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Die
Erfindung betrifft eine Übergabeeinrichtung
in Handhabungs- oder
Bearbeitungsanlagen für großflächige Substrate,
insbesondere in Form von Flachbildschirmen oder dergleichen, gemäß dem Oberbegriff
des Anspruches 1.
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Übergabeeinrichtungen
der vorgenannten Art sind bekannt (
DE 20 2004 004 487 U1 ),
und zwar in einer Ausgestaltung, bei der eine dem Transportschieber
zugeordnete Transportkammer in ihrer Anschlusslage zu den jeweils
durch Verschieben des Transportschiebers anfahrbaren, gehäuseseitigen Übergabeöffnungen
den dem Kammerbereich zugeordneten Bereich des Gehäuseinnenraums
gegen anschließende
Bereiche des Gehäuseinnenraums atmosphärisch abgrenzt,
so dass eine Schieberkammer in ihrer Anschlusslage zu einer jeweiligen Übergabeöffnung bei über die
zugehörige
Ventilsteuerung freigegebenen Anschluss zum jeweiligen Anschlussraum
atmosphärisch
nur mit diesem Anschlussraum in Verbindung steht und eine Verlagerung
des Transportschiebers, also ein Verlassen dieser Anschlusslage
an die Bedingung geknüpft
ist, dass die zugehörige Übergabeöffnung über die
Ventilsteuerung gegen den jeweiligen Anschlussraum abgesteuert ist. Bezogen
auf die bekannte Ausgestaltung, bei der die auf den Anschlussraum
mit niedrigerem Druckniveau, also mit höherem Rein heitsgrad ausmündende Übergabeöffnung zwischen
endseitigen Übergabeöffnungen
liegt, die beide einem Raum höheren Druckniveaus,
und damit geringeren Reinheitsgrades zugeordnet sind, bedeutet dies,
dass diese Übergabeöffnung mit
dem nachgeordneten Anschlussraum nur dann in Verbindung zum Gehäuseinnenraum
steht, wenn jeweils eine der Schieberkammern ihre diesbezügliche Anschlusslage
einnimmt, mit der Folge, dass die atmosphärische Konditionierung eine entsprechende
Anschlusslage voraussetzt.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Übergabeeinrichtung der eingangs
genannten Art in Bezug auf die Ablaufmöglichkeiten zu flexibilisieren,
insbesondere im Hinblick auf die Verweilzeiten in Anschlusslagen
zu den Übergabeöffnungen, um
den bei großflächigen Substraten
gegebenen Volumenverhältnissen
bei den Anschlussräumen,
wie auch bei den Schieberkammern hinsichtlich der Anpassung und/oder
Herstellung geforderter atmosphärischer
Bedingungen bei minimiertem Zeitaufwand und möglichst einfachem Aufbau Rechnung
tragen zu können.
Besondere Bedeutung erlangt dies bei der Übergabe von großflächigen Substraten
auf Transfereinheiten, über
die die Substrate von der Übergabeeinrichtung
auf weitere Stationen, insbesondere Bearbeitungs- oder Speicherstationen
verbracht werden, wobei die Transfereinheiten entsprechend großräumige Transferkammern
aufweisen und in den Transferkammern sowie während des Transfervorganges
nach Möglichkeit
bereits atmosphärische
Bedingungen gegeben sein und aufrechterhalten werden sollten, die
jenen Bedingungen entsprechen, die in der aufnehmenden Station gefordert sind,
um bei möglichst
geringem Energieaufwand über
die Prozesskette einen möglichst
schnellen Durchlauf zu ermöglichen.
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Erfindungsgemäß wird dies
mit einer Übergabeeinrichtung
der eingangs genannten Art in einer Ausgestaltung gemäß den Merkma len
des Anspruches 1 gefördert
und/oder erreicht, da die erfindungsgemäße Ausgestaltung bei Anschlusslage
der einen Übergabeöffnung zur
Transportkammer des Transportschiebers die Nutzung des zur anderen Übergabeöffnung offenen,
durch den Transportschieber und dessen Transportkammer nicht abgegrenzten
Gehäuseinnenraums
als Konditionierungsraum ermöglicht, über den
angedockte Transferkammern bereits bei in Anschlusslage zur ersten Übergabeöffnung befindlicher
Transportkammer auf die atmosphärischen Bedingungen
eingestellt werden können,
die seitens der Prozessstation erforderlich sind, zu der nachfolgend
Substrate über
die Transferkammer verbracht werden sollen. Damit wird es möglich, die
bei großformatigen
Substraten entsprechend volumengroßen Transferkammern über die
feststehende Übergabeeinrichtung
vorbereitend zu konditionieren, so dass seitens der zu verfahrenden
Transferkammer auf dieser zugeordnete Konditionierungseinrichtungen,
wie Unterdruckquellen oder dergleichen verzichtet werden kann, was
unter anderem aus Gewichts- und Kostengründen anzustreben ist, da Transferkammern
als Teile von Transfervorrichtungen im Rahmen angestrebter schnell
ablaufender Prozessabläufe beim
Verfahren hohen Beschleunigungen ausgesetzt sind und dennoch exakt
positioniert werden müssen.
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Bevorzugt
ist im Rahmen der Erfindung die erste Übergabeöffnung auf einen Raum höheren Druckniveaus
ausmündend,
also auf einen Raum, in dem ein geringer Reinheitsgrad herrscht
als in dem über
die zweite Übergabeöffnung zu
versorgenden Raum, und als er im Hinblick darauf im Konditionierungsraum
angestrebt wird, der über
die zweite Übertrittsöffnung beispielsweise
und bevorzugt an eine Transferkammer anzuschließen ist.
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Um
auf möglichst
kleinem Bauraum auch hohe Durchsätze
zu ermöglichen,
oder auch unterschiedliche Transportwege innerhalb der Übergabeeinrichtung
im Transfer auf die Transferkammer bedarfsweise zu erreichen, erweist
es sich als zweckmäßig, zwei Über gabeeinrichtungen
vorgeschilderten Aufbaues in quer zur Hubrichtung spiegelbildlicher
Anordnung zu einer Übergabeeinheit
zusammenzufassen, und zwar derart, dass die beiden Übergabeeinrichtungen
eine gemeinsame, in Hubrichtung des Kammerschiebers zwischen den
endseitigen, insbesondere ersten Übergabeöffnungen liegende zweite Übergabeöffnung aufweisen,
und dies in Verbindung mit zwei eigenständigen, einander gegenüberliegenden
Kammerschiebern, die wahlweise zur mittig liegenden, zweiten Übergabeöffnung in
Anschlusslage zu verbringen sind.
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Bevorzugt
sind bei einer derartigen Übergabeeinheit
mit zwei einander gegenüberliegenden Übergabeeinrichtungen
die Letzteren zugeordneten Kammerschieber über jeweils stirnseitig vorgesehene,
axial arbeitende Stelleinrichtungen verstellbar, wobei in der Anschlusslage
der Schieberkammern des einen Kammerschiebers zur mittleren, zweiten Übergabeöffnung die
Schieberkammer des gegenüberliegenden
Kammerschiebers in Anschlusslage zur zugehörigen endseitigen ersten Übergabeöffnung liegt.
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Im
Rahmen der Erfindung können
beide Kammerschieber nicht nur abwechselnd, sondern auch in beliebiger
gewünschter
Stellfolge zwischen ihren Anschlusslagen zu den zugehörigen Übergabeöffnungen
verstellt werden, so dass eine solche Übergabeeinheit auch sehr flexibel
einzusetzen ist.
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Erfindungsgemäße Übergabeeinrichtungen können im
Rahmen der Erfindung auch in gedoppelter Bauweise als Übergabeeinheiten
aufgebaut sein, bei denen jeder der beiden zur Übergabeeinheit zusammengefassten Übergabeeinrichtungen
jeweils eine erste und eine zweite Übergabeöffnung zugeordnet ist, so dass
zwischen den endseitigen Übergabeöffnungen
zwei mittlere Übergabeöffnungen
liegen, die es ermöglichen,
unter Beibehaltung der Höhenlage
von Transferkammern durch Prozess- und/oder anderweitige Arbeits-
oder Speicherstationen gebildete Module anzufahren, die entsprechend höhenversetzte
Beschickungsöffnungen
aufweisen, so dass bei entsprechender Anordnung der Module und/oder
entsprechend vorgegebener Höhenlage der
Transferkammern – bei
einer Anordnung derselben, die ein wechselseitiges Über- oder
Unterfahren ohne Höhenverstellung
ermöglicht,
ein in den Bewegungsvorgängen
auf ein Minimum reduzierter Betrieb eines solchen Systemes darstellbar
ist.
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Insbesondere
ist eine derartige Ausgestaltung von Vorteil bei Lösungen,
bei denen Übergabeeinrichtung,
Prozesseinheiten, Speichereinheiten oder sonstige Module bevorzugt
in entsprechender Gruppierung nach Höhe der Übergabeöffnungen längs einer Transfervorrichtung
angeordnet sind, die zweibahnig ausgebildet ist und bei der jeder
der Führungsbahnen
zumindest eine Transferkammer zugeordnet ist, die auf eine der Höhenlagen
der Übergabeöffnungen
ausgerichtet ist, derart, dass die Transferkammern einander wechselseitig überfahrend
unabhängig
voneinander längs
der Führungsbahnen verstellbar
sind.
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Weitere
Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen. Ferner wird
die Erfindung nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen erläutert. Es
zeigen:
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1 bis 5 eine
schematisierte Schnittdarstellung einer Übergabeeinrichtung gemäß der Erfindung
in unterschiedlichen Arbeitsstellungen.
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Aus Übergabeeinrichtungen 34 aufgebaute Übergabeeinheiten 1 bilden
im Regelfall die Eingangs- oder Ausgangsstationen von Handhabungs- oder
Bearbeitungsanlagen, in denen Substrate unter atmosphärischen
Sonderbedingungen, insbesondere Reinraumbedingungen behandelt werden.
Solche Handhabungs- und Bearbeitungsanlagen sind zur Vermeidung
großvolumiger
und aufwändiger
Rein räume
modular aufgebaut und umfassen neben Übergabeeinrichtungen im Regelfall
Speicher-, Konditionierungs- und Bearbeitungsstationen sowie Beschickungsvorrichtungen
mit Transfereinrichtungen, über
die zu behandelnde Substrate von der Übergabeeinrichtung auf die
nachgenannten Stationen und gegebenenfalls auch zurücktransportiert
werden. Entsprechend dieser Funktion weist eine Übergabeeinrichtung 34 bzw.
eine aus Übergabeeinrichtungen 34 aufgebaute Übergabeeinheit
eine Anlieferseite 2 auf, und im Regelfall gegenüberliegend
eine Transferseite 3, wobei über die Anlieferseite 2 zu
behandelnde Substrate auf die Übergabeeinrichtung 34 bzw.
der Übergabeeinheit 1 überführt, und
von dieser abgenommen werden und wobei transferseitig Substrate
aus der Übergabeeinrichtung 1 auf
eine Transfereinrichtung übergeben
werden, die mit einer Transferkammer 4 symbolisch veranschaulicht
ist.
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Entsprechend
den angesprochenen Gegebenheiten herrschen im Regelfall auf der
Anlieferseite atmosphärische
Bedingungen mit einem höheren Verunreinigungsgrad
als auf der Transferseite 3 gefordert, wobei sich die angesprochenen
atmosphärischen
Gegebenheiten auf die Verhältnisse
beziehen, unter denen die über
die Übergabeeinrichtung 34 bzw. Übergabeeinheit 1 umzusetzenden
Substrate zum Beispiel in entsprechenden Behältern auf die Übergabeeinrichtung 34 bzw. Übergabeeinheit 1 übergeben
werden, bzw. die transferseitig zum Beispiel in der Transferkammer 4 gefordert
werden, in welcher Reinraumbedingungen aufgebaut oder erreicht werden
sollten, wie sie in Vorbereitung auf die in nachfolgenden Bearbeitungsstationen
geforderten Reinraumbedingungen zweckmäßig sind, um die diesbezüglichen,
bis zu Reinstraumbedingungen reichenden Forderungen mit möglichst
geringem Pumpaufwand, d. h. energiesparend, möglichst kurzzeitig erreichen
zu können.
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Eine
aus zwei Übergabeeinrichtungen
aufgebaute Übergabeeinheit 1 weist
ein Gehäuse 5 auf, dem
im dargestellten Ausführungsbeispiel
erste Übergabeöffnungen 6, 7 zugeordnet
sind, sowie eine zweite Übergabeöffnung B.
Die ersten Übergabeöffnungen 6, 7 sind
der Anlieferseite 2 zugeordnet, die zweite Übergabeöffnung 8 liegt
transferseitig. Das Gehäuse 5 weist
einen Gehäuseinnenraum 9 auf,
in dem in Richtung der Mittelachse 10 des Gehäuses 5 einander
gegenüberliegend
Transportschieber 11 und 12 hubverstellbar angeordnet
sind. Die Transportschieber 11, 12 sind mit Transportkammern 13 bzw. 14 versehen,
die jeweils zumindest gegen die Anlieferseite 2 bzw. die
Transferseite 3 seitlich offen sind, so dass bei entsprechender Überdeckungslage die
Transportkammer 13 zur ersten Übergabeöffnung 6 und zur zweiten Übergabeöffnung 8,
und die Transportkammer 14 zur ersten Übergabeöffnung 7 und wiederum
zur zweiten Übergabeöffnung 8 jeweils eine
Anschlusslage aufweist. In entsprechender Weise sind die ersten Übergabeöffnungen 6, 7 in
Richtung der Mittelachse 10, und damit in Hubrichtung der Transportschieber 11, 12 zueinander
versetzt und es liegt die zweite Übergabeöffnung 8, bezogen
auf die gleiche Erstreckungsrichtung, zwischen den ersten Übergabeöffnungen 6, 7.
Den Übergabeöffnungen 6 bis 8 sind
jeweils Ventilsteuerungen zugeordnet, die mit 15 bis 17 bezeichnet
sind und die symbolisch als die Übergabeöffnungen 6 bis 8 übersteuernde,
in Hubrichtung verstellbare Ventilplatten dargestellt sind.
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Die
Transportkammern 13, 14 können, wie dargestellt, mit
Abstand übereinander
liegend, mehrere Substrate aufnehmen, die durch Hubverstellung der
Transportschieber 11, 12 auf eine Transferebene zur Übergabe
auf die Transferkammer 4 angehoben oder abgesenkt werden
können.
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Die
Transportschieber 11, 12 weisen gleichen Aufbau
auf und sind, spiegelbildlich zu einer der Mittelachse 10 senkrechten Ebene
ausgebildet, gleich aufgebaut, wobei jeder der Transportschieber 11, 12 auf
deren einander zugewandter Seite eine Bodenplatte 18, 19 aufweist
und dieser gegenüberliegend
ein napfförmiges
Deckelteil 20, 21, dessen Rand 23 entgegengesetzt
zur Bodenplatte 18 hochgezogen ist. Zwischen dem Rand 22 bzw. 23 und dem
Gehäuse 5 verbleibt
jeweils ein Ringraum 24, 25, in den am freien
Ende des Randes 22 bzw. 23 ein Ringbund 26, 27 auskragt.
Der Ringbund 26, 27 liegt, bezogen auf die zur
Mittelachse 10 korrespondierende Hubrichtung des jeweiligen
Transportschiebers 11, 12 radial in Überdeckung
zu einem radialen nach innen ragenden Ringbund 28 bzw. 29 des
Gehäuses 5,
gegen den die Bodenplatte 18 bzw. 19 in der dargestellten
Lage der Transportschieber 11, 12 anliegt, und
zwar auf der der zweiten Übergabeöffnung 8 zugewandten
Seite.
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Den
Transportschiebern 11, 12 sind jeweils im Bereich
der Ränder 22 bzw. 23 der
Deckelteile 20 bzw. 21 gehäuseseitig gelagerte Führungssäulen, insgesamt
mit 30 bezeichnet, zugeordnet, sowie auch zentral ein Hubzylinder 31,
der bei Abstützung gegenüber dem
Gehäuse 5 am
Deckelteil 20 bzw. 21 über eine Kolbenstange 32 angreift.
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In
der im Ausführungsbeispiel
dargestellten Übergabeeinheit 1 ist
durch die Strichlinie 33 ein Teilbereich abgegrenzt, der
bei einem das Gehäuse 5 in Höhe der Strichlinie 33 abgrenzenden
Boden – die Strichlinie 33 ist
eine symbolische Darstellung dieses Bodens – sich als eine Übergabeeinrichtung 34 darstellt, über deren
erste Übergabeöffnung 6 bei
geöffneter
Ventilsteuerung 15 die Beschickung der Transportkammer 13 erfolgt – Stellung
des Transportschiebers 11 gemäß 1 – und über deren
zweite Übergabeöffnung 8 bei
Stellung des Kolbenschiebers 11 gemäß 2 der Transfer
der Substrate zwischen der Transportkammer 13 und der Transferkammer 4 erfolgt,
während
die Ventilsteuerung 17 geöffnet ist und der Transferschieber 11 in seine
Stellung gemäß 2 verfahren
ist, also, sieht man die Strichlinie 33 als Boden an, diese
in etwa am Boden anliegen würde.
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In
der Darstellung gemäß 1,
in der der Transportschieber 11 mit seiner Transportkammer 13 in Überdeckung
zur ersten Übergabeöffnung 6 liegt, ist über die
Bodenplatte 18 des Transportschiebers 11 und den
gegenüberliegenden,
durch die Strichpunktlinie 33 symbolisierten Gehäuseboden
ein zur zweiten Übergabeöffnung 8 in Überdeckung
liegender Bereich des Gehäuseinnenraumes
abgegrenzt, der sich als Konditionierungskammer 35 darstellt, der,
was hier nicht dargestellt ist, zusätzlich eine Verbindung zu einer
Unterdruckquelle zugeordnet sein kann. Entsprechende Anschlüsse 36, 37 sind
ausmündend
auf die Transportkammern 13, 14 vorgesehen, wenn
diese ihre Überdeckungslage
zur jeweils ersten Übergabeöffnung 6 bzw. 7 einnehmen.
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Die
Funktion der Konditionierungskammer 35 besteht darin, dass
bei Überdeckungslage
des Transportschiebers 11 zur ersten Übergabeöffnung 6 und bei an
die zweite Übergabeöffnung 8 angedockter
Transferkammer 4, Öffnung
des Übergangs über die
Ventilsteuerung 17 vorausgesetzt, die Transferkammer 4 durch
den Anschluss an die Konditionierungskammer 35, konditioniert
werden kann, da bei der erfindungsgemäßen Ausgestaltung in Anschlusslage
der Transportkammer 13 zur ersten Übergabeöffnung 6 die Transportkammer 13 gegen
die Konditionierungskammer 35 abgegrenzt ist, und zwar über die
im Bereich der Bodenplatte 18 erfolgende Abdichtung des
Transportschiebers 11 gegen das Gehäuse 5, wozu die Bodenplatte 18 randseitig
in dichtender Anlage zum gehäuseseitigen
Ringbund 28 liegt. Es kann somit die Be- und Entladezeit für die Transportkammer 13 genutzt
werden, um die Transferkammer 4 über ihre Verbindung zur Konditionierungskammer 35 und
deren Anschluss an eine Unterdruckquelle auf ein Unterdruckniveau
zu bringen, wie es erwünscht
ist, um bei spielsweise seitens der Transferkammer 4 ein
Reinraumniveau zu erreichen, wie es für nachfolgende, über die
Transferkammer 4 zu beliefernde Bearbeitungsstationen erforderlich
ist. Dies wird erreicht, ohne dass seitens der Transferkammer entsprechende
Konditionierungseinrichtungen, beispielsweise also Vakuumpumpen
vorgesehen sein müssen,
was im Rahmen der Erfindung von besonderer Bedeutung ist, da die Übergabeeinrichtung
insbesondere für
großformatige
Substrate, wie beispielsweise Flachbildschirme eingesetzt wird,
die Größen bis
zu mehreren Quadratmetern aufweisen, so dass sich für die Transferkammern 4 erhebliche Volumina
ergeben, die in Verbindung mit der notwendigen, unterdruckbedingt
massiven Ausgestaltung der Transferkammer 4 deren Gewicht
weiter erhöhen würden und
damit im Hinblick auf schnelle Prozessabläufe geforderte hohe Beschleunigungen
für die Transferkammer 4 erschweren
würden.
Weiter lässt sich
dadurch auch erreichen, dass die Transferkammer 4 zumindest
bereits weitgehend konditioniert ist, wenn der Transportschieber 11 mit
der Transportkammer 13 in die Überdeckungs- und Anschlusslage zur
zweiten Übergabeöffnung 8 verfahren
wird, zumal in dieser Lage des Transportschiebers 11 sowie auch
während
der Umstellung auf diese Lage über den
Gehäuseinnenraum 9 eine
offene Verbindung zwischen der ersten Übergabeöffnung 6 und der zweiten Übergabeöffnung 8 besteht,
so dass die auf den Gehäuseinnenraum 9 ausmündenden
Sauganschlüsse
der zugehörigen
Unterdruckquelle(n) in dieser Phase auf den Gehäuseinnenraum 9 einschließlich des
Volumens der Transferkammer 4 wirksam sind.
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Bezogen
auf die vorstehende Schilderung der Funktion einer Übergabeeinrichtung 34 liegt
es selbstverständlich
im Rahmen der Erfindung, zwei solcher Übergabeeinrichtungen in quer
zur Hubrichtung spiegelbildlicher Anordnung zu einer Übergabeeinheit
zusammenzufassen, wobei eine solche Übergabeeinheit in den Zeichnungen
nicht dargestellt ist, da sie sich durch Spiegelung des Aufbaus
an der den Gehäuseboden
symbolisierenden Strichlinie 33 ergibt.
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Demgegenüber zeigen
die Ausführungsbeispiele
einer Übergabeeinheit 1,
bei der zwei Übergabeeinrichtungen 34 derart
abgewandelt und zusammengefasst sind, dass die zweite Übergabeöffnung 8 als
beiden Übergabeeinrichtungen
gemeinsame Übergabeöffnung zwischen
den ersten Übergabeöffnungen 6 und 7 liegt,
so dass einander gegenüberliegend
unabhängige
Transportschieber 11, 12 gegenläufig arbeiten
und jeweils in eine Anschlusslage zu einer der ersten Übergabeöffnungen 6 bzw. 7 und
der gemeinsamen zweiten Übergabeöffnung 8 hubverstellbar
sind. Es ist somit ein zumindest im Wesentlichen spiegelbildlicher
Aufbau zu einer strickpunktiert angezeigten Ebene 38 (1)
gegeben. Hierdurch ergibt sich ein vereinfachter Aufbau, und es
grenzen nunmehr die beiden Transportschieber 11, 12 in
der Anschlusslage ihrer Transportkammern 13, 14 zu den Übergabeöffnungen 6, 7,
die Konditionierungskammer 35 ab, die wahlweise bei Verstellung
eines der jeweiligen Transportschieber 11 bzw. 12 gegen eine
der ersten Übergabeöffnungen 6 bzw. 7 und
den zugehörigen
Teil des Gehäuseinnenraumes 9 offen ist.
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Eine
derartige Zusammenfassung zweier Übergabeeinrichtungen 34 erweist
sich insbesondere dann als zweckmäßig, wenn die Beschickung bzw. Entleerung
der Transportkammern 13, 14 über die zugehörigen ersten Übergabeöffnungen 6 bzw. 7 zeitintensiver
ist als die Umsetzung der Substrate aus der Transportkammer 13 bzw. 14 auf
die Transferkammer 4, wobei während die Umstellungsphasen für die Transportschieber 11, 12 insbesondere
bei geschlossener Ventilsteuerung 17 während der Verfahrzeit der Transferkammer 4,
auch bereits genutzt werden können,
um die Konditionierungskammer 35 auf ein Reinraumniveau
zu bringen, das nach Andocken der Transferkammer 4 an die
zweite Übergabeöffnung 8 ein
schnelles Anpassen des Reinraumniveaus in der Transferkammer 4 ermöglicht.
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Der
grundsätzliche
Aufbau der in den 1 bis 4 dargestellten Übergabeeinheit 1 ist
in allen Darstellungen der gleiche. Ausgehend von der Darstellung
gemäß 1,
in der beide Transportschieber 11, 12 für ihre Transportkammern 13 bzw. 14 jeweils
die Anschlusslage zur ersten Übergabeöffnung 6 bzw. 7 einnehmen,
wird ein Ablaufzyklus beschrieben. In 1 ist für die Transportkammer 13 die
Beschickung abgeschlossen und die Ventilsteuerung 15 wieder
geschlossen. Die Transportkammer 14 ist demgegenüber in ihrer
Endladephase, die Ventilsteuerung 16 gibt hierzu die Übergabeöffnung 7 frei.
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In 2 ist
für die
Transportkammer 14 die Beladephase abgeschlossen und die
in 1 beladene Transportkammer 13 ist durch
Hubverstellung des Transportschiebers 11 in die Überdeckungslage zur
zweiten Übergabeöffnung 8 verfahren,
so dass nunmehr die Umschichtung der Substrate auf die Transferkammer 4 erfolgt.
Hierzu ist die Ventilsteuerung 17 geöffnet. 3 veranschaulicht
zur Übergabe
eines anderen der in der Transferkammer 13 gestapelten
Substrate eine gegenüber
der 2 geänderte
Hublage des Transportschiebers 11, wobei der Transportschieber 12 die
zugehörige
Transportkammer 14 nach wie vor gegen die Konditionierungskammer 35 absperrt,
und zwar so lange, bis der Transportschieber 11 in seine
Ausgangslage gemäß 1 zurückgeführt ist.
Nunmehr kann, wie in 4 ersichtlich, der Transportschieber 12 in
die Anschlusslage zur zweiten Übergabeöffnung 8 verfahren
werden und der Austausch der Substrate zwischen der Transportkammer 14 und
der Transferkammer 4 vorgenommen werden, wobei 5 analog
zu 3 eine veränderte
Hublage des Transportschiebers 12 in Anpassung an ein jeweils
zu übergebendes
Substrat zeigt. Nach erfolgtem Austausch der Sub strate wird der
Transportschieber 12 in die Ausgangslage gemäß 1 hubverstellt.