EP2584392B1 - Planapochromatisch korrigiertes Mikroskopobjektiv - Google Patents

Planapochromatisch korrigiertes Mikroskopobjektiv Download PDF

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EP2584392B1
EP2584392B1 EP12187886.2A EP12187886A EP2584392B1 EP 2584392 B1 EP2584392 B1 EP 2584392B1 EP 12187886 A EP12187886 A EP 12187886A EP 2584392 B1 EP2584392 B1 EP 2584392B1
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Georg Herbst
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Carl Zeiss Microscopy GmbH
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Description

  • Die Erfindung betrifft ein planapochromatisch korrigiertes Immersions- Mikroskopobjektiv für hochauflösende Mikroskopieanwendungen mit wechselnden dispersiven Immersionsverhältnissen, welches aus mehreren Linsen und/oder Linsengruppen umfassenden Teilsystemen zusammengesetzt ist und eine Korrekturfunktion zur Beseitigung sphärischer Aberrationen besitzt.
  • In der hochwertigen Mikroskopie ist es von großer Bedeutung die Objektinformationen frei von sogenannten Bildfehlern (Aberrationen) in die Bildebene zu übertragen. Treten Abweichungen von den gerechneten Idealverhältnissen auf, werden Aberrationen generiert. Eine Form dieser Abweichungen sind beispielsweise notwendige Systemtoleranzen, die für eine kostengünstige Fertigung eines Mikroskops unumgänglich sind. Die durch die Toleranzen erzeugten Aberrationen werden in der Regel mit geeigneten Justieroptionen wieder beseitigt. Allerdings gibt es im täglichen Gebrauch des Mikroskops auch Einflüsse auf die Idealverhältnisse, welche nicht durch Justierungen verändert werden können und zu Aberrationen führen, die die optische Abbildung sichtbar mindern. Beispiele dafür sind thermische Einwirkungen oder Toleranzablagen der verwendeten Deckgläser. So kann beispielsweise eine Abweichung der Deckglasdicke von nur 0,01 mm bei hochaperturigen Mikroskopobjektiven zu einem erheblichen sphärischen Fehler führen.
    Bei Anwendungen im "Live Cell" Bereich ist es vorteilhaft bei Temperaturen von bis zu 37 Grad Celsius zu arbeiten. Auch hierbei entstehen sphärische Aberrationen. Um auch für diese Anwendungen gute Arbeitsbedingungen zu ermöglichen, wurden Mikroskopobjektive mit einer Korrekturfunktion zur Beseitigung des sphärischen Fehlers (Aberration) entwickelt. Diese Korrekturfunktion wird durch verstellbare Luftabstände, beziehungsweise Luftabstandskombinationen zwischen den optischen Elementen des Mikroskopobjektivs realisiert. Eine derartige Lösung wird beispielsweise in US 5,940,220 vorgestellt.
    Dabei dürfen die Abstandsänderungen nur den Bildfehler beeinflussen, der aus der Art der Anwendung entsteht und beseitigt werden soll. Dies setzt voraus, dass innerhalb der Entwicklungsphase des optischen Systems solche Abstandswirkungen gezielt erzeugt werden.
  • In der modernen Mikroskopie wird zunehmend in die Probe hinein fokussiert. Dabei ändert sich der Immersionszustand für den ein spezielles Objektiv entwickelt wurde. Bedingt durch spektrale Brechzahländerungen zwischen der Immersion und der Probe kann es schon im Achsbereich des Objektivs neben den sphärischen Aberrationen auch zu erheblichen Farblängsfehlern kommen, die die achromatischen oder apochromatischen Eigenschaften eines Mikroskopobjektivs zerstören, so dass die Farbabbildung deutlich verschlechtert wird.
    Der gleiche Zustand tritt ein, wenn Objektive mit unterschiedlichen Immersionen eingesetzt werden. Sobald die dispersiven Eigenschaften der Immersionen voneinander abweichen, bedeutet dies einen zusätzlichen Farblängsfehler und somit ebenfalls den Verlust der achromatischen, beziehungsweise apochromatischen Eigenschaften des Mikroskopobjektivs.
