DE102005062130A1 - Abtastsystem zum Abtasten einer Objektoberfläche, insbesondere für eine Koordinaten-Meßmaschine - Google Patents

Abtastsystem zum Abtasten einer Objektoberfläche, insbesondere für eine Koordinaten-Meßmaschine Download PDF

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CA002634290A CA2634290A1 (en) 2005-12-23 2006-12-02 Scanning system for scanning an object surface, in particular for a coordinate measurement machine
JP2008546175A JP2009520955A (ja) 2005-12-23 2006-12-02 特に座標測定機に用いられる、物体の表面走査のための走査システム
AU2006334831A AU2006334831A1 (en) 2005-12-23 2006-12-02 Scanning system for scanning an object surface, in particular for a coordinate measurement machine
US12/086,527 US20100220369A1 (en) 2005-12-23 2006-12-02 Scanning System for Scanning an Object Surface, in Particular for a Coordinates Measurement Machine
AT06829248T ATE472089T1 (de) 2005-12-23 2006-12-02 Abtastsystem zum abtasten einer objektoberfläche, insbesondere für eine koordinaten-messmaschine
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE439568T1 (de) 2007-01-02 2009-08-15 Isis Sentronics Gmbh Positionserkennungssystem zur berührungslosen interferometrischen detektion der ortsposition eines zielobjektes und damit ausgestattetes abtastsystem
DE102007008361B3 (de) 2007-02-16 2008-04-03 Isis Sentronics Gmbh Abtastsensorsystem zum berührungslosen optischen Abtasten von Objektoberflächen
FR2979143B1 (fr) 2011-08-16 2016-03-25 Univ Joseph Fourier Dispositif optique d'analyse interferometrique de l'etat de surface interne d'un tube
CN104121872B (zh) 2013-04-26 2018-04-13 通用电气公司 表面粗糙度测量装置
EP2977715B1 (en) 2014-07-23 2017-12-06 Tesa Sa Probe holder for measuring system
PT3156760T (pt) * 2015-10-14 2019-10-11 Sturm Maschinen & Anlagenbau Gmbh Dispositivo sensor e método para a inspeção de superfície de um espaço oco cilíndrico
KR102499831B1 (ko) * 2016-05-23 2023-02-14 코닝 인코포레이티드 글라스 시트의 무중력 형상 예측 방법 및 무중력 형상 기반 글라스 시트 품질 관리 방법
CN114434442B (zh) * 2022-01-21 2024-06-25 新拓三维技术(深圳)有限公司 一种基于协作机器人的自动化检测方法及系统
CN115265359B (zh) * 2022-06-23 2024-07-30 宿州捷创模具有限公司 汽车钣金验收检具

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4585379A (en) * 1980-12-27 1986-04-29 Hitachi, Ltd. Precision positioning device
US4928030A (en) * 1988-09-30 1990-05-22 Rockwell International Corporation Piezoelectric actuator
JPH07167620A (ja) * 1993-12-13 1995-07-04 Nikon Corp レーザ測定方法および測定針
DE19640495C2 (de) * 1996-10-01 1999-12-16 Leica Microsystems Vorrichtung zur konfokalen Oberflächenvermessung
DE19819762A1 (de) * 1998-05-04 1999-11-25 Bosch Gmbh Robert Interferometrische Meßeinrichtung
US6539642B1 (en) * 1999-03-03 2003-04-01 Riken Probe type shape measuring sensor, and NC processing equipment and shape measuring method using the sensor
JP4262355B2 (ja) * 1999-05-14 2009-05-13 オリンパス株式会社 光イメージング装置
US6687010B1 (en) * 1999-09-09 2004-02-03 Olympus Corporation Rapid depth scanning optical imaging device
JP2001083077A (ja) * 1999-09-09 2001-03-30 Olympus Optical Co Ltd 光イメージング装置
DE19961684A1 (de) * 1999-12-21 2001-06-28 Philips Corp Intellectual Pty Aktuator mit einer Kugel und piezo-elektrischen Antrieben
DE10207186C1 (de) * 2002-02-21 2003-04-17 Alexander Knuettel Niederkohärenz-interferometrisches Gerät zur lichtoptischen Abtastung eines Objektes
DE10210750B4 (de) * 2002-03-12 2004-02-12 Precise Präzisionsspindeln GmbH Schnellfrequenzspindel
JP3908226B2 (ja) * 2004-02-04 2007-04-25 日本電産株式会社 スキャニング型レンジセンサ
DE102004012426A1 (de) * 2004-03-13 2005-09-29 Knüttel, Alexander, Dr. Niederkohärenz-interferometrisches Verfahren und Gerät zur lichtoptischen Abtastung von Oberflächen

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