DE102005031102A1 - Control method for controlling temperature of heat source, e.g. microprocessor, involves channeling two temperature fluids to and from heat exchange surface, respectively, wherein fluid is channeled to minimize temperature differences along - Google Patents

Control method for controlling temperature of heat source, e.g. microprocessor, involves channeling two temperature fluids to and from heat exchange surface, respectively, wherein fluid is channeled to minimize temperature differences along Download PDF

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Peng Albany Zhou
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Abstract

The method involves channeling a first temperature fluid to the heat exchanging surface of a heat exchanger (100), wherein the first temperature fluid undergoes thermal exchange with the heat source along the heat exchanging surface, and channeling a second temperature fluid from the heat exchange surface, wherein fluid is channeled to minimize temperature differences along the heat source. Independent claims are also included for the following: (a) a heat exchanger; and (b) a hermetic closed loop system for controlling temperature of heat source.

Description

Gebiet der ErfindungTerritory of invention

Die Erfindung betrifft allgemein ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Kühlen einer wärmeerzeugenden Einrichtung, und speziell einen verzweigten bzw. durchsetzten Verteiler zur Reduzierung des Druckabfalls in einem Mikrokanal-Wärmetauscher.The The invention relates generally to a method and apparatus for cooling a heat-producing Device, and especially a branched or enforced distributor to reduce the pressure drop in a microchannel heat exchanger.

Hintergrund der Erfindungbackground the invention

Seit ihrer Einführung in den frühen 80er Jahren des vergangenen Jahrhunderts haben sich Mikrokanal-Kühler als sehr geeignet für Anwendungen bei hoher Wärmeflußdichte erwiesen und sind in der Industrie benutzt worden. Existierende Mikrokanäle weisen jedoch konventionelle parallele Kanalanordnungen auf, welche nicht gut zum Kühlen wärmeerzeugender Ein richtungen geeignet sind, die räumlich variierende Wärmelasten aufweisen. Solche wärmeerzeugenden Einrichtungen haben Bereiche, welche mehr Wärme als andere Bereiche erzeugen. Diese wärmeren Bereiche werden hier als „Heißstellen" bezeichnet, während die Bereiche der Wärmequelle, welche nicht so viel Wärme erzeugen, hier als „Warmstellen" bezeichnet werden.since their introduction in the early days 80s of the past century have become micro-channel cooler than very suitable for Applications at high heat flux density proven and used in the industry. existing Have microchannels however, conventional parallel channel arrangements which do not good for cooling calorific A directions are suitable, the spatially varying heat loads exhibit. Such heat-producing Facilities have areas that generate more heat than other areas. These warmer Areas are referred to herein as "hot spots" while the Areas of the heat source which not so much heat generate, here as "hot spots" to be called.

1A zeigt einen vorbekannten Wärmetauscher 10, der über ein thermisches Grenzschichtmaterial 98 an eine elektronische Einrichtung 99 wie einen Mikroprozessor gekoppelt ist. Wie in 1A gezeigt ist, strömt Flüssigkeit allgemein von einem einzigen Einlaßanschluß 12 entlang der Bodenfläche 11 zwischen den parallelen Mikrokanälen 14, wie dieses durch Pfeile gezeigt ist, und tritt durch den Auslaßanschluß 16 aus. Obwohl der Wärmetauscher 10 die elektrische Einrichtung 99 kühlt, strömt die Flüssigkeit in gleichförmiger Weise von dem Einlaßanschluß 12 zum Auslaßanschluß 16. Mit anderen Worten, die Flüssigkeit strömt im wesentlichen gleichmäßig entlang der gesamten Bodenfläche 11 des Wärmetauschers 10 und führt den Bereichen der Bodenfläche 11, die Heißstellen der Einrichtung 99 entsprechen, nicht mehr Flüssigkeit zu. Weiterhin steigt die Temperatur der strömenden Flüssigkeit allgemein an, wenn sie entlang der Bodenfläche 11 des Wärmetauschers fließt. Demgemäß werden Bereiche der Wärmequelle 99, welche sich stromabwärts bzw. nahe zu dem Auslaßanschluß 16 befinden, nicht mit kalter Flüssigkeit versorgt, sondern mit Flüssigkeit, welche stromaufwärts bereits erwärmt worden ist. Die erwärmte Flüssigkeit verteilt die Wärme mithin über die gesamte Bodenfläche 11 des Wärmetauschers und dem Bereich der Wärmequelle 99, wobei Flüssigkeit nahe zu dem Auslaßanschluß 16 so heiß ist, daß sie die Wärmequelle nicht kühlen kann. Außerdem hat der Wärmetauscher 10 nur einen Einlaß 12 und einen Auslaß 16, was die Flüssigkeit zwingt, längs der langen parallelen Mikrokanäle 14 in der Bodenfläche 11 über die gesamte Länge des Wärmetauschers 10 zu strömen, und dadurch einen hohen Druckabfall zu erzeugen. 1A shows a prior art heat exchanger 10 that is about a thermal interface material 98 to an electronic device 99 as a microprocessor is coupled. As in 1A As shown, fluid generally flows from a single inlet port 12 along the floor surface 11 between the parallel microchannels 14 as shown by arrows, and passes through the outlet port 16 out. Although the heat exchanger 10 the electrical device 99 cools, the liquid flows in a uniform manner from the inlet port 12 to the outlet connection 16 , In other words, the liquid flows substantially uniformly along the entire bottom surface 11 of the heat exchanger 10 and leads the areas of the floor area 11 , the hot spots of the facility 99 comply, no longer liquid too. Furthermore, the temperature of the flowing liquid generally increases as it moves along the bottom surface 11 the heat exchanger flows. Accordingly, areas of the heat source become 99 , which are downstream or close to the outlet port 16 not supplied with cold liquid, but with liquid which has already been heated upstream. The heated liquid distributes the heat over the entire floor area 11 the heat exchanger and the area of the heat source 99 with liquid close to the outlet port 16 so hot that it can not cool the heat source. In addition, the heat exchanger has 10 only one inlet 12 and an outlet 16 , which forces the liquid along the long parallel microchannels 14 in the floor area 11 over the entire length of the heat exchanger 10 to flow, thereby generating a high pressure drop.

1B zeigt eine Seitenansicht eines bekannten Mehr-Etagen-Wärmetauschers 20. Flüssigkeit tritt in den Mehr-Etagen-Wärmetauscher 20 durch den Anschluß 22 ein und strömt durch zahlreiche Düsen 28 in der mittleren Lage 26 zur Bodenfläche 27 und aus dem Auslaß 24. Die entlang den Düsen 28 strömende Flüssigkeit kann gleichmäßig nach unten zur Bodenfläche 27 strömen oder auch nicht. Obwohl die in den Wärmetauscher 20 eintretende Flüssigkeit über die Länge des Wärmetauschers 20 verteilt wird, stellt diese Ausführung den wärmeren Bereichen des Wärmetauschers 20 und der Wärmequelle nicht mehr Flüssigkeit zur Verfügung, welche eine größere Flüssigkeitszirkulation benötigen. 1B shows a side view of a known multi-level heat exchanger 20 , Liquid enters the multi-level heat exchanger 20 through the connection 22 and flows through numerous nozzles 28 in the middle position 26 to the floor area 27 and from the outlet 24 , The along the nozzles 28 flowing liquid can evenly down to the bottom surface 27 flow or not. Although in the heat exchanger 20 entering liquid over the length of the heat exchanger 20 distributed, this design provides the warmer areas of the heat exchanger 20 and the heat source no longer liquid available, which require a greater fluid circulation.

Weiterhin sind konventionelle Wärmetauscher aus Materialien hergestellt, welche in der Bodenfläche einen hohen thermischen Widerstand aufweisen, so daß der Wärmetauscher einen thermischen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist, welcher zu dem der Wärmequelle 99 paßt. Der hohe thermische Widerstand des Wärmetauschers gestattet dadurch keinen ausreichenden Wärmeaustausch mit der Wärmequelle 99. Um dem hohen thermischen Widerstand Rechnung zu tragen, werden größere Kanal-Querschnittsabmessungen gewählt, so daß mehr Wärmeaustausch zwischen dem Wärmetauscher 10 und der Wärmequelle 99 erfolgt. Wenn die Dimensionen der Kanäle in dem Wärmetauscher kleiner gemacht werden und der Abstand zwischen den Kanalwänden und dem hydraulischen Durchmesser verkleinert wird, wird der thermische Widerstand des Wärmetauschers reduziert. Ein Problem bei der Verwendung enger Mikrokanäle ist jedoch das Anwachsen des Druckverlustes entlang den Kanälen. Das Anwachsen des Druckverlustes stellt extreme Anforderungen an eine Pumpe, welche die Flüssigkeit durch den Wärmetauscher treibt. Größere Mikrokanalabmessungen verursachen auch einen größeren Druckverlust zwischen den Einlaß- und Auslaßanschlüssen aufgrund der langen Entfernung, über welche ein- oder zweiphasige Flüssigkeit strömen muß. Weiterhin verursacht ein Kochen der Flüssigkeit in einem Mikrokanal-Wärmetauscher einen größeren Druckverlust für eine gegebene Strömungsgeschwindigkeit aufgrund der Mischung von Flüssigkeit und Dampf wie auch der Beschleunigung der Flüssigkeit in der Dampfphase. Beide dieser Faktoren vergrößern den Druckverlust je Einheitslänge. Der große Druckverlust, der innerhalb der geläufigen Mikrokanal-Wärmetauscher erzeugt wird, erfordert größere Pumpen, die höhere Drücke erzeugen können, und daher in einer Mikrokanalanordnung nicht geeignet sind.Furthermore, conventional heat exchangers are made of materials having a high thermal resistance in the bottom surface so that the heat exchanger has a coefficient of thermal expansion which is that of the heat source 99 fits. The high thermal resistance of the heat exchanger thus does not allow sufficient heat exchange with the heat source 99 , To take account of the high thermal resistance, larger channel cross-sectional dimensions are chosen so that more heat exchange between the heat exchanger 10 and the heat source 99 he follows. If the dimensions of the channels in the heat exchanger are made smaller and the distance between the channel walls and the hydraulic diameter is reduced, the thermal resistance of the heat exchanger is reduced. However, one problem with using narrow microchannels is the increase in pressure loss along the channels. The increase in pressure loss places extreme demands on a pump which drives the fluid through the heat exchanger. Larger microchannel dimensions also cause a greater pressure drop between the inlet and outlet ports due to the long distance over which one or two-phase liquid must flow. Furthermore, cooking the liquid in a microchannel heat exchanger causes greater pressure loss for a given flow rate due to the mixture of liquid and vapor as well as the vapor phase acceleration of the liquid. Both of these factors increase the pressure loss per unit length. The large pressure loss created within the current microchannel heat exchanger requires larger pumps that can produce higher pressures and therefore are not suitable in a microchannel arrangement.

Benötigt wird ein Mikrokanal-Wärmetauscher, der so ausgebildet ist, daß eine ordnungsgemäße Gleichförmigkeit der Temperatur der Wärmequelle erreicht wird. Außerdem wird ein Wärmetauscher benötigt, der so ausgebildet ist, daß eine ordnungsgemäße Gleichförmigkeit im Hinblick auf Heißstellen der Wärmequelle erreicht wird. Außerdem wird ein Wärmetauscher benötigt, der eine relativ hohe thermische Leitfähigkeit aufweist, um einen adäquaten Wärmetausch mit der Wärmequelle durchführen zu können. Weiterhin wird ein Wärmetauscher benötigt, der so ausgebildet ist, daß ein kleiner Druckverlust zwischen den Einlaß- und Auslaßanschlüssen für die Flüssigkeit zu erzielen ist.Is needed a microchannel heat exchanger, which is designed so that a proper uniformity the temperature of the heat source is reached. Furthermore becomes a heat exchanger needed which is designed so that a proper uniformity with regard to hot spots the heat source is reached. In addition, will a heat exchanger needed which has a relatively high thermal conductivity to a adequate heat exchange with the heat source carry out to be able to. Furthermore, a heat exchanger is needed, the is designed so that a small pressure loss between the inlet and outlet ports for the liquid to achieve.

Zusammenfassung der ErfindungSummary the invention

Unter einem Aspekt der Erfindung enthält ein Wärmetauscher eine Grenzschicht zum Kühlen einer Wärmequelle, wobei die Grenzschicht so ausgebildet ist, daß Flüssigkeit durch sie hindurchströmen kann, und wobei die Grenzschicht eine Dicke innerhalb eines Bereiches von etwa 0,3 mm bis etwa 1,0 mm aufweist, sowie eine Verteilerschicht zum Zirkulieren der Flüssigkeit zu und von der Grenzschicht, wobei die Verteilerschicht einen ersten Satz von Fingern und einen zweiten Satz von Fingern aufweist, wobei der erste Satz von Fingern parallel zu dem zweiten Satz von Fingern angeordnet und dabei so ausgebildet ist, daß der Druckabfall innerhalb des Wärmetauschers reduziert wird. Die Flüssigkeit kann in einem einphasigen Zustand sein. Die Flüssigkeit kann aber auch in einem zweiphasigen Zustand sein. Wenigstens ein Teil der Flüssigkeit kann in der Grenzschicht einer Umwandlung aus einem einphasigen in einen zweiphasigen Zustand unterworfen sein. Ein bestimmter Finger des ersten Satzes kann durch einen geeigneten Abstand zu einem bestimmten Finger des zweiten Satzes in einem geeigneten Abstand stehen, um den Druckverlust in dem Wärmetauscher zu minimalisieren. Jeder der Finger kann die gleichen Längen- und Breitenabmessungen aufweisen. Wenigstens einer der Finger kann anders als die übrigen Finger dimensioniert sein. Die Finger können in wenigstens einer Dimensionierung der Verteilerschicht nicht-periodisch angeordnet sein. Wenigstens einer der Finger kann entlang der Länge der Verteilerschicht eine variierende Abmessung aufweisen. Die Verteilerschicht kann mehr als drei und weniger als zehn parallele Finger aufweisen. Die Finger des ersten und zweiten Satzes können entlang einer Dimension der Verteilerschicht alternierend angeordnet sein. Die Verteilerschicht kann so konfiguriert sein, daß sie wenigstens einen Grenzschicht-Heißstellenbereich kühlt. Der Wärmetauscher kann auch wenigstens einen ersten Anschluß aufweisen, der mit dem ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei Flüssigkeit durch den wenigstens einen ersten Anschluß in den Wärmetauscher eintritt. Der Wärmetauscher kann auch wenigstens einen zweiten Anschluß aufweisen, der mit dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei Flüssigkeit den Wärmetauscher durch den wenigstens einen zweiten Anschluß verläßt. Die Verteilerschicht kann über der Grenzschicht angeordnet sein, wobei Flüssigkeit durch den ersten Satz von Fingern nach unten strömt und durch den zweiten Satz von Fingern aufwärts strömt. Der Wärmetauscher kann auch eine erste Anschlußpassage aufweisen, die mit dem ersten Anschluß und den ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die erste Anschlußpassage so konfiguriert ist, daß sie Flüssigkeit von dem ersten Anschluß zu dem ersten Satz von Fingern kanalisiert. Der Wärmetauscher kann auch eine zweite Anschlußpassage aufweisen, die mit dem zweiten Anschluß und dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die zweite Anschlußpassage so konfiguriert ist, daß sie Flüssigkeit von dem zweiten Satz von Fingern zum zweiten Anschluß kanalisiert. Die Grenzschicht kann integral mit der Wärmequelle ausgebildet sein. Die Grenzschicht kann an die Wärmequelle gekuppelt sein. Der Wärmetauscher kann auch eine Zwischenschicht zum Kanalisieren von Flüssigkeit zu und von einer oder mehreren vorgegebenen Positionen in der Grenzschicht über wenigstens eine Leitung aufweisen, wobei die Zwischenschicht zwischen der Grenzschicht und der Verteilerschicht positioniert ist. Die Zwischenschicht kann an die Grenzschicht und die Verteilerschicht gekoppelt sein. Die Zwischenschicht kann integral mit der Grenzschicht und der Verteilerschicht ausgebildet sein. Die wenigstens eine Leitung kann entlang der Zwischenschicht wenigstens eine variierende Abmessung aufweisen. Die Grenzschicht kann eine auf ihr angeordnete Beschichtung aufweisen, wobei die Beschichtung eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist. Die Grenzschicht kann eine thermische Leitfähigkeit von wenigstens 100 W/m-K aufweisen. Der Wärmetauscher kann auch mehrere bzw. eine Vielzahl von Säulen aufweisen, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Grenzschicht angeordnet sind. Wenigstens eine der Mehrzahl von Säulen kann eine Flächendimension innerhalb eines Bereiches von 102 μm und 1002 μm aufweisen. Wenigstens eine der Mehrzahl von Säulen kann eine Höhendimension innerhalb eines Bereiches von 50μm und 2mm aufweisen. Wenigstens zwei der Mehrzahl von Säulen kann zueinander in einem Abstand von 10 bis 150 μm stehen. Die Mehrzahl von Säulen kann auf ihnen eine Beschichtung aufweisen, wobei die Beschichtung eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist. Die Grenzschicht kann eine aufgerauhte Oberfläche aufweisen. Die Grenzschicht kann eine mikroporöse Struktur aufweisen, die auf ihr angeordnet ist. Die poröse Mikrostruktur kann eine Porosität von 50 bis 80 % aufweisen. Die poröse Mikrostruktur kann eine durchschnittliche Porengröße innerhalb eines Bereiches von 10 bis 200 μm aufweisen. Die poröse Mikrostruktur kann eine Höhe innerhalb eines Bereiches von 0,25 bis 2,00 mm aufweisen. Der Wärmetauscher kann auch eine Anzahl von Mikrokanälen aufweisen, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Grenzschicht angeordnet sind. Wenigstens einer der Mehrzahl von Mikrokanälen kann eine Flächendimension innerhalb eines Bereiches von 102 μm und 1002 μm aufweisen. Wenigstens einer der Mikrokanäle kann eine Höhendimension innerhalb des Bereiches von 50 μm und 2 mm aufweisen. Wenigstens zwei der Mikrokanäle können in einem Abstand von 10 bis 150 μm zueinander stehen. Wenigstens einer der Mikrokanäle kann eine Breite innerhalb eines Bereiches von 10 bis 100 μm aufweisen. Die Mikrokanäle können an die Zwischenschicht gekuppelt sein. Die Mikrokanäle können integral mit der Zwischenschicht ausgebildet sein. Die Mikrokanäle können in segmentierte Reihen mit wenigstens einer dazwischen angeordneten Nut unterteilt sein, wobei wenigstens eine Nut zu einem entsprechenden Finger ausgerichtet ist. Die Mikrokanäle können eine auf ihnen angeordnete Beschichtung aufweisen, wobei die Beschichtung eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist. Eine Überhangdimension kann im Bereich zwischen 0 und 15 mm liegen.In one aspect of the invention, a heat exchanger includes a boundary layer for cooling a heat source, wherein the boundary layer is configured to allow liquid to flow therethrough, and wherein the boundary layer has a thickness within a range of about 0.3 mm to about 1.0 mm and a manifold layer for circulating the fluid to and from the interface, the manifold layer having a first set of fingers and a second set of fingers, wherein the first set of fingers are disposed parallel to the second set of fingers in that the pressure drop within the heat exchanger is reduced. The liquid can be in a single-phase state. The liquid can also be in a biphasic state. At least a portion of the liquid in the boundary layer may undergo conversion from a single phase to a two phase state. A particular finger of the first set may be spaced a suitable distance from a particular finger of the second set at an appropriate distance to minimize pressure loss in the heat exchanger. Each of the fingers can have the same length and width dimensions. At least one of the fingers can be dimensioned differently than the other fingers. The fingers may be non-periodically arranged in at least one dimension of the manifold layer. At least one of the fingers may have a varying dimension along the length of the manifold layer. The manifold layer may have more than three and fewer than ten parallel fingers. The fingers of the first and second sets may be alternately arranged along a dimension of the manifold layer. The manifold layer may be configured to cool at least one interface hot spot region. The heat exchanger may also include at least one first port communicating with the first set of fingers, fluid entering the heat exchanger through the at least one first port. The heat exchanger may also include at least one second port communicating with the second set of fingers, liquid exiting the heat exchanger through the at least one second port. The manifold layer may be disposed over the interface with liquid flowing down through the first set of fingers and flowing upward through the second set of fingers. The heat exchanger may also include a first port passage communicating with the first port and the first set of fingers, wherein the first port passage is configured to channel fluid from the first port to the first set of fingers. The heat exchanger may also include a second port passage communicating with the second port and the second set of fingers, the second port passage being configured to channel fluid from the second set of fingers to the second port. The boundary layer may be formed integrally with the heat source. The boundary layer may be coupled to the heat source. The heat exchanger may also include an intermediate layer for channeling liquid to and from one or more predetermined positions in the boundary layer via at least one conduit, the intermediate layer being positioned between the boundary layer and the manifold layer. The intermediate layer may be coupled to the barrier layer and the manifold layer. The intermediate layer may be formed integrally with the barrier layer and the manifold layer. The at least one line may have at least one varying dimension along the intermediate layer. The barrier layer may have a coating disposed thereon, the coating having a suitable thermal conductivity of at least 10 W / mK. The barrier layer may have a thermal conductivity of at least 100 W / mK. The heat exchanger may also include a plurality of columns arranged in a predetermined pattern along the boundary layer. At least one of the plurality of columns may have an area dimension within a range of 10 2 μm and 100 2 μm. At least one of the plurality of columns may have a height dimension within a range of 50μm and 2mm. At least two of the plurality of columns may be spaced from each other by 10 to 150 μm. The plurality of columns may have a coating thereon, the coating having a suitable thermal conductivity of at least 10 W / mK. The boundary layer may have a roughened surface. The barrier layer may have a microporous structure disposed thereon. The porous microstructure may have a porosity of 50 to 80%. The porous microstructure may have an average pore size within a range of 10 to 200 μm sen. The porous microstructure may have a height within a range of 0.25 to 2.00 mm. The heat exchanger may also include a number of microchannels arranged in a predetermined pattern along the boundary layer. At least one of the plurality of microchannels may have an area dimension within a range of 10 2 μm and 100 2 μm. At least one of the microchannels may have a height dimension within the range of 50 μm and 2 mm. At least two of the microchannels may be at a distance of 10 to 150 microns to each other. At least one of the microchannels may have a width within a range of 10 to 100 μm. The microchannels can be coupled to the intermediate layer. The microchannels may be formed integrally with the intermediate layer. The microchannels may be subdivided into segmented rows having at least one groove therebetween, at least one groove being aligned with a corresponding finger. The microchannels may have a coating disposed thereon, the coating having a suitable thermal conductivity of at least 10 W / mK. An overhang dimension can range between 0 and 15 mm.