  • Mit den bekannten Korrektions-Mikroskopobjektiven, die für konstante Immersionsverhältnisse konzipiert sind, lassen sich die chromatischen Fehler in der Abbildung nicht beseitigen.
  • Ausgehend von den Nachteilen der Lösung des Standes der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein planapochromatisches korrigiertes Immersions-Mikroskopobjektiv für hochauflösende Mikroskopieanwendungen dahingehend weiter zu entwickeln, dass bei dispersiven Änderungen im Immersions- und im Probenbereich sowohl die sphärischen Aberrationsfehler als auch die Farblängsfehler beseitigt werden (Doppelkorrektions- Mikroskopobjektiv).
    Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einem planapochromatischen Mikroskopobjektiv der eingangs beschriebenen Art durch die Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
    Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 8 angegeben.
    Erfindungsgemäß weist das Mikroskopobjektiv eine weitere Korrekturfunktion zur Beseitigung von Farblängsfehlern infolge dispersiver Änderungen in der Immersion durch Veränderung von Luftabständen zwischen den Linsen oder Abstandskombinationen auf, wobei die Einflussnahme auf den Farblängsfehler einer Drehung der Kurve s(λ) welche die Abhängigkeit des Farbortes s von der Wellenlänge λ beschreibt, entspricht, wobei die Drehrichtung durch die Über- oder Unterkorrektion des Farblängsfehlers bestimmt ist.
    Ausgehend von der Objektebene besteht das Mikroskopobjektiv aus drei Teilsysteme, wobei
    • das erste Teilsystem aus zwei Sammellinsen besteht, welche in Richtung der Objektebene durchgebogenen sind,
    • das zweite Teilsystem aus zwei Zweifachkittgliedern und einem Dreifachkittglied besteht, wobei die in Richtung der Objektebene orientierten Linsen Sammellinsen sind,
    • das dritte Teilsystem aus einem Zweifachkittglied und einem Dreifachkittglied in einer gaussförmigen Anordnung besteht, wobei die konkave Fläche des Zweifachkittgliedes der Bildseite zugewandt ist und die konkave Fläche des Dreifachkittgliedes in Richtung der Objektebene orientiert ist.
  • Die Korrekturfunktion zur Beseitigung sphärischer Aberrationen erfolgt durch Veränderung des Nijboer-Zernike Koeffizienten 3. Ordnung, wobei eine durch Nijboer-Zernike Polynome beschriebenen Wellenfläche zur optischen Abbildung eines Punktes variiert wird.
  • Bedingt durch die beiden Korrekturfunktionen lassen sich mit dem Mikroskopobjektiv sowohl sphärische Abberationen als auch Farblängsfehler beseitigen, so dass die Möglichkeit besteht, mit nur einem Objektiv hochauflösende mikroskopische Untersuchungen bei veränderten Immersionen durchzuführen. Ferner kann man in Proben mit verschiedenen dispersiven Eigenschaften fokussieren, ohne dass die apochromatische Funktion verloren geht.
  • Vorteilhafterweise ist die Korrekturfunktion zur Veränderung des Farblängsfehlers durch Verstellung des Luftabstandes zwischen der ersten Linse und der zweiten Linse des ersten Teilsystems durchführbar, wobei Verstellungen zur Veränderung des Farblängsfehlers von + 0,17 mm möglich sind.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltungsvariante ist die Korrekturfunktion der sphärischen Aberration zur Veränderung des Nijboer-Zernike Koeffizienten 3. Ordnung über die Verstellung des Luftabstandes zwischen der zweiten Linse des ersten Zweifachkittgliedes und der ersten Linse des zweiten Zweifachkittgliedes durchführbar.
  • Zur Veränderung der Luftabstände zum Zwecke der Einstellung der Korrekturfunktionen sind zweckmäßigerweise mechanische, von Hand betätigbare, Mittel vorhanden.
  • Denkbar ist auch, dass zum Zwecke der Generierung geeigneter Luftabstände das Objektiv mit einer Steuereinrichtung gekoppelt ist, mit welcher über Zielfunktionen von Optikprogrammen das Verlaufsverhalten der Luftabstände erfass- und steuerbar ist.
  • Das erfindungsgemäße "Doppelkorrektions Mikroskopobjektiv" ist beugungsbegrenzend apochromatisch korrigiert, hat ein Bildfeld vom 23 mm, eine Vergrößerung von 20x und eine objektseitige Apertur von 1,0 bei einer mittleren Immersionsbrechzahl von 1.3827 (leicht variable Immersion). Der freie Arbeitsabstand hat trotz der großen Apertur eine Länge von 5,6 mm bei einer Abgleichlänge von 105 mm.
  • Nachfolgend wird das erfindungsgemäße planapochromatisch korrigierte Mikroskopobjektiv anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert. Dazu zeigen:
    • Fig. 1
    eine Darstellung der Teilsysteme des Mikroskopobjektivs,
    Fig. 2
    eine Darstellung des Mikroskopobjektivs mit den Konstruktionsdatenbezugszeichen der Dicken, beziehungsweise Luftabstände sowie der Lagen der Korrekturfunktionen,
    Fig. 3
    eine Darstellung des Mikroskopobjektivs mit den Konstruktionsdatenbezugszeichen der Radien der Einzellinsen,
    Fig. 4
    eine Darstellung des Mikroskopobjektivs mit dem nachgeschalteten Tubuslinsensystem,
    Fig. 5
    eine Darstellung des Farblängsfehlerverlaufs und
    Fig. 6
    eine Darstellung der Drehung des Farbkurvenverlaufs aus Fig.5 bei Änderung des Luftabstandes LA1 um -0.1mm.
  • Figur 1 zeigt die Linsenanordnung der drei optischen Teilsysteme, von der Objektebene OE aus betrachtet mit den Teilsystemen T1, T2 und T3.
  • Das Teilsystem T1 besteht aus zwei Einzellinsen L2 und L3, wobei beide Linsen in Richtung der Objektebene OE durchgebogene Sammellinsen sind. L1 kennzeichnet das Immersionsmittel.
  • Das zweite Teilsystem T2 besitzt ein Zweifachkittglied mit den Linsen L4 und L5, ein weiteres Zweifachkittglied mit den Linsen L6 und L7 und ein Dreifachkittglied mit den Linsen L8, L9 und L10, wobei die in Richtung der Objektebene OE orientierten Linsen L4, L6 und L8 Sammellinsen sind.
  • Das dritte Teilsystem T3 besteht aus einem Zweifachkittglied mit den Linsen L11 und L12 und einem Dreifachkittglied mit den Linsen L13, L14 und L15, wobei die konkave Fläche der Linse L12 des Zweifachkittgliedes der Bildseite zugewandt ist und die konkave Fläche der Linse L13 des Dreifachkittgliedes in Richtung der Objektebene OE orientiert ist.
  • In Figur 2 sind die Luftabstände zwischen den Linsen, beziehungsweise die Dicken d1 bis d21 der optischen Elemente sowie die Korrekturfunktion LA1 und LA2 dargestellt.
  • Die Korrekturfunktion LA2 dient zur Beseitigung sphärischer Aberrationen über die Veränderung des Luftabstandes d8 im Stellbereich des Nijboer-Zernike Koeffizienten 3. Ordnung.
  • Über die Korrekturfunktion LA1 erfolgt eine Einstellung des Farblängsfehlers durch Drehung der Kurve s(λ), welche die Abhängigkeit des Farbortes s von der Wellenlänge λ beschreibt. Dazu ist der Luftabstand d3 in einem Stellbereich von + 0,17 mm veränderbar.
  • Figur 3 zeigt das erfindungsgemäße Mikroskopobjektiv mit den Radien r0 bis r21 der einzelnen Linsen L2 bis L15.
  • In Figur 4 wird das Mikroskopobjektiv mit dem nachgeschalteten Tubuslinsensystem, welches durch die Linsen L1T bis L4T, deren Dicken, beziehungsweise Luftabstände zwischen den optischen Elementen d1T bis d5T sowie deren Radien r1T bis r6T charakterisiert ist, dargestellt.
