DE102007020864A1

DE102007020864A1 - Surface gripper unit

Info

Publication number: DE102007020864A1
Application number: DE200710020864
Authority: DE
Inventors: Manfred Schneider; Johannes Lörcher
Original assignee: SCOLOMATIC GmbH
Current assignee: SCOLOMATIC GmbH
Priority date: 2007-05-02
Filing date: 2007-05-02
Publication date: 2008-11-06
Also published as: WO2008135220A1

Abstract

Die Erfindung geht aus von einer Flächengreifereinheit mit wenigstens einer Greifeinheit (10). Es wird vorgeschlagen, dass die Greifeinheit (10) zumindest eine Ansaugeinheit (11) aufweist, die dazu vorgesehen ist, zumindest eine dünnwandige Baueinheit (38) und/oder Fasereinheit über eine Distanz anzusaugen und/oder festzuhalten.The invention is based on a surface gripper unit with at least one gripping unit (10). It is proposed that the gripping unit (10) has at least one suction unit (11) which is provided to suck and / or hold at least one thin-walled structural unit (38) and / or fiber unit over a distance.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer Flächengreifereinheit nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The The invention is based on a surface gripper unit according to the preamble of claim 1.

Es ist eine Flächengreifereinheit mit wenigstens einer Greifeinheit bekannt. Die Greifeinheit weist ein Saugrohr auf, das dazu vorgesehen ist, auf einem Wafer aufgesetzt zu werden und diesen festzusaugen.It is a surface gripper unit known with at least one gripping unit. The gripping unit has a Suction tube, which is intended to be placed on a wafer to become and to suck this.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die Erfindung geht aus von einer Flächengreifereinheit mit wenigstens einer Greifeinheit.The The invention is based on a surface gripper unit with at least one gripping unit.

