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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Abtasteinheit für einen
mikromechanischen Abtastsensor, insbesondere eines Raster-Kraft-Mikroskops,
mit einem Basisteil zur Befestigung der Abtasteinheit an einem Sensorarm
des Raster-Kraft-Mikroskops,
und mit einem Funktionsteil, das mit dem Basisteil verbunden ist
und das eine, vorzugsweise im wesentlichen zylindrische Form und,
an einem Endbereich mindestens eine Sensorspitze aufweist.
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Derartige
Abtasteinheiten werden bei Raster-Kraft-Mikroskopen dazu verwendet,
um die Oberfläche
eines zu untersuchenden Objekts bzw. einer Probe, bei der es sich
auch um eine flüssige
Substanz handeln kann, abzutasten.
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Zur
Abtastung von Oberflächen,
die Strukturen mit steilen Seitenflanken enthalten, werden Abtasteinheiten
eingesetzt, die gemäss
der Seitenansicht nach 1 einen „senkkopfartigen" Querschnitt aufweisen.
Die vorderste Fläche
einer solchen Abtasteinheit ist dabei nach dem Stand der Technik eben
ausgebildet. Bekannt ist ferner, dass diese Abtasteinheiten in der
Draufsicht runde, rechteckförmige,
kissenförmige
sowie dreieckige Formen haben können.
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Allen
diesen Formen gemeinsam ist, dass, wie in der Seitenansicht von 1 dargestellt,
ihre vorderste Ebene senkrecht zu dem Funktionsteil steht und eine
ebene Fläche
bildet.
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Mit
Abtasteinheiten der vorstehend beschriebenen Art misst man in Mikrostrukturen,
zum Beispiel bei der Chip-Fertigung, den Seitenflankenwinkel, Seitenwandrauhigkeiten,
sowie Distanzen zwischen benachbarten Seitenwänden.
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Insbesondere
für die
Herstellung von schnellen CMOS Schaltkreisen ist es von großer Wichtigkeit,
den exakten Verlauf des „Fußpunktes" von im Wesentlichen
senkrechten Strukturen zu kennen. Insbesondere dann, wenn eine im
wesentlichen senkrechte Struktur an diesem „Fußpunkt" eingeengt ist, will man diese Einengung
genau vermessen können.
Hierbei handelt es sich um Einengungen mit Radien von nur wenigen
Nanometern. Polysilizium-Gate-Strukturen sind das bekannteste Beispiel für diese
Messproblematik.
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Erschwert
wird das Messen dieses „Fußpunktes" in der Realität durch
die Topographie des „Bodens" in der Umgebung
der senkrechten Struktur. Jede Rauhigkeit im Nanometerbereich erschwert
das Messen dieser Einengung, da diese häufig unterhalb des Niveaus
der Bodenrauhigkeiten liegt. Die Abtasteinheiten nach dem Stand
der Technik sind nur schlecht geeignet, diesen Fußpunkt zu
messen. Da das vorderste Ende einer herkömmlichen Abtasteinheit wie
in 1 veranschaulicht eine ebene Fläche bildet,
bestimmt der „höchste" Punkt einer Bodentopographie
die „Eindringtiefe" der Abtasteinheit,
und das Messen der Fußeinengung
wird dadurch erschwert oder eventuell völlig verhindert.
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Eine
weitere wichtige Anwendung der gattungsgemäßen Abtasteinheiten ist das
Vermessen der Seitenwandrauhigkeit.
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Hierbei
haben die herkömmlichen
Abtasteinheiten den inhärenten
Nachteil eines relativ großen Eckenradius
einer kreisförmigen
bzw. rechteckförmigen
Abtastspitze.
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Für manche
bekannten Formen von Abtasteinheiten tritt in der Praxis noch ein
weiteres Problem auf, das die Messung der Fußeinengung beeinträchtigt.
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Bei
den heutigen Raster-Kraft-Mikroskopen sind die Abtasteinheiten gegenüber einem
die Probe enthaltenden Substrat verkippt (3° bis ca. 15°). Durch diese Verkippung der
vorderen Ebene der Abtasteinheiten wird die „effektive" Dicke der Abtastspitze erhöht, und
damit die Fähigkeit
der Messung von Seitenwandrauhigkeiten sowie „Fußeinengungen" ebenfalls limitiert.
