DE102005036911A1 - Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche - Google Patents

Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche Download PDF

Info

Publication number
DE102005036911A1
DE102005036911A1 DE200510036911 DE102005036911A DE102005036911A1 DE 102005036911 A1 DE102005036911 A1 DE 102005036911A1 DE 200510036911 DE200510036911 DE 200510036911 DE 102005036911 A DE102005036911 A DE 102005036911A DE 102005036911 A1 DE102005036911 A1 DE 102005036911A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lens
target surface
arrays
honeycomb condenser
surface according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE200510036911
Other languages
English (en)
Inventor
Armin Dr. Leitel
Mathias Schulz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik AG
Original Assignee
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical Carl Zeiss Jena GmbH
Priority to DE200510036911 priority Critical patent/DE102005036911A1/de
Publication of DE102005036911A1 publication Critical patent/DE102005036911A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00Simple or compound lenses
    • G02B3/0006Arrays
    • G02B3/0037Arrays characterized by the distribution or form of lenses
    • G02B3/005Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along a single direction only, e.g. lenticular sheets
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/002Arrays of reflective systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B17/00Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
    • G02B17/008Systems specially adapted to form image relays or chained systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/095Refractive optical elements
    • G02B27/0955Lenses
    • G02B27/0961Lens arrays
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058Mask illumination systems
    • G03F7/70075Homogenization of illumination intensity in the mask plane by using an integrator, e.g. fly's eye lens, facet mirror or glass rod, by using a diffusing optical element or by beam deflection
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058Mask illumination systems
    • G03F7/70191Optical correction elements, filters or phase plates for controlling intensity, wavelength, polarisation, phase or the like

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche, bevorzugt zur Anwendung in der Projektionstechnik, umfassend zwei gleichartig gestaltete, parallel sowie spiegelverkehrt zueinander liegende Linsenarrays (1, 2), die aus einer regelmäßigen Anordnung gleichartiger Linsen bestehen und deren optische Achsen (A¶1¶, A¶2¶, A¶3¶, A¶4¶) parallel zur optischen Achse (A¶B¶) der Beleuchtungseinrichtung angeordnet sind sowie einem optischen Bauelement (5) zur Beseitigung von aus dem ersten Linsenarray (1) austretenden Falschlichtanteilen. Erfindungsgemäß bestehen beide Linsenarrays (1, 2) aus einem Monolith, wobei das optische Bauelement (5) zur Beseitigung von aus dem ersten Linsenarray (1) austretenden Falschlichtanteilen in den linsenzeilen- und/oder linsenspaltenförmigen Vertiefungen des ersten und/oder des zweiten Linsenarrays (1, 2) eingebettet ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche, bevorzugt zur Anwendung in der Projektionstechnik, umfassend zwei gleichartig gestaltete, parallel sowie spiegelverkehrt zueinander liegende Linsenarrays, die aus einer regelmäßigen Anordnung gleichartiger Linsen bestehen und deren optische Achsen parallel zur optischen Achse der Beleuchtungseinrichtung angeordnet sind sowie einem optischen Bauelement zur Beseitigung von aus dem ersten Linsenarray austretenden Falschlichtanteilen.
  • Zur Homogenisierung des Lichtes in Beleuchtungsstrahlengängen sind Linsenarrays allgemein bekannt. Ein geeignet angeordnetes Paar bildet einen sogenannten Wabenkondensor, bei dem eine Wabenplatte mit Linsen oder Mikrolinsen bestückt (Linsenarray) eine Vielfachabbildung einer Leuchtfläche in eine zweite Wabenplatte mit Linsen bewirkt und dabei das auf das erste Linsenarray auftreffende Licht homogenisiert.
  • Nachteilig dabei wirkt sich parasitäres Licht des aus dem ersten Linsenarray austretenden Lichtes aus, welches nicht auf die gewünschte Linse des zweiten Linsenarrays, sondern auf benachbarte Linsen trifft und so zu unerwünschtem Falschlicht, wie Streulicht, Reflexe und Geisterbilder führt.
  • Die bekannten Lösungen basieren darauf, dass zwei Linsenarrays als getrennte Bauelemente (Wabenplatten) gestaltet sind, bei denen eine Falschlichtblende zwischen den Linsenarrays angeordnet wird oder direkt als strukturierte Schicht mit mindestens einem Linsenarray verbunden ist. Ferner sind Wabenkondensoren in einer „Sandwich Anordnung" bekannt, bei denen gitterförmige Blenden zwischen die Linsenarrays montiert oder direkt mit ihnen verklebt werden.
  • In EP 1280726 wird beispielsweise ein Wabenkondensor aufgezeigt, der aus zwei voneinander getrennten Linsenarrays besteht, zwischen denen zur Beseitigung von Falschlichtanteilen optische Elemente angeordnet sind.
  • Den bekannten Lösungen haften die Nachteile an, dass das Ausrichten der Linsenarrays zueinander sowie die Montage der Elemente zur Beseitigung von Falschlichtanteilen sehr aufwendig und somit sehr kostenintensiv sind.
  • Ausgehend von diesen Nachteilen liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Wabenkondensor dahingehend weiterzuentwickeln, dass mit verringertem Fertigungsaufwand (vereinfachter konstruktiven Gestaltung) eine einfachere Montage zur Beseitigung von Falschlicht in einer optischen Anordnung möglich wird.
  • Diese Aufgabe wird durch einen Wabenkondensor der eingangs beschriebenen Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass beide Linsenarrays aus einem Monolith bestehen und das optische Bauelement zur Beseitigung von aus dem ersten Linsenarray austretenden Falschlichtanteilen in den linsenzeilen- und/oder linsenspaltenförmigen Vertiefungen des ersten und/oder des zweiten Linsenarrays eingebettet ist.
  • Das in den linsenzeilen- und/oder linsensspaltenförmigen Vertiefungen eingebettete optische Bauelement verhindert durch seine absorbierende Wirkung einen Lichtübertritt auf benachbarte Linsen des zweiten Linsenarrays und vermeidet somit den Übertritt von unerwünschtem Falschlicht auf das zweite Linsenarray.
  • Dabei sollte das optische Bauelement so beschaffen sein, dass restliche Lichtanteile, die am optischen Bauelement transmittiert oder reflektiert werden, in einen großen Raumwinkelbereich gestreut werden, um jegliche Konzentrationen von Falschlicht zu unterdrücken.
  • Der aus den zwei Linsenarrays und dem optischen Element zur Beseitigung von Falschlichtanteilen zu einer Einheit gefertigte Wabenkondensor ermöglicht eine ohne hohen Justieraufwand durchführbare Montage.
  • Zweckmäßigerweise bestehen die Linsenarrays aus einem Licht transparentem Kunststoff (organisches Glas), die durch Gießen, Prägen, Spritzgießen oder Spritzprägen geformt sind, wobei auch Lösungen aus blankgepressten Glasverformungen denkbar sind.
  • Zur problemlosen Integration der Gitterblende im Monolith ist es von Vorteil, das das optische Element in den linsenzeilen- und/oder linsenspaltenförmigen Vertiefungen bis zu den hälftigen Abständen zwischen den Vertiefungen der sich gegenüberliegenden Linsenarrays einzubetten.
  • In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist das optische Bauelement zur Beseitigung von aus dem ersten Linsenarray austretenden Falschlichtanteilen als absorbierende Gitterblende ausgebildet und direkt im Monolith integriert.
  • Sie kann dabei in urformtechnisch, umformtechnisch oder abtragend eingebrachte Nuten in den linsenzeilen- und/oder linsenspaltenförmigen Vertiefungen des ersten Linsenarrays eingebracht werden.
  • Eine vorteilhafte Lösung besteht dabei, die Gitterblende in entsprechende Nuten durch Umgießen oder Umspritzen mit organischem Glas in seiner Lage zu fixieren. Dabei kann die Gitterblende entweder aus einem formstabilen, faserverstärkten Kunststoff oder aus einer faserverstärkten Kohlenstoffverbindung bestehen.
  • Auf diese Art und Weise ist das optische Bauelement direkt Bestandteil des Wabenkondensors. Bei der Montage in eine optische Anordnung bedarf es lediglich der Justage der gemeinsamen zentrischen Achse zur optischen Achse der Anordnung.
  • Zum Zwecke der Verbesserung der Absorption ist es in bestimmten Anwendungsfällen sinnvoll, eine Gitterblende, die eingefärbt oder beschichtet ist, zu verwenden.
  • Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung besteht darin, zur Vermeidung einer gerichteten Reflexion von Lichtanteilen, die nicht absorbiert werden, eine Gitterblende zu verwenden, die eine in Richtung der Beleuchtungseinrichtung orientierte raue Oberfläche aufweist.
  • Bei bestimmten Anwendungsfällen kann es von Vorteil sein, die Gitterblende aus zwei mit gleichem Abstand zur optischen Achse angeordneten Teilblenden auszubilden, wobei eine Teilblende im ersten Linsenarray und die andere Teilblende im zweiten Linsenarray fixiert ist.
  • Der dabei entstehende Zwischenraum lässt sich auf relativ einfache Art und Weise beispielsweise mit einem Kunststoff ausfüllen.
  • Zum Zwecke der Stabilisierung der Blendenanordnung ist es sinnvoll, die Teilblenden an ihren optisch nicht wirksamen Flächen partiell miteinander zu verbinden.
  • Denkbar ist auch eine Variante, bei der die Teilblenden vollständig miteinander verbunden sind, so dass dabei die Linsenpaare, die durch die Zuordnung einer Linse des ersten Linsenarrays zur Linse des zweiten Linsenarrays definiert sind, voneinander getrennt werden. Dies wäre beispielsweise dann sinnvoll, wenn die Linsenpaare der Arrays eigene Baugruppen sind, die dann über die Gitterblenden ausgerichtet miteinander verbunden werden. Dazu wäre die Verwendung einer Klebsubstanz denkbar.
  • Zweckmäßigerweise sollte die Form der Linsenarrays an die Form der zu beleuchtenden Zielfläche angepasst sein um eine optimale Ausleuchtung zu sichern.
  • Anhand von Ausführungsbeispielen soll der erfindungsgemäße Wabenkondensor näher erläutert werden. Die dazugehörenden Figuren zeigen:
  • 1: die Darstellung eines Wabenkondensors mit Falschlichtanteilen,
  • 2: eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Wabenkondensors,
  • 3: die detaillierte Darstellung der Falschlichtbeseitigung aus der Anordnung nach 3 und
  • 4: eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Wabenkondensors.
  • 1 zeigt eine Schnittdarstellung (y-Richtung) eines Wabenkondensors mit zwei gleichartig gestalteten, parallel sowie spiegelverkehrt zueinander liegenden Linsenarrays 1 und 2. Die optischen Achsen A1, A2, A3 und A4 der einzelnen Linsen der Arrays 1 und 2 liegen dabei parallel zur optischen Achse AB einer nicht näher darstellten Beleuchtungseinrichtung.
  • Im vorliegenden Beispiel sind, wie aus 1 ersichtlich, vier Linsengruppen übereinander und, in 1 nicht erkennbar, vier Linsengruppen nebeneinander (x-Richtung) angeordnet, wobei jede Linsengruppe durch ihre erhabenen Funktionsflächen 3 und 4 charakterisiert ist. Die erste Funktionsfläche 3 ist dabei zur Beleuchtungseinrichtung und die zweite Funktionsfläche 4 zu einem ebenfalls nicht dargestellten bildgebenden Element orientiert.
  • Deutlich zu erkennen ist in 1 der unerwünschte Falschlichtanteil 6, der mit der erfindungsgemäßen Variante nach 2 beseitigt wird.
  • Dazu befindet sich in den linsenzeilenförmigen Vertiefungen des in Richtung des nicht dargestellten bildgebenden Elementes orientierten Linsenarrays 2 eine dünnwandige Gitterblende 5 (kleiner 1 mm) aus einem lichtabsorbierenden, faserverstärkten Kunststoffmaterial.
  • Die Gitterblende 5 ist dabei so dimensioniert, dass deren Breite B der halbe Abstand A der linsenzeilenförmigen Vertiefungen zwischen den Arrays 1 und 2 ist.
  • Durch die Anordnung der Gitterblende 5 wird ein Übertreten von Falschlichtanteilen 6 vom Linsenarray 1 zum Linsenarray 2 verhindert.
  • 3 zeigt die detaillierte Darstellung der Beseitigung des Falschlichtanteiles 6, der dadurch entsteht, dass bestimmte Anteile des von einer Linse 1b des Linsenarrays 1 kommenden Lichtes nicht die zugeordnete Linse 2b des Linsenarrays 2, sondern die Gitterblende 5 treffen.
  • In einem weiteren Ausführungsbeispiel nach 4 besteht die Gitterblende 5 aus zwei mit jeweils gleichem Abstand parallel zur optischen Achse (AB) angeordneten Teilblenden (5', 5''), wobei eine Teilblende (5') im ersten Linsenarray (1) und die andere Teilblende (5'') im zweiten Linsenarray (2) fixiert ist.
  • Diese Anordnung ist zur Eliminierung des Falschlichtanteiles 6 bei großen Falschlichtwinkeln α vorteilhaft. Dabei ist ein nahtloser Übergang zwischen den beiden Teilblenden (5', 5'') denkbar.
  • 1, 2
    Linsenarray
    1b, 2b
    Linse
    3, 4
    Funktionsfläche
    5, 5', 5''
    optisches Element, Gitterblende
    6
    Falschlichtanteil
    A, B
    Abstand
    AB
    optische Achse Beleuchtungsanordnung
    A1, A2, A3, A4
    optische Achse Linse
    α
    Falschlichtwinkel

Claims (13)

  1. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche, bevorzugt zur Anwendung in der Projektionstechnik, umfassend zwei gleichartig gestaltete, parallel sowie spiegelverkehrt zueinander liegende Linsenarrays (1, 2) die aus einer regelmäßigen Anordnung gleichartiger Linsen bestehen und deren optische Achsen (A1, A2, A3, A4) parallel zur optischen Achse (AB) der Beleuchtungseinrichtung angeordnet sind sowie einem optischen Bauelement (5) zur Beseitigung von aus dem ersten Linsenarray (1) austretenden Falschlichtanteilen, dadurch gekennzeichnet, dass beide Linsenarrays (1, 2) aus einem Monolith bestehen und das optische Bauelement (5) zur Beseitigung von aus dem ersten Linsenarray (1) austretenden Falschlichtanteilen in den linsenzeilen- und/oder linsenspaltenförmigen Vertiefungen des ersten und/oder des zweiten Linsenarrays (1, 2) eingebettet ist.
  2. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Linsenarrays (1, 2) aus einem Licht transparentem Kunststoff (organisches Glas) durch Gießen, Prägen, Spritzgießen oder Spritzprägen geformt, bestehen.
  3. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Linsenarrays (1, 2) blankgepresste Glasverformungen sind.
  4. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Element (5) in den linsenzeilen- und/oder linsenspaltenförmigen Vertiefungen bis zu den hälftigen Abständen (A) zwischen den Vertiefungen der sich gegenüberliegenden Linsenarrays (1, 2) eingebettet sind.
  5. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach den Ansprüchen 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, dass das optische Bauelement (5) als absorbierende Gitterblende ausgebildet und im Monolith integriert ist.
  6. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach den Ansprüchen 1, 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Gitterblende (5) in urformtechnisch, umformtechnisch oder abtragend eingebrachte Nuten in den linsenzeilen- und/oder linsenspaltenförmigen Vertiefungen des ersten Linsenarrays (1) eingebracht ist.
  7. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach den Ansprüchen 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Gitterblende (5) in den Nuten durch Umgießen oder Umspritzen mit organischem Glas in seiner Lage fixiert ist.
  8. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Gitterblende (5) aus einem formstabilen, faserverstärkten Kunststoff oder einer faserverstärkten Kohlenstoffverbindung besteht.
  9. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach den Ansprüchen 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass zum Zwecke der Verbesserung der Absorption die Gitterblende (5) eingefärbt oder beschichtet ist.
  10. Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche nach den Ansprüchen 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Gitterblende (5) zur Vermeidung einer gerichteten Reflexion von Lichtanteilen, die nicht absorbiert werden, eine in Richtung der Beleuchtungseinrichtung orientierte raue Oberfläche (3) aufweist.
  11. Wabenkondensor nach den Ansprüchen 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, das die Gitterblende (5) aus zwei mit gleichem Abstand zur optischen Achse (AB) angeordneten Teilblenden (5' und 5'') besteht, wobei eine Teilblende (5') im ersten Linsenarray (1) und die andere Teilblende (5'') im zweiten Linsenarray (2) fixiert ist.
  12. Wabenkondensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, das zum Zwecke der Stabilisierung der Blendenanordnung die Teilblenden (5', 5'') an ihren optisch nicht wirksamen Flächen partiell miteinander verbunden sind.
  13. Wabenkondensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilblenden (5', 5'') vollständig miteinander verbunden sind.
DE200510036911 2005-08-05 2005-08-05 Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche Withdrawn DE102005036911A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510036911 DE102005036911A1 (de) 2005-08-05 2005-08-05 Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200510036911 DE102005036911A1 (de) 2005-08-05 2005-08-05 Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102005036911A1 true DE102005036911A1 (de) 2007-02-08

Family

ID=37670016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200510036911 Withdrawn DE102005036911A1 (de) 2005-08-05 2005-08-05 Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102005036911A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012205770A1 (de) 2012-04-10 2013-10-10 Osram Gmbh Optisches Bauelement, Verfahren zum Herstellen des optischen Bauelementes, Verfahren zum Betreiben eines optischen Bauelements und Verfahren zum Homogenisieren der Strahlungsdichte elektromagnetischer Strahlung in einem optischen Bauelement
US11601574B2 (en) 2018-07-19 2023-03-07 Hand Held Products, Inc. System and method for an image focusing adjustment module

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD239052A1 (de) * 1985-07-01 1986-09-10 Zeiss Jena Veb Carl Wabenkondensor fuer beleuchtungseinrichtungen in projektionssystemen
US5353133A (en) * 1991-11-25 1994-10-04 Magnascreen Corporation A display having a standard or reversed schieren microprojector at each picture element
US6373635B1 (en) * 1999-09-03 2002-04-16 Rohm Co., Ltd. Lens array, method of making the same, and lens
EP1343051A1 (de) * 1995-09-23 2003-09-10 Carl Zeiss SMT AG Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage mit radial-polarisations-drehender optischer Anordnung
DE10344010A1 (de) * 2003-09-15 2005-04-07 Carl Zeiss Smt Ag Wabenkondensor und Beleuchtungssystem damit

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD239052A1 (de) * 1985-07-01 1986-09-10 Zeiss Jena Veb Carl Wabenkondensor fuer beleuchtungseinrichtungen in projektionssystemen
US5353133A (en) * 1991-11-25 1994-10-04 Magnascreen Corporation A display having a standard or reversed schieren microprojector at each picture element
EP1343051A1 (de) * 1995-09-23 2003-09-10 Carl Zeiss SMT AG Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage mit radial-polarisations-drehender optischer Anordnung
US6373635B1 (en) * 1999-09-03 2002-04-16 Rohm Co., Ltd. Lens array, method of making the same, and lens
DE10344010A1 (de) * 2003-09-15 2005-04-07 Carl Zeiss Smt Ag Wabenkondensor und Beleuchtungssystem damit

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012205770A1 (de) 2012-04-10 2013-10-10 Osram Gmbh Optisches Bauelement, Verfahren zum Herstellen des optischen Bauelementes, Verfahren zum Betreiben eines optischen Bauelements und Verfahren zum Homogenisieren der Strahlungsdichte elektromagnetischer Strahlung in einem optischen Bauelement
WO2013153007A1 (de) 2012-04-10 2013-10-17 Osram Gmbh Optisches bauelement und verfahren zur homogenisierung der optischen strahlungsdichte
US11601574B2 (en) 2018-07-19 2023-03-07 Hand Held Products, Inc. System and method for an image focusing adjustment module

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2910847B1 (de) Lichtmodul eines Kraftfahrzeugscheinwerfers und Scheinwerfer mit einem solchen Lichtmodul
AT513341B1 (de) Leuchteinheit für einen Scheinwerfer
EP2556292B1 (de) Leuchte mit optischer platte
WO2006061304A1 (de) Streulichtblende zur reduzierung des in eine kamera fallenden streulichts
DE102005013950A1 (de) Anordnung zur Beleuchtung einer Bildebene
EP3372890B1 (de) Kraftfahrzeugscheinwerferlichtmodul
DE102008005488A1 (de) Scheinwerfer für Fahrzeuge
DE102018107213A1 (de) Beleuchtungsvorrichtung für Fahrzeuge
EP2985520B1 (de) Projektionslichtmodul für einen kfz-scheinwerfer mit einem zweiteiligen linsenträger
DE112021002606T5 (de) Optiklinse, Optiklinsengruppe, Fahrzeugleuchtensystem, und Fahrzeug
DE102020102226A1 (de) Beleuchtungsvorrichtung für ein Fahrzeug, insbesondere Scheinwerfer
EP2550649A1 (de) Optisches anzeigeelement sowie anzeigevorrichtung
EP2629001B1 (de) LED-Leuchte mit Lichtbeeinflussungselement
DE102015219211A1 (de) Lichtmodul für eine Kfz-Beleuchtungseinrichtung
DE102005036911A1 (de) Wabenkondensor zur homogenen Ausleuchtung einer Zielfläche
DE112019004399T5 (de) Montagestruktur eines primären Optikelements eines Fahrzeugscheinwerfers, Fahrzeugleuchte und Kraftfahrzeug
EP3990824A1 (de) Beleuchtungsvorrichtung eines kraftfahrzeugscheinwerfers
DE102018132065A1 (de) Mikroprojektoren aufweisendes Projektionslichtmodul für einen Kraftfahrzeugscheinwerfer
DE102021122953B3 (de) Beleuchtungsvorrichtung für ein Kraftfahrzeug
DE102011054235A1 (de) Beleuchtungsvorrichtung für Fahrzeuge
DE112020001664T5 (de) Abblendlicht-Verteilerstruktur für Kraftfahrzeuge
EP3879313A1 (de) Mikrolinsensystem für einen kraftfahrzeugscheinwerfer
DE102009015877A1 (de) Schild
DE202019005688U1 (de) III-Zonen-Beleuchtungsstruktur einer Fahrzeugleuchte, Kondensor einer Fahrzeugleuchte, Kraftfahrzeug-Beleuchtungsmodul und zugehöriges Kraftfahrzeug
DE202004012321U1 (de) Abdeckrahmen für einen Scheinwerfer

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee