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Die
Erfindung betrifft ein Sicherheitselement für Sicherheitspapiere, Wertdokumente
und dergleichen mit einer Trägerfolie
mit einer Deckschicht, welche insbesondere im Durchlicht erkennbare
beschichtungsfreie Bereiche in Form von Mustern, Zeichen oder Codierungen
aufweist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung
derartiger Sicherheitselemente.
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Wertdokumente
werden zur Absicherung oft mit Sicherheitselementen ausgestattet,
die eine Überprüfung der
Echtheit des Wertdokuments gestatten und die zugleich als Schutz
vor unerlaubter Reproduktion dienen. Wertdokumente im Sinne der vorliegenden
Erfindung sind insbesondere Banknoten, Aktien, Anleihen, Urkunden,
Gutscheine, Schecks, hochwertige Eintrittskarten, aber auch andere
fälschungsgefährdete Papiere,
wie Pässe
und sonstige Ausweisdokumente, sowie Produktsicherungselemente,
wie Etiketten, Siegel, Verpackungen und dergleichen. Der Begriff „Wertdokument" schließt im Folgenden
alle derartigen Dokumente und Produktsicherungsmittel ein.
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Zur
Erhöhung
der Sicherheit und als Fälschungsschutz
sind die Sicherheitselemente oft mit einer so genannten Negativschrift
versehen. Diese Negativschrift wird beispielsweise durch metallfreie Bereiche
in einer ansonsten durchgehenden metallischen Beschichtung des Trägermaterials
des Sicherheitselements gebildet.
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Zur
Herstellung derartiger metallfreier Bereiche ist in der Druckschrift
WO 99/13157 ein Waschverfahren beschrieben, bei dem eine transluzente Trägerfolie
unter Verwendung einer Druckfarbe mit hohem Pigmentanteil mit einem
gewünschten
Muster bedruckt wird. Aufgrund des hohen Pigmentanteils bildet die
Druckfarbe nach dem Trocknen einen porigen, erhabenen Farbauftrag.
Auf der bedruckten Trägerfolie
wird dann eine dünne
Abdeck schicht gebildet, die im Bereich des Farbauftrags den Farbkörper wegen
seiner großen
Oberfläche
und der porösen Struktur
nur teilweise abdeckt. Der Farbauftrag und die darüber liegende
Abdeckschicht können
dann durch Auswaschen mit einem geeigneten Lösungsmittel entfernt werden,
so dass in der Abdeckschicht in den ursprünglich bedruckten Bereichen
der Trägerfolie
Aussparungen erzeugt werden. Durch die erreichbaren scharfen Konturen
kann durch Aufdrucken eines Schriftzugs beispielsweise eine gut
lesbare Negativschrift in die Abdeckschicht eingebracht werden.
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Mit
einem derartigen Waschverfahren können allerdings nur relativ
dünne Schichten
demetallisiert werden. Schichtaufbauten mit einer größeren Gesamtdicke
können
oft nicht oder nur zum Teil demetallisiert werden, da der Schichtaufbau
die Waschfarbe in diesem Fall für
ein vollständiges
Auswaschen zu stark umschließt.
Auch die erreichbare Linienbreite für Negativschriften ist durch
die Größe der Pigmente
der Waschfarbe auf Werte oberhalb von etwa 60 μm begrenzt.
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Es
ist auch vorgeschlagen worden, Negativschriften in Sicherheitselementen
mit einem Laser zu erzeugen. Dies ist gegenwärtig jedoch nur an einer stehenden
Folie oder bei sehr geringen Bahngeschwindigkeiten möglich. Aufgrund
der runden Geometrie des Laserstrahls und der gepulsten Betriebsweise
des Lasers können
auch keine scharfen Kanten erzeugt werden. Vielmehr ist die Form
des Laserflecks der einzelnen Einschüsse an den Begrenzungslinien
der eingebrachten Muster oder Zeichen sichtbar. Die Auflösung ist
durch den Fokusdurchmesser, der typischerweise oberhalb von 10 μm liegt, begrenzt.
Wird das Material bei kleinem Fokusdurchmesser abgetragen, dauert
die Demetallisierung für einen
wirtschaftlichen Produktionseinsatz viel zu lange.
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Ausgehend
davon liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur
Herstellung eines gattungsgemäßen Sicherheitselements
vorzuschlagen, das die Nachteile des Stands der Technik vermeidet.
