DE102006001134A1 - Piezoaktor - Google Patents

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    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. external electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Abstract

Piezoaktor mit einer Vielzahl von piezoaktiven Schichten (1), zwischen denen jeweils eine Innenelektrode (3) angeordnet ist. Die Innenelektroden (3) erstrecken sich bis zur Oberfläche (7; 7') des Piezoaktors und sind dort mit einer metallischen Beschichtung (9) kontaktiert, die auf die Oberfläche des Piezoaktors aufgebracht ist. Der Piezoaktor weist darüber hinaus wenigstens eine Anschlusselektrode (12; 12') auf, die mit der metallischen Beschichtung (9) elektrisch kontaktiert ist und die zwei Seitenflächen (14, 14'; 114, 114') aufweist. Die drahtnetzförmige Anschlusselektrode (12; 12') ist dabei nur mit einem Teil ihrer Fläche (14; 14') mit der metallischen Beschichtung (9) kontaktiert (Figur 2).

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, wie er als Stellglied beispielsweise in Einspritzeinrichtungen für Brennkraftmaschinen verwendet werden kann.
  • Stand der Technik
  • Die Erfindung geht von einem Piezoaktor aus, wie er aus der Offenlegungsschrift DE 199 28 189 A1 bekannt ist. Ein solcher Piezoaktor weist eine Vielzahl von piezoaktiven Schichten auf, zwischen denen jeweils eine metallische Innenelektrode angeordnet ist, so dass ein Vielschichtaktor gebildet wird. Die Innenelektroden sind wechselseitig an die Oberfläche geführt und dort in elektrischem Kontakt mit einer metallischen Beschichtung, die jeweils auf einem Teil der Oberfläche des Piezoaktors aufgebracht ist. Grundsätzlich würde es genügen, eine geeignete elektrische Spannung an diese metallische Beschichtung des Piezoaktors anzulegen, um so eine elektrische Spannung zwischen den Innenelektroden zu erzeugen und damit ein elektrisches Feld. Dieses veranlasst die piezoaktiven Schichten dazu, ihre Dicke zu ändern, so dass sich insgesamt eine Längenänderung des Piezoaktors ergibt.
  • Durch die Längenänderung des Piezoaktors ergibt sich jedoch auch eine Dehnung der metallischen Beschichtung, die in der Regel so groß ist, dass die metallische Beschichtung keine ausreichende Elastizität aufweist, um dieser Bewegung zu folgen. Die Folge sind Risse in der metallischen Beschichtung, was die elektrische Leitfähigkeit der metallischen Beschichtung unterbrechen kann und damit auch die elektrische Kontaktierung der Innenelektroden. Um dies zu vermeiden, ist auf die metallische Beschichtung eine Netzelektrode aufgebracht, die aus miteinander verwebten Metallfäden gebildet ist. Diese netzartige Außenelektrode ist mit der metallischen Beschichtung elektrisch verbunden, beispielsweise durch Löten oder Schweißen. Die Netzelektrode weist aufgrund ihrer Struktur eine wesentlich höhere Elastizität auf, so dass sie der Bewegung des Piezoaktors in der Regel folgen kann. Die elektrische Spannung wird nun über die netzartige Anschlusselektrode eingeleitet und von dort in die metallische Beschichtung, über die letztendlich die Innenelektroden elektrisch kontaktiert werden. Durch die netzartige Anschlusselektrode soll die gesamte metallische Beschichtung stets mit der elektrischen Spannung versorgt werden, auch dann, wenn die metallische Beschichtung Risse aufweist.
