DE102006050229A1 - Strömungselement, insbesondere Laminarstromelement, für eine Durchflussmessvorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen - Google Patents

Strömungselement, insbesondere Laminarstromelement, für eine Durchflussmessvorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Download PDF

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Abstract

Es werden ein Strömungselement, insbesondere ein Laminarstromelement (14), für eine Durchflussmessvorrichtung für Fluide und ein Herstellungsverfahren beschrieben, mit wenigstens einem Fluidströmungskanal (30), der einen Fluideintrittsbereich (26) und einen Fluidaustrittsbereich (28) aufweist und wenigstens zum Teil in einem ersten Körper (12) untergebracht und der Länge nach wenigstens zu einer ersten Oberfläche (20) (erste Oberfläche) des ersten Körpers (12) hin offen ist. Eine Oberfläche (24) (zweite Oberfläche) eines zweiten Körpers (10) liegt in wenigstens einem den Fluidströmungskanal (30) umgebenden geschlossenen Berührungsbereich (22) unmittelbar an der ersten Oberfläche (20) des ersten Körpers (12) an und verschließt den Fluidströmungskanal (30). Wenigstens einer der Körper (12) weist jeweils wenigstens eine Öffnung (36, 38) zu dem Fluideintrittsbereich (26) und dem Fluidaustrittsbereich (28) auf, die von außerhalb des Strömungselements (14) zugänglich sind. Der Fluidströmungskanal (30) ist als Aussparung wenigstens zum Teil in dem ersten Körper (12) realisiert. Eine Vielzahl von Befestigungsmitteln (40) drückt den ersten Körper (12) gegen den zweiten Körper (10). Die Befestigungsmittel (40) sind bezüglich ihrer Druckkraft auf die Körper (10, 12) separat einstellbar, derart, dass die erste Oberfläche (20) und die zweite Oberfläche (24) in wenigstens dem Berührungsbereich (22) gleichmäßig dicht, maßhaltig und starr aneinander anliegen.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Strömungselement, insbesondere ein Laminarstromelement, für eine Durchflussmessvorrichtung für Fluide, mit wenigstens einem Fluidströmungskanal, der einen Fluideintrittsbereich und einen Fluidaustrittsbereich aufweist, wobei der Fluidströmungskanal wenigstens zum Teil in einem ersten Körper untergebracht und der Länge nach wenigstens zu einer Oberfläche (erste Oberfläche) des ersten Körpers hin offen ist und eine Oberfläche (zweite Oberfläche) eines zweiten Körpers in wenigstens einem den Fluidströmungskanal umgebenden geschlossenen Berührungsbereich unmittelbar an der ersten Oberfläche des ersten Körpers anliegt und den Fluidströmungskanal verschließt, und wenigstens einer der Körper jeweils wenigstens eine Öffnung zu dem Fluideintrittsbereich und dem Fluidaustrittsbereich aufweist, die von außerhalb des Strömungselements zugänglich sind.
  • Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Strömungselements, insbesondere Laminarstromelements, für eine Durchflussmessvorrichtung für Fluide, bei dem wenigstens ein Fluidströmungskanal, der einen Fluideintrittsbereich und einen Fluidaustrittsbereich aufweist, wenigstens zum Teil in einem ersten Körper der Länge nach wenigstens zu einer Oberfläche (erste Oberfläche) des ersten Körpers hin offen ange ordnet wird und eine Oberfläche (zweite Oberfläche) eines zweiten Körpers in wenigstens einem den Fluidströmungskanal umgebenden geschlossenen Berührungsbereich unmittelbar an der ersten Oberfläche des ersten Körpers angelegt wird und der Fluidströmungskanal verschlossen wird, und wenigstens in einen der Körper jeweils wenigstens eine Öffnung zu dem Fluideintrittsbereich und dem Fluidaustrittsbereich angeordnet wird, die von außerhalb des Strömungselements zugänglich sind.
  • Marktbekannte Strömungselemente werden auf dem Gebiet der angewandten physikalischen Messtechnik, vorzugsweise in Durchflussmessvorrichtungen zur Volumenstrommessung von Fluiden, eingesetzt. Nach dem Gesetz von Hagen-Poiseuille ist eine Druckdifferenz, die längs eines Fluidströmungskanals, beispielsweise einer Kapillare oder eines anderen geeigneten insbesondere laminar durchströmten Strömungshindernisses, aufgebaut wird, proportional zur Geschwindigkeit des strömenden Fluids und zu seiner dynamischen Viskosität.
  • Laminarstromelemente (im folgenden kurz als LFE bezeichnet, der Abkürzung der englischen Bezeichnung „Laminar Flow Element") werden als Primär- oder Transferelement zur Erzeugung einer Druckdifferenz in bekannten Differenzdruck-Durchflussmessvorrichtungen eingesetzt. Die Druckdifferenz wird dabei aus Drucken bestimmt, welche an zwei voneinander entfernten Druckmesspunkten vorzugsweise in der Nähe des Eintrittsbereichs und in der Nähe des Austrittsbereichs des Fluidströmungskanals vorzugsweise mit einem Differenz druckaufnehmer erfasst werden. Aus dieser Druckdifferenz wird unter Berücksichtigung weiterer Fluid-Daten, wie beispielsweise der Zusammensetzung des Fluids, dem Absolutdruck und der Temperatur, der Volumen- beziehungsweise Massenstrom des Fluids berechnet.
  • Aus der US 5.511.416 ist ein Weitbereichs-Laminarstromelement zur Verwendung in Differenzdruck-Durchflussmessvorrichtungen und in thermischen Massenstrom-Durchflussmessvorrichtungen bekannt. Das Strömungselement umfasst eine Mehrzahl von rechtwinkligen Kanälen in einer einzigen rechtwinkligen Platte. Das Strömungselement enthält Laschen, die selektiv entfernt werden können, um den effektiven Durchmesser des Strömungskanals zu verändern. Alternativ können die Laminarstromelemente gestapelt werden, um einen größeren effektiven Durchmesser des Strömungskanals bereit zu stellen.
  • Aus der US 4.427.030 ist ein Laminarstromelement zum Einbau in einen Fluidströmungskanal beschrieben. Das Laminarstromelement ist aus flachen Scheiben aufgebaut, welche Nuten aufweisen, die zwischen einer exzentrisch angeordneten Eintrittsöffnung und einer Austrittsöffnung verlaufen. Die äußeren Scheiben eines Pakets haben keine Nuten und umfassen lediglich eine Einlassöffnung oder eine Auslassöffnung. Die Einlassöffnungen bilden zusammen einen Einlasskanal und die Auslassöffnungen bilden zusammen einen Auslasskanal. Die Dimensionen der Nuten sind so, dass das Fluid zwischen dem Einlasskanal und dem Auslasskanal laminar durch die Kanäle strömt, die durch die Nuten gebildet sind.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Strömungselement der eingangs genannten Art auszugestalten, das einfach und robust aufgebaut ist und das einfach an die Betriebsbedingungen, insbesondere Druck und Temperatur des Fluids, und/oder die verwendete Fluidart anpassbar ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass der Fluidströmungskanal als Aussparung wenigstens in dem ersten Körper realisiert ist und eine Vielzahl von Befestigungsmitteln den ersten Körper gegen den zweiten Körper drückt, wobei die Befestigungsmittel bezüglich ihrer Druckkraft auf die Körper separat einstellbar sind, derart, dass die erste Oberfläche und die zweite Oberfläche in wenigstens dem Berührungsbereich gleichmäßig dicht, maßhaltig und starr aneinander anliegen.