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Es
ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Abtasteinheit
der eingangs genannten Art anzugeben, mit der mikromechanische Strukturen
besser erfassbar sind und die vorstehend geschilderten Nachteile überwunden
werden.
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Diese
Aufgabe wird bei einer Abtasteinheit der eingangs genannten Art
erfindungsgemäß dadurch
gelöst,
dass die Sensorspitze sich derart von dem Endbereich des Funktionsteils
weg erstreckt, dass ein Winkel zwischen einer Längsachse der Sensorspitze und
einer zu der Längsachse
des Funktionsteils im wesentlichen orthogonal verlaufenden Ebene
von 0° Grad
verschieden ist.
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Das
heißt,
die Sensorspitze der erfindungsgemäßen Abtasteinheit erstreckt
sich nicht rein orthogonal weg von der Längsachse des Funktionsteils,
wie es bei den herkömmlichen
Abtasteinheiten der Fall ist. Damit ist es möglich, Abtasteinheiten mit noch
größeren Ortsauflösungen zu
realisieren, die insbesondere auch zur Messung der Rauhigkeit von Seitenwänden geeignet
sind.
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Bei
einer sehr vorteilhaften Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Abtasteinheit
ist vorgesehen, dass der Winkel zwischen der Längsachse der Sensorspitze und
der zu der Längsachse
des vorzugsweise zylindrischen Formteils im wesentlichen orthogonal
verlaufenden Ebene Werte aufweist zwischen etwa 5° und etwa
80°.
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Bei
einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung deutet die Sensorspitze von dem Basisteil der Abtasteinheit weg.
Das heißt,
die Länge
einer derartigen erfindungsgemäßen Abtasteinheit
ergibt sich aus der Länge
des zylindrischen Funktionsteils zzgl. desjenigen Abstands, um den
sich die Sensorspitze der erfindungsgemäßen Abtasteinheit von dem Basisteil weg
erstreckt, so dass allein die erfindungsgemäße Sensorspitze und nicht etwa
ein sonstiger Endbereich des zylindrischen Funktionsteils den vordersten Bereich
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
bildet. Dadurch können
im Vergleich zu herkömmlichen
Abtasteinheiten kleinere Strukturen erfasst und mit einer höheren Ortsauflösung abgetastet
werden.
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Bei
einer anderen bevorzugten Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
sind mehrere Sensorspitzen, insbesondere drei Sensorspitzen, vorgesehen,
wobei die Sensorspitzen vorzugsweise jeweils in dem selben Winkelabstand
zueinander angeordnet sind.
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Einer
anderen vorteilhaften Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
zufolge ist ein Querschnitt des zylindrischen Funktionsteils im
wesentlichen kreisförmig
oder elliptisch ausgebildet.
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Alternativ
hierzu ist es gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der Erfindung auch möglich,
dass ein Querschnitt des zylindrischen Funktionsteils im wesentlichen
vieleckig ist, wobei die Anzahl der Grundseiten des vieleckigen
Querschnitts der Anzahl der Sensorspitzen entspricht, und wobei
jede Sensorspitze im Bereich einer Ecke zwischen zwei benachbarten
Grundseiten angeordnet ist.
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Besonders
bevorzugte Erfindungsvarianten weisen hierbei drei oder vier Sensorspitzen
auf.
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Einer
weiteren sehr vorteilhaften Erfindungsvariante zufolge weist das
zylindrische Funktionsteil eine Länge auf, die größer ist
als etwa 100 Nanometer bis etwa 500 Nanometer.
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Bei
einer anderen sehr vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
ist vorgesehen, dass ein Abstand zwischen einem radial äußeren Bereich
der Sensorspitze und der Längsachse
des zylindrischen Funktionsteils etwa 15 Nanometer oder mehr beträgt.