Es wird vorgeschlagen, dass die Greifeinheit zumindest eine Ansaugeinheit aufweist, die dazu vorgesehen ist, zumindest eine dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit über eine Distanz anzusaugen und/oder festzuhalten. Unter „vorgesehen" soll insbesondere speziell ausgestattet und/oder ausgelegt verstanden werden. Besonders vorteilhaft kann die Flächengreifeinheit als Flächenwafergreifeinheit, Flächenfasergreifeinheit und/oder als Flächenfoliengreifeinheit ausgebildet sein und damit speziell dazu vorgesehen sein, Wafer, Fasereinheiten und/oder Folien anzusaugen. Insbesondere soll unter einer „dünnwandigen Baueinheit" eine Baueinheit mit einer Wanddicke verstanden werden, welche kleiner als fünf Millimeter, insbesondere kleiner als ein Millimeter und besonders vorteilhaft kleiner als fünfhundert Mikrometer ist. Im Besonderen kann die dünnwandige Baueinheit ein dünnwandiges zerbrechliches Objekt, ein Wafer oder eine Folie sein. Insbesondere soll unter einer Fasereinheit eine Baueinheit aus Fasern verstanden werden, bei der die Fasern eine Ordnung aufweisen können, die darin bestehen kann, dass Fasern eines Teils der Fasereinheit zumindest teilweise eine bestimmte räumliche Orientierung zueinander besitzen, welche bei anderen Fasern der Fasereinheit ebenfalls vorhanden ist. Bei einem Ansaugen einer Fasereinheit kann vorteilhafterweise die Ordnung der Fasern nicht verändert werden. „Über eine Distanz ansaugen" soll insbesondere bedeuten, dass durch eine Saugleistung die dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit über eine Distanz zur Greifereinheit bewegt wird, und zwar vorzugsweise über wenigstens eine Distanz größer als 1 mm und besonders vorteilhaft größer als 5 mm. Insbesondere kann zumindest auf einem Teil der der Greifeinheit zugewandten Seite der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit im Vergleich zu wenigstens einem Teil der ihr abgewandten Seite ein Unterdruck herrschen, der dafür sorgt, dass sich die dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit in Richtung der Ansaugeinheit bewegt, bis sich entweder ein Ausgleich zwischen der Gewichtskraft der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit und der Kraft auf die dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit, die durch einen Unterdruck auf der der Greifeinheit zugewandten Seite der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit im Vergleich zu der ihr abgewandten Seite bewirkt wird, einstellt oder bis die dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit zumindest teilweise an der Greifeinheit anliegt. Unter einem „Wafer" soll insbesondere eine Siliziumscheibe mit einer Dicke von achtzig bis dreihundert Mikrometern verstanden werden. Die Ansaugeinheit kann im Besonderen wenigstens zwei Ansaugmittel aufweisen. Insbesondere kann die Oberflächenbeschaffenheit der Greifeinheit dazu vorgesehen sein, in Gasen und/oder Flüssigkeiten verwendet zu werden, zum Beispiel in Säuren oder Elektrolyten oder bei Reinigungsprozessen. Insbesondere kann der Energieverbrauch dadurch gesenkt werden. Außerdem kann ein Greifen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit erfolgen, ohne dass erheblicher Druck auf die dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit oder einen Stapel mit dünnwandigen Baueinheiten und/oder Fasereinheiten ausgeübt wird. Dabei soll ein „erheblicher Druck" insbesondere einen Druck bezeichnen, der dazu geeignet ist, eine dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit zu zerbrechen. Falls es dennoch vorkommt, dass eine dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit zerbricht, kann die Greifeinheit die Bruchstücke der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit aufgrund der günstigen Strömungsverhältnisse insbesondere festhalten und entfernen. Die Greifeinheit hinterlässt auf einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit insbesondere wenige Rückstände und kann für ein schonendes Transportieren der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit sorgen. Ferner kann der Transportpro zess der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit schnell ausgeführt werden, so dass im Besonderen ein Transportieren von bis zu einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit pro Sekunde möglich ist. Außerdem können geringe Herstellungskosten der Flächengreifereinheit erreicht werden. Ferner wird vorgeschlagen, dass die Ansaugeinheit zumindest einen sich zu einer Greiffläche hin erweiternden Kanal aufweist. Mit einem „sich zu einer Greiffläche hin erweiternden Kanal" soll insbesondere gemeint sein, dass eine Querschnittsfläche senkrecht zur Kanalrichtung, die zu der Greiffläche hin verläuft, in diese Richtung zunimmt. So können günstige Strömungsverhältnisse zum Ansaugen und/oder Festhalten einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit geschaffen werden.It It is proposed that the gripping unit at least one suction unit has, which is intended to at least one thin-walled Building unit and / or fiber unit to suck over a distance and / or detain. In particular, "provided" is intended specially equipped and / or designed to be understood. Especially Advantageously, the surface gripping unit as area wafer gripper unit, Surface fiber grip unit and / or as a surface sheet gripping unit be formed and thus specially provided to wafer, Aspirate fiber units and / or films. In particular, should under a thin-walled Building unit "one Unit be understood with a wall thickness, which is smaller than five Mm, in particular less than a millimeter and especially advantageously less than five hundred Micrometer is. In particular, the thin-walled structural unit can be a thin-walled structural unit be fragile object, a wafer or a foil. Especially is understood by a fiber unit a structural unit made of fibers be in which the fibers can have an order, the may consist in that fibers of a part of the fiber unit at least partly a certain spatial Have orientation to each other, which in other fibers of the Fiber unit is also present. When aspirating a fiber unit Advantageously, the order of the fibers can not be changed. "Over a "Suck in distance" In particular, mean that by a suction, the thin-walled Assembly and / or fiber unit over a distance to the gripper unit is moved, preferably over at least a distance greater than 1 mm and particularly advantageously greater than 5 mm. Especially can at least on a part of the gripping unit side facing the thin-walled Assembly and / or fiber unit compared to at least one Part of the side facing away from her negative pressure, which ensures that the thin-walled Assembly and / or fiber unit moves in the direction of the suction unit, until either a balance between the weight of the thin-walled Assembly and / or fiber unit and the force on the thin-walled Assembly and / or fiber unit by a negative pressure the gripping unit facing side of the thin-walled unit and / or Fiber unit compared to the opposite side is effected or until the thin-walled Assembly and / or fiber unit at least partially rests on the gripping unit. Under a "wafer" in particular a silicon wafer with a thickness of eighty to three hundred Be understood micrometers. The suction unit can in particular have at least two suction. In particular, the surface texture the gripping unit to be provided in gases and / or liquids to be used, for example in acids or electrolytes or in cleaning processes. In particular, the energy consumption thereby lowered. Furthermore Can a gripping a thin-walled Assembly and / or fiber unit done without significant Pressure on the thin-walled Assembly and / or fiber unit or a stack with thin-walled Building units and / or fiber units is exercised. It should be a "significant Pressure "in particular denote a pressure suitable for a thin-walled one Unit and / or fiber unit to break. If it still occurs that a thin-walled Assembly and / or fiber unit breaks, the gripping unit the fragments the thin-walled Unit and / or fiber unit due to the favorable flow conditions in particular hold and remove. The gripping unit leaves on a thin-walled Assembly and / or fiber unit in particular a few residues and can for a gentle transport of the thin-walled structural unit and / or Ensemble fiber unit. Furthermore, the transport process of the thin-walled can Assembly and / or fiber unit are executed quickly, so that in particular a Transporting up to a thin-walled unit and / or Fiber unit per second possible is. Furthermore can low production costs of the surface gripper unit achieved become. It is also proposed that the suction unit at least a to a gripping surface has widening channel. With a "to a gripping surface expanding channel "should in particular, be meant that a cross-sectional area perpendicular to the channel direction, which extends to the gripping surface, in this direction is increasing. So can favorable flow conditions for sucking and / or holding a thin-walled structural unit and / or Fiber unit are created.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weist die Ansaugeinheit zumindest eine Ansaugdüse auf, die eine wohl definierte Form aufweist. Unter einer Ansaugdüse soll dabei insbesondere ein technisches Mittel verstanden werden, das dazu vorgesehen ist, einen Gas- oder Flüssigkeitsstrom umzulenken. Unter einer „wohl definierten Form" soll hier im Besonderen gemeint sein, dass die Form der Ansaugdüse eindeutig festlegbar ist und/oder insbesondere identisch nachgebaut werden kann. Damit können insbesondere definierte und/oder regelmäßige Strömungsverhältnisse geschaffen werden.In a further embodiment of the invention, the suction unit has at least one suction nozzle, which has a well-defined shape. Under a suction nozzle is to be understood in particular a technical means to do so seen to redirect a flow of gas or liquid. A "well-defined form" is to be understood here in particular as meaning that the shape of the suction nozzle can be clearly defined and / or, in particular, can be replicated identically, thus allowing in particular defined and / or regular flow conditions.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Flächengreifereinheit zumindest einen Vakuumspeicher auf, der zur Erzeugung einer Ansaugung vorgesehen ist. Hierbei soll insbesondere unter einer „Ansaugung" ein Luft- oder Flüssigkeitsstrom verstanden werden, der zum Ansaugen und/oder Festhalten einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit verwendet werden kann. Unter einem „Vakuumspeicher" soll hier im Besonderen ein abschließbarer Stauraum verstanden werden, der an wenigstens eine Leitung angeschlossen ist und dessen Ausdehnung in zumindest zwei Richtungen jeweils um zumindest einen Faktor fünf, insbesondere um zumindest einen Faktor zehn und besonders vorteilhaft um zumindest einen Faktor vierzig größer ist als die durchschnittliche Erstreckung der Leitung quer zur Leitungslängsrichtung zumindest der angeschlossenen Leitung. Der Vakuumspeicher ist insbesondere ein Reservoir mit Unterdruck, der mit Hilfe eines Manometers in bar gemessen werden kann, im Vergleich zu zumindest einer Zuleitung, welche im Besonderen mit Hilfe eines Ventils geschlossen werden kann und die zu der Greifeinheit führen kann, wobei nach einem Öffnen dieses Ventils in der Zuleitung eine Ansaugung erzeugt werden kann, die zum Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit mit Hilfe der Greifeinheit verwendet werden kann, wobei insbesondere während des ganzen Ansaugvorgangs der Unterdruck nahezu konstant bleibt. Hierbei soll mit „nahezu konstant" im Besonderen gemeint sein, dass der Druck um weniger als fünfhundert Prozent, insbesondere um weniger als fünfzig Prozent oder besonders vorteilhaft um weniger als fünf Prozent während zumindest Teilen des Ansaugvorgangs schwankt. Vorzugsweise kann sich wenigstens ein Vakuumspeicher in einer Greifeinheit befinden.In an advantageous embodiment The invention relates to the surface gripper unit at least one vacuum storage, which is used to generate a suction is provided. In this case, in particular under a "suction" an air or liquid flow be understood that for sucking and / or holding a thin-walled Assembly and / or fiber unit can be used. Under a "vacuum storage" is here in particular a lockable Storage space to be understood, connected to at least one line is and its extent in at least two directions each at least a factor of five, in particular by at least a factor of ten and particularly advantageous by at least a factor forty greater than the average Extension of the line transversely to the longitudinal direction of the cable at least the connected Management. The vacuum reservoir is in particular a reservoir with negative pressure, which can be measured with the help of a manometer in bar, in comparison to at least one supply line, which in particular with the help of a Valve can be closed and which can lead to the gripping unit, being after opening this valve can be created in the inlet suction, for sucking a thin-walled Assembly and / or fiber unit using the gripping unit used can be, in particular during the entire intake the negative pressure remains almost constant. This should be with "almost constant "in particular It should be understood that the pressure is less than five hundred percent, in particular less than fifty Percent or even better by less than five percent while at least parts of the intake process fluctuates. Preferably, it can at least one vacuum accumulator are located in a gripping unit.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist die Flächengreifereinheit wenigstens eine Ablöseinheit auf, die zu einer ungleichförmigen Ablösung einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit vorgesehen ist. Dabei soll unter einer „Ablöseinheit" im Besonderen eine Einheit verstanden werden, die gezielt dazu vorgesehen ist, dünnwandige Baueinheiten und/oder Fasereinheiten von einem Stapel mit dünnwandigen Baueinheiten und/oder Fasereinheiten insbesondere ungleichförmig abzulösen. Die dünnwandigen Baueinheiten und/oder Fasereinheiten können insbesondere, zum Beispiel durch Adhäsion, zusammenkleben. Insbesondere soll unter einem „ungleichförmigem Ablösen" verstanden werden, dass die Druckverteilung an der der Ablöseinheit zugewandten Seite der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit derart beeinflusst wird, dass der Unterdruck an zumindest einem Ende dieser Seite der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit größer ist als an zumindest einem zu einem der vorigen Enden entgegengesetzten Ende dieser Seite der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit und dass die dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit damit an dem ersteren Ende der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit abgelöst wird, was insbesondere durch ein Einblasen von Luft auf der ersten Seite unterstützt werden kann. Dadurch wird im Besonderen erreicht, dass eine dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit einfach und schnell vom Stapel abgelöst werden kann.In a preferred embodiment of the invention, the surface gripper unit at least one detachment unit on, leading to a nonuniform detachment of a thin Assembly and / or fiber unit is provided. It should under a "Ablöseinheit" in particular a Unit that is specifically intended to be thin-walled Building units and / or fiber units of a stack with thin-walled Building units and / or fiber units in particular unevenly replace. The thin Building units and / or fiber units can in particular, for example through adhesion, stick together. In particular, should be understood by a "non-uniform detachment" that the pressure distribution at the detachment unit facing side of the thin-walled Unit and / or fiber unit is influenced such that the Negative pressure on at least one end of this side of the thin-walled Assembly and / or fiber unit is greater than at least one to one of the previous ends opposite end of this page the thin Assembly and / or fiber unit and that the thin-walled structural unit and / or Fiber unit so that at the former end of the thin-walled unit and / or Fiber unit replaced is, especially by blowing in air on the first Supported page can be. This is achieved in particular that a thin-walled Assembly and / or fiber unit easy and fast from the stack superseded can be.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Ablöseinheit wenigstens ein Schrägstellmittel auf. Hierbei soll unter einem „Schrägstellmittel" insbesondere ein Scharnier, ein Drehgelenk und/oder eine Schräglagerung verstanden werden. Insbesondere kann mit einem Schrägstellmittel ein ungleichförmiges Ablösen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit erreicht werden. Ferner kann insbesondere der Transport einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit verbessert werden.In an advantageous embodiment The invention features the release unit at least one skew means on. This is under a "tilting means" in particular a Hinge, a hinge and / or a tilted bearing are understood. In particular, with a tilting means a non-uniform supersede a thin-walled one Assembly and / or fiber unit can be achieved. Furthermore, in particular the transport of a thin-walled Assembly and / or fiber unit can be improved.

In einer Ausführungsvariante weist die Ablöseinheit ungleichmäßig verteilte Ansaugmittel auf. Insbesondere kann dadurch ein ungleichförmiges Ablösen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit von einem Stapel dünnwandiger Baueinheiten und/oder Fasereinheiten erreicht werden, was durch ein Einblasen von Luft an der stärker zur Ablöseinheit gezogenen Seite unterstützt werden kann.In an embodiment variant indicates the detachment unit unevenly distributed Intake on. In particular, this can cause a non-uniform detachment of a thin Assembly and / or fiber unit of a stack of thin-walled Building units and / or fiber units can be achieved, which by blowing in air at the stronger to the detachment unit supported page supported can be.

In einer weiteren Ausführungsvariante weist die Ablöseinheit eine Schrägfläche und/oder eine konkave und/oder eine konvexe Fläche auf. Im Besonderen kann damit ein ungleichförmiges Ablösen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheiten von einem Stapel dünnwandiger Baueinheiten und/oder Fasereinheiten erreicht werden, was durch ein Einblasen von Luft an der stärker zur Ablöseinheit gezogenen Seite unterstützt werden kann.In a further embodiment indicates the detachment unit an inclined surface and / or a concave and / or a convex surface. In particular, can thus a non-uniform Replacing one thin Assembly and / or fiber units of a stack of thin-walled Building units and / or fiber units can be achieved, which by a Blowing in air at the stronger drawn to the detachment unit Supported page can be.

Es wird außerdem vorgeschlagen, dass die Ablöseinheit unterschiedlich geformte Ansaugmittel aufweist. Dies kann insbesondere dazu genutzt werden, dünnwandige Baueinheiten und/oder Fasereinheiten ungleichförmig von einem Stapel dünnwandiger Baueinheiten und/oder Fasereinheiten abzulösen.It will also suggested that the detachment unit having differently shaped suction. This can be special used to thin-walled Structural units and / or fiber units unevenly from a stack of thin-walled To replace building units and / or fiber units.

In einer bevorzugten Ausführungsvariante weist die Flächengreifereinheit eine Aktuatoreinheit auf, die dazu vorgesehen ist, die Greifeinheit wenigstens abhängig von einem Ansaugvorgang und/oder einer Ansaugleistung zu bewegen. Mit „abhängig" soll hier im Besonderen gemeint sein, dass eine Veränderung des Ansaugvorgangs und/oder der Ansaugleistung eine Bewegung der Greifeinheit initiieren kann. Insbesondere kann dadurch die Greifeinheit in Abhängigkeit von einem Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit bewegt werden.In a preferred embodiment, the surface gripper unit has an actuator unit which is intended to move the gripping unit at least as a function of a suction process and / or a suction power. By "dependent" is meant in particular that a change in the suction process and / or the suction power can initiate a movement of the gripping unit.

Vorzugsweise ist die Aktuatoreinheit dazu vorgesehen, wenigstens einen von einem Vakuumspeicher generierten Saugstrom energietechnisch zu nutzen. Mit „energietechnisch nutzen" soll hierbei insbesondere gemeint sein, dass mit Hilfe des von einem Vakuumspeicher generierten Saugstroms die Greifeinheit angehoben oder gesenkt wird. Dadurch kann insbesondere Energie gespart und die Herstellung vereinfacht werden.Preferably the actuator unit is provided to at least one of a Vacuum storage generated suction power to use energy technology. With "energy technology use "should here In particular, be meant that with the help of a vacuum storage generated suction flow, the gripping unit is raised or lowered. As a result, in particular energy can be saved and the production simplified become.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist die Flächengreifereinheit eine Sensoreinheit auf, die ein Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit durch die Ansaugeinheit der Aktuatoreinheit signalisiert. Dadurch kann insbesondere eine Bewegung einer angesaugten und/oder festgehaltenen dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit vorbereitet oder durchgeführt werden.In an advantageous embodiment of the invention, the surface gripper unit a sensor unit which is a suction of a thin-walled structural unit and / or Fiber unit signaled by the suction unit of the actuator. As a result, in particular a movement of a sucked and / or held thin-walled Assembly and / or fiber unit prepared or carried out.

Bevorzugt weist die Sensoreinheit ein Sensormittel auf, das zum Signalisieren mittels eines pneumatischen Signals vorgesehen ist. Im Besonderen können dadurch Herstellungskosten eingespart und die Konstruktion vereinfacht werden.Prefers the sensor unit has a sensor means for signaling is provided by means of a pneumatic signal. In particular can thereby saving manufacturing costs and simplifies the construction become.

Vorzugsweise wird die Sensoreinheit zumindest teilweise von der Ansaugeinheit gebildet. Insbesondere kann damit ein Bauelement eingespart werden.Preferably The sensor unit is at least partially from the suction unit educated. In particular, a component can thus be saved.

In einer anderen Ausführungsvariante weist die Greifeinheit eine zumindest teilweise aus Kunststoff und/oder einem gummiartigen Material gebildete Greiffläche auf. Dadurch kann ins besondere eine schonende Behandlung einer angesaugten dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit erreicht werden.In another embodiment the gripping unit has an at least partially made of plastic and / or a rubbery material formed gripping surface. This can be special a gentle treatment of a sucked thin-walled unit and / or Fiber unit can be achieved.

Bevorzugt weist die Greifeinheit wenigstens eine Dämpfungseinheit auf, die dazu vorgesehen ist, eine dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit bei einem Ansaugvorgang zu dämpfen. Damit kann insbesondere ein Zerbrechen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit verhindert werden, die angesaugt und/oder festgehalten wird.Prefers the gripping unit has at least one damping unit which is in addition to it is provided, a thin-walled To dampen assembly and / or fiber unit in a suction. In order to In particular, a breakage of a thin-walled structural unit and / or Fiber unit can be prevented, sucked and / or detained becomes.

Es wird ferner vorgeschlagen, dass die Dämpfungseinheit wenigstens ein pneumatisches Dämpfungsmittel aufweist. Damit können insbesondere Herstellungskosten eingespart und ein ungleichförmiges Ablösen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit von einem Stapel dünnwandige: Baueinheiten und/oder Fasereinheiten erreicht werden.It It is further proposed that the damping unit at least one pneumatic cushioning agent having. With that you can In particular, manufacturing costs saved and non-uniform detachment of a thin Assembly and / or fiber unit of a stack of thin-walled: Building units and / or fiber units can be achieved.

Zweckmäßigerweise weist die Dämpfungseinheit wenigstens eine Folie auf. Im Besonderen können damit geringe Herstellungskosten erreicht werden. Insbesondere kann die Folie wenigstens eine Aussparung bei einer Düse aufweisen. Ferner kann insbesondere durch Luftdruck eine Überdruckbeaufschlagung erfolgen, wodurch ein ungleichförmiges Ablösen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit von einem Stapel dünnwandiger Baueinheiten und/oder Fasereinheiten erreicht werden kann. Dies kann insbesondere auch durch eine Folie mit mehreren Luftkammern erreicht werden. Im Besonderen muss kein Kontakt zwischen Folie und Greiffläche vorhanden sein. Die Folie kann insbesondere teilweise an der Greifeinheit anliegen.Conveniently, has the damping unit at least one slide on. In particular, thus low manufacturing costs be achieved. In particular, the film may have at least one recess at a nozzle exhibit. Furthermore, in particular by air pressure overpressure take place, whereby a non-uniform supersede a thin-walled one Assembly and / or fiber unit of a stack of thin-walled Building units and / or fiber units can be achieved. This In particular, by a film with several air chambers be achieved. In particular, no contact between film and gripping surface to be available. The film may in particular partially on the gripping unit issue.

In einer Ausgestaltung der Erfindung umfasst die Dämpfungseinheit ein Netz. Dadurch kann ein verbessertes Dämpfen einer dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit bei einem Ansaugvorgang erreicht werden.In According to one embodiment of the invention, the damping unit comprises a network. Thereby can be an improved steaming a thin-walled one Assembly and / or fiber unit achieved in a suction become.

Es wird des Weiteren vorgeschlagen, dass die Flächengreifereinheit eine mechanische Getriebeeinheit aufweist, die dazu vorgesehen ist, die Greifeinheit und wenigstens eine dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit relativ zueinander zu bewegen. Damit kann insbesondere ein Stapel dünnwandiger Baueinheiten und/oder Fasereinheiten für einen Ansaugvorgang positioniert werden. Insbesondere darf die Genauigkeit der Positionierung gering sein, da die Greifeinheit eine dünnwandige Baueinheit und/oder Fasereinheit über eine Distanz ansaugen kann. Mit einer „geringen Genauigkeit" soll dabei insbesondere gemeint sein, dass die Position der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit nach einer Positionierung durch die Getriebeeinheit für einen Ansaugvorgang um mehr als zehn Mikrometer, insbesondere um mehr als hundert Mikrometer und im Besonderen um mehr als tausend Millimeter von der vorgesehenen Position der dünnwandigen Baueinheit und/oder Fasereinheit relativ zu der Greifeinheit abweichen darf. Durch die Verwendung einer mechanischen Getriebeeinheit können die Kosten gesenkt werden.It is further proposed that the surface gripper unit a mechanical Gear unit, which is provided to the gripping unit and at least one thin-walled one Assembly and / or fiber unit to move relative to each other. Thus, in particular a stack of thin-walled units and / or Fiber units for one Be positioned suction. In particular, the accuracy allowed Positioning be low, since the gripping unit is a thin-walled Assembly and / or fiber unit can suck in over a distance. With a "small Accuracy "should In particular, it should be meant that the position of the thin-walled Assembly and / or fiber unit after positioning by the gear unit for a suction by more than ten microns, in particular to more than a hundred microns, and more than a thousand in particular Millimeters from the intended position of the thin-walled structural unit and / or Fiber unit may differ relative to the gripping unit. By the Using a mechanical gear unit can reduce costs.

Zeichnungdrawing

Weitere Vorteile ergeben sich aus der folgenden Zeichnungsbeschreibung. In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Die Zeichnung, die Beschreibung und die Ansprüche enthalten zahlreiche Merkmale in Kombination. Der Fachmann wird die Merkmale zweckmäßigerweise auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfassen.Further advantages emerge from the following description of the drawing. In the drawings, embodiments of the invention are shown. The drawing, the description and the claims contain numerous features in combination. Of the A person skilled in the art will expediently also consider the features individually and combine them into meaningful further combinations.

Es zeigen:It demonstrate:

1 einen Schnitt durch eine Flächengreifereinheit, 1 a section through a surface gripper unit,

1a einen Schnitt durch einen Teil der Flächengreifereinheit, 1a a section through a portion of the surface gripper unit,

2 einen Ausschnitt einer Draufsicht auf eine Greiffläche, 2 a detail of a plan view of a gripping surface,

3 einen Ausschnitt einer Draufsicht auf eine Greiffläche, 3 a detail of a plan view of a gripping surface,

4 einen Schnitt eines Ansaugmittels einer Greiffläche, 4 a section of a suction means of a gripping surface,

5 einen Schnitt eines Ansaugmittels einer Greiffläche, 5 a section of a suction means of a gripping surface,

6 einen Schnitt eines Ansaugmittels einer Greiffläche, 6 a section of a suction means of a gripping surface,

7 eine Ablöseinheit, 7 a detachment unit,

8 eine Ablöseinheit, 8th a detachment unit,

9 eine Ablöseinheit, 9 a detachment unit,

10 einen Ausschnitt eines Schnitts durch eine Greifeinheit, 10 a section of a section through a gripping unit,

11 einen Ausschnitt eines Schnitts durch eine Greifeinheit, 11 a section of a section through a gripping unit,

12 eine Ansicht einer Getriebeeinheit mit einer Greifeinheit und einem Stapel, 12 a view of a gear unit with a gripping unit and a stack,

13 einen Schnitt durch eine Ausführungsvariante eines Ejektors mit einer Grundeinheit, der Greifeinheit und dünnwandigen Baueinheiten auf Rollen und 13 a section through an embodiment of an ejector with a base unit, the gripping unit and thin-walled units on wheels and

14 eine Draufsicht auf einen flächigen Carrier mit den dünnwandigen Baueinheiten. 14 a plan view of a flat carrier with the thin-walled units.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

1 zeigt einen Schnitt durch eine Flächengreifereinheit. Diese weist eine Grundeinheit 14, eine Greifeinheit 10 und einen Blister 40 auf. Der Blister 40 befindet sich in vertikaler Richtung im Wesentlichen unter der Grundeinheit 14 und der Greifeinheit 10 und ist dazu vorgesehen, einen Stapel 36 dünnwandiger Baueinheiten 38 aufzunehmen. Die Greifeinheit 10 ist teilweise aus Kunststoff oder alternativ teilweise aus einem gummiartigen Material ausgebildet. Die Greifeinheit 10 ist mit Hilfe eines Schrägstellmittels 32, das als Drehgelenk ausgebildet ist, drehbar zu der Grundeinheit 14 und im Wesentlichen unterhalb von ihr gelagert. Die Greifeinheit 10 weist eine Greiffläche 12 und eine Ansaugeinheit 11 auf. Die Ansaugeinheit 11 und die Greiffläche 12 weisen wiederum einzelne Ansaugdüsen 42 mit wohl definierter Form auf (siehe 2). Die Greifeinheit 10 ist zum Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit 38 über eine Distanz und zum Festhalten einer dünnwandigen Baueinheit 38 des Stapels 36 vorgesehen. Indem Luft durch eine Ausnehmung 41 des Blisters 40 eingeblasen wird, kann das Ablösen einer dünnwandigen Baueinheit 38 vom Stapel 36 unterstützt werden. Der für das Ansaugen mittels der Greifeinheit 10 notwendige Ansaug strom wird mittels eines Schlauchs 30 und mittels Leitungen 26, 28, deren Kontakt mit Hilfe von ansteuerbaren Ventilen 24, 78 (siehe auch 1a) geöffnet und geschlossen werden kann, von einem Vakuumspeicher 16 generiert. Der Vakuumspeicher 16 hat im Vergleich zur Umgebung der dünnwandigen Baueinheit 38 einen Unterdruck, der mittels eines Ejektors 18 erzeugt wird. Grundsätzlich könnte auch ein Ejektor in die Grundeinheit 14 integriert sein. Über die Leitung 26 ist mittels des ansteuerbaren Ventils 78 und eines weiteren ansteuerbaren Ventils 22 eine Vakuumkammer 20 an den Vakuumspeicher 16 angeschlossen. Die Vakuumkammer 20 wird durch einen Kolben 35 einer Aktuatoreinheit 34 zum Außenraum hin abgeschlossen. Der Kolben 35 ist relativ zur Grundeinheit 14 in vertikaler Richtung beweglich gelagert. Die Aktuatoreinheit 34 weist ein Verbindungsstück 33 auf, das die Kolben 35 und die Greifeinheit 10 mechanisch verbindet. Eine pneumatische Verbindung zwischen den Ansaugdüsen 42 über den Schlauch 30 und die Leitungen 28, 26 mittels der Ventile 22, 24 mit der Vakuumkammer 20 ist an- und abschaltbar. Falls die Ventile 22, 24 offen sind und eine dünnwandige Baueinheit 38 weder angesaugt wurde noch festgehalten wird, bildet sich ein Gleichgewichtszustand mit ruhender Greifeinheit 10 derart aus, dass der Druck des Außenraums den Druck in der Vakuumkammer 20 und eine an den Kolben 35 nach unten angreifende Kraft, die größtenteils aus einem Teil der Gewichtskraft der Greifeinheit 10 besteht, ausgleicht. Falls nun eine dünnwandige Baueinheit 38 angesaugt wird, verringert sich der Luftstrom in der Leitung 28, was dazu führt, dass sich der Unterdruck der Vakuumkammer 20 im Vergleich zum Außenraum weiter verringert. Damit stellen sich für die Aktuatoreinheit 34 und die Greifeinheit 10 neue Gleichgewichtspositionen ein, die sich aufgrund des vermin derten Drucks der Vakuumkammer 20 in vertikaler Richtung weiter oben befinden. Die dünnwandige Baueinheit 38 wird damit weiter von dem Stapel 36 dünnwandiger Baueinheiten weg im Wesentlichen in vertikaler Richtung nach oben bewegt, wobei die Aktuatoreinheit 34 den Ansaugstrom energietechnisch nutzt. Die Ansaugeinheit 11 ist einteilig mit einer Sensoreinheit 62 ausgebildet und die Ansaugdüsen 42 sind einteilig mit einem Sensormittel 64 ausgebildet, dadurch bedingt, dass diese Elemente das Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit 38 sensieren. Nachdem die Sensoreinheit 62 eine angesaugte dünnwandige Baueinheit 38 sensiert hat, signalisiert sie dies pneumatisch mittels des Schlauchs 30 und der Leitungen 28, 26 an die Aktuatoreinheit 34. 1 shows a section through a surface gripper unit. This has a basic unit 14 , a gripping unit 10 and a blister 40 on. The blister 40 is located in the vertical direction substantially below the base unit 14 and the gripping unit 10 and is meant to be a stack 36 thin-walled units 38 take. The gripping unit 10 is partially made of plastic or alternatively partially formed of a rubber-like material. The gripping unit 10 is by means of a tilting means 32 , which is designed as a pivot, rotatable to the base unit 14 and stored substantially below it. The gripping unit 10 has a gripping surface 12 and a suction unit 11 on. The suction unit 11 and the gripping surface 12 again have individual suction nozzles 42 with a well-defined shape (see 2 ). The gripping unit 10 is for sucking a thin-walled unit 38 over a distance and for holding a thin-walled structural unit 38 of the pile 36 intended. By passing air through a recess 41 of the blister 40 blown, the detachment of a thin-walled structural unit 38 from the pile 36 get supported. The for the suction by means of the gripping unit 10 necessary intake stream is by means of a hose 30 and by means of cables 26 . 28 whose contact by means of controllable valves 24 . 78 (see also 1a ) can be opened and closed by a vacuum storage 16 generated. The vacuum store 16 has compared to the environment of the thin-walled unit 38 a negative pressure, which by means of an ejector 18 is produced. Basically, an ejector could also be in the basic unit 14 be integrated. About the line 26 is by means of the controllable valve 78 and another controllable valve 22 a vacuum chamber 20 to the vacuum storage 16 connected. The vacuum chamber 20 is by a piston 35 an actuator unit 34 closed to the outside. The piston 35 is relative to the basic unit 14 movably mounted in the vertical direction. The actuator unit 34 has a connector 33 on that the pistons 35 and the gripping unit 10 mechanically connecting. A pneumatic connection between the suction nozzles 42 over the hose 30 and the wires 28 . 26 by means of the valves 22 . 24 with the vacuum chamber 20 can be switched on and off. If the valves 22 . 24 are open and a thin-walled unit 38 was neither sucked nor held, forms an equilibrium state with resting gripping unit 10 such that the pressure of the outside space the pressure in the vacuum chamber 20 and one to the piston 35 downward force, which largely consists of a part of the weight of the gripping unit 10 exists, compensates. If now a thin-walled unit 38 is sucked, the air flow in the line decreases 28 , which causes the vacuum of the vacuum chamber 20 further reduced in comparison to the exterior. This represents the actuator unit 34 and the gripping unit 10 new equilibrium positions due to the reduced pressure of the vacuum chamber 20 higher up in the vertical direction. The thin-walled unit 38 gets further from the stack 36 thin-walled assemblies moved away in a substantially vertical upward direction, wherein the actuator unit 34 the intake power energy uses. The suction unit 11 is in one piece with a sensor unit 62 trained and the suction nozzles 42 are one-piece with a sensor means 64 formed due to the fact that these elements sucking a thin-walled unit 38 sensing. After the sensor unit 62 a sucked thin-walled unit 38 She has signaled this pneumatically by means of the hose 30 and the wires 28 . 26 to the actuator unit 34 ,

Ferner wird eine Ablöseinheit 46 durch die Greifeinheit 10 und das Schrägstellmittel 32 gebildet. Die Ablöseinheit 46 weist eine ebene Fläche 48 auf, die mit Hilfe des Schrägstellmittels 32 auf nicht parallele Weise zu der dünnwandigen Baueinheit 38 positioniert werden kann, so dass sie mit diesem einen spitzen Winkel einschließt. Die ebene Fläche 48 ist einteilig mit der Greiffläche 12 ausgebildet. Die Greiffläche 12 weist die Ansaugdüsen 42 auf, die gleichmäßig auf der Oberfläche der Greiffläche 12 verteilt sind. Auf einer Teilfläche der der Greifeinheit 10 zugewandten Seite der dünnwandigen Baueinheit 38, der sich näher an der Greiffläche 12 befindet, ist die Kraft beim Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 38 größer als auf einer anderen Teilfläche der der Greifeinheit 10 zugewandten Seite der dünnwandigen Baueinheit 38, die sich im Vergleich zur ersteren weiter weg von der Greiffläche 12 befindet. Damit wird ein ungleichförmiges Ablösen der dünnwandigen Baueinheit 38 vom Stapel 36 hervorge rufen, das dadurch unterstützt wird, dass an die Trennlinie zwischen der dünnwandigen Baueinheit 38 und dem restlichen Stapel 36 dünnwandiger Baueinheiten Luft durch eine Ausnehmung 41 angeblasen wird.Furthermore, a Ablöseinheit 46 through the gripping unit 10 and the skew means 32 educated. The detachment unit 46 has a flat surface 48 on, with the help of the tilting means 32 in a non-parallel manner to the thin-walled structural unit 38 can be positioned so that it includes an acute angle with this. The flat surface 48 is in one piece with the gripping surface 12 educated. The gripping surface 12 has the suction nozzles 42 on, evenly on the surface of the gripping surface 12 are distributed. On a partial surface of the gripping unit 10 facing side of the thin-walled unit 38 , which is closer to the gripping surface 12 is the force when sucking the thin-walled unit 38 larger than on any other surface of the gripping unit 10 facing side of the thin-walled unit 38 , which are further away from the gripping surface compared to the former 12 located. This is a non-uniform detachment of the thin-walled structural unit 38 from the pile 36 which is supported by the fact that the dividing line between the thin-walled structural unit 38 and the rest of the stack 36 thin-walled units air through a recess 41 is blown.

