DE102005057400A1 - Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005057400A1 DE102005057400A1 DE102005057400A DE102005057400A DE102005057400A1 DE 102005057400 A1 DE102005057400 A1 DE 102005057400A1 DE 102005057400 A DE102005057400 A DE 102005057400A DE 102005057400 A DE102005057400 A DE 102005057400A DE 102005057400 A1 DE102005057400 A1 DE 102005057400A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- semiconductor
- mold
- chip
- plastic
- circuit carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/561—Batch processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
- H01L23/3128—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation the substrate having spherical bumps for external connection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/93—Batch processes
- H01L24/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L24/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0556—Disposition
- H01L2224/0557—Disposition the external layer being disposed on a via connection of the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0556—Disposition
- H01L2224/05571—Disposition the external layer being disposed in a recess of the surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/05573—Single external layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/831—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
- H01L2224/83102—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus using surface energy, e.g. capillary forces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L2224/80 - H01L2224/90
- H01L2224/92—Specific sequence of method steps
- H01L2224/921—Connecting a surface with connectors of different types
- H01L2224/9212—Sequential connecting processes
- H01L2224/92122—Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector
- H01L2224/92125—Sequential connecting processes the first connecting process involving a bump connector the second connecting process involving a layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/0102—Calcium [Ca]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements (1) mit Kunststoffmasse (3). Dazu weist das Halbleiterbauelement (1) einen Halbleiterchip (4) mit Flipchipkontakten (5) auf seiner aktiven Oberseite (6) auf. Die Flipchipkontakte (5) werden auf Kontaktanschlussflächen (7) einer Verdrahtungsstruktur (8) auf einer Oberseite (9) eines Schaltungsträgers (10) angeordnet. Das Halbleiterbauelement (1) weist eine Kunststoffmasse (3) auf, in der die Flipchipkontakte (5) und die Halbleiterchips (4) eingebettet werden, wobei der Zwischenraum (11) zwischen der Oberseite (6) des Halbleiterchips (4) und der Oberseite (9) des Schaltungsträgers (10) mit der gleichen Kunststoffmasse (3) aufgefüllt wird, in welche die Randseiten (12, 13) und die Rückseite (14) des Halbleiterchips (4) eingebettet sind. Die Kunststoffmasse (3) ist homogen und identisch zusammengesetzt und bildet ein lunkerfreies und kompaktes Gehäusevolumen (15).
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse. Dabei weist das Halbleiterbauelement einen Halbleiterchip mit Flipchipkontakten auf seiner aktiven Oberseite aufweist und die Flipchipkontakte werden auf Kontaktanschlussflächen einer Verdrahtungsstruktur auf einer Oberseite eines Schaltungsträgers angeordnet.
- Beim Herstellen derartiger Halbleiterbauelemente besteht das Problem, dass der Zwischenraum zwischen der Oberseite eines Schaltungsträgers und der Oberseite der Halbleiterchips in Abhängigkeit von den Abmessungen der Flipchipkontakte und in Abhängigkeit von der Anzahl der Flipchipkontakte derart komplex ist, dass dieser Zwischenraum nicht mit einer Standard-Gehäusemasse beim Spritzgussverfahren zuverlässig aufgefüllt werden kann. Vielmehr wird in einem getrennten Präparationsschritt mittels Kapillarwirkung der Zwischenraum zwischen den beiden Oberseiten durch ein Dispens-Verfahren mit Unterfüllmaterial aufgefüllt. Dieses ist ein serieller Prozess, der für jedes der Halbleiterbauelemente einzeln durchgeführt werden muss, bevor der Halbleiterchip auf dem Schaltungsträger in eine Kunststoffmasse eingebettet werden kann.
- Neben dem Dispens-Verfahren zum seriellen Einbringen eines Unterfüllmaterials in den Zwischenraum zwischen der Oberseite des Schaltungsträgers und der Oberseite des Halbleiterchips mit Flipchipkontakten ist auch ein sogenanntes "Transfer-Undermolden" möglich, bei dem jedoch das Abdichten des Mold werkzeugs kritisch ist und die Funktion der Halbleiterbauelemente durch Verschmutzung des Werkzeugs negativ beeinflusst werden kann. Darüber hinaus kann die Größe des Schaltungsträgers nicht voll genutzt werden, da für das Einbringen des Unterfüllmaterials zwischen der Oberfläche des Halbleiterchips und der Oberfläche des Schaltungsträgers zusätzliche Fläche auf dem Schaltungsträger reserviert werden muss.