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Einer
weiteren Vorteilhaften Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung entsprechend kann ein Querschnitt des
Funktionsteils rechteckig, insbesondere quadratisch, ausgebildet
sein, wobei die Querschnittsfläche
des Funktionsteils besonders bevorzugt etwa 20 % bis etwa 80 % einer
Querschnittsfläche
des Basisteils in dem Bereich zwischen dem Basisteil und dem Funktionsteil
entspricht.
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Weiter
bevorzugt sind zwei Sensorspitzen vorgesehen, wobei diese vorzugsweise
im Bereich einer kurzen Seite des rechteckigen Querschnitts des
Funktionsteils angeordnet sind, was eine verbesserte Abtastung von
Strukturen mit hohem Aspektverhältnis,
insbesondere von Gräben
und deren Seitenwänden
und dergleichen, ermöglicht.
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Als
eine weitere Lösung
der Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist ein mikromechanischer
Abtastsensor gemäß Patentanspruch
13 angegeben. Der erfindungsgemäße mikromechanische
Abtastsensor weist ein Halteteil und einen als Biegebalken ausgebildeten
Sensorarm auf, der an einem ersten Ende mit dem Halteteil verbunden
ist. Ferner weist der mikromechanische Abtastsensor eine erfindungsgemäße Abtasteinheit
auf, die mit einem zweiten Ende des Sensorarms verbunden ist.
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Bei
einer vorteilhaften Weiterbildung des erfindungsgemäßen mikromechanischen
Abtastsensors ist vorgesehen, dass sich die Längsachse einer Sensorspitze
der Abtasteinheit zumindest teilweise etwa parallel zu einer Längsachse
des Sensorarms und vorzugsweise von dem Sensorarm weg erstreckt.
Das heißt,
die erfindungsgemäße Anordnung der
Sensorspitze ist derart gewählt,
dass sich die Sensorspitze in Verlängerung des Sensorarms fortsetzt.
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Einer
anderen sehr vorteilhaften Erfindungsvariante zufolge ist vorgesehen,
dass sich die Längsachse
mindestens einer Sensorspitze der Abtasteinheit zumindest teilweise
etwa senkrecht zu einer Längsachse
des Sensorarms erstreckt. Dadurch ergibt sich eine Konfiguration,
bei der sich die betreffende Sensorspitze in einer zur Längsachse
des Sensorarms parallelen Blickrichtung seitlich von dem Sensorarm
weg erstreckt.
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Bei
noch einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Abtastsensors
ist der Halteteil und/oder der Sensorarm und/oder der Basisteil
zumindest teilweise aus monokristallinem Silizium ausgebildet.
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Bei
einer anderen sehr vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Abtastsensors
ist vorgesehen, dass das Funktionsteil zumindest teilweise aus einem
Material besteht, das aus der Gruppe der Nitride oder Carbide gewählt ist
oder das diamantartiger Kohlenstoff oder CVD(Chemical Vapour Deposition)-Diamant
ist.
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Einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung zufolge kann das Funktionsteil anstelle einer im wesentlichen
zylindrischen Form auch eine andere Form aufweisen, z.B. insbesondere auch
eine Kegel- oder Pyramidenform.
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Bei
einer weiteren sehr vorteilhaften Erfindungsvariante ist vorgesehen,
dass der Abtastsensor und/oder die Abtasteinheit oder die Sensorspitze
zumindest teilweise eine Schutzschicht aus einem anderen Material
aufweist. Unter dem anderen Material ist hierbei ein Material zu
verstehen, das sich von dem Basismaterial der jeweiligen Komponente
unterscheidet, das insbesondere eine höhere tribologische Beständigkeit
als das jeweilige Basismaterial aufweist.
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Die
Schutzschicht kann vorteilhaft nur auf Teilbereichen der erfindungsgemäßen Komponenten vorgesehen
sein oder auch auf der gesamten Oberfläche. Die erfindungsgemäße Schutzschicht
weist beispielsweise eine Dicke von nur wenigen Nanometern auf und
kann mittels den bekannten Beschichtungsverfahren PVD (physical
vapour deposition), CVD (chemical vapour deposition), MOCVD (metal organic
chemical vapour deposition) erzeugt werden. Ferner ist es möglich, die
Schutzschicht unter Verwendung von EBID-(electron beam induced deposition)
oder ALD-(atomic layer deposition)Verfahren aufzubringen.
