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Stand der Technik
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Die
Erfindung betrifft ein Abtast- und Auswerteverfahren für
einen Mehrwellenlängen-Interferometer, bei dem zur Vermessung
einer Objektoberfläche ein Bild des Objektes in einer Interferometeranordnung
mit einem Referenzbild zur Interferenz gebracht und die Objektoberfläche
nacheinander mit verschiedenen Frequenzen abgetastet wird.
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Interferometrische
Messsysteme können hochgenau Oberflächen vermessen.
Sofern eine schmalbandige Lichtquelle, wie beispielsweise ein Laser,
eingesetzt wird, sind die Ergebnisse nicht eindeutig, sondern das
Signal wiederholt sich nach einer halben Wellenlänge des
verwendeten Lichtes, wie dies z. B. bei phasenschiebender Interferometrie
der Fall ist. Solange die Oberfläche des abzutastenden Objektes
glatt ist, lässt sich dies durch so genanntes räumliches „Unwrapping"
lösen, was aber nicht auf rauen Oberflächen oder
bei Stufen funktioniert. Beim „Unwrapping" wird versucht,
die Mehrdeutigkeit der gemessenen Phase aufzulösen und
eine tatsächliche Phase zu bestimmen.
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Eine
Lösung bietet der Einsatz breitbandiger Lichtquellen, wie
dies bei der Weißlichtinterferometrie der Fall ist. Ebenso
können auch mehrere schmalbandige Quellen Verwendung finden,
wobei derartige schmalbandige Quellen nacheinander – in
der frequenzscannenden Interferometrie – oder zeitgleich arbeiten.
Den zeitgleichen Einsatz findet man beispielsweise bei Heterodyninterferometern.
Die Eindeutigkeit steigt dann bis zu einer synthetischen Wellenlänge,
die im Fall von zwei Wellenlängen der Schwebungsfrequenz
entspricht. Diese liegt typischerweise im Bereich von einigen μm
bis mm.
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Frequenzscannende
Interferometer und das zugehörige Auswerteverfahren sind
in verschiedenen Patenten beschrieben. Beispiele finden sich in den
Schriften
US 20030231691 ,
US 20030234936 ,
US 5880841 ,
US 5926277 ,
WO 03/103105 so wie in der Schrift
WO 2004/001330 .
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Das
Funktionsprinzip besteht darin, dass durch Durchstimmen des Lasers
in äquidistanten Intervallen ein sinusförmiges
Signal an der Kamera aufgenommen wird, dessen Frequenz proportional zur
Entfernung des Punktes von der Referenzfläche ist. Das
Auswerteverfahren bestimmt dann diese Frequenz für jeden
Bildpunkt, und ermittelt somit die Höhenkarte. Mit einem
Abtastpunkt ist im Folgenden ein Interferenzbild bei einer bestimmten
Frequenz gemeint.
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Die
bisher verwendeten Verfahren sind dabei in mehrerlei Hinsicht problematisch.
Eine äquidistante Abtastung erfordert bei realistischem
Signal- zu Rauschverhältnis schon aufgrund der theoretischen Genauigkeitsgrenzen
entweder eine erhebliche Anzahl von Abtastpunkten oder hat einen
sehr kleinen Eindeutigkeitsbereich, wobei die Eindeutigkeit sich umgekehrt
proportional zur Schrittweite verhält und die Genauigkeit
mit zunehmender Bandbreite, d. h. dem Gesamtbereich der Messpunkte,
steigt. Die bisher beschriebenen Auswerteverfahren erreichen die theoretisch
mögliche Genauigkeit nicht (beispielsweise das in der Schrift
WO 2004/001330 beschriebene Verfahren)
und/oder sind langsamer (z. B. das beschriebene Verfahren aus der
Schrift
US 5926277 ). Weiterhin
muss für die verwendeten Auswerteverfahren die Abtastung
genau äquidistant sein, da sonst erhebliche Fehler und
Artefakte im Ergebnis auftreten.
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Es
ist daher Aufgabe der Erfindung, ein Abtast- und Auswerteverfahren
insbesondere für ein frequenzscannendes Mehrwellenlängen-Interferometer
bereitzustellen, welches die zuvor beschriebenen Probleme vermindert
bzw. komplett löst.