  • Bei Verwendung einer leicht variablen wasserähnlichen Immersion, einem Bildfeld von 23 mm, einer Vergrößerung von 20x, einer objektseitigen Apertur von 1.0, einem freien Arbeitsabstand von 5,6 mm sowie einer Abgleichlänge von 105 mm ergeben sich folgende Konstruktionsdaten für das Mikroskopobjektiv, wobei r0 bis r21 die Krümmungsradien in mm, d1 bis d21 die Dicken, beziehungsweise Luftabstände in mm, ve die Abbezahlen und ne die Brechzahlen sind:
    Linse L1 - L15 Krümmungsradius r0 - r21 (mm) Dicke d1 - d21 (mm) Brechzahl ne Abbezahl νe
    1 unendlich (Immersion) 7,423 1,38271 51,64
    2 -12,2304 5,0 1,60897 43,43
    -8,5343 LA1 = 0,18
    3 -191,127 4,18 1,63483 63,50
    -21,7538 0,277
    4 22,712 15,92 1,65141 52,73
    5 -20,2422 1,81 1,64132 42,20
    21,287 LA2 = 2,42
    6 127,0975 8,4 1,53019 76,58
    7 -12,6822 1,48 1,64132 42,20
    -25,851 0,28
    8 24,938 8,1 1 ,439854 94,49
    9 -15,9619 1,2 1,64132 42,20
    10 12,0575 7,3 1,59446 68,00
    -40,679 0,29
    11 9,7156 6,0 1,59446 68,00
    12 94,4084 4,98 1,88815 40,52
    5,386 5,274
    13 -7,285 3,75 1,65222 33,60
    14 -6,979 1,6 1,73739 51,24
    15 -30,9464 18,58 1,79007 43,80
    -19,387 86,556 Abstand zur Tubuslinse
    mit folgenden Konstruktionsdaten des Tubuslinsensystems, wobei r1T bis r6T die Krümmungsradien in mm und d1T bis d5T die Dicken, beziehungsweise Luftabstände in mm ve die Abbezahlen und ne die Brechzahlen sind:
    Linse L1T-L4T Krümmungsradius r 1T-r6T (mm) Dicke d1T - d5T (mm) Brechzahl ne Abbezahl νe
    1 45,6448 8,0 1,57125 55,70
    2 -67,3134 4,5 1,72308 29,39
    45,316 20,2
    3 143,2827 14,6 1,59667 35,03
    4 -34,2288 6,3 1,51872 63,96
    -137,2633 63,36 Abstand zum Bildort
  • Figur 5 zeigt einen idealen Farbkurvenverlauf, wobei der Farblängsfehler in Abhängigkeit von der Wellenlänge λ, bei Ablagen in Rayleigh Einheiten (λ/(NA)2)dargestellt ist. NA ist dabei die numerische Apertur.
  • Ein Farbkurvenverlauf bei Änderung des Luftabstandes d3 (Korrekturfunktion LA1) wird in Figur 6 dargestellt.
    • Bezugszeichenliste
    • L1
    Immersionsmittel
    L2 bis L15
    Linse Mikroskopobjektiv
    d1 bis d21
    Dicke/Luftabstand Mikroskopobjektiv
    T1,T2,T3
    Teilsystem Mikroskopobjektiv
    r0 bis r21
    Radien Mikroskopobjektiv
    LA1,LA2
    Korrekturfunktion
    OE
    Objektebene
    L1T bis J4T
    Linse Tubuslinsensystem
    d1T bis d5T
    Dicke/Luftabstand Tubuslinsensystem
    r1T bis r6T
    Radien Tubuslinsensystem
    λ
    Wellenlänge
    s
    Farbort
    ne
    Brechzahl
    νe
    Abbezahl

Claims (8)

  1. Planapochromatisch korrigiertes Mikroskopobjektiv für hochauflösende Mikroskopieanwendungen mit wechselnden dispersiven Immersionsverhältnissen, welches aus mehreren Linsen und/oder Linsengruppen umfassenden Teilsystemen zusammengesetzt ist, ein erstes Einstellmittel für eine Korrekturfunktion (LA2) zur Beseitigung sphärischer Aberration durch Veränderung von Luftabständen zwischen den Linsen oder Abstandskombinationen aufweist und ein davon unabhängiges zweites Einstellmittel für eine weitere Korrekturfunktion (LA1) zur Beseitigung von Farblängsfehlern durch Veränderung von Luftabständen oder Abstandskombinationen besitzt, wobei die Einflussnahme auf den Farblängsfehler einer Drehung der Kurve s (λ) welche die Abhängigkeit des Farbortes (s) von der Wellenlänge (λ) beschreibt, entspricht, wobei die Drehrichtung durch die Über- oder Unterkorrektion des Farblängsfehlers bestimmt ist.
  2. Planapochromatisch korrigiertes Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, dass ausgehend von der Objektebene (OE) drei Teilsysteme (T1,T2,T3) vorhanden sind, wobei
    - das erste Teilsystem (T1) aus zwei Einzellinsen (L2,L3) besteht, wobei beide Linsen (L2) und (L3) in Richtung der Objektebene (OE) durchgebogene Sammellinsen sind,
    - das zweite Teilsystem (T2) aus einem Zweifachkittglied mit den Linsen (L4,L5), einem weiteren Zweifachkittglied mit den Linsen (L6,L7) und einem Dreifachkittglied mit den Linsen (L8,L9,L10) besteht, wobei die in Richtung der Objektebene (OE) orientierten Linsen (L4,L6,L8) Sammellinsen sind,
    - das dritte Teilsystem (T3) aus einem Zweifachkittglied mit den Linsen (L11,L12) und einem Dreifachkittglied mit den Linsen (L13,L14,L15) in einer gaussförmigen Anordnung besteht, wobei die konkave Fläche der Linse (L12) des Zweifachkittgliedes der Bildseite zugewandt ist und die konkave Fläche der Linse (L13) des Dreifachkittgliedes in Richtung der Objektebene (OE) orientiert ist und
    - die Korrekturfunktion (LA2) die sphärische Aberration durch Veränderung des Nijboer-Zernike Koeffizienten 3. Ordnung beeinflusst, wobei eine durch Nijboer-Zernike Polynome beschriebenen Wellenfläche zur optischen Abbildung eines Punktes, variiert wird.
  3. Planapochromatisches korrigiertes Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrekturfunktion (LA1) zur Veränderung des Farblängsfehlers durch Verstellung des Luftabstandes (d3) zwischen der Linse (L2) und der Einzellinse (L3) des ersten Teilsystems (T1) durchführbar ist.
  4. Planapochromatisches korrigiertes Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Stellbereich zur Veränderung des Farblängsfehlers ± 0,17 mm ist.
  5. Planapochromatisches korrigiertes Mikroskopobjektiv nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrekturfunktion (LA2) der sphärischen Aberration zur Veränderung des Nijboer-Zernike Koeffizienten 3. Ordnung über die Verstellung des Luftabstandes (d8) zwischen der zweiten Linse (L5) des ersten Zweifachkittgliedes und der ersten Linse (L6) des zweiten Kittgliedes vom zweiten Teilsystem (T2) durchführbar ist.
  6. Planapochromatisches korrigiertes Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Veränderung der Luftabstände (d3,d8) zum Zwecke der Einstellung der Korrekturfunktionen (LA1,LA2) mechanische, von Hand betätigbare, Mittel vorhanden sind.
  7. Planapochromatisches korrigiertes Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zum Zwecke der Generierung geeigneter Luftabstände (d3,D8) das Objektiv mit einer Steuereinrichtung gekoppelt ist, mit welcher über Zielfunktionen von Optikprogrammen das Verlaufsverhalten der Luftabstände (d3,d8) erfass- und steuerbar ist.
  8. Planapochromatisches korrigiertes Mikroskopobjektiv nach den Ansprüchen 1 bis 5, gekennzeichnet durch folgende Konstruktionsdaten mit Krümmungsradien r0 bis r21 in mm, den Dicken, beziehungsweise Luftabständen d1 bis d21 in mm, Brechzahlen ne, Abbezahlen ve und der Verwendung einer leicht variablen wasserähnlichen Immersion, bei einem Bildfeld von 23 mm, einer Vergrößerung von 20x, einer objektseitigen Apertur von 1.0, einem freien Arbeitsabstand von 5,6 mm sowie einer Abgleichlänge von 105 mm: Linse L1 - L15 Krümmungsradius r0 - r21 (mm) Dicke d1 - d21 (mm) Brechzahl ne Abbezahl νe 1 unendlich (Immersion) 7,423 1,38271 51,64 2 -12,2304 5,0 1,60897 43,43 -8,5343 LA1 = 0,18 3 -191,127 4,18 1,63483 63,50 -21,7538 0,277 4 22,712 15,92 1,65141 52,73 5 -20,2422 1,81 1,64132 42,20 21,287 LA2 = 2,42 6 127,0975 8,4 1,53019 76,58 7 -12,6822 1,48 1,64132 42,20 -25,851 0,28 8 24,938 8,1 1,439854 94,49 9 -15,9619 1,2 1,64132 42,20 10 12,0575 7,3 1,59446 68,00 -40,679 0,29 11 9,7156 6,0 1,59446 68,00 12 94,4084 4,98 1,88815 40,52 5,386 5,274 13 -7,285 3,75 1,65222 33,60 14 -6,979 1,6 1,73739 51,24 15 -30,9464 18,58 1,79007 43,80 -19,387 86,556 Abstand zur Tubuslinse
    mit folgenden Konstruktionsdaten des Tubuslinsensystems, wobei r1T bis r6T die Krümmungsradien in mm und d1T bis d5T die Dicken, beziehungsweise Luftabstände in mm sind: Linse L1 T - L4T Krümmungsradius r 1T - r6T (mm) Dicke d1T-d5T (mm) Brechzahl ne Abbezahl νe 1 45,6448 8,0 1,57125 55,70 2 -67,3134 4,5 1,72308 29,39 45,316 20,2 3 143,2827 14,6 1,59667 35,03 4 -34,2288 6,3 1,51872 63,96 -137,2633 63,36 Abstand zum Bildort
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI588560B (zh) 2012-04-05 2017-06-21 布萊恩荷登視覺協會 用於屈光不正之鏡片、裝置、方法及系統
US9201250B2 (en) 2012-10-17 2015-12-01 Brien Holden Vision Institute Lenses, devices, methods and systems for refractive error
CA2887655C (en) 2012-10-17 2021-11-02 Brien Holden Vision Institute Lenses, devices, methods and systems for refractive error
JP6223115B2 (ja) * 2013-10-18 2017-11-01 オリンパス株式会社 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡
DE102014003192B4 (de) 2014-03-01 2024-02-22 Carl Zeiss Microscopy Gmbh System mit einem apochromatischen Mikroskopobjektiv und einer Tubuslinseneinheit
CN103941384B (zh) * 2014-03-11 2015-12-09 宁波舜宇仪器有限公司 显微镜物镜
US9933607B2 (en) 2014-08-06 2018-04-03 General Electric Company Microscope objective
JP7134684B2 (ja) * 2018-04-19 2022-09-12 株式会社エビデント 乾燥系対物レンズ
JP7214192B2 (ja) * 2018-12-11 2023-01-30 横浜リーディングデザイン合資会社 液浸系顕微鏡対物レンズ、結像レンズ及び顕微鏡装置
DE102019204285A1 (de) 2019-03-27 2020-10-01 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Objektiv für ein Mikroskop
DE102019211179A1 (de) 2019-07-26 2021-01-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Immersionsobjektiv

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080106795A1 (en) * 2006-11-06 2008-05-08 Renhu Shi Immersion microscope objective

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2655041C2 (de) * 1976-12-04 1982-04-15 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Immersionsobjektiv zum Gebrauch mit mehreren optisch verschiedenen Immersionsmitteln
DD233210B5 (de) * 1984-12-27 1996-06-13 Zeiss Carl Jena Gmbh Mikroskopobjektiv fuer variable Immersion mit konstanter Abgleichlaenge
JPH10142510A (ja) 1996-11-08 1998-05-29 Nikon Corp 顕微鏡対物レンズ
DE102004051357B4 (de) * 2004-10-19 2013-08-22 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Immersions-Mikroskopobjektiv

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080106795A1 (en) * 2006-11-06 2008-05-08 Renhu Shi Immersion microscope objective

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