DE102005062936A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Positionskorrektur - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur Positionskorrektur von mittels eines Förderelements (29, 29') transportierten scheibenförmigen Elementen (2, 3). Die Vorrichtung (1) weist mehrere Sensoren (25.1, ..., 25.8) zur Positionsbestimmung des Elements (2, 3) auf. Eine Korrektur der Position des Elements (2, 3) erfolgt durch eine Positioniereinrichtung (11), die eine Hebevorrichtung (18) aufweist. Während eines Transports des scheibenförmigen Elements (2, 3) werden Erfassungszeitpunkte bestimmt, zu denen eine Außenkontur des scheibenförmigen Elements (2, 3) jeweils in einen Erfassungsbereich eines Sensors (25.1, ..., 25.8) eindringt.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Positionskorrektur von mittels eines Förderelements transportierter scheibenförmiger Elemente.
  • In der Halbleiterindustrie kommt es beispielsweise bei der Produktion von Solarzellen vor, dass einzelne scheibenförmige Elemente zwischen aufeinander folgenden Produktionsschritten transportiert werden müssen. Dies kann insbesondere bei der Zuführung der scheibenförmigen Elemente zu einer einen bestimmten Prozess durchführenden Anlage der Fall sein. Die scheibenförmigen Elemente, beispielsweise sogenannte Wafer, können nach Anlieferung aus einer Kassette entnommen oder aus einem Stapel vereinzelt worden sein. Um die scheibenförmigen Elemente dem Prozess zuführen zu können, ist eine exakte Ausrichtung hinsichtlich des Abstandes, der Lage sowie der Orientierung auf einem Förderelement erforderlich. Insbesondere, wenn die scheibenförmigen Elemente aus einem Stapel vereinzelt auf dem Förderelement abgelegt werden oder von einem vorangegangenen Prozess kommen, kommt es zu Ungenauigkeiten bei der Ablage der scheibenförmigen Elemente. Eine solche Ungenauigkeit kann sowohl die Lage auf dem Förderelement als auch eine Verdrehung des scheibenförmigen Elements relativ zur Transportrichtung bedeuten.
  • Aus der DD 250 792 A1 ist es bereits bekannt, eine Ausrichtung von zufällig auf einem Schnurtrieb orientierten Halbleiterscheiben durchzuführen, ohne die Halbleiterscheiben an ihrer Oberseite bzw. ihrem Rand greifen zu müssen. Zur Zentrierung der Halbleiterscheiben über dem Schnurtrieb wird der Schnurtrieb abgesenkt und die Halbleiterscheibe von einer Haltevorrichtung gefasst. Die Haltevorrichtung ist mit zwei paarweise diametral zur Solllage der Halbleiterscheibe angeordneten Messsystemen gekoppelt. Während des Stillstands der Halbleiterscheibe im Bezug auf den eigentlichen Transport erfolgt eine Mittelung der Position bis die paarweise angeordneten Messsysteme eine korrekte Positionierung erkennen lassen. Es sind zusätzliche Messsysteme vorhanden, die einen nicht kreisförmigen Abschnitt der Halbleiterscheibe erkennen und eine Drehwinkelkorrektur erlauben. Nachdem eine vollständige Lage- und Drehwinkelkorrektur der Halbleiterscheibe durchgeführt wurde, wird die Halbleiterscheibe durch Anheben des Schnurtriebs wieder auf dem Schnurtrieb positioniert, woraufhin ein Weitertransport erfolgen kann. Ein Nachteil der beschriebenen automatischen Justiereinrichtung für Halbleiterscheiben ist es, dass zur Erfassung der genauen Lage und dementsprechend zur Berechnung der erforderlichen Korrektur der Position also des Winkels und der Lage die Halbleiterscheibe angehalten werden muss. Dies führt zu einem diskontinuierlichen Transportprozess, da ein Weitertransport von nachfolgenden Halbleiterscheiben zur Vermeidung von Kollisionen unterbunden werden muss.
  • Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zur automatischen Positionskorrektur zu schaffen, wobei eine Ermittlung der Position des scheibenförmigen Elements während des Transports durch ein Förderelement möglich ist.
  • Die Aufgabe wird durch die erfindungsgemäße Vorrichtung zur automatischen Positionskorrektur mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie das Verfahren zur automatischen Positionskorrektur nach Anspruch 10 gelöst.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur automatischen Positionskorrektur umfasst eine Hebevorrichtung zum Anheben eines scheibenförmigen Elements. Die scheibenförmigen Elemente werden mittels eines Förderelements transportiert. Es sind mehrere Sensoren zur Bestimmung der Position des scheibenförmigen Elements auf dem Förderelement sowie eine Positioniereinrichtung zur Positionierung der Hebevorrichtung vorhanden. Durch die Vorrichtung zur automatischen Positionskorrektur sind während des Transports des scheibenförmigen Elements Erfassungszeitpunkte bestimmbar, zu denen jeweils eine Außenkontur des scheibenförmigen Elements einen Erfassungsbereich je eines Sensors schneidet. Durch die Bestimmung der Erfassungszeitpunkte ist es möglich, ohne das Anhalten des Förderelements eine zeitliche Abfolge für das Auslösen mehrerer Sensoren zu ermitteln. Diese zeitliche Abfolge ist bei bekannter Transportgeschwindigkeit ein Maß für die relative Position des scheibenförmigen Elements bezüglich des Förderelements.
  • Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren wird also ein scheibenförmiges Element durch ein Förderelement transportiert. Mehrere Sensoren erfassen jeweils einen Erfassungszeitpunkt, wobei die Erfassungszeitpunkte den Zeitpunkt definieren, in dem eine Außenkontur des scheibenförmigen Elements einen Erfassungsbereich eines Sensors schneidet. Aus den Erfassungszeitpunkten wird anschließend die relative Position des scheibenförmigen Elements berechnet. Aufgrund der berechneten relativen Position des scheibenförmigen Elements findet anschließend eine Korrektur der Position des scheibenförmigen Elements statt. Die Korrektur der Position kann eine Lage- und Drehwinkelkorrektur auf dem Förderelement umfassen.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, dass während der Bestimmung der Position des scheibenförmigen Elements weder ein Absenken noch ein Anhalten der Transportvorrichtung erforderlich ist. Vielmehr wird gerade durch den Transport der scheibenförmigen Elemente über eine Mehrzahl von Sensoren hinweg eine zeitliche Abfolge der Erfassungszeitpunkte zur Auswertung herangezogen.
  • In den Unteransprüchen werden vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sowie der erfindungsgemäßen Vorrichtung ausgeführt.
  • Insbesondere ist es vorteilhaft, eine Auswertung der Erfassungszeitpunkte mehrerer Sensoren durch eine Signalverarbeitungseinheit durchzuführen. Dabei ist durch die Signalverarbeitungseinheit die Positionsabweichung des scheibenförmigen Elements berechenbar. Durch die Berechnung der Positionsabweichung des scheibenförmigen Elements von seiner Solllage werden unmittelbar durch die Signalverarbeitungseinheit Korrektursignale ausgegeben. Die Korrektursignale werden durch die Positioniereinrichtung umgesetzt und dementsprechend die relative Position des scheibenförmigen Elements hinsichtlich des Förderelements sowohl rotatorisch als auch translatorisch korrigiert. Eine translatorische Korrektur umfasst dabei sowohl eine Bewegung senkrecht zur Förderrichtung als auch in Förderrichtung.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, eine Hebevorrichtung in Transportrichtung nach den Erfassungsbereichen der Sensoren vorzusehen. Dadurch wird zunächst während des Überfahrens der Erfassungsbereiche der Sensoren durch die scheibenförmigen Elemente die relative Position der Elemente bestimmt. Das Anordnen der Hebevorrichtung in Transportrichtung nach den Sensoren hat den Vorteil, dass zunächst eine vollständige Berechnung der relativen Position sowie der erforderlichen Korrektur der Lage sowie des Drehwinkels möglich ist. Erst nachdem eine solche Berechnung abgeschlossen ist, wird das scheibenförmige Element angehoben und eine Lage- und Drehwinkelkorrektur automatisch durchgeführt. In diesem Zeitpunkt ist die Berechnung der erforderlichen Korrektur bereits abgeschlossen, so dass das Anheben und Wiederabsetzen durch die Hebevorrichtung auf eine minimale Zeit begrenzt ist.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, an der Hebevorrichtung eine Aufnahme vorzusehen, welche relativ zu dem Förderelement drehbar ist. Damit wird eine Integration aus einer Drehbewegung zur Drehwinkelkorrektur sowie dem Abheben des scheibenförmigen Elements von dem Förderelement erreicht.
