mittel zum Regeln des Temperaturgradienten aufweist, wodurch die Brechkraft oder der Korrektionszustand des optischen Systems stabilisierbar sind.
Optisches System nach Anspruch 1 oder 2, das als optische Komponenten mindestens ein Paar optischer Linsen (3, 4, 31, 32) mit thermisch beeinflussbarem Brechungsindex enthält und der einzubringende Temperaturgradient als Temperaturunterschied zwischen den Linsen (3, 4, 31, 32) ausgebildet ist, wobei innerhalb einer jeden Linse (3, 4, 31, 32) eine homogene Temperaturverteilung vorherrscht.
Optisches System nach Anspruch 3, bei dem das Linsenpaar aus einer Linse (3, 32) mit positiver und einer Linse (4, 31) mit negativer Brechkraft besteht.
Optisches System nach einem der Ansprüche 3 oder 4, bei dem die Linsen (3, 4) in getrennten Fassungen (1, 2) gehaltert sind und als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten mindestens ein Peltierelement (5) vorgesehen ist, das mit beiden Fassungen (1, 2) im thermischen Kontakt steht, um eine der Linsen (3, 4) über eine der Fassungen (1, 2) zu kühlen und die andere der Linsen (3, 4) über die andere der Fassungen (1, 2) zu heizen.
Optisches System nach einem der Ansprüche 3 oder 4, bei dem die Linsen (31, 32) in getrennten Fassungen (1, 2) gehaltert sind und als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten Peltierelemente (37) vorgesehen sind, die über thermische Kontaktelemente (40) mit beiden Linsen (31, 32) verbunden sind, um eine der Linsen (31, 32) zu kühlen und die andere der Linsen (3, 4) zu heizen.
Optisches System nach Anspruch 3 oder 4, bei dem als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten eine Heizung oder Kühlvorrichtung zur Änderung der Temperatur von einer der Linsen des optischen Systems vorgesehen ist.
Optisches System nach Anspruch 1, das als optische Komponente einen sphärischen oder parabolischen Spiegel (11) aus einem Spiegelsubstrat mit thermisch abhängigem Ausdehnungskoeffizienten enthält, wobei der in das Spiegelsubstrat einzubringende Temperaturgradient zur Spiegelverformung vorgesehen ist.
Optisches System nach Anspruch 8, bei dem der Spiegel (11) auf seiner Rückfläche als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten eine Heiz- und/oder Kühlelementestruktur zur lokal differenzierten Temperierung aufweist.
Optisches System nach Anspruch 9, bei dem die Heiz- und/oder Kühlelementestruktur in ihrer geometrischen Anordnung und in der Ansteuerung einzelner Heiz- und/oder Kühlelemente (12) derart ausgebildet ist, dass eine gewünschte Temperaturverteilung im Spiegelsubstrat erreichbar ist.
Optisches System nach Anspruch 10, bei dem eine Heizelementestruktur mit Widerstandsheizelementen vorgesehen ist, die durch Wärmeleitung eine lokal differenzierte Erwärmung des Spiegelsubstrats hervorrufen.
Optisches System nach Anspruch 10, bei dem eine als projiziertes Wärmestrahlungsmuster ausgebildete Heizelementestruktur vorgesehen ist.
Optisches System nach Anspruch 10, bei dem zum Einbringen des Temperaturgradienten eine Konvektionsheizung vorgesehen ist.
Optisches System nach Anspruch 1, das mindestens eine transmittierende optische Komponente enthält, die mit den Mitteln zum Einbringen des Temperaturgradienten im thermischen Kontakt steht.
Optisches System nach Anspruch 14, bei dem die mindestens eine transmittierende optische Komponente als optische Linse (3, 4, 19, 20, 28–32) ausgebildet ist.
Optisches System nach Anspruch 14, bei dem als transmittierende optische Komponenten Planplatten (13, 14) vorgesehen sind.
Optisches System nach einem der Ansprüche 14 bis 16, bei dem die Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten als einzelne Heiz- und/oder Kühlelemente ausgebildet sind.
Optisches System nach Anspruch 15, bei dem als Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten in die optische Linse (19, 20) Peltierelemente (21, 22) vorgesehen sind, die im thermischen Kontakt mit dem Linsenumfang (23, 24) der optischen Linse (19, 20) stehen.
Optisches System nach einem der Ansprüche 14 bis 16, bei dem die Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten als strukturierte Heizung am Umfang der optischen Komponente angebracht sind.
Optisches System nach einem der Ansprüche 14 bis 16, bei dem die Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten als strukturierte Heizung auf der Oberfläche der optischen Komponente vorgesehen sind.
Optisches System nach einem der Ansprüche 14 bis 16, bei dem die Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten als strukturierte Heizung im Volumen der optischen Komponente vorgesehen sind.
Optisches System nach Anspruch 14, bei dem eine optische Komponente ein Planplattenpaar, bestehend aus einer ersten und einer zweiten Planplatte (13, 14) umfasst, wobei die Mittel zum Einbringen des Temperaturgradienten im Mittenbereich zwischen den beiden Planplatten (13, 14) angeordnet sind und die Fassung (15) als Wärmesenke ausgebildet ist, wodurch in den beiden Planplatten (13, 14) ein Temperaturgradient erzeugbar ist, der von der Mitte der Planplatten (13, 14) zum Planplattenrand gerichtet ist.
Optisches System nach einem der Ansprüche 1 bis 22, bei dem die optischen Komponenten zum Einsatz im infraroten Spektralbereich ausgebildet sind.
Optisches System nach einem der Ansprüche 1 bis 22, bei dem die optischen Komponenten zum Einsatz im ultravioletten Spektralbereich ausgebildet sind.
Optisches System nach einem der Ansprüche 1 bis 22, bei dem die optischen Komponenten zum Einsatz im sichtbaren VIS-Spektralbereich ausgebildet sind.
Verwendung eines optisches Systems nach einem der Ansprüche 1 bis 25 als Aktor zum gezielten Verändern von Abbildungseigenschaften.
Verwendung eines optisches Systems nach einem der Ansprüche 2 bis 25 als Aktor in einem Regelkreis zum Konstanthalten von Abbildungseigenschaften.