-
Die
Erfindung betrifft ein Spektrometersystem, umfassend ein IR(Infrarot)-Spektrometer und ein
IR-Mikroskop, wobei im IR-Mikroskop eine Probe und ein erster Detektor
vorgesehen sind, wobei das IR-Mikroskop so ausgebildet ist, dass
im Messbetrieb die Probe über
einen Zwischenfokus auf den ersten Detektor abgebildet wird.
-
Ein
solches Spektrometersystem ist beispielsweise bekannt geworden durch
die Firmendruckschrift „Hyperion
series Microspectroscopy" der Bruker
Optics Inc., Billerica, MA, USA, 2005 und das darin beschriebene
Modell Hyperion 1000.
-
Infrarot(IR)-spektroskopie
ist ein Verfahren der instrumentellen Analytik. Mittels IR-Spektroskopie
können
Schwingungsbanden von Molekülen
oder Molekülgruppen
in einer Probe bestimmt werden, wodurch die Moleküle oder
Molekülgruppen
in der Probe identifiziert werden können.
-
Mit
gewöhnlichen
Spektrometersystemen werden örtlich
nicht aufgelöste
Informationen von Proben, beispielsweise Pulver- oder Flüssigkeitsproben,
gewonnen. Ein in einem solchen Spektrometersystem eingesetzter,
nulldimensionaler IR-Detektor hat eine Kantenlänge der Detektorfläche von
typischerweise um 1 mm.
-
Mit
Spektrometersystemen mit IR-Mikroskop werden ortspezifische Informationen
von räumlich ausgedehnten
Proben, beispielsweise Oberflächen von
Dünnschichtproben,
gewonnen. Mittels der Mikroskopmechanik (etwa ein xy-Tisch) und
der Mikroskopoptik (etwa einer Blende) wird ein kleiner Bereich
der Probe ausgewählt.
Nur diejenige IR-Strahlung, die mit dem ausgewählten Bereich in Wechselwirkung
getreten ist, wird ausgewertet. Die örtliche Variation der Probe
wird durch ein Abscannen der Probe, d.h. relative Verschiebung des
ausgewählten Bereichs
auf der Probe, erreicht. Der nulldimensionale IR-Detektor (oder Einelementdetektor) eines IR-Mikroskops
hat typischerweise eine Kantenlänge der
Detektorfläche
um 50–250 μm.
-
Alle
IR-Detektoren erzeugen im Betrieb ein Rauschen, was die Auswertung
der Probensignale erschwert. Dieses Rauschen ist um so größer, je
größer die
Kantenlänge
der Detektorfläche
des IR-Detektors ist.
-
Bei
IR-Mikroskopen werden daher relativ kleine Detektoren eingesetzt,
um das Raschen zu begrenzen. Allerdings kann die kleine Detektorfläche dazu
führen,
dass nur ein Teil der interessierende IR-Strahlung von der Probe
am Detektor registriert wird, und ein anderer Teil am Detektor vorbeigeht;
somit können
Probeninformation verloren gehen. Dies kann insbesondere bei einem
größeren ausgewählten Probenbereich
vorkommen. Würde
hingegen ein größerer IR-Detektor
verwendet, so kann dies zu einer nur geringen Ausleuchtung der Detektorfläche und übermäßigem Rauschen
führen.
Dies ist insbesondere bei kleinen ausgewählten Probenbereichen zu erwarten.
-
Aufgabe der Erfindung
-
Demgegenüber ist
es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Spektrometersystem
der eingangs vorgestellten Art vorzustellen, bei dem ein gutes Signal-zu-Rauschverhältnis sowohl
bei großen als
auch bei kleinen ausgewählten
Probenbereichen erreicht werden kann.
-
Kurze Beschreibung der Erfindung
-
Diese
Aufgabe wird gelöst
durch ein Spektrometersystem der eingangs vorgestellten Art, dass dadurch
gekennzeichnet ist, dass mindestens ein zweiter Detektor vorgesehen
ist, dessen Detektorfläche
parallel zur Detektorfläche
des ersten Detektors verläuft,
dass
die Detektorfläche
des mindestens einen zweiten Detektors wenigstens 5 mal größer ist
als die Detektorfläche
des ersten Detektors,
dass der erste und der mindestens eine
zweite Detektor unmittelbar benachbart angeordnet sind, wobei die
Detektorfläche
des mindestens einen zweiten Detektors die Detektorfläche des
ersten Detektors weitgehend umgibt, und dass der erste Detektor
unabhängig
von dem mindestens einen zweiten Detektor auslesbar ist.