  • Erfindungsgemäß sind also lediglich zwei einfach zu bearbeitende Körper in besonderer Weise mit den Befestigungsmitteln verbunden. Der durchflussbestimmende Strömungskanal ist vorzugsweise in Form eines Bandspalts ausgespart und bei voneinander getrennten Körpern vollständig zugänglich. Eine Aussparung ist einfach und präzise insbesondere durch abtragende Verfahren, nicht abtragende Verfahren oder auftragende Verfahren, bei denen der Bereich um den Strömungskanal erhöht wird, möglich. Die Aussparung befindet sich zwischen den im Rohzustand parallelen Oberflächen der beiden Körper. Bei der Verwendung von Körpern mit planen Oberflächen entfällt die Innenbearbeitung von Hohlprofilen zur Bil dung von Gehäusen, die für die marktüblichen Strömungselemente notwendig sind. Durch den modularen Aufbau können die Körper separat vorgefertigt werden. Der Strömungskanal wird dann erst vor der Kalibrierung und Auslieferung des Strömungselements angebracht. Die Nenndurchflussmenge, bei der die kritische Reynoldszahl nicht überschritten wird und daher im Strömungskanal laminare Strömung vorherrscht, kann einfach über die Länge und/oder die Tiefe und/oder die Breite der Aussparung vorgegeben werden. Die Höhe des den Strömungskanal enthaltenden Körpers muß hierzu nicht verändert werden. Eine Vergrößerung der Nenndurchflussmenge ist so einfach durch Nachbearbeitung noch möglich. Auch werden keine zusätzlichen Verbindungen zu etwaigen Strömungskanal-Verlängerungsstücken benötigt, was die Gefahr von Undichtigkeiten sowie unerwünscht große Totvolumina mit sich bringen würde. Der Strömungskanal selbst ist sehr robust. Er kann ohne Gefahr einer Beschädigung oder Verunreinigung durch Klebstoff- oder Schweißrückstände zusammengebaut werden.
  • Durch die einfach Anpassbarkeit des Strömungskanals kann das Strömungselement optimal an einen bekannten Differenzdruckaufnehmer angepasst werden, sodass Fehler durch eine Temperaturdrift des Nullpunkts bezogen auf den Messbereichs-Endbereich und die Nullpunktverschiebung durch Veränderung des statischen Drucks möglichst gering bleiben. Auf diese Weise können auch Gase, bei denen der ausnutzbare Differenzdruck im Vergleich zu Luft absinkt, wie beispielsweise Propan, Butan oder SF6, mit dem passend ausgelegten und gefertigten Strö mungselement mit wesentlich geringerer Messunsicherheit gemessen werden als mit bekannten Strömungselementen. Im Unterschied zu bekannten Strömungselementen ist das erfindungsgemäße Strömungselement nicht festgelegt auf die Messung von Luft bei Atmosphärenbedingungen. Es kann bei der Messung oben genannter Gase und/oder bei großen statischen Drücken ein weitaus größerer Differenzdruck erzeugt werden als bei bekannten Strömungselementen. Hierbei erlaubt sie Möglichkeit der einfachen Veränderbarkeit der drei Dimensionen des Strömungskanals eine Einhaltung des laminaren Charakters der Strömung, das heißt einer Strömung, bei der die kritische Reynolds-Zahl nicht überschritten wird.
  • Um den Strömungskanal zu realisieren, ist im Unterschied zu bekannten Strömungselementen kein separates Distanzstück, welches eigens abgedichtet werden muß, und kein andersartiges distanzerzeugendes Mittel, wie beispielsweise mehr oder weniger lose eingewickelte Drähte oder Nutenplatten, deren Stabilität und Maßhaltigkeit erst durch Einbau in ein Gehäuse bewirkt wird, erforderlich.
  • Der einfache Aufbau des Strömungselements ermöglicht den Einsatz von Metallen und Nichtmetallen. Auf diese Weise eröffnet sich eine Vielzahl von Anwendungsbereichen, die ansonsten aus materialbedingten Gründen verschlossen blieben. Außerdem können die Kosten durch geeignete Materialwahl deutlich reduziert werden. Da die Oberflächen und der Strömungskanal bei voneinander getrennten Körpern überall frei zugänglich sind, kann das Strömungselement aus härtbarem Material zunächst im ungehärteten Zustand einfach bearbeitet werden. Anschließend kann es den Anforderungen entsprechend gehärtet bzw. oberflächenvergütet werden, um ein hoch druckfestes und/oder abriebfestes Strömungselement zu erhalten.
  • Wegen den für sich schon stabilen Körpern und der Vielzahl von Befestigungselementen ist das Strömungselement sehr robust und unempfindlich gegenüber hohen Beschleunigungen, wie sie bei Stößen, Sturz und bei Dauerschwingungen auftreten können. Dauerschwingungen können insbesondere durch Unwuchten bei Antrieben hervorgerufen werden.
  • Mit den separat einstellbaren Befestigungselementen werden an den Berührungsflächen der beiden Körper etwaige Unebenheiten, insbesondere kleine Unterschiede zwischen den Konturen der ersten und der zweiten Oberfläche ausgeglichen. Die Befestigungselemente spannen gewissermaßen die erste Oberfläche auf die zweite Oberfläche oder umgekehrt, so dass sie gleichmäßig dicht, maßhaltig und starr aneinanderliegen. Ein Gehäuse ist hierzu nicht erforderlich, wodurch die Anzahl der erforderlichen Bauteile und der Montageaufwand verringert wird. Durch die direkt an die Körper angreifenden Befestigungsmittel und die einfachen, aneinander angepaßten Oberflächen der beiden Körper sind die Eigenschaften des Strömungselements, insbesondere der Nenndurchfluss und die Nenndruckdifferenz, über einen langen Zeitraum stabil.
  • Ferner können Fittings und Rohre zum Anschluß von Fluidleitungen beziehungsweise Drucksensoren direkt an die Körper angeschlossen werden, und müssen nicht erst durch ein Gehäuse geführt werden.
  • Bei Verschmutzung können die Befestigungsmittel einfach gelöst und die beiden Körper getrennt werden. Der Strömungskanal ist dann frei zugänglich und kann einfach gereinigt werden; zudem ist der Reinigungserfolg auch optisch kontrollierbar, da der Strömungskanal dann der Länge nach offen ist. Bei filmförmigen Verschmutzungen im Betrieb insbesondere durch Öl wirkt sich gegenüber Rundkapillar-LFEs positiv aus, dass sich bei einem rechtwinklig ausgesparten Strömungskanal der Differenzdruck mit dem Kehrwert der 3. Potenz des Plattenabstandes ändert, also geringer als bei Rundkapillaren, wo er sich mit dem Kehrwert der 4. Potenz des Radius ändert.
  • Bei einer vorteilhaften Ausführungsform können die Befestigungselemente, insbesondere Schrauben, in der Nähe des Berührungsbereichs außerhalb oder innerhalb desselben verteilt angeordnet sein. Auf diese Weise wirkt die Anpresskraft direkt auf die Berührungsfläche der beiden Körper, so dass diese dort dicht aneinander gepresst werden. Mit Schrauben ist der Anpressdruck genau einstellbar. Schrauben sind außerdem einfach montierbar und wieder lösbar.
  • Um die Dichtfunktion zu verbessern, kann ein den Fluidströmungskanal umgebendes, zumindest anfänglich verformbares, Dichtungsmittel vorgesehen sein, das sich beim Aneinderpressen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche so verformt, dass das Dichtungsmittel im Berührungsbereich etwaige Lücken zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche abdichtet, ohne den Abstand dort zwischen der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche zu beeinflussen. Das Dichtungsmittel schiebt sich also nicht zwischen die Oberflächen und behindert nicht das Aneinanderpressen der Oberflächen der beiden Körper, so dass deren Berührungsflächen flächig dicht unmittelbar aneinanderliegen können. Das Dichtungsmittel dichtet dann nur noch etwaige nach dem Anpressen der Oberflächen verbleibende Lücken ab, die so klein sind, dass sie erst bei hohen Drücken von Gas merklich durchströmt werden können. Auf diese Weise wird insgesamt eine auch bei hohen Drucken zuverlässige Dichtfunktion erreicht.
  • Zweckmäßigerweise kann in einem der Körper eine den Fluidströmungskanal geschlossen umgebende Dichtungsnut angeordnet sein, welche zur entsprechenden Oberfläche des Körpers offen ist und in der das geschlossene Dichtungselement, insbesondere eine O-Ringdichtung, untergebracht ist. Das Dichtungselement ragt nur soweit aus der Dichtungsnut heraus wie erforderlich ist, um die der Dichtungsnut gegenüberliegende Oberfläche des anderen Körpers dichtend zu berühren. Das Dichtungselement kann sich so optimal an die Oberflächen angleichen, ohne dass es das Aneinanderpressen derselben behindert. Die Dichtungsnut verhindert außerdem ein Verrutschen des Dichtungselements. Eine O-Ringdichtung ist im Übrigen einfach und robust.
  • Ferner kann die Dichtungsnut eine Fluidverbindung zum Fluideintrittsbereich oder zum Fluidaustrittsbereich aufweisen. Auf diese Weise kann Fluid vom Fluidströmungskanal zur Dichtungsnut, die einen Totraum darstellt, schneller ein- und ausströmen. So werden störende Ein- und Ausströmungen über etwaige innere parasitäre Spalte zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche verhindert.
  • Die erste Oberfläche und die zweite Oberfläche können zumindest in dem Berührungsbereich eben oder auf andere Weise formschlüssig sein. Plane Oberflächen können einfach realisiert und dichtend aneinander gelegt werden.
  • Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann der Fluidströmungskanal wenigstens zwei in Strömungsrichtung beabstandete Fluiddruck-Erfassungsbereiche aufweisen und wenigstens einer der Körper kann über jeweils wenigstens eine von außerhalb des Strömungselements zugängliche Öffnung, insbesondere einen Messabgriff, vorzugsweise mit einem Gewindeanschluss oder einem Flanschanschluss, für ein zu messendes Differenzdrucksignal, zu den Fluiddruck-Erfassungsbereichen zur Fluiddruck-Erfassung verfügen. Auf diese Weise können die Fluiddrücke direkt an dem Fluidströmungskanal erfasst werden, ein separater Druckerfassungskanal ist so nicht erforderlich. An den Messabgriffen kann ein Dif ferenzdruckaufnehmer oder können einzelne Drucksensoren direkt angeschlossen werden.
  • Um das Strömungselement kompakt aufzubauen, können der Fluideintrittsbereich und der Fluidaustrittsbereich jeweils als Fluiddruck-Erfassungsbereiche wirken und Öffnungen zur Fluiddruck-Erfassung führen in den Fluideintrittsbereich beziehungsweise den Fluidaustrittsbereich.
  • Damit in den Fluiddruck-Erfassungsbereichen keine großräumigen, durch die Fluidzuführung erzeugte Wirbel- und Drall-Störungen das Drucksignal beeinträchtigen können, kann der Fluidströmungskanal in Strömungsrichtung betrachtet im Anschluß an den Fluideintrittsbereich und vor dem Fluidaustrittsbereich jeweils einen Beruhigungsbereich aufweisen. In dem eintrittsseitigen Beruhigungsbereich wird das Fluid beim Einströmen gleichmäßig verteilt, so dass es über die ganze Breite dem Fluidströmungskanal zuströmen kann. Der austrittsseitige Beruhigungsbereich sorgt für ein auf die auslassseitige Fluiddruck-Erfassung rückwirkungsfreies Ausströmen aus dem Fluidströmungskanal.
  • Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform können der erste Körper und/oder der zweite Körper massive Platten oder an ihren angrenzenden Oberflächen plane Gussrohlinge sein. Platten sind einfach herstellbar. Die Platten können als Träger insbesondere von direkt angeflanschtem prüftechnischem Zubehör wie Aufnahmen, Befüll- und Entlastungsventilen sowie Planarflansch- Sensoranschlüssen ausgestaltet werden. Dadurch können Totvolumina minimiert werden. Gussrohlinge können einfach und materialsparend hergestellt und bearbeitet werden. Insbesondere können ihre aneinandergrenzenden Oberflächen einfach glättend bearbeitet, insbesondere plangefräst und/oder geschliffen, werden.
  • Um eine optische Kontrollmöglichkeit für Verschmutzungen des Strömungskanals zu erhalten, kann wenigstens einer der Körper aus glasklarem Kunststoff, Glas oder einem durchsichtigen glaskeramischen Material bestehen oder wenigstens im Bereich des Fluidströmungskanals einen Einsatz aus glasklarem Kunststoff, Glas oder einem durchsichtigen glaskeramischen Material aufweisen. Dies ist insbesondere dann von großem Vorteil wenn ungefiltertes Fluid eingeleitet wird, das Schmutzpartikel enthalten kann.
  • Des Weiteren kann der wenigstens eine Körper an den Öffnungen zu dem Fluideintrittsbereich beziehungsweise dem Fluidaustrittsbereich über Durchfluss-Anschlüsse, vorzugsweise Gewindeanschlüsse oder Flanschanschlüsse, verfügen. An den Durchfluss-Anschlüssen können eine Fluidzuleitung und eine Fluidableitung einfach und direkt angeschlossen werden.
  • Bei einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform kann der Fluidströmungskanal auf der Seite des Fluideintrittsbereichs einen vom Fluid zu durchströmenden Wärmetauscher-Bereich aufweisen, in dem die Temperatur des durchströmenden Fluids an die Temperatur der Körper an genähert wird. Der als Aussparung realisierte Fluidströmungskanal ermöglicht optimalen thermischen Kontakt zwischen den Körpern und dem strömenden Fluid. Im Gegensatz zu marktbekannten Wickelmatrix- und Kapillarbündel-LFEs, bei denen ein Gehäuse und ein Wickelkern aus massivem Edelstahl und thermisch schlecht leitend verbundene Kapillarenbündel einen undefinierten Wärmeaustausch bewirken können, ist das erfindungsgemäße Strömungselement so aufgebaut, dass der Wärmetauscher-Bereich in den Fluidströmungskanal stromabwärts des Fluideintrittsbereichs integriert werden kann. Bei Verwendung von Körpern aus Aluminium oder anderen gut wärmeleitenden Materialien entspricht so bei kleinen Durchflussmengen die Temperatur des Fluids der Temperatur der Körper. Zur Bestimmung der Fluidtemperatur kann dann einfach die Temperatur der Körper bestimmt werden.
  • Der Beruhigungsbereich kann technisch einfach realisierbar auf der Seite des Fluideintrittsbereichs zur Fluidströmungsrichtung parallele Rippen aufweisen, welche als Wärmetauscher wirken. Ein separater Wärmetauscher-Bereich ist so nicht erforderlich.
  • Um platzsparend eine Verlängerung des Fluidströmungskanals zu erreichen, kann dieser mäanderförmig verlaufen.
  • Damit einfach eine größere nominale Durchflussmenge erreicht wird, kann zwischen dem ersten Körper und dem zweiten Körper eine Mehrzahl von Zwischenkörpern aufeinandergelegt sein, die zwei parallele Oberflächen aufweisen, wobei eine der Oberflächen so ausgebildet ist, dass sie die Funktion der ersten Oberfläche erfüllt und die andere Oberfläche so ausgebildet ist, dass sie die Funktion der zweiten Oberfläche erfüllt, derart, dass die angrenzenden Oberflächen benachbarter Zwischenkörper jeweils einen Fluidströmungskanal begrenzen und die Fluideintrittsbereiche der Fluidströmungskanäle miteinander verbunden sind und die Fluidaustrittsbereiche der Fluidströmungskanäle miteinander verbunden sind und die Fluidströmungskanäle parallel von dem Fluid durchströmbar sind.
  • Zum selben Zweck kann alternativ oder zusätzlich im ersten Körper eine Mehrzahl von parallel durchströmbaren Fluidströmungskanälen realisiert sein, die zur ersten Oberfläche hin offen und deren Fluideintrittsbereiche miteinander verbunden sind und deren Fluidaustrittsbereiche miteinander verbunden sind.
  • Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Fluidströmungskanal wenigstens zum Teil in dem ersten Körper ausgespart und der erste Körper wird mit einer Vielzahl von Befestigungsmitteln gegen den zweiten Körper gedrückt, wobei die Befestigungsmittel bezüglich ihrer Druckkraft auf die Körper separat eingestellt werden, derart, dass die erste Oberfläche und die zweite Oberfläche in wenigstens dem Berührungsbereich gleichmäßig dicht, maßhaltig und starr aneinander gelegt werden. Der Fluidströmungskanal wird also einfach der Länge nach frei zugänglich in der Oberfläche eines Körpers realisiert. Er wird der Länge nach verschlossen, indem der zweite Körper durch gezieltes Anbringen der Befe stigungsmittel gegenüber dem ersten Körper verspannt wird, so dass die erste Oberfläche über den gesamten Berührungsbereich gleichmäßig dicht an der zweiten Oberfläche anliegt und das Strömungselement auch bei hohen Drücken zuverlässig funktioniert.
  • Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens kann der Fluidströmungskanal technisch einfach aus dem ersten Körper abgetragen oder geformt werden.
  • Stattdessen oder zusätzlich kann auf den ersten Körper Material aufgetragen werden, wobei der Fluidströmungskanal ausgelassen wird oder das Material im Bereich des Fluidströmungskanals anschließend entfernt wird.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; es zeigen
  • 1 schematisch die Draufsicht einer Grundplatte eines Laminarstromelements;
  • 2 schematisch einen seitlichen Schnitt der Grundplatte gemäß 1 entlang der dortigen Linie II-II;
  • 3 schematisch einen seitlichen Schnitt der Grundplatte gemäß 1 entlang der dortigen Linie III-III;
  • 4 schematisch einen seitlichen Schnitt der Grundplatte gemäß 1 entlang der dortigen Linie IV-IV;
  • 5 schematisch die Untersicht einer zur Grundplatte gemäß 1 passenden Deckplatte des Laminarstromelements;
  • 6 schematisch einen seitlichen Schnitt der Deckplatte gemäß 5 entlang der dortigen Linie V-V;
  • 7 schematisch einen seitlichen Schnitt der Grundplatte gemäß 1 und der Deckplatte gemäß 5, die zur Montage angeordnet sind, entlang der dortigen Linien I-I beziehungsweise V-V.
  • In den 1 bis 6 sind eine Grundplatte 10 beziehungsweise eine Deckplatte 12 eines in 7 insgesamt mit dem Bezugszeichen 14 versehenen Laminarstromelements für eine ansonsten nicht gezeigte Durchflussmessvorrichtung für Gase dargestellt.
  • Die Grundplatte 10 und die Deckplatte 12 sind massive längliche quaderförmige Platten aus Aluminium. Die Dicken der Grundplatte 10 und der Deckplatte 12, also deren Höhen können gleich oder unterschiedlich sein. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Höhen der Grundplatte 10 und der Deckplatte 12 etwa gleich.
  • In 7 ist das Laminarstromelement 14 gezeigt, bei dem die Deckplatte 12 oben und die Grundplatte 10 unten der Übersichtlichkeit wegen noch nicht ihre endgültige Position relativ zueinander haben; die Deckplatte 12 und die Grundplatte 10 sind hier noch beabstandet.
  • In der Deckplatte 12 ist ein, in den 5 bis 7 gezeigter, langgestreckter Bandspalt 16 mit rechteckigem Profil untergebracht. Der Bandspalt 16 wird von dem Gas in Richtung eines Pfeils 18 (Strömungsrichtung) durchströmt, wobei bekanntermaßen an entfernten Orten im Bandspalt 16 eine messbare Druckdifferenz entsteht.
  • Der Bandspalt 16 ist eine gefräste Aussparung in der Deckplatte 12. Er erstreckt sich in Längsrichtung der Deckplatte 12 und ist in Querrichtung derselben betrachtet etwa mittig angeordnet. Seine Bodenfläche verläuft parallel zu einer der Grundplatte 10 zugewandten ebenen Deckplatten-Oberfläche 20 der Deckplatte 12. Seine Längsseitenwände verlaufen senkrecht zu der Deckplatten-Oberfläche 20. Er ist der Länge nach zu der Deckplatten-Oberfläche 20 hin offen. Die Längsseiten und die Querseiten des Bandspalts 16 sind zu den entsprechenden Längsseiten beziehungsweise Querseiten der Deckplatte 12 beabstandet, so dass der Bandspalt 16 von einem ebenen, geschlossenen Berührungsbereich 22 umgeben ist. Die Länge des Bandspalts 16 in Längsrichtung, seine Breite in Querrichtung und seine Tiefe in Richtung der Höhe der Deckplatte 12 gibt den Nenndurchfluss und den Nenndifferenzdruck des Laminarstromelements 14 vor. Die Tiefe des Bandspalts 16 ist in den 6 und 7 zur Verdeutlichung übertrieben groß dargestellt.
  • Eine der Deckplatte 12 zugewandte ebene Grundplatten-Oberfläche 24 der Grundplatte 10 liegt bei dem zusammengesetzten Laminarstromelement 14 in dem den Bandspalt 16 umgebenden geschlossen Berührungsbereich 22 unmittelbar an der Deckplatten-Oberfläche 20 an und verschließt den Bandspalt 16 der Länge nach.
  • Der Bandspalt 16 verbindet, wie in 7 dargestellt ist, eine Einströmkammer 26, in den 1, 2 und 7 links gezeigt, mit einer Ausströmkammer 28, in den 1, 2 und 7 rechts gezeigt, eines in 7 insgesamt mit dem Bezugszeichen 30 versehenen, den Bandspalt 16 umfassenden Gasströmungskanals 30. Die Einströmkammer 26 und die Ausströmkammer 28 sind nahe der jeweiligen Querseiten der Grundplatten-Oberfläche 24 ausgespart. Die Einströmkammer 26 und die Ausströmkammer 28 sind gespiegelt identisch. Sie sind im Wesentlichen quaderförmig und zur Grundplatten-Oberfläche 24 hin offen. Ihre Wände verlaufen parallel zu den entsprechenden Seiten der Grundplatte 10. Ihre senkrecht zur Grundplatten-Oberfläche 24 verlaufenden Kanten sind abgerundet. Die Kanten können aber auch scharf sein. Die Breiten der Einströmkammer 26 und der Ausströmkammer 28 in Querrichtung des Bandspalts 16 entsprechen der Breite des Bandspalts 16. Ihre Tiefe in Richtung der Höhe der Grundplatte 10 ist deutlich größer als die Tiefe des Bandspalts 16. Bei zusammengesetztem Laminarstromelement 14 (7) überlappt der Bandspalt 16 an seinen querseitigen Enden die jeweiligen Öffnungen der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28.
  • Der Gasströmungskanal 30 weist weiterhin in Strömungsrichtung 18 betrachtet direkt im Anschluß an die Einströmkammer 26 und vor dem Bandspalt 16 einen Beruhigungsbereich 32a auf. Stromabwärts des Bandspalts 16 ist unmittelbar vor der Ausströmkammer 28 ein weiterer Beruhigungsbereich 32b angeordnet. Der stromaufwärtige Beruhigungsbereich 32a dient der gleichmäßigen Verteilung des Gases über die gesamte Breite des Bandspalts 16 und der Beruhigung der Strömung, um im Bandspalt 16 eine laminare Strömung zu erzielen. Mit dem stromabwärtigen Beruhigungsbereich 32b wird ein sanfter Übergang vom Bandspalt 16 zur Ausströmkammer 28 realisiert, der ebenfalls der Beruhigung der Strömung dient.
  • Die Beruhigungsbereiche 32a und 32b sind als im Querschnitt rechteckige Vertiefungen in der Grundplatten-Oberfläche 24 ausgespart, deren Wände beziehungsweise deren Grundflächen parallel zu den entsprechenden Seiten der Grundplatte 10 verlaufen. An ihren beiden quer zur Strömungsrichtung 18 verlaufenden Seiten sind sie zur Einströmkammer 26 beziehungsweise zur Ausströmkammer 28 beziehungsweise zu weiter unten beschriebenen Gasdruck-Erfassungsbereichen 34 hin offen. Die Abmessungen der beiden Beruhigungsbereiche 32a und 32b sind im Wesentlichen identisch. Die Breiten der Beruhigungsbereiche 32a und 32b entsprechen der Breite des Bandspalts 16 und der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28. Die Längen der Beruhigungsbereiche 32a und 32b in Längsrichtung des Bandspalts 16 sind kleiner als die entsprechenden Längen der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28. Ihre jeweilige Tiefe in Richtung der Höhe der Grundplatte 10 ist deutlich kleiner als die Tiefe der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28. Bei zusammengesetztem Laminarstromelement 14 (7) gehen die Innenkonturen der Seitenwände der Beruhigungsbereiche 32 stufenlos in die Innenkonturen der Seitenwände des Bandspalts 16 über. Die Beruhigungsbereiche 32 vergrößern so dort den durchströmbaren Querschnitt des Gasströmungskanal 30.