- Auch die Materialauswahl ist beim Transfer-Untermolden wie beim Dispensen stark limitiert und auf entsprechende dünnflüssige Epoxidharze begrenzt. Derartige Epoxidharze sind aus der Druckschrift
JP 11263854 JP 11263854 - Die
4 bis6 zeigen die drei Hauptverfahrensschritte, die zur Herstellung derartiger Halbleiterbauelemente mit Kunststoffmasse und Halbleiterchips mit Flipchipkontakten in herkömmlicher Bauweise erforderlich sind. -
4 zeigt einen Schaltungsträger10 mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen17 , wobei in jeder der Halbleiterbauelementpositionen17 Halbleiterchips4 mit Flipchipkontakten5 auf Kontaktanschlussflächen7 der Oberseite9 des Schaltungsträgers10 angeordnet sind. Bevor diese Halbleiterchips4 mit ihren Flipchipkontakten5 auf dem Schaltungsträger10 in eine gemeinsame Kunststoffmasse eingebettet werden können, wird ein Unterfüllmaterial einzeln in die Zwischenräume11 zwischen der Oberseite6 der Halbleiterchips4 und der Oberseite9 des Schaltungsträgers10 eingebracht. Dadurch ist einerseits ein lunkerfreies Auffüllen des Zwischenraums11 gewährleistet und andererseits werden die relativ starren Flipchipkontakte5 derart gestützt, dass sie bei thermischer Belastung weder von ihren Kontaktanschlussflächen7 auf der Oberseite9 des Schaltungsträgers10 noch von ihren Kontaktflächen21 auf den Oberseiten6 der Halbleiterchips4 beim anschließenden Mold-Prozess und/oder bei thermischer Belastung abgerissen werden. -
5 zeigt den Schaltungsträger10 gemäß4 mit Halbleiterchips4 in Halbleiterbauelementpositionen17 , wobei der Zwischenraum11 zwischen dem Halbleiterchip4 und dem Schaltungsträger10 mit einem Unterfüllmaterial22 einzeln aufgefüllt ist. Dazu sind die Abstände a zwischen den Halbleiterchips4 groß genug gewählt, um entsprechende Werkzeuge zum Einbringen des Unterfüllmaterials22 in den Zwischenraum11 in jedem der Halbleiterbauelementpositionen17 auf dem Schaltungsträger10 anzuordnen. Erst nachdem jeder einzelne Halbleiterchip4 mit seinem Halbleitermaterial16 in den Halbleiterbauteilpositionen17 durch das Unterfüllmaterial sicher mit den Flipchipkontakten5 auf den Kontaktanschlussflächen7 auf der Oberseite9 des Schaltungsträgers10 verankert ist, kann dann in einem weiteren Verarbeitungsschritt eine Kunststoffmasse aufgebracht werden. -
6 zeigt den Schaltungsträger10 gemäß5 nach Einbetten der Halbleiterchips4 in eine Kunststoffmasse3 zu einer Verbundplatte19 . Diese Verbundplatte19 kann dann entlang der mit einer strichpunktierten Linie23 gekennzeichne ten Trennspuren in einzelne Halbleiterbauelemente2 aufgetrennt werden, wobei das Gehäusevolumen15 nachteilig zwei unterschiedliche Materialien in Form des Unterfüllmaterials22 und des Kunststoffgehäusematerials3 aufweist. - Die Herstellung derartige Halbleiterbauelemente ist aufgrund der erforderlichen Auffüllung des Zwischenraums
11 mit einem Unterfüllmaterial22 zeitaufwändig und entsprechend teuer. - Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugehen, das kostengünstig und zuverlässig und für eine Massenproduktion und Parallelfertigung geeignet ist.
- Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand der unabhängigen Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
- Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein Halbleiterbauelement mit Kunststoffmasse geschaffen, wobei das Halbleiterbauelement einen Halbleiterchip mit Flipchipkontakten auf seiner aktiven Oberseite aufweist. Die Flipchipkontakte sind ihrerseits auf Kontaktanschlussflächen einer Verdrahtungsstruktur auf einer Oberseite eines Schaltungsträgers angeordnet. Dabei weist das Halbleiterbauelement eine Kunststoffmasse auf, in der die Flipchipkontakte und der Halbleiterchip derart eingebettet sind, dass der Zwischenraum zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers mit der gleichen Kunststoffmasse aufgefüllt ist, in welche die Randseiten und die Rückseiten des Halbleiterchips eingebettet sind. Dazu ist die Kunststoffmasse identisch und homogen zusammengesetzt und weist ein lunkerfreies und kompaktes Gehäusevolumen auf.
- Das Problem der Lunker- und Blasenbildung tritt bisher in den Zwischenräumen zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers dann auf, wenn auf ein serielles Einbringen eines Unterfüllmaterials verzichtet wird, da der Zwischenraum aufgrund der dort angeordneten Flipchipkontakte komplex ist und mit der herkömmlichen Kunststoffmasse mit hohem Füllstoffgrad nicht zuverlässig aufgefüllt werden kann. Des Weiteren sind die herkömmlichen Kunststoffmassen mit Füllmaterialien, wie sie auch aus der oben zitierten Druckschrift zum Stand der Technik bekannt sind, nicht geeignet, um einen Ausgleich von thermischen Spannungen zwischen einem niedrigen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials und einem hohen Ausdehnungskoeffizienten der umgebenden Kunststoffmasse zu gewährleisten.
- Die Vorteile des Verfahrens zur Herstellung derartiger Halbleiterbauelements gegenüber bekannten Halbleiterbauelementen liegen auf der Hand, da auf ein Einbringen einer teuren Unterfüllmasse im Zwischenraum zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers zwischen den Flipchipkontakten bei dem erfindungsgemäßen Halbleiterbauelement verzichtet wird.
- In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Kunststoffmasse eine Kunststoffpaste, vorzugsweise eine Silikonpaste, auf. Derartige Pasten können vorteilhaft mit dem sog. Kompressionsmolden eingebracht werden, bei dem die Pasten zunächst beispielsweise auf einen Schaltungsträger in Form eines Nutzens mit einer Vielzahl von Halbleiterbauelementpositionen aufgebracht werden. Anschließend wird der Schaltungsträger in eine entsprechende evakuierbare Pressform eingebracht, in der unter mechanisch aufgebrachtem Pressdruck auf zwei Formhälften und unter gleichzeitiger Evakuierung der mit Kunststoffpaste bzw. Silikonpaste aufgefüllten Kavitäten der Pressform eine nahezu lunkerfreie Einbettung der Halbleiterchips in die Kunststoffmasse erreicht werden kann.
- Dazu weist die Kunststoffmasse aus einer Silikonpaste nach Aushärtung einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf, welcher dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials angepasst ist. Darüber hinaus weist die Kunststoffmasse vorzugsweise elektrisch nicht leitende Kohlenstoffpartikel, insbesondere elektrisch nicht leitende Kohlenstoffnanopartikel auf. Da Kohlenstoff in seinem Ausdehnungsverhalten dem Halbleiterchipmaterial nahekommt, bedeutet das Auffüllen der Kunststoffpaste für die Kunststoffmasse eine Anpassung des Ausdehnungsverhaltens der Kunststoffmasse an das Ausdehnungsverhalten des Halbleiterchips.
- In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung weist die Kunststoffmasse nicht leitende Keramikpartikel, vorzugsweise elektrisch nicht leitende Keramiknanopartikel als Füllstoff auf. Da derartige Keramikpartikel einen geringeren Ausdehnungskoeffizienten als die Kunststoffmasse aufweisen, wird insgesamt der Ausdehnungskoeffizient der Kunststoffmasse herabgesetzt und dem Ausdehnungskoeffizienten des Halbleitermaterials angenähert.
- Vorzugsweise ist dabei die Silikonpaste mit Nanopartikeln als Füllstoff vor ihrem Aushärten äußerst dünnflüssig und weist eine geringe Viskosität auf. Dieses hat den Vorteil, dass die Silikonpaste das Auffüllen des Zwischenraums zwischen der Oberseite des Halbleiterchips und der Oberseite des Schaltungsträgers beim Kompressionsmolden unterstützt.
- Ein Verfahren zur Herstellung von mehreren Halbleiterbauelementen mit in Kunststoffmasse eingebetteten Halbleiterchips mit Flipchipkontakten weist die nachfolgenden Verfahrensschritte auf. Zunächst wird ein Schaltungsträger mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen und Verdrahtungsstrukturen mit Kontaktanschlussflächen in den Halbleiterbauelementpositionen hergestellt. Dabei werden die Kontaktanschlussflächen derart angeordnet, dass sie der Anordnung der Flipchipkontakte auf den aktiven Oberseiten der Halbleiterchips entsprechen. Auf einen derartigen Schaltungsträger werden die Halbleiterchips mit ihren Flipchipkontakten auf die Kontaktanschlussflächen der Verdrahtungsstruktur unter Ausbilden von Zwischenräumen zwischen der Oberseite der Halbleiterchips und der Oberseite der Verdrahtungsstruktur aufgebracht.
- Die Erfindung kann mit jeder Kunststoffmasse, also mit Duroplasten und mit Thermoplasten durchgeführt werden. Vorzugsweise wird ein Reaktivharz wie Epoxydharz, insbesondere eine gefüllte Silikonpaste geringer Viskosität auf den Schaltungsträger unter Einbetten der Halbleiterchips aufgebracht. Danach wird der Schaltungsträger mit Halbleiterchips und Kunststoffmasse in eine vorgeheizte evakuierbare Pressform für ein Kompressionsmolden eingebracht. Diese Pressform wird unter Erzeugen eines Vakuums durch Evakuierung der Kavität der Pressform und unter Komprimieren der Kunststoffmasse und unter Austreiben von Lunkern und Gaseinschlüssen sowie unter Auffüllen der komplexen Zwischenräume bei fortschreitender Aushärtung der Kunststoffmasse geschlossen gehalten. Anschließend kann die Pressform geöffnet werden und eine Verbundplatte mit Schaltungsträger und mit in eine identisch zusammengesetzte homogene Kunststoffmasse eingebetteter Halbleiterchips und Flipchipkontakte entnommen werden. Schließ lich wird die Verbundplatte in einzelne Halbleiterbauelemente aufgetrennt.
- Dieses Verfahren hat den Vorteil, dass Pasten, insbesondere Silikonpasten verwendet werden können, die mit entsprechenden Füllstoffpartikeln dennoch eine geringe Viskosität und Dünnflüssigkeit aufweisen. Pasten mit hohem Füllstoffanteil von über 40 % können verwendet werden. Füllgrade von ca 80 % können noch funktionieren, ohne dass sich Lunker bilden. Ferner hat die Erfindung den Vorteil, dass eine größere Anzahl an Halbleiterchips auf einem Nutzen angeordnet werden kann, da kein Flächenbedarf für Werkzeuge für ein Einbringen von Unterfüllmaterial vorgesehen werden muss. Schließlich zeichnet sich dieses Verfahren durch parallele Fertigungsschritte aus. Hinzu kommt, dass das Material maximal genutzt wird, da die Pasten gleichmäßig auf den Schaltungsträger ohne Zulauftrichter und andere Hilfsmittel, die bei dem üblichen Spritzgießen erforderlich wären, verteilt wird. Schließlich besteht die Möglichkeit, das Vakuum vor dem endgültigen Schließen der Form zu überprüfen und nachzuregeln, bis die Kunststoffmasse die Form komplett ausfüllt. Ferner kann bei der Form auf Auswurfstifte und andere kostenintensive mechanische Vorrichtungen verzichtet werden.
- In einer bevorzugten Durchführung des Verfahrens weist die Pressform auf ihrer oberen Innenwand eine plastisch verformbare Folie auf, die sich bis in die Trennfuge der Pressform erstreckt und ein Abdichten der Formhälften beim Kompressionsmolden sichert. Außerdem ist es vorgesehen, dass das Auftrennen der Verbundplatte in Halbleiterbauelemente mittels Sägetechnik erfolgt. Diese Sägetechnik erfordert Sägeblätter, welche sowohl den Kunststoff als auch das Material der Schaltungsplatine durchtrennen können.
- In einer weiteren alternativen Durchführung des Auftrennens der Verbundplatte in einzelne Halbleiterbauelemente wird eine Laserablation eingesetzt. Diese Laserablation hat den Vorteil, dass eine Verschmutzung des Werkzeugs, wie bei Sägeblättern, nicht auftreten kann und somit eine hohe Anzahl an Halbleiterbauelementen fertiggestellt werden kann, ohne dass Werkzeugreinigungskosten anfallen. Schließlich ist es vorgesehen, dass entweder vor oder nach dem Auftrennen der Verbundplatte in einzelne Halbleiterbauelemente auf die Unterseite der Halbleiterbauelemente oberflächenmontierbare Außenkontakte auf frei zugänglichen Außenkontaktflächen aufgebracht werden. Um diese frei zugänglichen Außenkontaktflächen vor einem Beschichten mit Kunststoffmasse zu schützen, kann bei dem Kompressionsmolden auch die untere Pressformhälfte bzw. die untere Innenseite der Kavität, auf der der Schaltungsträger angeordnet wird, mit einer plastisch verformbaren Folie ausgekleidet sein, in die sich die Unterseite des Schaltungsträgers einprägt.
- Die Erfindung wird nun anhand der beigefügten Figuren näher erläutert.
-
1 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Schaltungsträger mit Halbleiterchips; -
2 zeigt eine schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger gemäß1 nach Einbetten der Halbleiterchips in eine Kunststoffmasse, -
3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch ein Halbleiterbauelement gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. -
4 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Schaltungsträger gemäß dem Stand der Technik mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen; -
5 zeigt einen schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger gemäß4 mit Halbleiterchips in den Halbleiterbauelementpositionen; -
6 zeigt einen schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger gemäß5 nach Einbetten der Halbleiterchips4 in eine Kunststoffmasse. -
1 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Schaltungsträger10 mit Halbleiterchips4 . Diese Halbleiterchips4 sind auf einer Verdrahtungsstruktur8 der Oberseite9 des Schaltungsträgers10 in Halbleiterbauelementpositionen17 angeordnet. Die Halbleiterchips4 weisen auf ihrer aktiven Oberseite6 Flipchipkontakte5 auf, die in den Halbleiterbauteilpositionen17 auf Kontaktanschlussflächen7 auf der Oberseite9 des Schaltungsträgers10 angeordnet sind. Durch die Flipchipkontakte5 entsteht nach dem Aufbringen der Halbleiterchips4 auf den Schaltungsträger10 ein Zwischenraum11 zwischen der Oberseite6 des Halbleiterchips4 und der Oberseite9 des Schaltungsträgers10 . Dieser Zwischenraum11 ist relativ komplex und sehr eng, was durch die Höhe der Flipchipkontakte5 bestimmt wird. - Für die Vorbereitung eines erfindungsgemäß vorgesehenen Kompressionsmoldens wird nun auf den Schaltungsträger
10 mit Halbleiterchips4 eine Kunststoffmasse aufgebracht, die anschließend in einer evakuierbaren Pressform die Kunststoffmasse mechanisch in ihre Endform presst und gleichzeitig durch die Evakuierung der Kavität der Pressform dafür sorgt, dass Blasenbildungen oder Lunkerbildungen insbesondere in dem engen Zwischenraum11 vermieden werden. -
2 zeigt einen schematischen Querschnitt durch den Schaltungsträger10 gemäß1 nach Einbetten der Halbleiterchips4 in eine Kunststoffmasse3 und nach Ausbilden einer Verbundplatte19 . Diese Kunststoffmasse3 ist vorzugsweise eine Silikonpaste mit geringer Viskosität und mit Füllstoffpartikeln, welche den thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Silikonpaste bzw. der ausgehärteten Silikonmasse dem Ausdehnungskoeffizienten des Halbleiterchips4 anpasst. Dazu weisen diese Füllstoffe elektrisch nicht leitende Keramikpartikel oder Kohlenstoffpartikel, insbesondere Nanopartikel auf. Der Schaltungsträger10 wird mit der aufgebrachten Kunststoffmasse3 von geringer Viskosität in die Pressform für ein Kompressionsmolden eingebracht. - Nach dem Kompressionsmolden ist der Zwischenraum
11 mit Kunststoffmasse3 aufgefüllt und die Rückseiten14 sowie die Randseiten12 und13 der Halbleiterchips4 sind in Kunststoffmasse3 eingebettet. Dabei kann die Pressform auf der oberen Innenwand ihrer Kavität eine plastisch verformbare Folie aufweisen, welche das Abdichten der Form unterstützt. Ferner kann auf der Unterseite eine plastisch verformbare Folie angeordnet sein, welche Außenkontaktflächen des Schaltungsträgers10 vor einem Benetzen durch die Kunststoffmasse3 während des Kompressionsmoldens schützt. - Beim Kompressionsmolden wird gleichzeitig das Vakuum überprüft, um sicherzustellen, dass alle Blasen und Lunker entfernt werden, bevor die Kunststoffmasse ausgehärtet ist. Die Verbundplatte
19 wird nach dem Aushärten der Silikonmasse aus der Form entnommen und in einzelne Halbleiterbauelemente1 entlang der strichpunktierten Linien23 getrennt. Dabei kann der Zwischenraum zwischen benachbarten Halbleiterchips gegenüber dem Verfahren nach dem Stand der Technik weiter reduziert werden, da keine Werkzeuge zum seriellen Anbringen eines Unterfüllmaterials in den Zwischenraum11 zwischen der Oberseite6 der Halbleiterchips und der Oberseite9 des Schaltungsträgers erforderlich sind. -
3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch ein Halbleiterbauelement1 gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. In diesem Fall wurden auf entsprechende Außenkontaktflächen18 auf der Unterseite24 des Schaltungsträgers10 Außenkontakte20 in Form von Lotkugeln aufgebracht. Mit diesen aufgebrachten Lotkugeln kann das Halbleiterbauelement1 auf einer übergeordneten Schaltungsplatine oberflächenmontiert werden. -
- 1
- Halbleiterbauelement (1. Ausführungsform)
- 2
- Halbleiterbauelement (Stand der Technik)
- 3
- Kunststoffmasse
- 4
- Halbleiterchip
- 5
- Flipchipkontakt
- 6
- aktive Oberseite
- 7
- Kontaktanschlussfläche
- 8
- Verdrahtungsstruktur
- 9
- Oberseite des Schaltungsträgers
- 10
- Schaltungsträger
- 11
- Zwischenraum
- 12
- Randseite des Halbleiterchips
- 13
- Randseite des Halbleiterchips
- 14
- Rückseite des Halbleiterchips
- 15
- Gehäusevolumen
- 16
- Halbleitermaterial
- 17
- Halbleiterbauteilposition
- 18
- Außenkontaktfläche
- 19
- Verbundplatte
- 20
- Außenkontakt
- 21
- Kontaktfläche
- 22
- Unterfüllmaterial
- 23
- strichpunktierte Linie
- 24
- Unterseite des Schaltungsträgers
- a
- Abstand
Claims (6)
- Verfahren zur Herstellung von mehreren Halbleiterbauelementen (
1 ) mit Kunststoffmasse (3 ), wobei die Halbleiterbauelemente (1 ) Halbleiterchips (4 ) mit Flipchipkontakten (5 ) aufweisen, und wobei das Verfahren folgende Verfahrensschritte aufweist: – Herstellen eines Schaltungsträgers (10 ) mit mehreren Halbleiterbauelementpositionen (17 ) und Verdrahtungsstrukturen (8 ) mit Kontaktanschlussflächen (7 ) in den Halbleiterbauelementpositionen (17 ), wobei die Kontaktanschlussflächen (7 ) derart angeordnet werden, dass sie der Anordnung der Flipchipkontakte (5 ) entsprechen; – Aufbringen der Halbleiterchips (4 ) mit ihren Flipchipkontakten (5 ) auf die Kontaktanschlussflächen (7 ) der Verdrahtungsstruktur (8 ) unter Ausbilden von Zwischenräumen (11 ) zwischen den Oberseiten (6 ) der Halbleiterchips (4 ) und der Verdrahtungsstruktur (8 ); – Aufbringen einer Kunststoffmasse auf den Schaltungsträger (10 ) unter Einbetten der Halbleiterchips (4 ); – Einbringen des Schaltungsträgers (10 ) mit der Kunststoffmasse in eine vorgeheizte evakuierbare Pressform zum Kompressionsmolden; – Schließen der Pressform unter Erzeugen eines Vakuums in der Kavität der Pressform und unter Komprimieren der Kunststoffmasse, unter Auffüllen von Zwischenräumen (11 ) bei fortschreitender Aushärtung der Kunststoffmasse, – Öffnen der Pressform und Entnehmen einer Verbundplatte (19 ) mit Schaltungsträger und mit in eine Kunststoffmasse (3 ) eingebetteten Halbleiterchips (4 ) und Flipchipkontakten (5 ); – Auftrennen der Verbundplatte (19 ) in einzelne Halbleiterbauelemente (1 ). - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuum in der Pressform beim Kompressionsmolden überwacht wird.
- Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Pressform auf ihrer oberen Innenwand eine plastisch verformbare Folie aufweist, die sich bis in die Trennfuge der Pressform erstreckt und eine Abdichtung der Formhälften beim Pressverfahren sichert.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass als Kunststoffmasse (
3 ) eine Silikonpaste eingesetzt wird. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Auftrennen der Verbundplatte (
19 ) in einzelne Halbleiterbauelemente (1 ) mittels Sägetechnik oder Laserablation erfolgt. - Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass vor oder nach dem Auftrennen der Verbundplatte (
19 ) in einzelne Halbleiterbauelemente (1 ) auf die Unterseite der Halbleiterbauelemente (1 ) oberflächenmontierbare Au ßenkontakte (20 ) auf frei zugänglichen Außenkontaktflächen (19 ) aufgebracht werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005057400A DE102005057400A1 (de) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005057400A DE102005057400A1 (de) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005057400A1 true DE102005057400A1 (de) | 2006-12-14 |
Family
ID=37440123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102005057400A Ceased DE102005057400A1 (de) | 2005-11-30 | 2005-11-30 | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102005057400A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008016665B4 (de) * | 2007-04-10 | 2010-11-11 | Infineon Technologies Ag | Verkapselungsverfahren und Vorrichtung |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11263854A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Unitika Ltd | 金属ラミネート用白色フィルム |
EP1189272A1 (de) * | 2000-03-17 | 2002-03-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Module mit eingebauten elektronischen elementen und ihre herstellung |
DE10137184A1 (de) * | 2001-07-31 | 2003-02-27 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit einem Kunststoffgehäuse und Verfahren zu seiner Herstellung |
US20040032013A1 (en) * | 2002-08-15 | 2004-02-19 | Cobbley Chad A. | Semiconductor dice packages employing at least one redistribution layer and methods of fabrication |
DE10250621B4 (de) * | 2002-10-30 | 2004-09-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Erzeugen verkapselter Chips und zum Erzeugen eines Stapels aus den verkapselten Chips |
EP1589797A2 (de) * | 2004-04-19 | 2005-10-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Herstellungsverfahren eines laminierten Substrats, und Herstellungsvorrichtung einer Halbleiteranordnung für ein Modul und darin angewendetes laminiertes Substrat |
-
2005
- 2005-11-30 DE DE102005057400A patent/DE102005057400A1/de not_active Ceased
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11263854A (ja) * | 1998-03-17 | 1999-09-28 | Unitika Ltd | 金属ラミネート用白色フィルム |
EP1189272A1 (de) * | 2000-03-17 | 2002-03-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Module mit eingebauten elektronischen elementen und ihre herstellung |
DE10137184A1 (de) * | 2001-07-31 | 2003-02-27 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit einem Kunststoffgehäuse und Verfahren zu seiner Herstellung |
US20040032013A1 (en) * | 2002-08-15 | 2004-02-19 | Cobbley Chad A. | Semiconductor dice packages employing at least one redistribution layer and methods of fabrication |
DE10250621B4 (de) * | 2002-10-30 | 2004-09-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Erzeugen verkapselter Chips und zum Erzeugen eines Stapels aus den verkapselten Chips |
EP1589797A2 (de) * | 2004-04-19 | 2005-10-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Herstellungsverfahren eines laminierten Substrats, und Herstellungsvorrichtung einer Halbleiteranordnung für ein Modul und darin angewendetes laminiertes Substrat |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008016665B4 (de) * | 2007-04-10 | 2010-11-11 | Infineon Technologies Ag | Verkapselungsverfahren und Vorrichtung |
US7915089B2 (en) | 2007-04-10 | 2011-03-29 | Infineon Technologies Ag | Encapsulation method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10213296B4 (de) | Elektronisches Bauteil mit einem Halbleiterchip, Verfahren zu seiner Herstellung und Verfahren zur Herstellung eines Nutzens | |
DE10355065B4 (de) | Verfahren zum Vergießen mit Harz sowie Harzmaterial für das Verfahren | |
DE102010038826B4 (de) | Leistungshalbleitervorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben | |
DE102006037538B4 (de) | Elektronisches Bauteil, elektronischer Bauteilstapel und Verfahren zu deren Herstellung sowie Verwendung einer Kügelchenplatziermaschine zur Durchführung eines Verfahrens zum Herstellen eines elektronischen Bauteils bzw. Bauteilstapels | |
DE112014000756B4 (de) | Halbleitervorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben | |
DE102018207955B4 (de) | Leiterplattenmodul mit integriertem leistungselektronischen Metall-Keramik-Modul sowie Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102006017116B4 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Gegenstands mittels Moldingtechnik insbesondere mittels eines Transfermoldingprozesses | |
DE102006005994A1 (de) | Halbleiterbauteil mit einem Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung derartiger Halbleiterbauteile | |
WO2016091992A1 (de) | Leiterplatte mit einem asymmetrischen Schichtenaufbau | |
DE102004021927B4 (de) | Verfahren zur inneren elektrischen Isolation eines Substrats für ein Leistungshalbleitermodul | |
DE10127009A1 (de) | Kunststoffgehäuse mit mehreren Halbleiterchips und einer Umverdrahtungsplatte sowie ein Verfahren zur Herstellung des Kunststoffgehäuses in einer Spritzgußform | |
DE10355068A1 (de) | Integriertes Schaltkreispackage mit vergrößerter Chip-Klebefläche | |
DE102013013842B4 (de) | Verfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Substraten sowie Metall-Keramik-Substrat | |
DE102013102908A1 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Halbleiter-Vorrichtung | |
DE102005057400A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauteils mit Kunststoffmasse | |
DE102005023949B4 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Nutzens aus einer Verbundplatte mit Halbleiterchips und einer Kunststoffgehäusemasse und ein Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauteilen mittels eines Nutzens | |
DE102012107399B4 (de) | Verfahren zum Herstellen von Metall-Keramik-Substraten sowie Metall-Keramik-Substrat | |
DE19908474A1 (de) | Verfahren zur Montage eines Halbleiterchips auf einer Tragschicht sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE102004040414A1 (de) | Verdrahtungssubstrat eines Halbleiterbauteils mit Außenkontaktanschlussflecken für Außenkontakte und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE10250911B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Umhüllung und/oder zumindest eines Teiles eines Gehäuses eines optoelektronischen Bauelements | |
DE10201204A1 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Schutzes für Chipkanten und Anordnung zum Schutz von Chipkanten | |
WO2024099704A1 (de) | Elektronikvorrichtung und verfahren zum herstellen einer elektronikvorrichtung | |
DE102021120935B4 (de) | Verfahren zum Formen eines Halbleiter-Leistungsmoduls | |
EP1466364B1 (de) | Nutzen für elektronische bauteile sowie verfahren zu dessen herstellung | |
DE102018132644B4 (de) | Mikroakustisches Gehäuse auf Waferebene und Herstellungsverfahren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAV | Applicant agreed to the publication of the unexamined application as to paragraph 31 lit. 2 z1 | ||
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |