DE102005038293A1

DE102005038293A1 - Magnetsensorvorrichtung die auf dem Magneten angebrachte Komponenten aufweist

Info

Publication number: DE102005038293A1
Application number: DE102005038293A
Authority: DE
Inventors: Norihiro Kariya Kurumado
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2004-08-19
Filing date: 2005-08-12
Publication date: 2006-02-23
Anticipated expiration: 2025-08-13
Also published as: JP4453485B2; US7301331B2; FR2874433A1; US20080061768A1; JP2006058126A; FR2874433B1; DE102005038293B4; CN1737503A; CN100416228C; US20060038560A1

Abstract

Eine Magnetsensorvorrichtung wird zum Erfassen beispielsweise einer Drehzahl oder einer Rotationsgeschwindigkeit eines aus einem magnetischen Material hergestellten Rotors durch Erfassen von Änderungen in einem Magnetfeld verwendet. Die Magnetsensorvorrichtung ist aus einem Magneten (13), elektronischen Komponenten einschließlich eines Sensorchips (11) und einer Verdrahtung (16) zum elektrischen Verbinden der elektrischen Komponenten aufgebaut. Die Verdrahtung (16) ist auf einer Oberfläche des Magneten (13) ausgebildet, und die elektronischen Komponenten sind direkt auf der Verdrahtung montiert bzw. angebracht und elektrisch mit der Verdrahtung verbunden. Ersatzweise sind die elektronischen Komponenten auf dem Magneten (13) angebracht und über Bonddrähte (20) mit der Verdrahtung verbunden. Auf diese Weise kann ein Kontaktfederrahmen oder eine gedruckte Leiterplatte, auf welchen die elektronischen Komponenten montiert sind, beseitigt werden, um hierdurch die Anzahl von Teilen, die in der Magnetsensorvorrichtung verwendet werden, zu reduzieren.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Magnetsensorvorrichtung wie etwa einen Magnetsensor, der ein Magnetoresistenzelement aufweist, zum Erfassen einer Bewegung eines magnetischen Bauteils.

Ein Beispiel eines Magnetsensors ist in JP-A-9-196701 offenbart. Ein relevanter Abschnitt des Magnetsensors ist in den dieser Anmeldung beigefügten 9 und 10 dargestellt. Der Magnetsensor enthält einen Sensorchip 31 mit einem ersten MRE-Paar 1, welches aus Magnetoresistenzelementen MRE1 und MRE2 besteht, und einem zweiten MRE-Paar 2, das aus Magnetoresistenzelementen MRE3 und MRE4 besteht. Der Sensorchip 31 ist so angeordnet, dass er einem Rotor RT gegenüberliegt, welcher aus einem magnetischen Material hergestellte Zähne aufweist. Der Sensorchip 31 und ein Schaltungschip 32, welcher Signale von dem Sensorchip 31 verstärkt und/oder die Signale in binäre Signale umwandelt, sind auf einem Federzungen- bzw. Kontaktzungenrahmen 33 angebracht und zusammen mit einem Gießharz 34 vergossen, wodurch eine vergossene Einheit ausgebildet wird. Ein Stromquellenanschluss T1, ein Ausgangsanschluss T2 und ein Masseanschluss T3 sind aus der vergossenen Einheit herausgeführt.

Der Magnetsensor enthält auch einen Vorspannmagneten 35, welcher eine Nut 35a aufweist, die sich in der Längsrichtung des Vorspannmagneten 35 erstreckt. Die vergossene Einheit, die den Sensorchip 31 und den Schaltungschip 32 enthält, ist auf einer Bodenfläche der Nut 35a angebracht und mit einem Klebstoff verklebt. Somit sind Magnetoresistenzelemente in dem Sensorchip 31 in einem Vorspannmagnetfeld angeordnet.

Gemäß einer Drehung des Rotors RT ändert sich ein Magnetfeld, in welchem die Magnetoresistenzelemente MRE1-MRE4 angeordnet sind. Elektrische Widerstände dieser Elemente variieren in Reaktion auf Änderungen in dem Magnetfeld. Eine Drehgeschwindigkeit oder Drehzahl des Rotors RT wird als Änderungen in den elektrischen Widerständen der Magnetoresistenzelemente erfasst. MRE1-MRE4 bilden eine Brückenschaltung aus, und Ausgänge aus der Brückenschaltung werden durch den Schaltungschip 32 verarbeitet und von dem Ausgangsanschluss T2 abgenommen.

Komponenten des Magnetsensors wie etwa der Sensorchip 31 und der Schaltungschip 32 sind auf einem Federzungenrahmen 33 angebracht und zusammen vergossen, so dass eine vergossene Einheit ausgebildet wird. Dann wird die vergossene Einheit auf dem Magneten 35 angebracht bzw. montiert. Ersatzweise werden die Komponenten mit einer gedruckten Leiterplatte verbunden und wird dann die Leiterplatte auf dem Magneten 35 angebracht. Bei einer solchen herkömmlichen Struktur ist in jedem Fall ein Federzungenrahmen oder eine Leiterplatte zur Montage der Komponenten hierauf erforderlich, was zu einer Erhöhung der Herstellungskosten führt.

KURZFASSUNG DER ERFINDUNG

Die vorliegende Erfindung ist in Anbetracht des vorstehend erwähnten Problems gemacht worden, und eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine verbesserte Magnetsensorvorrichtung zu schaffen, bei welcher die Anzahl der Komponenten, die in der Sensorvorrichtung verwendet wird, reduziert ist, wobei gleichzeitig eine Struktur zur leichten Montage dieser Komponenten bereitgestellt wird.

Die Magnetsensorvorrichtung wird zur Erfassung von Änderungen in einem durch ein sich bewegendes magnetisches Bauteil verursachten Magnetfeld verwendet. Die Magnetsensorvorrichtung ist beispielsweise nahe an einem magnetischen Rotor zum Erfassen einer Drehzahl oder Rotationsgeschwindigkeit des magnetischen Rotors angeordnet. Die Magnetsensorvorrichtung enthält einen Magneten zum Erzeugen eines Vorspannmagnetfelds, auf dem Magneten montierte elektronische Komponenten und eine auf dem Magneten ausgebildete Verdrahtung, um die elektronischen Komponenten elektrisch zu verbinden.

Die Verdrahtung ist auf einer Oberfläche des Magneten durch Drucken oder dergleichen ausgebildet. Die elektronischen Komponenten, die einen Sensorchip und einen Schaltungschip zum Verarbeiten von Ausgangssignalen des Sensorchips umfassen, sind auf der Oberfläche des Magneten montiert und elektrisch mit der auf der Oberfläche des Magneten ausgebildeten Verdrahtung verbunden. Der Sensorchip enthält eine Brücke, die durch Magnetoresistenzelemente zum Erfassen von Änderungen in einem Magnetfeld ausgebildet sind. Die elektronischen Komponenten können direkt auf der Verdrahtung montiert sein und direkt mit der Verdrahtung verbunden sein. Ersatzweise können sie auf dem Magneten montiert und über Bonddrähte elektrisch mit der Verdrahtung verbunden sein.

Auf dem Magneten kann eine Nut ausgebildet sein, die sich in Richtung des magnetischen Rotors, dessen Rotationsgeschwindigkeit erfasst werden soll, erstreckt. In diesem Fall ist die Verdrahtung auf einer Bodenfläche der Nut ausgebildet, und die elektronischen Komponenten sind auf der Bodenfläche montiert und elektrisch mit der Verdrahtung verbunden. Nachdem die elektronischen Komponenten in der Nut angeordnet und mit der Verdrahtung verbunden werden, werden diese Komponenten mit einem Gießharz zusammen mit der Verdrahtung vergossen.

Vorzugsweise wird als der Magnet zum Erzeugen des Vorspannmagnetfelds ein Kunststoffmagnet verwendet. In diesem Fall kann in einem Prozess eines Gießens des Kunststoffmagneten ein Teil der Verdrahtung in dem Kunststoffmagneten eingebettet werden. Der Magnet kann in einer Gestalt ausgebildet sein, die hierin einen Hohlraum aufweist. In diesem Fall ist die Verdrahtung auf einer Innenwand des Hohlraums ausgebildet und sind die elektronischen Komponenten auf der Innenwand montiert und elektrisch mit der auf der Innenwand ausgebildeten Verdrahtung verbunden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Federzungenrahmen oder eine gedruckte Leiterplatte, auf welchen die elektronischen Komponenten montiert werden, beseitigt werden, wodurch die Anzahl der Komponenten, die die magnetische Sensorvorrichtung ausbilden, reduziert wird. Ferner werden die elektronischen Komponenten auf einfache Weise montiert und elektrisch mit der auf der Oberfläche des Magneten ausgebildeten Verdrahtung verbunden. Andere Aufgaben und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus einem besseren Verständnis der nachstehend mit Bezug auf die folgenden Zeichnungen beschriebenen, bevorzugten Ausführungsform leichter ersichtlich werden.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Draufsicht, welche eine Magnetsensorvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
2 ist eine Querschnittsansicht, welche die Magnetsensorvorrichtung entlang einer Linie II-II in 1 zeigt;
3 ist eine Querschnittsansicht, welche die Magnetsensorvorrichtung entlang einer Linie III-III in 1 zeigt;
4 ist eine Querschnittsansicht, welche eine modifizierte Form der Magnetsensorvorrichtung zeigt, wobei die Querschnittsansicht 2 entspricht;
5 ist eine Querschnittsansicht, welche eine modifizierte Form der Magnetsensorvorrichtung zeigt, wobei die Querschnittsansicht 2 entspricht;
6 eine Querschnittsansicht, welche eine modifizierte Form der Magnetsensorvorrichtung zeigt, wobei die Querschnittsansicht 3 entspricht;
7A ist eine Draufsicht, welche eine modifizierte Form eines Magneten zeigt, auf welchem eine Verdrahtung ausgebildet ist;
7B ist eine Querschnittsansicht, welche den Magneten entlang einer Linie VIIB-VIIB in 7A zeigt;
8A ist eine Draufsicht, welche eine modifizierte Form eines Magneten zeigt, der eine eingebettete Verdrahtung enthält;
8B ist eine Querschnittsansicht, welche den Magneten entlang einer Linie VIIIB-VIIIB in 8A zeigt;
9 ist eine Draufsicht, welche einen herkömmlichen Magnetsensor zum Erfassen einer Rotationsgeschwindigkeit eines aus einem magnetischen Material hergestellten Rotors zeigt; und
10 ist eine Querschnittsansicht, welche den Magnetsensor entlang einer Linie X-X in 9 zeigt.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun mit Bezug auf 1 bis 3 beschrieben werden. Ein Magnetsensor, wie er in 1 dargestellt ist, wird beispielsweise als ein Sensor zum Erfassen einer Rotationsgeschwindigkeit oder Drehzahl eines rotierenden magnetischen Objekts verwendet. Der Magnetsensor ist so angeordnet, dass er dem rotierenden Objekt gegenübersteht. Wie in 1 gezeigt, enthält der Magnetsensor einen Sensorchip 11, einen Schaltungschip 12, einen Kondensator C, einen Vorspannmagneten 13 und andere diesem zugeordnete Komponenten. Diese Komponenten sind alle in einem Gehäuse 14 enthalten.
Der Sensorchip 11 besteht aus einem ersten Paar 1 von Magnetoresistenzelementen MRE1, MRE2 und einem zweiten Paar 2 von Magnetoresistenzelementen MRE3, MRE4. Der Schaltungschip 12 verstärkt von dem Sensorchip 11 ausgegebene elektrische Signale und/oder ändert die Signale in binäre Signale. Der Kondensator C reduziert den Einfluss von Störungen bzw. Rauschen auf den Sensorchip 11 und den Schaltungschip 12. Der Vorspannmagnet 13 stellt ein Vorspannfeld für den Sensorchip 11 bereit. Der Vorspannmagnet 13 weist einen U-förmigen Querschnitt auf; und eine Nut 15, welche die U-Form ausbildet, erstreckt sich in Richtung eines magnetischen Rotors, dessen Rotationsgeschwindigkeit durch die Sensorvorrichtung erfasst werden soll. Der Vorspannmagnet 13 weist seine N-Pole an einer Stelle nahe dem magnetischen Rotor und seine S-Pole an einer entfernten Seite auf. Der Vorspannmagnet 13 ist in dieser speziellen Ausführungsform ein Kunststoffmagnet; gleichwohl können andere Arten von Magneten verwendet werden.
Wie in 1 bis 3 gezeigt, ist eine Verdrahtung 16, die aus mehreren Drähten besteht, auf und entlang einer Bodenfläche 15a der in dem Vorspannmagneten 13 ausgebildeten Nut 15 ausgebildet. Der Sensorchip 11, der Schaltungschip 12 und andere Komponenten sind mit der Verdrahtung 16 elektrisch verbunden. Die Verdrahtung 16 ist durch Drucken, Aufdampfen, Plattieren, Tintenstrahldrucken oder dergleichen ausgebildet. Ein Energieversorgungsanschluss T1, ein Ausgangsanschluss T2 und ein Masseanschluss T3 sind auf dem Gehäuse 14 ausgebildet und über Bonddrähte 18 mit der Verdrahtung 16 verbunden.
Wie in 2 dargestellt, sind der Sensorchip 11 und der Schaltungschip 12 direkt auf der Verdrahtung 16 montiert und elektrisch hiermit verbunden. Der Kondensator C ist mit einem leitfähigen Klebstoff direkt mit der Verdrahtung 16 verbunden. Der Sensorchip 11, der Schaltungschip 12 und der Kondensator C sind zusammen mit der Verdrahtung 16 mit einem Gießharz 17 vergossen. Wie in 3 gezeigt, sind Elektroden D des Sensorchips 11 über kugelförmige Lothöcker B direkt mit der Verdrahtung 16 verbunden. Der Schaltungschip 12 ist in gleicher Weise elektrisch mit der Verdrahtung 16 verbunden. Mit anderen Worten, blanke Chips dieser Komponenten sind direkt mit der auf der Bodenfläche 15a der Nut 15 ausgebildeten Verdrahtung 16 verbunden.
Die vorstehend beschriebene Magnetsensorvorrichtung ist so angeordnet, dass sie einem aus einem magnetischen Material hergestellten Rotor gegenüberliegt, und erfasst Änderungen in einem Magnetfeld, welches in dem Sensorchip 11 in Zusammenwirkung mit den durch den Vorspannmagnet 13 und den magnetischen Rotor erzeugten Magnetfeld ausgebildet wird. Die Änderungen in dem Magnetfeld werden als Änderungen in dem Widerstandswert der Magnetoresistenzelemente MRE1-MRE4 erfasst. Somit wird eine Drehzahl oder Rotationsgeschwindigkeit des Rotors erfasst. Die Ausgangssignale aus dem Sensorchip 11 werden durch den Schaltungschip 12 verarbeitet und aus dem Ausgangsanschluss T2 ausgegeben.
Vorteile der vorstehend beschriebenen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden nachstehend zusammengefasst werden. Die Komponenten einschließlich des Sensorchips 11 und des Schaltungschips 12 sind auf der auf der Bodenfläche 15a der Nut 15 ausgebildeten Verdrahtung 16 direkt montiert und mit dieser elektrisch verbunden. Daher ist ein Kontaktzungen- bzw. Federrahmen oder eine gedruckte Leiterplatte zum Montieren dieser Komponenten, die bei einem herkömmlichen Magnetsensor unverzichtbar waren, nicht erforderlich. Zusätzlich ist ein Abstand zwischen dem Sensorchip 11 und dem Vorspannmagneten 13 verkürzt, indem der Sensorchip 11 direkt auf dem Vorspannmagneten 13 montiert ist. Demgemäß ist die Empfindlichkeit des Magnetsensors verbessert.
Die Verdrahtung 16 ist direkt auf der Bodenfläche 15a der Nut 15 in dem Vorspannmagneten 13 ausgebildet. Demgemäß kann die Verdrahtung 16 auf einfache Weise durch Drucken, Aufdampfen, Plattieren, Tintenstrahldrucken oder dergleichen hergestellt werden, und die Komponenten können auf einfache Weise mit der Verdrahtung 16 verbunden werden. Der Vorspannmagnet 13 weist einen U-förmigen Querschnitt auf, der die Nut 15 ausbildet. Daher werden Komponenten der Sensorvorrichtung in geeigneter Weise in der Nut 15 aufgenommen und wird das Gießharz 17 in geeigneter Weise in der Nut 15 gehalten. Ferner wird, nachdem der Vorspannmagnet 13 durch einen Kunststoffmagneten ausgebildet ist, die Verdrahtung 16, die hierauf ausgebildet ist, zuverlässig von dem Magneten isoliert.
Die vorliegenden Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebene Ausführungsform beschränkt, sondern kann auf vielfältige Weise modifiziert werden. Nachstehend werden einige Beispiele modifizierter Formen der vorstehend beschriebenen Ausführungsform vorgestellt. Gemäß der Darstellung in 4 kann die Verdrahtung 19 in dem Kunststoffmagneten 13 eingebettet sein. Die Verdrahtung 19 kann durch Einsatzgießen zusammen mit dem Kunststoffmagneten 13 hergestellt werden. Die Komponenten einschließlich des Sensorchips 11 und des Schaltungschips 12 werden auf dem Teil der Verdrahtung, der auf der Bodenfläche 15a der Nut 15 freiliegt, montiert und hiermit verbunden.
Gemäß der Darstellung in 5 kann die Verdrahtung 16 so ausgebildet sein, dass sie sich in die Nähe der Komponenten einschließlich des Sensorchips 11 und des Schaltungschips 12 erstreckt, und können die Komponenten auf indirekte Weise über Bonddrähte 20 mit der Verdrahtung 16 verbunden sein. In diesem Fall ist die Verwendung eines Federzungenrahmens oder einer gedruckten Leiterplatte zum Montieren der Komponenten hierauf ebenfalls nicht erforderlich.
Der Vorspannmagnet 13 kann in einer zylindrischen oder stangenförmigen Gestalt ausgebildet sein, die hierin einen Hohlraum aufweist. Gemäß der Darstellung in 6 kann der Vorspannmagnet, der einen inneren Hohlraum 23 aufweist, beispielsweise durch einen U-förmigen Abschnitt 21 und eine flache Platte 22, die eine Öffnung des U-förmigen Abschnitts 21 verschließt, ausgebildet sein. Der U-förmige Abschnitt 21 enthält eine Nut 21a, die ähnlich der Nut 15 in der vorstehend beschriebenen Ausführungsform ist. Die vergossenen Komponenten des Magnetsensors einschließlich des Sensorchips 11 und des Schaltungschips 12 werden in der Nut 21a aufgenommen, und dann wird die Öffnung der Nut 21 mit der flachen Platte 22 verschlossen.
Die vorliegende Erfindung kann auch auf andere magnetische Vorrichtungen als den Magnetsensor angewendet werden, und die Gestalt des Magneten kann auf vielfältige Weise modifiziert werden. Beispielsweise kann ein kastenförmiger Magnet 24 mit einer auf seiner Oberfläche ausgebildeten Verdrahtung 25 verwendet werden, wie in 7A und 7B gezeigt. Ersatzweise kann, wie in 8A und 8B gezeigt, ein Teil einer Verdrahtung 27 in einem Magneten 26 eingebettet sein, während ein anderer Teil der Verdrahtung 27 auf der Oberfläche des Magneten 26 ausgebildet sein kann. Ein Abschnitt der Verdrahtung 27, der aus dem eingebetteten Abschnitt herausführt, kann als ein Anschluss verwendet werden. Die Komponenten der Magnetvorrichtung werden direkt auf dem Abschnitt der Verdrahtung 27, der auf der Oberfläche ausgebildet ist, montiert.
In der vorstehend beschriebenen Ausführungsform sind der Sensorchip 11 und der Schaltungschip 12 in der Form blanker Chips direkt auf der auf dem Magneten 13 ausgebildeten Verdrahtung 16 montiert. Es ist möglich, diese Komponenten in der Form von Chips in Gehäusen (gepackten Chips) auf der Verdrahtung 16 zu montieren. Es ist auch möglich, Komponenten mit einem Flip-Chip-Aufbau zu montieren. Der Magnet ist nicht auf den Kunststoffmagneten beschränkt. Vielmehr können andere Arten von Magneten verwendet werden, solange der Magnet eine nicht leitfähige Oberfläche aufweist, um hierauf die Verdrahtung auszubilden.
Während die vorliegende Erfindung mit Bezug auf die vorstehende, bevorzugte Ausführungsform gezeigt und beschrieben worden ist, wird dem Fachmann ersichtlich sein, dass Änderungen in Form und Einzelheiten hieran vorgenommen werden können, ohne von dem Umfang der Erfindung, wie sie in den beigefügten Ansprüchen definiert ist, abzuweichen.
Eine Magnetsensorvorrichtung wird zum Erfassen beispielsweise einer Drehzahl oder einer Rotationsgeschwindigkeit eines aus einem magnetischen Material hergestellten Rotors durch Erfassen von Änderungen in einem Magnetfeld verwendet. Die Magnetsensorvorrichtung ist aus einem Magneten 13, elektronischen Komponenten einschließlich eines Sensorchips 11 und einer Verdrahtung 16 zum elektrischen Verbinden der elektronischen Komponenten aufgebaut. Die Verdrahtung 16 ist auf einer Oberfläche des Magneten 13 ausgebildet, und die elektronischen Komponenten sind direkt auf der Verdrahtung montiert bzw. angebracht und elektrisch mit der Verdrahtung verbunden. Ersatzweise sind die elektronischen Komponenten auf dem Magneten 13 angebracht und über Bonddrähte 20 mit der Verdrahtung verbunden. Auf diese Weise kann ein Kontaktfederrahmen oder eine gedruckte Leiterplatte, auf welchen die elektronischen Komponenten montiert sind, beseitigt werden, um hierdurch die Anzahl von Teilen, die in der Magnetsensorvorrichtung verwendet werden, zu reduzieren.

Claims

Magnetsensorvorrichtung, welche aufweist: einen Magneten (13); eine Verdrahtung (16), die auf dem Magneten ausgebildet ist; und elektronische Komponenten (11, 12, C), die auf dem Magneten montiert und elektrisch mit der Verdrahtung verbunden sind.
Magnetsensor gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnet (13) ein Kunststoffmagnet ist.
Magnetsensor gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verdrahtung (16) auf und entlang einer Oberfläche des Magneten (13) ausgebildet ist.
Magnetsensor gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass: ein Teil der Verdrahtung (19) in den Magneten (13) eingebettet ist und ein anderer Teil der Verdrahtung auf einer Oberfläche des Magneten freiliegt, und die Verdrahtung zusammen mit dem Magneten ausgebildet wird, wenn der Magnet ausgebildet wird.
Magnetsensor gemäß einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass die elektronischen Komponenten (11, 12, C) direkt auf der Verdrahtung (16) montiert und elektrisch hiermit verbunden sind.
Magnetsensor gemäß einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass: die elektronischen Komponenten (11, 12, C) direkt auf einer Oberfläche des Magneten (13) montiert sind; die Verdrahtung (16) auf der Oberfläche des Magneten (13) bis in die Nähe der elektronischen Komponenten ausgebildet ist; und die elektronischen Komponenten über Bonddrähte (20) elektrisch mit der Verdrahtung verbunden sind.
Magnetsensorvorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass: die elektronischen Komponenten einen Sensorchip (11) mit Magnetoresistenzelementen (MRE1-4) aufweisen; der Magnet (13) als ein Vorspannmagnet arbeitet, um den Magnetoresistenzelementen (MRE1-4) ein Magnetfeld zu geben; und die Magnetoresistenzelemente Änderungen in dem Magnetfeld, die durch ein sich bewegendes, nahe an den Magnetoresistenzelementen angeordnetes magnetisches Bauteil hervorgerufen werden, erfassen.
Magnetsensorvorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass: der Magnet (13) in einer U-förmigen Gestalt mit einer Nut (15), die sich in Richtung des sich bewegenden magnetischen Bauteil erstreckt, so ausgebildet ist, dass er diesem gegenüberliegt; wenigstens ein Teil der Verdrahtung (16) auf und entlang einer Bodenfläche (15a) der Nut ausgebildet ist; und der Sensorchip (11) auf der Bodenfläche (15a) der Nut montiert und elektrisch mit der auf der Bodenfläche der Nut ausgebildeten Verdrahtung (16) verbunden ist.
Magnetsensorvorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Magnet einen hierin ausgebildeten Hohlraum (23) aufweist; wenigstens ein Teil der Verdrahtung (16) auf einer Innenwand des Hohlraums ausgebildet ist; und der Sensorchip (11) auf der Innenwand montiert und elektrisch mit der auf der Innenwand ausgebildeten Verdrahtung verbunden ist.
Magnetsensorvorrichtung gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlraum (23) des Magneten durch Verbinden eines ersten Abschnitts (21) mit einem U-förmigen Querschnitt und eines zweiten Abschnitts (22) mit der Gestalt einer flachen Platte zum Schließen einer Öffnung des U-förmigen Querschnitts ausgebildet ist.