  • Die Tiefen der Beruhigungsbereiche 32 sind individuell an die messtechnischen Anforderungen anpassbar zwischen den Grenzen der Bandspaltdicke einerseits, die die praktische Untergrenze darstellt, mit der Folge bestmöglicher Strömungsberuhigungs-Wirkung, aber eines merklichen Druckunterschieds zwischen der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28 und der jeweiligen Gasdruck-Erfassungskammer 34, und andererseits den Tiefen der Gasdruck-Erfassungskammern 34, die eine praktische Obergrenze darstellen, mit der Wirkung geringster Strömungsberuhigung, jedoch mit vernachlässigbarem Druckverlust zwischen der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28 und der jeweiligen Gasdruck-Erfassungskammer 34.
  • Die Beruhigungsbereiche 32a und 32b verbinden die Einströmkammer 26 beziehungsweise die Ausströmkammer 28 jeweils mit einer der in der Grundplatte 10 ausgesparten, zum Gasströmungskanal 30 gehörenden Gasdruck-Erfassungskammern 34. Die Innenkonturen der in Längsrichtung der Grundplatte 10 verlaufenden Seitenwände der Gasdruck-Erfassungskammern 34 gehen bei zusammengesetztem Laminarstromelement 14 (7) in die Innenkonturen der entsprechenden längsseitigen Seitenwände des Bandspalts 16 über. Die Gasdruck-Erfassungskammern 34 sind in Strömungsrichtung 18 zueinander in einem Abstand angeordnet, der geeignet ist, mit dem Bandspalt 16 einen messbaren Differenzdruck zwischen ihnen zu erzeugen. Die Gasdruck-Erfassungskammern 34 sind ähnlich zu der Einströmkammer 26 und der Ausströmkammer 28 aufgebaut, in der Grundplatte 10 orientiert und haben die gleiche Breite. Ihre Tiefen und ihre Längen sind jedoch kleiner als die Tiefen und die Längen der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28. In den Gasdruck-Erfassungskammern 34 verteilt sich das Gas, so dass dort ein Mittelwert des jeweils herrschenden Gasdrucks erfasst werden kann.
  • Die Innenkonturen der in Längsrichtung der Grundplatte 10 verlaufenden, zur Grundplatten-Oberfläche 24 senkrechten Seitenwände der Einströmkammer 26, des anschließenden Beruhigungsbereichs 32a und der anschließenden Gasdruck-Erfassungskammer 34 gehen stufenlos ineinander über. Ebenso gehen die Innenkonturen der Seitenwände der Ausströmkammer 28, des dortigen Beruhigungsbereichs 32b und der dortigen Gasdruck-Erfassungskammer 34 stufenlos ineinander über.
  • Die Deckplatte 12 weist ferner jeweils einen Durchfluss-Anschluss 36 zu der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28 auf. Die Durchfluss-Anschlüsse 36 sind in dem in den 1 bis 7 gezeigten und beschriebenen Ausführungsbeispiel identische durchgängige Gewindebohrungen, die senkrecht zur Deckplatten-Oberfläche 20 verlaufen. Anstelle von Gewindebohrungen können auch andersartige Durchfluss-Anschlüsse, beispielsweise Kleinflanschanschlüsse, vorgesehen sein. Die Durchfluss-Anschlüsse 36 münden bei zusammengesetztem Laminarstromelement 14 jeweils etwa mittig in die zur Grundplatten-Oberfläche 24 offene Seite der Einströmkammer 26 beziehungsweise der Ausströmkammer 28. In die Durchfluss-Anschlüsse 36 sind von der der Grundplatte 10 abgewandten Rückseite der Deckplatte 12 eine Gaszuleitung beziehungsweise eine Gasableitung eingeschraubt, was in den 1 bis 7 nicht gezeigt ist.
  • In der Deckplatte 12 sind außerdem zwischen den Durchfluss-Anschlüssen 36 zwei Differenzdruck-Messabgriffe 38 angeordnet. Die Differenzdruck-Messabgriffe 38 sind ebenfalls durchgängige Gewindebohrungen, die senkrecht zur Deckplatten-Oberfläche 20 verlaufen. Auch hier können anstelle von Gewindebohrungen andersartige Differenzdruck-Messabgriffe vorgesehen sein. Die Differenzdruck-Messabgriffe 38 führen von der Rückseite der Deckplatte 12 zu dem Bandspalt 16. Ihre Öffnungen dort befinden sich bei zusammengesetztem Laminarstromelement 14 (7) mittig gegenüber den zur Grundplatten- Oberfläche 24 offenen Seiten der Gasdruck-Erfassungskammern 34.
  • Die Achsen der Differenzdruck-Messabgriffe 38 und der Durchfluss-Anschlüsse 36 befinden sich in einer Ebene, die in Querrichtung des Bandspalts 16 mittig senkrecht zum Bandspalt 16 verläuft.
  • In die Differenzdruck-Messabgriffe 38 ist von der Rückseite der Deckplatte 12 jeweils eine in den 1 bis 7 nicht gezeigte Gasdruckleitung geschraubt, die zu einem an sich bekannten Differenzdruckaufnehmer führen. Mit dem Differenzdruckaufnehmer wird in bekannter Weise der Gasdruck in den beiden Gasdruck-Erfassungskammern 34 stromaufwärts und stromabwärts des Bandspalts 16 erfasst und daraus in bekannter Weise ein Differenzdrucksignal ermittelt, aus dem die Strömungsgeschwindigkeit des Gases bestimmt wird.
  • Die Einströmkammer 26 und der dortige Beruhigungsbereich 32a wirken zusätzlich als Wärmetauscherbereiche. Die Temperatur des sie durchströmenden Gases wird durch Wärmekontakt mit den dortigen Oberflächen von seiner Anströmtemperatur an die Temperatur des Laminarstromelements 14 angenähert.
  • Der Beruhigungsbereich 32a auf der Seite der Einströmkammer 26 weist hierzu zusätzlich eine Vielzahl von Wärmetauscher-Rippen 40 auf. Die Wärmetauscher-Rippen 40 sind auf der zur Grundplatten-Oberfläche 24 parallelen Bodenfläche des Beruhigungsbereichs 32a angeordnet und verlaufen parallel zur Strömungsrichtung 18. Die Wärmetauscher-Rippen 40 vergrößern die mit dem durchströmenden Gas in Kontakt stehende Oberfläche, so dass der Wärmeaustausch zwischen dem Gas und der Grundplatte 10 verbessert wird. Auf diese Weise hat das Gas bereits vor Eintritt in die stromaufwärts gelegene Gasdruck-Erfassungskammer 34 die gleiche Temperatur wie die Grundplatte 10.
  • Die Deckplatte 12 ist über eine Vielzahl von in 7 gezeigten Schrauben 40 an der Grundplatte 10 befestigt. Die Deckplatte 12 weist hierzu Durchgangslöcher 42 und die Grundplatte 10 entsprechende Sackloch-Gewindebohrungen 44 für die Schrauben 40 auf. Die Gewindebohrungen können auch durchgängig sein.
  • Die Schrauben 40 sind innerhalb des Berührungsbereichs 22 entlang eines gedachten, zum Rand der Grundplatten-Oberfläche 24 beziehungsweise zum Rand der Deckplatten-Oberfläche 22 ähnlichen Rechtecks nahe den querseitigen beziehungsweise den längsseitigen Rändern der Deckplatte 12 und der Grundplatte 10 gleichmäßig verteilt angeordnet. Die Achsen der Schrauben 40 verlaufen senkrecht zu der Deckplatten-Oberfläche 20 und der Grundplatten-Oberfläche 24.
  • Beim Zusammenbau des Laminarstromelements 14 werden die Schrauben 40 in ihrer Druckkraft auf die Platten 10, 12 separat eingestellt, derart, dass die Deckplatten-Oberfläche 20 und die Grundplatten-Oberfläche 24 in dem umgebenden Berührungsbereich 22 gleichmäßig dicht, maß haltig und starr aneinander anliegen. Hierbei werden durch die gezielte Fixierung mit den zahlreichen Schrauben 40 eventuelle Unebenheiten auf der Deckplatten-Oberfläche 20 und/oder der Grundplatten-Oberfläche 24 ausgeglichen. Die Schrauben 40 spannen gleichsam die Deckplatte 12 auf die Grundplatte 10.
  • In der Grundplatte 10 ist ferner eine den Bandspalt 16, die Einströmkammer 26, die Ausströmkammer 28, die Beruhigungsbereiche 32a und 32b und die Gasdruck-Erfassungskammern 34 umgebende geschlossene Dichtungsnut 46 angeordnet. Die Dichtungsnut 46 ist zu der Grundplatten-Oberfläche 24 hin offen. In der Dichtungsnut 46 ist eine geschlossene, in 7 dargestellte, O-Ringdichtung 48 untergebracht.
  • Beim Aneinderpressen der Deckplatten-Oberfläche 20 und der Grundplatten-Oberfläche 24 verformt sich die O-Ringdichtung 48 in der Dichtungsnut 46 so, dass sie etwaige Lücken zwischen der Deckplatten-Oberfläche 20 und der Grundplatten-Oberfläche 24, die sich insbesondere bei hohen Gasdrücken ausbilden können, abdichtet, ohne den Abstand zwischen der Deckplatten-Oberfläche 20 und der Grundplatten-Oberfläche 24 zu beinflussen.
  • Die Dichtungsnut 46 weist außerdem einen in der 1 gezeigten Verbindungskanal 50 zur Ausströmkammer 28 auf. Durch den Verbindungskanal 50 kann Gas aus dem Totraum zwischen der dem Gasströmungskanal 30 zugewandten Seite der Dichtungsnut 46 und dem Berührungsbereich 22 schnell in die Ausströmkammer 28 abströmen. Dadurch wirkt auf den Berührungsbereich 22 nur die Druckdifferenz der statischen Drücke zwischen dem Einströmbereich und dem Ausströmbereich.
  • Bei einem zweiten, nicht gezeigten Ausführungsbeispiel, welches zu dem ersten, in den 1 bis 7 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel ähnlich ist, bestehen eine Grundplatte und/oder eine Deckplatte aus glasklarem Kunststoff, Glas oder einem durchsichtigen glaskeramischen Material. Die Deckplatte kann auch wenigstens im Bereich eines Bandspalts einen Einsatz (Schauglas) aus glasklarem Kunststoff, Glas oder einem durchsichtigen glaskeramischen Material aufweisen. Durch das Schauglas ist der Bandspalt einsehbar; es dient so der Verschmutzungskontrolle. Die Deckplatte hat dann zusätzlich die Funktion einer Glashalterung, mit der das Schauglas möglichst scher- und biegespannungsfrei im Berührungsbereich auf die ebene Grundplatten-Oberfläche gepresst wird.
  • Ein drittes, nicht gezeigtes, zum ersten in den 1 bis 7 gezeigten Ausführungsbeispiel ähnliches Ausführungsbeispiel umfaßt zur Erhöhung des Nenndurchflusses eine Mehrzahl von Zwischenplatten, die zwischen einer Grundplatte und einer Deckplatte gestapelt sind. Jede Zwischenplatte weist zwei planparallele Oberflächen auf. Jeweils eine der Oberflächen ist so ausgebildet, dass sie die Funktion der Deckplatten-Oberfläche 22 aus dem in den 1 bis 7 gezeigten ersten Ausführungsbeispiel erfüllt. Die andere Oberfläche jeder Zwischenplatte ist so ausgebildet, dass sie die Funktion der Grundplatten-Oberflächen 20 aus dem ersten Ausführungsbeispiel erfüllt. Durchfluss-Anschlüsse und Differenzdruck-Messabgriffe führen durch beide Oberflächen hindurch. Die Zwischenplatten sind derart aufeinandergelegt, dass die angrenzenden Oberflächen benachbarter Zwischenplatten jeweils einen Gasströmungskanal begrenzen und die Einströmkammern der Gasströmungskanäle über die jeweiligen Durchfluss-Anschlüsse miteinander und die Ausströmkammern der Gasströmungskanäle über die jeweiligen Durchfluss-Anschlüsse miteinander verbunden sind und parallel von Gas durchströmbar sind.
  • Zusätzlich oder alternativ zu den Zwischenplatten entsprechend dem dritten Ausführungsbeispiel ist bei einem vierten nicht dargestellten Ausführungsbeispiel in einer Deckplatte eine Mehrzahl von parallel durchströmbaren Bandspalten realisiert, die ähnlich zu den Bandspalten 16 aus dem ersten Ausführungsbeispiel sind. Die Bandspalte sind zu einer Deckplatten-Oberfläche hin offen und ihre Einströmkammern sind miteinander und ihre Ausströmkammern sind miteinander verbunden. Zwischen den Bandspalten sind Zwischen-Befestigungsstege mit zusätzlichen, die Deckplatte mit einer Grundplatte verbindenden Schrauben vorgesehen. Eine Dichtungsnut umgibt alle Bandspalte gemeinsam. Die Schrauben zwischen den Bandspalten sind separat beispielsweise mit O-Ringdichtungen abgedichtet. Die Zwischen-Befestigungsstege mit den zusätzlichen Schrauben dienen der gleichmäßig flächigen Anpressung der Deckplatte an die Grundplatte, so dass die Bandspalte auch bei hohen stati schen Gasdrücken starr/dimensionsstabil gegen die Grundplatte 10 gepresst werden.
  • Bei allen oben beschriebenen Ausführungsbeispielen eines Laminarstromelements 14 sind unter anderem folgende Modifikationen möglich:
    Die Erfindung ist nicht beschränkt auf die Verwendung bei Laminarstromelementen 14, vielmehr kann sie auch bei Strömungselementen eingesetzt werden, die für turbulente Strömungen vorgesehen sind. Auch kann das erfindungsgemäße Laminarstromelement 14 bei turbulenten Strömungen verwendet werden.
  • Das Laminarstromelement 14 kann statt für Gase auch für andersartige Fluide, beispielsweise für Flüssigkeiten, verwendet werden.
  • Die Grundplatte 10 und/oder die Deckplatte 12 können statt massiver Platten auch an ihren angrenzenden Oberflächen plane Gussrohlinge sein. Die Grundplatte 10 kann beispielsweise zur Fertigung großer Stückzahlen auch als materialsparender Guss- oder Schmiedekörper realisiert sein. Es können massive Randbereiche zur Aufnahme von Einschraubgewinden oder anderen Anschlüssen vorgesehen sein. Zur Realisierung der Grundplatten-Oberfläche 24 wird die entsprechende Seite des Guss- oder Schmiedekörpers einseitig plan nachgearbeitet.
  • Die Grundplatte 10 und/oder die Deckplatte 12 können/kann statt aus Aluminium auch aus einem geeigneten form- und langzeitstabilen Material, beispielsweise Edelstahl, Messing, keramischem Material, Glas, Kunststoff oder einem Verbundwerkstoff, sein.
  • Anstelle des rechtwinkligen Bandspalts 16 kann auch eine Aussparung mit einem andersförmigen Querschnitt vorgesehen sein. Beispielsweise kann die Aussparung auch einen gebogenen Querschnitt haben. Der Bandspalt kann statt in der Deckplatte auch in der Grundplatte ausgespart sein. Es kann auch in der Grundplatte und in der Deckplatte jeweils eine Aussparung vorgesehen sein, die sich bei montiertem Laminarstromelement zu einem Strömungskanal zusammenfügen.
