DE102007021615A1 - Dielektrisches Substrat für einen Wellenhohlleiter und einen Übertragungsleitungsübergang, die dieses verwenden - Google Patents

Dielektrisches Substrat für einen Wellenhohlleiter und einen Übertragungsleitungsübergang, die dieses verwenden Download PDF

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Abstract

Ein Übertragungsleitungsübergang weist einen Wellenhohlleiterabschnitt (20b) mit einem Wellenhohlleiter (G), wobei der Wellenhohlleiterabschnitt (20b) aus wenigstens einem dielektrischen Substrat (P2, P3) ausgeformt ist, und einen Leitungsübergangsabschnitt (20a) auf, der wenigstens aus einem dielektrischen Substrat (P1), das angrenzend an den Wellenhohlleiterabschnitt (20b) angeordnet ist, so dass es das Mittelloch (9, 21) bedeckt, aus einer Übertragungsleitung (SP) zum Übertragen der elektromagnetischen Welle und aus einer Antennenstruktur (AP), die in dem Mittelloch (9) angeordnet ist, so dass sie mit der Übertragungsleitung (SP) elektromagnetisch verbunden ist, ausgeformt ist. Jedes der dielektrischen Substrate (P1, P2, P3) weist eine Vielzahl von Durchkontaktierungslöchern (7) auf, die an einem Abstand δ = ganze Zahl n x Wellenlänge λg/2 von der Umfangswandung (9) des Mittellochs (H, 21) derart angeordnet sind, dass sie das Mittelloch (H, 21) umgeben.

Description

  • Die gegenwärtige Erfindung bezieht sich auf ein dielektrisches Substrat und auf eine Vorrichtung, die das elektrische Substrat verwendet, wie z. B. ein Wellenhohlleiter oder ein Übertragungsleitungsübergang.
  • Gewöhnlich wird ein Wellenhohlleiter aus mehreren dielektrischen Substraten gebildet, von welchen jedes ein Loch oder einen Hohlraum aufweist. Die Umfangswandung des Lochs ist mit einem Leiterfilm beschichtet, wie es in der JP-P3347626 offenbart ist. Wenn ein Wellenhohlleiter hergestellt wird, wird auf die Umfangswandung eine leitfähige Tinte gedruckt, um einen leitfähigen Film auszuformen. Aufgrund seiner Oberflächenspannung ist es jedoch schwierig, einen flachen leitfähigen Film auszuformen, wie in 8 gezeigt ist. Darüber hinaus kann eine unebene Oberfläche des leitfähigen Films, der an der Umfangswandung ausgebildet ist, die Leistungsfähigkeit des Wellenhohlleiters vermindern.
  • Andererseits kann als Umfangswandung des Lochs anstelle des Leiterfilms eine Gruppe von mehreren Durchkontaktierungslöchern oder Durchgangsausnehmungen ausgeformt sein, wie es in der JP-P2001-196815A offenbart ist. Die Gruppe von Durchkontaktierungslöchern muss an dem dielektrischen Substrat an einem bestimmten Abstand (wie z. B. 0,5 mm) von der Kante bzw. Ecke oder von der Umfangswandung des Lochs ausgeformt sein, um seine mechanische Festigkeit zu sichern. Dieser Abstand kann jedoch auch die Leistungsfähigkeit des Wellenhohlleiters vermindern.
  • Es ist Aufgabe der gegenwärtigen Erfindung, ein verbessertes dielektrisches Substrat für einen Wellenhohlleiter und für einen Übertragungsleitungsübergang bereitzustellen. Ferner soll ein Schritt zum Ausformen einer flachen leitfähigen Schicht an der Durchgangsausnehmung beseitigt werden.
  • Gelöst wird die Aufgabe durch die Merkmale von Anspruch 1. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
  • Gemäß einem Gesichtspunkt der Erfindung eines dielektrischen Substrats, das für einen Wellenhohlleiter zur Übertragung einer elektromagnetischen Welle verwen det wird, dessen Wellenlänge λg beträgt, weist das dielektrische Substrat ein Loch und eine Vielzahl von Durchkontaktierungslöchern auf, die um das Loch in einem Abstand δ angeordnet sind, der einer ganzen Zahl n × der Wellenlänge λg/2 von der Umfangswandung des Lochs entspricht.
  • Daher kann ein Wellenhohlleiter mit guter Leistungsfähigkeit und mechanischer Festigkeit ohne zusätzlichen Bearbeitungsschritt bereitgestellt werden.
  • Vorzugsweise sind die Durchkontaktierungslöcher an gleichen Abständen angeordnet, von welchen jeder kleiner als λg/4 ist.
  • Die gegenwärtige Erfindung stellt auch einen verbesserten Wellenhohlleiter bereit, der einen Stapel aus einer Vielzahl von dielektrischen Substraten aufweist, die wie oben erwähnt aufgebaut sind.
  • Darüber hinaus stellt die gegenwärtige Erfindung einen Übertragungsleitungsübergang bereit, der einen Wellenhohlleiterabschnitt, welcher einen Wellenhohlleiter aufweist und aus wenigstens dem obigen dielektrischen Substrat ausgeformt ist, und einen Leitungsübergangsabschnitt aufweist, der aus wenigstens dem obigen dielektrischen Substrat, das angrenzend an den Wellenhohlleiterabschnitt derart angeordnet ist, dass es das Loch bedeckt, einer Übertragungsleitung zum Übertragen der elektromagnetischen Welle und einem Antennenstruktur, das in dem Loch derart angeordnet ist, dass es mit der Übertragungsleitung elektromagnetisch gekoppelt ist, gebildet wird.
  • Andere Aufgaben, Merkmale und Eigenschaften der gegenwärtigen Erfindung sowie Funktionen von betreffenden Teilen der gegenwärtigen Erfindung werden aus der folgenden detaillierten Beschreibung, den angehängten Ansprüchen und der Zeichnung ersichtlich.
  • Es zeigen:
  • 1A und 1B eine schematische Draufsicht und einen Querschnitt eines dielektrischen Substrats gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung;
  • 2A und 2B grafische Darstellungen, die Übertragungseigenschaften des Wellenleiters zeigen;
  • 3 einen schematischen Querschnitt von einem Stapel von dielektrischen Substraten;
  • 4A und 4B schematische Perspektivansichten eines Übertragungsleitungsübergangs gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung und eine Querschnittsansicht von der Seite des Übertragungsleitungsübergangs gemäß der zweiten Ausführungsform, die entlang der Linie IVB-IVB geschnitten ist;
  • 5A-5B jeweils Musterschichten bzw. Strukturschichten;
  • 6A eine schematische Perspektivansicht eines Übertragungsleitungsübergangs gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung und 6B eine Querschnittsansicht von der Seite des in 6A gezeigten Übertragungsleitungsübergangs, wobei ein Schnitt entlang der Linie VIB-VIB erfolgt;
  • 7 eine schematische Seitenansicht eines Übertragungsleitungsübergangs, die eine Variation der zweiten Ausführungsform ist; und
  • 8 eine schematische Querschnittsansicht eines dielektrischen Substrats aus dem Stand der Technik.
  • Die gegenwärtige Erfindung wird unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben.
  • Unter Bezugnahme auf die 1A, 1B, 2A, 2B und 3 wird ein dielektrisches Substrat 1 gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
  • Das dielektrische Substrat 1 weist leitfähige Schichten 3, 5 auf, die jeweils an seiner oberen und unteren Fläche ausgeformt sind, von welchen jede eine Erdungsstruktur und eine Signalleitungsstruktur aufweist. Das dielektrische Substrat 1 weist auch eine Dicke d (wie z. B. etwa 100 μm) und ein rechtwinkliges Loch H auf, dessen Abmessung (z. B. 2,54 mm × 1,27 mm) im Wesentlichen die gleiche ist wie die des Lochs eines Wellenhohlleiters zum Übertragen einer elektromagnetischen Welle mit einem bestimmten Frequenzband (wie z. B. 75-110 GHz).
  • An gleichen Abständen W sind in einem Streifenabschnitt bzw. Bandabschnitt des dielektrischen Substrats 1 in einem Abstand δ von der Wandung 9 des Lochs H mehrere Durchkontaktierungslöcher 7 ausgeformt. Wenn angenommen wird, dass die Wellenlänge des Übertragungssignals λg beträgt, ist der Abstand δ so ausgestaltet, dass er λg/2 beträgt, und der Abstand W ist so ausgestaltet, dass er kleiner als λg/4 ist. In dem Fall, dass die Frequenz des Übertragungssignals beispielsweise 76,5 GHz beträgt, liegen der Abstand δ bei 0,65 mm und der Abstand W bei 0,4 mm.
  • Weil das dielektrische Substrat 1 an der Umfangswandung 9 des Lochs H keine leitfähige Schicht aufweist, können das dielektrische Substrat 1 und ein Wellenhohlleiter mit geringeren Kosten hergestellt werden als ein dielektrisches Substrat, das an der Umfangswandung 9 eine leitfähige Schicht besitzt.
  • Das Loch H des dielektrischen Substrats 1 kann für einen Wellenhohlleiter dadurch verwendet werden, dass die leitfähigen Schichten 3, 5 geerdet sind, die mit den Durchkontaktierungslöchern 7 verbunden sind. Die Wandung 9 des Lochs H, die von den geerdeten Durchkontaktierungslöchern um λg/2 entfernt liegt, kann so behandelt werden, als ob sie praktisch kurzgeschlossen ist. Weil die Durchkontaktierungslöcher an Abständen W ausgeformt sind, die kleiner als λg/4 sind, kann ein Wellenhohlleiter mit geringen Kosten bereitgestellt werden.
  • Wie in 2A gezeigt ist, wird die Übertragungseigenschaft S21 des Wellenhohlleiters maximal, wenn die Durchkontaktierungslöcher an einem Abstand δ von der Umfangswandung 9 ausgeformt sind, der ungefähr 0,65 mm beträgt, was λg/2 entspricht. Das heißt der dielektrische Verlust des Wellenhohlleiters ist minimal.
  • Wie in 2B gezeigt ist, verringert sich die Übertragungseigenschaft S21 des Wellenhohlleiters um ungefähr 0,035 dB, wenn sich die Dicke des dielektrischen Substrats von 100 μm in ungefähr 500 μm ändert, was fünfmal so dick wie 100 μm ist. Mit anderen Worten der dielektrische Verlust erhöht sich sogar dann nicht viel, wenn sich die Dicke des dielektrischen Substrats um einen bestimmten Grad erhöht.
  • Daher kann ein dielektrisches Substrat 10 aus einem Stapel von mehreren dielektrischen Substraten ausgeformt sein, wie es in 3 gezeigt ist.
  • Unter Bezugnahme auf die 4A, 4B und 5A-5D wird ein Übertragungsleitungsübergang 20 gemäß der zweiten Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
  • Der Übertragungsleitungsübergang 20 ist aus drei dielektrischen Substraten P1 bis P3 und vier Strukturschichten L1 bis L4 hergestellt, die einander überlappen, so dass das dielektrische Substrat P1 und die Strukturschichten L1, L2 einen Leitungs übergangsabschnitt 20a und die dielektrischen Substrate P2, P3 und die Strukturschichten L2-L4 einen Wellenhohlleiterabschnitt 20b ausformen.
  • Der Übertragungsleitungsübergang 20 weist einen rechtwinkligen Hohlraum 21 auf, der sich entlang der Mittelachse des Wellenhohlleiterabschnitts 20b derart erstreckt, dass er mit einem Wellenhohlleiter G verbunden ist, der an dem Wellenhohlleiterabschnitt 20b angebracht ist. Der Wellenhohlleiter G weist ein rechtwinkliges Loch von 2,54 mm × 1,27 mm auf, um eine elektromagnetische Welle mit einer Frequenz zwischen 75 GHz und 110 GHz (beispielsweise 76,5 GHz) zu übertragen.
  • Der Wellenhohlleiterabschnitt 20b weist mehrere Durchkontaktierungslöcher 23 auf, die in den dielektrischen Substraten P2, P3 und den Strukturschichten L2 bis L4 an einem Abstand δ (Durchkontaktierungsverschiebung) von der Umfangswandung des entgegengesetzten abgesetzten Lochs 21 ausgeformt sind, das in den dielektrischen Substraten P2, P3 ausgebildet ist. Der Abstand δ beträgt 0,65 mm, was λg/2 entspricht.
  • Die Strukturschichten L1-L4 sind in den 5A-5D gezeigt. Die Strukturschicht L4, die auf der Seite des dielektrischen Substrats P3 ausgeformt ist, an der der Wellenhohlleiter G angebracht ist, weist eine Erdungsstruktur GP4 auf, welche die gesamte Oberfläche des dielektrischen Substrats P4 mit Ausnahme des Hohlraums 21 bedeckt. Die Strukturschicht L3, die zwischen den dielektrischen Substraten P2 und P3 ausgeformt ist, weist eine Erdungsstruktur GP3 auf, welche die gesamten Oberflächen der dielektrischen Substrate P2, P3, die einander gegenüberstehen, mit Ausnahme der Oberflächen innerhalb der Durchkontaktierungslöcher 23 bedeckt, und die Strukturschicht L2, die zwischen den dielektrischen Substraten P1 und P2 oder zwischen dem Leitungsübergangsabschnitt 20a und dem Wellenhohlleiterabschnitt 20b ausgeformt ist, weist eine Erdungsstruktur GP2, welche die gesamten Oberflächen der dielektrischen Substrate P1, P2, die einander gegenüberstehen, mit Ausnahme der Oberfläche innerhalb der Durchkontaktierungslöcher 23 bedeckt, und eine Antennenstruktur AP auf, welche an der Unterseite des Hohlraums 21 angeordnet ist.
  • Die Strukturschicht L1, die an der Außenfläche des dielektrischen Substrats P1 ausgeformt ist, weist eine Übertragungsleitung SP (wie z. B. eine Streifenleitung, eine Mikrostreifenleitung, eine koplanare Leitung und dergleichen), welche ein Ende aufweist, das zu der Antennenstruktur AP gegenüberstehend angeordnet ist, und eine Erdungsstruktur GP1, welche von der Antennenstruktur AP elektrisch getrennt angeordnet ist und den Umfang des Hohlraums 21 bedeckt, auf. Die Erdungsstruktur GP1 und die Erdungsstruktur GP2 sind durch Durchkontaktierungslöcher 25 miteinander verbunden. Im Übrigen kann die Übertragungsleitung SP mit der Antennenstruktur AP durch die Durchkontaktierungslöcher 25 gekoppelt sein. Die Durchkontaktierungslöcher 25 sind zu dem Hohlraum 21 näher angeordnet als die Durchkontaktierungslöcher 23, um den dielektrischen Verlust zu verringern.
  • Die Durchkontaktierungslöcher 23 und 25 sind jeweils so ausgebildet, dass sie an Abständen W, die ≤ λg/4 sind, ausgerichtet sind. Mit anderen Worten in dem Übertragungsleitungsübergang 20 weist der Wellenhohlleiterabschnitt 20b im Wesentlichen den gleichen Aufbau auf wie das dielektrische Substrat gemäß der ersten Ausführungsform. An einem Abstand λg/4 ist eine andere Reihe von Durchkontaktierungslöchern 23a derart ausgeformt, dass sie die Durchkontaktierungslöcher 23, 24 umgibt. Der Abstand zwischen der Reihe bzw. Gruppe von Durchkontaktierungslöchern 23 und der Reihe bzw. Gruppe von Durchkontaktierungslöchern 23a ist kleiner als λg/2. Daher werden elektromagnetische Wellen, die durch die Reihe von Durchkontaktierungslöchern 23 hindurchgelangen, durch die Durchkontaktierungslöcher 23a reflektiert. Die elektromagnetische Welle, die durch die Reihe von Durchkontaktierungslöchern 23a reflektiert wird, wird zu dem Hohlraum 21 reflektiert, ohne dass sie von der Gruppe von Durchkontaktierungslöchern 23 reflektiert wird. Daher kann ein beträchtlicher dielektrischer Verlust verhindert werden.
  • Der Leitungsübergangsabschnitt 20a bedeckt ein Ende des Wellenhohlleiterabschnitts 20b, so dass die Antennenstruktur AP, welche mit der Übertragungsleitung SP elektromagnetisch gekoppelt ist, in dem Wellenhohlleiter ausgebildet sein kann. Die Antennenstruktur AP weist eine Form und eine Abmessung auf und ist so angeordnet, dass ein Umwandlungsverlust minimal sein kann.
  • Daher liegt die Umfangswandung des Hohlraums 21 von dem Übertragungsleitungsübergang 20, der in den dielektrischen Substraten P1 und P2 ausgeformt ist, um einen Durchkontaktierungsversatz δ (λg/2) von den Durchkontaktierungslöchern 23 entfernt, so dass er als kurzgeschlossen behandelt werden kann. Daher kann der Verlust des Wellenhohlleiterabschnitts 20b minimiert werden.
  • Wie oben beschrieben kann die Dicke der dielektrischen Substrate P1 bis P3 unter verschiedenen Bedingungen geändert werden, weil sich der dielektrische Ver lust sogar dann nicht viel erhöht, wenn sich die Dicke des dielektrischen Substrats um einen bestimmten Grad vergrößert.
  • Unter Bezugnahme auf die 6A und 6B wird ein Übertragungsleitungsübergang 30 gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
  • Der Übertragungsleitungsübergang 30 ist aus drei dielektrischen Substraten P1 bis P3 und vier Strukturschichten L1 bis L4 hergestellt, die einander überlappen, so dass das dielektrische Substrat P1 und die Strukturschichten L1, L2 einen Leitungsübergangsabschnitt 30a und die dielektrischen Substrate P2, P3 und die Strukturschichten L2 bis L4 einen Wellenhohlleiterabschnitt 30b ausformen. Der Wellenhohlleiterabschnitt 30b ist der gleiche wie der Wellenhohlleiterabschnitt 20b der zweiten Ausführungsform.
  • Der Leitungsübergangsabschnitt 30a ist aus dem dielektrischen Substrat P1 und den Strukturschichten L1 und L2 ausgeformt. Die Strukturschicht L2 weist eine Erdungsstruktur GP2 auf, welche die gesamten Oberflächen der dielektrischen Substrate P1, P2, die einander gegenüberliegen, mit Ausnahme der Oberfläche innerhalb der Durchkontaktierungslöcher 23 bedeckt. Die Antennenstruktur AP, welche an der Unterseite des Hohlraums 21 in der zweiten Ausführungsform angeordnet ist, ist weggelassen.
  • Die Strukturschicht L1, die an der Außenfläche des dielektrischen Substrats P1 ausgeformt ist, weist die Übertragungsleitung SP und die Erdungsstruktur GP1 auf, welche so angeordnet ist, dass sie von der Wellenleitung SP elektrisch getrennt ist und den Umfang des Hohlraums 21 bedeckt. An der Erdungsstruktur GP1 ist ein kurzschließender Wellenhohlleiter GT angebracht, so dass er ein Ende des Wellenhohlleiters kurzschließt. Die Übertragungsleitung SP ist von dem kurzschließenden Ende des Wellenhohlleiters GT um ungefähr λg/4 beabstandet. Der Abstand kann ±20 % kürzer oder länger sein als der Abstand λg/4.
  • Der obige Übertragungsleitungsübergang 30 weist denselben Aufbau auf wie der Übertragungsleitungsübergang 20 gemäß der zweiten Ausführungsform mit Ausnahme des Leitungsübergangsabschnitts 30a. Im Übrigen sind in der Anordnung, in welcher die Innenfläche des kurzschließenden Wellenhohlleiters GT an der gleichen Ebene der Innenfläche des Wellenhohlleiters ausgeformt ist, die Durchkontaktierungslöcher 25 unter dem 24 kurzschließenden Wellenhohlleiter GT entlang seiner Innenfläche ausgeformt.
  • Erfindungsgemäß können folgende Abwandlungen der obigen Ausführungsformen durchgeführt werden: Der Durchkontaktierungsversatz δ kann ein ganzzahlig Mehrfaches von λ/2 sein, das heißt n × λ/2; das dielektrische Substrat P1 kann aus mehreren dielektrischen Substraten P11, P12 ausgeformt sein, wie es in 7 gezeigt ist; der Wellenhohlleiterabschnitt 20b oder 30b kann aus einem dielektrischen Substrat oder aus drei oder mehr dielektrischen Substraten ausgebildet sein; und/oder die Durchkontaktierungslöcher 25 sind in Doppelgruppen bzw. Doppelreihen näher an dem Hohlraum 21 ausgeformt als die Durchkontaktierungslöcher 23 oder sie sind an einem Abstand, der kleiner als die Hälfte der Wellenlänge in dem dielektrischen Substrat ist, wie es in 7 gezeigt ist, ausgeformt, um den dielektrischen Verlust zu verringern.
  • Erfindungsgemäß weißt ein Übertragungsleitungsübergang einen Wellenhohlleiterabschnitt 20b mit einem Wellenhohlleiter G, wobei der Wellenhohlleiterabschnitt 20b aus wenigstens einem dielektrischen Substrat P2, P3 ausgeformt ist, und einen Leitungsübergangsabschnitt 20a auf, der wenigstens aus einem dielektrischen Substrat P1, das angrenzend an den Wellenhohlleiterabschnitt 20b angeordnet ist, so dass es das Mittelloch 9, 21 bedeckt, aus einer Übertragungsleitung SP zum Übertragen der elektromagnetischen Welle und aus einer Antennenstruktur AP, die in dem Mittelloch 9 angeordnet ist, so dass sie mit der Übertragungsleitung SP elektromagnetisch verbunden ist, ausgeformt ist. Jedes der dielektrischen Substrate P1, P2, P3 weist eine Vielzahl von Durchkontaktierungslöchern 7 auf, die an einem Abstand δ = ganze Zahl n × Wellenlänge λg/2 von der Umfangswandung 9 des Mittellochs H, 21 derart angeordnet sind, dass sie das Mittelloch H, 21 umgeben.

Claims (8)

  1. Dielektrisches Substrat, das für einen Wellenhohlleiter verwendet wird, um eine elektromagnetische Welle zu übertragen, dessen Wellenlänge λg beträgt, wobei das dielektrische Substrat (1) ein Loch (9) und eine Vielzahl von Durchkontaktierungslöchern (7) aufweist, die an einem Abstand δ = n × λg/2 von der Umfangswandung des Lochs (9) angeordnet sind, so dass sie dieses umgeben, worin n eine ganze Zahl ist.
  2. Dielektrisches Substrat nach Anspruch 1, worin die Durchkontaktierungslöcher (7) an Abständen angeordnet sind, von welchen jeder kleiner als λg/4 ist.
  3. Wellenhohlleiter mit einer Vielzahl von gestapelten dielektrischen Substraten (P1, P2, P3), die gemäß Anspruch 1 aufgebaut sind.
  4. Übertragungsleitungsübergang mit: einem Wellenhohlleiterabschnitt (20b), der einen Wellenhohlleiter (G) aufweist, wobei der Wellenhohlleiterabschnitt (20b) aus wenigstens einem dielektrischen Substrat (P2, P3) gemäß Anspruch 1 ausgeformt ist; und einem Leitungsübergangsabschnitt (20a), der wenigstens aus einem dielektrischen Substrat (P1), das angrenzend an den Wellenhohlleiterabschnitt (20b) angeordnet ist, um das Loch (9, 21) zu bedecken, aus einer Übertragungsleitung (SP) zum Übertragen der elektromagnetischen Welle und aus einer Antennenstruktur (AP), welche in dem Loch (9) derart angeordnet ist, dass sie mit der Übertragungsleitung (SP) elektromagnetisch verbunden ist, ausgeformt ist.
  5. Übertragungsleitungsübergang mit: einem Wellenhohlleiterabschnitt (20b), der aus einer Vielzahl von gestapelten ersten dielektrischen Substraten (P2, P3) gemäß Anspruch 1 ausgeformt ist, um einen Wellenhohlleiter mit einem offenen Ende auszuformen; und einem Leitungsübergangsabschnitt (20a), der aus einem zweiten dielektrischen Substrat (P1) ausgeformt ist, an dem an einem Ende des Wellenhohlleiters eine Antennenstruktur (AP) ausgeformt ist, so dass sie das eine Ende des Wellenhohlleiters schließt, damit sie mit der Wellenleitung (SP) elektrisch gekoppelt ist, worin der Wellenhohlleiterabschnitt (20b) eine Vielzahl von ersten Durchkontaktierungslöchern (23) aufweist, die auf einer geraden Linie angeordnet sind, so dass sie die gestapelten dielektrischen Substrate (P2, P3) durchdringen.
  6. Übertragungsleitungsübergang nach Anspruch 5, worin das zweite Substrat (P1) Erdungsstrukturen (GP1, GP2), die an seinen entgegengesetzten Flächen ausgeformt sind, und zweite Durchkontaktierungslöcher (25), die mit den Erdungsstrukturen verbunden sind, aufweist.
  7. Übertragungsleitungsübergang zum Übertragen einer elektromagnetischen Welle mit einer Wellenlänge von λg nach Anspruch 5, worin der Leitungsübergangsabschnitt ferner eine Vielzahl von dritten Durchkontaktierungslöchern (23a) aufweist, welche die ersten Durchkontaktierungslöcher (23) in einem geringeren Abstand als λg/4 umgeben.
  8. Übertragungsleitungsübergang zum Übertragen einer elektromagnetischen Welle mit einer Wellenlänge von λg nach Anspruch 6, worin der Leitungsübergangsabschnitt (20a) ferner eine Vielzahl von dritten Durchkontaktierungslöchern (23a) aufweist, welche die ersten Durchkontaktierungslöcher (23) in einem geringeren Abstand als λg/2 umgeben.
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