Unter einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung weist ein Wärmetauscher zum Kühlen einer Wärmequelle eine Verteilerschicht mit einem ersten Satz von Fingern in einer ersten Konfiguration auf, wobei jeder Finger des ersten Satzes Flüssigkeit mit einer ersten Temperatur kanalisiert, und die Verteilerschicht außerdem einen zweiten Satz von Fingern einer zweiten Konfiguration aufweist, wobei jeder Finger des zweiten Satzes Flüssigkeit mit einer zweiten Temperatur kanalisiert, und der erste Satz sowie der zweite Satz von Fingern parallel zu einander angeordnet sind, sowie eine Grenzschicht mit einer Dicke von etwa 0,3 bis 1,0 mm, die so konfiguriert ist, daß sie Flüssigkeit mit der ersten Temperatur an mehreren ersten Stellen empfängt, wobei jede erste Stelle einem entsprechenden Finger des ersten Satzes zugeordnet ist, und die Zwischenschicht Flüssigkeit entlang einer Mehrzahl von vorgegebenen Pfaden zu mehreren zweiten Stellen leitet, wobei jede zweite Stelle einem entsprechenden Finger des zweiten Satzes zugeordnet ist. Die Flüssigkeit kann in einem einphasigen Zustand sein. Die Flüssigkeit kann in einem zweiphasigen Zustand sein. Wenigstens ein Teil der Flüssigkeit kann in der Grenzschicht einer Umwandlung zwischen einem einphasigen und einem zweiphasigen Zustand unterworfen sein. Ein bestimmter Finger des ersten Satzes kann durch einen geeigneten Abstand im Abstand zu einem bestimmten Finger des zweiten Satzes stehen, wobei die geeignete Dimension den Druckabfall in dem Wärmetauscher reduziert. Der Wärmetauscher kann auch wenigstens einen ersten Anschluß aufweisen, der mit dem ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei Flüssigkeit durch wenigstens einen ersten Anschluß in den Wärmetauscher eintritt. Der Wärmetauscher kann auch wenigstens einen zweiten Anschluß aufweisen, der mit dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei Flüssigkeit durch wenigstens einen zweiten Anschluß aus dem Wärmetauscher austritt. Die Verteilerschicht kann oberhalb der Grenzschicht positioniert sein, wobei Flüssigkeit durch den ersten Satz von Fingern nach unten strömt und durch den zweiten Satz von Fingern aufwärts strömt. Die Grenzschicht kann integral mit der Wärmequelle ausgebildet sein. Die Grenzschicht kann an die Wärmequelle gekuppelt sein. Die Finger des ersten Satzes können in alternierender Anordnung zu den Fingern des zweiten Satzes angeordnet sein. Jeder der Finger kann die gleichen Längen- und Breitenabmessungen aufweisen. Wenigstens einer der Finger kann unterschiedliche Abmessungen als die übrigen Finger aufweisen. Die Finger können in wenigstens einer Richtung der Verteilerschicht nicht-periodisch angeordnet sein. Wenigstens einer der Finger kann entlang der Länge der Verteilerschicht wenigstens eine variierende Abmessung aufweisen. Die Verteilerschicht kann mehr als drei und weniger als zehn parallele Finger aufweisen. Der Wärmetauscher kann auch eine erste Anschlußpassage aufweisen, die mit dem ersten Anschluß und dem ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die erste Anschlußpassage so konfiguriert ist, daß sie Flüssigkeit von dem ersten Anschluß zu dem ersten Satz von Fingern leitet. Der Wärmetauscher kann auch eine zweite Anschlußpassage aufweisen, die mit dem zweiten Anschluß und dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die zweite Anschlußpassage so konfiguriert ist, daß sie Flüssigkeit von dem zweiten Satz von Fingern zu dem zweiten Anschluß kanalisiert. Der Wärmetauscher kann auch eine Zwischenschicht zum Kanalisieren von Flüssigkeit zu und von einer oder mehreren vorgegebenen Positionen in der Grenzschicht über wenigstens eine Leitung aufweisen, wobei die Zwischenschicht zwischen der Grenzschicht und der Verteilerschicht positioniert ist. Die Leitung kann in einer vorgegebenen Konfiguration angeordnet sein, und Flüssigkeit zu einem oder mehreren Grenzschicht-Heißstellenbereichen in der Zwischenschicht kanalisieren. Die Leitung kann in einer vorgegebenen Konfiguration angeordnet sein, um Flüssigkeit von einem oder mehreren Grenzschicht-Heißstellenbereichen der Zwischenschicht zu kanalisieren. Die Zwischenschicht kann an die Grenzschicht und die Verteilerschicht gekuppelt sein. Die Zwischenschicht kann integral mit der Grenzschicht und der Verteilerschicht ausgebildet sein. Die Leitung kann wenigstens eine variierende Dimension in der Zwischenschicht aufweisen. Die Zwischenschicht kann eine auf ihr angeordnete Beschichtung aufweisen, wobei die Beschichtung eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist. Die Zwischenschicht kann eine thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweisen. Der Wärmetauscher kann auch mehrere Säulen aufweisen, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Zwischenschicht angeordnet sind. Wenigstens eine der Säulen kann eine Flächenabmessung im Bereich von 102 μm und 1002 μm aufweisen. Wenigstens eine der Säulen kann eine Höhe von 50 μm und 2mm aufweisen. Wenigstens zwei der Mehrzahl von Säulen kann zueinander in einem Abstand von 10 bis 150 μm stehen. Auf den mehreren Säulen kann eine Beschichtung angeordnet sein, wobei die Beschichtung eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist. Die Grenzschicht kann eine aufgerauhte Oberfläche aufweisen. Die Grenzschicht kann eine darauf angeordnete mikroporöse Struktur aufweisen. Die poröse Mikrostruktur kann eine Porosität innerhalb eines Bereiches von 50 bis 80 % aufweisen. Die poröse Mikrostruktur kann eine durchschnittliche Porengröße innerhalb des Bereiches von 10 bis 200 μm aufweisen. Die poröse Mikrostruktur kann eine Höhe innerhalb eines Bereiches von 0,25 bis 2 mm aufweisen. Der Wärmetauscher kann auch eine Mehrzahl von Mikrokanälen aufweisen, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Grenzschicht ausgebildet sind. Wenigstens einer der Mikrokanäle kann eine Flächenabmessung im Bereich von 102 μm und 1002 μm aufweisen. Wenigstens einer der Mikrokanäle kann eine Höhe innerhalb des Bereiches von 10 μm und 2mm aufweisen. Wenigstens zwei der Mikrokanäle können zueinander in einem Abstand von 10 bis 150 μm stehen. Wenigstens einer der Mikrokanäle kann eine Breite im Bereich von 10 bis 100 μm aufweisen. Die Mikrokanäle können an die Grenzschicht gekuppelt sein. Die Mikrokanäle können integral mit der Grenzschicht ausgebildet sein. Die Mikrokanäle können entlang einer Dimension der Grenzschicht in Segmente unterteilt sein, wobei wenigstens eine Nut zwischen den unterteilten Mikrokanalsegmenten ausgebildet ist. Die Mikrokanäle können entlang einer Dimension der Grenzschicht kontinuierlich verlaufen. Die wenigstens eine Nut kann zu einem korrespondierenden Finger ausgerichtet sein. Auf den Mikrokanälen kann eine Beschichtung angeordnet sein, wobei die Beschichtung eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 20 W/m-K aufweist. Eine Überhangdimension kann im Bereich zwischen 0 und 15 mm liegen.In another aspect of the present invention, a heat exchanger for cooling a heat source comprises a manifold layer having a first set of fingers in a first configuration, wherein each finger of the first set channels fluid at a first temperature, and the manifold layer further comprises a second set of fingers a second configuration, wherein each finger of the second set channels liquid at a second temperature, and the first set and the second set of fingers are arranged parallel to each other, and a boundary layer having a thickness of about 0.3 to 1.0 mm configured to receive liquid at the first temperature at a plurality of first locations, wherein each first location is associated with a corresponding finger of the first set, and the interface layer directs fluid along a plurality of predetermined paths to a plurality of second locations, each second place a entspre associated finger of the second sentence. The liquid can be in a single-phase state. The fluid may be in a biphasic state. At least a portion of the liquid in the boundary layer may undergo conversion between a single-phase and a two-phase state. A particular finger of the first set may be spaced a suitable distance from a particular finger of the second set, the appropriate dimension reducing the pressure drop in the heat exchanger. The heat exchanger may also include at least one first port communicating with the first set of fingers, fluid entering the heat exchanger through at least one first port. The heat exchanger may also include at least one second port communicating with the second set of fingers, fluid exiting the heat exchanger through at least one second port. The manifold layer may be positioned above the boundary layer with liquid flowing down through the first set of fingers and flowing upward through the second set of fingers. The boundary layer may be formed integrally with the heat source. The boundary layer may be coupled to the heat source. The fingers of the first set may be arranged in an alternating arrangement with the fingers of the second set. Each of the fingers can have the same length and width dimensions. At least one of the fingers may have different dimensions than the remaining fingers. The fingers may be non-periodically arranged in at least one direction of the manifold layer. At least one of the fingers may have at least one varying dimension along the length of the manifold layer. The manifold layer may have more than three and fewer than ten parallel fingers. The heat exchanger may also include a first port passage communicating with the first port and the first set of fingers, wherein the first port passage is configured to direct fluid from the first port to the first set of fingers. The heat exchanger may also include a second port passage communicating with the second port and the second set of fingers, the second port passage being configured to channel fluid from the second set of fingers to the second port. The heat exchanger may also include an intermediate layer for channeling liquid to and from one or more predetermined positions in the boundary layer via at least one conduit, the intermediate layer being positioned between the boundary layer and the manifold layer. The conduit may be arranged in a predetermined configuration and channel fluid to one or more interface hot spot areas in the intermediate layer. The conduit may be arranged in a predetermined configuration to channel fluid from one or more interface hot spot areas of the intermediate layer. The intermediate layer may be coupled to the barrier layer and the manifold layer. The intermediate layer may be formed integrally with the barrier layer and the manifold layer. The conduit may have at least one varying dimension in the intermediate layer. The intermediate layer may have a coating disposed thereon, wherein the coating has a suitable thermal conductivity of at least 10 W / mK. The intermediate layer may have a thermal conductivity of at least 10 W / mK. The heat exchanger may also include a plurality of columns arranged in a predetermined pattern along the intermediate layer. At least one of the columns may have a surface dimension in the range of 10 2 microns and 100 2 microns. At least one of the columns may have a height of 50 microns and 2mm. At least two of the plurality of columns may be spaced from each other by 10 to 150 μm. A coating may be disposed on the plurality of columns, the coating having a suitable thermal conductivity of at least 10 W / mK. The boundary layer may have a roughened surface. The barrier layer may have a microporous structure disposed thereon. The porous microstructure may have a porosity within a range of 50 to 80%. The porous microstructure may have an average pore size within the range of 10 to 200 μm. The porous microstructure may have a height within a range of 0.25 to 2 mm. The heat exchanger may also include a plurality of microchannels formed in a predetermined pattern along the boundary layer. At least one of the microchannels may have a surface dimension in the range of 10 2 microns and 100 2 microns. At least one of the microchannels may have a height within the range of 10 μm and 2 mm. At least two of the microchannels may be spaced from one another by 10 to 150 μm. At least one of the microchannels may have a width in the range of 10 to 100 microns. The microchannels can be coupled to the boundary layer. The microchannels may be formed integrally with the boundary layer. The microchannels may be divided into segments along a dimension of the boundary layer, wherein at least one groove is formed between the divided microchannel segments. The microchannels may be continuous along one dimension of the boundary layer. The at least one groove may be aligned with a corresponding finger. A coating may be arranged on the microchannels, the coating having a suitable thermal conductivity of at least 20 W / mK. An overhang dimension can range between 0 and 15 mm.

Andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nach Durchsicht der detaillierten Beschreibung von nachstehend beschriebenen bevorzugten Ausführungsbeispielen ersichtlich.Other Features and advantages of the present invention will be apparent after review the detailed description of preferred described below embodiments seen.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenShort description the drawings

1A zeigt eine Seitenansicht eines konventionellen Wärmetauschers. 1A shows a side view of a conventional heat exchanger.

1B zeigt eine Draufsicht auf einen konventionellen Wärmetauscher. 1B shows a plan view of a conventional heat exchanger.

1C zeigt eine Seitenansicht eines vorbekannten Mehr-Etagen-Wärmetauschers. 1C shows a side view of a previously known multi-level heat exchanger.

2A zeigt eine schematische Darstellung eines geschlossenen Kühlsystems mit einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Mikrokanal-Wärmetauschers für eine flexible Anlieferung von Flüssigkeit. 2A shows a schematic representation of a closed cooling system with a preferred embodiment of the microchannel heat exchanger according to the invention for a flexible delivery of liquid.

2B zeigt eine schematische Darstellung eines geschlossenen Kühlsystems mit einer alternativen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Mikrokanal-Wärmetauschers für eine flexible Anlieferung von Flüssigkeit. 2 B shows a schematic representation of a closed cooling system with an alternative embodiment of the microchannel heat exchanger according to the invention for a flexible delivery of liquid.

3A zeigt eine Draufsicht auf eine alternative Verteilerschicht des erfindungsgemäßen Wärmetauschers. 3A shows a plan view of an alternative distribution layer of the heat exchanger according to the invention.

3B zeigt eine Explosionsdarstellung eines alternativen Wärmetauschers mit der alternativen Verteilerschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 3B shows an exploded view of an alternative heat exchanger with the alternative distribution layer according to the present invention.

4 zeigt eine perspektivische Darstellung der bevorzugten verzweigten Verteilerschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 4 shows a perspective view of the preferred branched distribution layer according to the present invention.

5 zeigt eine Draufsicht auf die bevorzugte verzweigte Verteilerschicht mit einer Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 5 shows a plan view of the preferred branched distribution layer with a boundary layer according to the present invention.

6A zeigt eine Querschnittsdarstellung der bevorzugten Verteilerschicht nebst Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung entlang den Linien A – A. 6A shows a cross-sectional view of the preferred distribution layer and boundary layer according to the present invention along the lines A - A.

6B zeigt eine Querschnittsdarstellung der bevorzugten verzweigten Verteilerschicht nebst Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung entlang den Linien B – B. 6B shows a cross-sectional view of the preferred branched distribution layer along with boundary layer according to the present invention along the lines B - B.

6C zeigt eine Querschnittsdarstellung der bevorzugten verzweigten Verteilerschicht nebst Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung entlang den Linien C – C. 6C shows a cross-sectional view of the preferred branched distribution layer along with boundary layer according to the present invention along the lines C - C.

7A zeigt eine Explosionsdarstellung der bevorzugten verzweigten Verteilerschicht nebst Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 7A shows an exploded view of the preferred branched distribution layer and boundary layer according to the present invention.

7B zeigt eine perspektivische Darstellung einer alternativen Ausgestaltung der Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 7B shows a perspective view of an alternative embodiment of the boundary layer according to the present invention.

8A zeigt eine schematische Draufsicht auf eine alternative Verteilerschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 8A shows a schematic plan view of an alternative distribution layer according to the vorlie ing invention.

8B zeigt eine schematische Draufsicht auf die Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 8B shows a schematic plan view of the boundary layer according to the present invention.

8C zeigt eine schematische Draufsicht auf die Grenzschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. 8C shows a schematic plan view of the boundary layer according to the present invention.

9A zeigt eine schematische Darstellung der alternativen Ausgestaltung des Drei-Etagen-Wärmetauschers gemäß der vorliegenden Erfindung. 9A shows a schematic representation of the alternative embodiment of the three-level heat exchanger according to the present invention.

9B zeigt eine schematische Seitenansicht der alternativen Ausgestaltung des Zwei-Etagen-Wärmetauschers gemäß der vorliegenden Erfindung. 9B shows a schematic side view of the alternative embodiment of the two-level heat exchanger according to the present invention.

10 zeigt eine perspektivische Darstellung der Grenzschicht mit einer Mikrostift-Reihe gemäß der vorliegenden Erfindung. 10 shows a perspective view of the boundary layer with a micro pin row according to the present invention.

11 zeigt eine teilweise weggeschnittene perspektivische Darstellung des alternativen Wärmetauschers gemäß der vorliegenden Erfindung. 11 shows a partially cutaway perspective view of the alternative heat exchanger according to the present invention.

12 zeigt eine schematische Seitenansicht der Grenzschicht des Wärmetauschers mit einem darauf angeordneten Beschichtungsmaterial gemäß der vorliegenden Erfindung. 12 shows a schematic side view of the boundary layer of the heat exchanger with a coating material arranged thereon according to the present invention.

13 zeigt ein Flußdiagramm eines alternativen Verfahrens zum Herstellen des Wärmetauschers gemäß der vorliegenden Erfindung. 13 shows a flowchart of an alternative method of manufacturing the heat exchanger according to the present invention.

14 zeigt in einer schematischen Darstellung eine alternative Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung mit zwei an eine Wärmequelle gekuppelten Wärmetauschern. 14 shows a schematic representation of an alternative embodiment of the present invention with two coupled to a heat source heat exchangers.

Detaillierte Beschreibung der vorliegenden Erfindungdetailed Description of the present invention

Allgemein gesagt nimmt der Wärmetauscher thermische Energie auf, die von einer Wärmequelle erzeugt wird, indem Flüssigkeit durch ausgewählte Bereiche der Grenzschicht geleitet wird, welche bevorzugt an die Wärmequelle angekuppelt ist. Genauer gesagt wird die Flüssigkeit speziellen Bereichen der Grenzschicht zugeleitet, um die Heißstellen und Bereiche um die Heißstellen zu kühlen, und allgemein eine Gleichförmigkeit der Temperatur über die Wärmequelle bei einem kleinen Druckabfall innerhalb des Wärmetauschers zu erzielen. Wie bei den verschiedenen Ausgestaltungen weiter unten ausgeführt ist, verwendet der Wärmetauscher eine Vielzahl von Öffnungen, Kanälen und/oder Fingern in der Verteilerschicht sowie Leitungen in der Zwischenschicht, um Flüssigkeit zu und von ausgewählten Heißstellenbereichen in der Grenzschicht zu leiten. Alternativ weist der Wärmetauscher mehrere Anschlüsse auf, welche speziell an vorgegebenen Stellen angeordnet sind, um Flüssigkeit direkt zu den Heißstellen zu liefern und von diesen abzuleiten, um die Wärmequelle effektiv zu kühlen.Generally said the heat exchanger takes thermal Energy generated by a heat source is by adding liquid through selected areas the boundary layer is passed, which preferably to the heat source is coupled. More specifically, the fluid is specific to the areas Boundary layer fed to the hot spots and areas around the hot spots to cool, and in general a uniformity the temperature over the heat source to achieve a small pressure drop within the heat exchanger. As in the various embodiments is explained below, uses the heat exchanger a variety of openings, channels and / or fingers in the manifold layer as well as lines in the Interlayer to liquid to and from selected Hot spot regions to conduct in the boundary layer. Alternatively, the heat exchanger several connections on, which are specially arranged at predetermined locations to liquid directly to the hot spots to deliver and derive from them to effectively cool the heat source.

Obwohl der Mikrokanal-Wärmetauscher gemäß der vorliegenden Erfindung in bezug auf eine flexible Flüssigkeitsanlieferung zum Kühlen von Heißstellen in einer Einrichtung beschrieben und diskutiert wird, ist es für den Fachmann ersichtlich, daß der Wärmetauscher alternativ für eine flexible Flüssigkeitsanlieferung zum Erwärmen einer kalten Stelle in einer Einrichtung verwendet werden kann. Außerdem sei darauf verwiesen, daß die vorliegende Erfindung auch für andere Anwendungen geeignet und nicht auf die hier diskutierten Anwendungen beschränkt ist, obwohl sie bevorzugt als Mikrokanal-Wärmetauscher beschrieben ist.Even though the microchannel heat exchanger according to the present Invention relating to a flexible liquid delivery for cooling hot spots is described and discussed in one device, it is obvious to one skilled in the art it can be seen that the heat exchangers alternatively for a flexible fluid delivery for heating a cold spot in a facility can be used. Furthermore It should be noted that the present invention also for other applications suitable and not on the ones discussed here Applications limited Although it is preferably described as a microchannel heat exchanger.

2A zeigt eine schematische Darstellung eines geschlossenen Kühlsystems 30, welches einen bevorzugten Mikrokanal-Wärmetauscher 400 gemäß der vorliegenden Erfindung für eine flexible Flüssigkeitsanlieferung aufweist. Weiterhin zeigt 2B eine schematische Darstellung eines geschlossenen Kühlsystems 30, welches einen alternativen Mikrokanal-Wärmetauscher 200 mit mehreren Anschlüssen 108, 109 zur flexiblen Anlieferung von Flüssigkeit gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist. 2A shows a schematic representation of a closed cooling system 30 which is a preferred microchannel heat exchanger 400 according to the present invention for a flexible liquid delivery. Further shows 2 B a schematic representation of a closed cooling system 30 , which is an alternative microchannel heat exchanger 200 with several connections 108 . 109 for the flexible delivery of liquid according to the present invention.

Wie in 2A gezeigt ist, sind die Flüssigkeitsanschlüsse 108, 109 an Flüssigkeitslinien bzw. – leitungen 38 gekoppelt, die an eine Pumpe 32 und einen Wärmekondensator 30 angeschlossen sind. Die Pumpe 32 pumpt und zirkuliert Flüssigkeit innerhalb des in sich geschlossenen Kreises 30. Bevorzugt wird ein Flüssigkeitsanschluß 108 für eine Zuführung von Flüssigkeit zu dem Wärmetauscher 100 verwendet. Weiterhin wird bevorzugt der Flüssigkeitsanschluß 109 dafür verwendet, um Flüssigkeit von dem Wärmetauscher 100 abzuführen. Bevorzugt tritt eine gleichförmige, konstante Menge von Flüssigkeit in den Wärmetauscher 100 ein und verläßt diesen über die entsprechenden Flüssigkeitsanschlüsse 108. 109. Alternativ können unterschiedliche Flüssigkeitsmengen zu einer vorgegebenen Zeit durch die Einlaß- und Auslaßanschlüsse 108, 109 ein- und austreten. Alternativ versorgt eine Pumpe mehrere vorbestimmte Einlaßanschlüsse 108 mit Flüssigkeit, wie dieses in 2B gezeigt ist. Alternativ versorgen mehrere Pumpen (nicht gezeigt) die betreffenden Ein- und Auslaßanschlüsse 108, 109 mit Flüssigkeit. Weiterhin kann der dynamische Feststell- und Steuermodul 34 alternativ in dem System vorgesehen sein, um die Menge und Strömungsgeschwindigkeit der Flüssigkeit zu variieren und dynamisch zu steuern, die in den bevorzugten oder einen alternativen Wärmetauscher ein- und wieder austritt, als Reaktion auf variierende Heißstellen bzw. Wechsel der Wärmemengen an Heißstellen wie auch einen lokalen Wechsel der Heißstellen.As in 2A is shown are the fluid connections 108 . 109 on liquid lines or lines 38 coupled to a pump 32 and a thermal capacitor 30 are connected. The pump 32 Pumps and circulates fluid within the self-contained circle 30 , Preference is given to a liquid connection 108 for a supply of liquid to the heat exchanger 100 used. Furthermore, the liquid connection is preferred 109 used to remove liquid from the heat exchanger 100 dissipate. Preferably, a uniform, constant amount of liquid enters the heat exchanger 100 and leaves it via the corresponding fluid connections 108 , 109 , Alternatively, different amounts of liquid at a given time through the inlet and outlet ports 108 . 109 enter and exit. Alternatively, a pump supplies a plurality of predetermined inlet ports 108 with liquid, like this one in 2 B is shown. Alternatively, several pumps (not shown) supply the respective inlet and outlet ports 108 . 109 with liquid. Furthermore, the dynamic locking and control module 34 alternatively, be provided in the system to vary and dynamically control the amount and flow rate of liquid entering and exiting the preferred or alternative heat exchanger in response to varying hot spots or heat changes memegen at hot spots as well as a local change of hot spots.

Bei der bevorzugten Ausgestaltung handelt es sich um einen Drei-Etagen-Wärmetauscher 400, welcher eine Grenzschicht 402, wenigstens eine Zwischenschicht 404 und wenigstens eine Verteilerschicht 406 aufweist. Die bevorzugte Verteilerschicht 402 und die bevorzugte Grenzschicht 402 sind in 7 gezeigt und die Zwischenschicht 104 ist in 3B gezeigt. Alternativ kann der Wärmetauscher 400, wie unten ausgeführt ist, ein Zwei-Etagen-Apparat sein, welcher die Grenzschicht 402 und die Verteilerschicht 406 enthält, wie in 7 gezeigt ist. Wie in den 2A und 2B gezeigt ist, ist der Wärmetauscher 400 an eine Wärmequelle 99 gekoppelt, wie ein elektronisches Teil bzw. eine elektronische Einrichtung, beispielsweise einen Mikrochip oder einen integrierten Schaltkreis, wobei ein thermisches Grenzmaterial 98 bevorzugt zwischen der Wärmequelle 99 und dem Wärmetauscher 100 angeordnet ist. Alternativ wird der Wärmetauscher 400 direkt an die Oberfläche der Wärmequelle 99 gekoppelt. Es ist für den Fachmann auch ersichtlich, daß der Wärmetauscher 400 alternativ integral in die Wärmequelle 99 eingeformt sein kann, wobei der Wärmetauscher 400 und die Wärmequelle 99 als ein Teil ausgebildet sind. Somit ist die Grenzschicht 102 integral mit der Wärmequelle 99 und einteilig mit dieser ausgebildet.The preferred embodiment is a three-level heat exchanger 400 which is a boundary layer 402 , at least one intermediate layer 404 and at least one distribution layer 406 having. The preferred distribution layer 402 and the preferred boundary layer 402 are in 7 shown and the intermediate layer 104 is in 3B shown. Alternatively, the heat exchanger 400 as set forth below, be a two-tier apparatus which forms the boundary layer 402 and the distribution layer 406 contains, as in 7 is shown. As in the 2A and 2 B is shown is the heat exchanger 400 to a heat source 99 coupled, such as an electronic part or an electronic device, such as a microchip or an integrated circuit, wherein a thermal boundary material 98 preferably between the heat source 99 and the heat exchanger 100 is arranged. Alternatively, the heat exchanger 400 directly to the surface of the heat source 99 coupled. It will also be apparent to those skilled in the art that the heat exchanger 400 alternatively integrally with the heat source 99 may be formed, wherein the heat exchanger 400 and the heat source 99 are formed as a part. Thus, the boundary layer 102 integral with the heat source 99 and formed integrally with this.