  • Diese Funktion erfüllt die netzartige Außenelektrode jedoch nicht immer: Dadurch, dass sie mit der metallischen Beschichtung verlötet ist, büßt sie einen Teil ihrer Flexibilität ein. Dadurch kann die Außenelektrode einreißen, so dass eine ausreichende Spannungsversorgung durch die Außenelektrode nicht mehr gegeben ist. Damit werde nicht alle Innenelektroden mit der angelegten Spannung versorgt, so dass mit der Lebensdauer eine zunehmende Zahl von piezoaktiven Schichten nicht mehr zum Hub des Piezoaktors beiträgt.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Der erfindungsgemäße Piezoaktor weist demgegenüber den Vorteil auf, dass eine elektrische Kontaktierung sämtlicher Innenelektroden über die gesamte Lebensdauer des Piezoaktors sichergestellt ist. Hierzu ist die Außenelektrode flexibel netz- oder blechartig ausgebildet und nur auf einem Teil ihrer Fläche mit der metallischen Beschichtung kontaktiert. Der nicht kontaktierte Bereich behält damit seine volle Flexibilität, so dass die elektrische Spannung stets optimal in die metallische Beschichtung eingeleitet werden kann, auch wenn die Außenelektrode im kontaktierten Bereich einreißt. Die Spannungsversorgung erfolgt in diesem Fall über den verbleibenden Teil der Außenelektrode, der unbeeinflusst vom Hub des Piezoaktors ist.
  • In vorteilhafter Weise ist die Anschlusselektrode aus einem metallischen Draht netzartig gefertigt und mit der metallischen Beschichtung verlötet. Um die Kosten zu minimieren, lässt sich die Anschlusselektrode in vorteilhafter Weise in einer flachen, einfachen Rechteckform herstellen, die so zwei Seitenflächen aufweist, wobei die Anschlusselektrode nur mit einer Teilfläche einer der Seitenflächen mit der metallischen Beschichtung kontaktiert ist.
  • In vorteilhafter Weise ist die drahtnetzförmige Anschlusselektrode gefaltet ausgebildet, so dass sich ein Doppelnetz ergibt. Hierdurch liegt ein Teil der drahtnetzförmigen Anschlusselektrode auf dem Teil der Anschlusselektrode auf, der direkt mit der metallischen Beschichtung kontaktiert, also beispielsweise verlötet ist. Der darüber liegende Teil der Anschlusselektrode behält seine volle Flexibilität und sorgt dafür, dass die elektrische Spannung über den darunter liegenden Teil der Anschlusselektrode stets gleichmäßig in die metallische Beschichtung eingebracht wird. Besonders vorteilhaft ist hierbei, wenn die Anschlusselektrode eine oder mehrere Ausnehmungen aufweist, so dass der Teil, der mit der metallischen Beschichtung kontaktiert ist, eine noch höhere Flexibilität erhält. Das Einreißen der Anschlusselektrode wird dadurch deutlich erschwert, während die elektrische Spannung über die Doppelelektrode weiterhin eingeleitet werden kann.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist die Anschlusselektrode so geformt, dass der nicht kontaktierte Bereich der Anschlusselektrode einen Abstand zur Oberfläche des Piezoaktors aufweist. Dies ist eine kostengünstige Alternative zu der gefalteten Anschlusselektrode. Abweichend dazu kann die drahtnetzförmige Anschlusselektrode auch flach ausgebildet sein, während der Teil der Oberfläche des Piezoaktors, der nicht mit der Anschlusselektrode kontaktiert werden soll, zurückgesetzt ist. Auch hierdurch ergibt sich ein Abstand zwischen dem Nicht-Kontaktbereich der Anschlusselektrode und der Oberfläche des Piezoaktors, wobei dieser nicht kontaktierte Bereich der Anschlusselektrode die gewünschte Flexibilität aufweist.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung weist die drahtnetzförmige Anschlusselektrode zwei streifenförmige Bereiche auf, die mit der metallischen Beschichtung kontaktiert sind, während der dazwischen liegende Bereich der Anschlusselektrode einen Abstand zur Oberfläche des Piezoaktors aufweist und nicht mit der metallischen Beschichtung verbunden ist. Dieser Bereich mit einem Abstand zur Oberfläche des Piezoaktors weist die gewünschte Flexibilität auf, während die kontaktierten Bereiche zur Einleitung der Spannung in die metallische Beschichtung und damit in die Elektroden dient.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Bereich der Anschlusselektrode gefaltet ausgebildet ist, in dem die Zuleitung kontaktiert ist, so dass dort ein Doppelnetz gebildet wird. Diese Lösung bietet sich vor allem an, wenn die Anschlusselektrode selbst entweder flach oder nur leicht geformt ausgebildet ist.
  • Besonders vorteilhaft ist die Ausgestaltung der Anschlusselektroden, wenn der Piezoaktor aus mehreren Teilaktoren so zusammengesetzt ist, da hier aufgrund des großen Hubes ein ständiger Kontakt zwischen der Anschlusselektrode und der metallischen Beschichtung erschwert ist. Vorzugsweise befinden sich die Ausnehmungen, die in der drahtnetzförmigen Anschlusselektrode vorhanden sein können, in dem Bereich, in dem die Teilaktoren aneinander anliegen.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist die Anschlusselektrode aus dünnem Blech ausgebildet, wobei auch hier nur ein Teil einer der beiden Seitenflächen mit der metallischen Beschichtung kontaktiert ist. Der nicht kontaktierte Bereich der Blechelektrode ist beispielsweise auf den kontaktierten Bereich gefaltet, so dass sich die Anschlusselektrode platzsparend ausbilden lässt. Das Blech muss entsprechend dünn und damit flexibel ausgebildet sein, damit die gewünschte Flexibilität erreicht wird.
  • Die Faltung der Blechelektrode kann entsprechend der Faltung der netzartigen Anschlusselektrode vorgesehen sein. In einer vorteilhaften Ausgestaltung kann es auch vorgesehen sein, dass die Blechelektrode mehrfach gefaltet ist, um eine noch höhere Elastizität zu erreichen bei gleichzeitig sehr kompakter Bauform.
  • Zeichnung
  • In der Zeichnung sind mehrer Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors dargestellt. Es zeigt
  • 1 einen bereits aus dem Stand der Technik bekannten Piezoaktor,
  • 2 einen erfindungsgemäßen Piezoaktor und
  • 3 die dazu notwendige Anschlusselektrode im aufgefalteten Zustand,
  • 4 in einer Seitenansicht einen weiteren erfindungsgemäßen Piezoaktor,
  • 5 und
  • 6 jeweils Querschnitte durch den Piezoaktor nach 4 verschiedener Ausführungsbeispiele,
  • 7 einen weiteren erfindungsgemäßen Piezoaktor in einer Seitenansicht,
  • 8 ausschnitthaft einen Querschnitt des Piezoaktors nach 7 im Bereich des doppelten Netzes, dem die Zuleitung kontaktiert ist,
  • 9 und
  • 10 jeweils Querschnitte durch den Piezoaktor nach 7 verschiedener Ausführungsbeispiele,
  • 11 eine Gesamtansicht eines erfindungsgemäßen Piezoaktors mit blechartiger Anschlusselektrode,
  • 12 und
  • 13 jeweils Querschnitte durch einen Piezoaktor nach 11.
  • Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • 1 zeigt einen aus dem Stand der Technik bekannten Piezoaktor, der eine Vielzahl von piezoaktiven Schichten 1 aufweist, zwischen denen jeweils eine Innenelektrode 3 angeordnet ist, so dass ein Vielschichtaktor gebildet wird. Die Innenelektroden 3 sind aus einem metallischen Material gefertigt und wechselseitig an die Oberfläche des Piezoaktors geführt, so dass ein Teil der Innenelektroden 3 bis an die Seitenfläche 7 und der andere Teil der Innenelektroden 3 bis an die gegenüberliegende Seitenfläche 7' reicht. Auf den Seitenflächen 7, 7' ist eine metallische Beschichtung 9 aufgebracht, die in elektrischem Kontakt mit jeweils der Hälfte der Innenelektroden 3 steht. Auf der metallischen Beschichtung 9 ist eine drahtnetzförmige Anschlusselektrode 12 angeordnet, die mit der metallischen Beschichtung 9 in elektrischem Kontakt steht, also beispielsweise verlötet ist. Die Anschlusselektroden 12, von denen eine gleichartige Anschlusselektrode 12' auch auf der metallischen Beschichtung der gegenüberliegenden Seite 7' angeordnet ist, sind jeweils mit Zuleitungen 15, 15' elektrisch verbunden. Wird eine geeignete elektrische Spannung an die Zuleitungen 15, 15' und damit auch zwischen den Anschlusselektroden 12, 12' angelegt, so ergibt sich über die metallische Beschichtung 9 auch eine elektrische Spannung zwischen den benachbarten Innenelektroden 3, so dass die dazwischen liegende piezoaktive Schicht 1 vom elektrischen Feld, das zwischen den Innenelektroden entsteht, durchsetzt ist. Je nach Stärke und Polarität des elektrischen Feldes ändern die piezoaktiven Schichten 1 ihre Dicke und damit der Piezoaktor seine Länge. Der Abstand zwischen den Stirnflächen 5, 5' vergrößert oder verkleinert sich entsprechend, so dass der Piezoaktor als Steller, oder – falls von außen Kräfte auf die Stirnflächen 5, 5' ausgeübt werden – auch als Sensor verwendet werden kann.
  • In 2 ist ein erfindungsgemäßer Piezoaktor dargestellt, wobei der Übersichtlichkeit halber der Schichtaufbau nicht nochmals dargestellt ist. Der Piezoaktor besteht aus zwei Teilaktoren 2, 2', die an ihren Stirnseiten aneinander anliegen. Auf die Seitenflächen 7, 7' ist jeweils eine metallische Beschichtung 9 aufgebracht, die die Innenelektroden, die in der 2 nicht dargestellt sind, kontaktieren. Zur Einleitung der elektrischen Spannung in die metallische Beschichtung 9 ist eine Anschlusselektrode 12 dargestellt, die auf der Seitenfläche 7 die metallische Beschichtung 9 elektrisch kontaktiert. Die Anschlusselektrode 12 ist aus einem gefalteten Drahtnetz gebildet und weist einen Falz 13 auf, der parallel zur Oberfläche des Piezoaktors verläuft. 3 zeigt das Drahtnetz der Anschlusselektrode 12 nochmals, hier allerdings in aufgefaltetem Zustand. Das Drahtnetz weist eine vordere Seitenfläche 14 und eine hintere Seitenfläche 14' auf. Wird das Drahtnetz, wie in 3 durch Pfeile angedeutet, entlang der Falzlinie 16 gefaltet, so entsteht der Falz 13 und damit ein Doppelnetz, wobei die vordere Seitenfläche 14 die Außenseite der Anschlusselektrode 12 bildet. Der der metallischen Beschichtung zugewandte Teil der Anschlusselektrode 12 bildet den Kontaktbereich 10, der durch Löten, Schweißen oder eine andere Technik mit der metallischen Beschichtung 9 elektrisch kontaktiert wird.
  • Die drahtnetzförmige Anschlusselektrode 12 des Ausführungsbeispiels nach 2 und 3 weist eine Ausnehmung 17 auf, durch die der Kontaktbereich 10 der Anschlusselektrode 12 in zwei Teile unterteilt wird, wobei der erste Teil mit dem ersten Teilaktor 2 und der zweite Teil mit dem zweiten Teilaktor 2' elektrisch verbunden wird. Der übrige Teil der Anschlusselektrode 12 bildet einen Nicht-Kontaktbereich 11, der in dem Ausführungsbeispiel nach 3 eine Breite a und eine Länge d aufweist. Dieser wird nicht mit der metallischen Beschichtung verbunden und behält seine volle Flexibilität. Über den Falz 13 und auch durch direkten Kontakt zwischen dem Nichtkontaktbereich 11 und dem Kontaktbereich 10 wird so stets die metallische Beschichtung 9 optimal mit der Spannung versorgt. Die Breite des Kontaktbereichs 10, in der 3 mit b bezeichnet, ist hierbei gleich oder größer als die Breite a des Nicht-Kontaktbereichs 11. Die Länge der durch die Ausnehmung 17 gebildeten Teile des Kontaktbereichs 10, in der 3 mit c bezeichnet, richtet sich nach der Länge der Teilaktoren 2, 2'.
  • In 4 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Piezoaktors in einer Seitenansicht dargestellt. Auf dem Piezoaktor ist eine netzartige Anschlusselektrode 12 angebracht, die mit einer metallischen Beschichtung 9 kontaktiert ist. Die Anschlusselektrode bildet zwei Kontaktbereiche 10, 10', die streifenförmig ausgebildet und mit der metallischen Beschichtung 9 verbunden sind. Die drahtnetzförmige Anschlusselektrode 12, die flach ausgebildet ist und dadurch zwei Seitenflächen 14, 14' ausbildet, ist somit nur auf einem Teil der Seitenfläche 14 mit der metallischen Beschichtung 9 verbunden, die dem Piezoaktor zugewandt ist. 5 zeigt dazu einen Querschnitt durch den Piezoaktor nach 4, sodass der Aufbau und die Form der drahtnetzförmigen Anschlusselektrode 12 deutlich wird.
  • Die beiden streifenförmigen Kontaktbereiche 10, 10' der Anschlusselektrode 12 sind mit der metallischen Beschichtung 9 verbunden. Der Teil der Anschlusselektrode 12, der zwischen den streifenförmigen Kontaktbereichen 10, 10' liegt, ist aufgewölbt ausgeführt, so dass sich ein Abstand zwischen in diesem Bereich und der metallischen Beschichtung 9 ergibt. Dieser Bereich der Anschlusselektrode 12 behält somit seine volle Flexibilität, so dass die elektrische Spannung in die gesamte Anschlusselektrode 12 und damit auch in die gesamte metallische Beschichtung 9 eingeleitet werden kann auch dann, wenn sich ein Teil der Anschlusselektrode im Kontaktbereich 10, 10' von der metallischen Beschichtung 9 gelöst haben sollte. Die in 5 gezeigt zweite Anschlusselektrode 12' ist identisch aufgebaut zur Anschlusselektrode 12 und weist eine eben solche Kontaktierung mit der metallischen Beschichtung 9 auf.
  • Zur Kontaktierung weist die Anschlusselektrode 12 nach 4 einen Falz 13' auf, so dass in dem Bereich, der in 4 unten dargestellt ist, ein Doppelsieb 19 gebildet wird. Die Zuleitung 15 wird an das Doppelsieb 19 kontaktiert, wobei durch das Doppelsieb 19 eine gute Flexibilität in diesem Bereich garantiert ist.
  • In 6 ist ein Querschnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des Piezoaktors nach 4 gezeigt. Dieses unterscheidet sich von der Darstellung nach 5 dadurch, dass die Innenelektrode 3 in dem Bereich, in dem die Anschlusselektrode 12 einen Abstand zur metallischen Beschichtung 9 und damit auch zur Oberfläche des Piezoaktors aufweist, eine Ausnehmung 21 aufweist. Dadurch wird sichergestellt, dass in diesem Bereich kein elektrischer Überschlag stattfinden kann, der gegebenenfalls zu Beschädigungen der Anschlusselektrode führen könnte.
  • In 7 ist ein weiterer erfindungsgemäßer Piezoaktor dargestellt. Die Anschlusselektrode 12 ist als flaches Drahtnetz ausgeführt, das in einem Kontaktbereich 10 mit einer metallischen Beschichtung 9, die auf die Oberfläche des Piezoaktors aufgebracht ist, kontaktiert ist. Die Anschlusselektrode 12 weist somit einen Kontaktbereich 10 und einen Nicht-Kontaktbereich 11 auf, die als streifenförmige Bereiche nebeneinander liegen. Der Nichtkontaktbereich 11 ist von der Oberfläche des Piezoaktors beabstandet, so dass er seine volle Flexibilität behält. Die elektrische Spannung wird in die Anschlusselektrode 12 letztendlich über eine Zuleitung 15 eingeleitet, die mit der Anschlusselektrode 12 in 7 im unteren Bereich verbunden ist. In diesem Bereich weist die Anschlusselektrode 12 einen Falz 13' auf, so dass in diesem Bereich ein Doppelnetz 19 gebildet wird. Die Zuleitung 15 ist im Bereich des Doppelnetzes 19 mit der Anschlusselektrode 12 beispielsweise durch Löten oder Schweißen verbunden. 8 zeigt in einem Querschnitt noch einmal den Bereich des Doppelnetzes 19, die Lage des Falzes 13' und auch die Lage der Zuleitung 15.
  • Um die Flexibilität des Nicht-Kontaktbereichs 11 zu erhalten, muss dieser von der Oberfläche des Piezoaktors beabstandet sein. 9 zeigt hierzu einen Querschnitt durch den Piezoaktor nach 7, wobei in diesem Ausführungsbeispiel die Anschlusselektrode 12 stufenförmig im Querschnitt ausgebildet ist, so dass der Nicht-Kontaktbereich 11 einen Abstand h zur Oberfläche des Piezoaktors aufweist. Eine alternative Ausgestaltung ist in 10 dargestellt, wo die Anschlusselektrode 12 als flaches Drahtnetz ausgebildet ist. Die Beabstandung zur Oberfläche des Piezoaktors wird durch eine Stufe 22 im Piezoaktor selbst bewirkt, so dass sich auch hier ein Abstand h ergibt. Zur Fixierung der Außenelektrode 12 sowohl in 9 als auch in 10 kann es vorgesehen sein, die Anschlusselektrode 12 mit einer Umspritzung 24 zu versehen, die diese in ihrer Lage stabilisiert.
  • 11 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Piezoaktors, wobei nur eine Anschlusselektrode 12'' gezeigt ist. Die Anschlusselektrode 12'' ist aus einem dünnen Metallblech gefertigt, das ebenso wie die drahtnetzförmige Anschlusselektrode zwei Seitenflächen 114 und 114' aufweist. Die Anschlusselektrode 12'' ist auf einem Teil ihrer Seitenfläche 114 mit der metallischen Beschichtung verbunden, beispielsweise durch Löten. Der nicht kontaktierte Teil des Blechs ist durch Bildung eines Falzes 13'' zurückgebogen, so dass dieser parallel zum kontaktierten Bereich ausgerichtet ist. 12 zeigt dazu einen Querschnitt durch den in 11 dargestellten Aktor. Dadurch wird eine Doppelelektrode gebildet, die analog zu dem in 2 dargestellten Ausführungsbeispiel eine größere Flexibilität aufweist, da der nicht kontaktierte Bereich der Anschlusselektrode 12'' den Belastungen durch den sich ausdehnenden Aktor nicht ausgesetzt ist und damit über die gesamte Lebensdauer intakt bleibt.
  • Alternativ kann es auch vorgesehen sein, das die Anschlusselektrode 12'' bildende Blech mehrfach zu falten, um so eine noch größere Flexibilität zu erreichen bei gleichzeitig kompakter Bauform. 13 zeigt dazu einen Querschnitt durch eine solche Anschlusselektrode 12'', die zwei Falze 13'' aufweist. Die Zuleitungen 15, über die die elektrische Spannung an die Anschlusselektroden 12'' angelegt wird, wird jeweils am umgefalteten Bereich der Anschlusselektrode 12'' verbunden.

Claims (14)

  1. Piezoaktor mit einer Vielzahl von piezoaktiven Schichten (1), zwischen denen jeweils eine Innenelektrode (3) angeordnet ist, wobei sich die Innenelektroden (3) bis zur Oberfläche (7; 7') des Piezoaktors erstrecken und dort mit einer metallischen Beschichtung (9) kontaktiert sind, die auf die Oberfläche des Piezoaktors aufgebracht ist, und mit wenigstens einer flächigen Anschlusselektrode (12; 12'; 12''), die zwei Seitenflächen (14, 14'; 114, 114') aufweist und die mit der metallischen Beschichtung (9) elektrisch kontaktiert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') nur mit einem Teil ihrer Seitenfläche (14, 14'; 114, 114') mit der metallischen Beschichtung (9) kontaktiert ist.
  2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die flächige Anschlusselektrode (12, 12') netzförmig ausgestaltet und aus metallischem Draht gefertigt ist.
  3. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die flächige Anschlusselektrode (12'') aus Blech gefertigt ist.
  4. Piezoaktor nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die flächige Anschlusselektrode (12, 12', 12'') mit der metallischen Beschichtung (9) verlötet ist.
  5. Piezoaktor nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') im wesentlichen eine Rechteckform aufweist.
  6. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') gefaltet ist.
  7. Piezoaktor nach Anspruch 1 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Teil der Anschlusselektrode (12; 12'; 12''), der mit der metallischen Beschichtung (9) kontaktiert ist, mit einem oder mehreren Ausnehmungen (17) versehen ist, so dass sich eine erhöhte Dehnbarkeit der Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') in Richtung einer Deh nungsachse des Piezoaktors ergibt, wobei die Dehnungsachse die Achse ist, in der der Piezoaktor bei Bestromung der Anschlusselektroden (12; 12'; 12'') die größte Dehnung aufweist.
  8. Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') im wesentlichen als flaches, rechteckförmiges Drahtnetz ausgebildet ist, bei dem nur ein Teil einer Seitenfläche (14; 14'; 114, 114') mit der metallischen Beschichtung (9) elektrisch kontaktiert ist.
  9. Piezoaktor nach Anspruch 8 dadurch gekennzeichnet, dass der Teil der Anschlusselektrode (12; 12'; 12''), der mit der metallischen Beschichtung (9) nicht kontaktiert ist, so geformt ist, dass dieser von der metallischen Beschichtung (9) einen Abstand (h) aufweist.
  10. Piezoaktor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenfläche (7; 7') des Piezoaktors, auf die die metallische Beschichtung (9) aufgebracht ist, gestuft ausgebildet ist, so dass der mit der metallischen Beschichtung (9) nicht kontaktierte Teil der drahtnetzförmigen Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') einen Abstand zur Oberfläche des Piezoaktors aufweist, wobei die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') flach ausgebildet ist.
  11. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') zwei streifenförmige Kontaktierbereiche (10; 10') aufweist, die mit der metallischen Beschichtung (9) kontaktiert sind, wobei der zwischen den streifenförmigen Kontaktierbereichen (10; 10') befindliche Bereich der Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') einen Abstand zur Oberfläche des Piezoaktors aufweist.
  12. Piezoaktor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') mit einer Zuleitung (15; 15') elektrisch verbunden ist, über die eine geeignete Spannung an die Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') und damit an die Innenelektroden (3) anlegbar ist.
  13. Piezoaktor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die drahtnetzförmige Anschlusselektrode (12; 12'; 12'') in dem Bereich, in dem eine Zuleitung (15; 15') kontaktiert ist, gefaltet ausgebildet ist.
  14. Piezoaktor nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezoaktor aus mehreren Teilaktoren (2; 2') aufgebaut ist.
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