DE102007022842A1 - Verfahren und Messanordnung zur Differenzdruckmessung - Google Patents

Verfahren und Messanordnung zur Differenzdruckmessung Download PDF

Info

Publication number
DE102007022842A1
DE102007022842A1 DE102007022842A DE102007022842A DE102007022842A1 DE 102007022842 A1 DE102007022842 A1 DE 102007022842A1 DE 102007022842 A DE102007022842 A DE 102007022842A DE 102007022842 A DE102007022842 A DE 102007022842A DE 102007022842 A1 DE102007022842 A1 DE 102007022842A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure
corrected
correction
temperature
differential pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102007022842A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102007022842B4 (de
Inventor
Andreas Dr. Schroth
Jorge Gonzalez
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
I2S Intelligente Sensorsysteme Dresden GmbH
Original Assignee
I2S Intelligente Sensorsysteme Dresden GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by I2S Intelligente Sensorsysteme Dresden GmbH filed Critical I2S Intelligente Sensorsysteme Dresden GmbH
Priority to DE200710022842 priority Critical patent/DE102007022842B4/de
Publication of DE102007022842A1 publication Critical patent/DE102007022842A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102007022842B4 publication Critical patent/DE102007022842B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/02Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
    • G01L9/06Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
    • G01L9/065Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Differenzdruckmessung, bei dem mittels eines ersten Drucksensors (1) ein erster Druckmesswert (P1) und mittels eines zweiten Drucksensors (2) ein zweiter Druckmesswert (P2) ermittelt werden und bei dem in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert (P1) und vom zweiten Druckmesswert (P2) ein Differenzdruck (Pdiff) berechnet wird, wobei in einer Umgebung des ersten Drucksensors (1) auch eine erste Temperatur (T1) und in einer Umgebung des zweiten Drucksensors (2) auch eine zweite Temperatur (T2) gemessen werden und in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert (P1) und der ersten Temperatur (T1) ein korrigierter erster Druck (P1<SUB>korr</SUB>) und in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert (P2) und der zweiten Temperatur (T2) ein korrigierter zweiter Druck (P2<SUB>korr</SUB>) berechnet werden, wobei ferner der Differenzdruck (Pdiff) als Differenz zwischen dem korrigierten ersten Druck (P1<SUB>korr</SUB>) und dem korrigierten zweiten Druck (P2<SUB>korr</SUB>) gebildet wird. Die Erfindung betrifft ferner eine entsprechende Messanordnung zur Differenzdruckmessung.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Differenzdruckmessung nach dem Oberbegriff des Hauptanspruchs sowie eine entsprechende Messanordnung zur Differenzdruckmessung nach dem Oberbegriff des Nebenanspruchs.
  • Herkömmliche derartige Verfahren zum Messen von Druckdifferenzen, bei denen mittels eines ersten Drucksensors ein erster Druckmesswert und mittels eines zweiten Drucksensors ein zweiter Druckmesswert ermittelt werden, wobei in Abhängigkeit von den beiden Druckmesswerten ein Differenzdruck berechnet wird, sind insbesondere dann mit dem Nachteil einer nicht hinreichend hohen Genauigkeit behaftet, wenn zwischen den beiden Druckmesswerten, die jeweils einen Einzeldruck repräsentieren, eine Druckdifferenz besteht, die betragsmäßig deutlich kleiner ist als die Einzeldrücke, beispielsweise bei einem Verhältnis von an den einzelnen Drucksensoren anliegenden Ein zeldrücken zur Druckdifferenz von größenordnungsmäßig etwa 20 zu 1.
  • Zur Lösung dieses Problems sind im Stand der Technik Verfahren zur direkten Differenzdruckmessung bekannt, bei denen auf zwei Seiten eines einzigen Druckwandlerelements die beiden Einzeldrücke oder Teildrücke (gelegentlich auch jeweils als Linepressure bezeichnet) anliegen, deren Differenz gemessen werden soll. Das Druckwandlerelement wird dabei in der Regel gegeben sein durch eine Membran als Verformungskörper mit geeignet angebrachten mechano-elektrischen Wandlerelementen. Nachteilig bei derartigen Verfahren ist, dass dabei die auf mindestens einer Seite des Druckwandlerelementes angebrachten mechano-elektrischen Wandlerelemente einem Medium ausgesetzt sind, dessen Druck gemessen werden soll. Das kann schon bei leicht aggressiven Medien, wie beispielsweise Öl oder Luft oder salzhaltigen Medien, zu Korrosionserscheinungen und damit verbundenen Sensorausfällen führen. Zu deren Vermeidung sind Schutzvorkehrungen, wie Beschichtungen oder Schutz durch Ölfüllungen unter Verwendung von Glasdurchführungen zum hermetischen Abschluss, vorgeschlagen worden, die jedoch sehr aufwendig und damit teuer sind. Auch bieten solche Vorkehrungen je nach Art der Beschichtung nur einen nachteilig begrenzten Schutz gegen eine eingeschränkte Auswahl von Medien. Ein weiterer Nachteil ergibt sich durch die wegen der Beziehung zwischen geforderter Differenzdruckauflösung und Wandlerempfindlichkeit – abhängig beispielsweise von einer Membrandicke – limitierte Überdruckfestigkeit entsprechender Differenzdrucksensoren für eine direkte Differenzdruckmessung. Das hat zur Folge, dass nur ein sehr begrenztes Verhältnis von Differenzdruckauflösung zu den höchstzulässigen Einzeldrücken erreicht werden kann oder dass die ver wendeten Wandlerelemente und damit die Differenzdrucksensoren eine sehr große Bauform erhalten.
  • Die eingangs erwähnte Alternative einer Verwendung von zwei Drucksensoren mit anschließender Differenzbildung auf mathematischem Wege scheiterte für entsprechende Anwendungen bislang an der durch diese Vorgehensweise implizierten Verstärkung der sich summierenden Fehler der einzelnen Drucksensoren, was bei entsprechenden bislang bekannten Messanordnungen zu einem nicht mehr akzeptablen Gesamtfehler eines Differenzsignals führt.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt also die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Differenzdruckmessung vorzuschlagen, das die erwähnten Nachteile überwindet, mit dem also auch verglichen zu den Einzeldrücken ausgesprochen kleine Druckdifferenzen sehr genau messbar sind, wobei dazu verwendete Drucksensoren vor einer zu leichten Beschädigung durch aggressive Messmedien oder durch ungewöhnlich hohe Druckdifferenzen schätzbar sein soll. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, eine entsprechende Messanordnung vorzuschlagen, mit der ein derartiges Verfahren zur Differenzdruckmessung durchgeführt werden kann.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruch in Verbindung mit den Merkmalen des Oberanspruchs sowie durch eine Messanordnung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Nebenanspruchs in Verbindung mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Nebenanspruchs. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterentwicklungen der Erfindung ergeben sich mit den Merkmalen der Unteransprüche.