  • Dies stellt eine wesentliche Vereinfachung gegenüber dem bekannten Stand der Technik dar, da das Absenken der gesamten Fördereinrichtung entfällt. Das Ausbilden einer anhebbaren Aufnahme, mit der gleichzeitig zu einer translatorischen Bewegung eine Drehbewegung erfolgen kann, ist einfach zu realisieren und bietet zudem den Vorteil, dass die automatische Lage- und Drehwinkelkorrektur nahezu an einer beliebigen Stelle der Transporteinrichtung der Vorrichtung angeordnet werden kann. Dabei ist es insbesondere vorteilhaft, die Aufnahme der Hebevorrichtung in einer zu einer Transportebene parallelen Ebene translatorisch bewegbar auszuführen. Eine solche translatorische Bewegung umfasst vorzugsweise eine Bewegung sowohl in Förderrichtung als auch senkrecht zur Förderrichtung. Die Bewegungsachsen müssen dabei nicht notwendigerweise exakt parallel bzw. senkrecht zur Transportrichtung orientiert sein. Vorzugsweise ist die Aufnahme der Hebevorrichtung in Transportrichtung sowie entgegengesetzt zur Transportrichtung bewegbar. Die Geschwindigkeit der Aufnahme in bzw. entgegengesetzt der Transportrichtung ist dabei vorzugsweise so einstellbar, dass sie sowohl größer als auch kleiner als die Transportgeschwindigkeit des Förderelements ist. Damit ist eine Korrektur der Position der scheibenförmigen Elemente in Richtung auf das zuvor bereits geförderte Element oder in Richtung auf das nachfolgend zu fördernde scheibenförmige Element durchführbar. Eine solche positive bzw. negative Geschwindigkeitskomponete in Transportrichtung erlaubt somit eine Korrektur der Abstände der scheibenförmigen Element auf dem Förderelement.
  • Eine besonders einfache Berechnung der relativen Position des scheibenförmigen Elements auf dem Förderelement ergibt sich, wenn die Sensorelemente auf einer gemeinsamen Geraden mit konstanten Abständen angeordnet sind. Eine solche Anordnung, insbesondere wenn die gemeinsame Gerade senkrecht zur Transportrichtung verläuft, erlaubt die Verwendung einfacher trigonometrischer Funktionen bei der Auswertung der einzelnen Erfassungszeitpunkte der Sensoren.
  • Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind Kontrollsensoren zur Kontrolle der durchgeführten Positionierung vorgesehen. Diese Kontrollsensoren sind in Transportrichtung nach der Hebevorrichtung angeordnet. Durch die Kontrollsensoren wird eine Überprüfung beispielsweise der seitlichen Lage des scheibenförmigen Elements durchgeführt.
  • Eine vorteilhafte Ausführung ergibt sich auch, wenn die Transportgeschwindigkeit der Förderelemente änderbar ist. Eine solche Änderung der Transportgeschwindigkeit des Förderelements hat den Vorteil, dass während der Positionskorrektur, solange also das scheibenförmige Element angehoben ist, das vorangegangene Element eine unterschiedlich lange Wegstrecke weitergefördert werden kann. Damit ist auch durch die Korrektur der Geschwindigkeit des Förderelements eine Korrektur der Abstände aufeinander folgender scheibenförmiger Elemente auf dem Förderelement möglich, ohne eine Anpassung der Hubzeit vorzunehmen.
  • Das Anheben des scheibenförmigen Elements durch die Hebevorrichtung hat den Vorteil, dass ein Absenken des Förderelements nicht erforderlich ist. Insbesondere für den Fall, dass als Förderelement ein Schnurtrieb verwendet wird, ist es möglich, den Schnurtrieb in einer Ebene anzuordnen und ein Versatz, wie er durch das Absenken entsteht, ist nicht erforderlich.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, dass während des Anhebens durch die Hebevorrichtung und während des Positionierens durch die Korrektur der Position der Aufnahme lediglich die Schwerkraft auf das scheibenförmige Element wirkt. Insbesondere im Falle von Wafern ist es erforderlich, die auf das Element wirkenden Kräfte gering zu halten. Aufgrund der spröden Struktur kommt es ansonsten zu vermehrtem Bruch während der Positionierung, wodurch die Ausschussquote steigt. Durch das Anheben mittels einer Aufnahme der Hebevorrichtung entgegen der Schwerkraft sind die einzigen wirkenden Kräfte durch das Eigengewicht eines Wafers bedingt. Um höhere Haltekräfte z.B. für höhere Korrekturgeschwindigkeiten zu realisieren, können ergänzend Vakuumsauger eingesetzt werden.
  • Zur Ermittlung der relativen Position des scheibenförmigen Elements wird zumindest eine Differenz von Erfassungszeitpunkten unterschiedlicher Sensoren berechnet. Insbesondere, wenn die scheibenförmigen Elemente an ihrer Außenkontur zumindest eine gerade Kante aufweisen, gibt die Berechnung der Differenz zwischen Erfassungszeitpunkten mehrerer Sensoren Aufschluss über die genaue Lage des scheibenförmigen Elements. Selbst bei einem runden Element kann jedoch eine außermittige Positionierung auf dem Förderelement auf diese Weise ermittelt werden.
  • Vorzugsweise wird zur Korrektur der Position des scheibenförmigen Elements sowohl eine Drehwinkelkorrektur als auch eine Lagekorrektur durchgeführt. Unter einer Lagekorrektur wird dabei eine Korrektur zumindest in seitlicher Richtung verstanden. Die Drehwinkelkorrektur wird vorzugsweise vor der Lagekorrektur abgeschlossen. Dies hat den Vorteil, dass während der Lagekorrektur bereits eine Kontrolle der seitlichen Lage erfolgen kann. Damit lässt sich die seitliche Lage des scheibenförmigen Elements nachkorrigieren ohne dass das Messergebnis durch eine Verdrehung eines beispielsweise nicht runden Elements verfälscht wird.
  • Hierbei ist es insbesondere vorteilhaft, bereits während einer Lagekorrektur mit einem zu der Transportrichtung senkrechten Bewegungsanteil durch Kontrollsensoren eine Erfassung der seitlichen Lage vorzunehmen. Hierzu ist zumindest ein Paar Kontrollsensoren angeordnet, mittels derer ein seitlicher Versatz des scheibenförmigen Elements detektierbar ist.
  • Die Korrektur des Abstandes aufeinander folgender scheibenförmiger Elemente durch Ändern der Transportgeschwindigkeit des Förderelements hat den Vorteil, dass eine translatorische Bewegung der Hebevorrichtung bzw. der Aufnahme der Hebevorrichtung in Transportrichtung nicht erforderlich ist. In dieser Dimension kann die Hebevorrichtung dann ortsfest angeordnet sein. Eine Reduzierung der Antriebstechnik der Positioniereinrichtung ist die Folge.
  • Im Gegensatz dazu hat eine Korrektur des Abstandes aufeinander folgender scheibenförmiger Elemente durch eine Bewegung der Aufnahme der Hebevorrichtung relativ zu dem Förderelement den Vorteil, dass das Förderelement mit konstanter Transportgeschwindigkeit bewegt werden kann. Das Bewegen des Förderelements mit konstanter Transportgeschwindigkeit erleichtert es beispielsweise, zusammen mit einer Vereinzelungseinrichtung die Übernahme der scheibenförmigen Elemente mit konstanten Abständen der scheibenförmigen Elemente vorzunehmen.
  • Eine weitere vorteilhafte Möglichkeit ist es, den Abstand zweier aufeinander folgender scheibenförmiger Elemente zu korrigieren, indem der Ablagezeitpunkt des Elements durch Absenken der Hebevorrichtung variiert wird. Durch Variieren des Ablagezeitpunkts wird ausgenutzt, dass während das scheibenförmige Element durch die Hebevorrichtung angehoben ist, ein Weitertransport durch das Förderelement erfolgt. Ist ein ausreichender Abstand bezüglich des vorangegangenen scheibenförmigen Elements erreicht, so wird das scheibenförmige Element durch Absenken der Hebevorrichtung auf dem Förderelement abgelegt. Das Förderelement kann dabei ebenfalls mit konstanter Transportgeschwindigkeit bewegt werden. Die relative Korrektur der Lage in bzw. entgegen der Transportrichtung erfolgt über die Bestimmung des Ablagezeitpunkts, so dass die Positioniereinrichtung ebenfalls lediglich aus zwei Antrieben, nämlich zur Drehung der Aufnahme sowie zur Korrektur eines seitlichen Versatzes bestehen muss.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren sowie die erfindungsgemäße Vorrichtung zur automatischen Positionskorrektur sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:
  • 1 ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Positionskorrektur in einer Seitenansicht;
  • 2 das Ausführungsbeispiel der 1 zur Positionskorrektur in einer Draufsicht;
  • 3 eine alternative Sensoranordnung im Ausschnitt III der 1;
  • 4 eine erste Illustration zur Erläuterung der Ermittlung der relativen Position eines scheibenförmigen Elements;
  • 5 eine zweite Illustration zur Erläuterung der Ermittlung der relativen Position eines scheibenförmigen Elements;
  • 6 eine dritte Illustration zur Erläuterung der Ermittlung der relativen Position eines scheibenförmigen Elements;
  • 7 eine vierte Illustration zur Erläuterung der Ermittlung der relativen Position eines scheibenförmigen Elements;
  • 8 eine vereinfachte Darstellung zur Erläuterung des Verfahrensablaufs; und
  • 9 eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit ausgesetztem Förderelement.
  • Eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 zur automatischen Positionskorrektur ist in der 1 dargestellt. Die 1 zeigt eine solche Vorrichtung in einer stark vereinfachten Darstellung.
  • In der Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 ist ein bereits positionskorrigiertes scheibenförmiges Element 2 sowie ein weiteres, noch hinsichtlich seiner Position zu korrigierendes vorzugsweise scheibenförmiges Element 3 zu erkennen. Scheibenförmige Elemente im Sinne der Erfindung können dabei alle Elemente sein, deren räumliche Ausdehnung im Wesentlichen zweidimensional ist, die also im Vergleich zu ihrer Grundfläche eine geringe Höhe aufweisen. Beispiele solcher Elemente sind Wafer oder Leiterplatten. Die Vorrichtung und das Verfahren sind auch auf solche Elemente anwendbar, die eine dreidimensionale Struktur aufweisen. Es muss lediglich die Grundfläche eine definierte, erfassbare Form besitzen. In der Darstellung der Figuren handelt es sich um ebene, flache Scheiben. Das scheibenförmige Element 3 wird in Pfeilrichtung auf einem Förderelement 29 liegend transportiert. Das Förderelement 29 läuft über erste Führungsrollen 4 und zweite Führungsrollen 5. In der Seitenansicht der 1 ist lediglich eine der ersten Führungsrollen 4 bzw. eine der zweiten Führungsrollen 5 erkennbar, wie es nachfolgend noch in der 2 verdeutlicht wird.
  • In dem dargestellten Ausführungsbeispiel der 1 handelt es sich bei den ersten Führungsrollen 4 und den zweiten Führungsrollen 5 um Laufrollen, welche ortsfest bezüglich eines Trägers 6 angeordnet sind. Um die Führungsrollen 4, 5 ortsfest bezüglich des Trägers 6 anzuordnen, sind sie mit ersten Stützen 7 bzw. zweiten Stützen 8 auf dem Träger 6 fixiert. Der Träger 6 kann beispielsweise eine Grundplatte einer Produktionsstrasse sein.
  • In den ersten Stützen 7 und den zweiten Stützen 8 ist eine erste Welle 9 bzw. eine zweite Welle 10 gelagert, die mit den ersten Führungsrollen 4 und den zweiten Führungsrollen 5 verbunden ist. Das stark vereinfachte Ausführungsbeispiel der 1 zeigt Führungsrollen 4, 5 welche lediglich Führungsaufgaben hinsichtlich des Förderelements 29 übernehmen. Das Förderelement 29 besteht dabei aus zwei parallel zueinander angeordneten Schnüren, welche durch die Führungsrollen 4, 5 lediglich eine Führung erfahren. Ebensogut ist es jedoch möglich, zumindest ein Paar der Führungsrollen 4,5 mit einem Antrieb zu versehen, so dass das Förderelement 29 durch das entsprechende Führungsrollenpaar angetrieben wird.
  • Zur Korrektur der relativen Position des scheibenförmigen Elements 3 auf dem Förderelement 29 ist eine Positioniereinrichtung 11 vorgesehen. Die Positioniereinrichtung 11 weist einen ersten Linearantrieb 12 und einen zweiten Linearantrieb 13 auf. Der erste Linearantrieb 12 und der zweite Linearantrieb 13 sind vorzugsweise aufeinander angeordnet. Die Bewegungsrichtung der beiden Linearantriebe 12, 13 stehen dabei vorzugsweise senkrecht übereinander. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ermöglicht der erste Linearantrieb 12 ein Verfahren einer Hebevorrichtung 18 in und entgegen der Transportrichtung des Förderelements 29. Der darüber angeordnete zweite Linearantrieb 13 weist eine dazu senkrechte Bewegungsrichtung auf, so dass eine seitliche Korrektur der Lage des scheibenförmigen Elements 3 auf dem Förderelement 29 durchgeführt werden kann.
  • Der erste Linearantrieb 12 weist zum Durchführen einer tanslatorischen Bewegung einen ersten Schlitten 14 auf, welcher über einen ersten Motor 15 verfahren werden kann. Dementsprechend weist auch der zweite, auf dem ersten Schlitten 14 angeordnete Linearantrieb 13 einen zweiten Schlitten 16 auf, welcher mit Hilfe eines zweiten Motors 17 translatorisch bewegt werden kann. Der erste Schlitten 14 ist hierzu im Eingriff mit einer ersten Laufschiene 29 angeordnet, wobei der erste Motor 15 so mit der Laufschiene 29 zusammenwirkt, dass der Schlitten 14 in Abhängigkeit von einem von einer Signalverarbeitungseinheit ausgegebenen Signal an den ersten Motor 15 entlang der Laufschiene 29 verschoben werden kann. Damit wird auch die Position des zweiten Schlittens 16 in und entgegengesetzt der Förderrichtung durch die Positionierung des ersten Schlittens 14 festgelegt. Auf dem ersten Schlitten 14 ist eine zweite Laufschiene 30 angeordnet. Die zweite Laufschiene 30 wirkt mit dem zweiten Schlitten 16 sowie dem zweiten Motor 17 entsprechend den vorstehenden Ausführungen zusammen. Der erste Linearantrieb 12 und der zweite Linearantrieb 13 sind beispielsweise als gleich aufgebaute Linearmotoren ausgeführt, in denen die Eigenschaften der Laufschienen und Motoren vereint sind. Senkrecht zur Zeichenebene ist somit eine Positionierung der Hebevorrichtung 18 mit Hilfe des zweiten Linearantriebs 13 möglich. Die Hebevorrichtung 18 ist damit parallel zu einer Transportebene 50 verschiebbar.