-
Mit
dem erfindungsgemäßen Spektrometersystem
kann der optimale Detektor für
den ausgewählten
Probenbereich eingesetzt werden. Für die Untersuchung eines vergleichsweise
kleinen Probenbereichs kann der erste Detektor eingesetzt und allein
ausgelesen werden. Auf grund seiner geringeren Größe erzeugt
er weniger Rauschen als der mindestens eine zweite Detektor; sein
separates Auslesen verhindert einen Eintrag von Rauschen aus den
zweiten Detektoren (Ein Pixel eines FPA-Detektors kann beispielsweise
in diesem Sinne nicht separat bzw. unabhängig von den übrigen Pixeln
ausgelesen werden). Dabei kann der erste Detektor gut ausgeleuchtet
werden, was bei dem größeren, mindesten
einen zweiten Detektor nicht der Fall wäre. Für die Untersuchung eines vergleichsweise
großen
Probenbereichs können
der mindestens eine zweite Detektor allein, oder auch (bevorzugt)
der erste und der mindestens eine zweite Detektor gemeinsam, eingesetzt
werden. Die IR-Strahlung
von der Probe, die den ersten Detektor verfehlt, wird vom diesen
umgebenden, mindestens einen zweiten Detektor registriert und kann daher
ausgewertet werden. Ein Informationsverlust wird dadurch vermieden.
Der mindestens eine zweite Detektor wird dann auch gut ausgeleuchtet,
so dass auch hier ein gutes Signal-zu-Rausch-Verhältnis erreicht
wird.
-
Die
Umschaltung zwischen den Detektoren kann sehr einfach elektronisch
erfolgen, nämlich durch
die Auswahl des Detektors oder der Detektoren, die ausgelesen werden.
Alternativ können
beide Detektoren auch simultan (aber unabhängig voneinander) ausgelesen
werden und die Auswahl des zu analysierenden Probenbereiches kann
digital erfolgen.
-
Es
wird angemerkt, dass erfindungsgemäß im Falle von mehreren zweiten
Detektoren unter dem mindestens einen zweiten Detektor die Gesamtheit aller
zweiten Detektoren verstanden wird, insbesondere bezüglich des
Flächenverhältnisses
von erstem Detektor und der Gesamtheit aller zweiten Detektoren,
und auch bezüglich
des Umgebens des ersten Detektors durch die Gesamtheit der zweiten
Detektoren. Im Falle von mehreren zweiten Detektoren wird die Gesamtheit
der zweiten Detektoren gemeinsam ausgelesen, so dass die Detektorflächen aller
zweiten Detektoren eine Gesamt-Detektorfläche bilden, aus der eine integrale
Information gewonnen wird.
-
Der
erste Detektor wird von dem mindestens einen zweiten Detektor zumindest
teilweise in Richtung der Erstreckung der Detektorflächen umgeben, insbesondere
an drei oder auch an allen vier Seiten der Detektorfläche des
ersten Detektors.
-
Der
erste Detektor und der zweite Detektor bzw. die zweiten Detektoren
sind jeweils als nulldimensionale Detektoren ohne Ortsauflösung ausgebildet.
Mit nulldimensionalen Detektoren (Einelementdetektoren) kann ein
sehr gutes Signal-zu-Rausch-Verhältnis
(=SNR) erzielt werden, das insbesondere dem SNR von FPA-Detektoren (FPA=focal
plane array) überlegen
ist. Im Rahmen der Erfindung werden FPA-Detektoren nicht eingesetzt.
-
Der
erste und der mindestens eine zweite Detektor können sich im Detektortyp, insbesondere im
Detektormaterial, unterscheiden. Dadurch kann eine Anpassung an
die jeweilige Detektionsaufgabe erfolgen, beispielsweise bezüglich der
Empfindlichkeit.
-
Bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung
-
Besonders
bevorzugt ist eine Ausführungsform,
bei der die Detektorfläche
des mindestens einen zweiten Detektors wenigstens 10 mal, insbesondere
wenigstens 25 mal, größer ist
als die Detektorfläche
des ersten Detektors. Mit diesen Flächenverhältnissen kann durch die Umschaltung
der Detektoren eine noch größere Verbesserung
des SNR erzielt werden.
-
Vorteilhaft
ist weiterhin eine Ausführungsform,
bei der der erste und der mindestens eine zweite Detektor in einem
gemeinsamen Kühlgehäuse angeordnet
sind, insbesondere wobei eine Kühlung
mit flüssigem
Stickstoff eingerichtet ist. Dadurch kann bei einfachem Aufbau und
kostengünstig
die Kühlung des
ersten und des mindestens einen zweiten Detektors mit nur einer
Kühleinrichtung
erfolgen.
-
Bevorzugt
ist weiterhin eine Ausführungsform,
bei der der erste Detektor und/oder der mindestens eine zweite Detektor
ein HgCdTe-Detektor ist. HgCdTe-Detektoren sind in der Praxis bewährt.
-
Ebenfalls
bevorzugt ist eine Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Spektrometersystems, bei
der das IR-Mikroskop für
einen Reflexionsbetrieb und/oder einen Transmissionsbetrieb und/oder
für einen
ATR(abgeschwächte
Totalreflexion)-Betrieb ausgebildet ist. Mit diesen Betriebsmodi
können
alle wichtigen Probentypen vermessen werden.
-
Besonders
bevorzugt ist eine Ausführungsform,
die vorsieht, dass das IR-Spektrometer
als FTIR(Fourier-Transformations-Infrarot)-Spektrometer ausgebildet
ist. FTIR-Spektrometer sind in der Praxis bewährt.
-
Vorteilhaft
ist eine Ausführungsform,
bei der der erste Detektor in einer Ausnehmung der Detektorfläche des
mindestens einen zweiten Detektors angeordnet ist. Dies vermeidet
einen Überlapp
der Detektoren und ermöglicht
die Anordnung der Detektorflächen
von erstem und zweitem Detektor in der gleichen Ebene.
-
Vorteilhaft
ist auch eine Ausführungsform, bei
der der erste Detektor zwischen zwei zweiten Detektoren angeordnet
ist. Dadurch kann ein weitestgehendes Umgeben des ersten Detektors
durch die zweiten Detektoren bei einem einfachen Aufbau der zweiten
Detektoren erreicht werden.
-
Eine
bevorzugte Weiterbildung dieser Ausführungsform sieht vor, dass
die zwei zweiten Detektoren im Wesentlichen C-förmig ausgebildet und aufeinander
zu gerichtet sind. In der Mitte der beiden Cs kann der erste Detektor
angeordnet werden, der dann allseitig von zweiten Detektoren umgeben
ist. Alternativ kann mit ähnlichem
Vorteil auch ein C-förmiger
zweiter Detektor und ein rechteckförmiger zweiter Detektor eingesetzt
werden.
-
Bei
einer vorteilhaften Ausführungsform
ist vorgesehen, dass der erste Detektor auf der Detektorfläche des
zweiten Detektors angeordnet ist. Dies ist besonders einfach zu
fertigen und gestattet beliebige Ausrichtungen der Detektorflächen, insbesondere
eine vollständige
Umgebung der Detektorfläche des
ersten Detektors. Dabei können
sich die Detektoren im Typ unterscheiden.
-
Besonders
bevorzugt ist eine Ausführungsform,
bei der im Zwischenfokus eine Blende angeordnet ist. Durch die Blende
kann der auf den Detektor abzubildende Bereich der Probe auf einfache
Weise ausgewählt
werden; die übrige
Probe wird abgeschattet. Am Zwischenfokus ist auch ausreichend Platz
für die
Blende, so dass ein einfacher Aufbau bzw. gute Handhabbarkeit gewährleistet
ist. Weder Probe noch Detektor stören die Blendenanordnung.
-
Bei
einer vorteilhaften Weiterbildung dieser Ausführungsform ist die Blende als
eine variable Blende mit veränderlichem
Blendendurchmesser ausgebildet. Dadurch kann die Größe des ausgewählten Probenbereichs
variiert werden. Die variable Blende kann bevorzugt realisiert werden
durch eine Iris oder eine Schneidenblende; dies gestattet quasi stufenlose
Blendendurchmesser. Alternativ sind auch Wechselblenden möglich, etwa
auf einem Blendenrevolver.
-
Bevorzugt
ist der erste Detektor vollständig vom
mindestens einen zweiten Detektor umgeben. Weiterhin bevorzugt ist
der erste Detektor bezüglich des
zweiten Detektors zentriert (d.h. die erste Detektorfläche liegt
mittig in der zweiten Detektorfläche). Dann
wird beim Umschalten der Detektoren nur die Erstreckung der Umgebung
um einen Probenpunkt, aus der Informationen gewonnen werden, verändert, nicht
aber die relative Position des Probenpunkts auf der Probe. Dies
erleichtert die Orientierung auf der Probe.
-
Ebenfalls
bevorzugt ist es, wenn das IR-Mikroskop ein optisches System aufweist,
welches eine vergrößerte, lichtoptische
Betrachtung der Probe, insbesondere des für die IR-Spektroskopie ausgewählten Probenbereichs,
im sichtbaren Spektralbereich gestattet.
-
Im
Rahmen der Erfindung ist es auch möglich, den mindesten einen
zweiten Detektor wiederum von mindestens einem dritten Detektor
zu umgeben, dessen Detektorfläche
ebenfalls parallel zur Detektorfläche des ersten Detektors verläuft. Der
mindestens eine dritte Detektor kann wiederum von mindestens einem
weiteren Detektor umgeben sein und so fort. Dadurch kann beim Auswerten
der Detektoren eine feine Anpassung an die Ausleuchtung der Detektoren
erfolgen, um das SNR zu optimieren. Für eine solche Anordnung können ringförmige Detektorelemente,
die konzentrisch um den zentralen ersten Detektor angeordnet sind,
eingesetzt werden. Die ringförmigen
Detektorelemente können
getrennt ausgelesen werden.
-
Weitere
Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung und der
Zeichnung. Ebenso können
die vorstehend genannten und die noch weiter ausgeführten Merkmale
erfindungsgemäß jeweils einzeln
für sich
oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden.
Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als
abschließende
Aufzählung
zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung
der Erfindung.
-
Zeichnung und detaillierte
Beschreibung der Erfindung
-
Die
Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird anhand von Ausführungsbeispielen
näher erläutert. Es
zeigen:
-
1 eine
schematische Schrägansicht
eines erfindungsgemäßen Spektrometersystems
mit IR-Spektrometer und IR-Mikroskop;
-
2 eine
schematische Aufsicht auf eine Detektionsanordnung mit einer zentralen
Detektorfläche
eines ersten Detektors und zwei zweiten Detektoren mit jeweils C-förmigen Detektorflächen für ein erfindungsgemäßes Spektrometersystem;
-
3 eine
schematische Aufsicht auf eine weitere Detektionsanordnung mit einer
zentralen Detektorfläche
eines ersten Detektors, der auf der Detektorfläche eines zweiten Detektors
angeordnet ist, für
ein erfindungsgemäßes Spektrometersystem;
-
4 eine
schematische Darstellung des Strahlengangs in einem IR-Mikroskop für ein erfindungsgemäßes Spektrometersystem.
-
Die 1 zeigt
in schematischer Schrägansicht
ein erfindungsgemäßes Spektrometersystem 1 von
außen.
-
Das
Spektrometersystem 1 umfasst ein Infrarotspektrometer 2,
in dem eine Infrarotquelle (nicht abgebildet) und ein Interferometer
(nicht abgebildet) angeordnet sind.
-
Unmittelbar
an das IR-Spektrometer 2 angeschlossen ist ein IR-Mikroskop 3,
so dass ein IR-Lichtstrahl des Infrarotspektrometers 2 ins
IR-Mikroskop 3 geführt
und dort eingesetzt werden kann.
-
Das
IR-Mikroskop 3 verfügt über einen
Probenteller 4, der horizontal in x- und y-Richtung und auch
vertikal in z-Richtung verschoben werden kann, entweder manuell
oder mittels einer elektromotorischen Steuerung. Auf dem Probenteller 4 kann
eine zu untersuchende Probe angeordnet werden.
-
Im
IR-Mikroskop 3 ist eine Detektionsanordnung umfassend einen
ersten IR-Detektor
und mindestens einen zweiten IR-Detektor vorgesehen, wie in den 2 und 3 erläutert. Der
Strahlengang des IR-Lichtstrahls im IR-Mikroskop 3 wird in 4 näher erläutert.
-
Das
IR-Mikroskop 3 verfügt
auch über
ein lichtoptisches System für
sichtbares Licht. Über
ein Doppelokular 5 kann eine Probe auch mit dem menschlichen
Auge vergrößert betrachtet
werden. Bevorzugt ist dabei ein optisches Bauteil, insbesondere
eine Blende oder Skalenschablone in einem lichtoptischen Zwischenfokus,
vorgesehen, die den für
die IR-Spektroskopie ausgewählten
Probenbereich lichtoptisch kenntlich macht. Mit der Skalenschablone
(etwa eine Glasplatte mit Strichmarkierung) kann auch eine Betrachtung
der Probe über den
ausgewählten
Probenbereich hinaus erfolgen.
-
Die 2 zeigt
in schematischer Aufsicht eine Detektionsanordnung 20 für ein IR-Mikroskop für die Erfindung.
-
Die
Detektionsanordnung 20 umfasst einen ersten IR-Detektor 21,
der eine näherungsweise
quadratische, ebene Detektorfläche 22 aufweist.
An der oberen und unteren Kante der Detektorfläche 22 sind metallische
Kontakte 23a, 23b vorgesehen, über die der Detektor 21 ausgelesen
werden kann.
-
Die
Detektionsanordnung 20 umfasst weiterhin zwei zweite Detektoren 24, 25 mit
jeweils ebenen, C-förmigen
Detektorflächen 26, 27.
Die Cs zeigen dabei mit ihren Armen aufeinander zu, wodurch ein Innenraum
umgriffen wird. In diesem Innenraum ist die Detektorfläche 22 des
ersten Detektors 21 angeordnet. Die Detektorflächen 26, 27 der
zweiten Detektoren 24, 25 können auch als rechteckförmig mit jeweils
einer zum Zentrum der Detektionsanordnung 20 gerichteten
Ausnehmung A aufgefasst werden, wobei die Detektorfläche 22 des
ersten Detektors 21 in dem von den Ausnehmungen A definierten
Raum angeordnet ist. Die Detektorflächen 26, 27 der
zweiten Detektoren 24, 25 sind an den Ober- und
Unterkanten jeweils an metallische Kontakte 28a, 28b, 29a, 29b angeschlossen, über die
die zweiten Detektoren 24, 25 ausgelesen werden
können.
-
Die
Detektoren 21, 24, 25 sind auf einem Träger 20a angeordnet.
Die Detektorflächen 22, 26, 27 befinden
sich in z-Richtung (senkrecht zur Zeichenebene) auf gleicher Höhe.
-
Im
dargestellten Fall beträgt
die Detektorfläche 22 des
ersten Detektors 21 etwa 1/25 der Gesamt-Detektorfläche der
beiden zweiten Detektoren 24, 25. Wenn der Probenbereich,
der auf die Detektoranordnung 20 abgebildet wird, im Wesentlichen nur
die Detektorfläche 22 des
ersten Detektors 21 ausleuchtet, wird erfindungsgemäß nur der
erste Detektor 21 ausgelesen und ausgewertet. Dabei wird ein
gutes SNR erreicht. Wird hingegen ein größerer Probenbereich abgebildet,
der auch die Detektorflächen 26, 27 der
zweiten Detektoren 24, 25 ausleuchtet, so können der
erste Detektor 21 und die zweiten Detektoren 24,25 ausgelesen
werden und die detektierten Signale integral ausgewertet werden.
Information geht nur in sehr geringem Umfang verloren, nämlich entsprechend
dem Anteil des Probenbildes (oder ausgewählten Probenbereichs), der
an den Detektoren 21, 24 25 vorbei geht,
und beispielsweise unmittelbar auf den Träger 20a im Zwischenraum
zwischen den Detektoren 21, 24, 25 trifft.
-
Eine
typische Kantenlänge
der ersten Detektorfläche 21 beträgt 20 μm bis 200 μm, und eine
typische Außenabmessung
der Gesamtdetektorfläche der
zweiten Detektoren 24, 25 beträgt 100 μm bis 1000 μm.
-
Die 3 zeigt
eine andere erfindungsgemäße Ausgestaltung
eine Detektionsanordnung 30, umfassend einen ersten Detektor 31 und
einen zweiten Detektor 33.
-
Der
erste Detektor 31 ist auf der Oberseite der Detektorfläche 34 des
zweiten Detektors 33 angeordnet, beispielsweise aufgeklebt.
Dadurch wird ein geringer Teil der Detektorfläche 34 des zweiten Detektors 33 abgeschattet.
Der freibleibende Teil der Detektorfläche 34 des zweiten
Detektors 33 ist ca. 8 mal so groß wie die Detektorfläche 32 des
ersten Detektors 31.
-
Der
erste Detektor 31 wird mittels dünner Drähte 35 kontaktiert,
so dass eine Abschattung des zweiten Detektors 33 durch
die Kontaktierung des ersten Detektors 31 minimiert ist.
-
Der
erste Detektor 31 und der zweite Detektor 33 sind
jeweils als HgCdTe-Detektor
ausgebildet und in einem gemeinsamen Kühlgehäuse 36 angeordnet,
das beispielsweise mittels flüssigem
Stickstoff gekühlt
werden kann. Alternativ können
auch andere Materialien als Detektor eingesetzt werden (z. B. InSb), oder
der Typ oder das Material des ersten Detektors 31 kann
sich von dem des zweiten Detektors 33 unterscheiden.
-
Die 4 zeigt
schematisch den IR-Strahlengang in einem IR-Mikroskop gemäß der Erfindung im
Transmissionsbetrieb.
-
An
einem Kondensor 41 einfallende IR-Strahlung (nicht dargestellt)
wird auf die eine Probe 42 fokussiert. Die Probe 42 kann
senkrecht zum Strahlengang in x- und
y-Richtung verschoben werden, um einen bestimmten Ort auf der Probe 42 in das
Zentrum des Strahlengangs zu bringen.
-
Mittels
eines Objektivs 43 (oder eines anderen geeigneten optischen
Bauteils) wird die Probe 42 auf einen Zwischenfokus 44 abgebildet.
Am Zwischenfokus 44 ist eine variable Blende 45 angeordnet,
mit der ein nicht interessierender Teil der Probe 42 abgeschattet
werden kann, wodurch ein interessierender Probenbereich ausgewählt wird.
Durch den variablen Biendendurchmesser der variablen Blende 45 kann
der ausgewählte
Probenbereich in seiner Größe variiert
werden. Eine Variation im Blendendurchmesser erschiene in der 4 als
Veränderung des
Abstands der im Querschnitt sichtbaren beiden Seitenteile der variablen
Blende 45. Bei geeigneter Ausgestaltung der variablen Blende 45 kann
auch die Geometrie des ausgewählten
Probenbereichs variiert werden.
-
Der
Zwischenfokus 44 – und
damit auch die variable Blende 45 und die Probe 42 (bzw.
der ausgewählte
Probenbereich der Probe 42) – werden mittels eines Objektivs 46 (oder
eines anderen geeigneten optischen Bauteils) auf eine Detektionsanordnung 47 abgebildet.
Die Detektionsanordnung 47 umfasst erfindungsgemäß einen
ersten Detektor und mindestens einen zweiten Detektor, zwischen
denen elektronisch umgeschaltet werden kann. Dabei braucht der Strahlengang
nicht verändert
zu werden. Durch die sich gegenseitig umgebende, näherungsweise
koplanare Anordnung der Detektoren ist insbesondere keinerlei mechanisches
Umschalten zwischen den Detektoren erforderlich.
-
Zusammenfassend
schlägt
die Erfindung vor, in einem Spektrometersystem mit IR-Mikroskop einen
ersten und mindestens einen zweiten Detektor in im Wesentlichen
der gleichen Ebene (Detektionsebene) einzusetzen, wobei die Gesamtheit
der zweiten Detektoren eine deutlich größere Detektorfläche besitzt
als der erste Detektor und die Gesamtheit der zweiten Detektoren
mit ihrer Detektorfläche
die Detektorfläche
des ersten Detektors umschließt.
Je nach Größe des abzubildenden
Probenbereichs kann ein Detektor oder eine Kombination von Detektoren
mit dem besten SNR eingesetzt werden.