  • Dadurch, dass bei dem vorgeschlagenen Verfahren in einer Umgebung des Ersten Drucksensors eine erste Temperatur gemessen wird und in einer Umgebung des zweiten Drucksensors eine zweite Temperatur gemessen wird und dass in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert und der ersten Temperatur ein korrigierter erster Druck berechnet wird und in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert und der zweiten Temperatur ein korrigierter zweiter Druck berechnet wird, wobei der Differenzdruck als Differenz zwischen dem korrigierten ersten Druck und dem korrigierten zweiten Druck gebildet wird, wird einerseits eine hinreichend genaue Messung der Druckdifferenz zwischen den Einzeldrücken auch dann möglich, wenn diese verhältnismäßig klein ist, während gleichzeitig beide Drucksensoren bei Bedarf so gestaltet werden können, dass in den Drucksensoren verwendete Wandlerelemente einem zu vermessenden Medium nicht ausgesetzt sind. Das beschriebene Verfahren eignet sich damit insbesondere zur Differenzdruckmessung in aggressiven Medien, beispielsweise zur Prozessmesstechnik oder zur Differenzdruckmessung in Anlagen für alternative Energiegewinnung, zur Differenzdruckmessung an Einspritzanlagen oder allgemein zur Motorsteuerung oder zur Differenzdruckmessung in Hydraulikanlagen, über Öl-, Luft- oder ähnlichen Filtereinrichtungen. Auch lassen sich mit dem vorgeschlagenen Verfahren durch ungewöhnlich hohe Druckdifferenzen verursachte Schäden vermeiden, weil zwei Drucksensoren verwendet werden. Eine Signal- oder Datenverarbeitung geschieht bei dem beschriebenen Verfahren typischerweise jeweils in digitaler Form, aber auch eine zumindest teilweise analoge Verarbeitung der Druckmesswerte zur Bestimmung des Differenzdrucks ist selbstverständlich möglich.
  • Die dementsprechend vorteilhafte Messanordnung zur Differenzdruckmessung, mit der ein solches Verfahren durchführbar ist, umfasst neben dem ersten Drucksensor zum ermitteln des ersten Druckmesswertes und dem zweiten Drucksensor zum Ermitteln des zweiten Druckmesswertes auch eine Recheneinheit zum Berechnen des Differenzdrucks in Abhängigkeit von den Druckmesswerten, wobei diese Messanordnung ferner einen ersten Temperatursensor zum Messen der ersten Temperatur in einer Umgebung des ersten Drucksensors und einen zweiten Temperatursensor zum Messen der zweiten Temperatur in einer Umgebung des zweiten Drucksensors aufweist, wobei die Recheneinheit ferner Mittel zum Korrigieren des ersten Druckmesswertes, die einen korrigierten ersten Druck in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert und von der ersten Temperatur ausgeben, sowie Mittel zum Korrigieren des zweiten Druckmesswertes, die einen korrigierten zweiten Druck in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert und von der zweiten Temperatur ausgeben, umfasst und eingerichtet ist zum Bilden des Differenzdruck als Differenz zwischen dem korrigierten ersten Druck und dem korrigierten zweiten Druck. Die Temperatursensoren können dabei selbstverständlich eine Einheit mit dem ersten bzw. zweiten Drucksensor bilden. Die Recheneinheit kann durch einen Mikrocontroller oder dergleichen gegeben sein. Durch eine entsprechende Programmierung der Recheneinheit, die selbstverständlich auch auf verschiedene räumlich getrennte Untereinheiten aufgeteilt sein kann, kann die Messanordnung programmtechnisch zur Durchführung eines Verfahrens der vorgeschlagenen Art eingerichtet sein.
  • Es kann vorgesehen sein, dass zusätzlich zur beschriebenen Korrektur der Druckmesswerte bereits eine erste Korrektur oder Kalibrierung in einer Primärelektronik jedes Drucksensors geschieht, wobei diese Primärelektronik mit dem jeweiligen Drucksensor eine Einheit bilden kann. Dadurch wird eine zweistufige Korrektur von aus den Einzeldrücken gewonnenen Messwerten realisiert, was dem Verfahren eine noch höhere Genauigkeit verleiht.
  • Beim ersten Drucksensor wie beim zweiten Drucksensor kann es sich jeweils um einen Absolut- oder auch Relativdrucksensor jeder denkbaren Ausführung handeln. Insbesondere kann jeder dieser Drucksensoren eine Membran mit einem mechano-elektrischen Wandlerelement, beispielsweise einem piezoelektrischen Wandlerelement, aufweisen. Als Wandler für die Drucksensoren kommen auch Dehnungsmessstreifen, piezo-ressistive Widerstände – vorzugsweise in einer Wheatstone-Brücke geschaltet oder kapazitive Elemente in Frage. Vorzugsweise sind die Drucksensoren jeweils als hermetisch verschweißte Wandler, beispielsweise Edelstahlwandler, ausgeführt.
  • Nachfolgend wird beschrieben, wie die Berechnung des korrigierten ersten Drucks und des korrigierten zweiten Drucks und damit die Berechnung des Differenzdrucks und gegebenenfalls eines korrigierten Differenzdrucks bei bevorzugten Ausführungen der Erfindung in besonders einfacher Weise geschehen kann. Insbesondere kann der korrigierte erste Druck durch Addition eines in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert und von der ersten Temperatur definierten ersten Korrekturwertes zum ersten Druckmesswert und der korrigierte zweite Druck durch Addition eines in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert und von der zweiten Temperatur definierten zweiten Korrekturwertes zum zweiten Druckmesswert gebildet werden. Als Alternative wäre eine Multiplikation der Druckmesswerte mit jeweils einem ersten Korrekturfaktor oder einem zwei ten Korrekturfaktor möglich, wobei die Korrekturfaktoren dann jeweils abhängig vom jeweiligen Druckmesswert und der jeweiligen Temperatur definiert wären. Die zur Realisierung einer möglichst hohen Messgenauigkeit erforderlichen Korrekturwerte oder Korrekturfaktoren können dabei problemlos jeweils durch Kalibriermessungen ermittelt werden. Es kann vorgesehen sein, dass die Korrekturwerte oder Korrekturfaktoren jeweils zusätzlich in Abhängigkeit von weiteren gemessenen Zustandsgrößen, beispielsweise Feuchtigkeitswerte, bestimmt und definiert werden.
  • Eine programmtechnisch einfach realisierbare Ausführung des Verfahrens und einer entsprechenden Messanordnung ergibt sich, wenn der erste Korrekturwert und der zweite Korrekturwert auf Grundlage einzelner Korrekturwerte erhalten werden, die für diskrete Stützstellen gespeichert sind. Ein jeweils zu addierender Korrekturwert – entsprechendes würde alternativ für einen anzuwendenden Korrekturfaktor gelten – kann dabei zum Beispiel durch Interpolation zwischen solchen Korrekturwerten ermittelt werden, die für die Stützstellen gespeichert sind, die den aktuellen Druckmesswerten und/oder Temperaturen am nächsten liegen. Die diskreten Korrekturwerte können dabei als eine Look-up-Table definierend angesehen werden. Alternativ oder zusätzlich können die Korrekturwerte bzw. Korrekturfaktoren auf Grundlage von Interpolationsfunktionen erhalten werden, die durch Korrekturwerte an diskreten Stützstellen definiert sind. Die Stützstellen sind dabei also jeweils durch diskrete Werte für den ersten Druckmesswert und die erste Temperatur bzw. den zweiten Druckmesswert und die zweite Temperatur und eventuell sogar weitere Größen gegeben. Interpolationsfunktionen, die eine sehr genaue Korrektur auch bei einer nicht zu großen Anzahl von Stütz stellen erlauben, sind bspw. durch polynominale Regression bestimmbar. Temperaturabhängigkeit und Druckabhängigkeit der Korrekturwerte können dabei auch unterschiedlich behandelt werden durch eine Kombination einer Look-up-Table für eine der Größen mit Interpolationsfunktionen zur Beschreibung der Abhängigkeit von der jeweils anderen Größe. So wäre es möglich, für diskrete Temperaturwerte, beispielsweise für fünf verschiedene Temperaturen, jeweils die Druckabhängigkeit der Korrekturwerte durch Interpolationsfunktionen zu definieren. Bei den in der vorliegenden Schrift genannten Interpolationsfunktionen kann es sich insbesondere jeweils um Interpolationspolynome handeln. Dazu können wiederum beispielsweise Polynome dritten oder höheren Grades verwendet werden, die vorzugsweise abschnittsweise definiert sein können, im vorliegenden Fall auf Basis von vier oder mehr dem aktuellen Druckmesswert nächstgelegenen Druck-Stützstellen. Andersherum kann auch für jeden der Druckmesswerte eine Look-up-Table zur Bestimmung der Druckabhängigkeit des jeweiligen Korrekturwerts verwendet und mit Interpolationsfunktionen zur Definition der Temperaturabhängigkeit kombiniert werden.
  • Eine noch größere Genauigkeit lässt sich erreichen, wenn aus dem als Differenz zwischen dem korrigierten ersten Druck und dem korrigierten zweiten Druck definierten Differenzdruck wiederum in Abhängigkeit vom korrigierten ersten Druck oder vom korrigierten zweiten Druck oder in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert oder vom zweiten Druckmesswert ein korrigierter Differenzdruck berechnet wird. Dabei wird der korrigierte Differenzdruck vorzugsweise zusätzlich in Abhängigkeit von mindestens einer der gemessenen Temperaturen berechnet. Insbesondere kann bei einer entsprechenden Messanordnung die Recheneinheit zusätz lich Mittel zum Korrigieren des Differenzdrucks aufweisen, die einen korrigierten Differenzdruck in Abhängigkeit vom korrigierten ersten Druck oder vom korrigierten zweiten Druck oder in Abhängigkeit von einem der Druckmesswerte und eventuell zusätzlich in Abhängigkeit von mindestens einer der gemessenen Temperaturen ausgeben.
  • Die Berechnung des korrigierten Differenzdrucks aus dem zuvor bestimmten Differenzdruck kann dabei analog zur Korrektur der beiden Druckmesswerte geschehen. Eine einfach realisierbare Ausführung des Verfahrens sieht also vor, dass der korrigierte Differenzdruck gebildet wird durch Addition eines dritten Korrekturwertes zum Differenzdruck oder zu einer aus dem Differenzdruck abgeleiteten, beispielsweise durch Multiplikation mit einem Skalierungsfaktor skalierten, Zwischengröße, wobei dieser dritte Korrekturwert in Abhängigkeit vom korrigierten ersten Druck oder vom korrigierten zweiten Druck oder in Abhängigkeit von einem der Druckmesswerte definiert ist. Der korrigierte Differenzdruck kann auch durch Multiplikation des zuvor bestimmten Differenzdrucks oder einer aus diesem Differenzdruck abgeleiteten, beispielsweise durch Multiplikation mit einem Skalierungsfaktor skalierten, Zwischengröße mit einem Korrekturfaktor gebildet werden, wobei dann dieser Korrekturfaktor in Abhängigkeit vom korrigierten ersten Druck oder vom korrigierten zweiten Druck oder in Abhängigkeit von einem der Druckmesswerte definiert ist. Wieder ist eine Ermittlung des dritten Korrekturwerts oder des Korrekturfaktors durch Kalibriermessungen möglich. Auch kann der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor wieder zusätzlich von weiteren gemessenen Zustandsgrößen abhängen. Insbesondere kann der dritte Korrekturwert oder der Korrektorfaktor zusätzlich in Abhängigkeit von der gemessenen ersten Temperatur und/oder der gemessenen zweiten Temperatur und/oder beispielsweise in Abhängigkeit von einer gemessenen Feuchtigkeit definiert sein.
  • Dabei kann vorgesehen sein, dass der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor wieder in einfacher Weise erhalten wird auf Grundlage von für diskrete Stützstellen gespeicherten Korrekturwerten und/oder auf Grundlage von Interpolationsfunktionen, die durch Korrekturwerte oder Korrekturfaktoren an diskreten Stützstellen definiert sind. Dabei kann wieder eine Interpolation zwischen Korrekturwerten für solche Stützstellen erfolgen, die aktuell gemessenen oder bestimmten Werten am nächsten liegen, so dass die diskreten Korrekturwerte dann wieder als eine Look-up-Table definierend angesehen werden können. Die Stützstellen sind dabei wieder jeweils durch diskrete Werte derjenigen Größen gegeben, in Abhängigkeit derer der korrigierte Differenzdruck bzw. der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor berechnet wird. Die Genauigkeit erhöhende Interpolationsfunktionen können dazu bspw. durch polynomiale Regression bestimmt werden. Wieder sind verschiedene Kombinationen denkbar, wenn der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor von mehr als einer Variablen abhängt. So kann beispielsweise für diskrete Temperaturwerte, z. B. für fünf verschiedene erste Temperaturen, jeweils eine Druckabhängigkeit des dritten Korrekturwertes oder des Korrekturfaktors, beispielsweise eine Abhängigkeit vom korrigierten zweiten Druck, durch eine Interpolationsfunktion oder durch Interpolationsfunktionen definiert sein. Dazu können z. B. Polynome dritten oder höheren Grades verwendet werden, die vorzugsweise abschnittsweise definiert sind auf Basis von vier oder mehr dem aktuellen Druckmesswert am nächsten liegenden Druck-Stützstellen. Genauso gut kann eine Look-up-Table zur Bestimmung der Druckabhängigkeit dienen, während die Temperaturabhängigkeit des dritten Korrekturwertes oder des Korrekturfaktors durch Interpolationsfunktionen oder durch eine Interpolationsfunktion definiert wird.