  • Die Hebevorrichtung 18 ist vorzugsweise in den zweiten Linearantrieb 13 integriert oder auf diesem montiert und ermöglicht es durch ein Ausfahren einer Stange 20 eine Aufnahme 19 in vertikaler Richtung zu verschieben. Mit einer Verschiebung der Aufnahme 19 in vertikaler Richtung kann ein scheibenförmiges Element 3, sofern es sich gegenüber der Aufnahme 19 befindet, von dem Förderelement 29 abgehoben werden. Um ein sanftes Anheben des scheibenförmigen Elements 3 vorzunehmen, sind an der Aufnahme 19 Auflageelemente 21.1, 21.2 vorgesehen. Die Auflageelemente 21.1, 21.2 sind vorzugsweise aus einem weichen Material, wobei es insbesondere wichtig ist, dass eventuelle Schmutzpartikel sich nicht an den Auflageelementen 21.1, 21.2 absetzen können. Um eine Vertikalbewegung der Stange 20 zu ermöglichen, ist es beispielsweise denkbar, in den zweiten Schlitten 16 eine pneumatische Hubeinrichtung zu integrieren, über die ein als Kolben in einem Zylinder ausgeführter Abschnitt der Stange 20 aufgehoben werden kann.
  • Der Verfahrweg der Stange 20 ist dabei so bemessen, dass die Aufnahme 19 über die Transportebene 50 des Förderelements 29 hinaus angehoben werden kann. In der Draufsicht der 2 wird nachfolgend noch erläutert, dass die seitlichen Ausmaße der Aufnahme 19 so bemessen sind, dass die Aufnahme 19 zwischen dem Förderelement 29 hindurch angehoben werden kann. Sofern das Förderelement im Bereich der Positionskorrektur ausgesetzt ist, kann die maximale Breite der Aufnahme 19 auch größer sein als der Abstand des Förderelements 29, 29'. Aufgrund der kreisförmigen Außengeometrie der Aufnahme 19 ist bereits vor dem Ende eines übergebenden ersten Förderelementabschnitts der Schwerpunkt des Elements 2 im Bereich der Aufnahme 19. Das Unterteilen des Förderelements in Teilabschnitte 129, 129' und 129'' und 129''' ist in der 9 dargestellt. Mit solchen unterschiedlichen Teilabschnitten des Förderelements lassen sich auch unterschiedliche Geschwindigkeiten im Einlaufbereich bzw. Auslaufbereich realisieren.
  • An den zweiten Stützen 8 sind Halterungen 23 angeordnet. Die Halterungen 23 sind über eine Traverse 24 miteinander verbunden. Auf der Traverse 24 ist eine Anzahl von Sensoren 25 entlang einer gemeinsamen Geraden 51, die senkrecht zu der Transportrichtung verläuft, angeordnet. Die Sensoren 25 können auch auf andere Weise fixiert werden. Beispielsweise können auch separate Haltewinkel auf dem Träger 2 montiert werden, was eine Nachrüstung bestehender Anlagen erleichtert. Die Sensoren 25 detektieren die Bewegung eines Gegenstands, welcher sich in Pfeilrichtung über die Sensoren 25 hinweg bewegt. Wird somit über den Sensoren 25 ein scheibenförmiges Element 3 in Pfeilrichtung durch das Förderelement 29 transportiert, so wird jeweils das Eindringen in einen Erfassungsbereich der Sensoren 25 für jeden Sensor individuell zeitlich erfasst. Der Erfassungsbereich der Sensoren ist möglichst klein, um eine große Erfassungsgenauigkeit zu ermöglichen. Dies wird nachfolgend noch unter Bezugnahme auf die 4 bis 6 ausführlich erläutert.
  • An den ersten Stützen 7 sind zweite Halterungen 26 vorgesehen. An den zweiten Halterungen 26 sind Ausleger 27 angeordnet, wobei auf den Auslegern 27 ein Paar Kontrollsensoren 28 angeordnet ist.
  • Als Sensoren 25 und Kontrollsensoren 28 können beispielsweise Fotoelemente eingesetzt werden. Dringt ein scheibenförmiges Element 3 durch den Transport in einen durch die sensitive Fläche eines solchen Sensors 25 vorgegebenen Erfassungsbereich ein, so wird die sensitive Fläche des Sensors 25 abgeschattet und ein Signal durch den Sensor 25 ausgegeben. Als Sensor kann dabei auch eine Lichtschranke eingesetzt werden. Eine solche Anordnung ist vergrößert in der 3 dargestellt und wird nachfolgend noch erläutert.
  • Um einen kleinen Erfassungsbereich zu erhalten, können vorteilhaft Lichtwellenleiter tastend oder als Einweglichtschranke eingesetzt werden, wodurch die Wiederholungsgenauigkeit erhöht wird. Wegen der immer gleichen Erfassungsrichtung ist ein hystereseähnliches Verhalten nicht zu erwarten.
  • Die 2 zeigt eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Vorrichtung 1. Es ist zu erkennen, dass das Förderelement aus zwei parallel zueinander angeordneten Schnüren besteht, welche in der Zeichnung mit dem Bezugszeichen 29 und 29' versehen sind. Die zu den Bauelementen der 1 parallel angeordneten Bauelemente sind in der 2 jeweils mit gestrichenen Bezugszeichen bezeichnet. Die scheibenförmigen Elemente, die der Übersichtlichkeit halber in der 2 nicht dargestellt sind, werden folglich durch ein Förderelement 29, 29' transportiert. In der 2 sind die einzelnen Sensoren 25.1 bis 25.8 einzeln dargestellt. Die Sensoren 25.1 bis 25.8 sind auf der Traverse 24 mit konstanten Abständen d angeordnet. Das Förderelement 29, 29' läuft dabei zwischen zwei benachbarten Sensoren 25.2 und 25.3 bzw. 25.6 und 25.7 hindurch und beeinflusst die Erfassung nicht. Die Kontrollsensoren 28, 28' sind auf den Auslegern 27 angeordnet. Der Abstand der Kontrollsensoren 28, 28' senkrecht zur Transportrichtung ist so bemessen, dass bei einem korrekt positionierten scheibenförmigen Element 3 gerade kein Signal durch die beiden Kontrollsensoren 28, 28' ausgeben wird. Dies bedeutet, dass der Erfassungsbereich der Kontrollsensoren 28, 28' gerade seitlich außerhalb zu einem zwischen den Kontrollsensoren 28, 28' hindurchtransportierten scheibenförmigen Element 2, 3 angeordnet ist.
  • Alternativ sind die beiden Kontrollsensoren 28, 28' so angeordnet, dass ihr Abstand geringfügig geringer ist als die seitliche Ausdehnung des Elements 3. Wie es nachfolgend noch erläutert wird, wird durch die Sensoren 25 bereits ein seitlicher Versatz des Elements 3 auf dem Förderelement 29, 29' erkannt. Nach Abschluss einer Drehwinkelkorrektur des Elements 3 wird im Bereich der Kontrollsensoren 28, 28' das Element 3 aufgrund des von den Sensoren 25 erkannten Versatzes in Richtung seiner korrekten mittigen Lage bewegt. Dabei wird es vor Erreichen seiner exakten mittigen Ausrichtung durch einen der Kontrollsensoren 28, 28' erfasst. Bei bekannter Geometrie des Elements 3 wird daraus berechnet, wieweit die seitliche Korrektur noch erfolgen muss, um schließlich das Element 3 in seiner korrekten Lage abzusetzen. Eine solche sogenannte "Touch-Probe" ermöglicht das Abbremsen der seitlichen Bewegung entlang einer frei wählbaren Rampe. Die kontrollierte Verzögerung resultiert in einer schonenden mechanischen Behandlung des Elements. Zudem wird der exakte Ablagepunkt nach dem Erfassen durch einen der Kontrollsensoren 28, 28' durch entsprechende Festlegung von Parametern der Steuerungssoftware eingestellt. Damit sind auch Korrekturen von etwa nicht exakt symmetrisch positionierten Kontrollsensoren 28, 28' möglich.
  • In dem dargestellten Ausführungsbeispiel, in dem die Kontrollsensoren 28, 28' unterhalb des Förderelements 29, 29' angeordnet sind und ihre Anordnung senkrecht zur Transportebene 50 verläuft, ist somit eine Nachkorrektur der seitlichen Lage eines scheibenförmigen Elements erforderlich, sofern einer der Kontrollsensoren 28, 28' beim Durchlaufen ein Signal abgibt.
  • Die Sensoren 25.1 bis 25.8 sind identisch mit den Sensoren 28, 28' aufgebaut. Die Sensoren 25.1 bis 25.8 sind auf der Traverse 24 ebenfalls unterhalb des Förderelements 29, 29' angeordnet. Die Traverse 24 verläuft senkrecht zur Transportrichtung und somit auch senkrecht zur Längenerstreckung des Förderelements 29, 29'.
  • Die Aufnahme 19 der Positioniereinrichtung 11 umfasst eine Drehscheibe 30, auf der die Auflageelemente 21.1 bis 21.3 angeordnet sind. Wie es durch die Pfeildarstellung angegeben ist, ist die Drehscheibe 30 drehbar bezüglich der Positioniereinrichtung 11 gelagert. Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die erste Laufschiene 29 parallel zur Transportrichtung angeordnet. Die zweite Laufschiene 30 ist dagegen senkrecht zur Transportrichtung angeordnet. Durch die Anordnung der Hebevorrichtung 18 auf den zweiten Linearantrieb 13 und des zweiten Linearantriebs 13 auf den ersten Linearantrieb 12 ist eine kombinierte Dreh- und Versetzbewegung eines angehobenen scheibenförmigen Elements 3 möglich.
  • In der 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel für einen Sensor 25' im Ausschnitt III der 1 dargestellt. Ein scheibenförmiges Element 3 wird in Pfeilrichtung durch das Förderelement 29 transportiert. Im Unterschied zu der 1 besteht der Sensor 25' aus einem ersten Sensorelement 31 und einem zweiten Sensorelement 32. Das erste Sensorelement 31 kann dabei beispielsweise einen Lichtquelle sowie eine benachbart angeordnete Fotodiode sein. Demgegenüber ist ein Reflektor 32 an der Traverse 24 fixiert. Als Transportebene 50 wird jeweils die durch die Kontaktlinien des Förderelements 29, 29' an dem scheibenförmigen Element 3 definierte Ebene bezeichnet. Durch die Sensoren 25 bzw. 25' ist ein Eindringen in den gestrichelt markierten Erfassungsbereich 34 detektierbar. In der 3 ist zum besseren Verständnis der Moment dargestellt, in dem das scheibenförmige Element 3 in den Erfassungsbereich 34 eindringt. Die vorstehenden Erläuterungen bezüglich der Sensoren 25 treffen sinngemäß auch auf die Kontrollsensoren 28, 28' zu.
  • Unter Verwendung der 4 bis 7 wird die Funktion der Vorrichtung zur automatischen Positionskorrektur sowie das entsprechende Verfahren erläutert. In der 4 ist ein bezüglich des Förderelements 29, 29' mittig angeordnetes scheibenförmiges Element 3 zu erkennen. Das scheibenförmige Element 3 wird in Pfeilrichtung durch das Förderelement 29, 29' transportiert. In der in der 4 dargestellten vereinfachten Draufsicht sind die Sensoren 25.1 bis 25.8 so angeordnet, dass ihr Erfassungsbereich mit der Lage der Sensoren 25.1 bis 25.8 in der Draufsicht zusammenfällt. Wird das scheibenförmige Element 3 in Richtung auf die Drehscheibe 3 hin durch das Förderelement 29, 29' transportiert, so dringt eine Vorderkante 35 der Außenkontur des scheibenförmigen Elements 3 gleichzeitig in die Erfassungsbereiche der Sensoren 25.3, 25.4, 25.5 und 25.6 ein. Die Sensoren 25.3 bis 25.6 geben somit zeitgleich bzw. nahezu zeitgleich ein Signal ab. Diese zeitgleich bzw. nahezu zeitgleich abgegebenen Signale werden als Erfassungszeitpunkte durch eine Signalverarbeitungseinheit, die in der 4 nicht dargestellt ist, erfasst und für die spätere Auswertung gespeichert. Die scheibenförmigen Elemente 3 sind näherungsweise quadratisch, aber an den Ecken der einzelnen Seitenkanten möglicherweise auch abgerundet. Diese abgerundeten Bereiche 36, 36' dringen während eines Weitertransports des scheibenförmigen Elements 3 durch das Förderelement 29, 29' in die Erfassungsbereiche der Sensoren 25.2 und 25.7 ein. Dabei ist jedoch bis zum Auslösen der Sensoren 25.2 und 25.7 seit dem Auslösen der Sensoren 25.3 bis 25.6 bereits eine gewisse Zeit- bzw. Wegdifferenz verstrichen. Die Sensoren 25.2 und 25.7 werden dagegen näherungsweise gleichzeitig ausgelöst und liefern gleiche jedoch im Verhältnis zu den Sensoren 25.3 bis 25.6 spätere Erfassungszeitpunkte. Diejenigen Zeitpunkte, zu denen die einzelnen Sensoren 25.1 bis 25.8 ausgelöst werden, werden als Erfassungszeitpunkte des jeweiligen Sensors bezeichnet. Die Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.2 und 25.7 sind identisch, liegen jedoch um eine bestimmte Zeitdifferenz nach den Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.3 bzw. 25.6. Aufgrund der identischen Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.3 bis 25.6 ist leicht erkennbar, dass die Vorderkante 35 parallel zu der Traverse 24 und somit senkrecht zu der Transportrichtung angeordnet ist. Daraus ergibt sich unmittelbar, dass eine Verdrehung des scheibenförmigen Elements 3 auf dem Förderelement 29, 29' nicht gegeben ist. Darüber hinaus lässt sich aus den nachfolgenden Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.2 und 25.7 ermitteln, dass auch ein seitlicher Versatz des scheibenförmigen Elements 3 nicht existiert.
  • Ein solcher seitlicher Versatz, ohne dass das scheibenförmige Element 3 verdreht auf dem Förderelement 29, 29' angeordnet ist, ist in der 5 dargestellt, Die Vorderkante 35 des scheibenförmigen Elements 3 löst diesmal gleichzeitig die Sensoren 25.2 bis 25.6 aus. Durch das gleichzeitige Auslösen der Sensoren 25.2 bis 25.6 wird wieder unmittelbar erkannt, dass die Vorderkante 35 parallel zur Traverse 24 orientiert ist. Dementsprechend kann eine Korrektur des Drehwinkels des scheibenförmigen Elements 3 bezüglich der Transportrichtung unterbleiben.
  • Das Sensorelement 25.7 wird dagegen später ausgelöst, so dass sich zwischen dem Erfassungszeitpunkt des Sensors 25.7 und den Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.2 bis 25.6 eine Differenz ergibt. Aufgrund der durch die Signalverarbeitungseinheit ermittelten Differenz zwischen den Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.2 bis 25.6 und des Erfassungszeitpunkts des Sensors 25.7 ergibt sich, dass durch die abgerundeten Bereiche 36, 36' die Sensoren 25.1 und 25.7 später ausgelöst werden als der Sensor 25.2. Daraus ergibt sich, dass das scheibenförmige Element 3 seitlich versetzt auf dem Förderelement 29, 29' angeordnet ist. Dementsprechend wird durch die Positioniereinrichtung 11 eine seitliche Korrektur der Lage des scheibenförmigen Elements 3 durchgeführt.
  • Das scheibenförmige Element 3 wird durch das Förderelement 29, 29' weiter in Transportrichtung gefördert, bis es über der Aufnahme 19 positioniert ist. Während einer weiteren Förderbewegung des Förderelements 29, 29' wird die Stange 20 angehoben und durch das Anheben der Aufnahme 29 das scheibenförmige Element 3 durch die Auflageelemente 21.1 bis 21.3 von dem Förderelement 29, 29' abgehoben. Der Transport des Förderelements 29, 29' erfolgt unterdessen weiter. In abgehobenem Zustand des scheibenförmigen Elements 3 wird eine Korrektur des seitlichen Versatzes des scheibenförmigen Elements 3 durchgeführt. Hierzu wird durch die Signalverarbeitungseinheit ein aus der realtiven Position zur Sollposition berechnetes Korrektursignal an den zweiten Motor 17 des zweiten Linearantriebs 13 ausgegeben. Damit wird der zweite Schlitten 16 entlang der zweiten Laufschiene 30 verschoben und somit der Versatz des scheibenförmigen Elements 3 in der 5 korrigiert. Nachdem der seitliche Versatz ausreichend korrigiert ist, wird die Aufnahme 19 wieder abgesenkt und so das scheibenförmige Element 3 wieder auf dem Förderelement 29, 29' abgelegt. Gleichzeitig ist eine Korrektur des Abstandes aufeinander folgender Elemente 2, 3 möglich. Dies wird z.B. durch eine Bewegung der Aufnahme 19 in oder entgegen der Förderrichtung erreicht.
  • Wie es bereits angedeutet wurde, können die Kontrollsensoren 28, 28' auch in einem Bereich angeordnet sein, in dem sich das scheibenförmige Element 3 befindet, während es durch die Aufnahme 19 angehoben ist. Damit lässt sich bereits während es Korrigierens des seitlichen Versatzes des scheibenförmigen Elements 3 eine Kontrolle der Positionierung durchführen. Statt der beschriebenen seitlichen Korrektur und anschließenden Kontrolle kann wiederum die ebenfalls bereits erläuterte Touch-Probe eingesetzt werden.
  • Der Übersichtlichkeit halber sind in den 4 bis 7 die Kontrollsensoren 28 nicht dargestellt.
  • In der 6 ist eine Situation dargestellt, in der das scheibenförmige Element 3 um exakt 45° verdreht und nicht versetzt ist. Dadurch dringt der abgerundete Bereich 36 zunächst etwa zeitgleich in den Erfassungsbereich der Sensoren 25.4 und 25.5 ein. Die Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.4 und 25.5 sind somit identisch. Zeitlich versetzt hierzu liegen die Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.3 und 25.6, die durch seitliche Kanten 37, 37' des Elements 3 ausgelöst werden. Es liegen allerdings keine Differenzen zwischen den Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.3 und 25.6 vor. Weiterhin werden später zeitgleich die Sensoren 25.2 und 25.7 ausgelöst, so dass deren Erfassungszeitpunkte wiederum eine Differenz zu den Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.3 und 25.6 aufweisen. Es liegen dagegen keine Differenzen zwischen den Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.2 und 25.7 vor.
  • Als zeitgleich werden Erfassungszeitpunkte aufgefasst, die innerhalb eines festlegbaren Intervalls liegen. Das Einstellen des Intervalls erlaubt so die Festlegung der Genauigkeit der erzielbaren Positionskorrektur.
  • Aus dieser Symmetrie wird die symmetrische Lage des scheibenförmigen Elements 3 berechnet. Hierzu werden jeweils die zeitlichen Differenzen der Erfassungszeitpunkte benachbarter Sensoren ermittelt. Werden zwei mittlere Sensoren 25, in dem dargestellten Ausführungsbeispiel die Sensoren 25.4 und 25.5, zeitgleich ausgelöst, so wird zunächst aufgrund der Vermutung der in der 6 dargestellten 45° Drehung des scheibenförmigen Elements 3 die weitere Berechnung durchgeführt. Aufgrund der Vermutung der 45° Drehung werden die Differenzen zwischen den jeweils äußeren Nachbarn der Sensoren 25.4 und 25.5 ermittelt. Es wird also die Differenz der Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.3 und 25.6 ermittelt. Sind die Sensoren 25.3 und 25.6 zeitgleich oder näherungsweise zeitgleich innerhalb des Intervalls ausgelöst worden, so ist die Differenz der Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.3 und 25.6 nahezu Null. Aufgrund der Auswertung der Differenzen der Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.4 und 25.5 sowie der Erfassungszeitpunkte 25.3 und 25.6 lässt sich somit die 45° Drehung des scheibenförmigen Elements 3 eindeutig bestimmen. Da weiterhin zuerst die beiden mittleren Sensoren 25.4 und 25.5 ausgelöst wurden, ergibt sich ferner, dass ein seitlicher Versatz des scheibenförmigen Elements 3 nicht vorliegt. Dementsprechend wird eine Drehwinkelkorrektur durchgeführt, sobald das scheibenförmige Element 3 durch das Förderelement 29, 29' über die Aufnahme 19 transportiert wurde und von dieser angehoben wurde. Zur Drehwinkelkorrektur wird die Stange 20, auf der die Aufnahme 19 angeordnet ist, durch eine nicht dargestellte Dreheinrichtung gedreht.
  • Sowohl zur Korrektur eines seitlichen Versatzes als auch zur Korrektur des Drehwinkels wird vorzugsweise aus der ermittelten Position des scheibenförmigen Elements 3 durch die Signalverarbeitungseinheit ein Steuersignal bestimmt und an die Positioniereinrichtung 11 zur Ansteuerung übermittelt.
  • In der 7 ist schließlich eine Lage dargestellt, in der das scheibenförmige Element 3 sowohl seitlich versetzt, als auch gegenüber seiner Sollposition verdreht ist. Durch das Fördern des scheibenförmigen Elements 3 durch das Förderelement 29, 29' wurde bereits durch den abgerundeten Bereich 36' des scheibenförmigen Elements 3 der Sensor 25.3 ausgelöst. Aufgrund der Auslösung eines einzelnen Elements 25.3 wird ein Auswertevorgang initialisiert. Die Initialisierung beruht dabei auf der Erkenntnis, dass bei einer Auslösung eines einzelnen Sensors eine beliebige Verdrehung und ein Versatz vorliegen und die Auswertung der Zeitdifferenzen ausgehend von diesem Sensor in Richtung der Mitte erfolgen muss. In dem dargestellten Beispiel heißt das, dass nach Auslösen eines links der Mitte des Förderelements 29, 29' angeordneten Sensors 25.3 eine Auswertung der Sensoren 25.4, 25.5 usw. erfolgen muss.
  • Bei der dargestellten Geometrie der scheibenförmigen Elemente (Quadrate mit abgerundeten Ecken) wird in der Situation der 7 der erste ermittelte Erfassungszeitpunkt des Sensors 25.3 verworfen. Die Lage der Vorderkante 35 des scheibenförmigen Elements 3 wird nachfolgend aufgrund der Erfassungszeitpunkte der Sensoren 25.4 bis 25.6 ermittelt. Der Winkel α, um den die Vorderkante 35 gegenüber seiner Solllage verdreht ist, wird dabei aus den Differenzen der Erfassungszeitpunkte benachbarter Sensoren 25.4 bis 25.7 ermittelt. Der Drehwinkel ergibt sich zu:
    Arctan (a:d)
  • Dabei ist a der Lauflängenunterschied, der sich aus der Differenz der Erfassungszeitpunkte der benachbarten Sensoren 25.4 und 25.5 beispielsweise ergibt. Der Lauflängenunterschied a errechnet sich zu: a = v·Δt d ist der Abstand benachbarter Sensoren, Δt die Differenz der Erfassungszeitpunkte unmittelbar benachbarter Sensoren und v die Transportgeschwindigkeit.
  • Zur Ermittlung der genauen Lage werden vorzugsweise mehrere benachbarte Sensoren ausgewertet. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Auswertung der Sensoren 25.4/25.5 sowie 25.5/25.6 und 25.6/25.7 möglich. Neben der Auswertung unmittelbar benachbarter Sensoren 25 ist es ebenso möglich, bei der Auswertung ausgehend von einem Sensor 25.4 den Erfassungszeitpunkt des unmittelbar benachbarten Sensors 25.5 sowie des übernächsten Sensors 25.6 und des weiteren Sensors 25.7 zu verwenden. Mit größerem Abstand der Sensoren 25 wird der ermittelte Winkel genauer.
  • Nach der Berechnung des Winkelfehlers der Vorderkante 35 wird durch die Signalverarbeitungseinheit ein Korrekturwert an die Positioniereinrichtung 11 ausgegeben.
  • Bei Kenntnis der Außengeometrie, also der Position der Vorderkante 35 und der abgerundeten Bereiche 36, 36' des scheibenförmigen Elements 3 kann ferner aus dem ersten Erfassungszeitpunkt, der durch den Sensor 25.3 ermittelt wurde sowie dem Winkelfehler der Vorderkante 35 die exakte seitliche Positionierung des scheibenförmigen Elements 3 berechnet werden. Somit lässt sich die relative Position und daraus die Lage- und Drehwinkelkorrektur allein aus den Erfassungszeitpunkten der Sensoren 25.1 bis 25.8 bestimmen. Die Erfassungszeitpunkte bzw. die Differenzen zwischen Erfassungszeitpunkten verschiedener Sensoren 25.1 bis 25.8 dienen dabei als Basis zur Bestimmung der relativen Position des scheibenförmigen Elements bezüglich des Förderelements 29, 29'. Die Bestimmung der relativen Position umfasst dabei auch den Abstand zu einem vorangegangen transportierten scheibenförmigen Element 2, wobei sich der Abstand mit Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 ebenfalls korrigieren lässt.
  • Hierzu ist es möglich, die Positioniereinrichtung 11 in Transportrichtung sowie entgegengesetzt zur Transportrichtung verfahrbar auszuführen, wie dies bei dem Ausführungsbeispiel nach 1 und 2 illustriert ist. Um den Abstand zu einem vorangegangenen scheibenförmigen Element 2 zu verringern, ist es dabei erforderlich, dass eine positive relative Geschwindigkeitskomponente der Aufnahme 19 bezüglich des Förderelements 29, 29' erreicht werden kann. Damit lässt sich, solange das scheibenförmige Element 3 auf der Aufnahme 19 angeordnet ist, die Aufnahme 19 in Transportrichtung schneller bewegen, als das Förderelement 29, 29'. Der Abstand zu dem vorangegangen transportierten Element 2 wird somit reduziert. Ist der Abstand weit genug reduziert, so wird das scheibenförmige Element 2 auf dem Förderelement 29, 29' wieder abgesetzt.
  • Eine Vergrößerung des Abstandes aufeinander folgender Elemente 2, 3 ist dementsprechend durch Verfahren der Aufnahme 19 mit einer negativen relativen Geschwindigkeitskomponente bezüglich des Förderelements 29, 29' möglich.
  • Eine Alternative zur Korrektur des Abstandes besteht darin, die Aufnahme 19 in Transportrichtung ortsfest zu dem Träger 6 zu machen. Bei einer ortsfesten Aufnahme 19 entfällt der erste Linearantrieb 12. Die Korrektur des Abstandes wird durch eine Anpassung der Geschwindigkeit des Förderelements 29, 29' durchgeführt, während das scheibenförmige Element 3 durch die Aufnahme 19 angehoben ist. Dabei ist vorzugsweise die Zeit, in der das scheibenförmige Element 3 angehoben ist, für jedes scheibenförmige Element 2, 3 unabhängig von der durchzuführenden Lage- und Drehwinkelkorrektur identisch. Damit werden sämtliche scheibenförmigen Elemente 2, 3 angehoben und auf dem Förderelement 29, 29' entgegen der Transportrichtung versetzt. Durch Bestimmung des Zeitpunkts, zu dem die Hebevorrichtung 18 wieder abgesenkt und damit das scheibenförmige Element 2, 3 auf dem Förderelement 29, 29' abgesetzt wird, lässt sich dabei der Versatz entgegen der Transportrichtung bestimmen. Voraussetzung zur Durchführung einer solchen Abstandskorrektur ist es lediglich, dass beim erstmaligen Auflegen der scheibenförmigen Elemente 2, 3 auf das Förderelement 29, 29' ein ausreichender Abstand zwischen den Elementen 2, 3 eingehalten wird, um den Versatz der scheibenförmigen Elemente 2, 3 während der Lage- und Drehwinkelkorrektur durch die Positioniereinrichtung 11 zu ermöglichen.
  • In dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Aufnahme 19 kreisförmig ausgeführt, wobei der Durchmesser der Aufnahme 19 kleiner ist als der Abstand zwischen den Schnüren des Förderelements 29, 29'. Der seitliche Abstand zwischen der Aufnahme 19 und den Schnüren des Förderelements 29, 29' bestimmt den seitlichen Versatz, der korrigierbar ist. Grenzen der Lagekorrektur ergeben sich aus dieser maximalen Verfahrmöglichkeit der Aufnahme 19 seitlich zu dem Förderelement 29, 29' sowie der Schwerpunktlage des zu korrigierenden scheibenförmigen Elements 3 bezüglich der Aufnahme 19. In dem Bewegungsbereich der Aufnahme 19 kann der Schnurtrieb auch ausgesetzt sein. Der Transport in Förderrichtung wird dann in dem ausgesetzten Bereich allein durch die Positioniereinrichtung 11 durchgeführt. Durch unterschiedliche Fördergeschwindigkeiten der Abschnitte des Schnurtriebs lassen sich die Abstände der Elemente 2, 3 vor und nach der Positionskorrektur ändern.
  • In der 8 ist noch einmal schematisch der Ablauf des Verfahrens erläutert. Zunächst wird in einem ersten Schritt 55 das scheibenförmige Element in Richtung auf die Sensoren 25.1 bis 25.8 hin transportiert. Bei Überstreichen der Sensoren 25.1 bis 25.8 wird das Eindringen des scheibenförmigen Elements 3 in die Erfassungsbereiche 34 der Sensoren 25.1 bis 25.8 zeitlich erfasst (Schritt 56). Aus den einzelnen Erfassungszeitpunkten werden Differenzen in Schritt 57 gebildet. Nachfolgend wird in Schritt 58 aus den ermittelten Differenzen der Erfassungszeitpunkte die Position des scheibenförmigen Elements 3 relativ zu dem Förderelement 29, 29' und der Abstand zu einem vorangegangenen scheibenförmigen Element 2 ermittelt.
  • Nachdem die relative Position des scheibenförmigen Elements 3 berechnet ist, erfolgt eine Korrektur des Drehwinkels sowie der Lage des scheibenförmigen Elements 3 auf dem Förderelement 29, 29'. Hierzu wird in Schritt 59 zunächst das scheibenförmige Element 3 angehoben und anschließend in Schritt 60 gedreht bzw. versetzt. Zum Versetzen werden die Linearantriebe 12, 13 mit entsprechenden Korrektursignalen von einer Signalverarbeitungseinheit beaufschlagt. Das Drehen erfolgt durch einen nicht dargestellten Antrieb, mit dem die Stange 20 und somit auch die Aufnahme 19, auf der das scheibenförmige Element 3 aufliegt, gedreht werden kann. Die Drehwinkelkorrektur ist vorzugsweise von der Lagekorrektur abgeschlossen.
  • Nachdem die Lagekorrektur bezüglich des weiterhin fördernden Förderelements 29, 29' durchgeführt wurde, wird durch Absenken der Aufnahme 19 das scheibenförmige Element 3 in seiner korrigierten Position wieder auf dem Förderelement 29, 29' abgesetzt. Sofern zur seitlichen Lagekorrektur keine Touch-Probe verwendet wird, wird anschließend eine Positionskontrolle durchgeführt, mit der durch die Kontrollsensoren 28, 28' die Ausrichtung in seitlicher Richtung des scheibenförmigen Elements 3 bezüglich des Förderelements 29, 29' überprüft wird. Bei der Überprüfung der seitlichen Lage der Ränder des scheibenförmigen Elements 3 fällt auch eine eventuelle Verdrehung des scheibenförmigen Elements 3 auf. Hierzu sind die Kontrollsensoren 28, 28' vorzugsweise unmittelbar außerhalb der äußeren Kontur des scheibenförmigen Elements 3 angeordnet, so dass bei einer Verdrehung des scheibenförmigen Elements 3 die Kontrollsensoren 28, 28' zeitlich versetzt zueinander auslösen.
  • Die vorangegangenen Ausführungen beziehen sich insbesondere auf Elemente in der beschriebenen quasiquadratischen Geometrie. Bei Verwendung von exakten Quadraten oder Rechtecken tritt jedoch der Fall auf, dass beim Transport eines Elements 2, 3 gegenüberliegende Seitenkanten des Elements im Bereich der Zwischenräume zwischen zwei benachbarten Sensoren 25.1 bis 25.8 transportiert werden. Ein Auslösen von Sensoren erfolgt somit lediglich durch die Vorderkante des jeweiligen Elements 2, 3, so dass eine exakte Erfassung der seitlichen Position, wie sie im beschriebenen Ausführungsbeispiel durch das Vorhandensein der abgerundeten Ecken erfolgt, nicht möglich ist. Die seitliche Korrektur erfolgt in einem solchen Fall mittels der bereits beschriebenen Touch-Probe. Ist es aufgrund einer nahezu mittigen Ausgangsposition des zu korrigierenden Elements nicht möglich, mittels der Sensoren 25.1 bis 25.8 eine Richtung zur Korrektur zu bestimmen, so kann beispielsweise durch die Aufnahme 19 zunächst ein seitlicher Versatz des Elements 2, 3 bewusst herbeigeführt werden, um anschließend mittels der Touch-Probe in bereits beschriebener Weise eine exakte Positionierung zu erreichen.
  • In Abhängigkeit von den räumlichen Gegebenheiten der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann es erforderlich sein, die einzelnen Sensoren 25 abweichend von der in dem einfachen Ausführungsbeispiel dargestellten linearen Anordnung anordnen zu müssen. Der Versatz der einzelnen Sensoren 25 in Transportrichtung kann bei der Berechnung des Drehwinkels mit einem entsprechenden Lauflängenanteil a' berücksichtigt werden. Ebenso ist eine Abweichung von den konstanten Abständen d auf andere festgelegte Abstände (d', d'', ...) zwischen den einzelnen Sensoren in seitlicher Richtung möglich. Dies wird bei der Berechnung des Drehwinkels berücksichtigt.
  • Die Erfindung ist nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt. Vielmehr sind auch Kombinationen einzelner Merkmale möglich ohne von dem zugrunde liegenden Erfindungsgedanken abzuweichen. Insbesondere sind auch andere Geometrien der Elemente 2, 3 möglich, solange die genauen Abmessungen bekannt sind.

Claims (20)

  1. Vorrichtung zur Positionskorrektur von mittels eines Förderelements (29, 29') transportierter scheibenförmiger Elemente (2, 3), wobei die Vorrichtung mehrere Sensoren (25.1, ..., 25.8) zur Positionsbestimmung des Elements (3) und eine Positioniereinrichtung (11) zur Positionierung einer Hebevorrichtung (18) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass während des Transports eines scheibenförmigen Elements (3) Erfassungszeitpunkte bestimmbar sind, zu denen eine Außenkontur des scheibenförmigen Elements (3) jeweils in einen Erfassungsbereich (34) eines Sensors (25.1, ..., 25.8) eindringt.
  2. Vorrichtung zur Positionskorrektur nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass durch eine Signalverarbeitungseinheit durch Auswertung der Erfassungszeitpunkte mehrerer Sensoren (25.1, ..., 25.8) eine Positionsabweichung des scheibenförmigen Elements (3) berechenbar ist.
  3. Vorrichtung zur Positionskorrektur nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Hebevorrichtung (18) in Transportrichtung nach den Erfassungsbereichen (34) der Sensoren (25.1, ..., 25.8) angeordnet ist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass eine Aufnahme (19) der Positioniereinrichtung (11) relativ zu dem Förderelement (29, 29') drehbar ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme (19) der Positioniereinrichtung (11) translatorisch in einer zu dem Förderelement (29, 29') parallelen Ebene bewegbar ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahme (19) der Positioniereinrichtung (11) (29') parallel zu einer Transportrichtung des Förderelements (29) relativ zu dem Förderelement (29, 29') mit einer positiven und einer negativen Geschwindigkeitskomponente bewegbar ist.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensoren (25.1, ..., 25.8) auf einer gemeinsamen Geraden (51) und/oder mit konstanten Abständen (d) angeordnet sind.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass Kontrollsensoren (28, 28') zur Kontrolle der durchgeführten Positionierung in Transportrichtung nach der Hebevorrichtung (18) angeordnet sind.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportgeschwindigkeit des Förderelements (29, 29') änderbar ist.
  10. Verfahren zur Positionskorrektur von mittels eines Förderelements (29, 29') transportierter scheibenförmiger Elemente (2, 3) mit folgenden Verfahrensschritten: – Transportieren eines scheibenförmigen Elements (3) durch das Förderelement (29, 29') – Erfassen von Erfassungszeitpunkten mehrerer Sensoren (25.1, ..., 25.8), zu denen eine Außenkontur (35, 36, 36') des scheibenförmigen Elements (3) jeweils in einen Erfassungsbereich (34) eines Sensors (25.1, ..., 25.8) eindringt – Ermitteln einer relativen Position des scheibenförmigen Elements (3) aus den Erfassungszeitpunkten – Korrigieren der Position des scheibenförmigen Elements (3).
  11. Verfahren zur Positionskorrektur nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das scheibenförmige Element (3) nach der Ermittlung der relativen Position durch eine Hebevorrichtung (18) von dem Förderelement (29, 29') angehoben wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Anheben durch eine Aufnahme (19) der Hebevorrichtung (18) entgegen der Schwerkraft erfolgt.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung der relativen Position zumindest eine Differenz von zwei Erfassungszeitpunkten berechnet wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass zur Korrektur der Position eine Drehwinkelkorrektur und eine Lagekorrektur durchgeführt wird und die Drehwinkelkorrektur vor der Lagekorrektur abgeschlossen ist.
  15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass während einer Lagekorrektur mit einem zu der Transportrichtung senkrechten Bewegungsanteil in der Transportebene eine Erfassung der seitlichen Position durch zumindest ein Paar Kontrollsensoren (28, 28') eine Positionskontrolle durchgeführt wird.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Erfassen eines Elements (2, 3) durch einen Kontrollsensor (28, 28') das Element (2, 3) zur Korrektur seines zeitlichen Versatzes eine einstellbare Wegstrecke seitlich verfahren wird.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die mehreren Sensoren (25.1, ..., 25.8) auf einer gemeinsamen, senkrecht zu der Transportrichtung verlaufenden Geraden (51) angeordnet sind und ein einzelner erster Erfassungszeitpunkt bei der Ermittlung der relativen Position unberücksichtigt bleibt.
  18. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass zur Korrektur eines Abstandes zweier aufeinander folgender Elemente (2, 3) eine Transportgeschwindigkeit des Förderelements (29, 29') geändert wird.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass zur Korrektur eines Abstands zweier aufeinander folgender Elemente (2, 3) eine Aufnahme (19) der Positioniereinrichtung (11) relativ zu dem Förderelement (29, 29') verfahren wird.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass zur Korrektur eines Abstands zweier aufeinanderfolgender Elemente (2, 3) ein Ablagezeitpunkt des Elements (3) bestimmt wird.
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