DE102005040117A1 - Piezoaktor mit innenliegender Kontaktierung - Google Patents

Piezoaktor mit innenliegender Kontaktierung Download PDF

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DE102005040117A1
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
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    • H10N30/872Connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. external electrodes
    • H10N30/874Connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. external electrodes embedded within piezoelectric or electrostrictive material, e.g. via connections

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  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Es wird ein Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils, vorgeschlagen, mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen eines Piezoelements, mit in Wirkrichtung zwischen den Piezolagen angeordneten Innenelektroden (2, 3), die alternierend mit einer positiven und einer negativen elektrischen Ladung beaufschlagbar sind. Es erfolgt eine wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden (2, 3) mit Kontaktelementen, bestehend aus jeweils einer Kernelektrode (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23; 28) und/oder weiteren Kontaktmitteln (9; 10; 16; 25), die in inneren Ausnehmungen oder Bohrungen (5, 6; 24) des Piezoaktors (1) liegen und dabei zumindest teilweise senkrecht zum Lagenaufbau nach außen geführt sind. Die weiteren Kontaktmittel bestehen aus an die Kernelektroden (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23) oder Anschlussstifte (28) elektrisch leitend fest angefügten metallischen Strukturen, die von der jeweiligen Kernelektrode oder Anschlussstift (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23; 28) ausgehen und großflächig an der jeweiligen Wand (12) der jeweiligen Bohrung (5, 6; 24) leitend angebracht sind.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor mit innenliegender Kontaktierung, beispielsweise für einen Piezoinjektor oder zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs.
  • Es ist an sich bekannt, dass zum Aufbau des zuvor erwähnten Piezoaktors ein Piezoelement so eingesetzt werden kann, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts eine Steuerung des Nadelhubes eines Ventils oder dergleichen vorgenommen werden kann, wobei das Piezoelement aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung erfolgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt.
  • Der Aufbau eines solchen Piezoaktors erfolgt beim Stand der Technik in mehreren Schichten als sogenannter Multilayer-Aktor, wobei Innenelektro den, über die die elektrische Spannung aufgebracht wird, jeweils in Wirkrichtung zwischen den Schichten angeordnet werden und jeweils außen oder innen kontaktiert werden.
  • Aus der DE 103 35 019 A1 ist ein solcher Piezoaktor bekannt, der einen Mehrschichtaufbau von Piezolagen eines Piezoelements mit in Wirkrichtung dazwischen angeordneten Innenelektroden aufweist, die alternierend mit einer positiven und einer negativen elektrischen Ladung beaufschlagbar sind. Die wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden mit Kontaktelementen erfolgt hier derart, dass diese Kontaktelemente jeweils in einer inneren Ausnehmung des Piezoelements liegen und dann mit den jeweiligen Innenelektroden in geeigneter Weise kontaktiert werden. Zum Beispiel kann dies durch ein entsprechendes Design der jeweiligen Innenelektroden erfolgen, die abhängig von der jeweiligen Polarität jeweils ein unterschiedliches Designmuster aufweisen, und dabei wechselseitig an die inneren Ausnehmungen herangeführt werden.
  • Zur äußeren Kontaktierung werden die innenliegenden Stifte dabei senkrecht zum Lagenaufbau nach außen geführt. Beim Piezoaktor nach dem Stand der Technik sind die Kontaktelemente dabei elektrisch leitende Stifte, die mit einem leitfähigen Stoff, z.B. ein Polymer, derart vergossen sind, dass die jeweilige Kontaktierung der Innenelektroden mit dem positiven und dem negativen Anschluss einer Spannungsquelle über die jeweils zugeordneten Stifte durchführbar ist.
  • Die Kontaktierung der Innenelektroden sollte dabei so beschaffen sein, dass sie im vorgegebenen Bauraum die durch den Hub des Piezoelements und durch Temperaturwechsel entstehende Dehnung aufnehmen kann. Es sollte dabei sichergestellt sein, dass die elektrische Kontaktierung der Innenelektroden über die Lebensdauer des Piezoaktors gegeben ist.