  • Das beschriebene Verfahren kann dadurch weiter entwickelt werden, dass ferner eine automatische Driftkorrektur vorgenommen wird, indem bei Eintritt von Bedingungen, die einen bestimmten tatsächlichen Systemzustand indizieren, der erste Druckmesswert oder der korrigierte erste Druck mit einem ersten Referenzwert verglichen wird und der zweite Druckmesswert oder der korrigierte zweite Druck mit einem zweiten Referenzwert verglichen wird, wobei dabei ermittelte Differenzen zwischen den Referenzwerten und den damit verglichenen aktuell gemessenen Größen für folgende Differenzdruckmessungen zum jeweiligen Druckmesswert oder zum korrigierten ersten Druck oder zum korrigierten zweiten Druck hinzuaddiert werden. Alterungserscheinungen der Drucksensoren, die typischerweise zu einer im Wesentlichen druckabhängigen Drift der Druckmesswerte führen, können damit in einfacher Weise kompensiert werden, was eine auch langfristig hohe Messgenauigkeit zur Folge hat. Bei dem genannten Systemzustand, bei dessen Eintreten eine Driftkorrektur vorgenommen werden soll, handelt es sich typischerweise um einen – vorzugsweise über einen längeren Zeitraum anhaltenden – Maschinenstillstand oder Urzustand, der z. B. durch eine verschwindende Druckdifferenz zwischen den Einzeldrücken bei einem Umgebungsdruck entsprechenden Werten der Einzeldrücke an den beiden Drucksensoren charakterisiert sein kann. Zusätzlich kann der bestimmte Systemzustand durch Werte für die erste Temperatur und die zweite Temperatur definiert sein, die deutlich unter üblichen Betriebstemperaturen liegen. Bei den Referenzwerten kann es sich jeweils um einen Offset handeln, der für den genannten bestimmten Systemzustand im Neustand der entsprechenden Messanordnung oder nach einer letzten Driftkorrektur gespeichert worden ist. Die durch das Vergleichen mit den Referenzwerten ermittelten Differenzen können gegebenenfalls auf den jeweiligen alten Offset aufaddiert werden zur Bildung eines anstelle des alten Offsets zu speichernden neuen Offsets für jeden der beiden Drucksensoren. Alternativ kann die jeweilige Differenz zum entsprechenden Referenzwert berücksichtigt werden durch einen konstanten Summanden in jener Korrekturstufe, in der aus dem jeweiligen Druckmesswert der korrigierte erste oder zweite Druck gebildet wird. Im zuerst genannten Fall kann eine Logik für die Driftkorrektur in einer dem jeweiligen Drucksensor zugeordneten Primärelektronik integriert sein, unter Umständen einschließlich einer Elektronik für den Vergleich des jeweiligen Druckmesswerts mit dem entsprechenden Referenzwert.
  • Der Eintritt der genannten Bedingung, die auf den bestimmten Systemzustand hinweist, kann vorteilhafterweise festgestellt werden, indem mindestens eine der Größen erster Druckmesswert, korrigierter erster Druck, erste Temperatur und/oder mindestens eine der Größen zweiter Druckmesswert, korrigierter zweiter Druck, zweite Temperatur und/oder eine der Größen Differenzdruck, korrigierter Differenzdruck jeweils daraufhin geprüft werden, ob sie in ein jeweils definiertes Intervall fallen, wobei eine Durchführung der Driftkorrektur dann ausgelöst wird, wenn die geprüften Größen in die jeweils definierten Intervalle fallen. Diese Intervalle können für den typischsten Fall definiert sein durch Umgebungen eines typischen oder eigens gemessenen Umgebungsdrucks für die Einzeldrücke oder einer typischen oder eigens gemessenen Raum- oder Außentemperatur für die in einer Umgebung der Drucksensoren gemessenen Temperaturen oder durch eine kleine Null-Umgebung für die Druckdifferenz.
  • Damit der Systemzustand, der bei einer Driftkorrektur herrschen soll, mit hinreichend hoher Sicherheit gegeben ist, wenn eine Driftkorrektur ausgelöst wird, sollten vorzugsweise möglichst viele der genannten oder anderer Größen mit diesem Systemzustand charakterisierenden Differenzwerten verglichen werden. Eine vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens mit Driftkorrektur beschriebener Art sieht vor, dass zum Feststellen des Eintritts der genannten Bedingung ferner eine weitere Temperatur und/oder eine weiterer Druck gemessen wird und jeweils mit mindestens einer der geprüften Größen verglichen oder auf Überschneidung mit einem jeweils definierten Referenzintervall geprüft wird. Dazu kann die verwendete Messanordnung einen entsprechenden weiteren Sensor aufweisen. Die weitere Temperatur oder der weitere Druck kann dabei intern (also in einem Sensorgehäuse, das auch den ersten und/oder den zweiten Drucksensor aufnimmt, vorzugsweise jedoch dennoch möglichst weit vom ersten oder zweiten Druck- oder Temperatursensor entfernt) oder auch extern gemessen werden und beispielsweise einer Raumtemperatur oder einem Umgebungsdruck entsprechen. Dadurch kann eine weitere Plausibilitätsprüfung daraufhin erfolgen, ob der für die Durchführung der Driftkorrektur gewünschte bestimmte Systemzustand – also typischerweise der Maschinenstillstand – tatsächlich vorliegt.
  • Auch kann vorgesehen sein, dass die Driftkorrektur nur dann ausgelöst wird, wenn die genannten Bedingun gen länger als eine Mindestzeit erfüllt bleiben, damit beispielsweise ein hinreichender langer Maschinenstillstand indiziert wird, der auf gleiche Einzeldrücke zu schließen erlaubt, bevor eine Driftkorrektur vorgenommen wird.
  • Ein Ausführungsbeispiel für die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der 1 beschrieben. Diese Figur zeigt in schematischer Darstellung eine Messanordnung zur Differenzdruckmessung in einer Ausführung der Erfindung.
  • In der 1, die auch der Veranschaulichung eines entsprechenden Verfahrens zur Differenzdruckmessung dient, ist zunächst ein erster Drucksensor 1 zum Ermitteln eines ersten Druckmesswertes P1 und ein zweiter Drucksensor 2 zum Ermitteln eines zweiten Druckmesswertes P2 zu erkennen. Diese Drucksensoren 1 und 2 sollen im vorliegenden Ausführungsbeispiel jeweils einen piezoresistiven Widerstand als Wandler aufweisen, der, wie schematisch angedeutet, jeweils in einer Wheatstone-Brücke verschaltet ist. Stattdessen könnten selbstverständlich auch alle anderen bereits erwähnten Arten von Sensoren zur Druckmessung verwendet werden, wobei nicht nur Absolutdrucksensoren, sondern auch Relativdrucksensoren in Frage kommen.
  • Ebenfalls schematisch dargestellt sind eine erste Primärelektronik 3 und eine zweite Primärelektronik 4, die jeweils mit dem ersten Drucksensor 2 oder dem zweiten Drucksensor 2 eine Einheit bilden und in denen bereits eine Kalibrierung eines vom entsprechenden Drucksensor 1 oder 2 erhaltenen Messwerts sowie eine Umwandlung in ein digitales Signal zur Darstellung des jeweiligen Druckmesswertes P1 oder P2 erfolgen kann. Eine alternative Ausführung der Erfindung sieht vor, dass die erste Primärelektronik 3 und die zweite Primärelektronik 4 analoge Signale zur weiteren Verarbeitung abgeben. In eine den Drucksensor 1 oder 2 und die entsprechende Primärelektronik 3 oder 4 umfassende Sensoreinheit integriert ist jeweils auch ein erster Temperatursensor zum Messen einer ersten Temperatur T1 in einer Umgebung des ersten Drucksensors 1 bzw. ein zweiter Temperatursensor zum Messen einer zweiten Temperatur T2 in einer Umgebung des zweiten Drucksensors 2.
