DE102006005393B4 - Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium - Google Patents

Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium Download PDF

Info

Publication number
DE102006005393B4
DE102006005393B4 DE102006005393.1A DE102006005393A DE102006005393B4 DE 102006005393 B4 DE102006005393 B4 DE 102006005393B4 DE 102006005393 A DE102006005393 A DE 102006005393A DE 102006005393 B4 DE102006005393 B4 DE 102006005393B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor unit
sensor
process variable
partially
medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102006005393.1A
Other languages
German (de)
Other versions
DE102006005393A1 (en
Inventor
Marcel Marxer
Jiri Holoubek
Dr. Polak Jiri
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Innovative Sensor Technology IST AG
Original Assignee
Innovative Sensor Technology IST AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=38282188&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=DE102006005393(B4) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Innovative Sensor Technology IST AG filed Critical Innovative Sensor Technology IST AG
Priority to DE102006005393.1A priority Critical patent/DE102006005393B4/en
Publication of DE102006005393A1 publication Critical patent/DE102006005393A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE102006005393B4 publication Critical patent/DE102006005393B4/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
    • G01D21/02—Measuring two or more variables by means not covered by a single other subclass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
    • G01F1/692—Thin-film arrangements

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums,wobei mindestens eine erste Sensoreinheit (1) und eine zweite Sensoreinheit (2) vorgesehen sind,wobei die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) auf einem Trägerelement (3) angeordnet sind,wobei mindestens die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) auf derselben Seite des Trägerelements (3) angeordnet sind,wobei die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) im Wesentlichen in parallel zueinander befindlichen Ebenen übereinander angeordnet sind,wobei mindestens eine Trennschicht (4) vorgesehen ist, welche zwischen der ersten Sensoreinheit (1) und der zweiten Sensoreinheit (2) angeordnet ist,wobei die erste Sensoreinheit (1) und/oder die zweite Sensoreinheit (2) mit einer planaren Technologie, insbesondere durch eine Dünnfilmtechnik und/oder eine Dickfilmtechnik und/oder eine Bedrucktechnik hergestellt sind/ist, dadurch gekennzeichnet,dass die erste Sensoreinheit (1) zumindest teilweise ein Temperatursensor (6) ist, wobei der Temperatursensor (6) ein Widerstandselement ist, dass die erste Sensoreinheit (1) zumindest teilweise ein Heizelement (5) ist, unddass die zweite Sensoreinheit (2) zumindest teilweise ein Feuchtesensor (7) ist.Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium, wherein at least a first sensor unit (1) and a second sensor unit (2) are provided, wherein the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) are mounted on a carrier element (3 ) are arranged,wherein at least the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) are arranged on the same side of the carrier element (3),wherein the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) are arranged substantially parallel to one another Levels are arranged one above the other, with at least one separating layer (4) being provided, which is arranged between the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2), the first sensor unit (1) and/or the second sensor unit (2) having a planar technology, in particular by a thin-film technique and/or a thick-film technique and/or a printing technique, characterized in that the first sensor unit (1) is at least partially a temperature sensor (6), the temperature sensor (6) being a resistance element is that the first sensor unit (1) is at least partly a heating element (5), and that the second sensor unit (2) is at least partly a humidity sensor (7).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums. Bei dem Medium handelt es sich beispielsweise um eine Flüssigkeit, ein Gas, ein Schüttgut oder um eine Mischung daraus. Bei der Prozessgröße handelt es sich beispielsweise um die Feuchtigkeit, die Temperatur, die Dichte oder die Strömung des Mediums. Das Medium durchströmt dabei beispielsweise ein Rohr oder es befindet sich in einem Behälter.The invention relates to a device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium. The medium is, for example, a liquid, a gas, a bulk material or a mixture thereof. The process variable is, for example, the humidity, the temperature, the density or the flow of the medium. The medium flows through a pipe, for example, or it is located in a container.

In der Prozess- und Automatisierungstechnik ist eine Reihe von Messgeräten zur Messung oder Überwachung einzelner Prozessgrößen bekannt und in der Anwendung. Die Messung der Prozessgrößen dient u.a. dazu, um Prozesse zu überwachen und zu steuern. Da die Messgeräte den eigentlichen Prozess möglichst nicht stören sollen, und auch um die Kosten der Geräte und der Installation der Geräte zu reduzieren, ist es vorteilhaft, wenn zum einen die Messgeräte möglichst klein ausgeführt werden, und wenn zum anderen mehrere Prozessgrößen mit einer Messstelle, d.h. mit einem Gerät gemessen werden.A number of measuring devices for measuring or monitoring individual process variables are known and in use in process and automation technology. The measurement of process variables is used, among other things, to monitor and control processes. Since the measuring devices should not disturb the actual process as far as possible, and also in order to reduce the costs of the devices and the installation of the devices, it is advantageous if, on the one hand, the measuring devices are designed as small as possible and, on the other hand, if several process variables are connected to one measuring point, i.e. measured with one device.

Aus den Druckschriften DE 103 05 694 A1 , DE 196 09 167 A1 , DE 197 01 798 A1 und US 6 647 777 B1 sind Vorrichtungen zur Bestimmung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums bekannt, wobei mindestens eine erste Sensoreinheit und eine zweite Sensoreinheit vorgesehen sind, wobei die erste Sensoreinheit und die zweite Sensoreinheit in parallel zueinander befindlichen Ebenen übereinander angeordnet sind.From the pamphlets DE 103 05 694 A1 , DE 196 09 167 A1 , DE 197 01 798 A1 and U.S. 6,647,777 B1 devices are known for determining at least one process variable of a medium, with at least a first sensor unit and a second sensor unit being provided, with the first sensor unit and the second sensor unit being arranged one above the other in parallel planes.

Die Druckschrift JP 2002 - 39 983 A offenbart eine Vorrichtung, bei der ein gedruckter Feuchtesensor mit einer Trennschicht von einer Heizelement-Schicht separiert ist, wobei sich die Schichten allesamt auf einem Trägerelement befinden.The pamphlet JP 2002 - 39 983 A discloses a device in which a printed humidity sensor is separated from a heating element layer by a separating layer, the layers all being on a carrier element.

Die Druckschriften DE 10 2004 038 988 B3 , DE 198 04 036 A1 und DE 101 52 777 A1 zeigen Vorrichtungen mit sowohl einem Temperatursensor als auch einem Feuchtesensor, welche durch Druckverfahren oder Dünnschichttechniken auf einem Substrat hergestellt werden.The pamphlets DE 10 2004 038 988 B3 , DE 198 04 036 A1 and DE 101 52 777 A1 show devices with both a temperature sensor and a humidity sensor, which are produced by printing methods or thin-film techniques on a substrate.

Daher besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein Messgerät vorzuschlagen, das möglichst platzsparend und kostengünstig ausgestaltet ist.The object of the invention is therefore to propose a measuring device that is designed to be as space-saving and cost-effective as possible.

Die Erfindung löst die Aufgabe durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen vermerkt.The invention solves the problem with a device according to claim 1. Advantageous configurations are noted in the dependent claims.

Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

  • 1: einen Schnitt durch eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Messgerätes einer ersten Ausgestaltung, und
  • 2: einen Schnitt durch eine weitere Ausgestaltung.
The invention is explained in more detail with reference to the following drawings. It shows:
  • 1 : a section through a schematic representation of a measuring device according to the invention in a first embodiment, and
  • 2 : a section through another embodiment.

In der 1 ist der prinzipielle Aufbau eines erfindungsgemäßen Messgerätes dargestellt. Auf einem Trägerelement oder einer Trägerschicht 3 befindet sich die erste Sensoreinheit 1, durch welche beispielsweise die Temperatur eines Mediums messbar ist. Oberhalb der ersten Sensoreinheit 1 ist hier eine Zwischenschicht 4 vorgesehen, welche beispielsweise die beiden Sensoreinheiten 1, 2 elektrisch voneinander isoliert. Die zweite Sensoreinheit dient beispielsweise der Feuchtigkeitsmessung. Sind beide Sensoreinheiten 1, 2 und ggf. auch die Zwischenschicht 4 mit einer planaren Technik (Dünnfilmtechnik, Dickfilmtechnik oder auch Bedruckung oder Ätztechnik) erzeugt, so ergibt sich ein Messgerät, welches die Messung von zwei Prozessgrößen erlaubt, und welches gleichzeitig ein sehr geringes Volumen aufweist. Wie zu sehen, befinden sich beide Sensoreinheiten 1, 2 in zwei Ebenen, die im Wesentlichen parallel zueinander liegen.In the 1 the basic structure of a measuring device according to the invention is shown. The first sensor unit 1, through which the temperature of a medium can be measured, for example, is located on a carrier element or a carrier layer 3. An intermediate layer 4 is provided here above the first sensor unit 1, which, for example, electrically insulates the two sensor units 1, 2 from one another. The second sensor unit is used, for example, to measure moisture. If both sensor units 1, 2 and possibly also the intermediate layer 4 are produced using planar technology (thin film technology, thick film technology or also printing or etching technology), this results in a measuring device which allows the measurement of two process variables and which at the same time has a very small volume having. As can be seen, both sensor units 1, 2 are located in two planes which are essentially parallel to one another.

Die 2 zeigt eine weitere Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen Messgerätes. Hierbei handelt es sich bei der ersten, unteren Sensoreinheit 1 um einen Strömungssensor mit einem Heizelement 5 und einem Temperatursensor 6. Das Heizelement 5 befindet sich unterhalb des Feuchtesensors 7, welcher hier die zweite Sensoreinheit 2 bildet. In dieser Ausgestaltung weisen die beiden Sensoreinheiten 1, 2 unterschiedliche Abmessungen und Dimensionierungen auf. Überdies können auch unterschiedliche Aussparungen in den Sensoreinheiten 1, 2 vorgesehen sein, so dass besondere Effekte erzielt bzw. so dass andere Messeffekte nicht verhindert oder beeinträchtigt werden. In einer weiteren Ausgestaltung bilden die erste Sensoreinheit 1 und die zweite Sensoreinheit 2 zusammen ein Messgerät für eine Prozessgröße, beispielsweise den Massedurchfluss bilden.The 2 shows a further embodiment of a measuring device according to the invention. The first, lower sensor unit 1 is a flow sensor with a heating element 5 and a temperature sensor 6. The heating element 5 is located below the moisture sensor 7, which forms the second sensor unit 2 here. In this embodiment, the two sensor units 1, 2 have different dimensions and dimensions. Furthermore, different cutouts can also be provided in the sensor units 1, 2, so that special effects are achieved or so that other measuring effects are not prevented or impaired. In a further embodiment, the first sensor unit 1 and the second sensor unit 2 together form a measuring device for a process variable, for example the mass flow rate.

In den beiden Figuren 1 und 2 ist somit jeweils der Fall dargestellt, dass sich sowohl die erste Sensoreinheit 1, als auch die zweite Sensoreinheit 2 auf derselben Seite des Substrats 3, z.B. Glas oder Keramik, befinden.In the two figures 1 and 2 the case is thus shown in each case that both the first sensor unit 1 and the second sensor unit 2 are on the same side of the substrate 3, for example glass or ceramic.

BezugszeichenlisteReference List

11
Erste SensoreinheitFirst sensor unit
22
Zweite SensoreinheitSecond sensor unit
33
Trägerelementcarrier element
44
Trennschichtrelease layer
55
Heizelementheating element
66
Temperaturmesselementtemperature measuring element
77
Feuchtesensorhumidity sensor

Claims (4)

Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums, wobei mindestens eine erste Sensoreinheit (1) und eine zweite Sensoreinheit (2) vorgesehen sind, wobei die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) auf einem Trägerelement (3) angeordnet sind, wobei mindestens die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) auf derselben Seite des Trägerelements (3) angeordnet sind, wobei die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) im Wesentlichen in parallel zueinander befindlichen Ebenen übereinander angeordnet sind, wobei mindestens eine Trennschicht (4) vorgesehen ist, welche zwischen der ersten Sensoreinheit (1) und der zweiten Sensoreinheit (2) angeordnet ist, wobei die erste Sensoreinheit (1) und/oder die zweite Sensoreinheit (2) mit einer planaren Technologie, insbesondere durch eine Dünnfilmtechnik und/oder eine Dickfilmtechnik und/oder eine Bedrucktechnik hergestellt sind/ist, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Sensoreinheit (1) zumindest teilweise ein Temperatursensor (6) ist, wobei der Temperatursensor (6) ein Widerstandselement ist, dass die erste Sensoreinheit (1) zumindest teilweise ein Heizelement (5) ist, und dass die zweite Sensoreinheit (2) zumindest teilweise ein Feuchtesensor (7) ist.Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium, wherein at least a first sensor unit (1) and a second sensor unit (2) are provided, wherein the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) are mounted on a carrier element (3 ) are arranged, wherein at least the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) are arranged on the same side of the carrier element (3), wherein the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) are located essentially parallel to one another levels are arranged one above the other, with at least one separating layer (4) being provided, which is arranged between the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2), the first sensor unit (1) and/or the second sensor unit (2) having a planar technology, in particular by a thin-film technique and/or a thick-film technique and/or a printing technique, characterized in that the first sensor unit (1) is at least partially a temperature sensor (6), the temperature sensor (6) being a resistance element is that the first sensor unit (1) is at least partially a heating element (5), and that the second sensor unit (2) is at least partially a humidity sensor (7). Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) derartig ausgestaltet und aufeinander abgestimmt sind, dass die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) zusammen der Bestimmung und/oder Überwachung einer Prozessgröße dienen.device after claim 1 , wherein the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) are designed and coordinated with one another in such a way that the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) together serve to determine and/or monitor a process variable. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Sensoreinheit (1) und die zweite Sensoreinheit (2) zumindest zwei unterschiedliche Prozessgrößen messen.device after claim 1 , wherein the first sensor unit (1) and the second sensor unit (2) measure at least two different process variables. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Sensoreinheit (1) zumindest teilweise ein thermischer Strömungssensor ist.device after claim 1 , wherein the first sensor unit (1) is at least partially a thermal flow sensor.
DE102006005393.1A 2006-02-03 2006-02-03 Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium Active DE102006005393B4 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006005393.1A DE102006005393B4 (en) 2006-02-03 2006-02-03 Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102006005393.1A DE102006005393B4 (en) 2006-02-03 2006-02-03 Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102006005393A1 DE102006005393A1 (en) 2007-08-09
DE102006005393B4 true DE102006005393B4 (en) 2023-05-17

Family

ID=38282188

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006005393.1A Active DE102006005393B4 (en) 2006-02-03 2006-02-03 Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102006005393B4 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2058631A1 (en) * 2007-11-06 2009-05-13 C.R.F. Società Consortile per Azioni Miniaturized sensor device for determining the relative position of two elements mobile with respect to each other and sensing characteristic quantities of a fluid present between the two elements
DE202009017430U1 (en) * 2009-12-23 2011-05-05 Liebherr-Werk Ehingen Gmbh sensor
DE102010030442A1 (en) 2010-06-23 2011-12-29 Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co Kg Resistance temperature sensor
DE102017130950A1 (en) 2017-12-21 2019-06-27 Innovative Sensor Technology Ist Ag Thermal flow sensor for determining the temperature and flow rate of a flowing medium

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3638138A1 (en) 1986-11-08 1988-05-11 Bosch Gmbh Robert DEVICE FOR DETERMINING THE SIZE OF A FLOWING MEDIUM
DE4006085A1 (en) 1990-02-27 1991-08-29 Bosch Gmbh Robert Heated solid state gas flow sensor combining compsn. measurement - by integration of reacting layer and heating track on the same substrate using thick-thin film techniques
US5237867A (en) 1990-06-29 1993-08-24 Siemens Automotive L.P. Thin-film air flow sensor using temperature-biasing resistive element
DE19609167A1 (en) 1996-03-09 1997-09-18 Dieter Dr Ing Huhnke Thin-film multilayer sensor for quick measuring of gas temperatures and gas speeds also IR radiation
DE19701798A1 (en) 1997-01-20 1998-07-23 Biotechnolog Forschung Gmbh Electrochemical flow cell
DE19804036A1 (en) 1998-02-02 1999-08-12 Fraunhofer Ges Forschung Sensor system for detection of climatic measurement data in buildings e.g. for heating
JP2002039983A (en) 2000-07-21 2002-02-06 Denso Corp Humidity sensor
DE10152777A1 (en) 2001-10-29 2003-05-15 Hydac Electronic Gmbh Device and method for determining the quality of a medium, in particular a lubricant and / or coolant
US6647777B1 (en) 1997-10-15 2003-11-18 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Flow rate sensor, flow meter, and discharge rate control apparatus for liquid discharge machines
DE10305694A1 (en) 2002-12-20 2004-07-08 Heraeus Sensor Technology Gmbh Flow sensor element and its use
DE102004008148A1 (en) 2003-02-20 2004-09-02 Denso Corp., Kariya Sensor with membrane and method for producing the sensor
EP1491866A1 (en) 2002-03-20 2004-12-29 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Flow rate measuring method and flowmeter, flow rate measuring section package used for them and flow rate measuring unit using them, and piping leakage inspection device using flowmeter
DE102004038988B3 (en) 2004-08-10 2006-01-19 Siemens Ag Gas mass flow measurement system for various applications has substrate with ceramic particles in organic matrix holding heating elements with temperature sensors

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3638138A1 (en) 1986-11-08 1988-05-11 Bosch Gmbh Robert DEVICE FOR DETERMINING THE SIZE OF A FLOWING MEDIUM
DE4006085A1 (en) 1990-02-27 1991-08-29 Bosch Gmbh Robert Heated solid state gas flow sensor combining compsn. measurement - by integration of reacting layer and heating track on the same substrate using thick-thin film techniques
US5237867A (en) 1990-06-29 1993-08-24 Siemens Automotive L.P. Thin-film air flow sensor using temperature-biasing resistive element
DE19609167A1 (en) 1996-03-09 1997-09-18 Dieter Dr Ing Huhnke Thin-film multilayer sensor for quick measuring of gas temperatures and gas speeds also IR radiation
DE19701798A1 (en) 1997-01-20 1998-07-23 Biotechnolog Forschung Gmbh Electrochemical flow cell
US6647777B1 (en) 1997-10-15 2003-11-18 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Flow rate sensor, flow meter, and discharge rate control apparatus for liquid discharge machines
DE19804036A1 (en) 1998-02-02 1999-08-12 Fraunhofer Ges Forschung Sensor system for detection of climatic measurement data in buildings e.g. for heating
JP2002039983A (en) 2000-07-21 2002-02-06 Denso Corp Humidity sensor
DE10152777A1 (en) 2001-10-29 2003-05-15 Hydac Electronic Gmbh Device and method for determining the quality of a medium, in particular a lubricant and / or coolant
EP1491866A1 (en) 2002-03-20 2004-12-29 Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. Flow rate measuring method and flowmeter, flow rate measuring section package used for them and flow rate measuring unit using them, and piping leakage inspection device using flowmeter
DE10305694A1 (en) 2002-12-20 2004-07-08 Heraeus Sensor Technology Gmbh Flow sensor element and its use
DE102004008148A1 (en) 2003-02-20 2004-09-02 Denso Corp., Kariya Sensor with membrane and method for producing the sensor
DE102004038988B3 (en) 2004-08-10 2006-01-19 Siemens Ag Gas mass flow measurement system for various applications has substrate with ceramic particles in organic matrix holding heating elements with temperature sensors

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006005393A1 (en) 2007-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3720189C1 (en) Dew point sensor
EP2089696B1 (en) Method of manufacturing a sensor and corresponding sensor
DE102006005393B4 (en) Device for determining and/or monitoring at least one process variable of a medium
EP2130025A2 (en) Sensor element of a gas sensor
EP3327415B1 (en) Resistance thermometer
DE102008064360B3 (en) Arrangement of sensor elements for temperature measurement
DE102010040285A1 (en) Thermal flowmeter
EP2176724A2 (en) Apparatus for determining and/or monitoring a process variable
EP1466170B1 (en) Measuring assembly for determining a characteristic of a fluid
DE102006020113A1 (en) sensor
DE102010052905A1 (en) Sensor device for measuring a direction of flow and evaluation for it
DE102004038988B3 (en) Gas mass flow measurement system for various applications has substrate with ceramic particles in organic matrix holding heating elements with temperature sensors
EP3769062B1 (en) Sensor element for measuring pressure and temperature
DE102013101403B4 (en) Sensor for determining a process variable of a medium and method for manufacturing the sensor
EP3631354B1 (en) Multi-grid strain gauge and metal strip having such a strain gauge
DE102011109461A1 (en) Pressure and temperature measuring device
DE102007035997A1 (en) Device for determining and / or monitoring a process variable
DE102005061703A1 (en) Device for determining and / or monitoring a process variable and method for producing a corresponding sensor unit
DE19601077C2 (en) Force sensor
DE102019124236A1 (en) Sound measuring device with an acoustic MEMS sensor mounted on a circuit board
WO2005098382A1 (en) Temperature sensor and method for adjusting said type of temperature sensor
EP3415958B1 (en) Method for operating a sensor arrangement and appropriate sensor arrangement
DE102007050740A1 (en) High temperature sensor for exhaust system of motor vehicle, has terminal pad with nano-layer made of aluminum trioxide, and measuring resistor with connections that are connected in parallel connection with insulation resistor of pad
DE102017208048B3 (en) Micromechanical pressure sensor
DE102014108580A1 (en) Device for determining a measured variable and measuring arrangement for determining the flow

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
R012 Request for examination validly filed

Effective date: 20130111

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG, CH

Free format text: FORMER OWNER: INNOVATIVE SENSOR TECHNOLOGY IST AG, WATTWIL, CH

R082 Change of representative

Representative=s name: ANDRES, ANGELIKA, DE

R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R082 Change of representative

Representative=s name: KRATT-STUBENRAUCH, KAI, DR., DE

R082 Change of representative

Representative=s name: KRATT-STUBENRAUCH, KAI, DR., DE

R018 Grant decision by examination section/examining division
R026 Opposition filed against patent