  • Aus der WO 00/79608 A1 ist ein weiterer Piezoaktor mit einer ausschließlich äußeren Kontaktierung der Innelektroden bekannt, bei der leitende Flächen auf jeweils einer Seitenfläche des Piezoelements angebracht sind, die mit den jeweiligen Innenelektroden kontaktiert sind und dabei jeweils eine netz-, sieb-, gewebeartige oder gewellte Außenelektrode auf der jeweiligen leitenden Fläche angeordnet ist. Diese Außenelektrode ist zumindest punktweise mit der leitenden Fläche kontaktiert, wobei zwischen den Kontaktierungen dehnbare Bereiche zu liegen kommen.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Der eingangs beschriebene Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen eines Piezoelements weist in Wirkrichtung zwischen den Piezolagen angeordnete Innenelektroden auf, die alternierend mit einer positiven und einer negativen elektrischen Ladung beaufschlagbar sind. Ferner wird, wie eingangs erwähnt, eine wechselseitigen Kontaktierung der Innenelektroden mit Kontaktelementen vorgenommen die in inneren Ausnehmung oder Bohrungen liegen. Erfindungsgemäß bestehen in vorteilhafter Weise die weiteren Kontaktmittel aus an Kernelektroden oder Anschlussstifte angefügte metallische Strukturen, die von der jeweiligen Kernelektrode oder dem Anschlussstift ausgehen und großflächig an die jeweilige Wand der jeweiligen Bohrung leitend angebracht sind.
  • Im allgemeinen ist die innenliegende elektrische Anbindung der Innenelektroden insbesondere bei der Verwendung in Einspritzsystemen für Kraftstoff, zum Beispiel Diesel, bei einem Kraftfahrzeug gegenüber der äußeren Kontaktierung vorteilhaft, da hier eine bessere Hochdruckabdichtung gegen den außen am Piezoaktor anliegenden Kraftstoffdruck ermöglicht wird. Die Anbringung der innenliegenden Kontaktelemente in die relativ kleinen und langen Bohrungen als Ausnehmungen, mit ca. 1 mm Durchmesser bei einer Länge von 50 mm bis 70 mm, gestaltete sich jedoch in der Regel recht schwierig, da es nicht möglich ist, einfach einen Draht in die Bohrungen einzulöten; dies könnte zu Rissen führen. Mit der Erfindung werden daher spezielle Geometrien als metallische Strukturen vorgeschlagen, die eine weitgehend ungehinderte Dehnung zulassen und dabei trotzdem eine sichere Kontaktierung gewährleisten. Gemäß einer ersten Ausführungsform sind die weiteren Kontaktmittel aus einer Siebelektrode gebildet, die sich netz- oder siebartigartig an die metallisierte Wand der jeweiligen Bohrung anfügt und es befindet sich zwischen der Siebelektrode und der Wand eine Lötverbindung. Für sich gesehen ist eine Anbringung von Siebelektroden an Außenflächen des Piezoaktors zwar bekannt, jedoch ergeben sich in der Kombination mit der geschützten inneren Kontaktierung weitere Vorteile, die die Lebensdauer und Funktionssicherheit des Piezoaktors noch erhöhen.
  • Vorzugsweise kann die Siebelektrode mit ihren jeweiligen Siebdrähten an die sich in der Bohrung erstreckende Kernelektrode nahezu über die ganze Länge angelötet, leitend angeklebt oder sonst wie mechanisch angefügt werden. Die Siebelektrode kann sich dabei zur Erhöhung der Flexibilität im Querschnitt wendelförmig von der Kernelektrode zur Wand erstrecken. Die Kernelektrode ist dabei in der Regel zylindrisch als Stift oder Draht ausgeführt, woran die Siebdrähte angelötet oder leitend angeklebt sind. Es ergeben sich jedoch auch herstellungstechnische Vorteile, wenn die Kernelektrode ein gefaltetes Blech ist, in das die Siebelektrode zum Beispiel eingeschweißt oder durch die Faltung eingeklemmt ist.
  • Nach einer anderen Ausführungsform der Erfindung sind die weiteren Kontaktmittel aus einem metallischen Stanz-Biegeteil hergestellt, das mit federnden Enden an die Wand der Bohrung andrückt, die dort leitend und fest mit der Wand verbunden sind. Hier kann eine kostengünstige Fertigungsmethode angewendet werden und es ist durch das Anfedern eine gute Lötbarkeit für eine feste Verbindung durchführbar.
  • Eine weitere Ausführungsform der Erfindung betrifft einen Piezoaktor, bei dem die weiteren Kontaktmittel aus einer Bürstenelektrode bestehen, die mit ihren Bürsten oder Fasern an die Wand der Bohrung andrückt, die dort lei tend und fest mit der Wand verbunden sind. Hier kann mit einem Anlöten der Bürstenenden ein sicherer elektrischer Kontakt ohne Verschleiß durch einen sog. Mikroschlupf erreicht werden. Auch bei den letztgenannten Ausführungsformen kann die Kernelektrode zylindrisch sein; es ist aber auch auf einfache Weise die Herstellung aus einem Blechteil möglich, an das ein Anschlussstift angefügt ist.
  • Vorteilhaft ist es außerdem, wenn gemäß der folgenden Ausführungsform die Siebelektrode mit ihren jeweiligen Siebdrähten sich aus der Bohrung einen vorgegebenen Bereich axial nach außen erstreckt und dort mittels einem in das innere der Siebelektrode in diesem Bereich anfügbaren Stift oder Draht kontaktierbar ist. Hier ist es dann möglich, dass der Bereich innerhalb der an der Wand anliegenden Siebelektrode mit einem Leitkleber oder einem Elastomer ausgefüllt ist. Es ergibt sich damit eine sichere Anpressung für die Lötung der Siebelektrode an die Wand der Bohrung durch den Elastomerkern und zusätzlich eine optimale Schwingungsdämpfung.
  • Vorzugsweise kann der mit einem Leitkleber oder einem Elastomer ausgefüllte Bereich auch noch mit Gasporen versehen werden, die einen optimalen Dehnungsausgleich gewährleisten.
  • Gemäß weiterer Varianten der Erfindung wird die Bohrung zur Aufnahme der Kontaktelemente als konisches Sackloch ausgeführt, so dass hier vor allem eine leichte Montage der Kontaktelemente in der Bohrung vorgenommen werden kann.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
  • 1 einen Längsschnitt durch einen Piezoaktor mit einem prinzipiellen geometrischen Aufbau nach dem Stand der Technik mit innenliegender Kontaktierung der Innenelektroden,
  • 2a einen Teillängsschnitt durch ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors mit innenliegender Kontaktierung, bei dem eine Kernelektrode über ein elektrisch leitendes Sieb die Kontaktierung bewirkt,
  • 2b einen Querschnitt des Ausführungsbeispiels nach der 2a,
  • 2c einen Detailschnitt der leitenden Anbringung des Siebes nach den 2a und 2b an den Wänden einer Bohrung zur Kontaktierung der Innenelektroden,
  • 3 einen Querschnitt durch ein gegenüber den 2a bis 2c abgeändertes Ausführungsbeispiel mit einem gefalteten Blech als Kernelektrode,
  • 4a eine Ansicht eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels eines Piezoaktors mit innenliegender Kontaktierung, bei dem eine Kernelektrode über ein metallisches Stanz-Biege-Teil mit federnden Enden die Kontaktierung bewirkt,
  • 4b einen Querschnitt des Ausführungsbeispiels nach der 4a,
  • 4c einen Detailschnitt der Kernelektrode nach den 4a und 4b mit einem Metallstreifen als Kernelektrode und einem Kontaktstift zum Anschluss der elektrischen Spannung,
  • 4d einen Detailschnitt einer gegenüber den 4a und 4b abgewandelten Kernelektrode aus einem zylindrischen Stift oder Draht,
  • 4e die federnden Enden des metallischen Stanz-Biege-Teils nach der 4a in gerader Ausführung,
  • 4f die federnden Enden des metallischen Stanz-Biege-Teils nach der 4a in einer Ausführung mit schrägem Anstellwinkel,
  • 5a einen Teillängsschnitt durch ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors mit innenliegender Kontaktierung, bei dem eine konische Bohrung zur Aufnahme der Kernelektrode mit den Kontaktierungsmittel für die Kontaktierung der Innelektroden vorhanden ist,
  • 5b einen Detailschnitt der Bohrung nach der 5a,
  • 6a einen Teillängsschnitt durch ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors mit innenliegender Kontaktierung, bei dem eine Bürstenelektrode als Kontaktierungsmittel für die Kontaktierung der Innelektroden angewendet ist,
  • 6b eine Detailansicht der Anlage der an der Wand der Bohrung angelöteten Bürsten der Bürstenelektrode nach der 6a,
  • 7a einen Teillängsschnitt durch ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Piezoaktors mit innenliegender Kontaktierung, bei dem ein leitendes mit einem leitenden Stoff ausgegossenes Sieb an der Wand der Bohrung angelötet ist und
  • 7b eine Detailansicht der Anlage des an der Wand der Bohrung angelöteten Siebes nach der 7a.
  • Ausführungsform(en) der Erfindung
  • In 1 ist ein als sogenannter Multilayer aufgebauter Piezoaktor 1 für einen Piezoinjektor nach dem Stand der Technik DE 103 35 019 A1 gezeigt, der ein Piezoelement aufweist, das aus Piezofolien eines Quarzmaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts, bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung an hier nur beispielhaft mit Bezugszeichen versehene Innenelektroden 2 und 3, eine mechanische Reaktion des Piezoaktors 1 in Wirkrichtung 4 erfolgt. Im Inneren des Piezoaktors 1 befinden sich zwei in Längsrichtung erstreckte Ausnehmungen bzw. Bohrungen 5 und 6, wobei die Innenelektroden 2 und 3 mit einem entsprechenden Oberflächendesign je nach Polarität an die linke Bohrung 5 oder an die rechte Bohrung 6 herangeführt sind.
  • In den Bohrungen 5 und 6 sind Kontaktelemente, hier runde Stifte als Kernelektroden 7 und 8 vorhanden, die in einem leitfähigen aber flexiblen Stoff 9, z.B. ein Polymer, durch Vergießen fest eingebettet sind. Die Kernelektroden 7 und 8 und der leitfähige Stoff 9 kontaktieren die Innenelektroden 2 und 3 nach außen, so dass mit der Anlage einer elektrischen Spannung an Kontaktbereiche (in der 1 unten angeordnet) der Kernelektroden 7 und 8 die zuvor beschriebene Wirkung hervorgerufen werden kann. Eine Anbringung der in der Regel metallischen Kernelektroden 7 und 8 ist beim Stand der Technik ebenso wie bei den erfindungsgemäßen Ausführungen notwendig, da die elektrische Leitfähigkeit nur des flexiblen Stoffes in der Regel nicht groß genug ist um den Gesamtstrom zur Ansteuerung der Innenelektroden 2 und 3 zu leiten.
  • Bei einem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel, das aus 2a, 2b und 2c zu entnehmen ist, wird die Kontaktierung der Innenelektroden 2 und 3, die sich in einem Abstand d gegenüberliegen, mit einem elektrisch leitenden Sieb 10 als Siebelektrode vorgenommen. Aus den 2a und 2b ist zu entnehmen, dass das Sieb 10 zunächst über eine Löt- oder eine leitende Klebverbindung 11 an der Kernelektrode 7 (bzw. an der hier nicht dargestellten Kernelektrode 8) befestigt ist und sich dann in Form einer Wendel zur Wand 12 der Bohrung 5 erstreckt. Die Kernelektroden 7 und 8 sind hier zylindrische Stifte oder ein Draht.
  • Aus der 2c ist noch im Detail zu entnehmen, wie die Siebelektrode 10 an der Wand 12 der Bohrung 5 vorzugsweise punktuell angelötet oder leitend angeklebt werden kann, wie es für eine entsprechende Anbringung an der Außenfläche eines Piezoaktors schon aus der eingangs erwähnten WO 00179608 A1 bekannt ist. Zwischen der Siebelektrode 10 und der Wand 12 befindet sich die Lötverbindung 11, die hier aus Punktverbindungen 11a und 11b besteht, so dass hier eine Wärmedehnung der einzelnen Drähten der Siebelektrode 10 zwischen den Punktverbindungen 11a und 11b möglich ist.
  • Zur besseren Kontaktierung kann die Wand 12 auch vor dem Einbringen der Siebelektrode 10 durch Einbrennen eines Belags aus einer AgPd-Paste oder einer anderen elektrisch leitfähigen Dichtschicht metallisiert sein um eine bessere Stromverteilung an der Innenseite der Bohrung 5, bzw. hier nicht dargestellt der Bohrung 6, zu gewährleisten.
  • 3 zeigt eine Alternative zur Kernelektrode 7 nach den 2a bis 2c mit einem gefalteten Blech 14 als Kernelektrode, an das die Siebelektrode 10 angeschweißt, eingeklemmt, gelötet oder geklebt werden kann. Hier ist auch noch eine nicht dargestellte alternative Kontaktierung aus der Bohrung 5 oder 6 nach außen möglich, bei der eine axial nach außen geführte Verlängerung der Siebelektrode 10 vorhanden ist, die dann mit einem Stift oder Draht kontaktiert werden kann.
  • 4a und 4b zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Piezoaktors, bei dem eine Kernelektrode 15 über ein metallisches Stanz-Biege-Teil 16 mit federnden Enden 17 die Kontaktierung bewirkt. Die federnden Enden 17 sind hierbei nach dem Einbringen in die jeweilige Bohrung an die Wand 12 angedrückt und können da mittels einer Löt- oder Klebeverbindung 18 befestigt werden. Die federnden Enden 17 können dabei auch in einem möglichst langen Bereich vorbelotet werden.
  • 4c und 4d zeigen verschiedene Ausführungsbeispiele einer Kernelektrode 19, die einen Anschlussstift 20 aufweist und einen Stift oder Draht als Kernelektrode 21, an die das zuvor beschriebene Stanz-Biege-Teil 16 angebracht werden kann. Aus 4e und 4f ist noch zu erkennen, wie die federnden Enden 17 zum einem gerade (4e) geführt sein können oder als schräge Enden 22 ausgeführt sind (4f). Die gegenüberliegenden federnden Enden 17 oder 22 können dabei auch versetzt gegeneinander angeordnet werden um beispielsweise sogenannte Piezoaktor-Delaminationsrisse an den Innenelektroden 2 und 3 zu überbrücken.
  • In 5a und 5b ist ein Ausführungsbeispiel dargestellt, bei dem zur Kontaktierung der Innenelektroden 2 und 3 eine nur schematisch gezeigte Bürstenelektrode 23 vorhanden ist, die in eine konische Bohrung 24 als Sackloch einführbar ist. Anstatt der Bürstenelektrode 23 können hier aber auch andere geeignete Elektrodenformen zur Kontaktierung verwendet werden, wobei die Form der Bohrung zylindrisch, ebenfalls konisch oder eine andere geeignete Geometrie aufweisen kann.
  • 6a zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel mit einer solchen Bürstenelektrode 23, bei der gemäß 6b zur elastischen Kontaktierung hier Bürsten oder Fasern 25 sich an die Wand 12 der jeweiligen Bohrung anlehnen und dort zum Beispiel durch Löten gehalten sind. Die Bürstenenden 25 können herbei vor dem Einbringen in die jeweilige Bohrung schon vorher belotet sein um nach der Montage an der Wand 12 der Bohrung sicher angelötet werden zu können und um einen Verschleiß und Schwingungsbrüche zu vermeiden sowie den Stromdurchgang zu verbessern. Beispielsweise kann die Wand 12 hier auch mit einem eingebrannten Belag aus einer AgPd-Paste oder einer anderen elektrisch leitfähigen Dichtungsschicht bzw. mit einer Lotschicht metallisiert sein.
  • Bei einem Ausführungsbeispiel gemäß 7a und 7b ist eine Siebelektrode 10 (vgl. 2a bis 2c) in einer wie bei der 5b konisch verlaufenden Bohrung 24 angeordnet. Hier ist das Innere der Siebelektrode 10 mit einem Leitkleber 26 bzw. einem Elastomer gefüllt um die Anpresskraft der Siebelektrode 10 beim Anlöten an die hier ebenfalls metallisierte Wand 12 zu verbessern und Schwingungen im Betrieb zu dämpfen. Außerdem sind bei diesem Ausführungsbeispiel noch Gasporen 27 in den Leitkleber oder das Elastomer 26 eingebracht, um einen Wärme- bzw. Dehnungsausgleich im Inneren der jeweiligen Bohrung zu verbessern.
  • Der elektrische Anschluss nach außen kann hier ebenfalls durch Anbringung eines Stiftes oder Drahtes 28, wie anhand der 2a erwähnt, an einer axial nach außen geführten Verlängerung der Siebelektrode 10 vorgenommen werden.
  • Gewerbliche Anwendbarkeit
  • Die Erfindung ist beispielsweise zur Nadelhubsteuerung für die Kraftstoffeinspritzung in einem Kraftfahrzeug mit einem Verbrennungsmotor einsetzbar.

Claims (14)

  1. Piezoaktor, mit – einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen eines Piezoelements, mit in Wirkrichtung zwischen den Piezolagen angeordneten Innenelektroden (2, 3), die alternierend mit einer positiven und einer negativen elektrischen Ladung beaufschlagbar sind, und mit – einer wechselseitigen Kontaktierung der Innenelektroden (2, 3), die mit Kontaktelementen, bestehend aus jeweils einer Kernelektrode (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23; 28) und/oder weiteren Kontaktmitteln (9; 10; 16; 25), erfolgt, die in inneren Ausnehmung oder Bohrungen (5, 6; 24) des Piezoaktors (1) liegen und dabei zumindest teilweise senkrecht zum Lagenaufbau nach außen geführt sind, dadurch gekennzeichnet, dass – die weiteren Kontaktmittel aus an die Kernelektroden (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23) oder Anschlussstifte (28) elektrisch leitend fest angefügten metallischen Strukturen bestehen, die von der jeweiligen Kernelektrode oder Anschlussstift (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23; 28) ausgehen und großflächig an die jeweilige Wand (12) der jeweiligen Bohrung (5, 6; 24) leitend angebracht sind.
  2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – die weiteren Kontaktmittel aus einer Siebelektrode (10) gebildet sind, die sich netzartig an die metallisierte Wand (12) der jeweiligen Bohrung (5, 6) anfügt und dass sich zwischen der Siebelektrode (10) und der Wand (12) eine Lötverbindung (11, 11a, 11b) befindet.
  3. Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass – die Siebelektrode (10) mit ihren jeweiligen Siebdrähten an die sich in der Bohrung (5, 6) erstreckende Kernelektrode (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23) angelötet, leitend angeklebt oder sonst wie mechanisch verbunden ist und dass die Siebelektrode (10) sich wendelförmig von der Kernelektrode (7, 8; 14; 15; 19, 20; 23) zur Wand erstreckt.
  4. Piezoaktor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass – die Kernelektrode (7) zylindrisch ist und die Siebdrähte angelötet oder leitend angeklebt sind.
  5. Piezoaktor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass – die Kernelektrode ein gefaltetes Blech (14) ist, in das die Siebelektrode (10) eingeschweißt oder eingeklemmt ist.
  6. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – die weiteren Kontaktmittel aus einem metallischen Stanz-Biegeteil (16) hergestellt sind, das mit federnden Enden (17) an die Wand (12) der Bohrung (5, 6; 24) andrückt, die dort leitend und fest mit der Wand (12) verbunden sind.
  7. Piezoaktor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass – die federnden Enden (17) des Stanz-Biegeteils (16) schräg zur Längsachse des Piezoaktors (1) verlaufen und gegeneinander versetzt sind.
  8. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – die weiteren Kontaktmittel aus einer Bürstenelektrode (23) bestehen, die mit ihren Bürsten oder Fasern an die Wand (12) der Bohrung (5, 6; 24) andrückt, die dort leitend und fest mit der Wand (12) verbunden sind.
  9. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass – die Kernelektrode (7; 21) zylindrisch ist.
  10. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass – die Kernelektrode (19) aus einem Blechteil mit einem Anschlussstift (20) gebildet ist.
  11. Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass – die Siebelektrode (10) mit ihren jeweiligen Siebdrähten sich aus der Bohrung (5, 6) einen vorgegebenen Bereich axial nach außen erstreckt und dort mittels einem in das innere der Siebelektrode (10) in diesem Bereich einfügbaren Stift oder Draht (28) kontaktiert ist.
  12. Piezoaktor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass – der Bereich innerhalb der an der Wand (12) anliegenden Siebelektrode (10) mit einem Leitkleber oder einem Elastomer (26) ausgefüllt ist.
  13. Piezoaktor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass – der mit einem Leitkleber oder einem Elastomer (26) ausgefüllte Bereich mit Gasporen (27) versehen ist.
  14. Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Bohrung zur Aufnahme der Kontaktelemente ein konisches Sackloch (24) ist.
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