  • Den Drucksensoren 1 und 2 mit der entsprechenden Primärelektronik 3 oder 4 nachgeschaltet ist eine Recheneinheit 5, bei der es sich hier um einen Mikrocontroller handelt. Diese Recheneinheit 5 umfasst Mittel 6 zum Korrigieren des ersten Druckmesswertes P1, die einen korrigierten ersten Druck P1korr in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert P1 und von der ersten Temperatur T1 ausgeben, sowie Mittel 7 zum Korrigieren des zweiten Druckmesswertes P2, die einen korrigierten zweiten Druck P2korr in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert P2 und von der zweiten Temperatur T2 ausgeben. Ferner ist die Recheneinheit 5 programmtechnisch eingerichtet zum Berechnen eines Differenzdrucks Pdiff als Differenz zwischen dem korrigierten ersten Druck P1korr und dem korrigierten zweiten Druck P2korr. Der so ermittelte Differenzdruck Pdiff wird zunächst durch Multiplikation mit einem Skalierungsfaktor x skaliert. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Recheneinheit 5 zusätzlich Mittel 8 zum Korrigieren des Differenzdrucks Pdiff auf, die einen korrigierten Differenzdruck Pdiffkorr in Abhängigkeit vom korrigierten zweiten Druck P2korr, anstelle dessen auch der zweite Druckmesswert P2 verwendet werden könnte, und von der ersten Temperatur T1, anstelle derer auch die zweite Temperatur T2 verwendet werden könnte, aus dem mit dem Skalierungsfaktor x multiplizierten Differenzdruck Pdiff berechnen und an einen Digital-Analog-Wandler 9 ausgeben. Bei anderen Ausführungen der Erfindung fehlen diese Mittel 8 zum Korrigieren des Differenzdrucks Pdiff und wieder andere Ausführungen sehen vor, dass eine Multiplikation mit dem Skalierungsfaktor x erst nach der Korrektur des Differenzdrucks Pdiff zum korrigierten Differenzdruck Pdiffkorr erfolgt.
  • Neben einem Ausgang 10 für ein analoges Ausgangssignal am Digital-Analog-Wandler 9 weist die abgebildete Messanordnung auch einen weiteren Ausgang 11 für ein digitales oder pulsweitenmoduliertes korrigiertes Differenzdrucksignal sowie zusätzliche Ausgänge 12 auf, von denen hier nur einer für ein dem korrigierten ersten Druck entsprechendes Einzeldrucksignal abgebildet ist. Dargestellt ist auch eine Versorgungsleitung für eine Versorgungsspannung U0.
  • Bei dem entsprechenden Verfahren zur Differenzdruckmessung wird durch eine entsprechende programmtechnische Einrichtung der Recheneinheit 5 der korrigierte erste Druck P1korr gebildet durch Addition eines in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert P1 und von der ersten Temperatur T1 definierten ersten Korrekturwertes Pkorr1 zum ersten Druckmesswert. Dementsprechend wird der korrigierte zweite Druck P2korr gebildet durch Addition eines in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert P2 und von der zweiten Temperatur T2 definierten zweiten Korrekturwertes Pkorr2 zum zweiten Druckmesswert P2. Die beiden Korrekturwerte Pkorr1 und Pkorr2 werden dabei jeweils erhalten auf Grundlage von für diskrete Stützstellen gespeicherten Korrekturwerten und auf Grundlage von Interpolations polynomen, die durch Korrekturwerte an diskreten Stützstellen definiert sind. Eine beispielhafte Programmierung der Recheneinheit 5 sieht vor, dass für fünf verschiedene Temperaturwerte, die ein für typische Betriebszustände charakteristisches Intervall abdecken, Druckabhängigkeiten der Korrekturwerte Pkorr1 bzw. Pkorr2 durch Interpolationspolynome dritten Grades definiert sind. Innerhalb der Mittel 6 und 7 zum Korrigieren des ersten und zweiten Druckmesswertes P1 und P2 sind dementsprechend in der 1 schematisch dargestellte Look-up-Tables gespeichert, die einen Satz entsprechender Interpolationspolynome für jeden der fünf diskreten Temperaturwerte enthalten und aus denen die Korrekturwerte Pkorr1 bzw. Pkorr2 abgelesen werden können, wobei zur Ermittlung von Korrekturwerten Pkorr1 oder Pkorr2 für Zwischenwerte der Temperaturen T1 bzw. T2 linear interpoliert werden kann.
  • In ganz ähnlicher Weise wird der korrigierte Differenzdruck Pdiffkorr gebildet durch Addition eines dritten Korrekturwertes zu dem mit dem Skalierungsfaktor x multiplizierten Differenzdruck Pdiff oder durch Multiplikation des skalierten Differenzdrucks Pdiff mit einem Korrekturfaktor, wobei dieser dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor in Abhängigkeit vom korrigierten zweiten Druck P2korr und von der gemessenen Temperatur T1 definiert ist. Zusätzlich könnte der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor auch in Abhängigkeit der zweiten Temperatur T2 definiert und dadurch von insgesamt drei Variablen abhängig sein. Der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor wird erhalten wieder auf Grundlage von für diskrete Stützstellen gespeicherten Korrekturwerten und auf Grundlage von Interpolationspolynomen, die durch Korrekturwerte oder Korrekturfaktoren an diskreten Stützstellen definiert sind. Dementsprechend weisen die Mittel 8 zum Korrigieren des Differenzdrucks Pdiff eine in der 1 schematisch dargestellte Look-up-Table auf, in der für fünf verschiedene Werte der ersten Temperatur T1 Interpolationspolynome gespeichert sind, die die Abhängigkeit des dritten Korrekturwerts oder des Korrekturfaktors vom korrigierten zweiten Druck definieren.
  • Die abgebildete Messanordnung ist ferner programmtechnisch zur automatischen Durchführung von Driftkorrekturen für die Drucksensoren 1 und 2 eingerichtet. Dazu werden die Größen P1, P2, T1, T2 und Pdiff automatisch daraufhin geprüft, ob sie in Intervalle fallen, die einen längeren Maschinenstillstand indizieren, weil die Temperaturen T1 und T2 deutlich unter typischen Betriebstemperaturen und/oder im Bereich einer typischen oder mit einem weiteren Temperatursensor eigens gemessenen Raumtemperatur liegen und die beiden Druckmesswerte P1 und P2 bei zumindest nahezu verschwindendem Differenzdruck Pdiff Werte im Bereich eines üblichen oder mit einem weiteren Drucksensor eigens gemessenen Umgebungsdrucks einnehmen. Wenn die genannten Größen in die jeweils entsprechend definierten Intervalle fallen und diese Bedingung über ein längere Zeit erfüllt ist, wird die Durchführung der Driftkorrektur ausgelöst, indem der ersten Druckmesswert P1 mit einem ersten Referenzwert verglichen wird und der zweite Druckmesswert P2 mit einem zweiten Referenzwert verglichen wird, wobei dabei ermittelte Differenzen zwischen aktuell gemessenen Druckmesswerten P1 und P2 und den jeweiligen Referenzwerten jeweils als Offsetkorrektur in der Primärelektronik 3 oder 4 zu einem dort bislang gespeicherten Offset-Wert addiert werden, wodurch neue Offset-Werte definiert werden, die dann dort gespeichert werden. Auch der genannte Vergleich mit den Referenzwerten kann in den Primärelektroniken 3 und 4 geschehen.
  • Nach alledem wird mit der vorliegenden Erfindung insbesondere ein Differenzdrucksensor auf Basis mathematischer Differenzbildung vorgeschlagen. Die Ausgangssignale zweier separat abgeglichener Drucksensoren 1 und 2 werden dabei mit Hilfe eines in einem Mikrocontroller abgelegten Programms voneinander subtrahiert, um das resultierende Differenzsignal zwischen den beiden gemessenen Einzeldrücken zu ermitteln. Im Mikrocontroller werden durch eine entsprechende Software zusätzliche Korrekturen der Signale sowie eine Verstärkung ausgeführt, um ein für die Anwendung benötigtes Ausgangssignal mit hinreichender Genauigkeit zu realisieren.
  • Die Erfindung löst die der Erfindung zugrunde liegenden Probleme durch den Einsatz zweier separater Sensoren, aus deren Ausgangssignalen auf mathematischem Wege (zum Beispiel über die in einem Mikrocontroller implementierte Software) ein Differenzsignal gebildet wird. Damit ist – bei Verwendung entsprechender Einzelsensoren, wie z. B. hermetisch verschweißter Edelstahlwandler – der Einsatz auch für Anwendungsfälle mit aggressiven Medien kein Problem. Weiterhin ist eine flexible Bauformgestaltung möglich. Denkbar sind Ausführungen, bei denen beide Einzelsensoren und die Auswerteelektronik in einem Gehäuse angeordnet sind, aber auch eine separate Anordnung der einzelnen Komponenten.
  • Das Problem der Überdruckfestigkeit (Linepressurefestigkeit) wird durch den Einsatz von Einzelsensoren, deren Nenndruckbereich mit dem geforderten Line- Pressure-Bereich identisch ist, gelöst. Die für das Differenzdrucksignal geforderte Auflösung wird durch eine entsprechende Verstärkung vor oder nach der Differenzbildung erreicht.
  • Wesentlich für die Anwendbarkeit der Erfindung und das Erreichen einer für die Anwendungen sinnvollen Genauigkeit ist die dem Funktionsprinzip zugrundeliegende Strategie der Signalverarbeitung und -aufbereitung im Sensor. Dessen Elemente sind für ein Beispiel anhand der 1 erläutert.
  • Zusätzlich ist es für einige Anwendungsfälle mit sehr hohen Genauigkeitsanforderungen nötig und möglich, eine Driftkorrektur für Offset und gegebenenfalls Spanne in den Sensor zu integrieren. Ein solcher Ansatz besteht in der Anwendung des in der Druckschrift DE 10 2004 056 133 A1 dargelegten, auf einer internen Bereichsumschaltung basierenden Prinzips. Ein zweiter Ansatz wertet zusätzliche Informationen aus und nutzt diese zur Identifikation eines bekannten Systemzustandes, auf dessen Basis ein Korrekturfaktor oder ein Korrekturwert ermittelt werden kann.
  • 1 verdeutlicht das Funktionsprinzip der Erfindung.
  • Zwei Sensorzellen (Drucksensor 1 und Drucksensor 2, in diesem Beispiel resistive Wandlerelemente mit als Wheatstone-Brücke geschalteten Widerständen) wandeln den Druckwert je einer der beiden zu messenden Einzeldrücke in die Änderung der elektrischen Brückenspannung der Widerstände. Diese Signaländerung wird in einem ersten Korrekturschritt für jeden der beiden Drücke einzeln in einem nachgeschalteten Funktionsblock (Primärelektronik 3 und 4) auf den Nenndruckbe reich der Einzeldruckkanäle (Linepressure) kalibriert, und gegenüber Temperatur- und anderen Fehlereinflüssen kompensiert. Dies kann durch Einsatz spezieller ASICs (Schaltkreise für Sensorsignalkonditionierung) erfolgen, durch Einsatz von speziellen Verstärkerelementen und durch eine entsprechende Software-Routine im Mikrocontroller. In der Regel erfolgt bei diesem Schritt bereits eine A/D-Wandlung des Signals, so dass die weitere Kommunikation mit sowie Datenbehandlung im Mikrocontroller auf rein digitaler Basis stattfindet. Eine Mittelung des Signals (z. B. gleitende Mittelwertbildung) kann zur Glättung und Vermeidung von Spitzen eingesetzt werden.
  • Im nächsten Schritt wird für jeden der Druckmesswerte P1 und P2 einzeln ein Korrekturwert Pkorr1 bzw. Pkorr2 errechnet, der von aktuell angelegtem Druck und der am Sensor gemessenen Temperatur abhängt. Diese Korrekturwerte werden ermittelt aus den Ausgangssignalwerten der Primärelektronik sowie einer Referenztabelle (Look-up-Table), welche durch eine Charakterisierung der Ausgangssignale der Primärelektronik für jeden der Sensoren über eine Anzahl Drücke und Temperaturen (Stützstellen) ermittelt wird. Diese Charakterisierung erfolgt gegen ein kalibriertes Normal und mit einer für die Differenzbildung und anschließende Signalverstärkung hinreichenden Genauigkeit und Auflösung.
  • Alternativ kann die Korrektur der Einzeldruckwerte durch eine Polynomberechnung erfolgen, wobei das Korrekturpolynom aus einer Regression über die Stützstellen Druck oder/und Temperatur ermittelt wird. Auch eine Kombination aus Look-up-Table (z. B. für Temperatur) und Korrekturpolynom (z. B. Druck) ist möglich. Zwischenwerte werden durch lineare Approxi mation ermittelt.
  • Im nächsten Schritt wird aus den korrigierten Drücken P1korr und P2korr die Differenz gebildet und diese um einen Faktor x verstärkt. Der Faktor x ergibt sich aus der Auflösung und Skalierung der Einzeldrucksignale P1korr und P2korr im Verhältnis zur geforderten Auflösung und Skalierung des Differenzdruckausgangssignals.
  • Nach der Ermittlung und Skalierung (Verstärkung) des Differenzsignals Pdiff wird dieses entweder direkt digital, oder nach einer Protokollumwandlung (z. B. A/D-Wandlung oder als PWM) zur Nutzung ausgegeben.
  • Für den Fall, dass die so erzielte Genauigkeit des Differenzdrucksignals für die Anwendung nicht ausreicht, kann vor Ausgabe des Signals ein weiterer Korrekturschhritt integriert werden, Dieser wird analog zur Korrektur der Einzelsignale ausgeführt (Ermittlung der Korrekturgröße Pdiffkorr zum aktuellen Ausgangswert in Abhängigkeit von aktueller Temperatur, Differenzdruckwert und ggf. Linepressure). Die Korrekturwerte werden wiederum ermittelt aus einer Anzahl von Ausgangssignalwerten über Druck und Temperatur (Charakterisierung des Differenzdruckausgangssignals).
  • Optional können die Einzeldrucksignale oder/und der Temperaturwert als zusätzliche Ausgangswerte aus dem Aufbau herausgeführt, und somit zusätzliche Funktionen in das Sensorsystem integriert werden.
  • Für die Korrektur einer zum Beispiel durch langsame Veränderung der Eigenschaften der einzelnen Druckmesszellen über Lebensdauer (Drift durch Alterung) hervorgerufene Drift des Ausgangssignales wird u. a. folgendes Vorgehen vorgeschlagen:
    Als eindeutig bekannter Systemzustand wird ein Betriebszustand angenommen, bei dem an den beiden Einzelsensoren Sensor 1 und Sensor 2 derselbe Druck anliegt, in der Regel Umgebungsdruck. Kann dieser Betriebszustand eindeutig identifiziert werden, wird das aktuell anliegende Differenzdruck-Ausgangssignal (Offset) mit einem im Speicher abgelegten, dem Ausgangssignal (Offset) im Neuzustand entsprechenden Wert verglichen. Aus der Differenz wird ein Korrekturwert gebildet, der nach Neustart im Betrieb zum aktuellen Ausgangssignal des Sensors addiert wird. Dadurch erfolgt eine Korrektur desselben. Der Vergleich und die Korrektur können im sensorinternen Mikrocontroller implementiert werden, ohne das Gesamtkonzept ändern zu müssen.
  • Die Identifikation des definierten Betriebszustandes erfolgt durch Auswertung zusätzlicher Informationen. Steht eine Kommunikation mit dem übergeordneten System (z. B. durch bus-basierte Kommunikation) nicht zur Verfügung, kann zum Beispiel durch Vergleich mehrerer sensorinterner, aber räumlich getrennt angeordneter Temperatursignale über einen bestimmten Zeitraum ein Temperaturunterschied zwischen Applikation, Druckmedium und Umgebung gemessen werden. Geht dieser Unterschied über einen bestimmten systemabhängigen Zeitraum gegen 0 und weicht nicht deutlich von für Umgebungstemperaturen üblichen Werten ab, kann in vielen Fällen von einem längeren Stillstand der Applikation und damit dem Anliegen von Umgebungsdruck an beiden Einzelsensoren ausgegangen und der bereits beschriebene Korrekturalgorithmus gestartet werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • - DE 102004056133 A1 [0032]

Claims (14)

  1. Verfahren zur Differenzdruckmessung, bei dem mittels eines ersten Drucksensors (1) ein erster Druckmesswert (P1) und mittels eines zweiten Drucksensors (2) ein zweiter Druckmesswert (P2) ermittelt werden und bei dem in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert (P1) und vom zweiten Druckmesswert (P2) ein Differenzdruck (Pdiff) berechnet wird, dadurch gekennzeichnet, dass in einer Umgebung des ersten Drucksensors (1) eine erste Temperatur (T1) und in einer Umgebung des zweiten Drucksensors (2) eine zweite Temperatur (T2) gemessen werden und dass in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert (P1) und der ersten Temperatur (T1) ein korrigierter erster Druck (P1korr) und in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert (P2) und der zweiten Temperatur (T2) ein korrigierter zweiter Druck (P2korr) berechnet werden, wobei der Differenzdruck (Pdiff) als Differenz zwischen dem korrigierten ersten Druck (P1korr) und dem korrigierten zweiten Druck (P2korr) gebildet wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der korrigierte erste Druck (P1korr) gebildet wird durch Addition eines in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert (P1) und von der ersten Temperatur (T1) definierten ersten Korrekturwertes (Pkorr1) zum ersten Druckmesswert (P1) und dass der korrigierte zweite Druck (P2korr) gebildet wird durch Addition eines in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert (P2) und von der zweiten Temperatur (T2) definierten zweiten Korrekturwertes (Pkorr2) zum zweiten Druckmesswert (P2).
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Korrekturwert (Pkorr1) und der zweite Korrekturwert (Pkorr2) erhalten werden auf Grundlage von für diskrete Stützstellen gespeicherten Korrekturwerten und/oder auf Grundlage von Interpolationsfunktionen, die durch Korrekturwerte an diskreten Stützstellen definiert sind.
  4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass aus dem Differenzdruck (Pdiff) in Abhängigkeit von mindestens einer der gemessenen Temperaturen (T1, T2) ein korrigierter Differenzdruck (Pdiffkorr) berechnet wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der korrigierte Differenzdruck (Pdiffkorr) zusätzlich in Abhängigkeit vom korrigierten ersten Druck (P1korr) oder vom korrigierten zweiten Druck (P2korr) oder von einem der Druckmesswerte (P1, P2) berechnet wird.
  6. Verfahren nach einem Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der korrigierte Differenzdruck (Pdiffkorr) gebildet wird durch Addition eines dritten Korrekturwertes zum Differenzdruck (Pdiff) oder zu einer aus dem Differenzdruck (Pdiff) abgeleiteten Zwischengröße oder dass der korrigierte Differenzdruck (Pdiffkorr) gebildet wird durch Multiplikation des Differenzdrucks (Pdiff) oder einer aus dem Differenzdruck (Pdiff) abgeleiteten Zwischengröße mit einem Korrekturfaktor, wobei dieser dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor in Abhängigkeit von mindestens einer der gemessenen Temperaturen (T1, T2) definiert ist.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor zusätzlich in Abhängigkeit vom korrigierten ersten Druck (P1korr) oder vom korrigierten zweiten Druck (P2korr) oder in Abhängigkeit von einem der Druckmesswerte (P1, P2) definiert ist.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Korrekturwert oder der Korrekturfaktor erhalten wird auf Grundlage von für diskrete Stützstellen gespeicherten Korrekturwerten und/oder auf Grundlage von Interpolationsfunktionen, die durch Korrekturwerte oder Korrekturfaktoren an diskreten Stützstellen definiert sind.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ferner eine automatische Driftkorrektur vorgenommen wird, indem bei Eintritt von Bedingungen, die einen bestimmten tatsächlichen Systemzutand indizieren, der erste Druckmesswert (P1) oder der korrigierte erste Druck (P1korr) mit einem ersten Referenzwert verglichen wird und der zweite Druckmesswert (P2) oder der korrigierte zweite Druck (P2korr) mit einem zweiten Referenzwert verglichen wird, wo bei dabei ermittelte Differenzen zwischen aktuell gemessenen Größen und den Referenzwerten zum jeweiligen Druckmesswert (P1, P2) oder zum korrigierten ersten Druck (P1korr) oder zum korrigierten zweiten Druck (P2korr) hinzuaddiert werden.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Eintritt der genannten Bedingung festgestellt wird, indem mindestens eine der Größen erster Druckmesswert (P1), korrigierter erster Druck (P1korr), erste Temperatur (T1) und/oder mindestens eine der Größen zweiter Druckmesswert (P2), korrigierter zweiter Druck (P2korr), zweite Temperatur (T2) und/oder eine der Größen Differenzdruck (Pdiff), korrigierter Differenzdruck (Pdiffkorr) jeweils daraufhin geprüft werden, ob sie in ein jeweils definiertes Intervall fallen, wobei eine Durchführung der Driftkorrektur dann ausgelöst wird, wenn die geprüften Größen in die jeweils definierten Intervalle fallen.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass zum Feststellen des Eintritts der genannten Bedingung ferner eine weitere Temperatur und/oder eine weiterer Druck gemessen und mit mindestens einer der geprüften Größen und/oder einem vorgegebenen Intervall verglichen wird.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Driftkorrektur nur dann ausgelöst wird, wenn die genannte Bedingung länger als eine Mindestdauer erfüllt ist.
