DE102006027968A1 - Vorrichtung zum Prüfen eines Gases, Verwendung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zum Umrüsten einer Produktionsanlage - Google Patents

Vorrichtung zum Prüfen eines Gases, Verwendung einer solchen Vorrichtung und Verfahren zum Umrüsten einer Produktionsanlage Download PDF

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Abstract

Die Erfindung schlägt vor, einen Gasprüfer mit einer elektronischen Hochspannungsunterbrechung und/oder einer Frequenzmodulation auszurüsten. Ein solcher Gasprüfer führt dem zu prüfenden Gas Energie zu und bringt es hierdurch in Plasmaform. Das Plasma kann ausgewertet werden. Nach einem unabhängigen Aspekt der Erfindung können solche Prüfgeräte zur zerstörungsfreien Leuchtmittelprüfung und weiteren Zwecken eingesetzt werden. Es werden erhebliche Verbesserungen der Qualitätsvorgaben bei Produktionsanlagen bei gleichzeitiger großer Arbeitssicherheit für das Bedienpersonal ermöglicht.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Prüfen eines Gases, die Verwendung einer solchen Vorrichtung und ein Verfahren zum Umrüsten einer Produktionsanlage.
  • In zahlreichen Gebieten der Industrie stellt sich regelmäßig die Aufgabe, ein Gas zu prüfen, beispielsweise auf dessen Zusammensetzung oder dessen Druck. Eine wichtige Anwendung ist die Prüfung von Leuchtmitteln.
  • Ein sehr bekanntes Leuchtmittel ist eine herkömmliche Glühlampe. Ursprünglich befand sich hier ein Kohlefaden in einem luftleeren Glaskolben. Durch Stromfluss erwärmte sich der Kohlefaden bis zur Weißglut, wodurch Licht ausgesendet wurde. Der Aufbau moderner Glühlampen unterscheidet sich hiervon zwar, das zu Grunde liegende Prinzip ist jedoch das selbe: der Kohlefaden wurde durch einen doppelt gewendelten Wolframfaden ersetzt, und der Glaskolben wird heutzutage nicht evakuiert, sondern mit einem Edelgas gefüllt. Wolfram kann viel präziser gefertigt und somit auf höhere Temperaturen erhitzt werden als ein Kohlefaden, ohne dass dünnere und damit heißere Stellen durchschmelzen. Hierdurch ergibt sich eine höhere Helligkeit. Die Füllung mit Edelgasen, beispielsweise Krypton, hat hingegen weitgehend fertigungstechnische und praktische Gründe. Ein Glaskolben lässt sich erheblich leichter mit einem chemisch inaktiven Gas füllen als luftleer pumpen. Bereits sehr geringe Mengen an unbeabsichtigt eingebrachtem Sauerstoff haben zur Folge, dass die Glühwendel zumindest auf der Oberfläche verbrennt und sich so der Glaskolben von innen leicht schwärzt. Überdies kann ein gasgefüllter Glaskolben bei Beschädigung nicht implodieren wie ein luftleerer, was auch in der Handhabung moderne Glühlampen sicherer macht.
  • Halogenlampen sind im Prinzip identisch aufgebaut wie normale Glühlampen. Die Temperatur der Glühwendel ist jedoch um einige hundert Grad höher. Dadurch erhöht sich der Wirkungsgrad, also die Helligkeit bei gleicher Leistung, beträchtlich.
  • Normalerweise hätte eine solche Glühlampe nur eine kurze Lebensdauer, weil mit der höheren Temperatur das Wolfram deutlich schneller abdampft. Dadurch würde sich die Temperatur der Glühwendel an einer dünneren Stelle innerhalb weniger Stunden dem Schmelzpunkt nähern, so dass sie durchbrennen würde.
  • Das Abdampfen kann technisch nicht verhindert werden, aber das abgedampfte Material kann dazu gebracht werden, sich wieder an der Wendel anzulagern. Dies erreicht man durch Zusatz von Halogenen, vor allem Brom und Jod. Das abgedampfte Wolfram verbindet sich mit den Halogenen zu Wolframhalogenid, welches bei Temperaturen von einigen hundert °C gasförmig ist. An der Glühwendel mit einer dortigen Temperatur von etwa 2600 °C bis 2900 °C zerfällt es in Wolfram, welches sich an der Wendel abscheidet, und freies Halogen. In einer Halogenlampe wird also ein Kreislaufprozess betrieben, bei welchem die Glühwendel permanent regeneriert wird.
  • Metalldampflampen werden als Niederdruck- und als Hochdrucklampen hergestellt. Niederdrucklampen funktionieren prinzipiell wie Gasentladungslampen, so beispielsweise wie Neonlampen bzw. Leuchtstofflampen. Ihre Bauform ist relativ groß, während das abgestrahlte Licht ein Linienspektrum mit meistens nur einer oder zwei Lichtfarben besitzt, so beispielsweise bei Quecksilber Ultraviolettlicht mit einer Wellenlänge von 84,9 nm und 253,7 nm, bei Natrium hingegen gelbes Licht mit 589,0 und 589,6 nm.
  • Die Bauform von Hochdrucklampen ist im Vergleich zu Niederdrucklampen deutlich kleiner. Durch die Verwendung von Metallen mit niedriger Schmelztemperatur und vor allem niedriger Ionisierungsenergie, wie beispielsweise Quecksilber oder Natrium, sorgt man dafür, dass die Temperatur der Elektroden so niedrig sein kann, dass sie sich nicht nennenswert in Folge des Abbrands abnutzen.
  • Edelgas-Hochdrucklampen sind genauso aufgebaut wie Metalldampf-Hochdrucklampen. Sie sind jedoch mit Edelgas unter hohem Druck befüllt. Vorzugsweise kommt hierbei Xenon zum Einsatz, welches sonnenlichtähnliches Licht ausstrahlt. Solche Lampen sind vor allem durch den Einsatz in Kraftfahrzeugen bekannt.
  • Allen Lampen ist gemein, dass die Qualität der einzelnen Leuchtmittel sowohl hinsichtlich des Wirkungsgrads als auch hinsichtlich der Lebensdauer von der Qualität der Gasfüllung innerhalb des Leuchtkörpers abhängt. Je nach Lampenausführung sind das Gasgemisch und/oder der Gasdruck von besonderer Bedeutung.
  • Dementsprechend werden in Produktionsanlagen für Leuchtmittel einzelne Leuchtkörper nach statistischen Gesichtspunkten den Fertigungslinien entnommen und unter Laborbedingungen auf Einhaltung der Toleranzwerte geprüft. Hierzu werden die Glaskörper zerstört und unter anderem mittels Gasspektographie die Qualität der Füllung ermittelt.
  • Bei modernen Produktionsanlagen kommt teilweise ein zerstörungsfreies Prüfverfahren zum Einsatz. Grundlage einer solchen zerstörungsfreien Prüfung ist die physikalische Eigenschaft von Gasen, durch Energiezufuhr in ein höherwertiges Niveau gebracht werden zu können, wobei das hierbei entstehende Plasma optisch ausgewertet werden kann. Die Energiezufuhr wird in der Regel durch die Beaufschlagung mit einer Hochspannung erreicht. Diese wird in der Regel durch einen Teslatrafo erzeugt.
  • Ein Teslatransformator besteht aus zwei locker gekoppelten Schwingkreisen mit einem Kopplungsgrad von etwa 10 %, wobei die Schwingkreise durch Funkenüberschlag zu gedämpften Schwingungen angeregt werden.
  • Transformatoren spannen die herkömmliche Netzspannung von 230 V auf Hochspannung von mehr als 7,5 kV um. Mit dieser Spannung wird ein Kondenstor im Primärkreis geladen. Ist seine Spannung weit genug angestiegen, zündet die Funkenstrecke, die wie ein Schalter wirkt. Damit sind die Eingangstransformatoren kurzgeschlossen, also vom weiteren Geschehen zunächst völlig entkoppelt. Sie verkraften das problemlos, weil sie einen hohen Innenwiderstand besitzen, welcher den Maximalstrom begrenzt.
  • Der geladene Kondensator ist nun direkt mit der Primärspule verbunden und bildet einen Schwingkreis mit ihr, der nun zu schwingen beginnt. Die Sekundärspule stellt zusammen mit der Kopfelektrode einen Lambda/4-Dipol dar, der auf die Frequenz des Primärkreises abgestimmt sein muss. Die Resonanzfrequenz ergibt sich aus der Kapazität, die die Spule mit der Umgebung bildet, und ihrer Induktivität. Durch die Erdung des unteren Endes wird die Spannung dort auf Massepotential gehalten, der hier fließende Strom ist dagegen maximal. Am oberen Ende entsteht ein Spannungsbauch bzw. Stromknoten. Daher wird die Spannung am oberen Ende der Spule bei exakter Abstimmung maximal und ist im wesentlichen nur durch die Güte der Spule und die eingespeiste Leistung begrenzt. Das Windungsverhältnis zwischen Primär- und Sekundärspule hat kaum Auswirkungen.
  • Durch den Widerstand im Primärkreis, im wesentlichen also die Funkenstrecke, und die Energieaufnahme der Sekundärspule wird die Schwingung im Primärkreis gedämpft und zum Erlöschen gebracht. Damit die nun frei schwingende Sekundärspule nicht ihrerseits wieder den Primärkreis zu Schwingungen anregt und dabei ihre Energie abgibt, muss dafür gesorgt werden, dass der Primärkreis geöffnet wird. Dies geschieht durch eine kräftige Kühlung der Funkenstrecke mit Pressluft, welche die Ionen des Funkenkanals rasch abtransportiert und damit für das Erlöschen des Funkens unterhalb einer Mindestspannung sorgt.
  • Ab diesem Zeitpunkt wird der Kondensator wieder mit der momentan am Speisetrafoausgang herrschenden Spannung geladen, und der Ablauf beginnt von vorne.
  • Prinzipiell ist es also möglich, mit Anregung der in einem Prüfling beinhalteten Gase dessen Gasart oder Gasdruck zu prüfen. Die Gase werden durch hochfrequente elektrische Felder derart in Schwingungen versetzt, dass sie teilweise oder vollständig einen neuen Aggregatzustand erreichen. Dieser als Plasma bezeichnete Aggregatzustand ist als Leuchterscheinung zu erkennen und erlaubt aufgrund deren Farbe und Helligkeit, die Gasart und den Druck zu bestimmen. Die Umwandlung in das Plasma erfolgt durch die angeregte Schwingung und durch den gleichzeitigen Effekt der Hochspannungsentladung. Im Plasma ist je nach Art der Moleküle und je nach Höhe des Drucks eine andere Farbgebung erkennbar.
  • Solche Hochfrequenzprüfer sind technisch zwar bekannt, in der Praxis aber kaum einsetzbar, da sie durch die mechanische Unterbrechung der Hochspannung eine freie Funkenstrecke erzeugen, womit Röntgenstrahlen freigesetzt werden. Gleichzeitig wird der öffentliche Funkverkehr erheblich gestört. Eine Abschirmung der Geräte ist in der Regel nicht möglich, wenn es sich um manuell einzusetzende Geräte wie beispielweise Prüfpistolen handelt. Die feste Installation in einem abgeschirmten Prüfraum ist sehr aufwendig und somit teuer, da es sich bei den bekannten Prüfvorrichtungen um intensive Strahlungsquellen handelt, die im Spektralbereich des Vakuumultraviolett (VUV, 10 bis 200 nm) über das extreme Ultraviolett (XUV, 1 bis 10 nm) bis in den Bereich der weichen Röntgenstrahlung (SXR, 0,1 bis 1 nm) emittieren.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine verbesserte Prüfmöglichkeit zur Verfügung zu stellen.
  • Nach einem ersten Aspekt der Erfindung löst diese Aufgabe eine Vorrichtung zum Prüfen eines Gases unter Umwandlung des Gases in ein Plasma mittels Energiezufuhr durch ein hochfrequentes elektrisches Feld, wobei eine elektronische Hochspannungsunterbrechung vorgesehen ist.
  • Vorteilhaft wird bei einer elektronischen Unterbrechung der Hochspannung eine zumindest weitestgehende, im Idealfall sogar vollständige, Strahlungsfreiheit erreicht. Die vorzunehmenden Prüfungen können damit beispielsweise in geschlossenen kleinen Räumen ohne Abschirmung durchgeführt werden. Insbesondere ist sogar der Gebrauch von Handgeräten in Pistolenform möglich.
  • Bevorzugt weist die Vorrichtung eine elektronische Schaltung zur Steuerung der Hochspannung auf. Wenn eine solche Schaltung vorgesehen ist, kann diese ohne weiteres auch dazu eingesetzt werden, die Hochspannung elektronisch zu unterbrechen.
  • Das Gesamtsystem besteht vorzugsweise aus einem Transformator, einem Hochfrequenzerzeuger und einer elektronischen Schaltung zur Steuerung der Hochspannung. Für den Transformator wird ein Impulsteslatransformator vorgeschlagen.
  • Bei aufwendigen Versuchen des Erfinders hat sich herausgestellt, dass die Vorrichtung bevorzugt Mittel zum Anregen des Gases mit einer Frequenz zwischen etwa 5 kHz und etwa 10 MHz, bevorzugt zwischen etwa 400 kHz und 500 kHz aufweist, insbesondere zwischen 430 kHz und 450 kHz. Bei dem äußeren genannten Frequenzspektrum wird das Arbeiten mit etwaigen Handgeräten sicherer, denn hinsichtlich des Skin-Effekts ist bei insbesondere etwa 5 kHz eine Grenze zwischen niedrigeren, für den Menschen gefährlichen Frequenzen und höheren, eher ungefährlicheren Frequenzen zu beobachten. Die Vorrichtung arbeitet mit einer Hochspannung, und der relativ niedrige Innenwiderstand eines Menschen von etwa 1000 Ohm würde bei Kontakt einen wohl tödlichen Strom durch den Menschen erlauben. Bei den geschilderten äußeren Frequenzen setzt allerdings ein wechselstrombekannter Effekt ein, und der Stromfluss tritt nicht in das menschliche Gewebe ein, sondern fließt über die Oberfläche ab. Die inneren genannten Werte sind empirische Werte, die sich als besonders geeignet herausgestellt haben.
  • Unabhängig hiervon hat sich auch herausgestellt, dass bevorzugt Mittel zum Erzeugen einer Spannung von zwischen 30 kV und 100 kV vorgesehen sind.
  • Weiter hat sich eine Hochfrequenzleistung von etwa 3 W bis etwa 10 W, bevorzugt bis etwa 5 W, in Betrieb der Vorrichtung als sehr geeignet erwiesen.
  • Mit diesen Werten ließ sich bei den Versuchen ohne weiteres ein Vakuumspektrum von etwa 250 mbar bis etwa 0,001 mbar überstreichen und jeweils mit hinreichender Genauigkeit erkennen.
  • Nach einem zweiten Aspekt der Erfindung löst die gestellte Aufgabe eine Vorrichtung zum Prüfen eines Gases unter Umwandlung des Gases in ein Plasma mittels Energiezufuhr durch ein hochfrequentes elektrisches Feld, wobei Mittel zum Erzeugen unterschiedlicher Erregerfrequenzen vorgesehen sind.
  • Es hat sich herausgestellt, dass die kontinuierliche Erregung mit einer festen Frequenz an Messgrenzen stößt. Der Erfinder hat bei seinen Versuchen herausgefunden, dass Gase durch Beaufschlagen mit differenten Erregerfrequenzen leichter in den vierten Aggregatzustand zu versetzen sind.
  • Es versteht sich, dass die Erfindungsaspekte der elektronischen Hochspannungsunterbrechung und der unterschiedlichen Erregerfrequenzen sowohl einzeln von Vorteil sind als auch gut kombiniert werden können.
  • Es wird vorgeschlagen, dass die Prüfvorrichtung Mittel zum Aufmodulieren eines nieder- und/oder hochfrequenten Impulses auf eine Träger frequenz aufweist. Die Mittel können insbesondere dazu eingerichtet sein, eine Modulationsfrequenz zwischen 100 Hz und 50 kHz zu erzeugen, insbesondere zwischen 5 kHz und 50 kHz. Auch diese Werte sind empirisch ermittelt. Es hat sich gezeigt, dass bei diesen Grenzwerten eine sprunghafte Verbesserung der Messergebnisse erreichbar ist. Auch können mit den kurzen Pulsen Gase besser zündwillig gemacht werden, beispielsweise Neongas. Die Moleküle werden hierzu durch die genannten Pulse sehr gut angestoßen und können anschließend in ihrer Resonanzfrequenz schwingen.
  • Unabhängig davon, ob die Prüfvorrichtung eine elektronische Hochspannungsunterbrechung, Mittel zum Erzeugen unterschiedlicher Erregerfrequenzen oder beides aufweist, wird vorgeschlagen, dass sie als Handgerät ausgebildet ist, insbesondere in Pistolenform. Eine insbesondere elektronische Steuerungseinheit zum Erzeugen einer hochfrequenten Hochspannung kann ohne weiteres auf einen speziellen Wandler in Form einer Prüfpistole geleitet und hierüber dem Prüfling zugeführt werden. Im Prüfling entsteht dadurch das Plasma, und die Prüfpistole kann von einer Bedienperson ohne Schwierigkeit gehandhabt werden. Die Bedienperson kann die Prüfung auf diese Weise manuell durchführen. Sie lässt hierzu einen Prüfling mit der Prüfpistole erleuchten, wobei die Leuchterscheinung des Plasmas als Qualitätsmaßstab verwendet werden kann, so dass die Bedienperson in der Lage ist, nach dem optischen Eindruck darüber zu entscheiden, ob der Prüfling die Qualitätsanforderung erfüllt oder als Ausschuss einzustufen ist.
  • Hinsichtlich des Impulsteslatransformators wird vorgeschlagen, dass dieser primärseitig etwa 10 bis 15 Windungen und sekundärseitig etwa 5000 bis 6000 Windungen aufweist. Ein solcher Aufbau hat sich bei den durchgeführten Versuchen als besonders vorteilhaft erwiesen.
  • Es wurde bereits erläutert, dass eine Prüfvorrichtung der vorbeschriebenen Ausgestaltungen technisch wie wirtschaftlich besonders gut zum Prüfen der Gasart eines Gases und/oder zum Prüfen des Gasdrucks eines Gases eingesetzt werden kann.
  • Bei einer Vorrichtung mit unterschiedlichen Erregerfrequenzen wird vorgeschlagen, dass eine Modulationsfrequenz nach der Gasresonanzfrequenz eines zu ermittelnden Gases festgelegt wird. Es wurde bereits erläutert, dass eine neuartige elektronische Schaltung ohne weiteres ermöglicht, unterschiedliche Gase optimal zu erregen. Erreicht wird dies durch eine Aufmodulation von gasabhängigen niederfrequenten bis hochfrequenten Impulsen auf eine Trägerfrequenz. Die Modulationsfrequenz wird hierbei bevorzugt durch das zu erregende Gas bestimmt, konkret durch die Gasresonanzfrequenz. Die Trägerfrequenz ist bevorzugt die Resonanzfrequenz des Teslatransformators. Auf diese Weise kann eine optimale Anpassung des Transformators an die Testumgebung erreicht werden. Hieraus kann auch die primäre Gleichstromversorgung optimal geregelt werden, ebenso wie die Energie des zum Erregen des Gases optimalen Hochspannungsfunkens berechnet werden kann.
  • Bei einer Verwendung einer Prüfvorrichtung zum Prüfen von Gasart und/oder Gasdruck wird vorgeschlagen, dass diese Werte anhand von Farbe und/oder Helligkeit des Plasmas ermittelt werden. So lässt sich anhand dieser beiden Werte relativ genau auf die vorhandenen Gasarten und ihren Druck rückschließen. Dies ist sogar bis zu Drücken unter 0,001 mbar möglich, wobei bei diesem Grenzdruck und bei geringeren Drücken in der Regel jegliche Leuchterscheinung endet. Bei höheren Drücken können die Farben und die Leuchtstärke jedoch unmittelbar in die zu ermittelnden Werte anhand einer Tabelle übertragen werden.
  • Das Plasmaleuchten kann von einem Spektroskop und/oder von einem Helligkeitssensor erfasst werden, und Daten über das Leuchten können an eine Datenverarbeitungsanlage weitergegeben werden. Die spektrale Leuchterscheinung der Testobjekte lässt sich nicht nur vom Auge einer Bedienperson erkennen, sondern auf diese Weisen auch automatisch erkennen und auswerten. So wird sichergestellt, dass die Leuchterscheinung aller Gastypen spezifizierbar ist und fehlerfrei erkannt werden kann. Durch die elektronische Erkennbarkeit können beispielsweise zerstörungsfreie Endkontrollen an allen geschlossenen Behältnissen wie insbesondere Leuchtmitteln oder pharmazeutischen und chemischen Behältnissen direkt an einem Fließband mit hohen Durchlaufgeschwindigkeiten ohne menschlichen Einsatz vorgenommen werden. Hierzu gehört zum einen die automatische Erkennung der Leuchterscheinung und zum anderen die automatische Auswertung der Erkennung.
  • Neben den bisher genannten Einsatzmöglichkeiten eignet sich eine Prüfvorrichtung der vorgeschlagenen Art insbesondere zur Lecksuche und zur Überprüfung einer Oberfläche auf Porenfreiheit. So werden auch Leckagen an leitenden oder nicht leitenden Oberflächen von Apparaturen oder Behältnissen sichtbar und damit automatisch prüfbar, indem der Funke zu der Pore in der Wand schlägt und in dieser eine hell leuchtende Bahn erzeugt. Ebenso können Wasserstoffverunreinigungen an Testobjekten festgestellt werden, beispielsweise durch Einsatz von mobilen Geräten vor Ort.
  • Um die Auswertung vom Ort der Plasmamessung verlustfrei trennen zu können, wird vorgeschlagen, dass das Plasmaleuchten über ein Lichtleitkabel aufgegriffen und transportiert wird.
  • Insgesamt wird erkennbar, dass die vorgeschlagenen Vorrichtungen eine sehr kostengünstige und qualitätssteigernde Produktionskontrolle an Prüfkörpern möglich machen, insbesondere an geschlossenen Behältnissen, und dort vor allem aus Glas oder glasähnlichem Werkstoff.
  • Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung wird demgemäß vorgeschlagen, dass bei einem Verfahren zum Umrüsten einer Produktionsanlage eine solche Prüfvorrichtung installiert und wie vorgeschlagen verwendet wird, wobei eine Taktfrequenz der Produktionsanlage erhalten oder sogar erhöht wird. Dieser Aspekt der Erfindung macht deutlich, dass die Erfindung eine Verbesserung der Produktionskontrolle ermöglicht und dabei keine Reduzierung der Taktfrequenz erfordert.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand einer Ausführungsbeschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Dort zeigen
  • 1 ein Prinzipschaltbild eines Hochfrequenz-Vakuumtesters mit einer elektronischen Unterbrechung der Hochspannung und
  • 2 ein Prinzipschaltbild eines solchen Testers mit einer zusätzlichen Hochspannungs-Modulation.
  • Es wurde ein Testgerät zu Versuchszwecken gebaut, welches zur Lecksuche und Vakuumprüfung sowie zur Überprüfung auf Porenfreiheit von leitenden oder nicht leitenden Oberflächen, wie beispielsweise Glas, Gummi, Kunststoff oder Lackierungen, durch Beaufschlagung mit einer hochfrequenten Hochspannung einsetzbar ist. Die hochfrequente Hochspannung wird durch einen Teslatransformator erzeugt und entlädt sich über eine Bürstenelektrode.
  • Das Prüfgerät ist mit einer elektronischen Unterbrechung der Hochspannung ausgestattet und besteht hierzu aus einem Transformator, einem Hochfrequenzerzeuger, einer elektronischen Schaltung zur Steuerung der Hochspannung, einer Abschirmung und einer Detektoreinheit. Das Prüfgerät kann hiermit in einem Vakuumbereich von etwa 250 mbar bis 0,001 mbar arbeiten. Die Testreihen bezogen sich auf eine Auswertung des Vakuums in diesem Bereich.
  • Zunächst wurden Gerätemodule von Hochfrequenzprüfern bei einer einstellbaren Grundfrequenz zwischen 400 kHz und 500 kHz verwendet. Dies entspricht der Resonanzfrequenz des Teslatransformators. Hierdurch wurden Spannungen von etwa 30 kV bis etwa 100 kV erreicht. Die Hochfrequenznennleistung pegelte sich entsprechend auf etwa 3 W bis 5 W ein.
  • Durch ein Pulsen der Trägerfrequenz mit 100 % Trägertastung bei variablem Puls-Pausenverhältnis von 10 % bis 90 % wurde eine Aufmodulation von Niederfrequenzen zum Erleichtern der Gaszündung erreicht. Die Modulationsfrequenz lag bei etwa 50 Hz bis etwa 5 kHz.
  • Die Versuche in Bezug auf reine Vakuumbestimmung zeigten ihr Optimum in nicht moduliertem Betriebszustand. Eine Verfeinerung der Messergebnisse konnte durch kombinierte Einstellung von Leistung und Resonanzfrequenz erreicht werden. Besonders wirksam waren diese Einstellungen bei Drucktests von Medikamentenflaschen. Bei kleineren Behältnissen, insbesondere mit einem Durchmesser von 8 mm bis 15 mm, wurde der Leistungssteller auf minimale Leistung gestellt, und die abgegebene Leistung wurde durch Änderung der Resonanzfrequenz bestimmt. Bei größeren Behältnissen, insbesondere mit 15 mm bis 30 mm Durchmesser, wurde die Resonanzfrequenz optimal eingestellt und die Leistungsabgabe wurde durch den Leistungsregler bestimmt, konkret durch die Vorgabe der primärseitigen Betriebsspannung der Teslatransformatorsteuerung von 100 V bis 800 V.
  • Nach Vorgaben aus der Industrie sollen Leuchtmitteltests hauptsächlich den korrekten Gasanteil bestätigen oder verneinen. Aus diesem Grund wurden hier jeweils die Tests mit optimal eingestellter Resonanzfrequenz und niedrigster Zündleistung durchgeführt. Ein Plasma entsteht auf diese Weise erst nach einer Energiezufuhr von 1 bis 2 Sekunden. Hier führte jedoch das Trägertasten zur beschleunigten Entstehung von Plasma. Besonders deutlich wurde hierbei die Frequenzabhängigkeit der Gase im Vergleich von Halogen- und Kryptonlampen sichtbar. Während Halogen bei einer Pulsfrequenz von 200 Hz bis 400 Hz optimal zündete, war bei Krypton eine optimale Zündung bei einer Pulsfrequenz zwischen 2 kHz und 3 kHz feststellbar. Das Zündverhalten konnte zusätzlich durch Änderung des Puls-Pausenverhältnisses optimiert werden. Die bisherigen Tests zeigten bei einem Verhältnis von etwa 30 % Puls zu 70 % Pause ein optimales Zündverhalten.
  • Ebenfalls wurde der Füllgrad von Thermopenglasscheiben geprüft. Auch hierzu wurden die Resonanzfrequenz optimal abgestimmt und die Energiezufuhr minimiert. Ein optimales Zünden der mit Argon befüllten Scheiben stellte sich hier bei einer Modulation von 100 Hz bis 200 Hz und ebenfalls 30 % Pulszeit ein.
  • Um größere Behältnisse testen zu können, wurde eine Überarbeitung des Teslatransformators bei gleichzeitigem Einsatz hochfrequenztauglicher Leistungsthyristoren durchgeführt. Das derzeitige Optimum des Teslatransformators liegt bei einer lose gekoppelten Ausführung mit primärseitig zwölf Windungen von 1,65 mm starkem Kupferdraht bei 6,5 cm Durchmesser und 3 mm Steigung bzw. sekundärseitig bei 5600 Windungen mit 0,005 mm isoliertem Kupferdraht, doppelt gelegt auf 2,25 mm Papierisolationskörper. Mit einer solchen Einheit können Gase in Behältnissen von 50 mm Durchmesser leicht ins Plasma versetzt werden.
  • Die Pulsform des Plasmas, hervorgerufen durch die Modulation und die Trägerfrequenz der plasmaerzeugenden Hochspannung, ermöglichte erstmals durch eine spezielle Sensorik die automatische fremdlichtunabhängige Detektion des erzeugten Plasmas. Das Erkennungssystem ist sogar in der Lage, auch extrem energiearmes Plasma zu detektieren, auch beispielsweise bereits verpackte Leuchtmittel.
  • Zur Plasmaerkennung wurde im Versuchsaufbau per Lichtleitkabel die Leuchterscheinung des Plasmas abgegriffen und zu einem extrem empfindlichen Helligkeitssensor geleitet. Dieser wurde in Form eines Fotodiodenarrays bereitgestellt. Der durch das eingeleitete Licht hervorgerufene Fotostrom innerhalb des Diodenarrays wurde zunächst in einen Spannungspegel umgewandelt. In einer ersten Verstärkerstufe mit einem sehr hohen Verstärkungsfaktor von 1,5 Mio. wurde der Wechselspannungsanteil vom Grundsignal getrennt und zur weiteren Verarbeitung zur Verfügung gestellt. Der Wechselspannungsanteil enthält die Grund- und die Modulationsfrequenz der plasmaerzeugenden Hochspannung. Ein elektronischer Filter ließ nur diejenigen Signalanteile passieren, welche durch den Hochfrequenztester erzeugt wurden. Eine Auswerteinheit zeigte das Ergebnis der Messung an oder stellte ein Signal zur Weiterverarbeitung bereit. Hierdurch konnten defekte Leuchtmittel automatisch sofort aussortiert werden.
  • Es wurde bereits erläutert, dass die Auswertung einer Plasmaerkennung bislang nur durch den visuellen Eindruck von Bedienpersonal möglich war. Standards über die optischen Eindrücke waren nur begrenzt aussagefähig, da diese nicht fremdlichtunabhängig arbeiten können.
  • Das neu entwickelte Verfahren erreicht demgegenüber ein höchstes Maß an Fremdlichtunabhängigkeit. Hierzu wird ein marktübliches Kamerasystem mit Referenzlichtquellen mit einer neuen Softwareauswertung der aufgenommenen Plasmafarben kombiniert. Im Test wurde eine Maschinen-Technologie entwickelt und erfolgreich getestet, welche mittels der Hochfrequenz-Vakuumprüfung eine automatische Auswertung vornehmen kann. Die Grenzwerte der Auswertungen beruhen auf den operativen Anforderungen der jeweiligen Industriezweige. Hier sind insbesondere die Leuchtmittel-, Pharma-, Solar-, Glas-, Kunststoff- und die Metallindustrie zu nennen. Darüber hinaus sind vor allem Anwendungsgebiete in der chemischen Industrie zu finden.
  • Ziel ist jeweils eine schnelle und gleichzeitig sichere Auswertung über eine Integration der Prüfanlage in eine bestehende Produktionsanlage, ohne deren Taktfrequenz zu reduzieren. Es wurde bereits erläutert, dass dies ohne weiteres durch die Erfindung ermöglicht wird.
  • Damit alle Anwendungsbereiche der Prüftechnik abgedeckt werden können, ohne jeweils eine spezielle Anfertigung der Messausrüstung durchführen zu müssen, ist die nun vorgestellte Technologie bevorzugt modular aufgebaut. Alle Funktionseinheiten sind hierbei als autark arbeitende Einheiten in einer Anlage komprimiert untergebracht und verfügen über eine modulübergreifende, systemeigene Schnittstelle.
  • Die Module können, je nach der konkreten Anforderung, mit entsprechenden Sensoren und Aktoren ausgerüstet und als Prüfanlage in be stehende Fertigungs- oder Abfüllanlagen integriert werden. Durch die untereinander kompatible Modultechnik ist eine Auf- oder Umrüstung auch nachträglich ohne Probleme durchführbar, so beispielsweise die Aufrüstung einer bestehenden Druckerkennung zu einer Gaserkennung oder einer Kamerasensorik mit einem Spektroskop.
  • Es sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass eine solche modulförmige Ausgestaltung bzw. ein sich hieraus ergebendes Aufrüstungsverfahren von Produktions- und Prüfanlagen auch unabhängig von den übrigen Aspekten der Erfindung vorteilhaft und erfinderisch ist.
  • Mit der vorgestellten Technologie ist es erstmals möglich, ganze Produktpaletten bis hin zu den einzelnen Einheiten zu prüfen, zu bewerten, zu kennzeichnen und zu archivieren. Der Qualitätsstandard wird hierdurch extrem angehoben, was insbesondere die Produktion in Ländern mit niedrigem Preisniveau ohne Qualitätsverlust in der Produktion ermöglicht.
  • Nach den erfolgreichen Vorversuchen wurde ein Vorserienmodell für den Einsatz in der pharmazeutischen Industrie zur Medikamentenüberwachung aufgebaut. Die Prüflinge wurden hierzu über ein flexibles Bandsystem aus dem Fertigungsprozess entnommen und dem Prüfautomaten zugeführt. Sie wurden dabei in mehrere Kanäle oder Reihen positioniert. Pro Reihe bestromte eine Hochfrequenzpistole die Prüflinge. Die Leuchterscheinungen in der Glasverpackung wurden jeweils mit einer speziellen Kamera erfasst und per Software ausgewertet. Parallel zur Kameraerfassung fand eine spektroskopische Erkennung statt, welche ebenfalls über die Software ausgewertet wurde. Die Software verifizierte den Qualitätszustand nach vordefinierten Grenzwerten. Die Prüflinge wurden markiert und die erfassten Daten archiviert. Danach wurden die Prüflinge über das flexible Bandsystem dem Fertigungsprozess wieder zugeführt. Die Geschwindigkeit der Auswertung der Anlage spielte hierbei eine besondere Rolle, da eine Taktfrequenz erreicht werden musste, welche den schnellsten industriellen Fertigungsanlagen entsprach.
  • Hinsichtlich der Vakuumprüfung ließ sich die Güte des Vakuums je nach der Leuchterscheinung im Inneren des Prüflings wie folgt beurteilen:
  • Bei einem Druck zwischen 250 mbar und 0,1 mbar trat ein rotes bzw. violettes Leuchten im Gasraum auf, welches mit abnehmendem Druck den Querschnitt immer mehr füllte. Es wird davon ausgegangen, dass dies vor allem von Wasserstoff, Stickstoff und Kohlenwasserstoff herrührte.
  • Im Bereich zwischen 0,1 mbar und 0,01 mbar war eine grünlichblaue Fluoreszenz auf der Elektrode der gegenüberliegenden Glaswand erkennbar, ebenso wie ein blassrosafarbenes oder violettes Leuchten.
  • Im Bereich zwischen 0,01 und 0,001 mbar ging das Leuchten immer weiter zurück, bis bei 0,001 mbar nur noch eine grüne Wandfluoreszenz sichtbar war. Erst bei niedrigen Drücken hörte die Leuchterscheinung auf.
  • Ebenso ließ sich die Gasart erkennen: eine rötlich-violette Leuchterscheinung wies auf das Vorkommen von Luft hin, eine hellrot-hellblaue Leuchterscheinung auf Wasserstoff, eine bläulich-weiße Leuchterscheinung auf Wasserdampf und viele organische Dämpfe, eine grün-blaue Leuchterscheinung auf Quecksilber und eine grün-graue Leuchterscheinung auf Öldämpfe. Dabei wurde zur Lecksuche an Apparaturen und Behältnissen kein Testgas benötigt.
  • Bei ersten stichprobenartigen Prüfungen zu Versuchzwecken bei verschiedenen Produzenten war etwa ein Drittel der Ampullen oder Leuchtmittel schadhaft. Es liegt auf der Hand, dass die Produktionsqualität durch die vorgestellte Erfindung erheblich verbessert werden kann.

Claims (20)

  1. Vorrichtung zum Prüfen eines Gases unter Umwandlung des Gases in ein Plasma mittels Energiezufuhr durch ein hochfrequentes elektrisches Feld, gekennzeichnet durch eine elektrische Hochspannungsunterbrechung.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine elektronische Schaltung zur Steuerung der Hochspannung.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch Mittel zum Anregen des Gases mit einer Frequenz zwischen etwa 5 kHz und etwa 10 MHz, bevorzugt zwischen etwa 400 kHz und etwa 500 kHz, insbesondere zwischen 430 kHz und 450 kHz.
  4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel zum Erzeugen einer Spannung von zwischen 30 kV und 100 kV.
  5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Hochfrequenznennleistung von etwa 3 W bis etwa 10 W, bevorzugt bis etwa 5 W, bei Betrieb der Vorrichtung.
  6. Vorrichtung insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Prüfen eines Gases unter Umwandlung des Gases in ein Plasma mittels Energiezufuhr durch ein hochfrequentes elektrisches Feld, gekennzeichnet durch Mittel zu Erzeugen unterschiedlicher Erregerfrequenzen.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch Mittel zum Aufmodulieren eines nieder- und/oder hochfrequenten Impulses auf eine Trägerfrequenz.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel dazu eingerichtet sind, eine Modulationsfrequenz zwischen 100 Hz und 50 kHz zu erzeugen, insbesondere zwischen 5 kHz und 50 kHz.
  9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie als Handgerät ausgebildet ist, vor allem in Pistolenform.
  10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Impulsteslatransformator mit etwa 10 bis 15 Windungen primärseitig und mit etwa 5000 bis 6000 Windungen sekundärseitig.
  11. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Prüfen der Gasart eines Gases.
  12. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10 zum Prüfen des Gasdrucks eines Gases.
  13. Verwendung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass eine Modulationsfrequenz nach der Gasresonanzfrequenz eines zu ermittelnden Gases festgelegt wird.
  14. Verwendung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass Gasart und/oder Gasdruck anhand von Farbe und/oder Helligkeit des Plasmas ermittelt werden.
  15. Verwendung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass ein Plasmaleuchten von einem Spektroskop erfasst wird und Daten über das Leuchten an eine Datenverarbeitungsanlage weitergegeben werden.
  16. Verwendung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein Plasmaleuchten von einem Helligkeitssensor erfasst wird und Daten über das Leuchten an eine Datenverarbeitungsanlage weitergegeben werden.
  17. Verwendung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasmaleuchten über ein Lichtleitkabel transportiert wird.
  18. Verwendung nach einem der Ansprüche 11 bis 17 zur Lecksuche, zur Vakuumprüfung oder zur Überprüfung einer Oberfläche auf Porenfreiheit.
  19. Verwendung nach einem der Ansprüche 11 bis 18 zur zerstörungsfreien Produktionskontrolle an einem geschlossenen Behältnis, insbesondere aus Glas.
  20. Verfahren zum Umrüsten einer Produktionsanlage, bei welchem eine Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10 installiert und bevorzugt gemäß einem der Ansprüche 11 bis 19 verwendet wird, wobei eine Taktfrequenz der Produktionsanlage erhalten bleibt oder erhöht wird.
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CN112986748A (zh) * 2021-01-27 2021-06-18 杭州长川科技股份有限公司 用于电子元器件AiP测试的测压装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010139300A1 (de) 2009-06-03 2010-12-09 Global Navigation Systems Gns - Gmbh Vorrichtung und verfahren zum bestimmen von gaseigenschaften in einem geschlossenen gefäss
DE102010004083A1 (de) 2009-06-03 2010-12-09 Global Navigation Systems Gns - Gmbh Vorrichtung zum zerstörungsfreien Bestimmen von Gaseigenschaften in einem geschlossenen Gefäß, zugehöriges Verfahren und Gefäß, welches mit dem Verfahren bearbeitet wurde
CN112986748A (zh) * 2021-01-27 2021-06-18 杭州长川科技股份有限公司 用于电子元器件AiP测试的测压装置

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