1a zeigt einen Schnitt durch einen Teil der Flächengreifereinheit, der die Ventile 78, 22, 24 und die Leitung 26 umfasst. Das Ventil 78 ist als 3/2-Wegeventil ausgebildet. Eine Leitung 86 stellt eine Verbindung zwischen dem Ventil 78 und der Leitung 28 her, die durch das Ventil 24 geöffnet oder geschlossen werden kann. Die Leitung 86 stellt ebenfalls eine Verbindung zwischen dem Ventil 78 und der Vakuumkammer 20 her, welche mit Hilfe des Ventils 22 geöffnet oder geschlossen werden kann. An das Ventil 78 sind die Leitung 26 und eine Druckluftleitung 80 angeschlossen. Das Ventil 78 weist einen Innenraum 94 und einen Kolben 82 auf, welcher den Innenraum 94 des Ventils 78, der von einer Wandung 92 des Ventils 78 begrenzt wird, in zwei Kammern 88, 90 aufteilt. Durch den Kolben 82 sind die Kammern 88, 90 gegeneinander abgedichtet. Der Kolben 82 ist relativ zu der Wandung 92 des Ventils 78 beweglich gelagert und mittels einer Feder 84 mit der Wandung 92 verbunden. Durch eine Druckveränderung in der Kammer 88, welche gezielt mit Hilfe der Druckluftleitung 80 herbeigeführt werden kann, und/oder eine Druckveränderung der Kammer 90 kann der Kolben 82 relativ zu der Wandung 92 bewegt werden. Auf diese Weise kann der Kolben 82 so positioniert werden, dass die Leitung 86 entweder mit der Druckluftleitung 80 oder mit der Leitung 26 verbunden ist. Im letzteren Fall wird bei geöffnetem Ventil 24 ein Ansaugstrom erzeugt, der zum Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 38 (siehe 1) vorgesehen ist. Nach dem Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 38 kann diese durch die Greifeinheit 10 (siehe 1) an eine gewünschte Stelle transportiert werden. Indem der Druck in der Kammer 88 mit Hilfe der Druckluftleitung 80 erhöht wird, kann dann die Leitung 86 mit der Druckluftleitung 80 verbunden werden. Bei geöffnetem Ventil 24 wird so der Ansaugstrom, welcher die dünnwandige Baueinheit 38 an der Ansaugeinheit 11 festhält, ausgesetzt und die dünnwandige Baueinheit 38 damit von der Ansaugeinheit 11 abgelöst. Das Einblasen von Druckluft mittels der Druckluftleitung 80 in die Kammer 88 bewirkt demzufolge ein schnelles Ablösen der dünnwandigen Baueinheit 38. Das Einblasen von Druckluft mittels der Druckluftleitung 80 in die Vakuumkammer 20, welche bei geöffnetem Ventil 22 und geeigneter Stellung des Kolbens 82 möglich ist, ermöglicht eine Bewegung der Greifeinheit 10 in eine Position, welche relativ zu dem Blister 40 (siehe 1) eine geeignete Neigung zum Ansaugen einer dünnwandigen Baueinheit 38 besitzt. 1a shows a section through a portion of the surface gripper unit, the valves 78 . 22 . 24 and the line 26 includes. The valve 78 is designed as a 3/2-way valve. A line 86 makes a connection between the valve 78 and the line 28 coming through the valve 24 can be opened or closed. The administration 86 also provides a connection between the valve 78 and the vacuum chamber 20 Her, which with the help of the valve 22 can be opened or closed. To the valve 78 are the lead 26 and a compressed air line 80 connected. The valve 78 has an interior 94 and a piston 82 on which the interior 94 of the valve 78 from a wall 92 of the valve 78 is limited, in two chambers 88 . 90 divides. By the piston 82 are the chambers 88 . 90 sealed against each other. The piston 82 is relative to the wall 92 of the valve 78 movably mounted and by means of a spring 84 with the wall 92 connected. By a pressure change in the chamber 88 , which specifically with the help of the compressed air line 80 can be brought about, and / or a pressure change of the chamber 90 can the piston 82 relative to the wall 92 to be moved. In this way, the piston 82 be positioned so that the line 86 either with the compressed air line 80 or with the line 26 connected is. In the latter case, with the valve open 24 generates an intake, which is for sucking the thin-walled unit 38 (please refer 1 ) is provided. After aspiration of the thin-walled unit 38 This can be done by the gripping unit 10 (please refer 1 ) are transported to a desired location. By the pressure in the chamber 88 with the help of the compressed air line 80 is increased, then the line 86 with the compressed air line 80 get connected. With the valve open 24 So is the intake flow, which is the thin-walled unit 38 at the suction unit 11 holds, exposed and the thin-walled unit 38 with it from the suction unit 11 replaced. The injection of compressed air by means of the compressed air line 80 in the chamber 88 consequently causes a rapid detachment of the thin-walled structural unit 38 , The injection of compressed air by means of the compressed air line 80 in the vacuum chamber 20 , which with the valve open 22 and appropriate position of the piston 82 is possible, allows movement of the gripping unit 10 in a position which is relative to the blister 40 (please refer 1 ) a suitable tendency for suction of a thin-walled structural unit 38 has.

In den 2 und 3 sind verschiedene Ausführungsbeispiele der Greiffläche 12 dargestellt. Im Wesentlichen gleich bleibende Bauteile, Merkmale und Funktionen sind grundsätzlich mit den gleichen Bezugszeichen beziffert. Zur Unterscheidung der Ausführungsbeispiele sind als Bezugszeichen in den 2 und 3 die Buchstaben A bzw. B hinzugefügt.In the 2 and 3 are different embodiments of the gripping surface 12 shown. Substantially identical components, features and functions are basically numbered by the same reference numerals. To distinguish the embodiments are as reference numerals in the 2 and 3 the letters A and B are added.

2 zeigt einen Ausschnitt einer Draufsicht auf eine Greiffläche 12A. Die Ansaugdüsen 42 sind gleichmäßig verteilt und wirken als Sensormittel 64. 2 shows a section of a plan view of a gripping surface 12A , The suction nozzles 42 are evenly distributed and act as sensor means 64 ,

3 zeigt einen Ausschnitt einer Draufsicht auf eine Ausführungsvariante einer Greiffläche 12B einer Ablöseinheit 46. 3 shows a detail of a plan view of an embodiment of a gripping surface 12B a detachment unit 46 ,

Die Greiffläche 12B weist Ansaugmittel 44 auf, welche ungleichmäßig verteilt sind. Die Ansaugmittel 44 sind als Ansaugdüsen 42 und Kanäle 45 ausgebildet. Mit Hilfe dieser Anordnung werden insbesondere günstige Strömungsverhältnisse zum Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 38 geschaffen. Ferner können die ungleichmäßig verteilten Ansaugmittel 44 zur ungleichmäßigen Ablösung der dünnwandigen Baueinheit 38 vom Stapel 36 verwendet werden (siehe 1).The gripping surface 12B has suction means 44 which are distributed unevenly. The suction means 44 are as suction nozzles 42 and channels 45 educated. With the help of this arrangement, in particular favorable flow conditions for sucking the thin-walled structural unit 38 created. Furthermore, the unevenly distributed suction 44 for uneven detachment of the thin-walled structural unit 38 from the pile 36 be used (see 1 ).

In den 4 bis 6 sind verschiedene Ausführungsbeispiele der Ansaugdüsen 42, insbesondere ihrer Profile, dargestellt. Im Wesentlichen gleich bleibende Bauteile, Merkmale und Funktionen sind grundsätzlich mit den gleichen Bezugszeichen beziffert. Zur Unterscheidung der Ausführungsbeispiele sind als Bezugszeichen in den 4 bis 6 die Buchstaben a, b und c hinzugefügt.In the 4 to 6 are different embodiments of the suction nozzles 42 , in particular their profiles. Essentially the same components, features and functions are basically the same reference numerals quantified. To distinguish the embodiments are as reference numerals in the 4 to 6 the letters a, b and c are added.

4 zeigt eine Ansaugdüse 42a, welche an einer Ansaugeinheit 11a angeordnet ist. Die Ansaugdüse 42a weist einen sich zu einer Greiffläche 12a hin erweiternden Kanal 13a auf, der als abgerundeter Absatz ausgebildet ist. Die Ansaugdüse 42a ist einteilig mit einem Sensormittel 64a ausgebildet. Ferner ist ein Ansaugmittel 56 durch die Ansaugdüse 42a gebildet. 4 shows a suction nozzle 42a , which on a suction unit 11a is arranged. The suction nozzle 42a points to a gripping surface 12a expanding channel 13a on, which is designed as a rounded paragraph. The suction nozzle 42a is one-piece with a sensor means 64a educated. Further, a suction means 56 through the suction nozzle 42a educated.