Insbesondere soll das Verfahren eine schnelle, für Produktionsbedingungen geeignete Herstellung
mit hoher Qualität
und hoher Fälschungssicherheit
der erzeugten Sicherheitselemente verbinden.
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Diese
Aufgabe wird durch das Verfahren zur Herstellung eines Sicherheitselements
mit den Merkmalen des Hauptanspruchs gelöst. Ein solchermaßen hergestelltes
Sicherheitselement ist im nebengeordneten Anspruch angegeben. Weiterbildungen
der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
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Erfindungsgemäß enthält ein Verfahren
zur Herstellung eines Sicherheitselements der eingangs genannten
Art die Verfahrensschritte:
- – Festlegen
einer Laserwellenlänge
zum Einbringen der beschichtungsfreien Bereiche;
- – Bereitstellen
einer Trägerfolie
mit einander gegenüberliegenden
ersten und zweiten Hauptflächen;
- – Aufbringen
einer die festgelegte Wellenlänge absorbierenden
Deckschicht auf eine erste Hauptfläche der Trägerfolie;
- – Aufbringen
einer Maske, die die Gestalt der gewünschten beschichtungsfreien
Bereiche definiert, auf die erste oder zweite Hauptfläche der Trägerfolie;
und
- – Beaufschlagen
der mit der Maske versehenen Hauptfläche der Trägerfolie mit Laserstrahlung der
festgelegten Wellenlänge,
um die absorbierende Deckschicht der ersten Hauptfläche lokal abzutragen.
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Als
besonders günstig
hat es sich herausgestellt, wenn die Trägerfolie für die festgelegte Laserwellenlänge transparent
ist und die Maske auf die zweite Hauptfläche der Trägerfolie, also auf der der absorbierenden
Deckschicht gegenüberliegenden Hauptfläche aufgebracht
wird. Beispielsweise kann die Maske dann direkt nach einer Hologrammprägung aufgebracht
werden, so dass eine ausgezeichnete Passerung zum Hologrammdesign
erreicht werden kann.
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Die
Verfahrensschritte müssen
selbstverständlich
nicht in der genannten Reihenfolge ausgeführt werden. Vielmehr kann es
vorteilhaft sein, wenn zunächst
die Maske auf die zweite Hauptfläche
der Trägerfolie
aufgebracht wird, und erst danach die absorbierende Deckschicht
auf die erste Hauptfläche der
Trägerfolie
aufgebracht wird.
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Bevorzugt
wird die Maske auf die erste oder zweite Hauptfläche der Trägerfolie aufgedruckt. Die Druckschicht
der Maske kann dabei durch eine dünne Farbschicht, insbesondere
eine dünne
Deckweißschicht
gebildet sein.
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Gemäß einer
vorteilhaften Weiterbildung wird die Maske direkt nach einem Schritt
des Einprägens
einer Beugungsstruktur in die Trägerfolie
aufgebracht. Vorzugsweise wird die Maske dabei zur Beugungsstruktur
positioniert, so dass die von den Öffnungen der Maske gebildete
Information im Passer zu einer von der Beugungsstruktur gebildeten
Information steht.
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In
einer vorteilhaften Ausgestaltung wird die Maske als Negativmaske
aufgebracht, deren für
die Laserstrahlung der festgelegten Wellenlänge transparente Bereiche die
Gestalt der gewünschten
beschichtungsfreien Bereiche definieren. Die Maske muss dabei in
den nicht-transparenten Bereichen nicht vollständig undurchlässig sein,
es genügt,
wenn sie dort einen so großen
Teil der Laserstrahlung absorbiert, dass die verbleibende Reststrahlung
nicht mehr die zum Abtragen der Deckschicht erforderliche Intensität aufweist.
Insbesondere bietet es sich an, dass die Negativmaske Öffnungen
in Gestalt der gewünschten
beschichtungsfreien Bereiche aufweist.
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Als
absorbierende Deckschicht kann insbesondere eine opake Deckschicht
aufgebracht werden. Es versteht sich, dass als Deckschicht nicht
nur eine Einzelschicht, sondern auch eine Schichtenfolge mit mehreren übereinander
liegenden Schichten aufgebracht werden kann, wie etwa das weiter
unten erwähnte
Dünnschichtelement
mit Farbkippeffekt.
