DE102007047467A1 - Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter und/oder rückgestreuter Lichtstrahlung - Google Patents

Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter und/oder rückgestreuter Lichtstrahlung Download PDF

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Abstract

Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter und/oder rückgestreuter Lichtstrahlung, wobei die Probenbeleuchtung eine größere zeitliche Kohärenzlänge als die Detektionsstrahlung aufweist und wobei ein im wesentlichen stufenförmiges Stufenelement mit Stufenhöhen größer als die Kohärenzlänge des Detektionslichts und kleiner als die des Anregungslichts vorgesehen ist, wobei an jeder Stufe ein Teilstrahl des Lichts erzeugt wird und durch Interferenz der Teilstrahlen des Anregungslichts eine Veränderung der Strahleigenschaften des Anregungslichts erfolgt oder wobei die Probenbeleuchtung eine kleinere zeitliche Kohärenzlänge als die Detektionsstrahlung aufweist, und ein im wesentlichen stufenförmiges Stufenelement mit Stufenhöhen kleiner als die Kohärenzlänge des Detektionslichts und größer als die des Anregungslichts vorgesehen ist, wobei an jeder Stufe ein Teilstrahl des Lichts erzeugt wird und durch Interferenz der Teilstrahlen des Detektionslichts eine Veränderung der Strahleigenschaften des Detektionslichts erfolgt.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen achromatischen Hauptfarbteiler für die Laser-Scanning-Mikroskopie, der eine effiziente Anregung und Detektion in vorzugsweiser konfokaler Bildgebung erlaubt und die Integration desselben in ein Mikroskop, insbesondere Laser-Scanning-Mikroskop.
  • Stand der Technik
  • In einem Laser-Scanning-Mikroskop nach dem Stand der Technik (1) gelangt Licht der Lichtquelle (LQ) über einen Strahlteiler (MDB), die Scanner (SC), die Scanoptik (SO), die Tubuslinse (TL) und das Objektiv (O) punktförmig auf die Probe (PR). In der Probe wird beispielsweise Fluoreszenzlicht angeregt, welches durch das Objektiv aufgesammelt wird und wiederum auf den Strahlteiler gelangt. Der Strahlteiler ist so ausgelegt, dass dieser das Fluoreszenzlicht aufgrund der gegenüber der Anregungswellenlänge veränderten Spektraleigenschaften transmittiert, so dass das Detektionslicht mit einer Pinholeoptik (PO) durch eine konfokale Blende (PH) fokussiert wird und im Anschluss auf einen Detektor (DE) gelangt. Vor dem Detektor ist in einem Fluoreszenzmikroskop ein Emissionsfilter (EF) zur Unterdrückung des Anregungslichtes vorgesehen. Mit Hilfe der Scanner wird der Beleuchtungsspot über die Probe gerastert. Die Probensignale werden in einem Rechner zu einem Bild zusammengesetzt.
  • Derartige Strahlteiler sind beispielsweise in DE 19702753 A1 beschrieben. Aus dem Strand der Technik ist weiterhin für die Strahlteilung (MDB) die Nutzung des Polarisationszustandes des Lichtes bekannt. Hierzu wird die Anregungsstrahlung linear polarisiert. Die Fluoreszenz ist jedoch normalerweise unpolarisiert. Durch die Ausbildung des MDB als Polarisationsteiler kann jedoch achromatisch nur 50% der Fluoreszenzstrahlung von der Anregungsstrahlung absepariert werden.
  • Weiterhin ist aus dem Strand der Technik eine Pupillenteilung zur Realisierung der Strahlteilung bekannt ( DE 10257237 A1 ). Hierzu wird das Anregungslicht mit einer verkleinerten numerischen Apertur in die Probe abgebildet. Da die Fluoreszenz in alle Raumrichtungen abgestrahlt wird, erfolgt die Sammlung der Fluoreszenz hierbei in einer vergrößerten Apertur.
  • Zur Fluoreszenzanregung werden verschiedenste Farbstoffe eingesetzt. Dies bedeutet, dass für verschiedene Anregungs- und Detektionswellenlängen verschiedene Farbteiler benötigt werden, die normalerweise auf einem Filterrad in den Strahlengang ein- und ausgeschwenkt werden können. Zusätzlich werden Präparate mit mehreren Farbstoffen gleichzeitig versehen. Die Aufnahme der Probensignale, so genannte Mehrfachfluoreszenzsignale, erfolgt dann mit mehreren Detektoren.
  • Nähere Details zum Stand der Technik zu Strahlteilern in Laser-Scanning-Mikroskopen sind weiterhin in „Handbook of biological confocal microscopy", Kapitel 9, Editor J.P. Pawley, Plenum Press, 1995 zu finden.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, eine achromatische Strahltrennung des Anregungs- vom Detektionslicht mit hoher Effizienz sowohl für das Anregungslicht als auch für das Detektionslicht zu erreichen.
  • Dies wird durch die im Folgenden erläuterten Anordnungen realisiert.
  • Beschreibung der Erfindung
  • Die 16 und 911 beschreiben jeweils Anordnungen zur Trennung des gemeinsamen Anregungs- und Detektionstrahlenganges. Der prinzipielle Aufbau der Strahlteilung ist in 1 anhand des Standes der Technik schematisch dargestellt. Der Anregungsstrahlengang umfasst hierbei Strahlwege (3) aus Richtung Lichtquelle (LQ), die über den Strahlteiler (MDB) in Richtung der Probe (PR) reflektiert werden. Der Strahlweg vom Strahlteiler (MDB) bis zur Probe (PR) wird als gemeinsamer Anregungs- und Detektionsstrahlengang (1) bezeichnet. In der Probe wird beispielsweise Fluoreszenzlicht (FL) angeregt. Zusätzlich reflektiert die Probe einen Anteil des Anregungslichts (AL). Das Fluoreszenzlicht wird vorzugsweise vom Strahlteiler (MDB) transmittiert und gelangt in den Detektionsstrahlengang (2), der die Strahlwege von MDB bis zum Detektor (DE) umfasst. Von der Probe (PR) reflektiertes Anregungslicht gelangt über den MBD überwiegend in Richtung des Anregungsstrahlenganges (3) und damit in Richtung der Lichtquelle (LQ).
  • In einem Laser Scanning Mikroskop hat das Detektionslicht (beispielsweise Fluoreszenzlicht) eine größere spektrale Bandbreite als das Anregungslicht. Dies liegt daran, dass die Anregung in Bändern von ca. bis zu 20 nm spektraler Breite erfolgt. Die spektrale Bandbreite beeinflusst die zeitliche Kohärenzlänge des Lichtes. Je breiter das Spektrum des Lichtes ist, desto kürzer ist die zeitliche Kohärenzlänge des Lichtes. Fluoreszenzlicht hat somit eine kürzere Kohärenzlänge als das Anregungslicht.
  • Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass sich durch Ausnutzung dieser Eigenschaft eine besonders effiziente und achromatische Strahlteilung realisieren lässt. Der erfindungsgemäße Strahlteiler verändert vorteilhaft die Abbildungseigenschaften im Vergleich zum Stand der Technik nicht oder nur unwesentlich.
  • 2a) zeigt ein optisch transparentes Stufenelement (PM). Dieses Element zeichnet sich dadurch aus, dass es entlang der optischen Achse (o. A.) Stufen mit einer Breite (B) und einer Höhe (A) aufweist. Die Stufen können beispielsweise durch aufeinander gesetzte Glasplatten mit einem seitlichen Versatz, durch Ätzprozesse (diffraktive Optik) oder durch Mikromaterialbearbeitung realisiert werden.
  • Die Höhe (A) ist dabei so gewählt, dass diese größer ist als die zeitliche Kohärenzlänge des zu detektierenden Lichtes. Jedoch ist die Höhe (A) kleiner als die Kohärenzlänge des Anregungslichtes. Beispielsweise hat Licht mit einer Fluoreszenz im Bereich von 500 bis 550 nm eine Kohärenzlänge von 3.6 μm. Das anregende Laserlicht besitzt dagegen aufgrund der Schmalbandigkeit je nach Lasermedium eine Kohärenzlänge im cm-Bereich. Die Stufenhöhe könnte daher vorzugsweise größer etwa 5–10 μm betragen.
  • Die Breite (B) des Stufenelements (PM) ist so gewählt, dass sie größer als die räumliche Kohärenzlänge ist, so dass das Stufenelement nicht lichtbeugend für das Anregungs- und Fluoreszenzlicht wirkt.
  • 2b) zeigt das Verhalten des anhand von 2a) erläuterten Elements im Strahlengang. Detektions- und Anregungslicht (1) gelangen entlang der optischen Achse o. A. auf das Stufenelement (PM), welches senkrecht (die Stirnfläche SF aus 2a) zur optischen Achse im Strahlengang angeordnet ist. Das Licht wird an den Stufen in Teilstrahlen (T1–Tn) zerlegt, wobei benachbarte Teilstrahlen eine diskrete Phasenverschiebung, um die Höhe der Stufe (A) zueinander erhalten.
  • Da für das Detektionslicht die Höhe (A) größer als die Kohärenzlänge des Detektionslichts ist, können die an den Stufen generierten Teilstrahlen nicht mehr interferieren. Somit treten die Teilstrahlen des Detektionslichts FL ohne Winkeländerung (2) durch das Stufenelement hindurch.
  • Das Anregungslicht AL weist jedoch eine größere Kohärenzlänge als die Stufenhöhe (A) auf. Somit können die Teilstrahlen miteinander interferieren. Hierdurch ergibt sich eine Ablenkung des Anregungslichtes aus der optischen Achse heraus entsprechend des bekannten Snellschen Gesetzes. Hier wird vor allem die erste Beugungsordnung betrachtet. Durch entsprechendes Design des Stufenelementes, zum Beispiel über die Dimensionierung der Stufenbreite (B) oder eine leichte Verdrehung des Stufenelements zur optischen Achse können die nullte Ordnung bzw. höhere Ordnungen weitgehend vermieden werden.
  • Es entsteht somit eine räumliche Separierung der Strahlwege für das Anregungs- und Detektionslicht aufgrund der unterschiedlichen Kohärenzeigenschaften des Lichts.
  • 3a) zeigt ein weiteres Verhalten des anhand von 2a) erläuterten Elements im Strahlengang. Detektions- und Anregungslicht (1) leuchten das Stufenelement (PM) entlang der optischen Achse kreisförmig aus (O in 3b), wobei das Stufenelement wiederum senkrecht zur optischen Achse im Strahlengang angeordnet ist. Das Licht wird an den Stufen in Teilstrahlen (T1–Tn) (3c) zerlegt, wobei benachbarte Teilstrahlen eine diskrete Phasenverschiebung, um die Höhe der Stufe (A) zueinander erhalten (Pupille P). Dem Stufenelement nachgeordnet ist eine Linse (L).
  • Da für das Fluoreszenzlicht die Höhe (A) größer als die Kohärenzlänge des Fluoreszenzlichts ist, können die an den Stufen generierten Teilstrahlen nicht mehr interferieren. Somit treten die Teilstrahlen des Fluoreszenzlichts FL ohne Winkeländerung (3) durch das Stufenelement hindurch. Außerdem wird jeder Teilstrahl für sich einzeln und unabhängig von den anderen Teilstrahlen durch die Linse abgebildet. Maßgeblich für die Abbildung durch die Linse ist die Ausdehnung der Teilstrahlen, d. h. die Breite der Stufe (B) und der Strahldurchmesser. Da der Strahldurchmesser größer als die Breite (B) ist, entsteht im Fokus der Linse (Bild) für das Fluoreszenzlicht eine linienförmige Verteilung entlang der x-Achse (a in 3d).
  • Da das Anregungslicht AL eine größere Kohärenzlänge als das Fluoreszenzlicht besitzt erfährt es eine Ablenkung in x-Richtung (3). Die Linse fokussiert weiterhin in beiden Achsen, so dass ein Punktfokus (b in 3d) entsteht.
  • Es entsteht somit wiederum eine räumliche Separierung der Strahlwege für das Anregungs- und Detektionslicht aufgrund der unterschiedlichen Kohärenzeigenschaften des Lichts. Durch den Einsatz der Linse und damit durch die Fokussierung des Anregungslichtes wird eine vereinfachte räumliche Trennung von Anregungs- und Detektionslicht ermöglicht.
  • 4a) zeigt eine weitere Anordnung mit der sich die Kohärenzeigenschaften des Anregungs- und Detektionslichtes für eine effiziente Strahltrennung nutzen lassen. Das Stufenelement PM weist hierbei eine rotationssymetrische Struktur um die optische Achse (o. A.) auf. Zusätzlich beschreibt die Einhüllende der Stufenstruktur (a) vorzugsweise eine konvexe Linsenform. Die Stufenhöhe sei wiederum für das Detektionslicht größer und für das Anregungslicht kleiner als die Kohärenzlänge der Strahlung. Durch die Struktur wird Licht in ringförmige Teilstrahlen mit gleicher Phase zerlegt. Für das Detektionslicht interferieren diese Teilstrahlen nicht. Dadurch wird die Strahlform und -richtung des Detektionslichts FL nicht beeinflusst. Für das Anregungslicht interferieren die Teilstrahlen und erzeugen einen Fokuspunkt im Brennpunkt des Phasenelements PM. Der Brennpunkt ergibt sich aus der konvexen Form der Einhüllenden des Stufenelements. Die Abb. zeigt eine vereinfachte Darstellung der Linse mit einer geraden Endfläche. Auch diese Fläche kann entsprechend geformt sein. Im Brennpunkt kann mit einem kleinen Spiegel R im ansonsten transmittiven Strahlteiler (MDB) eine räumliche Trennung des Anregungs- und Detektionslichtes erfolgen, wobei das Anregungslicht AL in Richtung Ausgang (3) reflektiert wird. Die Form des MDB ist im Teilbild 4b) verdeutlicht. Er besitzt eine verspiegelte Region (R) und eine transparente Region (T).
  • Es entsteht somit wiederum eine räumliche Separierung der Strahlwege für das Anregungs- und Detektionslicht aufgrund der unterschiedlichen Kohärenzeigenschaften des Lichts.
  • 5) zeigt eine Anordnung mit der sich das Detektionslicht nach der Trennung vom Anregungslicht wieder fokussieren lässt. Hierzu wird ein Kompensationselement (cPM) nach dem Stufenelement (PM) angeordnet. Das cPM ist so beschaffen, dass die durch PM eingeführte modifizierte Phasenfront wieder kompensiert wird. Dazu muss das cPM genau die invertierte (spiegelverkehrte) Form des PM aufweisen. Setzt man beide Elemente PM und cPM zusammen, dann ergibt sich eine planparallele Platte.
  • 6) zeigt eine vorteilhafte Kombination der Anordnungen aus den 4 und 2b. 4 verwendet einen speziellen Spiegel (MBD) zur räumlichen Aufspaltung der Anregungs- (3) und Detektionslichts (2), wobei der MDB einen Teil des Detektionslichts abschattet, so dass es zu Effizienzverlusten kommt. Durch die Kombination des ablenkenden (PM1) und eines fokussierenden (PM2) Stufenelements erfolgt die Fokussierung nur des Anregungslichts außerhalb des Detektionsstrahlenganges auf einen Reflektor M, so dass eine besonders effiziente Strahltrennung ermöglicht wird.
  • Analog zu 5 sind Kompensationselemente cPM1 und cPM2 im weiteren Strahlengang des Fluoreszenzlichtes vorgesehen, cPM1 zur Kompensation von PM2 ist als Hohlelement HS mit zu PM2 spiegelverkehrten Hohlräumen H ausgebildet, ansonsten aller als transmissives Element ausgebildet, während cPM2 zu PM1 spiegelverkehrt aufgebaut ist. Der Phasenversatz der Elemente PM1, PM2 wird hierdurch wieder aufgehoben und am Ausgang von cPM2 liegt voll fokussierfähiges Detektionslicht FL vor.
  • Die Stufenelemente (PM) können ohne Einschränkung auch reflektierend ausgebildet werden. Ein Beispiel für ein Stufenelement ist in 7) dargestellt.
  • Das gemeinsame Anregungs- und Detektionslicht wird aus Richtung (1) auf das Stufenelement geleitet. Am Stufenelement werden Teilstrahlen unterschiedlicher Phase erzeugt. Die Stufendifferenz (h) wird hierbei so gewählt, dass die Kohärenzlänge des Fluoreszenzlichts kleiner als die Stufendifferenz ist. Das Detektionslicht (2) erfährt hierdurch eine klassische Reflexion, wobei der Einfalls- (a1) und Ausfallswinkel (a2) gleich sind, da die Teilstrahlen (die durch die Breite der Stufen (b) bestimmt sind) nicht interferieren können. Die Stufendifferenz (h) ist jedoch kleiner als die Kohärenzlänge des Anregungslichts. Somit können die Teilstrahlen des Anregungslichtes nicht interferieren. Durch Interferieren der Teilstrahlen des Anregungslichts (2) erfährt dieses jedoch eine Beugung am einem Gitter, wobei der Ausfallswinkel (a3), dann durch die Anzahl der Streifen (Stufenbreite b) entsprechend der aus dem Stand der Technik bekannten Gitterformel a3 = a1 + lambda/bgegeben ist, wobei lambda die Wellenlänge des Anregungslichts ist. Eine räumliche Trennung des Anregungs- vom Detektionslichts (Winkel zwischen den Strahlengängen (2) und (3) = a3 – a2) kann durch geeignete Wahl der Streifenzahl (Stufenbreite b) bzw. des Einfallswinkels auf (PM) (a1) erfolgen. Die Verwendung von reflektierenden Anordnungen hat den zusätzlichen Vorteil, dass sie zumindest für das Detektionslicht achromatisch sind.
  • 8) zeigt zwei beispielhafte schematische Anordnungen in einem Laser-Scanning-Mikroskop, wobei eine räumliche Separierung der Strahlwege für das Anregungs- und Detektionslicht aufgrund der unterschiedlichen Kohärenzeigenschaften des Lichts realisiert wird. Hier wird das Anregungslicht der Lichtquelle in derselben Richtung über das Stufenelement eingekoppelt wie es nach Rückkehr von der Probe wieder ausgekoppelt wird.
  • Teilbild a) zeigt eine Anordnung entsprechend der 1, wobei das Strahlteilerelement (MDB) durch einen erfindungsgemäßen Strahlteiler (S) ersetzt wurde. Im Detektionsstrahlengang (2) ist der Strahlteiler (S) so ausgelegt, dass die durch das Stufenelement (PM) modifizierte Phasenfront wieder durch das Element cPM geglättet wird. Hierdurch kann das Licht ausgangsseitig durch die konfokale Blende (PH) fokussiert werden.
  • Teilbild b) zeigt eine weitere Anordnung, wobei die konfokale Blende (PH) im gemeinsamen Anregungs- und Detektionsstrahlengang (1) angeordnet ist. Eine Kompensation der durch das Stufenelement (PM) modifizierten Phasenfront ist im Detektionsstrahlengang (2) nicht erforderlich. Dies hat den Vorteil, dass sich die Justage vereinfacht, da kein kompensierendes Element (cPM) verwendet wird.
  • Auf das in Teilbild a) gezeigte Kompensationselement CPM kann auch verzichtet werden, wenn als konfokale Blende PH eine Rechteckblende zum Einsatz kommt. Für den Strahlteiler kommt vorzugsweise eine Anordnung nach 2b) zum Einsatz. Das Seitenverhältnis der Länge zur Breite der Rechteckblende wird vorzugsweise so gewählt, dass es dem Verhältnis der Breite der Stufen des Stufenelements (B) zum Strahldurchmesser am Eingang des Stufenelements entspricht.
  • 9) zeigt beispielhaft eine detaillierte Darstellung der Anordnung nach 8a) mit dem Strahlteilerelement aus 6).
  • Die Strahlteilung, d. h. die Strahlwege für das Anregungs- und Detektionslicht sind für die Hin- und Rückwege identisch. Somit ist es beispielsweise für das Anregungslicht egal, ob eine Einstrahlung der Lichtquelle LQ oder eine Auskopplung des Anregungslichtes (das an der Probe reflektiert wurde) in Richtung der Lichtquelle erfolgt – siehe auch Erläuterung weiter oben, insbesondere zu 8a.
  • 10) zeigt beispielhaft eine detaillierte Darstellung der Anordnung nach 8a) mit dem Strahlteilerelement aus 5).
  • 11) zeigt beispielhaft eine detaillierte Darstellung der Anordnung für ein Lichtmikroskop mit einem CCD Detektor, wobei zur Strahlteilung das Strahlteilerelement aus 5) zum Einsatz kommt. Gestrichelt eingezeichnet ist der Pupillenstrahlengang, durchgezogen der Objektstrahlengang.
  • Bei der Beschreibung der Anordnungen wurde davon ausgegangen, dass das Detektionslicht eine geringere Kohärenzlänge als das Anregungslicht besitzt. Wird Anregungslicht mit einer geringeren Kohärenzlänge im Vergleich zum Detektionslicht eingesetzt (Weißlichtquelle), dann wird das Stufenelement so ausgelegt, dass die Stufenhöhe kleiner als die Kohärenzlänge des Detektionslichts aber größer als die des Anregungslichts ist. Das bedeutet dass bezüglich der beschriebenen Anordnungen das Anregungslicht durch das Stufenelement hindurchgehen würde und das Detektionslicht (Fluoreszenz) interferiert und aus der optischen Achse heraus gebeugt wird. In den beschriebenen Anordnungen wird dann lediglich der Anregungs- und Detektionsstrahlengang vertauscht.
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  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 19702753 A1 [0003]
    • - DE 10257237 A1 [0004]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • - „Handbook of biological confocal microscopy", Kapitel 9, Editor J.P. Pawley, Plenum Press, 1995 [0006]

Claims (21)

  1. Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter und/oder rückgestreuter Lichtstrahlung, wobei die Probenbeleuchtung eine größere zeitliche Kohärenzlänge als die Detektionsstrahlung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass ein im wesentlichen stufenförmiges Stufenelement mit Stufenhöhen größer als die Kohärenzlänge des Detektionslichts und kleiner als die des Anregungslichts vorgesehen ist, wobei an jeder Stufe ein Teilstrahl des Lichtes erzeugt wird und durch Interferenz der Teilstrahlen des Anregungslichtes eine Veränderung der Strahleigenschaften des Anregungslichtes erfolgt.
  2. Anordnung zur optischen Erfassung von in einer Probe angeregter und/oder rückgestreuter Lichtstrahlung, wobei die Probenbeleuchtung eine kleiner zeitliche Kohärenzlänge als die Detektionsstrahlung aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass ein im wesentlichen stufenförmiges Stufenelement mit Stufenhöhen kleiner als die Kohärenzlänge des Detektionslichts und größer als die des Anregungslichts vorgesehen ist, wobei an jeder Stufe ein Teilstrahl des Lichtes erzeugt wird und durch Interferenz der Teilstrahlen des Detektionslichtes eine Veränderung der Strahleigenschaften des Detektionslichtes erfolgt.
  3. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Stufenhöhe die Differenz der optisch wirksamen Länge im Stufenelement zwischen zwei benachbarten Stufen ist.
  4. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Veränderung der Strahleigenschaften in einer Richtungsänderung von Interferenzlicht in Bezug auf die Richtung von nicht interferierendem Lichtes besteht.
  5. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Stufenelement in Richtung der optischen Achse des Anregungs- und/oder Detektionslichtes in seinem Querschnitt eine stufenartig abnehmende Dicke aufweist.
  6. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Stufenelement, welches das Anregungslicht relativ zum Detektionslicht ablenkt, vorgesehen ist.
  7. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein Stufenelement, welches das Anregungslicht relativ zum Detektionslicht in mindestens einer Achse fokussiert, vorgesehen ist.
  8. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein zusätzliches Element zur räumlichen Trennung des Anregungs- und Detektionsstrahlenganges vorgesehen ist.
  9. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Stufenelement reflektierend und/oder transparent ausgebildet ist.
  10. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine konfokale Rechteckblende am Eingang des Stufenelements vorgesehen ist.
  11. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei ein zweites Stufenelement zur Kompensation der Phasenfront im Detektionsstrahlengang vorgesehen ist.
  12. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei Die Ausbildung des zweiten Stufenelementes bezüglich der Einstrahlrichtung zur Ausbildung des ersten Stufenelementes im Wesentlichen spiegelverkehrt ist.
  13. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei eine Optik zur separaten Fokussierung des Anregungs- und des Fluoreszenzlichtes vorgesehen ist.
  14. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Stufenelement eine rotationssymetrische Struktur um die optische Achse aufweist und eine Einhüllende der Stufenstruktur vorzugsweise eine konvexe Linsenform hat.
  15. Anordnung nach Anspruch 14, wobei ein zweites Stufenelement vorgesehen ist das einen Hohlraum aufweist, der der Form des rotationssymmetrischen Stufenelementes im Wesentlichen entspricht.
  16. Anordnung nach einem der Ansprüche 14,15 , wobei das zweite Stufenelement spiegelverkehrt zum ersten Stufenelement angeordnet ist.
  17. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Anregungslicht außerhalb des Detektionsstrahlenganges auf einen Spiegel fokussiert ist.
  18. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei über einen das Anregungslicht über einen Spiegel in den Beleuchtungsstrahlengang ein und/oder ausgekoppelt wird.
  19. Anwendung einer Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche in einem Mikroskop.
  20. Anwendung einer Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, in einem Laser-Scanning-Mikroskop.
  21. Mikroskop, insbesondere Laser-Scanning-Mikroskop nach einem der vorangehenden Ansprüche.
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