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Offenbarung der Erfindung
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Vorteile der Erfindung
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Die
Aufgabe wird dadurch gelöst, dass zur Abtastung mehrere
Blöcke von Abtastpunkten, den Abtastfrequenzen, verwendet
werden, die ungleiche Frequenzabstände aufweisen, und die
resultierenden Signalfrequenzhöhenwerte in einem mehrstufigen
Verfahren ermittelt werden. Mit diesem Verfahren wird einerseits
eine Abtastung ermöglicht, die dicht an der theoretischen
besten Abtastung für die gegebene Aufgabenstellung liegt.
Zugleich wird damit ein schnelles Auswerteverfahren realisiert,
welches die theoretisch mögliche Genauigkeit erreicht. Weiterhin
bietet dieses Verfahren die Möglichkeit, Unregelmäßigkeiten
in der Abtastung zu detektieren, und in der Auswertung zu berücksichtigen,
ohne dass dadurch die Auswertedauer ansteigt.
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Als
besonders bevorzugte Verfahrensvariante sieht das Abtast- und Auswerteverfahren
dabei vor, dass das Verfahren mit mindestens einem der Teilschritte
- – Auswahl Abtastpunkte
- – Frequenzschätzung
- – Phasenschätzung
- – Bestimmung Abtastpunkte
- – Frequenzbestimmung durch Phasenkopplung
- – Absolute Phasenbestimmung bei bekannter Oberfläche
durchgeführt
wird. Dabei spielt die Genauigkeit der Frequenzschätzung
der einzelnen Blöcke keine Rolle, diese muss nur gut genug
sein, um Eindeutigkeit herzustellen. Die Genauigkeit des Ergebnisses
ergibt sich aus der Genauigkeit einer Phasenschätzung für die
einzelnen Blöcke. Bei dieser Phasenschätzung kann
auch eine nicht-äquidistante Abtastung berücksichtigt
werden, sofern diese durch eine Überwachungsmöglichkeit
ermittelt wird. Bei gleicher Anzahl an Abtastpunkten ist die Geschwindigkeit
dieser Auswertung schneller als die Auswertung eines einzelnen Blockes
mit allen Abtastpunkten.
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Wird
die Auswahl der Abtastpunkte unter Berücksichtigung mindestens
einer der Parameter Anzahl der Abtastblöcke, Anzahl der
Abtastpunkte pro Block, Abstand der Abtastblöcke und/oder
Abstand der Abtastpunkte innerhalb eines Blockes durchgeführt,
können damit der Eindeutigkeitsbereich sowie die Genauigkeit
der Messung positiv beeinflusst werden.
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Dabei
können in vorteilhafter Weise die Parameter für
die Auswahl der Abtastpunkte abhängig von der Hardware
des Messsystems und von den Eigenschaften des Messobjektes ausgewählt
werden.
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Besonders
vorteilhaft im Hinblick auf die Wahl der richtigen Abtastfrequenzen
hat sich herausgestellt, wenn die Werte für die Abtastpunkte
durch Simulation und Modellierung oder empirisch aus einer Auswertung
der Frequenzbestimmung durch Phasenkopplung ermittelt werden.
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In
der Praxis hat sich für die frequenzscannende Interferometrie
die Wahl von zwei Abtastblöcken mit 8 bis 32 Abtastpunkte
pro Block herausgestellt. Damit kann einerseits eine ausreichend
hohe Genauigkeit und andererseits eine schnelle Auswertung realisiert
werden. Eine Auswertung für 1 Million Bildpunkte und 32
Laserfrequenzen (= Abtastpunkten) ist beispielsweise auf einem Rechner,
der auf einem INTEL® CoreTM 2 Duo E 6600 μ-Prozessor basiert,
in wenigen Sekunden möglich. Die Genauigkeit ist – gleiche
Anforderungen an den Eindeutigkeitsbereich etc. vorausgesetzt – um
ca. den Faktor 10 besser als mit den im Stand der Technik erwähnten schnellen
Verfahren, die eine vergleichbare Anzahl äquidistanter
Frequenzen wählen und direkt die Fouriertransformation
auswerten.
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Zur
Auswahl der Abtastpunkte ist es im Hinblick auf die Genauigkeit
der Abtastpunkte von besonderem Vorteil, wenn diese überwacht
werden. Dazu werden in einer bevorzugten Verfahrensvariante mindestens
ein Teilbereich des Bildfeldes als Referenzfläche oder
mindestens eine separate Referenzfläche, die in das Mehrwellenlängen-Interferometer
eingebaut ist, genutzt.
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In
einer anderen ebenfalls vorteilhaften Variante werden zur Überwachung
der Genauigkeit der Abtastpunkte Interferenzmuster an den Referenzflächen
ausgewertet und/oder ein Vergleich dieser Interferenzmuster mit
einer Referenzlichtquelle mit bekannter Frequenz durchgeführt.
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In
einer bevorzugten Verfahrensvariante wird die Frequenzschätzung
in einem ersten Schritt für mindestens einen Abtastblock
und in einem darauf folgenden Schritt die Phasenschätzung
durchgeführt, wobei zunächst hinsichtlich der
Frequenzschätzung ein Mittelwert der Abtastfrequenzen der
verschiedenen Abtastblöcke verwendet wird. Dies stellt
ein einfaches Verfahren zur Generierung eines Startwertes dar. Ansonsten
sind in umfassenden Literaturstellen Verfahren zur Frequenzschätzung
bei einem sinusförmigen Signal mit unbekannter Amplitude,
Modulation und Offset beschrieben. In einer parallel laufenden Anmeldung
der Anmelderin wird zudem ein Verfahren zur schnellen Frequenzschätzung
für kurze Blöcke äquidistanter Daten
vorgestellt.
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Als
besonders vorteilhaft hat sich herausgestellt, wenn zunächst
eine grobe Schätzung verwendet wird und anschließend
die Frequenzschätzung mit neuen, aus dem Schritt Frequenzbestimmung durch
Phasenkopplung ermittelten Frequenzwerten wiederholt wird. Dabei
ist es möglich, die tatsächliche Abtastung korrekt
zu berücksichtigen, sofern entsprechende Messdaten vorliegen.
Dies führt zu einer weiteren, erheblichen Verbesserung
der Genauigkeit. Eine schnelle Implementierung eines solchen Verfahrens
speziell für diesen Fall ist in einer ebenfalls parallel
laufenden Anmeldung der Anmelderin beschrieben.
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Kennzeichnend
für eine besonders bevorzugte Verfahrensvariante ist, dass
im Schritt Frequenzbestimmung durch Phasenkopplung die Abtastfrequenzen
von zwei Abtastblöcken miteinander hinsichtlich der Phase
verknüpft und mittels eines Iterationsverfahrens neue Frequenzwerte
ermittelt werden. Durch die Implementierung dieses Algorithmus kann
insbesondere bei steigendem Rauschen die Auswertegüte deutlich
verbessert werden. Dabei kann als erste Schätzung für
die Frequenz der Mittelwert der Frequenzen der einzelnen Abtastblöcke
verwendet werden.
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Bin
bevorzugte Verfahrensvariante sieht vor, dass im Schritt absolute
Phasenbestimmung bei bekannter Oberfläche die Verfahrensschritte
gemäß den vorhergehenden Ansprüchen angewendet
werden, wobei bei einer glatten Oberfläche mit bekannten
Eigenschaften ein bekannter Phasensprung berücksichtigt
und das Verfahren nur auf einem Abtastblock angewandt wird. Damit
können die zuvor ermittelten Abtastfrequenzen hinsichtlich
ihrer Genauigkeit kalibriert werden, wobei eine neue Frequenzschätzung
ermittelt wird, welche von der Präzision der Phasenschätzung
abhängt. Bei diesem Vorgehen ergibt sich ein Ergebnis,
das für glatte Oberflächen identisch mit einer
durch räumliches Unwrapping gewonnen Phasenauswertung ist,
wie dies beispielsweise bei der phasenschiebenden Interferometrie
der Fall ist. Der entscheidende Vorteil ist, dass ein Unwrapping
hier nicht erforderlich ist, und mit entsprechend hoher Genauigkeit
auch Stufen und Entfernungen vermessen werden können.
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Eine
bevorzugte Anwendung des zuvor beschriebenen Abtast- und Auswerteverfahren
sieht die Verwendung bei der beidseitigen Vermessung von Bauteilen
mit zwei Messköpfen vor. Dies ist besonders von Vorteil,
da sich die Messköpfe in diesem Fall gegenseitig sehen
können. Da die optischen Eigenschaften der als Abdeckung
der Austrittsöffnungen verwendeten Glasplatten bekannt
sind, kann mit dem beschriebenen Verfahren die Lage der Messköpfe zueinander
hochgenau bestimmt werden. Sofern das Messobjekt nicht das gesamte
Bildfeld ausfüllt, kann diese Referenzierung automatisch
bei jeder Messung erfolgen. Damit ist es möglich, die Dicke
und Parallelität von Bauteilen mit höchster Genauigkeit zu
bestimmen, da keine Normale oder ver gleichbare Hilfsmittel zur Ausrichtung
der Messköpfe mehr erforderlich sind, und dadurch der Fehler
deutlich reduziert werden kann.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die
Erfindung wird im Folgenden anhand eines in der Figur dargestellten
Ausführungsbeispiels näher erläutert.
Es zeigt:
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1 das
Verfahren in einem schematischen Ablaufdiagramm.
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Ausführungsformen
der Erfindung
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Beim
Abtast- und Auswerteverfahren 1 in 1 erfolgt
zunächst die Auswahl der Abtastpunkte 10. Anhand
der damit ermittelten Rohdaten 20 wird anhand einer Überprüfung 30 entschieden,
ob die zunächst anfänglichen Abtastpunkte hinsichtlich
der Genauigkeit, der Messobjekteigenschaften und des Eindeutigkeitsbereichs
ausreichend gut sind. Ist dies der Fall, erfolgt der Schritt Blockweise
Schätzung 50, in dem Blockweise die Frequenz,
die Phase und/oder die Modulation geschätzt wird. In einem
Folgeschritt wird in einer Blockübergreifenden Schätzung 60 die Genauigkeit
verbessert. In einer weiteren Überprüfung 70 wird
anhand des Messergebnisses entschieden, ob eine Karte 110 für
die zu vermessende Objektoberfläche erstellt werden kann,
in der Informationen zum Höhenprofil, zur Phasenlage und/oder
zur Modulation enthalten sind. Optional kann anhand einer Präzisions-Phasenschätzung 80 und
einer Kopplung 90 über mehrere Blöcke
die Frequenz des Signals und damit die Höhenkarte weiter
optimiert werden. Mit einer weiteren Überprüfung 100 können
diese beiden Schritte erneut durchgeführt werden, bis eine
optimale Höhenkarte der Objektoberfläche zur Verfügung
steht.
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Im
Wesentlichen sind bei dem Ablauf sechs Teilschritte beteiligt. Diese
sind
- a) Auswahl der Abtastpunkte (Soll-Vorgabe),
- b) Frequenzschätzung,
- c) Phasenschätzung,
- d) Bestimmung der Abtastpunkte (Ist-Werte),
- e) Frequenzbestimmung durch Phasenkopplung und
- f) Absolute Phasenbestimmung bei bekannter Oberfläche.
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Der
erste Schritt – a) Auswahl der Abtastpunkte – beschränkt
sich bei diesem Verfahren auf die Wahl von vier Parametern:
- • Anzahl Abtastblöcken,
- • Anzahl der Abtastpunkte pro Block,
- • Abstand der Abtastblöcke und
- • Abstand der Abtastpunkte innerhalb eines Blockes
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Die
optimale Lösung ist dabei abhängig von der Hardware
des Messsystems und von den Eigenschaften des Messobjektes.
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Der
Abstand der Abtastpunkte innerhalb eines Blockes beeinflusst den
Eindeutigkeitsbereich der Messung. Die möglichen Werte
sind durch Modensprünge und Bandbreite des verwendeten
Lasers begrenzt, wobei die Modensprünge hierbei nützlich sein
können, um einen sehr stabilen Frequenzabstand zu erhalten.
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Der
optimale Abstand der Abtastblöcke, die Anzahl der Abtastpunkte
pro Block und die Anzahl an Abtastblöcken sind abhängig
vom Signal- zu Rauschverhältnis, von der Genauigkeit, mit
der die Abtastung eingehalten werden kann, von der Speckle-Größe
(bei rauen Messobjekten), von der geforderten Größe
des Messbereiches, d. h. in wie weit „blinde Bereiche"
des Messgerätes akzeptabel sind und von der zulässigen
Messdauer.
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In
der Regel sind zwei Abtastblöcke die sinnvollste Lösung.
Die typische Anzahl von Abtastpunkten pro Block liegt für
praktische Anwendungen in der frequenzscannenden Interferometrie
zwischen 8 und 32. Diese Werte können durch Simulation
und Modellierung bestimmt werden, aber auch empirisch auf Basis
der Ergebnisse der Auswertung nach e) angepasst werden.
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Bei
der Bestimmung der tatsächlichen Abtastpunkte (d)) spielt
die Genauigkeit der Abtastpunkte eine wichtige Rolle für
das Ergebnis. Daher ist es in der Regel sinnvoll, sie zu überwachen.
Dazu kann entweder ein Teilbereich des Bildfeldes genutzt werden,
oder eine eigene Referenzfläche eingebaut werden. Es gibt
auch kommerzielle verfügbare Systeme, die eine ausreichende
Genauigkeit der Frequenzbestimmung bieten. Diese Systeme arbeiten
in der Regel mit der Auswertung von Interferenzmustern, entweder
an, durch Reflexion des Lichtes an mehreren Schichten bekannter
Dicke, eventuell auch durch Vergleich dieser Interferenzmuster mit
Referenzlasern bekannter Frequenz.
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Eine
besonders elegante Lösung ist es, einen Teil des Bildfeldes
als Referenzfläche zu nutzen. Eine leicht schräg
gestellte Glasplatte am Rande des Bildfeldes ermöglicht
es, Frequenzdifferenzen über die Phasenverschiebung des
entstehenden sinusförmigen Musters hochgenau zu bestimmen.
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Bei
der Frequenzschätzung (b)) muss in einem ersten Schritt
die Frequenz für mindestens einen Abtastblock bestimmt
werden. In der Regel ist es sinnvoll, diesen Wert für alle
Blöcke zu bestimmen und dann zu mitteln. Zur Frequenzschätzung
bei einem sinusförmigen Signal mit unbekannter Amplitude,
Modulation und Offset gibt es umfassende Literatur. In der Regel
ist das Optimierungsziel dabei jedoch leicht abweichend zum hier
gewünschten Ziel. Zur optimalen Fehlergewichtung für
diese Anwendung kann dafür insbesondere der Schritt Frequenzbestimmung
durch Phasenkopplung (e)) eingesetzt werden.
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Anschließend
muss die Phasenschätzung (c)) erfolgen. Dies kann bereits
als Teil der Frequenzschätzung (b)) erfolgen. Es gibt jedoch
genauere Verfahren, die auch hinreichend schnell sind. Diese Verfahren
benötigen die Signalfrequenzen. Dazu kann zunächst
der Mittelwert der Frequenzen der verschiedenen Blöcke
verwendet werden. Es dürfte oft sinnvoll sein, zuerst eine
grobe Schätzung zu verwenden, sofern die Bedingungen im
Schritt Frequenzbestimmung durch Phasenkopplung (e)) eingehalten
werden, und nach Schritt e) mit einer genaueren Frequenzschätzungen
und einem genaueren Verfahren eine erneute, bessere Phasenschätzung
durchzuführen, und Schritt e) zu wiederholen, wie dies
in 1 dargestellt ist.
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Dabei
ist es möglich, die tatsächlichen Laserfrequenzen
korrekt zu berücksichtigen, sofern entsprechende Messdaten
(d)) vorliegen. Dies führt zu einer weiteren, erheblichen
Verbesserung der Genauigkeit.
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Die
Frequenzbestimmung durch Phasenkopplung (e)) ist der entscheidende
Schritt zur hochgenauen Bestimmung der Frequenz:
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Das
Signal sei I(t) = A cos(ωt
+ φ) + C (1)wobei
bedeutet:
- I(t)
- = gemessene Intensität
- t
- = Abtastpunkt (Laserfrequenz
bei der frequenzscannenden Interferometrie)
- A
- = Signalamplitude
- ω
- = Signalfrequenz des
mit der Kamera erfassten Signals, welches proportional zur Entfernung/Höhe
des Objektpunktes auf der Oberfläche ist
- C
- = Offset aufgrund
von Streulicht
- φ
- = Phasensprung an
der Oberfläche des Messobjektes
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Gegeben
sind zwei abgetastete Datenblöcke zentriert um t1 bzw. t2. Für
jeden Block können nun ω und φ bestimmt
werden. Dann muss gelten: 2πK
= ωt1 + φ1 – (ωt2 + φ2),
K ∊ N (2)
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Hier
gibt es keine eindeutige Lösung. K ist im Moment unbekannt.
Als erste Schätzung für die Frequenz kann der
Mittelwert der Frequenzen der einzelnen Blöcke verwendet
werden: ωinit =
(ω1 + ω2)/2 (3)
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K
wird derart gewählt, dass der Fehler minimiert wird. Dies
funktioniert, solange der Fehler nicht dazu führt, dass
ein falsches K gewählt wird. Damit können Uneindeutigkeiten
aufgelöst werden. → Min(K)[ωinitt1 + φ1 – (ωinitt2 + φ2) – 2πK] (4)
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Anschließend
kann eine verbesserte Frequenzschätzung ermittelt werden,
deren Genauigkeit nur von der Präzision der Phasenschätzung
abhängt: ωnew = (φ1 – φ2 + 2πK)/(t1 – t2) (5)
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Dies
bedeutet, dass durch die Phasenschätzung ein Gitter möglicher
Frequenzen gegeben ist, und die erste grobe Frequenzschätzung
auf den nächstgelegenen Wert dieses Gitters abgebildet wird.
Der Fehler des Gitters hängt nur von der Genauigkeit der
Phasenschätzung ab. Solange der Fehler der Frequenzschätzung
kleiner als der halbe Gitterabstand ist, spielt dieser keine Rolle.
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Das
ist auch das Kriterium für die Optimierung der Frequenzschätzung
und unterscheidet sich insoweit von den üblichen Fehlerkriterien.
Sollte der Fehler zu groß sein, so muss die Anzahl der
Abtastpunkte pro Block erhöht werden oder der Abstand der Blöcke
verringert werden. Zu bedenken ist dabei allerdings, dass eine Erhöhung
der Anzahl der Abtastpunkte die Mess- und Auswertezeit verlängert,
und eine Verringerung des Blockabstandes verringert die erreichbare
Genauigkeit.
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Der
Schritt f) kann wie folgt beschrieben werden: Bei glatten Oberflächen
mit bekannten Eigenschaften, d. h. bekannter Phasensprung φ0 an der Oberfläche, kann das Verfahren
analog mit nur einem Messdatenblock angewandt werden, wenn von diesem
die Frequenz ω, die Phase φ und der zugehörige Abtastpunkt
(= Laserfrequenz) t bekannt sind. Dieser Datenblock kann seinerseits
aus mehreren Blöcken bestehen, und die Frequenz ω und
die Phase φ können z. B. mit Hilfe des Vorgehens
nach e) ermittelt worden sein.
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Das
Signal sei wieder I(t) = Acos(ωt
+ φ) + C (6)
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Dann
muss gelten: 2πK = φ0 – (ωt + φ),
K ∊ N (7)
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Hier
gibt es keine eindeutige Lösung. K ist wieder unbekannt.
K kann nun so gewählt werden, dass der Fehler minimiert
wird. Dies funktioniert wieder, solange der Fehler nicht dazu führt,
dass ein falsches K gewählt wird. Damit können
Uneindeutigkeiten aufgelöst werden. → Min(K)[φ0 – (ωt
+ φ) – 2πK] (8)
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Anschließend
kann eine verbesserte Frequenzschätzung ermittelt werden,
deren Genauigkeit nur von der Präzision der Phasenschätzung
abhängt: ωnew = (φ – φ0 + 2πK)/t (9)
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Dies
bedeutet, dass durch die Phasenschätzung ein Gitter möglicher
Frequenzen gegeben ist, und die erste, grobe Frequenzschätzung
auf den nächstgelegenen Wert dieses Gitters abgebildet wird.
Der Fehler des Gitters hängt nur von der Genauigkeit der
Phasenschätzung ab, und solange der Fehler der Frequenzschätzung
kleiner als der halbe Gitterabstand ist, spielt er keine Rolle.
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In
diesem Fall ist es in der Regel nicht möglich, den Abstand
der Blöcke zu verringern, weil sich der Frequenzbereich
des Lasers nicht einfach ändern lässt. Da das
Gitter bei diesem Ansatz in der Regel sehr eng ist (t ist in der
Regel sehr viel größer als t1 – t2), ist eine sehr genaue Frequenzschätzung
für den Datenblock erforderlich. Eine Möglichkeit
dazu stellt die Vorgehensweise nach e) dar.
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Mit
dem zuvor beschriebenen Verfahren und den aufgezeigten Verfahrensvarianten
kann durch Optimierung der Abtastung und eine daran angepasste Signalauswertung
bei frequenzscannenden Interferometern eine genaue und robuste Höhenabtastung
realisiert werden, die zudem im Vergleich zum Stand der Technik
einen deutlichen Geschwindigkeitsvorteil bietet. Zudem können
die Lage von Ausreißern leicht erkannt werden, was die
Zuverlässigkeit steigert.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - US 20030231691 [0004]
- - US 20030234936 [0004]
- - US 5880841 [0004]
- - US 5926277 [0004, 0006]
- - WO 03/103105 [0004]
- - WO 2004/001330 [0004, 0006]