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In
bevorzugten Ausgestaltungen wird als Deckschicht eine Metallschicht
oder eine eine Metallschicht enthaltende Schichtenfolge aufgebracht,
wobei die Metallschicht bevorzugt aus Aluminium, Kupfer, Gold, Eisen,
Chrom, Nickel, Silber, Platin, Palladium, Titan, einem anderen Buntmetall,
oder einer Legierung dieser Metalle besteht. In einer vorteilhaften
Ausgestaltung bildet die Deckschicht die Metallisierungsschicht
einer diffraktiven Beugungsstruktur. Die Metallschicht wird durch
die Einwirkung der Laserstrahlung lokal entfernt oder in eine transparente Modifikation
umgewandelt. Beide Fälle
werden im Rahmen dieser Beschreibung als Abtragung der Deckschicht
bezeichnet.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren
eignet sich nicht nur zur lokalen Abtragung von dünnen Deckschichten
(etwa 10 nm oder mehr), sondern insbe sondere auch zur lokalen Abtragung
von vergleichsweise dicken Schichten oder Schichtenfolgen. Als Deckschicht
kann daher beispielsweise eine Schichtenfolge mit einer Gesamtdicke
von mehr als 400 nm, insbesondere von mehr als 800 nm aufgebracht
werden.
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Gemäß einer
vorteilhaften Ausgestaltung wird als Deckschicht ein Dünnschichtelement
mit Farbkippeffekt aufgebracht. Ein derartiges Dünnschichtelement weist zweckmäßig eine
Reflexionsschicht, eine Absorberschicht und eine zwischen der Reflexionsschicht
und der Absorberschicht angeordnete dielektrische Abstandsschicht
auf. Ein derartiges Dünnschichtelement
kann mit einer Schichtdicke bis zu etwa 1 μm aufgebracht und erfindungsgemäß mit beschichtungsfreien
Bereichen versehen werden. Bei Dünnschichtelementen
mit mehreren aufeinander folgenden dielektrischen Schichten mit
unterschiedlichen Brechzahlen sind sogar mehrere μm Schichtdicke
möglich.
Auch diese extrem dicken Schichten können mit dem erfindungsgemäßen Verfahren
lokal abgetragen werden, um gewünschte Muster,
Zeichen oder Codierungen in der Deckschicht zu erzeugen.
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Um
eine hohe Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erreichen, erfolgt die
Beaufschlagung der Trägerfolie
mit der Laserstrahlung mit Vorteil großflächig, um eine Mehrzahl von
Maskenöffnungen
oder transparenten Bereichen der Maske gleichzeitig zu erfassen.
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Beim
Einsatz des erfindungsgemäßen Verfahrens
an einer laufenden Folienbahn wird zweckmäßig mit einer Laserquelle ein
Laserfleck in der Ebene der Trägerfolie
erzeugt und die Trägerfolie entlang
einer Bahnlaufrichtung an dem Laserfleck vorbeigeführt. In
einer Erfindungsvariante ist der Laserfleck dabei kleiner als die
maßgebliche
Breite der Trägerfolie
oder eines Nutzens der Trägerfolie,
so dass der Laserfleck über
eine Ablenkeinrichtung mit ho her Geschwindigkeit entlang der Breitenrichtung der
laufenden Trägerfolie
hin- und herbewegt wird.
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Gemäß einer
anderen, ebenfalls bevorzugten Erfindungsvariante wird der Laserfleck
mit einer solchen Ausdehnung in der Ebene der Trägerfolie erzeugt, dass er ohne
Strahlablenkung im Wesentlichen die gesamte, sich senkrecht zur
Bahnlaufrichtung erstreckende Breite zumindest eines Nutzens der
Trägerfolie
erfasst. Es versteht sich, dass der Laserfleck Randbereiche, in
denen die Maske keine Öffnungen
enthält,
nicht mehr erfassen muss. Die Trägerfolie
wird bei dieser Variante mit Vorteil mit einer hohen Bahngeschwindigkeit
von etwa 50 m/min oder mehr, vorzugsweise sogar von etwa 100 m/min oder
mehr an dem Laserfleck vorbeigeführt.
Sind mehrere Nutzen nebeneinander auf der Trägerfolie angeordnet, können mehrere
Laserquellen eingesetzt werden, die jeweils einen der Nutzen erfassen.
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Zur
Laserbeaufschlagung hat sich der Einsatz eines oder mehrerer Laser
im sichtbaren oder infraroten Spektralbereich als vorteilhaft gezeigt.
Insbesondere können
Nd:YAG-Laser bei 1,064 μm,
frequenzverdoppelte Nd:YAG-Laser
bei 532 nm oder Diodenlasern im nahen Infrarot, etwa bei 808 nm oder
940 nm zum Einsatz kommen.
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Gemäß einer
weiteren Erfindungsvariante enthält
ein Verfahren zur Herstellung eines Sicherheitselements der eingangs
genannten Art die Schritte:
- – Festlegen
einer Laserwellenlänge
zum Einbringen der beschichtungsfreien Bereiche;
- – Bereitstellen
einer Trägerfolie
mit einander gegenüberliegenden
ersten und zweiten Hauptflächen;
- – Aufbringen
einer die festgelegte Wellenlänge
im Wesentlichen nicht absorbierenden Deckschicht auf eine erste
Hauptfläche
der Trägerfolie;
- – Aufbringen
einer Positivmaske mit die festgelegte Wellenlänge absorbierenden Bereichen,
die die Gestalt der gewünschten
beschichtungsfreien Bereiche definieren, auf die Deckschicht; und
- – Beaufschlagen
der mit der Maske versehenen Hauptfläche der Trägerfolie mit Laserstrahlung der
festgelegten Wellenlänge,
um die Deckschicht der ersten Hauptfläche unterhalb der absorbierenden
Bereiche der Positivmaske lokal abzutragen.
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Die
Deckschicht ist bei dieser Erfindungsvariante für die festgelegte Laserwellenlänge durchlässig oder
reflektierend, so dass sie von der Laserstrahlung nicht abgetragen
wird. Die absorbierenden Bereiche der Positivmaske absorbieren die
Laserstrahlung dagegen stark und erhitzen sich, bis die darunter
liegende Deckschicht durch die entstehende Erwärmung oder eine chemische Reaktion
aufgelöst
oder umgewandelt wird. Bezüglich
der weiteren Ausgestaltungen des Verfahrens wird auf die obigen Ausführungen
verwiesen, die mutatis mutandis auch für das Verfahren dieser Erfindungsvariante
gelten.
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Die
Erfindung enthält
auch ein Sicherheitselement für
Sicherheitspapiere, Wertdokumente und dergleichen, mit einer Trägerfolie
mit einer Deckschicht, die insbesondere im Durchlicht erkennbare beschichtungsfreie
Bereiche in Form von Mustern, Zeichen oder Codierungen aufweist,
welches nach einem der oben beschriebenen Verfahrensvarianten hergestellt
werden kann. Bei dem Sicherheitselement kann es sich insbesondere
um einen Sicherheits faden oder ein breites Sicherheitsband handeln. Das
Sicherheitselement ist vorzugsweise mit einem optisch variablen
Effekt, vorzugsweise mit einer diffraktiven Beugungsstruktur, insbesondere
in Form einer geprägten
Reliefstruktur, und/oder einer Farbkippeffektschicht ausgestattet.
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Weitere
Ausführungsbeispiele
sowie Vorteile der Erfindung werden nachfolgend anhand der Figuren
erläutert,
bei deren Darstellung auf eine maßstabs- und proportionsgetreue
Wiedergabe verzichtet wurde, um die Anschaulichkeit zu erhöhen.
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Es
zeigen:
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1 eine
schematische Darstellung einer Banknote mit einem eingebetteten
Fenstersicherheitsfaden nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung,
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2 und 3 einen
Querschnitt eines Sicherheitsfadens wie in 1 jeweils
bei einem Zwischenschritt des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens,
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4 eine
Aufsicht auf den fertigen Sicherheitsfaden, und
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5 und 6 das
Prinzip der Laserdemetallisierung mit Maskentechnik an laufenden
Folienbahnen.
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Die
Erfindung wird nun am Beispiel einer Banknote näher erläutert. 1 zeigt
dazu eine schematische Darstellung einer Banknote 10 mit
einem Fenstersicherheitsfaden 12, der mit einer vor allem
in Durchsicht erkennbaren Negativschrift 14 versehen ist.
Die Negativschrift besteht im Ausführungs beispiel zur Illustration
lediglich aus der Buchstabenfolge „PL", es versteht sich jedoch, das in der
Praxis auch längere
Zeichenfolgen oder Zeichenfolgen, verbunden mit Mustern oder Codierungen,
vorgesehen sein können.
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Der
Schichtaufbau und die Herstellung eines erfindungsgemäßen Sicherheitsfadens
werden nun anhand der 2 bis 6 erläutert, wobei
die 2 und 3 jeweils einen Querschnitt
des Sicherheitsfadens bei einem Zwischenschritt des Herstellungsverfahrens
zeigen und 4 eine Aufsicht auf den fertigen
Sicherheitsfaden darstellt.
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Zur
Herstellung eines erfindungsgemäßen Sicherheitsfadens
wird zunächst
eine transparente Trägerfolie 20 bereitgestellt,
die einander gegenüberliegende
Hauptflächen 22 und 24 aufweist.
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In
einem weiteren Verfahrensschritt wird auf die zweite Hauptfläche 24 der
Trägerfolie
eine Maske 28 aufgedruckt, die Öffnungen 30 in Gestalt
der gewünschten
Negativschrift aufweist. Im Ausführungsbeispiel
ist die Maske 28 durch eine dünne Deckweißschicht gebildet.
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Auf
eine erste Hauptfläche 22 der
Trägerfolie wird
dann eine vollflächige
opake Deckschicht 26 aufgebracht. Im Ausführungsbeispiel
ist als Deckschicht 26 eine 30 nm dicke Aluminiumschicht
auf die Trägerfolie 20 aufgedampft. 2 zeigt
die Trägerfolie
nach dem Aufdrucken der Maske 28 und dem Aufdampfen der
Aluminiumschicht 26.
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Bei
der Deckschicht 26 kann es sich insbesondere um die Metallisierungsschicht
einer in die Trägerfolie
nachfolgend eingeprägten
diffraktiven Beugungsstruktur, wie etwa einem Hologramm, handeln.
Die Deckschicht 26 kann in anderen Ausführungsbeispielen auch durch
eine komplexere Schich tenfolge gebildet sein, beispielsweise durch
ein Dünnschichtelement
mit Farbkippeffekt, das eine metallische Reflexionsschicht, eine
dielektrische Abstandsschicht und eine semitransparente Absorberschicht
umfasst. Auch solche vergleichsweise dicken Deckschichten können durch
das nachfolgend beschriebene Vorgehen lokal vollständig abgetragen und
so mit einer kontrastreichen Negativinformation versehen werden.
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Anschließend wird
die Trägerfolie 20,
wie in 3 gezeigt, von der Seite der zweiten Hauptfläche 24 her
mit der Strahlung eines gepulsten Nd:YAG-Lasers mit λ = 1,064 μm beaufschlagt (Pfeile 32).
Die Laserstrahlung 32 fällt
durch die Öffnungen 30 der Maske
und die transparente Trägerfolie 20 auf
die Aluminiumschicht 26, die durch die Einwirkung der Laserstrahlung
in den beaufschlagten Bereichen lokal entfernt oder in eine transparente
Modifikation umgewandelt wird. Auf diese Weise entstehen beschichtungsfreie
Bereiche 34 in der ansonsten opaken Deckschicht 26,
wie am besten in der Aufsicht der 4 zu erkennen.
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Wird
der so hergestellte Sicherheitsfaden im Durchlicht betrachtet, so
tritt die eingebrachte Information als Negativschrift 34 hell
vor dem dunklen metallischen Hintergrund der Deckschicht 26 hervor.
Es versteht sich, dass auf die beschriebene Weise auch andere Zeichen,
Muster oder Codierungen in die Deckschicht eingebracht werden können.
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Die
Erzeugung der Negativinformation durch Maskentechnik und Laserabtragung
bietet zwei wesentliche Vorteile: Zum einen kann für den Druck
der Maske eine Farbe mit feinen Pigmenten verwendet werden, so dass
beim Einsatz von Laserstrahlung im nahen Infrarot Linienbreiten
bis herab zu 5 μm
erreicht werden können.
Mit kürzerwelliger
Laserstrahlung kann die Auflösung
unter Umständen
sogar noch weiter gesteigert werden. Zum an deren kann die Demetallisierung
mit dem Laser bei geeigneter Wahl der Strahlparameter und Strahlführung sehr schnell
erfolgen, so dass ein hoher Durchsatz erreicht wird.
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5 und 6 zeigen
das Prinzip der Laserdemetallisierung mit Maskentechnik an einer
laufenden Folienbahn. Die laufende Folienbahn 40, von der
in 5 und 6 jeweils nur ein Ausschnitt schematisch
dargestellt ist, weist denselben Aufbau wie der Sicherheitsfaden
der 2 auf, enthält
also eine Trägerfolie 20,
auf deren eine Hauptfläche
eine opake Deckschicht 26 und auf deren andere Hauptfläche eine
Maske 28 aufgebracht ist. Die Laufrichtung der Folienbahn 40 ist
durch die Pfeilrichtung 42 angegeben. Um einen hohen Durchsatz
zu erreichen, wird für
die Bahngeschwindigkeit der Folienbahn 40 ein möglich hoher,
mit der zuverlässigen
Einbringung der Laser-Kennzeichnungen
verträglicher Wert
gewählt.
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Die
Folienbahn 40 weist in der Regel mehrere nebeneinander
liegende Nutzen auf, von denen in 5 und 6 der Übersichtlichkeit
halber jeweils nur einer gezeigt ist. Die nebeneinander liegenden Nutzen
können
entweder durch eine Ablenkung des Laserstrahls oder durch den Einsatz
mehrerer, beispielsweise jeweils die Breite eines Nutzens erfassende
Laserquellen abgedeckt werden.
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Die
Infrarotstrahlung 44 eines Diodenlasers 46 wird über eine
Optikeinrich- tung 48 umgelenkt und in Form eines Laserflecks 50 in
die Ebene der laufenden Folienbahn 40 geworfen. Die Maskenöffnungen 30 der
Maske 28 sind in 5 der Übersichtlichkeit
halber im Vergleich zu dem Laserfleck 50 übertrieben
groß dargestellt.
In der Praxis sind die Maskenöffnungen 30 typischerweise
für die
Erzeugung von Mikroschriften oder anderen Mikromus tern ausgelegt
und somit deutlich kleiner als die Ausdehnung des Laserflecks, die
einige Millimeter oder sogar einige 10 mm betragen kann.
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Bei
dem Ausführungsbeispiel
der 5 ist die Ausdehnung des Laserflecks 50 kleiner
als die maßgebliche
Breite der Folienbahn 40. Der Laserstahl wird daher zur
Beschriftung in einer Richtung 52 senkrecht zur Laufrichtung 42 der
Bahn hin- und herbewegt, um entlang der Breite der Folienbahn alle Maskenöffnungen
zu erreichen. Dies kann beispielsweise in an sich bekannter Weise
durch einen beweglichen Spiegel oder ein verspiegeltes Polygonrad in
der Optikeinrichtung 48 erreicht werden.
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Wird
eine ausreichend starke Laserquelle 46 eingesetzt, kann
auf ein Abscannen der Breite der Folienbahn 40 auch verzichtet
werden, wie in der Darstellung der 6 gezeigt.
Der Laserfleck wird in dieser Variante durch eine geeignete Optik
der Optikeinrichtung 48 mit einer solchen Ausdehnung in
der Ebene der Folienbahn 40 erzeugt, dass er im Wesentlichen
die gesamte Breite der Folienbahn bzw. eines Nutzens auf der Folienbahn
erfasst. Die lokale Abtragung der Deckschicht 26 kann so
ohne Ablenkung des Laserstrahls und damit mit höchstmöglicher Geschwindigkeit erfolgen.
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Im
Ausführungsbeispiel
der 6 wird beispielsweise eine 13 mm breite Folienbahn 40 mit
einer Bahngeschwindigkeit 42 von 100 m/min gefahren. Als
Laserquelle wird ein Dauerstrich-Diodenlaser 46 mit einer
Ausgangsleistung P von 2,8 kW eingesetzt. Mithilfe einer geeigneten
Optik kann ein annähernd
rechteckiger Laserfleck 54 mit einer Größe von 13 × 8 mm2 auf
der Folienbahn eingestellt werden, so dass die gesamte Breite der
Folienbahn abgedeckt von dem Laserfleck ist.
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Mit
den genannten Parametern ergibt sich für jedes beaufschlagte Flächenelement
noch eine Energiedichte von 130 kJ/m2, die ausreichend ist, um eine
30 nm dicke Aluminiumschicht 26 im Bereich der Maskenöffnungen 30 zu
demetallisieren.