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Bevorzugt
werden Schutzschichten aus diamantartigem Kohlenstoff oder Aluminiumoxid
eingesetzt; es sind jedoch auch andere tribologisch besonders beständige Materialien
denkbar zur Ausbildung der Schutzschicht.
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Weitere
Vorteile, Merkmale und Einzelheiten ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung, in der unter Bezugnahme auf die Zeichnung verschiedene
Ausführungsbeispiele
der Erfindung dargestellt sind. Dabei können die in den Ansprüchen und
in der Beschreibung erwähnten
Merkmale jeweils einzeln für
sich oder in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein.
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In
der Zeichnung zeigt:
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1 eine
Seitenansicht einer Abtasteinheit aus dem Stand der Technik,
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2 schematisch
eine perspektivische Darstellung einer ersten Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit,
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3 eine
Seitenansicht eines die Sensorspitzen aufweisenden Endbereichs der
erfindungsgemäßen Abtasteinheit
aus 2,
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4 eine
Seitenansicht einer Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Abtastsensors,
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Figur 5a–5f weitere Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
mit jeweils unterschiedlich vielen Sensorspitzen,
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6 eine weitere Ausführungsform der erfindungsgemäßen Abtasteinheit,
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7 eine Draufsicht einer Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit
in unterschiedlichen Ausrichtungen bezüglich des Sensorarms eines
Abtastsensors, und
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8 eine Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform
eines erfindungsgemäßen Abtastsensors,
und
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9a, 9b weitere
Ausführungsformen der
erfindungsgemäßen Abtasteinheit.
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2 zeigt
schematisch eine perspektivische Ansicht einer erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 für einen
mikromechanischen Abtastsensor eines Raster-Kraft-Mikroskops. Die
Abtasteinheit 13 weist einen Basisteil 13a zur
Befestigung der Abtasteinheit 13 an einem Sensorarm des
Raster-Kraft-Mikroskops auf, und ein Funktionsteil 13b,
das mit dem Basisteil 13a verbunden ist.
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Wie
aus 2 ersichtlich ist, besitzt das Funktionsteil 13b eine
im wesentliche zylindrische Form. Das Funktionsteil 13b weist
ferner einen von dem Basisteil 13a entfernten Endbereich 13c auf,
an dem in dem vorliegenden Beispiel drei Sensorspitzen 14 angeordnet
sind, die die Abtastung einer zu untersuchenden Oberfläche oder
einer sonstigen Probe durch ein mit der Abtasteinheit 13 ausgestattetes Raster-Kraft-Mikroskop
ermöglichen.
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Bevorzugt
sind die drei Sensorspitzen 14 jeweils in dem selben Winkelabstand
zueinander angeordnet, d.h. vorliegend in einem 120°-Raster.
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Erfindungsgemäß ist jede
Sensorspitze 14 der in 2 abgebildeten
Abtasteinheit 13 so angeordnet, dass sich die Sensorspitze 14 derart
von dem Endbereich 13c des zylindrischen Funktionsteils 13b weg
erstreckt, dass ein Winkel α (vgl. 3)
zwischen einer Längsachse
S der Sensorspitze 14 und einer zu der Längsachse
L des zylindrischen Funktionsteils 13b im wesentlichen
orthogonal verlaufenden Ebene E von 0° verschieden ist. Bei der Abbildung
nach 3 beträgt
der Winkel α beispielhaft etwa
20°.
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Untersuchungen
der Anmelderin haben ergeben, dass mit einer derartig ausgebildeten
Abtasteinheit 13 eine noch größere Ortsauflösung beim Abtasten
einer zu untersuchenden Probe erzielt werden kann. Insbesondere
ist eine genauere Erfassung des Fußpunktes von senkrechten mikromechanischen
Strukturen mit der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 möglich. Bevorzugte
Werte für
den Winkel α zwischen
der Längsachse
S der Sensorspitze 14 und der Ebene E liegen erfindungsgemäß zwischen
etwa 10° und
etwa 70°,
können
aber auch außerhalb
dieses Intervalls liegen, z.B. zwischen etwa 5° und etwa 80°.
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Insbesondere
bei Winkeln α > 45° erstreckt sich ein wesentlicher
Teil der Sensorspitze 14 selbst in einer zur Längsrichtung
des zylindrischen Formteils 13b parallelen Richtung, so
dass sich hierdurch eine effektive Verlängerung der Abtasteinheit 13 ergibt.
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Für Winkel α < 45° ragen die
Endbereiche der Sensorspitzen 14 nach wie vor aus der Ebene
E heraus, und der besondere Vorteil einer derartigen Konfiguration
liegt bei der verbesserten Abtastung von Seitenwänden mikromechanischer Strukturen, beispielsweise
um deren Rauhigkeit zu ermitteln.
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Neben
der in 3 abgebildeten Konfiguration ist es ferner möglich, die
Sensorspitze 14 so anzuordnen, dass sie zu dem Basisteil 13a hindeutet. Durch
eine derartige Ausformung der Sensorspitze 14 bzw. der
Abtasteinheit 13 ist eine besonders gute Erfassung von
Hinterschneidungen in mikromechanischen Strukturen möglich. Eine
solche Erfindungsvariante ist beispielsweise dadurch zu erhalten,
dass die in 3 abgebildeten Sensorspitzen 14 bzw.
deren Längsachsen
S an der ebenfalls in 3 abgebildeten Ebene E gespiegelt
werden.
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Der
Querschnitt des zylindrischen Funktionsteils 13b kann einer
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zur Folge im wesentlichen kreisförmig oder
elliptisch ausgebildet sein.
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Alternativ
hierzu ist es jedoch auch möglich, dass
der Querschnitt des zylindrischen Funktionsteils 13b im
wesentlichen vieleckig ist. Dabei ist die Anzahl der Grundseiten
des vieleckigen Querschnitts bevorzugt gleich der Anzahl der Sensorspitzen 14 der
Abtasteinheit 13. Ferner ist bei dieser Ausführungsform
jede Sensorspitze 14 im Bereich einer Ecke zwischen zwei
benachbarten Grundseiten angeordnet.
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Eine
besonders bevorzugte Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 ist
dadurch gekennzeichnet, dass das zylindrische Funktionsteil 13b eine
Länge aufweist,
die größer ist
als etwa 100 Nanometer bis etwa 500 Nanometer. Andere Längen für das Funktionsteil 13b sind
ebenso denkbar.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 ist
ferner dadurch gekennzeichnet, dass ein Abstand d zwischen einem radial äußeren Bereich 14a der
Sensorspitze 14 (3) und der
Längsachse
L des zylindrischen Funktionsteils 13b etwa 15 Nanometer
oder mehr beträgt.
Sensorspitzen 14 mit einer anderen Länge bzw. einem anderen Abstand
d sind ebenfalls realisierbar.
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4 zeigt
eine schematische Seitenansicht einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Abtastsensors 10 für ein Raster-Kraft-Mikroskop,
das die vorstehend anhand der 2 und 3 beschriebene
Abtasteinheit 13 aufweist, die über ihr Basisteil 13a (vgl.
auch 2) an einem zweiten Ende 12b (4)
des Sensorarms 12 befestigt ist.
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Ein
erstes Ende 12a des Sensorarms 12 ist mit einem
Halteteil 11 verbunden. Bevorzugt kann der Sensorarm 12 einstückig mit
dem Halteteil 11 ausgebildet sein, wobei als Material insbesondere monokristallines
Silizium in Frage kommt.
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Die 5a bis 5f zeigen
jeweils in Draufsicht unterschiedliche Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13.
Wie aus den 5a bis 5f ersichtlich ist,
kann die erfindungsgemäße Abtasteinheit 13 unterschiedlich
viele Sensorspitzen 14 aufweisen. Vorliegend ist in 5a eine Abtasteinheit mit vier Sensorspitzen
gezeigt, währen
die 5c und 5e Abtasteinheiten
mit jeweils drei Sensorspitzen angeben.
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Die 5d und 5f zeigen
Abtasteinheiten mit jeweils zwei Sensorspitzen, und in 5b ist eine erfindungsgemäße Abtasteinheit
mit nur einer Sensorspitze gezeigt.
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Bevorzugt
sind die einzelnen Sensorspitzen der Abtasteinheiten vorzugsweise
jeweils in dem selben Winkelabstand zueinander angeordnet, d.h.
bei einer Abtasteinheit mit z.B. vier Sensorspitzen, vgl. 5a, 90° und
bei einer Abtasteinheit mit drei Sensorspitzen, vgl. 5e, 120°.
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Erfindungsgemäß ragen
alle Sensorspitzen der in den 5a bis 5f abgebildeten Abtasteinheiten in der
vorstehend beschriebenen Weise um einen Winkel α aus der Ebene E (3)
hervor, wobei die Ebene E in den 5a bis 5f beispielsweise etwa parallel zu der
Zeichenebene ist.
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Bei
einer besonders bevorzugten Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Abtastsensors 10 erstreckt
sich die Längsachse
S (3) einer Sensorspitze 14 der Abtasteinheit 13 zumindest
teilweise etwa parallel zu einer Längsachse des Sensorarms 12,
d.h. in 4 nach rechts. Dadurch bildet die
betreffende Sensorspitze 14 gleichsam eine Verlängerung
des Sensorarms 12 des erfindungsgemäßen Abtastsensors 10 bzw.
fluchtet mit dem Sensorarm 12.
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7.1 zeigt eine ähnliche Konfiguration, bei
der eine insgesamt drei Sensorspitzen 14 aufweisende erfindungsgemäße Abtasteinheit 13 so
auf dem Sensorarm 12 angeordnet ist, dass sich die Längsachse
S einer Sensorspitze 14 in etwa parallel zu einer mit dem
Pfeil L' angedeuteten
Längsachse des
Sensorarms 12 erstreckt.
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Bei
einer weiteren sehr vorteilhaften Ausführungsform des erfindungsgemäßen Abtastsensors 10 ist
vorgesehen, dass sich die Längsachse
S (3) mindestens einer Sensorspitze 14 zumindest teilweise
etwa senkrecht zu einer Längsachse
des Sensorarms 12 erstreckt. Das heißt, bei einer derartigen Konfiguration
würde sich
die Längsachse
S der Sensorspitze 14 etwa senkrecht zu der Zeichenebene
der 4 erstrecken. Dieser Sachverhalt ist auch anhand 7.2 veranschaulicht.
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Für die vorstehend
beschriebenen Ausführungsformen
ist zu beachten, dass sich die Sensorspitzen 14 jeweils
nicht exakt parallel bzw. senkrecht zu dem Sensorarm 12 erstrecken,
sondern um den erfindungsgemäß vorgesehenen
und anhand von 3 ausführlich beschriebenen Winkel α ausgelenkt,
d.h. in 4 beispielsweise um etwa 20° gegenüber der
Horizontalen nach oben geneigt.
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Zur
Steigerung der Stabilität
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 ist
es ferner möglich,
das Funktionsteil 13b und die Sensorspitzen 14 aus
einem mikrotribologisch besonders beständigen Material auszubilden,
während
weitere Bereiche der Abtasteinheit 13 z.B. aus monokristallinem
Silizium gefertigt werden, was aus fertigungstechnischen Gesichtspunkten
besonders günstig
ist.
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Bei
einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung ist vorgesehen, dass das Funktionsteil 13b zumindest
teilweise aus einem Material besteht, das aus der Gruppe der Nitride
oder Carbide gewählt
ist oder das diamantartiger Kohlenstoff oder CVD(Chemical Vapour
Deposition)-Diamant ist.
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Bei
der in 6.1 gezeigten Abtasteinheit 13 sind
Komponenten 13a, 13b und auch der Endbereich 13c des
Funktionsteils 13b aus einem einzigen Material ausgebildet.
Dagegen bestehen die erfindungsgemäß herausgewölbten Sensorspitzen 14 aus
einem zweiten Material. Dies kann zum Beispiel diamantartiger Kohlenstoff
sein. Es kommen aber eine Fülle
von Materialien in Frage, die die für die Abtastung geeignete Funktionalität besitzen.
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Bei
der in 6.2 gezeigten Abtasteinheit besteht
das Basisteil 13a aus einem ersten Material, während das
Funktionsteil 13b aus einem zweiten Material, die individuellen
Sensorspitzen 14 aber aus einem dritten Material bestehen.
Beispiele hierfür sind:
monokristallines Silizium für
den Basisteil 13a, Silizium-Nitrid für das Funktionsteil 13b,
sowie diamantartiger Kohlenstoff für die individuellen Sensorspitzen 14.
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Bei
der in 6.3 gezeigten Abtasteinheit besteht
das Basisteil 13a aus einem ersten Material, das Funktionsteil 13b sowie
die individuellen Sensorspitzen 14 aus einem zweiten Material.
Beispiele sind: Basisteil 13a aus einkristallinem Silizium,
der Rest 13b, 14 aus Silizium-Nitrid.
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Insgesamt
ermöglicht
die erfindungsgemäße Abtasteinheit 13 die
Abtastung von Oberflächen
mit einer im Vergleich zu herkömmlichen
Systemen deutlich gesteigerten Ortsauflösung und mit verbesserter Genauigkeit
im Fußpunktbereich
vertikaler Strukturen.
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Auf
Grund der Tatsache, dass der Sensorarm 12 und damit auch
die Sensorspitze 14 eines Abtastsensors 10 wie
in 8.1 dargestellt gegenüber einem zu messenden Substrat 20 verkippt
ist (Winkel z.B. etwa 3°),
und weil man bei den meisten Raster-Kraft-Mikroskopen sowohl in
der Längsrichtung
L' des Sensorarms 12 als
auch quer dazu abtasten kann, ist die Orientierung der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 und
ihrer Sensorspitzen 14 auf dem Sensorarm 12 ein
wichtiger Bestandteil der vorliegenden Erfindung.
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In 7.1 und 7.2 sind
zwei wichtige Orientierungen auf dem Sensorarm 12 für eine drei Sensorspitzen 14 beschrieben. 7.1 zeigt die Orientierung der Sensorspitze 14 aufweisende Abtasteinheit 13 beim
Abtasten in Richtung L' des
Sensorarms 12.
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Der
auch als cantilever bezeichnete Sensorarm 12 ist bei vielen
Raster-Kraft-Mikroskopen nach vorne verkippt (siehe 8.1), und nur die nach vorne zeigende Spitze 14 des „Dreizacks" wird dabei zum Abtasten
des Substrats 20 eingesetzt. Die beiden „hinteren", in 7.1 quer zur Längsachse
L' des Sensorarms 12 liegenden
Spitzen 14' schweben auf
Grund der Verkippung von etwa 3° über dem
Substrat 20.
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In 7.2 ist die Orientierung der Sensorspitzen 14 bei
der Abtastrichtung quer zur Längsachse
L' des Sensorarms 12 gezeigt.
Mit den beiden nach vorne orientierten Spitzen 14'' (in 7.2 rechts)
wird abgetastet, die dritte, nach hinten (d.h. in 7.2 links) zeigende Spitze 14''' schwebt
hierbei über
dem Substrat 20 (8.2).
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Die
in 7.1 gezeigte Orientierung der Sensorspitze 14 in
Kombination mit dem Abtast-Mode in Richtung L' erreicht aber nur zusammen mit einer
Verkippung des Funktionsteils 13b der Abtasteinheit 13 gegenüber dem
Sensorarm 12 seine optimale Funktion. Dies wird in 8.2 graphisch dargestellt. Das Funktionsteil 13b wird
dabei gegenüber
der Längsachse
L' des Sensorarms 12 um
denselben Winkel von etwa 3° verkippt
hergestellt, um den der Sensorarm 12 in dem Raster-Kraft-Mikroskop (nicht gezeigt)
verkippt eingebaut wird. In 8.2 ist
dies für
das Beispiel einer 3°-Verkippung
gezeigt.
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Die
Herstellung der erfindungsgemäßen Abtasteinheiten 13 und
ihrer Sensorspitzen kann mit mikro-/nano-technischen Methoden nach
dem Stand der Technik erfolgen.
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Die
erfindungsgemäße Abtasteinheit 13 weist
aufgrund der im wesentlichen länglichen
Ausbildung der Sensorspitze 14 (3) insgesamt
einen kleinen Spitzenradius in ihrem Endbereich 14a auf sowie
ein hohes lokales Aspektverhältnis
der einzelnen Sensorspitzen 14.
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Das
wichtigste Merkmal der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 ist
die Herauswölbung
der Sensorspitze(n) 14 aus der senkrecht zu der Längsachse
L des Funktionsteils 13b stehenden Ebene E (3).
Bezogen auf diese Ebene E haben die erfindungsgemäßen Sensorspitzen 14 einen „konkaven" Abschluss.
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Einer
weiteren vorteilhaften Ausführungsform
der Erfindung zufolge kann das Funktionsteil 13 anstelle
einer im wesentlichen zylindrischen Form auch eine andere Form aufweisen,
z.B. insbesondere auch eine Kegel- oder Pyramidenform (nicht gezeigt).
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Bei
einer weiteren sehr vorteilhaften Erfindungsvariante ist vorgesehen,
dass der Abtastsensor 10 und/oder die Abtasteinheit 13 oder
die Sensorspitze 14 zumindest teilweise eine Schutzschicht
(nicht gezeigt) aus einem anderen Material aufweist. Unter dem anderen
Material ist hierbei ein Material zu verstehen, das sich von dem
Basismaterial der jeweiligen Komponente unterscheidet, und das insbesondere
eine höhere tribologische
Beständigkeit
als das jeweilige Basismaterial aufweist.
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Die
Schutzschicht kann vorteilhaft nur auf Teilbereichen der erfindungsgemäßen Komponenten 10, 13, 14 vorgesehen
sein oder auch auf der gesamten Oberfläche. Die erfindungsgemäße Schutzschicht
weist beispielsweise eine Dicke von nur wenigen Nanometern auf und
kann mittels den bekannten Beschichtungsverfahren PVD (physical
vapour deposition), CVD (chemical vapour deposition), MOCVD (metal
organic chemical vapour deposition) erzeugt werden. Ferner ist es
möglich,
die Schutzschicht unter Verwendung von EBID-(electron beam induced deposition)
oder ALD-(atomic layer deposition)Verfahren aufzubringen.
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Bevorzugt
werden Schutzschichten aus diamantartigem Kohlenstoff oder Aluminiumoxid
eingesetzt; es sind jedoch auch andere tribologisch besonders beständige Materialien
denkbar zur Ausbildung der Schutzschicht.
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In
den 9a und 9b sind
weitere sehr vorteilhafte Ausführungsformen
der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 13 abgebildet,
wobei die Ausführungsform
gemäß 9a ein
Funktionsteil 13b mit rechteckigförmigem Querschnitt aufweist,
während die
in 9b abgebildete Ausführungsform der Erfindung ein
Funktionsteil 13b mit quadratischem Querschnitt aufweist.
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Besonders
vorteilhaft sind bei diesen Ausführungsformen
der Erfindung jeweils zwei Sensorspitzen 14 vorgesehen.
Bei der Ausführungsform
gemäß 9a sind
die Sensorspitzen 14 vorteilhaft im Bereich einer kurzen
Seite des rechteckigen Querschnitts des Funktionsteils 13b angeordnet,
so dass die betreffende Abtasteinheit 13 besonders gut
geeignet ist zur Abtastung von Strukturen mit verhältnismäßig großen Aspektverhältnissen.
Gleichzeitig weisen die in 9a und 9b veranschaulichten Ausführungsformen
beziehungsweise deren Funktionsteile 13b eine sehr große Quersteifigkeit
auf, was die Lebensdauer der Abtasteinheit steigert und die Untersuchung
von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis verbessert.
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Eine
besonders hohe Quersteifigkeit des Funktionsteils 13b ergibt
sich insbesondere dann, wenn eine Querschnittsfläche des Funktionsteils 13b etwa
20 % bis etwa 80 % einer Querschnittsfläche des Basisteils 13a in
dem Bereich zwischen dem Basisteil 13a und dem Funktionsteil 13b entspricht.