5 zeigt eine Ausführungsvariante einer Ansaugdüse 42b. In dieser Ausführungsvariante ist ein Kanal 13b konisch ausgebildet. Die Ansaugdüse 42b bildet ein Ansaugmittel 58. 5 shows a variant of a suction nozzle 42b , In this embodiment is a channel 13b conical. The suction nozzle 42b forms a suction agent 58 ,

6 zeigt eine Ausführungsvariante einer Ansaugdüse 42c. In dieser Ausführungsvariante ist ein Kanal 13b stufenförmig ausgebildet. Durch die Ansaugdüse 42c wird ein Ansaugmittel 60 gebildet. 6 shows a variant of a suction nozzle 42c , In this embodiment is a channel 13b stepped. Through the suction nozzle 42c becomes a suction agent 60 educated.

In den 7 bis 9 sind alternative Ausführungsbeispiele dargestellt. Im Wesentlichen gleich bleibende Bauteile, Merkmale und Funktionen sind grundsätzlich mit den gleichen Bezugszeichen beziffert. Zur Unterscheidung der Ausführungsbeispiele sind jedoch den Bezugszeichen der Ausführungsbeispiele in den 7 bis 9 die Buchstaben α, β und γ hinzugefügt. Die nachfolgende Beschreibung beschränkt sich im Wesentlichen auf die Unterschiede zu dem Ausführungsbeispiel in der 1, wobei bezüglich gleich bleibender Bauteile, Merkmale und Funktionen auf die Beschreibung des Ausführungsbeispiels in der 1 verwiesen werden kann.In the 7 to 9 Alternative embodiments are shown. Substantially identical components, features and functions are basically numbered by the same reference numerals. To distinguish the embodiments, however, the reference numerals of the embodiments in the 7 to 9 the letters α, β and γ are added. The following description is essentially limited to the differences from the embodiment in the 1 , wherein with respect to the same components, features and functions on the description of the embodiment in the 1 can be referenced.

7 zeigt die Ablöseinheit 46α in einer Ausführungsvariante. Hierbei weist die Ablöseinheit 46α eine Schrägfläche 50 auf, die zur ungleichmäßigen Ablösung der dünnwandigen Baueinheit 38 verwendet werden kann. 7 shows the detachment unit 46α in an embodiment. Here, the Ablöseinheit 46α an oblique surface 50 on, leading to uneven detachment of the thin-walled structural unit 38 can be used.

8 zeigt die Ablöseinheit 46β in einer Ausführungsvariante. Hierbei weist die Ablöseinheit 46β eine konkave Fläche 52 auf, die zur ungleichmäßigen Ablösung der dünnwandigen Baueinheit 38 verwendet werden kann. 8th shows the detachment unit 46β in an embodiment. Here, the Ablöseinheit 46β a concave surface 52 on, leading to uneven detachment of the thin-walled structural unit 38 can be used.

9 zeigt die Ablöseinheit 46γ in einer Ausführungsvariante. Die Ablöseinheit 46γ weist eine konvexe Fläche 54 auf, die zur ungleichmäßigen Ablösung der dünnwandigen Baueinheit 38 verwendet werden kann. 9 shows the detachment unit 46γ in an embodiment. The detachment unit 46γ has a convex surface 54 on, leading to uneven detachment of the thin-walled structural unit 38 can be used.

10 zeigt einen Ausschnitt eines Schnitts durch ein alternatives Ausführungsbeispiel einer Greifeinheit 10.1. Sie weist neben Ansaugdüsen 42.1, die eine alternative Ausführung zu den in den 4 bis 6 gezeigten Ansaugdüsen darstellen, eine Dämpfungseinheit 68 auf, welche als pneumatisches Dämpfungsmittel 70 oder als Folie 72 ausgebildet sein kann. Die Dämpfungseinheit 68 ist dazu vorgesehen, die dünnwandige Baueinheit 38 (siehe 1) bei einem Ansaugvorgang zu dämpfen. Das pneumatische Dämpfungsmittel 70 kann zu einer ungleichförmigen Ablösung einer dünnwandigen Baueinheit 38 von einem Stapel 36 dünnwandiger Baueinheiten verwendet werden (siehe 1). 10 shows a section of a section through an alternative embodiment of a gripping unit 10.1 , It points next to suction nozzles 42.1 which is an alternative to the in the 4 to 6 represent suction nozzles, a damping unit 68 on which as a pneumatic damping means 70 or as a foil 72 can be trained. The damping unit 68 is intended, the thin-walled unit 38 (please refer 1 ) during a suction process. The pneumatic damping device 70 can lead to a non-uniform detachment of a thin-walled structural unit 38 from a pile 36 thin-walled units can be used (see 1 ).

11 zeigt einen Ausschnitt eines Schnitts durch ein alternatives Ausführungsbeispiel einer Greifeinheit 10.2. Sie weist neben Ansaugdüsen 42.2 eine Dämpfungseinheit 68 auf, welche als Netz 73 ausgebildet ist. 11 shows a section of a section through an alternative embodiment of a gripping unit 10.2 , It points next to suction nozzles 42.2 a damping unit 68 on which as network 73 is trained.

12 zeigt eine mechanische Getriebeeinheit 74, die Greifeinheit 10 und einen Stapel 36 dünnwandiger Baueinheiten. Die mechanische Getriebeeinheit 74 ist dazu vorgesehen, den Stapel 36 dünnwandiger Baueinheiten relativ zu der Greifeinheit 10 zu positionieren. Die Getriebeeinheit 74 ist dabei derart zyklisch getaktet, dass sie regelmäßig nach einem Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 38 durch die Ansaugeinheit 11 den Stapel 36 für ein Ansaugen einer weiteren dünnwandigen Baueinheit 38 durch die Ansaugeinheit 11 in Position bringt. Hierbei darf die Genauigkeit der räumlichen Positionierung relativ gering sein, da das Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 38 nicht auf eine hohe Genauigkeit angewiesen ist. Die Getriebeeinheit 74 weist eine Gelenkeinheit 76 auf, welche dazu vorgesehen ist, den Stapel 36 relativ zu der Greifeinheit 10 zu verkippen. 12 shows a mechanical transmission unit 74 , the gripping unit 10 and a pile 36 thin-walled units. The mechanical gear unit 74 is meant to be the pile 36 thin-walled units relative to the gripping unit 10 to position. The gear unit 74 is clocked so cyclically that they regularly after sucking the thin-walled unit 38 through the suction unit 11 the stack 36 for sucking in a further thin-walled structural unit 38 through the suction unit 11 puts in position. In this case, the accuracy of the spatial positioning may be relatively low, since the suction of the thin-walled structural unit 38 is not dependent on high accuracy. The gear unit 74 has a joint unit 76 which is intended to stack 36 relative to the gripping unit 10 to tilt.

13 zeigt einen Schnitt durch eine Ausführungsvariante des Ejektors 18' mit der Grundeinheit 14, der Greifeinheit 10 und den dünnwandigen Baueinheiten 38 auf Rollen 98. Mit Hilfe einer Pumpe 96 wird ein Elektrolyt oder eine andere Flüssigkeit durch eine Kammer 104 und eine Leitung 106 des Ejektors 18' in ein Becken oder einen Vorlagetank gepumpt. Dieses Becken kann in einer weiteren Ausführungsvariante mit einem Becken identisch sein, in welchem sich die dünnwandigen Baueinheiten 38, welche von der Ansaugeinheit 11 angesaugt werden sollen, befinden und dort zumindest teilweise von einer Flüssigkeit 112 umgeben sind. An die Leitung 106 ist eine Leitung 102 mittels einer Schikane 100 angeschlossen. Die Leitung 102 ist an den Vakuumspeicher 16 der Grundeinheit 14 (siehe 1) angeschlossen. Der Pumpvorgang durch die Leitung 106 wirkt zusammen mit der Schikane 100 wie eine Wasserstrahlpumpe, welche eine Ansaugung in der Leitung 102 über die Schikane 100 zu der Leitung 106 erzeugt. Die Ansaugung erzeugt den Unterdruck in dem Vakuumspeicher 16 (siehe 1), welcher bei einer Ansaugung der dünnwandigen Baueinheiten 38 Verwendung findet. Die dünnwandigen Baueinheiten 38 werden mittels der Rollen 98 zu der Greifeinheit 10 transportiert. Das Transportieren der dünnwandigen Baueinheiten 38 kann auch in der Flüssigkeit 112, welche insbesondere ein Elektrolyt sein kann, erfolgen. Die dünnwandigen Baueinheiten 38 können ebenfalls direkt aus einem Inlinetransport, welcher auch in der Flüssigkeit 112 erfolgen kann, entnommen werden, wobei durch ein Ansaugen der Flüssigkeit 112 ein Ansaugen der dünnwandigen Baueinheit 38 erfolgen kann. Alternativ können die dünn wandigen Baueinheiten 38 aus flächigen Carriern 110 (siehe 14) oder feststehenden Stationen angesaugt und abtransportiert werden. 13 shows a section through a variant of the ejector 18 ' with the basic unit 14 , the gripping unit 10 and the thin-walled units 38 on rollers 98 , With the help of a pump 96 becomes an electrolyte or other fluid through a chamber 104 and a line 106 of the ejector 18 ' pumped into a basin or storage tank. In a further embodiment, this basin can be identical to a basin in which the thin-walled building units are located 38 , which from the suction unit 11 are to be sucked, and there at least partially of a liquid 112 are surrounded. To the line 106 is a lead 102 by means of a chicane 100 connected. The administration 102 is at the vacuum storage 16 the basic unit 14 (please refer 1 ) connected. The pumping process through the pipe 106 works together with the chicane 100 like a water jet pump, which is a suction in the pipe 102 about the chicane 100 to the line 106 generated. The suction creates the negative pressure in the vacuum reservoir 16 (please refer 1 ), which in an intake of the thin-walled units 38 Use finds. The thin-walled units 38 be using the roles 98 to the gripping unit 10 transported. Transporting the thin-walled units 38 can also be in the liquid 112 , which may be in particular an electrolyte, take place. The thin-walled units 38 can also directly from an inline transport, which also in the liquid 112 can take place, are removed by sucking the liquid 112 a suction of the thin-walled unit 38 can be done. Alternatively, the thin-walled units 38 from area carriers 110 (please refer 14 ) or stationary stations are sucked in and transported away.

14 zeigt eine Draufsicht auf den flächigen Carrier 110, auf welchem dünnwandige Baueinheiten 38 liegen. Die dünnwandigen Baueinheiten 38 sind einzeln und nebeneinander in Reihen auf dem Carrier angeordnet und können von dort durch die Ansaugeinheit 11 (siehe 13) angesaugt und wegtransportiert werden. 14 shows a plan view of the planar carrier 110 on which thin-walled units 38 lie. The thin-walled units 38 are arranged individually and side by side in rows on the carrier and can from there through the suction unit 11 (please refer 13 ) are sucked and transported away.

1010: Greifeinheitgripping unit
1111: Ansaugeinheitsuction
1212: Greifflächegripping surface
1313: Kanalchannel
1414: Grundeinheitbasic unit
1616: Vakuumspeichervacuum storage
1818: Ejektorejector
2020: Vakuumkammervacuum chamber
2222: VentilValve
2424: VentilValve
2626: Leitungmanagement
2828: Leitungmanagement
3030: Schlauchtube
3232: SchrägstellmittelTilt means
3333: Verbindungsstückjoint
3434: Aktuatoreinheitactuator
3535: Kolbenpiston
3636: Stapelstack
3838: dünnwandige Baueinheitthin unit
4040: BlisterBlister
4141: Ausnehmungrecess
4242: Ansaugdüsesuction
4444: Ansaugmittelsuction
4545: Kanalchannel
4646: AblöseinheitAblöseinheit
4848: ebene Flächelevel area
5050: Schrägflächesloping surface
5252: konkave Flächeconcave area
5454: konvexe Flächeconvex area
5656: Ansaugmittelsuction
5858: Ansaugmittelsuction
6060: Ansaugmittelsuction
6262: Sensoreinheitsensor unit
6464: Sensormittelsensor means
6868: Dämpfungseinheitdamping unit
7070: pneumatisches Dämpfungsmittelpneumatic damping means
7272: Foliefoil
7373: Netznetwork
7474: Getriebeeinheitgear unit
7676: Gelenkeinheitjoint unit
7878: VentilValve
8080: DruckluftleitungCompressed air line
8282: Kolbenpiston
8484: Federfeather
8686: Leitungmanagement
8888: Kammerchamber
9090: Kammerchamber
9292: Wandungwall
9494: Innenrauminner space
9696: Pumpepump
9898: Rollenroll
100100: Schikanechicane
102102: Leitungmanagement
104104: Kammerchamber
106106: Leitungmanagement
110110: CarrierCarrier
112112: Flüssigkeitliquid

Claims

Surface gripper unit with at least one gripping unit ( 10 ), characterized in that the gripping unit ( 10 ) at least one suction unit ( 11 ), which is provided to at least one thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit over a distance and / or hold.

Surface gripper unit according to claim 1, characterized in that the suction unit ( 11 ) at least one to a gripping surface ( 12 ) has widening channel.

Surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized in that the suction unit ( 11 ) at least one suction nozzle ( 42 ) having a well-defined shape.

Surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized by at least one vacuum accumulator ( 16 ), which is intended to generate a suction.

Surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized by at least one Ablöseinheit ( 46 ) leading to a non-uniform detachment of a thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit is provided.

Surface gripper unit according to claim 5, characterized in that the Ablöseinheit ( 46 ) at least one tilting means ( 32 ) having.

Surface gripper unit according to claim 5 or 6, characterized in that the Ablöseinheit ( 46 ) unevenly distributed suction means ( 44 ) having.

Surface gripper unit according to one of claims 5 to 7, characterized in that the Ablöseinheit ( 46 ) an inclined surface ( 50 ) and / or a concave surface ( 52 ) and / or a convex surface ( 54 ) having.

Surface gripper unit according to one of claims 5 to 8, characterized in that the Ablöseinheit ( 46 ) differently shaped suction means ( 44 . 56 . 58 . 60 ) having.

Surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized by an actuator unit ( 34 ), which is provided to the gripping unit ( 10 ) to move at least depending on a suction and / or a suction power.

Surface gripper unit according to claim 10, characterized in that the actuator unit ( 34 ) is provided to use at least one suction power energy.

Surface gripper unit according to claim 10 or 11, characterized by a sensor unit ( 62 ), the suction of a thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit through the suction unit ( 11 ) of the actuator unit ( 34 ) signals.

Surface gripper unit according to claim 12, characterized in that the sensor unit ( 62 ) a sensor means ( 64 ) provided for signaling by means of a pneumatic signal.

Surface gripper unit according to claim 13, characterized in that the sensor unit ( 62 ) at least partially from the suction unit ( 11 ) is formed.

Surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized in that the gripping unit ( 10 ) a gripping surface formed at least partially from plastic and / or a rubber-like material ( 12 ) having.

Surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized in that the gripping unit ( 10 ) at least one damping unit ( 68 ), which is intended to be a thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit during a suction process.

Surface gripper unit according to claim 16, characterized in that the damping unit ( 68 ) at least one pneumatic damping means ( 70 ) having.

Surface gripper unit according to claim 16 or 17, characterized in that the damping unit ( 68 ) at least one film ( 72 ) having.

Surface gripper unit according to one of claims 16, 17 or 18, characterized in that the damping unit ( 68 ) at least one network ( 73 ) having.

Surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized by a mechanical gear unit ( 74 ), which is provided to the gripping unit ( 10 ) and at least one thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit relative to each other.

Gripping method with a gripping unit ( 10 ), in particular with a surface gripper unit according to one of the preceding claims, characterized in that by means of a suction unit ( 11 ) of the gripping unit ( 10 ) a thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit is sucked in over a distance.

Gripping method according to claim 21, characterized in that for generating a suction, a vacuum accumulator ( 16 ) is being used.

Gripping method according to claim 21 or 22, characterized in that a thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit is unevenly detached.

Gripping method according to one of claims 21 to 23, characterized in that a suction flow for an actuator unit ( 34 ) energy-technically and / or for a sensor unit ( 62 ) is being used.

Gripping method according to one of claims 21 to 24, characterized in that a thin-walled structural unit ( 38 ) and / or fiber unit in its movement to the gripping unit ( 10 ) is slowed down.