  13. Messanordnung zur Differenzdruckmessung, umfassend einen ersten Drucksensor (1) zum Ermitteln eines ersten Druckmesswertes (P1) und einen zweiten Drucksensor (2) zum Ermitteln eines zweiten Druckmesswertes (P2) sowie eine Recheneinheit (5) zum Berechnen eines Differenzdrucks (Pdiff) in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert (P1) und vom zweiten Druckmesswert (P2), dadurch gekennzeichnet, dass die Messanordnung ferner einen ersten Temperatursensor zum Messen einer ersten Temperatur (T1) in einer Umgebung des ersten Drucksensors (1) und einen zweiten Temperatursensor zum Messen einer zweiten Temperatur (T2) in einer Umgebung des zweiten Drucksensors (2) aufweist, wobei die Recheneinheit (5) Mittel (6) zum Korrigieren des ersten Druckmesswertes (P1), die einen korrigierten ersten Druck (P1korr) in Abhängigkeit vom ersten Druckmesswert (P1) und von der ersten Temperatur (T1) ausgeben, sowie Mittel (7) zum Korrigieren des zweiten Druckmesswertes (P2), die einen korrigierten zweiten Druck (P2korr) in Abhängigkeit vom zweiten Druckmesswert (P2) und von der zweiten Temperatur (T2) ausgeben, umfasst und eingerichtet ist zum Bilden des Differenzdrucks (Pdiff) als Differenz zwischen dem korrigierten ersten Druck (P1korr) und dem korrigierten zweiten Druck (P2korr).
  14. Messanordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass sie programmtechnisch eingerichtet ist zur Durchführung eines der Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12.
DE200710022842 2007-05-11 2007-05-11 Verfahren und Messanordnung zur Differenzdruckmessung Active DE102007022842B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710022842 DE102007022842B4 (de) 2007-05-11 2007-05-11 Verfahren und Messanordnung zur Differenzdruckmessung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710022842 DE102007022842B4 (de) 2007-05-11 2007-05-11 Verfahren und Messanordnung zur Differenzdruckmessung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102007022842A1 true DE102007022842A1 (de) 2008-11-20
DE102007022842B4 DE102007022842B4 (de) 2009-01-02

Family

ID=39868729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200710022842 Active DE102007022842B4 (de) 2007-05-11 2007-05-11 Verfahren und Messanordnung zur Differenzdruckmessung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102007022842B4 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008054303A1 (de) * 2008-11-03 2010-05-12 Airbus Deutschland Gmbh Sensoreinheit zum Überwachen eines Hydrauliksystems
DE102011080229A1 (de) * 2011-08-01 2013-02-07 Ifm Electronic Gmbh Verfahren zur Überprüfung der Funktion eines Drucksensors

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102009024576B4 (de) 2009-05-13 2011-04-07 Trafag Ag Differenzdrucksensor
DE102013107535B4 (de) * 2013-07-16 2021-12-23 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Druckmittlersystem mit einem Druckmittler und Verfahren zum Erkennen eines Membranbruches
DE102022101375A1 (de) 2022-01-21 2023-07-27 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Verfahren zum bestimmen einer position und einer kraft eines fingerdrückens auf einer berührungsfläche und elektronisches gerät, das konfiguriert ist, das verfahren auszuführen

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3414896C2 (de) * 1984-04-19 1988-06-01 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg, De
EP0764839A1 (de) * 1995-09-22 1997-03-26 Endress + Hauser GmbH + Co. Druck- oder Differenzdruckmessgerät
DE19633630A1 (de) * 1996-08-21 1998-02-26 Endress Hauser Gmbh Co Auswerteeinheit eines Differenzdrucksensors
DE10150691A1 (de) * 2001-10-17 2003-04-30 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmeßaufnehmer mit Trennmembran und Temperaturkompensation
DE102004056133A1 (de) 2004-02-20 2005-12-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Meßbrücke

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3414896C2 (de) * 1984-04-19 1988-06-01 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg, De
EP0764839A1 (de) * 1995-09-22 1997-03-26 Endress + Hauser GmbH + Co. Druck- oder Differenzdruckmessgerät
DE19633630A1 (de) * 1996-08-21 1998-02-26 Endress Hauser Gmbh Co Auswerteeinheit eines Differenzdrucksensors
DE10150691A1 (de) * 2001-10-17 2003-04-30 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmeßaufnehmer mit Trennmembran und Temperaturkompensation
DE102004056133A1 (de) 2004-02-20 2005-12-15 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Meßbrücke

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008054303A1 (de) * 2008-11-03 2010-05-12 Airbus Deutschland Gmbh Sensoreinheit zum Überwachen eines Hydrauliksystems
DE102008054303B4 (de) * 2008-11-03 2013-05-29 Airbus Operations Gmbh Sensoreinheit zum Überwachen eines Hydrauliksystems
DE102011080229A1 (de) * 2011-08-01 2013-02-07 Ifm Electronic Gmbh Verfahren zur Überprüfung der Funktion eines Drucksensors
DE102011080229B4 (de) * 2011-08-01 2017-07-27 Ifm Electronic Gmbh Verfahren zur Überprüfung der Funktion eines Drucksensors

Also Published As

Publication number Publication date
DE102007022842B4 (de) 2009-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60016422T2 (de) Vorhersage der groesse eines fehlers in einem druckwandler
EP1719990B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Temperaturkompensation einer Messbrücke
WO2013004438A1 (de) Verfahren zum betreiben eines absolut- oder relativdrucksensors mit einem kapazitiven wandler
WO2015039810A1 (de) Druckmessumformer
DE102013007631A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Kerntemperatur eines Körpers
DE102007022842B4 (de) Verfahren und Messanordnung zur Differenzdruckmessung
DE102009026425A1 (de) Luftströmungsmessvorrichtung und Luftströmungskorrekturverfahren
DE112010003591B4 (de) Sensorreaktionskalibrierung zur Linearisierung
WO2017084819A1 (de) Sensorelement für einen drucksensor
EP3415903A1 (de) Verfahren zur kalibrierung eines gassensors
DE112015001090B4 (de) Erfassungsvorrichtung für eine physikalische Quantität
DE4211997A1 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zur elektrischen Kompensation des Temperatureinflusses auf das Meßsignal von mechanoelektrischen Meßwandlern
DE102010030845A1 (de) Druckmessvorrichtung und Verfahren zur Druckwertermittlung
EP2554964B1 (de) Druck- und Temperaturmessvorrichtung
DE102011080229B4 (de) Verfahren zur Überprüfung der Funktion eines Drucksensors
DE102008064163B4 (de) Wägezelle
DE102015220991A1 (de) Verfahren zur Ermittlung einer Gaskonzentration in einem Messgas mit einem Gassensor
EP2543979A2 (de) Druckmessumformer
DE102005029114B4 (de) Verfahren zur Druckmessung für Kombinations-Druck-Sensoren im Vakuum-Bereich mit mindestens zwei Sensoren und Verfahren zur automatischen Findung eines Justierwertes für die &#34;Offset-Justierung&#34; bei Kombinations-Druck-Sensoren
AT405102B (de) Verfahren und vorrichtung zur differenzdruckmessung mit periodischem nullabgleich
DE102004029642A1 (de) Verfahren zur selbstlernenden Parametrierung parametrierbarer Modelle und zur Bestimmung systematischer Fehler in Systemmodellen
DE102021120739A1 (de) Sensorvorrichtung
DE60221305T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung und Verarbeitung von Daten aus mehreren Sensoren
DE102021205378A1 (de) Sensorstruktur und Drucksensor
DE102015206942A1 (de) Kompensierter Sensor

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition