DE102005054609A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Licht emittierenden Elementen mit organischen Verbindungen - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von Licht emittierenden Elementen mit organischen Verbindungen. Diese Elemente sind mit organischen Leuchtdioden versehen und Displays oder können auch Beleuchtungselemente mit solchen Leuchtdioden sein. Es ist Aufgabe der Erfindung, den Aufwand für die Herstellung bezüglich der Kosten des Zeitaufwandes zu reduzieren. Dabei werden in einer Vakuum-Durchlaufbeschichtungsanlage bereits vorbehandelte Substrate weiterbearbeitet. Auf einem solchen Substrat ist eine Elektrode ausgebildet, über der mindestens eine Schicht einer organischen Verbindung, die zur Emission von Licht geeignet ist, abgeschieden werden soll. Die Abscheidung soll mit unterschiedlichen Winkelverteilungen erfolgen. Dabei werden Schattenmasken eingesetzt. Die Anpassung der Winkelverteilung bei der Abscheidung kann durch Variation des Abstandes der Schattenmaske zum Substrat und/oder des Baisdruckes von Quellen für die Abscheidung der Deckelektrode und der organischen Schicht(en) erfolgen.
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