  • Der Bandspalt kann statt gefräst auch durch ein andersartiges abtragendes Verfahren, beispielsweise Schleifen, Erodieren oder Ätzen, realisiert werden. Er kann auch durch ein nicht-abtragendes, formgebendes Verfahren, beispielsweise Prägen, Schmieden, Gießen, Brennen von geeigneten Keramikmaterialien oder Spritzguss von Kunststoffen, hergestellt werden. Zusätzlich oder alternativ sind auch auftragende Verfahren auf die Grundplatte und/oder die Ränder der Deckplatte möglich, bei denen der Bandspalt 16 ausgelassen wird. Derartige auftragende Verfahren sind beispielsweise galvanischer Auftrag oder Aufdampfen von Metallschichten, einschließlich galvanischem Auftrag oder Bedampfung der zweckmäßig gestalteten Bandspalt-Strukturen mit photolithographischen Verfahren. Ebenfalls möglich ist der Auftrag einer Metallschicht, die dort, wo der Bandspalt entstehen soll, selektiv abgeätzt wird. Zur Erhöhung der Standzeit und der Abriebfestigkeit kann eine Veredelung der angeströmten Oberfläche durch Härtung, galvanischen Metallschichtenauftrag, beispielsweise verchromen, vernickeln, Bedampfung oder Aufbringen einer Eloxalschicht oder einer andersartigen Oberflächenpassivierung je nach verwendetem Grundmaterial durchgeführt werden.
  • Statt der Schrauben 40 können auch andersartige Befestigungsmittel vorgesehen sein, die bezüglich ihres Befestigungsdrucks auf die Grundplatte 10 und die Deckplatte 12 separat einstellbar sind.
  • Die Schrauben 40 können statt innerhalb des Berührungsbereichs 22 auch außerhalb desselben verteilt angeordnet sein. Falls die Schrauben 40 in einem gasdurchströmten Bereich angeordnet sind, können sie über separate Dichtungsmittel, beispielsweise O-Ringe, verfügen.
  • Die Anzahl und Ausführung der Schrauben 40 kann größer oder kleiner sein. Die Anzahl und die Verteilung der Schrauben 40 richtet sich danach, für welchen statischen Druck das Laminarstromelement 14 ausgelegt sein soll.
  • Anstelle der O-Ringdichtung 48 kann auch eine andersartige Profildichtung in der Dichtungsnut 46 angeordnet sein. Es kann auch ein zumindest anfänglich verformbarer, insbesondere zähflüssiger, wenigstens teilweise aushärtender Stoff, beispielsweise Klebstoff, verwendet werden, der nur die gegebenenfalls bei hohen Gasdrücken hervortretenden Lücken zwischen der Deckplatten-Oberfläche 20 und der Grundplatten-Oberfläche 24 abdichtet.
  • Der Verbindungskanal 50 kann die Dichtungsnut 46 statt mit der Ausströmkammer 28 auch mit der Einströmkammer 26 verbinden. Auf den Verbindungskanal 50 kann gegebenenfalls auch verzichtet werden, wenn Strömungen durch etwaige parasitäre Spalte nicht stattfinden, zumindest aber die Messung des Gasdurchflusses nicht stören.
  • Die Deckplatten-Oberfläche 20 und die Grundplatten-Oberfläche 24 können auch nur im Berührungsbereich 22 eben sein. Statt eben können die Deckplatte 12 und die Grundplatte 10 auch in einer anderen Form zumindest im Berührungsbereich komplementär sein.
  • Die Einströmkammer 26, die Ausströmkammer 28, die Beruhigungsbereiche 32a, 32b und die Gasdruck-Erfassungskammern 34 können als Teil des Gasströmungskanals 30 auch als Aussparungen in der Deckplatte 12 realisiert sein, die direkt in die Aussparung des Bandspalts übergehen. Der gesamte Gasströmungskanal kann auch in der Grundplatte untergebracht sein.
  • Die gasaustrittsseitigen Kammern und Bereiche des Gasströmungskanals 30 können auch unterschiedlich zu den gaseintrittsseitigen Kammern und Bereichen geformt sein.
  • Auf die Aussparungen für die Beruhigungsbereiche 32a, 32b in der Grundplatte 10 kann verzichtet werden, wenn der Abstand zwischen der Einströmkammer 26/Ausströmkammer 28 und der entsprechenden Gasdruck-Erfassungskammer 34 ausreichend groß ist, um einen laminaren Strömungsangleich zu erreichen. Der Bandspalt 16 wirkt dann dort selbst als Beruhigungsbereich.
  • Auf die Wärmetauscher-Rippen 40 im gaseintrittsseitigen Beruhigungsbereich 32a kann auch verzichtet werden, sofern das einströmende Gas ohnehin die Temperatur des Laminarstromelements 14 hat. Beim Verzicht auf die Wärmetauscher-Rippen 40 kann die Strömungsrichtung 18 im Laminarstromelement 14 auch umgekehrt werden.
  • Es kann aber auch ein zusätzlicher Wärmetauscher-Bereich beispielsweise in Form einer zusätzlichen Kammer stromabwärts der Einströmkammer 26 und vor dem Bandspalt 16 vorgesehen sein, um den Wärmeaustausch zu verbessern.
  • Die Grundplatte 10 und/oder die Deckplatte 12 können zusätzlich auch Messabgriffe für Temperatursensoren aufweisen, mit denen die Temperatur der Grundplatte 10 beziehungsweise der Deckplatte 12 erfaßt werden kann.
  • Die Rückseiten der Grundplatte 10 und/oder der Deckplatte 12 können Trägerelemente für den Differenzdruckaufnehmer aufweisen. Außerdem können Trägerelemente für Schalt- und Stellventile vorgesehen sein. Die Schalt- und Stellventile steuern eine Befüllung des Gasströmungskanals 30 über einen nicht gezeigten Überströmkanal minimalen Totvolumens oder die Entlastung des Gasströmungskanals 30 vom eingesetzten Prüfdruck.
  • Auf die Rückseite der Grundplatte 10 können auch Anschlussplatten angebracht werden, beispielsweise in Form einer geeigneten Sandwich-Konstruktion, die der Verlängerung der Differenzdruck-Messabgriffe und der Durchfluss-Anschlüsse zu einem entfernten Differenzdruckaufnehmer beziehungsweise entfernten Ventilen dienen.
  • Anstelle des Differenzdruckaufnehmers können auch separate Drucksensoren vorgesehen, die mit einer Erfassungseinheit verbunden sind, mit der aus den einzelnen Drücken die Strömungsgeschwindigkeit ermittelt wird.
  • Zusätzlich oder Alternativ zur Deckplatte 12 kann auch die Grundplatte 10 von außerhalb zugängliche Durchfluss-Anschlüsse und Differenzdruck-Messabgriffe zu der Einströmkammer 26, die Ausströmkammer 28 beziehungsweise den Gasdruck-Erfassungskammern 34 aufweisen.
  • Die Durchfluss-Anschlüsse 36 und die Differenzdruck-Messabgriffe 38 können statt an der Rückseite der Deckplatte 12 auch seitlich aus dieser herausführen. Sie können aber auch aus der Rückseite oder den Stirnseiten der Grundplatte 10 herausführen.
  • Die Differenzdruck-Messabgriffe 38 können auch direkt in die Einströmkammer 26 beziehungsweise die Ausströmkammer 28 führen, so dass die separaten Gasdruck-Erfassungskammern 34 nicht erforderlich sind. Die Einströmkammer und die Ausströmkammer können dann auch so ausgestaltet sein, dass sie die Funktion der Beruhigungsbereichs 32 übernehmen.
  • Der Bandspalt 16 kann statt gerade auch mäanderförmig verlaufen, wodurch die effektive Länge des Bandspalts 16 vergrößert wird.
  • Insgesamt kann das Laminarstromelement 14 einfach nach den mess- und strömungstechnischen Anforderungen des jeweiligen Einsatzes konstruiert, dimensioniert und gestaltet werden. Hierzu können die Formen der Deckplatte und der Grundplatte und deren Außenkonturen einfach bereits bei der Konstruktion geändert werden. Ebenso können Länge, Breite und Tiefe des Bandspalts und die Durchfluss-Anschlüsse, Differenzdruck-Messabgriffe, Beruhigungsbereiche und Wärmetauscherbereiche bereits in der Konstruktionsphase einfach für die Anforderungen optimiert werden.

Claims (20)

  1. Strömungselement, insbesondere Laminarstromelement, für eine Durchflussmessvorrichtung für Fluide, mit wenigstens einem Fluidströmungskanal, der einen Fluideintrittsbereich und einen Fluidaustrittsbereich aufweist, wobei der Fluidströmungskanal wenigstens zum Teil in einem ersten Körper untergebracht und der Länge nach wenigstens zu einer Oberfläche (erste Oberfläche) des ersten Körpers hin offen ist und eine Oberfläche (zweite Oberfläche) eines zweiten Körpers in wenigstens einem den Fluidströmungskanal umgebenden geschlossenen Berührungsbereich unmittelbar an der ersten Oberfläche des ersten Körpers anliegt und den Fluidströmungskanal verschließt, und wenigstens einer der Körper jeweils wenigstens eine Öffnung zu dem Fluideintrittsbereich und dem Fluidaustrittsbereich aufweist, die von außerhalb des Strömungselements zugänglich sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidströmungskanal (30) als Aussparung wenigstens zum Teil in dem ersten Körper (12) realisiert ist und eine Vielzahl von Befestigungsmitteln (40) den ersten Körper (12) gegen den zweiten Körper (10) drückt, wobei die Befestigungsmittel (40) bezüglich ihrer Druckkraft auf die Körper (10, 12) separat einstellbar sind, derart, dass die erste Oberfläche (20) und die zweite Oberfläche (24) in wenigstens dem Berührungsbereich (22) gleichmäßig dicht, maßhaltig und starr aneinander anliegen.
  2. Strömungselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungselemente, insbesondere Schrauben (40), in der Nähe des Berührungsbereichs (22) außerhalb oder innerhalb desselben verteilt angeordnet sind.
  3. Strömungselement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein den Fluidströmungskanal (30) umgebendes, zumindest anfänglich verformbares, Dichtungsmittel (48) vorgesehen ist, das sich beim Aneinderpressen der ersten Oberfläche (20) und der zweiten Oberfläche (24) so verformt, dass das Dichtungsmittel (48) im Berührungsbereich (22) etwaige Lücken zwischen der ersten Oberfläche (20) und der zweiten Oberfläche (24) abdichtet, ohne den Abstand dort zwischen der ersten Oberfläche (20) und der zweiten Oberfläche (24) zu beinflussen.
  4. Strömungselement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass in einem der Körper (10) eine den Fluidströmungskanal (30) geschlossen umgebende Dichtungsnut (46) angeordnet ist, welche zur entsprechenden Oberfläche (24) des Körpers (10) offen ist und in der das geschlossene Dichtungselement, insbesondere eine O-Ringdichtung (48), untergebracht ist.
  5. Strömungselement nach Anspruch 4, dadurch gekenn zeichnet, dass die Dichtungsnut (46) eine Fluidverbindung (50) zum Fluideintrittsbereich (26) oder zum Fluidaustrittsbereich (28) aufweist.
  6. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Oberfläche (20) und die zweite Oberfläche (24) zumindest in dem Berührungsbereich (22) eben oder auf andere Weise formschlüssig sind.
  7. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidströmungskanal (30) wenigstens zwei in Strömungsrichtung (18) beabstandete Fluiddruck-Erfassungsbereiche (34) aufweist und wenigstens einer der Körper (12) über jeweils wenigstens eine von außerhalb des Strömungselements (14) zugängliche Öffnung, insbesondere einen Messabgriff (38), vorzugsweise mit einem Gewindeanschluss oder einem Flanschanschluss, für ein zu messendes Differenzdrucksignal, zu den Fluiddruck-Erfassungsbereichen (34) zur Fluiddruck-Erfassung verfügt.
  8. Strömungselement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluideintrittsbereich und der Fluidaustrittsbereich jeweils als Fluiddruck-Erfassungsbereiche wirken und Öffnungen zur Fluiddruck-Erfassung in den Fluideintrittsbereich beziehungsweise den Fluidaustrittsbereich führen.
  9. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprü che, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidströmungskanal (30) in Strömungsrichtung (18) betrachtet im Anschluß an den Fluideintrittsbereich (26) und vor dem Fluidaustrittsbereich (28) jeweils einen Beruhigungsbereich (32a, 32b) aufweist.
  10. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Körper (12) und/oder der zweite Körper (10) massive Platten oder an ihren angrenzenden Oberflächen plane Gussrohlinge sind.
  11. Strömungselement nach einem der Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Körper aus glasklarem Kunststoff, Glas oder einem durchsichtigen glaskeramischen Material besteht oder wenigstens im Bereich des Fluidströmungskanals einen Einsatz aus glasklarem Kunststoff, Glas oder einem durchsichtigen glaskeramischen Material aufweist.
  12. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine Körper (12) an den Öffnungen zu dem Fluideintrittsbereich (26) beziehungsweise dem Fluidaustrittsbereich (28) über Durchfluss-Anschlüsse (36), vorzugsweise Gewindeanschlüsse oder Flanschanschlüsse, verfügt.
  13. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidströmungskanal (30) auf der Seite des Fluideintrittsbe reichs (26) einen vom Fluid zu durchströmenden Wärmetauscher-Bereich (32a, 40) aufweist, der die Temperatur des Fluids an die Temperatur der Körper (10, 12) angleicht.
  14. Strömungselement nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Beruhigungsbereich (32a) auf der Seite des Fluideintrittsbereichs (26) zur Fluidströmungsrichtung (18) parallele Rippen (40) aufweist, welche als Wärmetauscher wirken.
  15. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidströmungskanal mäanderförmig verläuft.
  16. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem ersten Körper und dem zweiten Körper eine Mehrzahl von Zwischenkörpern aufeinandergelegt sind, die zwei parallele Oberflächen aufweisen, wobei eine der Oberflächen so ausgebildet ist, dass sie die Funktion der ersten Oberfläche erfüllt und die andere Oberfläche so ausgebildet ist, dass sie die Funktion der zweiten Oberfläche erfüllt, derart, dass die angrenzenden Oberflächen benachbarter Zwischenkörper jeweils einen Fluidströmungskanal begrenzen und die Fluideintrittsbereiche der Fluidströmungskanäle miteinander verbunden sind und die Fluidaustrittsbereiche der Fluidströmungskanäle miteinander verbunden sind und die Fluidströmungskanäle parallel von dem Fluid durchströmbar sind.
  17. Strömungselement nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im ersten Körper eine Mehrzahl von parallel durchströmbaren Fluidströmungskanälen realisiert ist, die zur ersten Oberfläche hin offen und deren Fluideintrittsbereiche miteinander und deren Fluidaustrittsbereiche miteinander verbunden sind.
  18. Verfahren zu Herstellung eines Strömungselements, insbesondere Laminarstromelements, für eine Durchflussmessvorrichtung für Fluide, bei dem wenigstens ein Fluidströmungskanal, der einen Fluideintrittsbereich und einen Fluidaustrittsbereich aufweist, wenigstens zum Teil in einem ersten Körper der Länge nach wenigstens zu einer Oberfläche (erste Oberfläche) des ersten Körpers hin offen angeordnet wird und eine Oberfläche (zweite Oberfläche) eines zweiten Körpers in wenigstens einem den Fluidströmungskanal umgebenden geschlossenen Berührungsbereich unmittelbar an der ersten Oberfläche des ersten Körpers angelegt wird und der Fluidströmungskanal verschlossen wird, und wenigstens in einen der Körper jeweils wenigstens eine Öffnung zu dem Fluideintrittsbereich und dem Fluidaustrittsbereich angeordnet wird, die von außerhalb des Strömungselements zugänglich sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidströmungskanal (30) wenigstens zum Teil in dem ersten Körper (12) ausgespart wird und der erste Körper (12) mit einer Vielzahl von Befestigungsmitteln (40) gegen den zweiten Körper (10) gedrückt wird, wobei die Befestigungsmittel (40) bezüglich ihrer Druckkraft auf die Körper (10, 12) separat eingestellt werden, derart, dass die erste Oberfläche (20) und die zweite Oberfläche (24) in wenigstens dem Berührungsbereich (22) gleichmäßig dicht, maßhaltig und starr aneinander gelegt werden.
  19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidströmungskanal (30) aus dem ersten Körper (12) abgetragen oder geformt wird.
  20. Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass auf den ersten Körper (12) Material aufgetragen wird, wobei der Fluidströmungskanal (30) ausgelassen wird oder das Material im Bereich des Fluidströmungskanals (30) anschließend entfernt wird.
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