Bevorzugt steht der Wärmetauscher 400 gemäß der vorliegenden Erfindung direkt oder indirekt mit der Wärmequelle 99 in Kontakt, welcher eine rechtwinklige Form aufweist, wie in den Zeichnungsfiguren gezeigt ist. Es ist jedoch für den Fachmann ersichtlich, daß der Wärmetauscher 400 jegliche andere Form aufweisen kann, welche der Form der Wärmequelle 99 entspricht. Beispielsweise kann der erfindungsgemäße Wärmetauscher eine halbkreisförmige äußere Form aufweisen (nicht gezeigt) und in direktem oder indirektem Kontakt mit einer entsprechenden halbkreisförmig geformten Wärmequelle (nicht gezeigt) stehen. Weiterhin ist es bevorzugt, daß der Wärmetauscher 400 bezüglich seiner Abmessungen etwas größer als die Wärmequelle ist, und zwar um 0,5 bis 5,0 mm.Preferably, the heat exchanger is 400 according to the present invention directly or indirectly with the heat source 99 in contact, which has a rectangular shape, as shown in the drawing figures. However, it will be apparent to those skilled in the art that the heat exchanger 400 may have any other shape, which is the shape of the heat source 99 equivalent. For example, the heat exchanger according to the invention may have a semi-circular outer shape (not shown) and be in direct or indirect contact with a corresponding semicircular shaped heat source (not shown). Furthermore, it is preferred that the heat exchanger 400 in terms of its dimensions, slightly larger than the heat source, namely by 0.5 to 5.0 mm.

3A zeigt eine Draufsicht auf die alternative Ausbildung der Verteilerschicht 106 nach der vorliegenden Erfindung. Wie in 3B gezeigt ist, weist die Verteilerschicht 106 vier Seiten sowie eine Oberseite 130 und eine Bodenfläche 132 auf. Die Oberseite 130 ist in 3A je doch fortgelassen, um die Arbeitsweise der Verteilerschicht 107 adäquat darstellen und beschreiben zu können. Wie in 3A gezeigt ist, weist die Verteilerschicht 106 eine Anzahl von Kanälen bzw. Passagen 116, 118, 120, 122 sowie Anschlüsse 108, 109 auf, die in ihr ausgebildet sind. Die Finger 118, 120 erstrecken sich vollständig durch den Körper der Verteilerschicht 106 in Z-Richtung, wie dieses in 3B gezeigt ist. Alternativ können sich die Finger 118 und 120 teilweise in Z-Richtung erstrecken und Öffnungen aufweisen, wie in 3A gezeigt ist. Weiterhin erstrecken sich die Passagen 116 und 122 teilweise durch die Verteilerschicht 106. Die verbleibenden Bereiche zwischen den Einlaß- und Auslaßpassagen 116, 120, die mit 107 bezeichnet sind, erstrecken sich von der Oberseite 130 zur Bodenfläche 132 und bilden den Körper der Verteilerschicht 106. 3A shows a plan view of the alternative embodiment of the manifold layer 106 according to the present invention. As in 3B is shown has the manifold layer 106 four sides as well as a top 130 and a floor area 132 on. The top 130 is in 3A but omitted to the operation of the distribution layer 107 adequately represent and describe. As in 3A is shown has the manifold layer 106 a number of channels or passages 116 . 118 . 120 . 122 as well as connections 108 . 109 who are trained in it. The finger 118 . 120 extend completely through the body of the manifold layer 106 in Z direction, like this one in 3B is shown. Alternatively, the fingers can 118 and 120 extend partially in the Z direction and have openings, as in 3A is shown. Furthermore, the passages extend 116 and 122 partly through the distributor layer 106 , The remaining areas between the inlet and outlet passages 116 . 120 , with 107 are designated, extending from the top 130 to the floor area 132 and form the body of the manifold layer 106 ,

Wie in 3A gezeigt ist, tritt die Flüssigkeit über den Einlaßanschluß 108 in die Verteilerschicht 106 ein und strömt entlang des Einlaßkanals 116 zu mehreren Fingern 118, welche sich von dem Kanal 116 aus in mehreren Richtungen in X- und/oder Y-Richtung verzweigen, um ausgewählte Bereiche der Grenzschicht 102 mit Flüssigkeit zu versorgen. Die Finger 118 sind in unterschiedlichen vorgegebenen Richtungen angeordnet, um Flüssigkeit zu Stellen der Grenzschicht 102 zu leiten, welche den Bereichen der Heißstellen der Wärmequelle oder diesen benachbarten Bereichen entsprechen. Diese Stellen der Grenzschicht 102 sind nachstehend als Grenzschicht-Heißstellenbereiche bezeichnet. Die Finger sind so ausgebildet, daß sie sowohl stationäre als auch zeitlich variierende Grenzschicht-Heißstellenbereiche kühlen können. Wie in 3A gezeigt ist, sind die Kanäle 116, 122 und die Finger 118, 120 in der Xund/oder oder Y-Richtung in der Verteilerschicht 106 angeordnet. Somit gestatten die verschiedenen Richtungen der Kanäle 116, 122 und der Finger 118, 120 eine Anlieferung von Flüssigkeit, um die Heißstellen der Wärmequelle 99 zu kühlen und/oder den Druckabfall innerhalb des Wärmetauschers 100 zu minimalisieren. Alternativ sind die Kanäle 116, 122 und die Finger 118, 120 periodisch in der Verteilerschicht 106 angeordnet und bilden wie bei der bevorzugten Ausgestaltung ein Muster.As in 3A is shown, the liquid passes through the inlet port 108 into the distribution layer 106 and flows along the inlet channel 116 to several fingers 118 which are different from the channel 116 branch out in multiple directions in the X and / or Y direction to selected areas of the boundary layer 102 to supply with liquid. The finger 118 are arranged in different predetermined directions to liquid to sites of the boundary layer 102 which correspond to the areas of the hot spots of the heat source or these adjacent areas. These sites of the boundary layer 102 hereinafter referred to as boundary layer hot spot areas. The fingers are configured to cool both stationary and time varying boundary layer hot spots. As in 3A shown are the channels 116 . 122 and the fingers 118 . 120 in the X and / or Y direction in the manifold layer 106 arranged. Thus, the different directions of the channels allow 116 . 122 and the finger 118 . 120 a delivery of liquid to the hot spots of the heat source 99 to cool and / or the pressure drop within the heat exchanger 100 to minimize. Alternatively, the channels 116 . 122 and the fingers 118 . 120 periodically in the distribution layer 106 arranged and form as in the preferred embodiment, a pattern.

Die Anordnung sowie die Dimensionen der Finger 118, 120 sind im Lichte der kühlenden Heißstellen der Wärmequelle 99 gewählt. Die Orte der Heißstellen sowie die Wärmemenge, die nahe oder an jeder Heißstelle erzeugt wird, werden dazu verwendet, um die Verteilerschicht 106 zu konfigurieren, so daß die Finger 118, 120 oberhalb oder benachbart der Grenzschicht-Heißstellenbereiche der Grenzschicht 102 angeordnet sind. Die Verteilerschicht 106 ermöglicht bevorzugt einer Ein- und/oder Zwei-Phasen-Flüssigkeit in der Grenzschicht 102 zu zirkulieren, ohne daß ein wesentlicher Druckverlust innerhalb des Wärmetauschers 100 und des Systems 30 (2A) entsteht. Die Flüssigkeitsanlieferung an die Grenzschicht-Heißstellenbereiche erzeugt eine gleichmäßige Temperatur an den Grenzschicht-Heißstellenbereichen wie auch in Bereichen der Wärmequelle, welche den Grenzschicht-Heißstellenbereichen benachbart sind.The arrangement as well as the dimensions of the fingers 118 . 120 are in the light of the cooling hot spots of the heat source 99 selected. The locations of the hot spots as well as the amount of heat generated near or at each hot spot are used around the manifold layer 106 to configure so that the fingers 118 . 120 above or adjacent to the boundary layer hot spots of the boundary layer 102 are arranged. The distribution layer 106 preferably allows a single and / or two-phase liquid in the boundary layer 102 to circulate without any significant pressure loss within the heat exchanger 100 and the system 30 ( 2A ) arises. The delivery of liquid to the interface hot spot areas produces a uniform temperature at the interface hot spot areas as well as in areas of the heat source adjacent the boundary layer hot spot areas.

Die Dimensionen sowie die Anzahl der Kanäle 116 und Finger 118 hängen von einer Anzahl von Faktoren ab. Bei einer Ausgestaltung haben die Einlaß- und Auslaßfinger 118, 120 die gleichen Breitenabmessungen. Alternativ können die Einlaß- und Auslaßöffnungen 118, 120 unterschiedliche Breitenabmessungen aufweisen. Die Breitabmessungen der Finger 118, 120 liegen bevorzugt innerhalb des Bereiches von 0,25 bis 0,50 mm. Bei dieser Ausgestaltung haben die Einlaß- und Auslaßfinger 118, 120 dieselben Längen- und Tiefenabmessungen. Alternativ können die Einlaß- und Auslaßfinger 118, 120 unterschiedliche Längen- und Tiefenabmessungen aufweisen. Bei einer anderen Ausgestaltung weisen die Einlaß- und Auslaßfinger 118, 120 längs der Finger variierende Breitenabmessungen auf. Die Längenabmessungen der Einlaß- und Auslaßfinger 118, 120 liegen in einem Bereich zwischen 0,5 mm bis zur dreifachen Größe der Länge der Wärmequelle. Weiterhin haben die Finger 118, 120 eine Höhe bzw. Tiefe innerhalb eines Bereiches von 0,25 bis 0,50 mm. Weiterhin sind weniger als zehn oder mehr als dreißig Finger pro Zentimeter in der Verteilerschicht 106 vorgesehen. Es ist jedoch für einen Fachmann erkennbar, daß auch eine Anzahl zwischen zehn und dreißig Fingern je Zentimeter der Verteilerschicht alternativ möglich ist.The dimensions as well as the number of channels 116 and fingers 118 depend on a number of factors. In one embodiment, the inlet and outlet fingers 118 . 120 the same width dimensions. Alternatively, the inlet and outlet ports 118 . 120 have different width dimensions. The broad dimensions of the fingers 118 . 120 are preferably within the range of 0.25 to 0.50 mm. In this embodiment, the inlet and outlet fingers 118 . 120 the same length and depth dimensions. Alternatively, the inlet and outlet fingers 118 . 120 have different length and depth dimensions. In another embodiment, the inlet and outlet fingers 118 . 120 along the fingers varying width dimensions. The length dimensions of the inlet and outlet fingers 118 . 120 lie in a range between 0.5 mm to three times the length of the heat source. Continue to have the fingers 118 . 120 a height or depth within a range of 0.25 to 0.50 mm. Furthermore, less than ten or more than thirty fingers per centimeter are in the manifold layer 106 intended. However, it will be apparent to one skilled in the art that a number between ten and thirty fingers per centimeter of the manifold layer is alternatively possible.

Innerhalb der vorliegenden Erfindung ist auch vorgesehen, die Geometrie der Finger 118, 120 und der Kanäle 116, 122 in nicht-periodischer Anordnung auszubilden, um das Kühlen der Heißstellen der Wärmequelle zu optimieren. Um eine gleichmäßige Temperatur über die Wärmequelle 99 zu erhalten, entspricht die räumliche Verteilung der Wärmeübertragung auf die Flüssigkeit der räumlichen Verteilung der Wärmeerzeugung. Wenn die Flüssigkeit längs der Grenzschicht durch die Mikrokanäle 110 strömt, steigt ihre Temperatur an und sie beginnt, sich in Dampf umzuformen, so daß Zwei-Phasen-Bedingungen entstehen. Demgemäß unterliegt die Flüssigkeit einer erheblichen Expansion, was zu einem erheblichen Anwachsen ihrer Geschwindigkeit führt. Die Wirksamkeit der Wärmeübertragung von der Grenzschicht auf die Flüssigkeit wird bei einer Strömung mit hoher Geschwindigkeit ganz allgemein verbessert. Es ist daher möglich, die Effizienz der Wärmeübertragung auf die Flüssigkeit durch Anpassung der Querschnittsdimensionen in den Finger 118, 120 zur Zu- und Abführung von Flüssigkeit und der Kanäle 116, 122 in dem Wärmetauscher 100 zu verbessern.Within the present invention is also provided the geometry of the fingers 118 . 120 and the channels 116 . 122 in a non-periodic arrangement to optimize the cooling of the hot spots of the heat source. To get a uniform temperature over the heat source 99 to obtain corresponds to the spatial distribution of heat transfer to the liquid of the spatial distribution of heat generation. When the liquid along the boundary layer through the microchannels 110 As its temperature rises, it begins to transform into steam, creating two-phase conditions. Accordingly, the liquid undergoes substantial expansion, resulting in a significant increase in its velocity. The effectiveness of heat transfer from the boundary layer to the liquid is generally improved with high velocity flow. It is therefore possible to increase the efficiency of heat transfer to the fluid by adjusting the cross-sectional dimensions in the finger 118 . 120 for the supply and discharge of liquid and the channels 116 . 122 in the heat exchanger 100 to improve.

Beispielsweise kann ein bestimmter Finger für eine Wärmequelle ausgebildet sein, an welcher nahe dem Einlaß eine höhere Wärmeerzeugung erfolgt. Weiterhin kann es vorteilhaft sein, einen größeren Querschnitt für die Bereiche der Finger 118, 120 und der Kanäle 116, 122 dort vorzusehen, wo eine Mischung von Flüssigkeit und Dampf erwartet wird. Obwohl dieses nicht dargestellt ist, kann ein Finger so ausgebildet sein, daß er am Einlaß mit einem Bereich mit einem kleineren Querschnitt beginnt, um eine hohe Geschwindigkeit der strömenden Flüssigkeit zu erzeugen. Der bestimmte Finger bzw. Kanal kann auch so ausgebildet sein, daß sich sein Querschnitt an einem stromabwärts gelegenen Auslaß vergrößert, um eine niedrigere Strömungsgeschwindigkeit zu erzeugen. Die Ausbildung des Fingers bzw. Kanals gestattet es dem Wärmetauscher, den Druckverlust zu minimalisieren und das Kühlen von Heißquellen in Bereichen zu optimieren, in denen das Flüssigkeitsvolumen, die Beschleunigung und die Geschwindigkeit der Flüssigkeit aufgrund ihrer Umformung von flüssig in dampfförmig in eine Zwei-Phasen-Strömung anwachsen.For example, a particular finger may be formed for a heat source at which higher heat generation occurs near the inlet. Furthermore, it may be advantageous to have a larger cross section for the areas of the fingers 118 . 120 and the channels 116 . 122 to provide where a mixture of liquid and vapor is expected. Although not shown, a finger may be configured to begin at the inlet with a region of smaller cross-section to produce a high velocity of the flowing liquid. The particular finger or channel may also be configured to increase in cross-section at a downstream outlet to produce a lower flow rate. The formation of the finger or channel allows the heat exchanger to minimize pressure loss and to optimize the cooling of hot sources in areas where the liquid volume, acceleration and velocity of the liquid change from liquid to vapor to two-phase Flow increase.

Weiterhin können die Finger 118, 120 und Kanäle 116, 122 so ausgebildet sein, daß sie sich in ihrer Längsrichtung erweitern und sodann wieder verengen, um die Geschwindigkeit der Flüssigkeit an unterschiedlichen Stellen des Mikrokanal-Wärmetauschers 100 zu erhöhen. Alternativ kann es zweckmäßig sein, die Dimensionen der Finger und Kanäle von groß nach klein und wieder zurück mehrfach zu variieren, um die Effizienz der Wärmeübertragung auf die erwartete Wärmeabgabeverteilung über die Wärmequelle 99 zuzuschneiden. Es sei darauf verwiesen, daß die vorstehende Diskussion einer Variierung der Dimensionen der Finger und Kanäle sich auch auf andere Ausgestaltungen bezieht und nicht auf die vorstehende erörterte Ausgestaltung beschränkt ist.Furthermore, the fingers can 118 . 120 and channels 116 . 122 be designed so that they widen in their longitudinal direction and then narrow again to the speed of the liquid at different points of the microchannel heat exchanger 100 to increase. Alternatively, it may be desirable to vary the dimensions of the fingers and channels from large to small and back again several times to increase the efficiency of heat transfer to the expected heat release distribution across the heat source 99 tailor. It should be understood that the foregoing discussion of varying the dimensions of the fingers and channels also applies to other embodiments and is not limited to the above discussed embodiment.

Alternativ enthält die Verteilerschicht 106 eine oder mehrere Öffnungen 119 in den Einlaßfingern 118, wie in 3A gezeigt ist. Bei dem Drei-Etagen-Wärmetauscher 100 strömt die Flüssigkeit, die entlang den Fingern 118 strömt, durch die Öffnungen 119 nach unten zu der Zwischenschicht 104. Alternativ kann die entlang den Fingern 118 strömende Flüssigkeit bei einem Zwei-Etagen-Wärmetauscher 100 durch Öffnungen 119 nach unten direkt in die Grenzschicht 102 strömen. Weiterhin enthält die Verteilerschicht 106, wie in 3A gezeigt ist, Öffnungen 121 in den Auslaßfingern 120. Bei dem Drei-Etagen-Wärmetauscher 100 strömt die Flüssigkeit von der Zwischenschicht 104 aufwärts durch die Öffnungen 121 in die Auslaßfinger 120. Alternativ fließt die Flüssigkeit bei dem Zwei-Etagen-Wärmetauscher 100 von der Grenzschicht 102 durch die Öffnungen 121 direkt aufwärts in die Auslaßfinger 120.Alternatively contains the distribution layer 106 one or more openings 119 in the inlet fingers 118 , as in 3A is shown. In the three-level heat exchanger 100 the liquid flows along the fingers 118 flows through the openings 119 down to the intermediate layer 104 , Alternatively, the along the fingers 118 flowing liquid in a two-level heat exchanger 100 through openings 119 down directly into the boundary layer 102 stream. Furthermore, the distributor layer contains 106 , as in 3A shown is openings 121 in the outlet fingers 120 , In the three-level heat exchanger 100 the liquid flows from the intermediate layer 104 up through the openings 121 into the outlet fingers 120 , Alternatively, the liquid flows at the two-level heat exchanger 100 from the boundary layer 102 through the openings 121 straight up into the outlet fingers 120 ,

Bei der in 3A gezeigten Ausgestaltung sind die Einlaß- und Auslaßfinger 118, 120 offene Kanäle ohne Öffnungen. Die Bodenfläche 103 der Verteilerschicht 106 stößt gegen die Oberseite der Zwischenschicht 104 bei dem Drei-Etagen-Wärmetauscher 100 oder sie stößt gegen die Grenzschicht 102 bei dem Zwei-Etagen-Wärmetauscher. Demgemäß fließt bei dem Drei-Etagen-Wärmetauscher 100 Flüssigkeit frei zu und von der Zwischenschicht 104 und der Verteilerschicht 106. Die Flüssigkeit wird durch Leitungen 105 in der Zwischenschicht 104 zu dem betreffenden Grenzschicht-Heißstellenbereich geführt. Es ist für den Fachmann erkenn bar, daß die Leitungen 105 direkt zu den Fingern ausgerichtet sind, wie unten beschrieben ist, oder woanders in dem Drei-Etagen-System angeordnet sein können.At the in 3A embodiment shown are the inlet and outlet fingers 118 . 120 open channels without openings. The floor area 103 the distributor layer 106 bumps against the top of the interlayer 104 at the three-level heat exchanger 100 or she bumps into the boundary layer 102 in the two-level heat exchanger. Accordingly, flows in the three-level heat exchanger 100 Liquid free to and from the intermediate layer 104 and the distributor layer 106 , The liquid is through lines 105 in the interlayer 104 led to the relevant boundary layer hot spot area. It is for the skilled person recognizable bar, that the lines 105 are aligned directly to the fingers, as described below, or may be located elsewhere in the three-tier system.

3B zeigt eine Explosionsdarstellung des Drei-Etagen-Wärmetauschers 100 mit einer anderen erfindungsgemäßen Verteilerschicht. Alternativ kann der Wärmetauscher 100 eine zweischichtige Struktur aufweisen, welche die Verteilerschicht 106 und die Grenzschicht 102 enthält, wobei Flüssigkeit direkt zwischen der Verteilerschicht 106 und der Grenzschicht 102 strömt, ohne durch eine Zwischenschicht 104 zu strömen. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die Ausbildung der Verteilerschicht, der Zwischenschicht und der Grenzschicht lediglich beispielhaft ist und auf die gezeigten Ausgestaltungen nicht begrenzt ist. 3B shows an exploded view of the three-level heat exchanger 100 with another distributor layer according to the invention. Alternatively, the heat exchanger 100 have a two-layered structure, which the distributor layer 106 and the boundary layer 102 contains, with liquid directly between the manifold layer 106 and the boundary layer 102 flows through without an intermediate layer 104 to stream. It will be apparent to those skilled in the art that the formation of the manifold layer, the interlayer and the barrier layer is merely exemplary and not limited to the embodiments shown.

Wie in 3B gezeigt ist, weist die Zwischenschicht 104 mehrere Leitungen 105 auf, welche sich durch die Zwischenschicht erstrecken. Die Einströmleitungen 105 leiten einströmende Flüssigkeit von der Verteilerschicht 106 zu bestimmten vorgegebenen Grenzschicht-Heißstellenbereichen der Grenzschicht 102. In ähnlicher Weise kanalisieren die Öffnungen 105 auch den Flüssigkeitsstrom von der Grenzschicht 102 zu dem (den) Auslaßanschluß (Auslaßanschlüssen) 109. Demgemäß sorgt die Zwischenschicht 104 auch für eine Flüssigkeitsanlieferung von der Grenzschicht 102 an den Auslaßanschluß 109, wo der Auslaßanschluß 108 mit der Verteilerschicht 106 kommuniziert.As in 3B is shown, the intermediate layer 104 several lines 105 which extend through the intermediate layer. The inflow lines 105 conduct incoming fluid from the manifold layer 106 at certain predetermined boundary layer hot spots of the boundary layer 102 , Similarly, the openings channel 105 also the liquid flow from the boundary layer 102 to the outlet port (s) 109 , Accordingly, the intermediate layer provides 104 also for a liquid delivery from the boundary layer 102 to the outlet port 109 where the outlet port 108 with the distribution layer 106 communicated.

Die Leitungen 105 sind in der Grenzschicht 104 in einem vorgegebenen Muster angeordnet, welches auf einer Anzahl von Faktoren basiert, nämlich unter anderem den Stellen der Grenzschicht-Heißstellenbereiche, der erforderlichen Menge der Flüssigkeitsströmung in dem Grenzschicht-Heißstellenbereich zur entsprechenden Kühlung der Wärmequelle 99 und der Temperatur der Flüssigkeit. Die Leitungen haben eine Breite von 100μm, wobei andere Breiten bis zu mehreren Millimetern möglich sind. Weiterhin haben die Leitungen andere Abmessungen, welche wenigstens von den oben erwähnten Faktoren abhängen. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß jede Leitung 105 in der Zwischenschicht 104 die gleiche Form und/oder Abmessung besitzt, obwohl dieses nicht notwendig ist. Beispielsweise können die Leitungen wie die oben beschriebenen Finger alternativ variierende Längen- und/oder Breitenabmessungen aufweisen. Weiterhin können die Leitungen 105 eine konstante Tiefe bzw. Höhe über die Zwischenschicht 104 aufweisen. Alternativ können die Leitungen 105 über die Zwischenschicht variierende Tiefenabmessungen aufweisen und beispielsweise als Trapezoid oder düsenförmig geformt sein. Obwohl die horizontale Form der Leitungen 105 in 2C rechtwinklig geformt gezeigt ist, können die Leitungen 105 alternativ jegliche andere Form aufweisen und beispielsweise kreisförmig (3A) gekrümmt oder eliptisch ausgebildet sein. Alternativ können eine oder mehrere Leitungen 105 so geformt sein, daß sie einem Teil der oben beschriebenen Finger oder sämtlichen Fingern entsprechen.The wires 105 are in the boundary layer 104 arranged in a predetermined pattern based on a number of factors, including but not limited to the locations of the boundary layer hot spot areas, the required amount of liquid flow in the boundary layer hot spot area for corresponding cooling of the heat source 99 and the temperature of the liquid. The cables have a width of 100μm, whereby other widths up to several millimeters are possible. Furthermore, the conduits have other dimensions, which depend at least on the factors mentioned above. It will be apparent to those skilled in the art that each wire 105 in the interlayer 104 has the same shape and / or dimension, although this is not necessary. For example, the leads, such as the fingers described above, may alternatively have varying length and / or width dimensions. Furthermore, the lines 105 a constant depth or height over the intermediate layer 104 exhibit. Alternatively, the lines 105 have varying depth dimensions over the intermediate layer and, for example, be shaped as a trapezoid or nozzle-shaped. Although the horizontal shape of the wires 105 in 2C Shown at right angles, the lines can be 105 alternatively have any other shape and, for example, circular ( 3A ) may be curved or elliptical. Alternatively, one or more lines 105 be shaped so that they correspond to a part of the fingers described above or all fingers.

Die Zwischenschicht 104 ist in dem Wärmetauscher 100 horizontal angeordnet, wobei die Leitungen 105 vertikal angeordnet sind. Alternativ kann die Zwischenschicht 104 in jeglicher anderer Richtung innerhalb des Wärmetauschers angeordnet sein, beispielsweise diagonal oder gekrümmt. Alternativ sind die Leitungen 105 in der Zwischenschicht 104 in horizontaler, diagonaler, gekrümmter oder irgendeiner anderen Richtung angeordnet. Weiterhin erstreckt sich die Zwischenschicht 104 horizontal über die gesamte Länge des Wärmetauschers 100, wobei die Zwischenschicht 104 die Grenzschicht 102 vollständig von der Verteilerschicht 106 abgrenzt, um die Flüssigkeit zu zwingen, durch die Leitungen 105 kanalisiert zu werden. Alternativ enthält ein Abschnitt des Wärmetauschers 100 nicht die Zwischenschicht 104 zwischen der Verteilerschicht 106 und der Grenzschicht 102, wobei die Flüssigkeit frei zwischen diesen Schichten fließt. Weiterhin kann sich die Zwischenschicht 104 alternativ vertikal zwischen der Verteilerschicht 106 und der Grenzschicht 102 erstrecken, um separate bestimmte Zwischenabschnittsbereiche zu bilden. Alternativ erstreckt sich die Zwischenschicht 104 nicht vollständig von der Verteilerschicht 106 zur Grenzschicht 102.The intermediate layer 104 is in the heat exchanger 100 arranged horizontally, with the lines 105 are arranged vertically. Alternatively, the intermediate layer 104 be arranged in any other direction within the heat exchanger, for example diagonally or curved. Alternatively, the lines 105 in the interlayer 104 arranged in horizontal, diagonal, curved or any other direction. Furthermore, the intermediate layer extends 104 horizontally over the entire length of the heat exchanger 100 , wherein the intermediate layer 104 the boundary layer 102 completely from the distributor layer 106 delimits to force the liquid through the lines 105 to be channeled. Alternatively, contains a section of the heat exchanger 100 not the intermediate layer 104 between the distributor layer 106 and the boundary layer 102 wherein the liquid flows freely between these layers. Furthermore, the intermediate layer can 104 alternatively vertically between the distributor layer 106 and the boundary layer 102 extend to form separate distinct intermediate section areas. Alternatively, the intermediate layer extends 104 not completely from the distributor layer 106 to the boundary layer 102 ,

Bevorzugt ist der erfindungsgemäße Wärmetauscher 100 breiter als die Wärmequelle 99. Für diesen Fall, daß der Wärmetauscher 100 größer als die Wärmequelle 99 ist, ergibt sich eine Überhangdimension. Die Überhangdimension ist der weiteste Abstand zwischen einer äußeren Wand der Wärmequelle 99 und der inneren Wand des Flüssigkeitskanals des Wärmetau schers 100, wie die Innenwand des Einlaßanschlusses 408 (4). Bei der bevorzugten Ausgestaltung liegt die Überhangdimension für eine einzige Phase im Bereich zwischen 0 und 5 mm und für eine zweiphasige Flüssigkeit im Bereich zwischen 0 und 15 mm.The heat exchanger according to the invention is preferred 100 wider than the heat source 99 , In this case, that the heat exchanger 100 bigger than the heat source 99 is, there is an overhang dimension. The overhang dimension is the furthest distance between an outer wall of the heat source 99 and the inner wall of the liquid passage of the Wärmetau shear 100 as the inner wall of the inlet port 408 ( 4 ). In the preferred embodiment, the overhang dimension for a single phase is in the range between 0 and 5 mm, and for a two-phase liquid in the range between 0 and 15 mm.

10 zeigt eine perspektivische Darstellung einer Ausgestaltung einer Grenzschicht 202' gemäß der vorliegenden Erfindung. Wie in 10 gezeigt ist, weist die Grenzschicht 202' eine Anzahl von Säulen 203 auf, welche sich von einer Oberseite der Grenzschicht 202' nach oben erstrecken. Weiterhin zeigt 10 eine mikroporöse Struktur 213, die auf der Oberseite der Grenzschicht 202' angeordnet ist. Es ist ersichtlich, daß die Grenzschicht 202' nur die mikroporöse Struktur 213 aufweisen kann, wie auch eine Kombination der mikroporösen Struktur mit irgendeinem anderen Grenzschichtmerkmal (z.B. Mikrokanälen, Säulen etc.). Weiterhin hat die Grenzschicht 202' gemäß der vorliegenden Erfindung bevorzugt eine Dicke von 0,3 bis 0,7 mm für eine einphasige Flüssigkeit und 0,3 bis 1,0 mm für eine zweiphasige Flüssigkeit. 10 shows a perspective view of an embodiment of a boundary layer 202 ' according to the present invention. As in 10 is shown has the boundary layer 202 ' a number of columns 203 on which is from a top of the boundary layer 202 ' extend upwards. Further shows 10 a microporous structure 213 that is on top of the boundary layer 202 ' is arranged. It can be seen that the boundary layer 202 ' only the microporous structure 213 may have, as well a combination of the microporous structure with any other interface feature (eg, microchannels, columns, etc.). Furthermore, the boundary layer has 202 ' according to the present invention preferably a thickness of 0.3 to 0.7 mm for a single-phase liquid and 0.3 to 1.0 mm for a two-phase liquid.

Bei der Ausgestaltung des Wärmetauschers, welche eine mikroporöse Struktur 213 benutzt, die auf der Grenzschicht 202' angeordnet ist, hat die mikroporöse Struktur 213 eine durchschnittliche Porengröße von 10 bis 200 μm sowohl für eine einzige Phase als auch für eine zweiphasige Flüssigkeit. Weiterhin hat die mikroporöse Struktur 213 eine Porosität von 50 bis 80 % sowohl für eine einphasige als auch für eine zweiphasige Flüssigkeit. Die Höhe der mikroporösen Struktur 213 liegt im Bereich von 0,25 bis 2,00 mm sowohl für eine einphasige als auch für eine zweiphasige Flüssigkeit.In the embodiment of the heat exchanger, which is a microporous structure 213 used that on the boundary layer 202 ' is arranged, has the microporous structure 213 an average pore size of 10 to 200 microns for both a single phase and a two-phase liquid. Furthermore, the microporous structure has 213 a porosity of 50 to 80% for both a single-phase and a two-phase liquid. The height of the microporous structure 213 is in the range of 0.25 to 2.00 mm for both a single-phase and a two-phase liquid.

Bei der Ausgestaltung, welche Säulen und/oder Mikrokanäle entlang der Grenzschicht 202' verwendet, hat die Grenzschicht 202' gemäß der vorliegenden Erfindung eine Dicke im Bereich von 0,3 bis 0,7 mm für eine einphasige Flüssigkeit und 0,3 bis 1,0 mm für eine zweiphasige Flüssigkeit. Weiterhin beträgt die von wenigstens einer Säule oder einem Mikrokanal eingenommene Fläche zwischen 102 μm und 1002 μm sowohl für eine einphasige als auch für eine zweiphasige Flüssigkeit. Weiterhin liegt der Abstand zwischen wenigstens zwei Säulen und/oder Mikrokanälen im Bereich von 10 bis 150 μm sowohl für einen einphasigen als auch einen zweiphasigen Flüssigkeitszustand. Die Breite der Mikrokanäle liegt im Bereich von 10 bis 100 μm sowohl für einen einphasigen als auch für einen zweiphasigen Zustand der Flüssigkeit. Die Höhe der Mikrokanäle und/oder Säulen liegt im Bereich von 50 bis 800 μm für einen einphasigen Flüssigkeitszustand und zwischen 50 μm und 2 mm für einen zweiphasigen Flüssigkeitszustand. Es ist für den Fachmann ersichtlich, daß andere alternative Dimensionen möglich sind.In the embodiment, which columns and / or microchannels along the boundary layer 202 ' used, has the boundary layer 202 ' According to the present invention, a thickness in the range of 0.3 to 0.7 mm for a single-phase liquid and 0.3 to 1.0 mm for a two-phase liquid. Furthermore, the area occupied by at least one column or microchannel is between 10 2 μm and 100 2 μm for both a single-phase and a two-phase liquid. Furthermore, the distance between at least two columns and / or microchannels in the range of 10 to 150 microns for both a single-phase and a two-phase liquid state. The width of the microchannels is in the range of 10 to 100 microns for both a single-phase and a two-phase state of the liquid. The height of the microchannels and / or columns is in the range of 50 to 800 μm for a single-phase liquid state and between 50 μm and 2 mm for a two-phase liquid state. It will be apparent to those skilled in the art that other alternative dimensions are possible.

3B zeigt eine perspektivische Darstellung der Grenzschicht 102 gemäß der vorliegenden Erfindung. Wie in 3B gezeigt ist, weist die Grenzschicht 102 eine Bodenfläche 103 sowie eine Vielzahl von Mikrokanalwänden 110 auf, wobei der Bereich zwischen den Mikrokanalwänden 110 die Flüssigkeit längs eines Flüssigkeits-Strömungspfades kanalisiert bzw. leitet. Die Bodenfläche 103 ist eben und weist eine hohe thermische Leitfähigkeit auf, um eine ausreichende Wärmeübertragung von der Wärmequelle 99 zu ermöglichen. Alternativ weist die Bodenfläche 103 Tröge und/oder Erhebungen auf, um Flüssigkeit von einer bestimmten Stelle zu sammeln bzw. zurückzuführen. Die Mikrokanalwände 110 sind parallel angeordnet, wie in 3B gezeigt ist, wobei Flüssigkeit bevorzugt zwischen den Mikrokanalwänden 110 entlang eines Flüssigkeitspfades strömt. Alternativ weisen die Mikrokanalwände 110 eine nichtparallele Konfiguration auf. 3B shows a perspective view of the boundary layer 102 according to the present invention. As in 3B is shown has the boundary layer 102 a floor area 103 and a variety of microchannel walls 110 on, with the area between the microchannel walls 110 the liquid is channeled along a liquid flow path. The floor area 103 is even and has a high thermal conductivity to ensure adequate heat transfer from the heat source 99 to enable. Alternatively, the floor area indicates 103 Troughs and / or elevations to collect or return liquid from a specific location. The microchannel walls 110 are arranged in parallel, as in 3B with liquid preferably between the microchannel walls 110 flows along a liquid path. Alternatively, the microchannel walls 110 a non-parallel configuration.

Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die Mikrokanalwände 110 alternativ in irgendeiner anderen geeigneten Konfiguration ausgebildet bzw. angeordnet sein können, was von den oben diskutierten Faktoren abhängt. Beispielsweise weist die Grenzschicht 102 alternativ Nuten zwischen den Abschnitten der Mikrokanalwände 110 auf, wie dieses in 8C gezeigt ist. Weiterhin haben die Mikrokanalwände 110 Abmessungen, welche den Druckabfall bzw. die Druckdifferenz innerhalb der Grenzschicht 102 minimalisieren. Es ist auch erkennbar, daß neben Mikrokanalwänden 110 auch irgendwelche anderen Merkmale geeignet sind, einschließlich Säulen (10), aufgerauhte Flächen oder eine mikroporöse Struktur wie ein gesintertes Metall oder ein Silikatschaum (10). Beispielhaft wird jedoch eine wie in 3B gezeigte Ausbildung mit parallelen Mikrokanalwänden 110 verwendet, um die Grenzschicht 102 gemäß der vorliegenden Erfindung zu beschreiben.It will be apparent to those skilled in the art that the microchannel walls 110 alternatively, may be configured in any other suitable configuration, depending on the factors discussed above. For example, the boundary layer 102 alternatively grooves between the sections of the microchannel walls 110 on, like this one in 8C is shown. Furthermore, the microchannel walls have 110 Dimensions which the pressure drop or the pressure difference within the boundary layer 102 minimize. It can also be seen that in addition to microchannel walls 110 any other features are suitable, including columns ( 10 ), roughened surfaces or a microporous structure such as a sintered metal or a silicate foam ( 10 ). However, an example as in 3B shown training with parallel microchannel walls 110 used to the boundary layer 102 to describe according to the present invention.

Die Mikrokanalwände 110 gestatten der Flüssigkeit einen thermischen Austausch entlang der ausgewählten Heißstellen des Grenzschicht-Heißstellenbereiches, um die Wärmequelle 99 an dieser Stelle zu kühlen. Die Mikrokanalwände 110 haben eine Breite von 10 bis 100 μm und eine Höhe im Bereich von 50 μ bis 2 mm, abhängig von der Leistung der Wärmequelle 99. Die Mikrokanäle 110 haben eine Länge zwischen 100 μm und mehreren Zentimetern, abhängig von den Dimensionen der Wärmequelle, sowie der Größe der Heißstellen und der Wärmeflußdichte von der Heißstelle. Alternativ sind irgendwelche anderen Dimensionen für die Mikrokanalwände möglich. Die Mikrokanalwände 110 stehen in einem gegenseitigen Abstand von 50 bis 500 μm, abhängig von der Leistung der Wärmequelle 99, obwohl ein anderer Abstand möglich ist.The microchannel walls 110 allow the fluid thermal exchange along the selected hot spots of the interface hot spot area to the heat source 99 to cool at this point. The microchannel walls 110 have a width of 10 to 100 microns and a height in the range of 50 μ to 2 mm, depending on the power of the heat source 99 , The microchannels 110 have a length between 100 microns and several centimeters, depending on the dimensions of the heat source, as well as the size of the hot spots and the heat flow density of the hot spot. Alternatively, any other dimensions are possible for the microchannel walls. The microchannel walls 110 are at a mutual distance of 50 to 500 microns, depending on the power of the heat source 99 although a different distance is possible.

Unter erneuter Bezugnahme auf 3B wird darauf verwiesen, daß die Oberseite der Verteilerschicht 106 weggeschnitten ist, um die Kanäle 116, 122 und die Finger 118, 120 innerhalb des Körpers der Verteilerschicht 106 zeigen zu können. Die Stellen der Wärmequelle 99, welche mehr Wärme produzieren, werden hiermit als Heißstellen bezeichnet, während die Stellen der Wärmequelle 99, welche weniger Wärme erzeugen, hiermit als Warmstellen bezeichnet werden. Wie in 3B gezeigt ist, weist die gezeigte Wärmequelle 99 einen Heißstellenbereich an der Stelle A auf und einen Warmstellenbereich an der Stelle B. Die Bereiche der Grenzschicht 102, welche an die Heiß- und Warmstellen angrenzen, sind demgemäß als Grenzschicht-Heißstellenbereiche bezeichnet. Wie in 3B gezeigt ist, weist die Grenzschicht 102 einen Grenzschicht-Heißstellenbereich A auf, welcher oberhalb der Stelle A positioniert ist, und einen Grenzschicht-Heißstellenbereich B, welcher oberhalb der Stelle B positioniert ist.Referring again to 3B It should be noted that the top of the manifold layer 106 is cut away to the channels 116 . 122 and the fingers 118 . 120 within the body of the distribution layer 106 to be able to show. The places of the heat source 99 , which produce more heat, are hereby referred to as hot spots, while the locations of the heat source 99 , which produce less heat, hereby referred to as hot spots. As in 3B is shown, the heat source shown 99 a hot spot area at point A and a hot spot area at point B. The areas of the boundary layer 102 which adjoin the hot and hot spots are accordingly referred to as boundary layer hot spot areas. As in 3B is shown has the boundary layer 102 a boundary layer hot spot area A, which lies above the point A posi tion, and a boundary layer hot spot area B, which is positioned above the point B.

Wie in den 3A und 3B gezeigt ist, tritt die Flüssigkeit zunächst durch den Einlaßanschluß 108 in den Wärmetauscher 100 ein. Die Flüssigkeit strömt sodann bevorzugt zu einem Ein laßkanal 116. Alternativ weist der Wärmetauscher 100 mehr als einen Einlaßkanal 116 auf. Wie in den 3A und 3B gezeigt ist, verzweigt sich Flüssigkeit, die vom Einlaßanschluß 108 entlang dem Einlaßkanal 116 strömt, zunächst zu dem Finger 118D. Weiterhin strömt Flüssigkeit, die ihre Strömung über den Rest des Einlaßkanals 116 fortsetzt, zu individuellen Fingern 118B und 118C .u.s.w..As in the 3A and 3B is shown, the liquid first passes through the inlet port 108 in the heat exchanger 100 one. The liquid then flows preferably to a laßkanal A 116 , Alternatively, the heat exchanger 100 more than one inlet channel 116 on. As in the 3A and 3B is shown, liquid branches from the inlet port 108 along the inlet channel 116 flows, first to the finger 118D , Furthermore, liquid flows, which flows through the remainder of the inlet channel 116 continues, to individual fingers 118B and 118C .etc.

In 3B wird der Grenzschicht-Heißstellenbereich A mit Flüssigkeit versorgt, indem Flüssigkeit zu dem Finger 118A strömt, wobei Flüssigkeit durch den Finger 118A nach unten zur Zwischenschicht 104 strömt. Die Flüssigkeit strömt sodann durch die unter dem Finger 118A positionierte Einlaßleitung 105a zur Grenzschicht 102, wobei die Flüssigkeit einem Wärmeaustausch mit der Wärmequelle 99 unterworfen wird. Die Flüssigkeit strömt, wie in 3B gezeigt, längs der Mikrokanäle 110, obwohl die Flüssigkeit in irgendeiner anderen Richtung entlang der Grenzschicht 102 strömen kann. Die erwärmte Flüssigkeit strömt sodann aufwärts durch die Leitung 105B zu dem Auslaßfinger 120A. Auf ähnliche Weise strömt Flüssigkeit in Z-Richtung durch Finger 118E und 118F zur Zwischenschicht 104 nach unten. Die Flüssigkeit strömt sodann durch die Einlaßleitung 105C in Z-Richtung nach unten zur Grenzschicht 102. Die erwärmte Flüssigkeit strömt sodann aufwärts in Z-Richtung von der Grenzschicht 102 durch die Auslaßleitung 105D zu den Auslaßfingern 120E und 120F. Der Wärmetauscher 100 entfernt die erwärmte Flüssigkeit in der Verteilerschicht 106 über die Auslaßfinger 120, wobei die Auslaßfinger 120 mit dem Auslaßkanal 122 kommunizieren. Der Auslaßkanal 122 ermöglicht es der Flüssigkeit durch einen Auslaßanschluß 109 aus dem Wärmetauscher auszutreten.In 3B the boundary layer hot spot region A is supplied with liquid by adding liquid to the finger 118A flows, taking fluid through the finger 118A down to the intermediate layer 104 flows. The liquid then flows through the under the finger 118A positioned inlet pipe 105a to the boundary layer 102 wherein the liquid undergoes heat exchange with the heat source 99 is subjected. The liquid flows as in 3B shown along the microchannels 110 although the liquid in any other direction along the boundary layer 102 can flow. The heated liquid then flows upwardly through the conduit 105B to the outlet finger 120A , Similarly, fluid flows in the Z direction through fingers 118E and 118F to the intermediate layer 104 downward. The liquid then flows through the inlet conduit 105C in the Z direction down to the boundary layer 102 , The heated liquid then flows upwardly in the Z direction from the boundary layer 102 through the outlet pipe 105D to the outlet fingers 120E and 120F , The heat exchanger 100 removes the heated liquid in the manifold layer 106 over the outlet fingers 120 , wherein the outlet fingers 120 with the outlet channel 122 communicate. The outlet channel 122 allows the liquid through an outlet port 109 exit from the heat exchanger.

Bei einer Ausgestaltung sind die Einström- und Ausströmleitungen 105 direkt oder nahezu direkt oberhalb der betreffenden Grenzschicht-Heißstellenbereiche positioniert, um die Heißstellen der Wärmequelle 99 direkt mit Flüssigkeit zu beaufschlagen. Weiterhin ist jeder Auslaßfinger 120 so konfiguriert, daß er am nächsten zu einem betreffenden Einlaßfinger 119 für einen bestimmten Grenzschicht-Heißstellenbereich angeordnet ist, um den dazwischen liegenden Druckabfall zu minimalisieren. Demgemäß tritt Flüssigkeit über den Einlaßfinger 118A in die Grenzschicht 102 ein und strömt über die geringstmögliche Entfernung entlang der Bodenfläche 103 der Grenzschicht 102 bevor sie die Grenzschicht 102 zum Auslaßfinger 120A verläßt. Es ist ersichtlich, daß die Entfernung, über welche die Flüssigkeit entlang der Bodenfläche 103 strömt, von der Wärmequelle 99 erzeugte Wärme in geeigneter Weise entfernt, ohne einen unnötig hohen Druckverlust zu erzeugen. Weiterhin sind die Ecken der Finger 118, 120 gekrümmt, um den Druckabfall der entlang der Finger 118 strömenden Flüssigkeit zu reduzieren, wie dieses in den 3A und 3B gezeigt ist.In one embodiment, the inflow and outflow lines 105 positioned directly or nearly directly above the respective boundary layer hot spot areas to the hot spots of the heat source 99 to apply liquid directly. Furthermore, each outlet finger 120 configured to be closest to a respective inlet finger 119 for a particular boundary layer hot spot area to minimize the intervening pressure drop. Accordingly, liquid passes through the inlet finger 118A into the boundary layer 102 and flows over the smallest possible distance along the floor surface 103 the boundary layer 102 before they reach the boundary layer 102 to the outlet finger 120A leaves. It can be seen that the distance over which the liquid travels along the bottom surface 103 flows from the heat source 99 generated heat removed in a suitable manner, without generating an unnecessarily high pressure loss. Furthermore, the corners are the fingers 118 . 120 curved to the pressure drop along the fingers 118 to reduce flowing liquid, like this in the 3A and 3B is shown.

Es ist für den Fachmann ersichtlich, daß die in den 3A und 3B gezeigte Konfiguration der Verteilerschicht 106 nur beispielhaft ist. Die Konfiguration der Kanäle 116 und der Finger 118 in der Verteilerschicht 106 hängen von einer Anzahl von Faktoren ab, einschließlich der Stellen der Grenzschicht-Heißstellenbereiche, der Menge der zu und von den Grenzschicht-Heißstellenbereichen strömenden Flüssigkeit wie auch von der Menge der erzeugten Wärme, welche durch die Wärmequelle in den Grenzschicht-Heißstellenbereichen produziert wird. Beispielsweise weist die bevorzugte Konfiguration der Verteilerschicht 106 ein ineinandergreifendes bzw. ineinander verflochtenes Muster von parallelen Einlaß- und Auslaßfingern auf, welche entlang der Breite der Verteilerschicht angeordnet sind, wie dieses in den 4 bis 7A gezeigt und weiter unten erläutert ist. Nichtsdestoweniger ist jegliche andere Konfiguration der Kanäle 116 und der Finger 118 möglich.It will be apparent to those skilled in the art that in the 3A and 3B shown configuration of the distribution layer 106 is only an example. The configuration of the channels 116 and the finger 118 in the distribution layer 106 These depend on a number of factors including the locations of the interface hot spot areas, the amount of liquid flowing to and from the interface hot spot areas, as well as the amount of heat generated by the heat source in the boundary layer hot spot areas. For example, the preferred configuration of the manifold layer 106 an interlaced pattern of parallel inlet and outlet fingers disposed along the width of the manifold layer, such as that in Figs 4 to 7A shown and explained below. Nonetheless, any other configuration of channels is 116 and the finger 118 possible.

4 zeigt eine perspektivische Darstellung der bevorzugten Verteilerschicht 406 gemäß dem erfindungsgemäßen Wärmetauscher. Die Verteilerschicht 406 in 4 weist bevorzugt eine Anzahl von ineinandergreifenden bzw. miteinander verwobenen parallelen Flüssigkeitsfingern 411, 412 auf, welche einer einphasigen und/oder einer zweiphasigen Flüssigkeit gestatten, durch die Grenzschicht 402 zu strömen, ohne daß dabei innerhalb des Wärmetauschers 400 und des Systems 30 (2A) ein wesentlicher Druckabfall auftritt. Wie in 8 gezeigt ist, sind die Einlaßfinger 411 abwechselnd mit den Auslaßfingern 412 angeordnet. Es ist jedoch für den Fachmann erkennbar, daß eine gewisse Anzahl von Einlaß- oder Auslaßfingern benachbart zueinander angeordnet sein kann, und daß die Ausbildung daher nicht auf die abwechselnde Anordnung beschränkt ist, wie sie in 4 gezeigt ist. Weiterhin sind die Finger alternativ so ausgebildet, daß sich ein paralleler Finger von einem anderen parallelen Finger verzweigt oder mit einem anderen parallelen Finger verbunden ist. Demgemäß ist es möglich, erheblich mehr Einlaßfinger als Auslaßfinger zu haben und umgekehrt. 4 shows a perspective view of the preferred distribution layer 406 according to the heat exchanger according to the invention. The distribution layer 406 in 4 preferably has a number of interleaved parallel liquid fingers 411 . 412 on, which allow a single-phase and / or a two-phase liquid, through the boundary layer 402 to flow without being within the heat exchanger 400 and the system 30 ( 2A ) a significant pressure drop occurs. As in 8th are shown are the inlet fingers 411 alternating with the outlet fingers 412 arranged. However, it will be apparent to those skilled in the art that a certain number of inlet or outlet fingers may be disposed adjacent to each other, and that the construction is therefore not limited to the alternate arrangement, as in 4 is shown. Furthermore, the fingers are alternatively formed so that a parallel finger is branched from another parallel finger or connected to another parallel finger. Accordingly, it is possible to have considerably more inlet fingers than outlet fingers, and vice versa.

Die Einlaßfinger bzw. -passagen 411 liefern die in den Wärmetauschern eintretende Flüssigkeit an die Grenzschicht 402, und die Auslaßfinger bzw. -passagen 412 entfernen die Flüssigkeit aus der Grenzschicht 402, welche sodann aus dem Wärmetauscher 400 austritt. Die bevorzugte Konfiguration der Verteilerschicht 406 ermöglicht es der Flüssigkeit, in die Grenzschicht 402 einzutreten, und über eine sehr kurze Entfernung in der Grenzschicht 402 zu strömen, bevor sie in die Auslaßpassage 412 eintritt. Die wesentliche Abnahme der Länge, über welche die Flüssigkeit längs der Grenzschicht 402 strömt, setzt den Druckabfall in dem Wärmetauscher 400 und dem System 30 (2A) wesentlich herab.The inlet fingers or passages 411 supply the liquid entering the heat exchangers to the boundary layer 402 , and the exhaust fingers 412 remove the liquid from the boundary layer 402 , which then from the heat exchanger 400 exit. The preferred configuration the distributor layer 406 allows the liquid to enter the boundary layer 402 to enter, and over a very short distance in the boundary layer 402 to pour before entering the outlet passage 412 entry. The substantial decrease in the length over which the liquid along the boundary layer 402 flows, sets the pressure drop in the heat exchanger 400 and the system 30 ( 2A ) substantially down.

Wie in den 45 gezeigt ist, weist die bevorzugte Verteilerschicht 406 eine Passage 414 auf, welche mit zwei Einlaßpassagen 411 kommuniziert und diese mit Flüssigkeit versorgt. Wie in den 89 gezeigt ist, weist die Verteilerschicht 406 drei Auslaßpassagen 412 auf, welche mit der Passage 418 kommunizieren. Bevorzugt haben die Passagen 414 in der Verteilerschicht 406 eine ebene Bodenfläche, welche die Flüssigkeit zu den Fingern 411, 412 kanalisiert. Alternativ ist die Passage 414 etwas geneigt, was die Flüssigkeit beim Kanalisieren zu ausgewählten Flüssigkeitspassagen 411 unterstützt. Alternativ weist die Einlaßpassage 414 eine oder mehrere Öffnungen in ihrer Bodenfläche auf, welche es einem Teil der Flüssigkeit ermöglichen, nach unten zu der Grenzschicht 402 zu strömen. In ähnlicher Weise hat die Passage 418 in der Verteilerschicht einen ebenen Boden, welcher die Flüssigkeit aufnimmt und zum Anschluß 408 kanalisiert. Alternativ hat die Passage 418 eine geringfügige Neigung, welche das Kanalisieren der Flüssigkeit zu ausgewählten Auslaßanschlüssen 408 unterstützt. Weiterhin haben die Passagen 414, 418 eine Breite von etwa 2 mm, obwohl jede andere Breite alternativ möglich ist.As in the 4 - 5 shows the preferred distribution layer 406 a passage 414 on, which with two inlet passages 411 communicates and supplies them with fluid. As in the 8th - 9 is shown has the manifold layer 406 three outlet passages 412 on which with the passage 418 communicate. The passages are preferred 414 in the distribution layer 406 a flat bottom surface, which the liquid to the fingers 411 . 412 channeled. Alternatively, the passage 414 slightly inclined, causing the liquid when channeling to selected fluid passages 411 supported. Alternatively, the inlet passage 414 one or more openings in its bottom surface, which allow a portion of the liquid, down to the boundary layer 402 to stream. Similarly, the passage has 418 in the distribution layer a flat bottom, which receives the liquid and the connection 408 channeled. Alternatively, the passage has 418 a slight tilt, which channeling the liquid to selected outlet ports 408 supported. Continue to have the passages 414 . 418 a width of about 2 mm, although any other width is alternatively possible.

Die Passagen 414, 418 kommunizieren mit den Anschlüssen 408, 409, wobei die Anschlüsse an Flüssigkeitslinien 38 in dem System 30 (2A) angeschlossen sind. Die Verteilerschicht 406 weist bevorzugt horizontal angeordnete Flüssigkeitsanschlüsse 408, 409 auf. Alternativ umfaßt die Verteilerschicht 406 vertikal und/oder diagonal angeordnete Flüssigkeitsanschlüsse 408, 409, wie unten erörtert ist, obwohl in den 47 nicht dargestellt. Alternativ weist die Verteilerschicht 406 keine Passage 414 auf. Demgemäß wird die Flüssigkeit den Fingern 411 von den Anschlüssen 408 direkt zugeführt. Wenn die Verteilerschicht 411 alternativ keine Passagen 418 aufweist, strömt die Flüssigkeit in den Fingern 412 direkt durch die Anschlüsse 408 aus dem Wärmetauscher 400. Auch wenn zwei Anschlüsse 408 dargestellt sind, die mit den Passagen 414, 418 kommunizieren, ist ersichtlich, daß jegliche andere Anzahl von Anschlüssen alternativ verwendet werden kann.The passages 414 . 418 communicate with the connections 408 . 409 , where the connections to liquid lines 38 in the system 30 ( 2A ) are connected. The distribution layer 406 preferably has horizontally arranged liquid connections 408 . 409 on. Alternatively, the manifold layer comprises 406 vertically and / or diagonally arranged fluid connections 408 . 409 as discussed below, although in the 4 - 7 not shown. Alternatively, the manifold layer 406 no passage 414 on. Accordingly, the liquid becomes the fingers 411 from the terminals 408 fed directly. If the distribution layer 411 alternatively no passages 418 the liquid flows in the fingers 412 directly through the connections 408 from the heat exchanger 400 , Even if two connections 408 are shown with the passages 414 . 418 It will be understood that any other number of terminals may alternatively be used.

Die Einlaßpassagen 411 haben bevorzugt Abmessungen, welche es der Flüssigkeit ermöglichen, zu der Grenzschicht zu strömen, ohne längs der Passagen 411 und des Systems 30 ( 2A) einen hohen Druckabfall zu erzeugen. Die Einlaßpassagen 411 haben bevorzugt eine Breite im Bereich von 0,25 – 5,00 mm, obwohl jegliche andere Breitendimensionen alternativ möglich sind. Weiterhin haben die Einlaßpassagen 411 bevorzugt eine Länge im Bereich von 0,5 mm bis zum Dreifachen der Länge der Wärmequelle. Alternativ sind auch andere Längen möglich. Wie oben ausgeführt ist, erstrecken sich die Einlaßpassagen 411 weiterhin nach unten bis zur Höhe oder geringfügig oberhalb der Höhe der Mikrokanäle 410, so daß die Flüssigkeit direkt zu den Mikrokanälen 110 kanalisiert wird. Die Einlaßpassagen 411 haben bevorzugt eine Höhe im Bereich von 0,25 – 5,00 mm. Es ist für einen Fachmann erkennbar, daß sich die Passagen 411 nicht nach unten zu den Mikrokanälen 410 erstrecken, und daß alternativ jegliche andere Höhe möglich ist. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die Einlaßpassagen 411 unterschiedliche Dimensionen aufweisen können, obwohl sie mit den gleichen Dimensionen dargestellt sind. Weiterhin können die Einlaßpassagen 411 alternativ variierende Breiten, Querschnittsabmessungen und/oder Abstände zu benachbarten Fingern aufweisen. Insbesondere kann die Passage 411 Bereiche größerer Breite oder Tiefe wie auch Abschnitte mit geringeren Breiten und Tiefen entlang ihrer Länge aufweisen. Die variierten Abmessungen ermöglichen es, daß mehr Flüssigkeit an vorbestimmte Grenzschicht-Heißstellenbereiche in der Grenzschicht 402 durch weiter ausgebildete Abschnitte geliefert wird, während die Strömung zu den Warmstellenbereichen durch engere Abschnitte vermindert wird.The intake passages 411 preferably have dimensions that allow the liquid to flow to the boundary layer without passing along the passages 411 and the system 30 ( 2A ) to produce a high pressure drop. The intake passages 411 preferably have a width in the range of 0.25 - 5.00 mm, although any other width dimensions are alternatively possible. Furthermore, the inlet passages 411 preferably has a length in the range of 0.5 mm to three times the length of the heat source. Alternatively, other lengths are possible. As stated above, the inlet passages extend 411 continue down to the height or slightly above the height of the microchannels 410 so that the liquid goes directly to the microchannels 110 is channeled. The intake passages 411 preferably have a height in the range of 0.25 - 5.00 mm. It will be apparent to one skilled in the art that the passages 411 not down to the microchannels 410 extend, and that, alternatively, any other height is possible. It will be apparent to those skilled in the art that the inlet passages 411 have different dimensions, although they are shown with the same dimensions. Furthermore, the inlet passages 411 alternatively have varying widths, cross-sectional dimensions and / or distances to adjacent fingers. In particular, the passage 411 Have areas of greater width or depth as well as sections of lesser widths and depths along their length. The varied dimensions enable more liquid to reach predetermined interface hot spot areas in the boundary layer 402 is provided by further formed sections while the flow to the hot spot areas is reduced by narrower sections.

Weiterhin haben die Auslaßpassagen 412 bevorzugt Abmessungen, welche es der Flüssigkeit ermöglichen, zu der Grenzschicht zu strömen, ohne einen großen Druckabfall längs der Passage 412 sowie des Systems 30 (2A) zu erzeugen. Die Auslaßpassagen 412 haben bevorzugt eine Breite im Bereich von 0,25 – 5,00 mm, obwohl jegliche andere Breite alternativ möglich ist. Weiterhin haben die Auslaßpassagen 412 bevorzugt eine Länge im Bereich von 0,5 mm und dem Dreifachen der Länge der Wärmequelle. Weiterhin erstrecken sich die Auslaßpassagen 412 nach unten zur Höhe der Mikrokanäle 410, so daß die Flüssigkeit leicht aufwärts in die Auslaßpassagen 412 strömt, nachdem sie horizontal durch die Mikrokanäle 410 geströmt ist. Die Einlaßpassagen 411 haben bevorzugt eine Höhe im Bereich von 0,25 – 5,00 mm, obwohl jede andere Höhe alternativ möglich ist. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die Auslaßpassagen 412 die gleichen Abmessungen aufweisen, obwohl es alternativ auch möglich ist, daß die Auslaßpassagen 412 unterschiedliche Abmessungen aufweisen. Es sei noch einmal darauf verwiesen, daß die Auslaßpassagen 412 alternativ variierende Breiten, Querschnittsabmessungen und/oder Abstände zu benachbarten Fingern aufweisen können.Furthermore, the outlet passages 412 Preferably, dimensions that allow the liquid to flow to the boundary layer without a large pressure drop along the passage 412 as well as the system 30 ( 2A ) to create. The outlet passages 412 preferably have a width in the range of 0.25 - 5.00 mm, although any other width is alternatively possible. Furthermore, the outlet passages 412 preferably has a length in the range of 0.5 mm and three times the length of the heat source. Furthermore, the outlet passages extend 412 down to the height of the microchannels 410 so that the liquid flows slightly upwards into the outlet passages 412 after flowing horizontally through the microchannels 410 has flowed. The intake passages 411 preferably have a height in the range of 0.25 - 5.00 mm, although any other height is alternatively possible. It will be apparent to those skilled in the art that the outlet passages 412 have the same dimensions, although it is alternatively possible that the outlet passages 412 have different dimensions. It should again be noted that the outlet passages 412 alternatively may have varying widths, cross-sectional dimensions and / or distances to adjacent fingers.

Die Einlaß- und Auslaßpassagen 411, 412 sind bevorzugt in Segmente unterteilt und unterscheiden sich voneinander, wie dieses in den 4 und 5 dargestellt ist, wobei sich Flüssigkeit zwischen den Passagen nicht miteinander vermischt. Wie in 8 gezeigt ist, sind insbesondere zwei Auslaßpassagen längs den äußeren Rändern der Verteilerschicht 406 angeordnet und eine Auslaßpassage 412 ist in der Mitte der Verteilerschicht 406 angeordnet. Weiterhin sind zwei Einlaßpassagen 411 an benachbarten Seiten der mittleren Auslaßpassage 412 angeordnet. Diese besondere Ausgestaltung verursacht, daß in die Grenzschicht 402 eintretende Flüssigkeit über eine kurze Distanz in der Grenzschicht 402 strömt, bevor sie aus der Grenzschicht 402 durch die Auslaßpassage 412 strömt. Es ist jedoch für den Fachmann erkennbar, daß die Einlaß- und Auslaßpassagen auch in irgendeiner anderen Konfiguration angeordnet sein können, und daß ihre Anordnung und Ausbildung daher nicht auf die gezeigte und be schriebene Ausführung beschränkt ist. Die Anzahl der Einlaß- und Auslaßfinger 411, 412 beträgt mehr als drei innerhalb der Verteilerschicht 406, jedoch weniger als zehn pro Zentimeter über die Verteilerschicht 406. Es ist ebenfalls für den Fachmann erkennbar, daß jede andere Anzahl von Einlaß- und Auslaßpassagen verwendet werden kann, und daß ihre Anzahl daher nicht auf die in der vorliegenden Offenbarung gezeigte und beschriebene Zahl begrenzt ist.The inlet and outlet passages 411 . 412 are preferably divided into segments and differ from each other, as this in the 4 and 5 is shown, wherein liquid does not mix between the passages. As in 8th In particular, two outlet passages are shown along the outer edges of the manifold layer 406 arranged and an outlet passage 412 is in the middle of the distribution layer 406 arranged. Furthermore, there are two intake passages 411 on adjacent sides of the middle outlet passage 412 arranged. This particular design causes that in the boundary layer 402 entering liquid over a short distance in the boundary layer 402 flows before leaving the boundary layer 402 through the outlet passage 412 flows. However, it will be apparent to those skilled in the art that the inlet and outlet passages can be arranged in any other configuration, and that their arrangement and design is therefore not limited to the shown and be described embodiment. The number of inlet and outlet fingers 411 . 412 is more than three within the distribution layer 406 but less than ten per centimeter across the manifold layer 406 , It will also be apparent to those skilled in the art that any other number of inlet and outlet passages may be used and that their number is therefore not limited to the number shown and described in the present disclosure.

Bevorzugt ist die Verteilerschicht 406 an die Zwischenschicht (nicht gezeigt) gekoppelt, wobei die Zwischenschicht (nicht gezeigt) an die Grenzschicht 402 gekoppelt ist, um einen Drei-Etagen-Wärmetauscher 400 zu bilden. Bezüglich der hier angesprochenen Zwischenschicht wird auf die oben unter Bezugnahme auf die 3B erläuterte Ausgestaltung verwiesen. Die Verteilerschicht 406 kann alternativ an die Grenzschicht 402 gekoppelt und oberhalb der Grenzschicht 402 angeordnet sein, um einen Zwei-Etagen-Wärmetauscher 400 zu bilden, wie in 7A gezeigt ist. Die 6A6C zeigen schematische Querschnittsdarstellungen der bevorzugten Verteilerschicht 406, die bei dem Zwei-Etagen-Wärmetauscher an die Grenzschicht 402 gekoppelt ist. Speziell zeigt 6A den Querschnitt des Wärmetauschers 400 längs der Linie A – A in 5. Weiterhin zeigt 6B den Querschnitt des Wärmetauschers 400 längs der Linie B – B und 6C zeigt den Querschnitt des Wärmetauschers 400 längs der Linie C – C in 5. Wie oben ausgeführt worden ist, erstrecken sich die Ein- und Auslaßpassagen 411, 412 von der Oberseite zur Bodenfläche der Verteilerschicht 406. Wenn die Verteilerschicht 406 und die Grenzschicht 402 aneinander gekoppelt sind, befinden sich die Einlaß- und Auslaßpassagen 411, 412 an der bzw. geringfügig oberhalb der Höhe der Mikrokanäle 410 in der Grenzschicht 402. Diese Ausbildung bewirkt, daß die Flüssigkeit von den Einlaßpassagen 411 leicht durch die Mikrokanäle 410 strömt. Weiterhin bewirkt diese Ausbildung, daß die durch die Mikrokanäle strömende Flüssigkeit leicht durch die Auslaßpassagen 412 aufwärts strömt, nachdem sie durch die Mikrokanäle 410 geflossen ist.The distributor layer is preferred 406 coupled to the intermediate layer (not shown), wherein the intermediate layer (not shown) to the boundary layer 402 is coupled to a three-level heat exchanger 400 to build. With regard to the interlayer referred to here, reference is made to the above with reference to FIGS 3B explained embodiment referenced. The distribution layer 406 can alternatively to the boundary layer 402 coupled and above the boundary layer 402 be arranged to a two-level heat exchanger 400 to form, as in 7A is shown. The 6A - 6C show schematic cross-sectional views of the preferred distribution layer 406 , which at the two-level heat exchanger to the boundary layer 402 is coupled. Specially shows 6A the cross section of the heat exchanger 400 along the line A - A in 5 , Further shows 6B the cross section of the heat exchanger 400 along the line B - B and 6C shows the cross section of the heat exchanger 400 along the line C - C in 5 , As stated above, the inlet and outlet passages extend 411 . 412 from the top to the bottom surface of the manifold layer 406 , If the distribution layer 406 and the boundary layer 402 coupled to each other, are the inlet and outlet passages 411 . 412 at or slightly above the height of the microchannels 410 in the boundary layer 402 , This formation causes the liquid from the inlet passages 411 easily through the microchannels 410 flows. Furthermore, this design causes the liquid flowing through the microchannels to flow easily through the outlet passages 412 flows upwards after passing through the microchannels 410 flowed.

In der bevorzugten Ausgestaltung ist die Zwischenschicht 104 (3B) zwischen der Verteilerschicht 406 und der Grenzschicht 402 angeordnet, obwohl dieses in den Zeichnungsfiguren nicht gezeigt ist. Die Zwischenschicht 104 (3B) kanalisiert den Flüssigkeitsstrom zu vorbestimmten Grenzschicht-Heißstellenbereichen der Grenzschicht 402. Weiterhin wird die Zwischenschicht 104 (3B) bevorzugt dafür benutzt, um einen gleichmäßigen Flüssigkeitsstrom zu erzeugen, der in die Grenzschicht 402 eintritt. Auch wird die Zwischenschicht bevorzugt dafür verwendet, um Grenzschicht-Heißstellenbereichen in der Grenzschicht 402 Flüssigkeit zuzuführen, um die Heißstellen angemessen zu kühlen und eine gleichmäßige Temperatur der Heizquelle 99 zu erzeugen. Obwohl die Ein- und Auslaßpassagen 411, 412 bevorzugt nahe oder oberhalb der Heißstellen der Wärmequelle 99 angeordnet sind, um die Heißstellen angemessen zu kühlen, ist dieses nicht unbedingt erforderlich.In the preferred embodiment, the intermediate layer 104 ( 3B ) between the manifold layer 406 and the boundary layer 402 arranged, although this is not shown in the drawing figures. The intermediate layer 104 ( 3B ) channels the liquid flow to predetermined boundary layer hot spots of the boundary layer 402 , Furthermore, the intermediate layer 104 ( 3B ) is preferably used to produce a uniform liquid flow into the boundary layer 402 entry. Also, the intermediate layer is preferably used to form boundary layer hot spots in the boundary layer 402 To supply liquid to adequately cool the hot spots and a uniform temperature of the heat source 99 to create. Although the inlet and outlet passages 411 . 412 preferably near or above the hot spots of the heat source 99 are arranged to adequately cool the hot spots, this is not essential.

7A zeigt eine Explosionsdarstellung einer anderen Verteilerschicht 406 mit einer alternativen Grenzschicht 102 gemäß der vorliegenden Erfindung. Bevorzugt weist die Grenzschicht 102 kontinuierliche bzw. durchgehende Anordnungen von Mikrokanal-Wänden 110 auf, wie in 3B gezeigt ist. Während des allgemeinen Betriebes tritt Flüssigkeit, ähnlich wie es bei der bevorzugten Verteilerschicht 106 gemäß 3B gezeigt ist, in die Verteilerschicht 406 an einem Flüssigkeitsanschluß 408 ein und strömt durch die Passage 414 in Richtung auf die Flüssigkeitsfinger bzw. Passagen 411. Die Flüssigkeit tritt durch die Öffnung der Einlaßfinger 411 ein und strömt bevorzugt in X-Richtung über die Länge der Finger 411, wie dieses durch Pfeile gezeigt ist. Weiterhin strömt die Flüssigkeit in Z-Richtung nach unten zu der Grenzschicht 402, welche unterhalb der Verteilerschicht 406 positioniert ist. Wie in 7A gezeigt ist, überquert die Flüssigkeit in der Grenzschicht 402 die Bodenfläche in X- und Y-Richtung der Grenzschicht 402 und führt einen Wärmeaustausch mit der Wärmequelle 99 durch. Die erwärmte Flüssigkeit tritt aus der Grenzschicht 402 vorzugsweise durch Aufwärtsfließen in Z-Richtung über die Auslaßfinger 412 aus, wobei die Auslaßfinger 412 die erwärmte Flüssigkeit zur Passage 418 in der Verteilerschicht 406 in X-Richtung kanalisieren. Die Flüssigkeit strömt sodann entlang der Passage 418 und verläßt den Wärmetauscher durch Ausströmen aus dem Anschluß 409. 7A shows an exploded view of another distribution layer 406 with an alternative boundary layer 102 according to the present invention. Preferably, the boundary layer 102 continuous or continuous arrangements of microchannel walls 110 on, like in 3B is shown. During general operation, liquid will appear, similar to the preferred distributor layer 106 according to 3B is shown in the distribution layer 406 at a fluid connection 408 and flows through the passage 414 in the direction of the liquid fingers or passages 411 , The liquid passes through the opening of the inlet fingers 411 and preferably flows in the X direction over the length of the fingers 411 as shown by arrows. Furthermore, the liquid flows in the Z direction down to the boundary layer 402 , which are below the distributor layer 406 is positioned. As in 7A shown crosses the liquid in the boundary layer 402 the bottom surface in the X and Y direction of the boundary layer 402 and performs a heat exchange with the heat source 99 by. The heated liquid exits the boundary layer 402 preferably by upward flow in the Z direction via the outlet fingers 412 from, with the Auslaßfinger 412 the heated liquid for passage 418 in the distribution layer 406 Channel in the X direction. The liquid then flows along the passage 418 and leaves the heat exchanger by flowing out of the port 409 ,

Die in 7A gezeigte Grenzschicht enthält eine Anzahl von Rippen bzw. Nuten 416, die zwischen Sätzen von Mikrokanälen 410 angeordnet sind und die Flüssigkeit beim Kanalisieren zu und von den Passagen 411, 412 unterstützen. Die Nuten 416A sind direkt unterhalb der Einlaßpassage 411 der alternativen Verteilerschicht 406 angeordnet, wobei die Flüssigkeit, welche in die Grenzschicht 402 über die Einlaßpassage 411 eintritt, direkt zu den der Nut 416A benachbarten Mikrokanälen kanalisiert wird. Die Nuten 416A ermöglichen der Flüssigkeit mithin, direkt in spezifisch vorgesehene Strömungspfade von den Einlaßpassagen 411 kanalisiert zu werden, wie dieses in 5 gezeigt ist. In ähnlicher Weise enthält die Grenzschicht 402 Nuten 416B, welche direkt unterhalb der Auslaßpassagen 412 in Z-Richtung angeordnet sind. Flüssigkeit, welche horizontal entlang der Mikrokanäle 410 in Richtung auf die Auslaßpassagen fließt, wird daher horizontal zu den Nuten 416A und vertikal zu der Auslaßpassage 412 über den Nuten 416B kanalisiert.In the 7A shown boundary layer contains a number of ribs or grooves 416 between sets of microchannels 410 are arranged and the liquid when channeling to and from the passages 411 . 412 support. The grooves 416A are directly below the intake passage 411 the alternative distribution layer 406 arranged, with the liquid, which in the boundary layer 402 over the intake passage 411 enters, directly to the groove 416A channeled adjacent microchannels. The grooves 416A thus allow the liquid to flow directly into specifically provided flow paths from the inlet passages 411 to be channeled, like this one in 5 is shown. Similarly, the boundary layer contains 402 groove 416B which are directly below the outlet passages 412 are arranged in the Z direction. Liquid flowing horizontally along the microchannels 410 flows in the direction of the outlet passages, therefore becomes horizontal to the grooves 416A and vertical to the outlet passage 412 over the grooves 416B channeled.

6A zeigt den Querschnitt eines Wärmetauschers 400 mit einer Verteilerschicht 406 und einer Grenzschicht 402. Insbesondere zeigt 6A die Einlaßpassage 411, die mit den Auslaßpassagen 412 ineinandergreift bzw. verwoben ist, wobei die Flüssigkeit durch die Einlaßpassagen 411 nach unten und durch die Auslaßpassagen 412 nach oben strömt. Weiterhin zeigt 6A, daß die Flüssigkeit horizontal durch die Mikrokanal-Wände 410 strömt, welche zwischen den Einlaß- und Auslaßpassagen angeordnet und durch die Mikrokanäle 410 getrennt sind. Alternativ sind die Mikrokanal-Wände durchgehend (3B) und nicht durch Nuten voneinander getrennt. Wie in 6A gezeigt ist, haben die Einlaß- und/oder Auslaßpassagen 411, 412 bevorzugt an ihren Enden nahe den Nuten 116 eine gekrümmt Fläche 420. Die gekrümmte Fläche 420 leitet die die Passage 411 hinabströmende Flüssigkeit zu den Mikrokanälen 410, welche benachbart der Passage 411 angeordnet sind. So wird die in die Grenzschicht 102 eintretende Flüssigkeit einfacher direkt zu den Mikrokanälen 410 geleitet als wenn sie direkt zu der Nut 416A strömt. In ähnlicher Weise unterstützt die gekrümmte Fläche 420 in den Auslaßpassagen 412 die Führung der Flüssigkeit von den Mikrokanälen 410 zu der äußeren Passage 412. 6A shows the cross section of a heat exchanger 400 with a distribution layer 406 and a boundary layer 402 , In particular shows 6A the intake passage 411 that with the outlet passages 412 is intertwined, with the liquid passing through the inlet passages 411 down and through the outlet passages 412 flows upwards. Further shows 6A Make sure the liquid is horizontal through the microchannel walls 410 which flows between the inlet and outlet passages and through the microchannels 410 are separated. Alternatively, the microchannel walls are continuous ( 3B ) and not separated by grooves. As in 6A is shown, have the inlet and / or outlet passages 411 . 412 preferably at their ends near the grooves 116 a curved surface 420 , The curved surface 420 directs the passage 411 downflowing liquid to the microchannels 410 which are adjacent to the passage 411 are arranged. So that gets into the boundary layer 102 Incoming fluid easier directly to the microchannels 410 piped as if directly to the groove 416A flows. Similarly, the curved surface supports 420 in the outlet passages 412 the management of the liquid from the microchannels 410 to the outer passage 412 ,

Bei einem alternativen Ausführungsbeispiel, welches in 7B gezeigt ist, weist die Grenzschicht 402' die Einlaßpassagen 411' und Auslaßpassagen 412' auf, die oben unter Bezugnahme auf die Verteilerschicht 406 (89) erörtert worden sind. Bei dem alternativen Ausführungsbeispiel wird die Flüssigkeit von dem Anschluß 408' direkt zur Grenzschicht 402' geführt. Die Flüssigkeit strömt entlang der Passage 414' zu der Einlaßpassage 411'. Die Flüssigkeit strömt sodann quer entlang den Mikrokanälen 410' und unterliegt einem Wärmeaustausch mit der Wärmequelle (nicht gezeigt) und strömt zu den Auslaßpassagen 412'. Die Flüssigkeit strömt sodann entlang den Auslaßpassagen 412' zur Passage 418', wobei die Flüssigkeit die Grenzschicht 402' über den Anschluß 409' verläßt. Die Anschlüsse 408', 409' sind in der Grenzschicht 402' ausgebildet und alternativ in der Verteilerschicht 406 (7A).In an alternative embodiment, which in 7B is shown has the boundary layer 402 ' the intake passages 411 ' and outlet passages 412 ' on, the above with reference to the distribution layer 406 ( 8th - 9 ) have been discussed. In the alternative embodiment, the liquid from the port 408 ' directly to the boundary layer 402 ' guided. The liquid flows along the passage 414 ' to the intake passage 411 ' , The liquid then flows across the microchannels 410 ' and undergoes heat exchange with the heat source (not shown) and flows to the outlet passages 412 ' , The liquid then flows along the outlet passages 412 ' to the passage 418 ' , where the liquid is the boundary layer 402 ' over the connection 409 ' leaves. The connections 408 ' . 409 ' are in the boundary layer 402 ' formed and alternatively in the distribution layer 406 ( 7A ).

Obwohl alle Wärmeaustauscher gemäß der vorliegenden Erfindung mit horizontaler Betriebsweise dargestellt sind, ist es für einen Fachmann erkennbar, daß der erfindungsgemäße Wärmetauscher alternativ in einer vertikalen Position arbeiten kann. Wenn in vertikaler Position gearbeitet wird, sind die Wärmetauscher alternativ so ausgebildet, daß jede Einlaßpassage oberhalb einer benachbarten Auslaßpassage angeordnet ist. Demgemäß tritt Flüssigkeit in die Grenzschicht durch die Einlaßpassagen ein und wird auf natürliche Weise zu einer Auslaßpassage kanalisiert. Es ist außerdem ersichtlich, daß jede andere Konfiguration der Verteilerschicht und der Grenzschicht alternativ für eine vertikale Betriebsweise des Wärmetauschers benutzt werden kann.Even though all heat exchangers according to the present Invention are shown with horizontal operation, it is for one One skilled in the art recognizes that the inventive heat exchanger alternatively can work in a vertical position. When in vertical Position is worked, the heat exchangers are alternatively designed so that every intake passage is arranged above an adjacent outlet passage. Accordingly, occurs Liquid in the boundary layer through the inlet passages and is on natural Way to an outlet passage channeled. It is also it can be seen that every other Configuration of the distribution layer and the boundary layer alternatively for one vertical operation of the heat exchanger can be used.

Die 8A8C zeigen Draufsichten auf eine andere Ausgestaltung des Wärmetauschers gemäß der vorliegenden Erfindung. 8A zeigt eine Draufsicht auf eine anders ausgebildete Verteilerschicht 206 gemäß der vorliegenden Erfindung. Die 8B und 8C zeigen eine Draufsicht auf eine Zwischenschicht 204 und eine Grenzschicht 202. Weiterhin zeigt 9A einen Drei-Etagen-Wärmetauscher, welcher die anders ausgebildete Verteilerschicht 206 benutzt, während 9B einen Zwei-Etagen-Wärmetauscher zeigt, welcher die anders ausgebildete Verteilerschicht 206 benutzt.The 8A - 8C show plan views of another embodiment of the heat exchanger according to the present invention. 8A shows a plan view of a differently formed distribution layer 206 according to the present invention. The 8B and 8C show a plan view of an intermediate layer 204 and a boundary layer 202 , Further shows 9A a three-level heat exchanger, which the differently formed distribution layer 206 used while 9B shows a two-level heat exchanger, which is the differently formed distribution layer 206 used.

Wie in den 8A und 9A gezeigt ist, weist die Verteilerschicht 206 eine Mehrzahl von horizontal und vertikal angeordneten Flüssigkeitsanschlüssen 208 auf. Alternativ können die Flüssigkeitsanschlüsse 208 diagonal oder in jeglicher anderer Richtung bezüglich der Verteilerschicht 206 angeordnet sein. Die Flüssigkeitsanschlüsse 208 sind an ausgewählten Stellen der Verteilerschicht 206 plaziert, um Flüssigkeit in effektiver Weise an vorgegebenen Grenzschicht-Heißstellen des Wärmetauschers 200 zu liefern. Die mehrfachen Flüssigkeitsanschlüsse 208 schaffen einen signifikanten Vorteil, weil Flüssigkeit direkt von einem Flüssigkeitsanschluß an einen bestimmten Grenzschicht-Heißstellenbereich geliefert werden kann, ohne den Druckabfall in dem Wärmetauscher 200 in signifikanter Weise zu vergrößern. Weiterhin sind die Flüssigkeitsanschlüsse 208 auch in der Verteilerschicht 206 positioniert, um Flüssigkeit in den Grenzschicht-Heißstellenbereichen zu ermöglichen, mit geringstem Abstand zum Auslaßanschluß 208 zu strömen, so daß die Flüssigkeit eine gleichmäßige Temperatur erhält, während ein minimaler Druckverlust zwischen den Einlaß- und Auslaßanschlüssen 208 erhalten wird. Weiterhin unterstützt die gebrauchte Verteilerschicht 206 eine Stabilisierung einer Zwei-Phasen-Strömung innerhalb des Wärmetauschers 200, weil sie für eine gleichmäßig verteilte, gleichförmige Strömung über die Grenzschicht 202 sorgt. Es sei darauf verwiesen, daß alternativ mehr als eine Verteilerschicht 206 in dem Wärmetauscher 200 angeordnet sein kann, wobei eine Verteilerschicht 206 die Flüssigkeit in den und aus dem Wärmetauscher 200 leitet, und eine andere Verteilerschicht (nicht gezeigt) die Geschwindigkeit der Flüssigkeitszirkulation zu dem Wärmetauscher 200 steuert. Alternativ können alle der mehreren Verteilerschichten 206 Flüssigkeit zu ausgewählten entsprechenden Grenzschicht-Heißstellenbereichen in der Grenzschicht 202 leiten.As in the 8A and 9A is shown has the manifold layer 206 a plurality of horizontally and vertically disposed fluid ports 208 on. Alternatively, the fluid connections 208 diagonally or in any other direction with respect to the manifold layer 206 be arranged. The fluid connections 208 are at selected points of the distribution layer 206 placed to effectively liquid at predetermined boundary layer hot spots of the heat exchanger 200 to deliver. The multiple fluid connections 208 provide a significant advantage because liquid can be delivered directly from a liquid port to a particular boundary layer hot spot area without the pressure drop in the heat exchanger 200 in a significant way to enlarge. Furthermore, the fluid connections 208 also in the distribution layer 206 positioned to allow liquid in the boundary layer hot spots, with the least distance to the outlet port 208 to flow so that the liquid maintains a uniform temperature, while a minimal pressure loss between the inlet and outlet ports 208 is obtained. Furthermore, the used distribution layer supports 206 a stabilization of a two-phase flow inside the heat exchanger 200 because they are for a uniformly distributed, uniform flow across the boundary layer 202 provides. It should be noted that alternatively more than one distribution layer 206 in the heat exchanger 200 can be arranged, wherein a distribution layer 206 the liquid in and out of the heat exchanger 200 and another manifold layer (not shown) controls the rate of fluid circulation to the heat exchanger 200 controls. Alternatively, all of the multiple distribution layers 206 Liquid to selected corresponding boundary layer hot spot areas in the boundary layer 202 conduct.

Die alternative Verteilerschicht 206 hat laterale Abmessungen, die ziemlich genau zu den Abmessungen der Grenzschicht 202 passen. Weiterhin hat die Verteilerschicht 206 die gleichen Abmessungen wie die Wärmequelle 99. Alternativ kann die Verteilerschicht 206 größer als die Wärmequelle 99 sein. Die vertikalen Abmessungen der Verteilerschicht 206 liegen innerhalb des Bereiches von 0,1 und 10 mm. Weiterhin können die Öffnungen in der Verteilerschicht 206, welche die Flüssigkeitsanschlüsse 208 aufnehmen, dimensionsmäßig im Bereich zwischen 1 mm und der gesamten Breite bzw. Länge der Wärmequelle 99 sein.The alternative distribution layer 206 has lateral dimensions that are pretty much accurate to the dimensions of the boundary layer 202 fit. Furthermore, the distributor layer has 206 the same dimensions as the heat source 99 , Alternatively, the distribution layer 206 bigger than the heat source 99 be. The vertical dimensions of the manifold layer 206 are within the range of 0.1 and 10 mm. Furthermore, the openings in the distributor layer 206 which the fluid connections 208 dimensionally in the range between 1 mm and the entire width or length of the heat source 99 be.

11 zeigt eine gebrochene perspektivische Darstellung eines Drei-Etagen-Wärmetauschers 200 mit der anderen Verteilerschicht gemäß der vorliegenden Erfindung. Wie in 11 gezeigt ist, ist der Wärmetauscher 200 in separate Bereiche unterteilt, abhängig von der Menge der entlang der Körper der Heizquelle 99 erzeugten Wärme. Die unterteilten Bereiche sind durch die vertikale Zwischenschicht 204 und/oder Mikrokanal-Wände 210 in der Grenzschicht 202 voneinander getrennt. Es ist jedoch für den Fachmann erkennbar, daß die in 11 gezeigte Anordnung nicht auf diese Konfiguration beschränkt ist, sondern daß diese nur beispielhaft dargestellt ist. 11 shows a broken perspective view of a three-level heat exchanger 200 with the other distribution layer according to the present invention. As in 11 is shown is the heat exchanger 200 divided into separate areas, depending on the amount of along the body of the heat source 99 generated heat. The subdivided areas are through the vertical interlayer 204 and / or micro-channel walls 210 in the boundary layer 202 separated from each other. However, it will be apparent to those skilled in the art that the in 11 shown arrangement is not limited to this configuration, but that this is shown only by way of example.

Wie in 3 gezeigt ist, hat die Wärmequelle 99 eine Heißstelle an der Stelle A und eine Warmstelle an der Stelle B, wobei die Heißstelle an der Stelle A mehr Wärme erzeugt als die Warmstelle an der Stelle B. Es ist ersichtlich, daß die Wärmequelle 99 zu gegebener Zeit mehr als eine Heißstelle und mehr als eine Warmstelle an irgendeiner Stelle haben kann. Da bei dem Beispiel die Stelle A eine Heißstelle ist und an der Stelle A mehr Wärme auf die Grenzschicht 202 oberhalb der Stelle A übertragen wird (in 11 als Grenzschicht-Heißstellenbereich A bezeichnet), wird dem Grenzschicht-Heißstellenbereich A im Wärmetauscher 200 mehr Flüssigkeit und/oder Flüssigkeit mit höherer Strömungsgeschwindigkeit zur Verfügung gestellt, um die Stelle A des Wärmetauschers 200 adäquat zu kühlen. Obwohl der Grenzschicht-Warmstellenbereich B größer als der Grenzschicht-Heißstellenbereich A dargestellt ist, ist es ersichtlich, daß die Grenzschicht-Heißstellenbereiche A und B wie auch jegliche anderen Grenzschicht-Heißstellenbereiche des Wärmetauschers 200 relativ zueinander jegliche Größe und/oder Konfiguration aufweisen können.As in 3 shown has the heat source 99 a hot spot at the point A and a hot spot at the point B, wherein the hot spot at the point A generates more heat than the hot spot at the point B. It can be seen that the heat source 99 may have more than one hot spot and more than one hot spot at any one time. Since in the example the point A is a hot spot and at the point A more heat is applied to the boundary layer 202 is transmitted above the point A (in 11 referred to as boundary layer hot spot area A) becomes the boundary layer hot spot area A in the heat exchanger 200 more liquid and / or liquid with higher flow velocity provided to the point A of the heat exchanger 200 to cool adequately. Although the boundary layer hot spot area B is shown to be greater than the boundary layer hot spot area A, it can be seen that the boundary layer hot spot areas A and B as well as any other boundary layer hot spot areas of the heat exchanger 200 relative to each other may have any size and / or configuration.

Alternativ, wie in 11 gezeigt ist, kann die über die Flüssigkeitsanschlüsse 208A in den Wärmetauscher eintretende Flüssigkeit zu dem Grenzschicht-Heißstellenbereich A durch Strömen entlang der Zwischenschicht 204 zu den Einströmleitungen 205A geleitet werden. Die Flüssigkeit strömt dann nach unten durch die Einlaßleitungen 205A in Z-Richtung in den Grenzschicht-Heißstellenbereich A der Grenzschicht 202. Die Flüssigkeit strömt zwischen den Mikrokanälen 210A, wobei Wärme von der Stelle A auf die Flüssigkeit durch Leitung durch die Grenzschicht 202 übergeht. Die erwärmte Flüssigkeit strömt entlang der Grenzschicht 202 im Grenzschicht-Heißstellenbereich A in Richtung auf den Auslaßanschluß 209A, wo die Flüssigkeit aus dem Wärmetauscher 200 austritt. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß jegliche Anzahl von Einlaßanschlüssen 208 und Auslaßanschlüssen 209 für einen bestimmten Grenzschicht-Heißstellenbereich oder mehrere solcher Bereiche verwendet werden kann. Obwohl der Auslaßanschluß 209A nahe der Grenzschicht 202A gezeigt ist, kann der Auslaßanschluß 209A alternativ an jeder anderen Stelle vertikal positioniert sein, gegebenenfalls auch an der Verteilerschicht 209B.Alternatively, as in 11 can be shown, the over the fluid connections 208A liquid entering the heat exchanger to the boundary layer hot spot area A by flowing along the intermediate layer 204 to the inflow lines 205A be directed. The liquid then flows down through the inlet conduits 205A in the Z direction in the boundary layer hot spot area A of the boundary layer 202 , The liquid flows between the microchannels 210A , wherein heat from the point A to the liquid by conduction through the boundary layer 202 passes. The heated liquid flows along the boundary layer 202 in the boundary layer hot spot area A toward the outlet port 209A where the liquid from the heat exchanger 200 exit. It will be apparent to those skilled in the art that any number of inlet ports 208 and outlet connections 209 can be used for a particular boundary layer hot spot area or multiple such areas. Although the outlet port 209A near the boundary layer 202A is shown, the outlet port 209A alternatively be positioned vertically at any other location, optionally also at the distributor layer 209B ,

In ähnlicher Weise hat bei dem in 11 gezeigten Beispiel die Wärmequelle 99 eine Warmstelle im Bereich B, welche weniger Wärme als an der Stelle A der Wärmequelle 99 erzeugt. Durch den Anschluß 208B eintretende Flüssigkeit wird zu dem Grenzschicht-Warmstellenbereich B durch Strömen entlang der Zwischenschicht 204B zu den Einströmleitungen 205B geleitet. Die Flüssigkeit strömt sodann durch die Einströmleitungen 205B nach unten in Z-Richtung in den Grenzschicht-Warmstellenbereich B der Grenzschicht 202. Die Flüssigkeit strömt zwischen den Mikrokanälen 210 in X- und Y-Richtung, wobei von der Wärmequelle an der Stelle B erzeugte Wärme auf die Flüssigkeit übertragen wird. Die erwärmte Flüssigkeit strömt entlang der gesamten Grenzschicht 202B im Grenzschicht-Warmstellenbereich B aufwärts zu den Auslaßanschlüssen 209B in Z-Richtung über die Ausströmleitungen 205B in der Zwischenschicht 204, wobei die Flüssigkeit aus dem Wärmetauscher 200 austritt.Similarly, in the case of 11 Example shown, the heat source 99 a hot spot in the area B, which is less heat than at the point A of the heat source 99 generated. Through the connection 208B incoming liquid becomes the boundary layer hot spot area B by flowing along the intermediate layer 204B to the inflow lines 205B directed. The liquid then flows through the inflow lines 205B down in the Z direction in the boundary layer hot spot area B of the boundary layer 202 , The liquid flows between the microchannels 210 in the X and Y directions, wherein heat generated by the heat source at the point B is transferred to the liquid. The heated liquid flows along the entire boundary layer 202B in the boundary layer warming area B up to the outlet ports 209B in the Z direction via the discharge lines 205B in the interlayer 204 , wherein the liquid from the heat exchanger 200 exit.

Alternativ kann der Wärmetauscher 200, wie in 9A gezeigt ist, eine dampfdurchlässige Membran 214 aufweisen, die über der Grenzschicht 202 positioniert ist. Die dampfdurchlässige Membran 214 ist in abdichtendem Kontakt mit den inneren Seitenwänden des Wärmetauschers 200. Die Membran hat zahlreiche kleine Öffnungen, die es Dampf, der entlang der Grenzschicht 202 erzeugt worden ist, gestatten, hierdurch zu dem Auslaßanschluß 209 zu gelangen. Die Membran 214 ist außerdem hydrophob ausgebildet, um zu verhindern, daß entlang der Grenzschicht 202 strömende Flüssigkeit durch die Öffnungen der Membran 214 ge langt. Weitere Einzelheiten der dampfdurchlässigen Membran 214 sind in der am 12.- Februar 2003 unter der Bezeichnung „Vapour Escape Microchannel Heat Exchanger" angemeldeten US-Patentanmeldung Nr. 10/366 128 offenbart, auf welche hiermit Bezug genommen wird.Alternatively, the heat exchanger 200 , as in 9A is shown, a vapor permeable membrane 214 that are above the boundary layer 202 is positioned. The vapor permeable membrane 214 is in sealing contact with the inner sidewalls of the heat exchanger 200 , The membrane has numerous small openings that steam it along the boundary layer 202 has been generated, thereby, to the outlet port 209 to get. The membrane 214 is also hydrophobic, to prevent it from passing along the boundary layer 202 flowing liquid through the openings of the membrane 214 reached. Further details of the vapor permeable membrane 214 are disclosed in U.S. Patent Application No. 10 / 366,128 filed February 12, 2003, entitled "Vapor Escape Microchannel Heat Exchanger", which is hereby incorporated by reference.

Der Mikrokanal-Wärmetauscher gemäß der vorliegenden Erfindung kann alternativ andere Konfigurationen aufweisen, die oben nicht beschrieben sind. Beispielsweise kann der Wärmetauscher eine Verteilerschicht aufweisen, welche den Druckabfall innerhalb des Wärmetauschers mittels separat abgedichteter Einlaß- und Auslaßöffnungen minimalisiert, welche zur Grenzschicht führen. Dabei strömt die Flüssigkeit direkt durch Einlaßöffnungen zur Grenzschicht und unterliegt in der Grenzschicht einem Wärmeaustausch. Die Flüssigkeit tritt sodann aus der Grenzschicht aus, indem sie direkt durch Auslaßöffnungen strömt, die benachbart zu den Einlaßöffnungen angeordnet sind. Diese poröse Konfiguration der Verteilerschicht minimalisiert den Abstand, über den die Flüssigkeit zwischen den Einlaß- und Auslaßanschlüssen strömen muß, und maximalisier die Aufteilung des Flüssigkeitsstroms zwischen den diversen Öffnungen, welche zur Grenzschicht führen.Of the Microchannel heat exchanger according to the present The invention may alternatively have other configurations which are not described above. For example, the heat exchanger have a manifold layer, the pressure drop within of the heat exchanger by means of separately sealed inlet and outlet openings minimized, which lead to the boundary layer. The liquid flows directly through inlet openings to the boundary layer and is subject to heat exchange in the boundary layer. The liquid then exits the boundary layer by passing directly through outlet ports flows, the adjacent to the inlet openings are arranged. This porous Configuration of the distribution layer minimizes the distance over which the liquid between the intake and outlet ports must flow, and maximize the division of the liquid flow between the various openings, which lead to the boundary layer.

Einzelheiten darüber, wie der Wärmetauscher 100 und die individuellen Schichten in dem Wärmetauscher 100 hergestellt werden, werden weiter unten erörtert. Die folgende Erörterung bezieht sich auf die bevorzugten und alternativen Wärmetauscher gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei auf den Wärmetauscher 100 in 3B und individuelle Schichten darin der Einfachheit halber Bezug genommen wird. Es ist außerdem für einen Fachmann erkennbar, daß, auch wenn die Herstellungsdetails bezüglich der vorliegenden Erfindung beschrieben werden, die Herstellungsdetails auch alternativ auf konventionelle Wärmetauscher wie auch auf Zwei- und Drei-Etagen-Wärmetaustauscher anwendbar sind, welche einen Flüssigkeitseinlaßanschluß und einen Flüssigkeitsauslaßanschluß verwenden, wie in den 1A1C gezeigt ist.Details about how the heat exchanger 100 and the individual layers in the heat exchanger 100 are discussed below. The following discussion refers to the preferred and alternative heat exchangers according to the present invention, wherein the heat exchanger 100 in 3B and individual layers will be referred to for simplicity. It will also be apparent to one of ordinary skill in the art, that even though the manufacturing details relating to the present invention are described, the manufacturing details are alternatively applicable to conventional heat exchangers as well as two- and three-level heat exchangers employing a liquid inlet port and a liquid outlet port. like in the 1A - 1C is shown.

Bevorzugt hat die Grenzschicht 102 einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, welcher ähnlich oder gleich zu demjenigen der Wärmequelle 99 ist. Demgemäß dehnt sich die Grenz schicht 102 bevorzugt gemäß der Wärmequelle 99 aus und zieht sich gemäß der Wärmequelle 99 zusammen. Alternativ kann das Material der Grenzschicht 102 einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, der unterschiedlich zu demjenigen des Materials der Wärmequelle ist. Eine aus einem Material wie Silizium hergestellte Grenzschicht 102 hat einen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der zu demjenigen der Wärmequelle 99 paßt, und hat eine hinreichende thermische Leitfähigkeit, um in adäquater Weise Wärme von der Wärmequelle 99 auf die Flüssigkeit zu übertragen. Alternativ können jedoch andere Materialien für die Grenzschicht 102 verwendet werden, deren Wärmeausdehnungskoeffizienten zu demjenigen der Wärmequelle passen.The boundary layer preferably has 102 a thermal expansion coefficient which is similar or equal to that of the heat source 99 is. Accordingly, the boundary layer expands 102 preferably according to the heat source 99 out and pulls according to the heat source 99 together. Alternatively, the material of the boundary layer 102 have a thermal expansion coefficient different from that of the material of the heat source. A boundary layer made of a material such as silicon 102 has a thermal expansion coefficient to that of the heat source 99 Fits, and has sufficient thermal conductivity to adequately heat from the heat source 99 to transfer to the liquid. Alternatively, however, other materials may be used for the boundary layer 102 be used, whose thermal expansion coefficient match that of the heat source.

Die Grenzschicht 102 in dem Wärmetauscher 100 hat bevorzugt eine hohe thermische Leitfähigkeit, um eine hinreichende Wärmeleitung zwischen der Wärmequelle 99 und der entlang der Grenzschicht 102 strömenden Flüssigkeit zu ermöglichen, so daß die Wärmequelle 99 nicht überhitzt wird. Die Grenzschicht 102 wird bevorzugt aus einem Material hergestellt, welches eine hohe thermische Leitfähigkeit von 100 W/m-K hat. Es ist jedoch für einen Fachmann erkennbar, daß die Grenzschicht 102 auch eine thermische Leitfähigkeit von mehr oder weniger als 100 W/m-K haben kann und hierauf nicht beschränkt ist.The boundary layer 102 in the heat exchanger 100 preferably has a high thermal conductivity to a sufficient heat conduction between the heat source 99 and along the boundary layer 102 allow flowing liquid, so that the heat source 99 not overheated. The boundary layer 102 is preferably made of a material having a high thermal conductivity of 100 W / mK. However, it will be apparent to one skilled in the art that the boundary layer 102 may also have a thermal conductivity of more or less than 100 W / mK and is not limited thereto.

Um die bevorzugte thermische Leitfähigkeit zu erhalten, ist die Grenzschicht bevorzugt aus einem Halbleitersubstrat wie Silizium hergestellt. Alternativ kann die Grenzschicht aus anderem Material bestehen, wie beispielsweise einzel-kristallinen dielektrischen Materialien, Metallen, Aluminium, Nickel und Kupfer, Kovar, Graphit, Diamant, Verbundwerkstoffen oder jeglichen geeigneten Legierungen. Ein alternatives Material für die Grenzschicht 102 ist ein gemustertes oder gegossenes organisches Gittermaterial.In order to obtain the preferred thermal conductivity, the barrier layer is preferably made of a semiconductor substrate such as silicon. Alternatively, the barrier layer may be made of other materials such as single crystalline dielectric materials, metals, aluminum, nickel and copper, kovar, graphite, diamond, composites or any suitable alloys. An alternative material for the boundary layer 102 is a patterned or cast organic grid material.

Wie in 12 gezeigt ist, ist es bevorzugt, daß die Grenzschicht 102 mit einer Beschichtung 112 beschichtet wird, um das Material der Grenzschicht 102 zu schützen sowie die thermischen Austauscheigenschaften der Grenzschicht 102 zu verbessern. Die Beschichtung 112 schafft einen chemischen Schutz, der bestimmte chemische Reaktion zwischen der Flüssigkeit und der Grenzschicht 102 eliminiert. Zum Beispiel kann eine aus Aluminium hergestellte Grenzschicht 102 durch die mit ihr Kontakt kommende Flüssigkeit angegriffen werden, wobei die Grenzschicht 102 im Verlaufe der Zeit zerstört werden würde. Die Beschichtung 112 aus einen dünnen Nickelschicht von etwa 25 μm wird daher bevorzugt durch Elektroplattieren über die Oberfläche der Grenzschicht 102 aufgetragen, um jegliche mögliche chemischen Reaktionen zu verhindern, ohne die thermischen Eigenschaften der Grenzschicht 102 signifikant zu verändern. Es ist ersichtlich, daß irgendein anderes Beschichtungsmaterial mit geeigneter Beschichtungsdicke vorgesehen sein kann, abhängig von dem Material bzw. den Materialien der Grenzschicht 102.As in 12 is shown, it is preferred that the boundary layer 102 with a coating 112 is coated to the material of the boundary layer 102 protect as well as the thermal exchange properties of the boundary layer 102 to improve. The coating 112 creates a chemical protection, the specific chemical reaction between the liquid and the boundary layer 102 eliminated. For example, a barrier layer made of aluminum 102 be attacked by the liquid coming into contact with it, the boundary layer 102 would be destroyed over time. The coating 112 a thin nickel layer of about 25 microns is therefore preferred by electroplating over the surface of the boundary layer 102 applied to prevent any possible chemical reactions without the thermal properties of the boundary layer 102 to change significantly. It will be appreciated that any other coating material having a suitable coating thickness may be provided, depending on the material or materials of the boundary layer 102 ,

Weiterhin wird das Beschichtungsmaterial 112 auf die Grenzschicht 102 aufgebracht, um die thermische Leitfähigkeit der Grenzschicht zu verbessern, und einen ausreichenden Wärmeaustausch mit der Wärmequelle 99 durchführen zu können, wie in 12 gezeigt ist. Zum Beispiel kann eine Grenzschicht 102 auf metallischer Basis mit einem Kunststoffüberzug thermisch mit einer Schicht einer Nickelbeschichtung 112 auf den Kunststoff verbessert werden. Die Nickelschicht hat dabei eine Dicke von wenigstens 25 μm, abhängig von den Dimensionen der Grenzschicht 102 und der Wärmequelle 99. Es ist ersichtlich, daß irgendein anderes Beschichtungsmaterial mit geeigneter Beschichtungsdicke vorgesehen werden kann, abhängig von dem Material bzw. den Materialien der Grenzschicht 102. Das Beschichtungsmaterial 112 wird alternativ auf einem Material verwendet, welches bereits hohe thermische Leitfähigkeitscharakteristika hat, so daß das Beschichtungsmaterial die thermische Leitfähigkeit des Materials noch verbessert. Das Beschichtungsmaterial 112 wird bevorzugt sowohl auf die Bodenfläche 103 wie auch auf die Mikrokanal-Wände 110 der Grenzschicht 102 aufgebracht, wie in 12 gezeigt ist. Alternativ kann das Beschichtungsmaterial 112 entweder auf die Bodenfläche 103 oder die Mikrokanal-Wände 110 aufgebracht werden. Das Beschichtungsmaterial 112 besteht bevorzugt aus einem Metall wie beispielsweise Nickel oder Aluminium, ist hierauf jedoch nicht begrenzt. Vielmehr kann das Beschichtungsmaterial 112 alternativ aus irgendeinem anderen Material hoher Leitfähigkeit bestehen.Furthermore, the coating material 112 on the boundary layer 102 applied to improve the thermal conductivity of the boundary layer, and a sufficient heat exchange with the heat source 99 to be able to perform as in 12 is shown. For example, a boundary layer 102 on a metallic basis with a plastic coating thermally with a layer of a nickel coating 112 to be improved on the plastic. The nickel layer has a thickness of at least 25 μm, depending on the dimensions of the boundary layer 102 and the heat source 99 , It will be appreciated that any other coating material having a suitable coating thickness may be provided, depending on the material or materials of the boundary layer 102 , The coating material 112 is alternatively used on a material which already has high thermal conductivity characteristics, so that the coating material further improves the thermal conductivity of the material. The coating material 112 is preferred both on the floor surface 103 as well as the microchannel walls 110 the boundary layer 102 applied, as in 12 is shown. Alternatively, the coating material 112 either on the floor surface 103 or the micro-channel walls 110 be applied. The coating material 112 preferably consists of a metal such as nickel or aluminum, but is not limited thereto. Rather, the coating material 112 alternatively, consist of any other high conductivity material.

Die Grenzschicht 102 wird bevorzugt durch einen Ätzprozeß ausgebildet unter Verwendung eines Kupfermaterials, welches mit einer dünnen Nickelschicht beschichtet ist, um die Grenzschicht 102 zu schützen. Alternativ kann die Grenzeschicht 102 aus Aluminium, einem Siliziumsubstrat, Kunststoff oder einem anderen geeigneten Material hergestellt werden. Eine aus einem Material mit schlechter thermischer Leitfähigkeit hergestellte Grenzschicht 102 kann ebenfalls mit einem geeigneten Beschichtungsmaterial beschichtet werden, um die thermische Leitfähigkeit der Grenzschicht 102 zu verbessern. Ein Verfahren zur elektrischen Ausbildung der Grenzschicht besteht in der Aufbringung einer Teilchenschicht aus Chrom oder einem anderen geeigneten Material über der Bodenfläche 103 der Grenzschicht 102 und Anlegen einer geeigneten elektrischen Spannung an die Teilchenschicht. Die elektrische Verbindung formt dabei eine Schicht aus einem thermisch leitfähigen Beschichtungsmaterial 112 auf der Grenzschicht 102. Der elektrische Formprozeß führt zu Beschichtungsdimensionen im Bereich von 10 – 100 μm. Die Grenzschicht 102 wird durch einen elektrischen Formprozeß wie ein gemustertes Elektroplattieren ausgebildet. Weiterhin kann die Grenzschicht alternativ durch fotochemisches Ätzen oder chemisches Fräsen hergestellt werden, und zwar entweder allein oder in Kombination mit einem elektrischen Formungsverfahren. Zum Herstellen von Merkmalen in der Grenzschicht 102 können übliche lithographische Einrichtungen zum chemischen Fräsen verwendet werden. Weiterhin können die Längenverhältnisse und Toleranzen durch Verwendung laserunterstützter chemischer Fräsprozesse verbessert werden.The boundary layer 102 is preferably formed by an etching process using a copper material coated with a thin nickel layer around the barrier layer 102 to protect. Alternatively, the boundary layer 102 made of aluminum, a silicon substrate, plastic or other suitable material. A barrier layer made of a material with poor thermal conductivity 102 may also be coated with a suitable coating material to increase the thermal conductivity of the boundary layer 102 to improve. One method of electrically forming the barrier layer is to apply a particle layer of chromium or other suitable material over the bottom surface 103 the boundary layer 102 and applying a suitable electrical voltage to the particle layer. The electrical connection forms a layer of a thermally conductive coating material 112 on the boundary layer 102 , The electrical molding process leads to coating dimensions in the range of 10 - 100 microns. The boundary layer 102 is formed by an electric molding process such as a patterned electroplating. Furthermore, the boundary layer may alternatively be prepared by photochemical or chemical milling, either alone or in combination with an electrical forming process. For producing features in the boundary layer 102 For example, conventional lithographic equipment may be used for chemical milling. Furthermore, the aspect ratios and tolerances can be improved by using laser assisted chemical milling processes.

Die Mikrokanal-Wände 110 werden bevorzugt aus Silizium hergestellt. Die Mikrokanal-Wände 110 können alternativ aus anderen Materialien hergestellt werden, wie beispielsweise aus gemustertem Glas, Polymer oder einem gegossenen Polymergitter. Obwohl es zweckmäßig ist, wenn die Mikrokanal-Wände 110 aus demselben Material wie die Bodenfläche 103 der Grenzschicht 102 bestehen, können die Mikrokanal-Wände 110 alternativ aus einem anderen Material bestehen als der Rest der Grenzschicht 102.The micro-channel walls 110 are preferably made of silicon. The micro-channel walls 110 may alternatively be made of other materials, such as patterned glass, polymer, or a cast polymer grid. Although it is useful if the micro-channel walls 110 made of the same material as the floor surface 103 the boundary layer 102 can exist, the micro-channel walls 110 alternatively made of a different material than the rest of the boundary layer 102 ,

Bevorzugt weisen die Mikrokanal-Wände 110 eine thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K auf. Alternativ können die Mikrokanal-Wände 110 eine thermische Leitfähigkeit von mehr als 10 W/m-K aufweisen. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die Mikrokanal-Wände 110 alternativ eine thermische Leitfähigkeit von wenigstens 20 W/m-K aufweisen können, wobei Beschichtungsmaterial 112 auf die Mikrokanal-Wände 110 aufgebracht wird, wie in 12 gezeigt ist, um die thermische Leitfähigkeit der Wände 110 zu verbessern. Für Mikrokanal-Wände 110, die aus Materialien bestehen, welche bereits eine gute thermische Leitfähigkeit aufweisen, weist die Beschichtung 112 eine Dicke von wenigstens 25 μm auf, welche die Oberfläche der Mikrokanal-Wände 110 auch schützt. Für Mikrokanal-Wände 110, die aus einem Material mit schlechter thermischer Leitfähigkeit hergestellt sind, besitzt die Beschichtung 112 eine thermische Leitfähigkeit von wenigstens 50 W/m-K und ist mehr als 25 μm dick. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß andere Typen von Beschichtungsmaterialien wie auch andere Dickendimensionen möglich sind.Preferably, the micro-channel walls 110 a thermal conductivity of at least 10 W / mK. Alternatively, the micro-channel walls 110 have a thermal conductivity of more than 10 W / mK. It will be apparent to those skilled in the art that the microchannel walls 110 alternatively may have a thermal conductivity of at least 20 W / mK, wherein coating material 112 on the micro-channel walls 110 is applied as in 12 shown is the thermal conductivity of the walls 110 to improve. For micro-channel walls 110 consisting of materials which already have a good thermal conductivity, the coating has 112 a thickness of at least 25 microns, which is the surface area of the microchannel walls 110 also protects. For micro-channel walls 110 made of a material with poor thermal conductivity possesses the coating 112 a thermal conductivity of at least 50 W / mK and is more than 25 microns thick. It will be apparent to those skilled in the art that other types of coating materials as well as other thickness dimensions are possible.

Um die Mikrokanal-Wände 110 so auszubilden, daß sie eine adäquate thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K haben, werden die Wände 110 elektrisch mit Beschichtungsmaterial 112 (12) wie Nickel oder einem anderen Metall, wie oben ausgeführt worden ist, beschichtet. Um die Mikrokanal-Wände 110 so auszubilden, daß sie eine adäquate thermische Leitfähigkeit von wenigstens 50 W/m-K aufweisen, werden die Wände 110 mit Kupfer auf einer dünnen Metallfilm-Teilchenschicht elektroplattiert. Alternativ sind die Mikrokanal-Wände 110 nicht mit einem Beschichtungsmaterial beschichtet. Es versteht sich, daß die thermischen Leitfähigkeitscharakteristika der Mikrokanal-Wände 110 und der Beschichtung 112 auch denjenigen der Säulen 203 (10) und irgendeiner anderen darauf angeordneten Beschichtung entsprechen, wenn dieses angezeigt ist.Around the micro-channel walls 110 so that they have an adequate thermal conductivity of at least 10 W / mK, the walls become 110 electrically with coating material 112 ( 12 ), such as nickel or other metal as stated above. Around the micro-channel walls 110 so that they have an adequate thermal conductivity of at least 50 W / mK, the walls become 110 electroplated with copper on a thin metal film particle layer. Alternatively, the micro-channel walls 110 not coated with a coating material. It is understood that the thermal conductivity characteristics of the microchannel walls 110 and the coating 112 also those of the columns 203 ( 10 ) and any other coating disposed thereon, if indicated.

Die Mikrokanal-Wände 110 sind bevorzugt durch Heiß-Prägetechniken ausgebildet, um ein hohes Verhältnis der Kanalwände 110 längs der Bodenfläche 103 der Grenzschicht 102 zu erzielen. Die Mikrokanal-Wände 110 sind alternativ aus Siliziumstrukturen gebildet, die auf einer Glasfläche angeordnet werden, wobei sie in der gewünschten Konfiguration geätzt werden. Die Mikrokanal-Wände 110 sind alternativ durch lithographische Standardtechniken, Preß- bzw. Schmiedeverfahren oder jegliche andere Verfahren herzustellen. Die Mikrokanal- Wände 110 sind alternativ separat von der Grenzschicht 102 hergestellt und werden an die Grenzschicht 102 durch anodisches Verschweißen oder durch Verkleben mit einem Epoxydharz verklebt. Alternativ können die Mikrokanäle 110 durch konventionelle elektrische Formtechniken wie Elektroplattieren an die Grenzschicht 102 angekoppelt werden.The micro-channel walls 110 are preferably formed by hot-stamping techniques to achieve a high ratio of the channel walls 110 along the floor surface 103 the boundary layer 102 to achieve. The micro-channel walls 110 are alternatively formed of silicon structures that are placed on a glass surface, where they are etched in the desired configuration. The micro-channel walls 110 Alternatively, they can be made by standard lithographic techniques, stamping or any other methods. The microchannel walls 110 are alternatively separate from the boundary layer 102 are produced and attached to the boundary layer 102 glued by anodic welding or by gluing with an epoxy resin. Alternatively, the microchannels 110 by conventional electric forming techniques such as electroplating to the boundary layer 102 be coupled.

Es gibt eine große Anzahl von Verfahren, die für die Herstellung der Zwischenschicht 104 verwendet werden können. Die Zwischenschicht besteht bevorzugt aus Silizium. Es ist für den Fachmann ersichtlich, daß jegliches andere Material vorgesehen werden kann, wie beispielsweise Glas, laser-gemustertes Glas, Polymere, Metalle, Kunststoff, gegossene organische Materialien oder jegliche Verbundstoffe hieraus. Bevorzugt wird die Zwischenschicht 104 durch Verwendung von Plasma-Ätztechniken geformt. Alternativ kann die Zwischenschicht 104 durch Verwendung einer chemischen Ätztechnik ausgebildet werden. Andere Verfahren umfassen eine spanabhebende Bearbeitung, Ätzen, Extrudieren und/oder ein Einschmieden eines Metalls in die gewünschte Konfiguration. Die Zwischenschicht 104 kann alternativ durch Einspritzen eines Kunststoffes in die gewünschte Konfiguration geformt werden. Alternativ kann die Zwischenschicht 104 durch Laserbohren einer Glasplatte in die gewünschte Konfiguration gebracht werden.There are a large number of processes necessary for the preparation of the intermediate layer 104 can be used. The intermediate layer is preferably made of silicon. It will be apparent to those skilled in the art that any other material may be envisioned, such as glass, laser patterned glass, polymers, metals, plastic, cast organic materials, or any composites thereof. The intermediate layer is preferred 104 formed by using plasma etching techniques. Alternatively, the intermediate layer 104 be formed by using a chemical etching technique. Other methods include machining, etching, extruding and / or forging a metal into the desired configuration. The intermediate layer 104 may alternatively be molded by injecting a plastic into the desired configuration. Alternatively, the intermediate layer 104 be brought into the desired configuration by laser drilling a glass plate.

Die Verteilerschicht 106 kann durch eine Vielzahl von Verfahren hergestellt werden. Bevorzugt wird die Verteilerschicht 106 durch ein Spritzgußverfahren unter Verwendung von Kunststoff, Metall, einer Polymerverbindung oder einem anderen Material hergestellt, wobei jede Schicht aus demselben Material besteht. Alternativ kann jede Schicht, wie oben erläutert worden ist, aus einem unterschiedlichen Material bestehen. Die Verteilerschicht 106 kann alternativ durch eine spanabhebende oder ätzende Metalltechnik hergestellt werden. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die Verteilerschicht 106 durch Verwendung jeder geeigneten Methode herstellbar ist.The distribution layer 106 can be made by a variety of methods. The distributor layer is preferred 106 produced by an injection molding process using plastic, metal, a polymer compound or other material, each layer being of the same material. Alternatively, as discussed above, each layer may be made of a different material. The distribution layer 106 may alternatively be made by a metal cutting or corrosive technique. It will be apparent to those skilled in the art that the distribution layer 106 can be produced by using any suitable method.

Zur Ankopplung der Zwischenschicht 104 an die Grenzschicht 102 und die Verteilerschicht 106 zwecks Bildung des Wärmetauschers 100 können die verschiedensten Verfahren verwen det werden. Die Grenzschicht 102, die Zwischenschicht 104 und die Verteilerschicht 106 sind bevorzugt durch einen anodischen Prozeß, durch Kleben oder durch euthektisches Verbinden aneinandergekoppelt. Die Zwischenschicht 104 kann alternativ integral mit den Merkmalen der Verteilerschicht 106 und der Grenzschicht 102 ausgebildet werden. Die Zwischenschicht 104 kann durch einen chemischen Prozeß an die Grenzschicht 102 angekoppelt werden. Die Grenzschicht 104 kann alternativ durch ein Heißprägen oder sanfte lithographische Techniken hergestellt werden, wobei ein Draht-Funkenerrosionsverfahren oder ein Siliziumteil verwendet wird, um die Zwischenschicht 104 zu prägen. Die Zwischenschicht 104 wird sodann alternativ mit Metall oder einem anderen geeigneten Material elektroplattiert, um die thermische Leitfähigkeit der Zwischenschicht 104 zu verbessern, falls dieses erforderlich ist.For coupling the intermediate layer 104 to the boundary layer 102 and the distribution layer 106 for the purpose of forming the heat exchanger 100 a variety of methods can be used. The boundary layer 102 , the intermediate layer 104 and the distribution layer 106 are preferably coupled together by an anodic process, by gluing or by eutectic bonding. The intermediate layer 104 may alternatively be integral with the characteristics of the manifold layer 106 and the boundary layer 102 be formed. The intermediate layer 104 can pass through a chemical process to the boundary layer 102 be coupled. The boundary layer 104 Alternatively, it can be made by hot embossing or gentle lithographic techniques using a wire spark erosion process or a silicon part to form the interlayer 104 to shape. The intermediate layer 104 is then alternatively electroplated with metal or other suitable material to increase the thermal conductivity of the interlayer 104 to improve, if necessary.

Alternativ kann die Zwischenschicht 104 zusammen mit der Herstellung der Mikrokanal-Wände 110 in der Grenzschicht 102 durch ein Spritzgußverfahren erzeugt werden. Alternativ kann die Zwischenschicht 104 zusammen mit der Herstellung der Mikrokanal-Wände 110 durch ein anderes geeignetes Verfahren hergestellt werden. Andere Verfahren zum Herstellen des Wärmetauschers umfassen beispielsweise das Löten, Schmelzschweißen, euthektisches Schweißen, intermetallisches Schweißen und jegliche andere geeignete Technik, abhängig von den Typen der Materialien, die in jeder Schicht verwendet werden.Alternatively, the intermediate layer 104 along with the production of micro-channel walls 110 in the boundary layer 102 be produced by an injection molding process. Alternatively, the intermediate layer 104 along with the production of micro-channel walls 110 be prepared by another suitable method. Other methods of manufacturing the heat exchanger include, for example, soldering, fusion welding, electic welding, intermetallic welding, and any other suitable technique, depending on the types of materials used in each layer.

Ein anderes alternatives Verfahren zum Herstellen des Wärmetauschers nach der vorliegenden Erfindung ist in 13 beschrieben. Wie unter Bezugnahme auf 13 ausgeführt worden ist, umfaßt ein alternatives Verfahren zum Herstellen des Wärmetauschers die Bildung einer harten Maske, die wie die Grenzschicht (Schritt 500) aus einem Siliziumsubstrat besteht. Die harte Maske ist aus Siliziumdioxid hergestellt oder alternativ aus aufgeschleudertem Glas. Wenn die harte Maske gebildet ist, wird die Anzahl von Unterkanälen in der harten Maske ausgebildet, wobei die Unterkanäle die Flüssigkeitspfade zwischen den Mikrokanal-Wänden 110 bilden (Schritt 502). Die Unterkanäle werden durch irgendein geeignetes Verfahren ausgebildet, beispielsweise durch Hochfrequenz-Prägeverfahren, chemisches Fräsen, sanfte Lithographie oder Xenondifluorid-Ätzen. Dabei muß ausreichend Raum zwischen jedem Unter kanal sichergestellt werden, so daß einander benachbarte Unterkanäle nicht miteinander verbunden sind. Danach wird sodann das Glas mit irgendeinem konventionellen Verfahren auf die Oberfläche der harten Maske aufgebracht, um die Zwischenschicht und die Verteilerschicht zu bilden (Schritt 504). Nachfolgend werden die Zwischenschicht und die Verteilerschicht durch ein Nachbehandlungsverfahren gehärtet (Schritt 506). Sobald die Zwischenschicht und die Verteilerschicht voll ausgebildet und gehärtet sind, werden ein oder mehrere Flüssigkeitsanschlüsse in der gehärteten Schicht ausgebildet (Schritt 508). Die Flüssigkeitsanschlüsse werden in die Verteilerschicht geätzt oder alternativ gebohrt. Obwohl hier spezielle Verfahren zum Herstellen der Grenzschicht 102, der Zwischenschicht 104 und der Verteilerschicht 106 erörtert worden sind, sind andere bekannte Verfahren zum Herstellen des Wärmetauschers 100 alternativ möglich.Another alternative method of manufacturing the heat exchanger according to the present invention is disclosed in U.S.P. 13 described. As with reference to 13 has been carried out, an alternative method for producing the heat exchanger comprises the formation of a hard mask, which, like the boundary layer (step 500 ) consists of a silicon substrate. The hard mask is made of silicon dioxide or, alternatively, spin-on glass. When the hard mask is formed, the number of subchannels in the hard mask is formed, with the subchannels forming the fluid paths between the microchannel walls 110 form (step 502 ). The subchannels are formed by any suitable method, for example by high frequency embossing, chemical milling, soft lithography or xenon difluoride etching. In this case, sufficient space between each sub-channel must be ensured so that adjacent subchannels are not interconnected. Thereafter, the glass is then applied to the surface of the hard mask by any conventional method to form the intermediate layer and the Form distribution layer (step 504 ). Subsequently, the intermediate layer and the manifold layer are cured by an aftertreatment process (step 506 ). Once the intermediate layer and the manifold layer are fully formed and cured, one or more fluid ports are formed in the cured layer (step 508 ). The fluid ports are etched into the manifold layer or alternatively drilled. Although here are specific methods for making the boundary layer 102 , the intermediate layer 104 and the distribution layer 106 have been discussed, are other known methods for producing the heat exchanger 100 alternatively possible.

14 zeigt eine alternative Ausgestaltung des Wärmetauschers gemäß der vorliegenden Erfindung. Wie in 6 gezeigt ist, sind zwei Wärmetauscher 200, 200' an eine Wärmequelle 99 gekoppelt. Die Wärmequelle 99, wie ein elektronisches Bauteil bzw. eine elektronische Einrichtung, ist an eine elektronische Schaltung bzw. eine Schaltkarte 96 gekoppelt und aufrecht angeordnet, wobei jede Seite der Wärmequelle 99 zugänglich ist. Ein Wärmetauscher gemäß der vorliegenden Erfindung ist an eine Seite der Wärmequelle 99 angekoppelt, wobei beide Wärmetauscher 200, 200' für eine maximale Kühlung der Wärmequelle 99 sorgen. Alternativ kann die Wärmequelle horizontal an die Schaltkarte gekoppelt sein, wobei mehr als ein Wärmetauscher auf der Oberseite der Wärmequelle 99 angeordnet ist (nicht gezeigt), und wobei jeder Wärmetauscher elektrisch an die Wärmequelle 99 gekuppelt ist. Weitere Einzelheiten dieser Ausgestaltung sind in der am 07. Februar 2002 unter der Bezeichnung „Power Conditioning Module" angemeldeten US-Patentanmeldung Nr. 10/072 137 offenbart, auf welche hiermit Bezug genommen wird. 14 shows an alternative embodiment of the heat exchanger according to the present invention. As in 6 is shown are two heat exchangers 200 . 200 ' to a heat source 99 coupled. The heat source 99 as an electronic component or an electronic device is connected to an electronic circuit or a circuit board 96 coupled and arranged upright, with each side of the heat source 99 is accessible. A heat exchanger according to the present invention is on one side of the heat source 99 coupled, with both heat exchangers 200 . 200 ' for maximum cooling of the heat source 99 to care. Alternatively, the heat source may be horizontally coupled to the circuit board, with more than one heat exchanger on top of the heat source 99 is arranged (not shown), and wherein each heat exchanger electrically to the heat source 99 is coupled. Further details of this embodiment are disclosed in U.S. Patent Application No. 10 / 072,137 filed February 7, 2002, entitled "Power Conditioning Module", which is hereby incorporated by reference.

Wie in 14 gezeigt ist, ist der Wärmetauscher 200 mit zwei Schichten an die linke Seite der Wärmequelle 99 gekuppelt, und der Wärmetauscher 200' mit drei Schichten an die rechte Seite der Wärmequelle 99. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die bevorzugte oder die alternative Ausgestaltung der Wärmetauscher an die Seiten der Wärmequelle 99 angekuppelt ist. Es ist außerdem für den Fachmann erkennbar, daß die alternativen Ausgestaltungen des Wärmetauschers 200' alternativ an die Seiten der Wärmequelle 99 angekuppelt werden können. Die in 14 gezeigte alternative Ausgestaltung gestattet eine präzisere Heißstellen-Kühlung der Wärmequelle 99, indem Flüssigkeit zum Kühlen von Heißstellen aufgebracht wird, welche längs der Dicke der Wärmequelle 99 vorhanden sind. Demgemäß bewirkt die Ausgestaltung gemäß 14 ein angemessenes Kühlen von Heißstellen im Zentrum der Wärmequelle 99 durch Wärmeaustausch an beiden Seiten der Wärmequelle 99. Es ist für den Fachmann erkennbar, daß die in 14 gezeigte Ausgestaltung in dem Kühlsystem 30 gemäß den 2A2B verwendet werden kann, obwohl andere geschlossene Kühlsysteme möglich sind.As in 14 is shown is the heat exchanger 200 with two layers to the left side of the heat source 99 coupled, and the heat exchanger 200 ' with three layers to the right side of the heat source 99 , It will be apparent to those skilled in the art that the preferred or alternative embodiment of the heat exchangers to the sides of the heat source 99 is coupled. It will also be apparent to those skilled in the art that the alternative embodiments of the heat exchanger 200 ' alternatively to the sides of the heat source 99 can be coupled. In the 14 shown alternative embodiment allows a more precise hot spot cooling of the heat source 99 by applying liquid for cooling hot spots along the thickness of the heat source 99 available. Accordingly, the embodiment according to 14 adequate cooling of hot spots in the center of the heat source 99 by heat exchange on both sides of the heat source 99 , It will be apparent to those skilled in the art that the in 14 shown embodiment in the cooling system 30 according to the 2A - 2 B can be used, although other closed cooling systems are possible.

Wie oben ausgeführt worden ist, kann die Wärmequelle 99 so ausgebildet sein, daß die Stellen einer oder mehrer Heißstellen aufgrund unterschiedlicher Aufgaben, die von der Wärmequelle 99 durchzuführen sind, wechseln. Um die Wärmequelle 99 adäquat zu kühlen, weist das System 30 alternativ ein Feststell- und Steuermodul 34 (2A2B) auf, welches die Flüssigkeitsmenge und/oder die Geschwindigkeit der in den Wärmetauscher 100 einströmenden Flüssigkeit in Reaktion auf einen Wechsel der Heißstellen dynamisch ändert.As stated above, the heat source can 99 be designed so that the locations of one or more hot spots due to different tasks, that of the heat source 99 to change. To the heat source 99 To adequately cool the system 30 alternatively a locking and control module 34 ( 2A - 2 B ), which determines the amount of liquid and / or the speed in the heat exchanger 100 incoming fluid changes dynamically in response to a change in hot spots.

Wie in 14 gezeigt ist, sind einer oder mehrere Sensoren 124 an jedem Grenzschicht-Heißstellenbereich im Wärmetauscher 200 angeordnet und/oder an jeder potentiellen Heißstelle der Wärmequelle 99. Alternativ können mehrere Wärmequellen gleichmäßig zwischen der Wärmequelle und dem Wärmetauscher und/oder in dem Wärmetauscher selbst angeordnet sein. Das Steuermodul 38 (2A2B) ist außerdem an ein oder mehrere Ventile in dem geschlossenen Kreis 30 gekoppelt und steuert die Flüssigkeitsströmung zum Wärmetauscher 100. Das wenigstens eine Ventil ist in den Flüssigkeitslinien angeordnet, doch kann es alternativ auch irgendwo anderes angeordnet sein. Die Sensoren 124 sind an das Steuermodul 34 angekoppelt, wobei der Steuermodul 34 bevorzugt stromaufwärts zu dem Wärmetauscher angeordnet ist, wie in 2 gezeigt ist. Alternativ kann der Steuermodul 34 an irgendeiner anderen Stelle im geschlossenen System angeordnet sein.As in 14 shown are one or more sensors 124 at each boundary layer hot spot area in the heat exchanger 200 arranged and / or at any potential hot spot of the heat source 99 , Alternatively, a plurality of heat sources may be arranged evenly between the heat source and the heat exchanger and / or in the heat exchanger itself. The control module 38 ( 2A - 2 B ) is also connected to one or more valves in the closed circuit 30 coupled and controls the flow of liquid to the heat exchanger 100 , The at least one valve is arranged in the liquid lines, but it may alternatively be arranged elsewhere. The sensors 124 are to the control module 34 coupled, the control module 34 is preferably arranged upstream of the heat exchanger, as in 2 is shown. Alternatively, the control module 34 be arranged in any other place in the closed system.

Die Sensoren 124 stellen dem Steuermodul 34 Informationen zu Verfügung, beispielsweise über die Geschwindigkeit der Flüssigkeit, welche in den Grenzschicht-Heißstellenbereich strömt, die Temperatur der Grenzschicht 102 in dem Grenzschicht-Heißstellenbereich und/oder der Wärmequelle und die Flüssigkeitstemperatur. Beispielsweise stellen bei der Anordnung gemäß der schematischen 14 in der Grenzschicht 124 angeordnete Sensoren dem Steuermodul 34 die Information zur Verfügung, daß die Temperatur in einem bestimmten Grenzschicht-Heißstellenbereich des Wärmetauschers 200 ansteigt, während die Temperatur in einem bestimmten Grenzschicht-Heißstellenbereich des Wärmetauschers 200' sinkt. Als Reaktion hierauf bewirkt das Steuermodul 34, daß die zu dem Wärmetauscher 200 geleitete Flüssigkeitsmenge erhöht wird, und daß sich die zu dem Wärmetauscher 200' strömende Flüssigkeitsmenge verringert. Alternativ kann das Steuermodul 34 die zu einer oder mehreren Grenzschicht-Heißstellenbereichen strömende Flüssigkeitsmenge in einem oder mehreren Wärmetauschern als Reaktion auf die von den Sensoren 118 erhaltenen Informationen ändern. Obwohl die Sensoren 118 in 14 mit zwei Wärmetauschern 200, 200' gezeigt sind, ist es ersichtlich, daß die Sensoren 118 alternativ nur an einen Wärmetauscher gekuppelt sein können.The sensors 124 put the control module 34 Information about, for example, the velocity of the liquid flowing into the boundary layer hot spot area, the temperature of the boundary layer 102 in the boundary layer hot spot area and / or the heat source and the liquid temperature. For example, in the arrangement according to the schematic 14 in the boundary layer 124 arranged sensors the control module 34 the information is available that the temperature in a certain boundary layer hot spot area of the heat exchanger 200 rises while the temperature in a particular boundary layer hot spot area of the heat exchanger 200 ' sinks. In response, the control module causes 34 in that to the heat exchanger 200 led amount of liquid is increased, and that to the heat exchanger 200 ' flowing amount of liquid reduced. Alternatively, the control module 34 the amount of liquid flowing to one or more boundary layer hot spots in one or more heat exchangers in response to that from the sensors 118 he change information. Although the sensors 118 in 14 with two heat exchangers 200 . 200 ' are shown, it can be seen that the sensors 118 Alternatively, it can only be coupled to a heat exchanger.

Die vorliegende Erfindung ist vorstehend anhand spezifischer Ausführungsbeispiele beschrieben worden, um das Verständnis der Konstruktion und Arbeitsweise der Erfindung zu ermöglichen bzw. zu vereinfachen. Diese Bezugnahme auf spezifische Ausführungsbeispiele und deren Details soll den Schutzumfang der Ansprüche jedoch in keiner Weise beschränken. Es ist für Fachleute ohne weiteres ersichtlich, daß Modifikationen der zur Erläuterung ausgewählten Ausführungsbeispiele möglich sind, ohne von dem Erfindungsgedanken abzuweichen und den Schutzbereich der Erfindung zu verlassen.The The present invention is above based on specific embodiments been described to the understanding to enable the construction and operation of the invention or simplify. This reference to specific embodiments and its details are intended to limit the scope of the claims, however restrict in any way. It is for Those skilled in the art will readily appreciate that modifications are for illustration chosen embodiments possible are without departing from the spirit and the scope of protection to leave the invention.

Claims (93)

Wärmetauscher mit a. einer Grenzschicht zum Kühlen einer Wärmequelle, wobei die Grenzschicht so ausgebildet ist, daß sie von einer Flüssigkeit zu durchströmen ist, und eine Dicke von etwa 0,3 mm bis etwa 1,0 mm aufweist; und b. einer Verteilerschicht zum Leiten bzw. Umwälzen von Flüssigkeit zu und von der Grenzschicht, wobei die Verteilerschicht einen ersten Satz von Fingern und einen parallel zu diesem angeordneten zweiten Satz von Fingern aufweist, die so angeordnet sind, daß sie den Druckabfall innerhalb des Wärmetauschers reduzieren.heat exchangers With a. a boundary layer for cooling a heat source, wherein the boundary layer is formed so as to be separated from a liquid to flow through is, and has a thickness of about 0.3 mm to about 1.0 mm; and b. a distribution layer for passing liquid to and from the boundary layer, wherein the distributor layer comprises a first set of fingers and a has parallel to this arranged second set of fingers, which are arranged so that they the pressure drop within the heat exchanger to reduce. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem sich die Flüssigkeit in einem einphasigen Zustand befindet.heat exchangers according to claim 1, wherein the liquid is in a single-phase State is. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem sich die Flüssigkeit in einem zweiphasigen Zustand befindet.heat exchangers according to claim 1, wherein the liquid is in a biphasic State is. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem wenigstens ein Teil der Flüssigkeit in der Grenzschicht einer Umwandlung von einem einphasigen in einen zweiphasigen Zustand unterliegt.heat exchangers according to claim 1, wherein at least a part of the liquid in the boundary layer of a conversion from a single-phase to a two-phase Condition is subject. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem ein bestimmter Finger des ersten Satzes mit einem geeigneten Abstand zu einem bestimmten Finger des zweiten Satzes angeordnet ist, um den Druckabfall in dem Wärmetauscher zu minimalisieren.heat exchangers according to claim 1, wherein a certain finger of the first set with a suitable distance to a particular finger of the second Set is arranged to reduce the pressure drop in the heat exchanger to minimize. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem alle Finger dieselben Längen- und Breitenabmessungen aufweisen.heat exchangers according to claim 1, wherein all fingers have the same length and width dimensions. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem wenigstens einer der Finger anders als die übrigen Finger dimensioniert ist.heat exchangers according to claim 1, wherein at least one of the fingers is different than the remaining Finger is dimensioned. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Finger in der Verteilerschicht in wenigstens einer Dimension nicht-periodisch angeordnet sind.heat exchangers according to claim 1, wherein the fingers in the distributor layer in at least a dimension non-periodically arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem wenigstens ein Finger entlang der Länge der Verteilerschicht wenigstens eine variierende Dimension aufweist.heat exchangers according to claim 1, wherein at least one finger extends along the length of the Distributor layer has at least one varying dimension. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Verteilerschicht mehr als drei und weniger als 10 parallele Finger aufweist.heat exchangers according to claim 1, wherein the distributor layer has more than three and has less than 10 parallel fingers. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Finger des ersten Satzes und des zweiten Satzes abwechselnd längs einer Dimension der Verteilerschicht angeordnet sind.heat exchangers according to claim 1, wherein the fingers of the first set and the second Set alternately along a dimension of the distribution layer are arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Verteilerschicht zum Kühlen von wenigstens einem Grenzschicht-Heißstellenbereich konfiguriert ist.heat exchangers according to claim 1, wherein the distributor layer for cooling configured at least one boundary layer hot spot area is. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem wenigstens ein erster Anschluß vorgesehen ist, der mit dem ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die Flüssigkeit durch den wenigstens einen ersten Anschluß in den Wärmetauscher eintritt.heat exchangers according to claim 1, wherein provided at least a first terminal is that communicates with the first set of fingers, wherein the liquid enters the heat exchanger through the at least one first connection. Wärmetauscher nach Anspruch 13, bei dem wenigstens ein zweiter Anschluß vorgesehen ist, der mit dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die Flüssigkeit durch den wenigstens zweiten Anschluß aus dem Wärmetauscher austritt.heat exchangers according to claim 13, wherein at least one second connection is provided is that communicates with the second set of fingers, wherein the liquid exits through the at least second connection from the heat exchanger. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Verteilerschicht über der Grenzschicht angeordnet ist, wobei die Flüssigkeit durch den ersten Satz von Fingern nach unten strömt und durch den zweiten Satz von Fingern nach oben strömt.heat exchangers according to claim 1, wherein the distributor layer is arranged above the boundary layer is, being the liquid flows down through the first set of fingers and through the second set from fingers upwards flows. Wärmetauscher nach Anspruch 13, bei dem eine erste Anschlußpassage mit dem ersten Anschluß und dem ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die erste Anschlußpassage die Flüssigkeit von dem ersten Anschluß zu dem ersten Satz von Fingern kanalisiert.heat exchangers The device of claim 13, wherein a first port passage communicates with the first port and the first port first set of fingers communicates, being the first connection passage the liquid from the first port to the first set of fingers channeled. Wärmetausche nach Anspruch 16, bei dem eine zweite Anschlußpassage mit dem zweiten Anschluß und dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die zweite Anschlußpassage die Flüssigkeit von dem zweiten Satz von Fingern zum zweiten Anschluß kanalisiert.heat exchanger according to claim 16, wherein a second connection passage with the second connection and the second set of fingers communicates, the second connection passage the liquid from the second set of fingers to the second port. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Grenzschicht integral mit der Wärmequelle ausgebildet ist.heat exchangers according to claim 1, wherein the boundary layer is integral with the heat source is trained. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Grenzschicht an die Wärmequelle gekoppelt ist.heat exchangers according to claim 1, wherein the boundary layer to the heat source is coupled. Wärmetauscher nach Anspruch 1, mit einer Zwischenschicht zum Kanalisieren von Flüssigkeit zu und von einer oder mehreren vorbestimmten Stellen der Grenzschicht über wenigstens eine Leitung, wobei die Zwischenschicht zwischen der Grenzschicht und der Verteilerschicht angeordnet ist.heat exchangers according to claim 1, with an intermediate layer for channeling liquid to and from one or more predetermined locations of the boundary layer over at least a conduit, wherein the intermediate layer between the boundary layer and the distributor layer is arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 20, bei dem die Zwischenschicht an die Grenzschicht und die Verteilerschicht gekoppelt ist.heat exchangers according to claim 20, wherein the intermediate layer to the boundary layer and the distribution layer is coupled. Wärmetauscher nach Anspruch 20, bei dem die Zwischenschicht integral mit der Grenzschicht und der Verteilerschicht ausgebildet ist.heat exchangers according to claim 20, wherein the intermediate layer is integral with the boundary layer and the distributor layer is formed. Wärmetauscher nach Anspruch 20, bei dem die wenigstens eine Leitung entlang der Zwischenschicht wenigstens eine variierende Dimension aufweist.heat exchangers according to claim 20, wherein the at least one conduit is along the Intermediate layer has at least one varying dimension. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem auf der Grenzschicht eine Beschichtung mit einer geeigneten thermischen Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K angeordnet ist.heat exchangers according to claim 1, wherein on the boundary layer a coating with a suitable thermal conductivity of at least 10 W / m-K is arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Grenzschicht eine thermische Leitfähigkeit von wenigstens 100 W/m-K aufweist.heat exchangers according to claim 1, wherein the boundary layer has a thermal conductivity of at least 100 W / m-K. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem eine Anzahl von Säulen vorhanden ist, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Grenzschicht angeordnet sind.heat exchangers according to claim 1, wherein a number of columns are present, which in a predetermined pattern along the boundary layer are arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 26, bei dem wenigstens eine der Säulen eine Flächenabmessung in einem Bereich von 102 μm und 1002 μm aufweist.A heat exchanger according to claim 26, wherein at least one of the columns has a surface dimension in a range of 10 2 μm and 100 2 μm. Wärmetauscher nach Anspruch 26, bei dem wenigstens eine der Säulen eine Höhe im Bereich von 50 μm und 2 mm aufweist.heat exchangers according to claim 26, wherein at least one of the columns has a height in the range of 50 microns and 2 mm having. Wärmetauscher nach Anspruch 26, bei dem wenigstens zwei Säulen voneinander durch einen Abstand im Bereich von 10 bis 150 μm getrennt sind.heat exchangers according to claim 26, wherein at least two columns are separated from each other by a distance in the range of 10 to 150 μm are separated. Wärmetauscher nach Anspruch 26, bei dem auf den Säulen eine Beschichtung angeordnet ist, welche eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist.heat exchangers according to claim 26, in which a coating is arranged on the columns which has a suitable thermal conductivity of at least 10 W / m-K having. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem die Grenzschicht eine rauhe bzw. aufgerauhte Oberfläche aufweist.heat exchangers according to claim 1, wherein the boundary layer is roughened surface having. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem auf der Grenzschicht eine mikroporöse Struktur ausgebildet ist.heat exchangers according to claim 1, wherein on the boundary layer a microporous structure is trained. Wärmetauscher nach Anspruch 32, wobei die poröse Mikrostruktur eine Porosität innerhalb eines Bereiches von 50 bis 80 % aufweist.heat exchangers according to claim 32, wherein the porous Microstructure a porosity within a range of 50 to 80%. Wärmetauscher nach Anspruch 32, wobei die poröse Mikrostruktur eine durchschnittliche Porengröße innerhalb eines Bereiches von 10 bis 200 μm aufweist.heat exchangers according to claim 32, wherein the porous Microstructure an average pore size within a range from 10 to 200 microns. Wärmetauscher nach Anspruch 32, wobei die poröse Mikrostruktur eine Höhe innerhalb des Bereiches von 0,25 bis 2,00 mm aufweist.heat exchangers according to claim 32, wherein the porous Microstructure a height within the range of 0.25 to 2.00 mm. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem eine Anzahl von Mikrokanälen vorhanden ist, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Grenzschicht angeordnet sind.heat exchangers according to claim 1, wherein there are a number of microchannels which is arranged in a predetermined pattern along the boundary layer are. Wärmetauscher nach Anspruch 36, bei dem wenigstens einer der Mikrokanäle eine Flächendimension im Bereich von 102 μm und 1002 μm aufweist.Heat exchanger according to claim 36, wherein at least one of the microchannels has a surface dimension in the range of 10 2 microns and 100 2 microns. Wärmetauscher nach Anspruch 36, wobei wenigstens einer der Mikrokanäle eine Höhe im Bereich von 50 μm und 2 mm aufweist.heat exchangers according to claim 36, wherein at least one of the microchannels a Height in Range of 50 microns and 2 mm. Wärmetauscher nach Anspruch 36, wobei wenigstens zwei der Mikrokanäle in einem gegenseitigen Abstand von 10 bis 150 μm stehen.heat exchangers according to claim 36, wherein at least two of the microchannels in one mutual distance of 10 to 150 microns stand. Wärmetauscher nach Anspruch 36, bei dem wenigstens einer der Mikrokanäle eine Breite im Bereich von 10 bis 100 μm aufweist.heat exchangers according to claim 36, wherein at least one of the microchannels a Width in the range of 10 to 100 microns having. Wärmetauscher nach Anspruch 36, bei dem die mehreren Mikrokanäle an die Grenzschicht gekuppelt sind.heat exchangers according to claim 36, wherein the plurality of microchannels are coupled to the boundary layer are. Wärmetauscher nach Anspruch 36, bei dem die mehreren Mikrokanäle integral mit der Grenzschicht ausgebildet sind.heat exchangers according to claim 36, wherein the plurality of microchannels are integral with the boundary layer are formed. Wärmetauscher nach Anspruch 36, bei dem die mehreren Mikrokanäle in segmentierte Reihen mit wenigstens einer dazwischen angeordneten Nut unterteilt sind, wobei die wenigstens eine Nut zu einem entsprechenden Finger ausgerichtet ist.heat exchangers The device of claim 36, wherein the plurality of microchannels are in segmented rows at least one groove arranged therebetween are divided, wherein the at least one groove aligned to a corresponding finger is. Wärmetauscher nach Anspruch 36, bei dem auf den mehreren Mikrokanälen eine Beschichtung vorhanden ist, welche eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist.heat exchangers according to claim 36, wherein on the plurality of microchannels Coating is present which has a suitable thermal conductivity of at least 10 W / m-K. Wärmetauscher nach Anspruch 1, bei dem eine Überhangdimension 0 bis 15 mm beträgt.heat exchangers according to claim 1, wherein an overhang dimension 0 to 15 mm. Wärmetauscher zum Kühlen einer Wärmequelle mit a. einer Verteilerschicht mit einem ersten Satz von Fingern in einer ersten Konfiguration, wobei jeder Finger des ersten Satzes Flüssigkeit mit einer ersten Temperatur kanalisiert, und mit einem zweiten Satz von Fingern einer zweiten Konfiguration, wobei jeder Finger des zweiten Satzes Flüssigkeit mit einer zweiten Temperatur kanalisiert, und wobei der erste Satz von Fingern parallel zu dem zweiten Satz von Fingern angeordnet ist; und b. einer Grenzschicht einer Dicke von etwa 0,3 bis 1,0 mm zum Empfangen von Flüssigkeit mit einer ersten Temperatur an mehreren ersten Stellen, wobei jede erste Stelle einem entsprechenden Finger des ersten Satzes zugeordnet ist, die Grenzschicht Flüssigkeit entlang mehrerer vorgegebener Pfade zu mehreren zweiten Stellen leitet, und wobei jede zweite Stelle einem entsprechenden Finger des zweiten Satzes zugeordnet ist.Heat exchanger for cooling a heat source with a. a manifold layer having a first set of fingers in a first configuration, each finger of the first set channeling fluid at a first temperature and a second set of fingers of a second configuration, each finger of the second set channeling fluid at a second temperature; and wherein the first set of fingers is disposed parallel to the second set of fingers; and b. a boundary layer of a thickness of about 0.3 to 1.0 mm for receiving liquid at a first temperature at a plurality of first locations, each first location associated with a corresponding finger of the first set, the boundary layer fluid along a plurality of predetermined paths to a plurality of second locations Directs passages, and wherein every second digit is assigned to a corresponding finger of the second set. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem sich die Flüssigkeit in einem einphasigen Zustand befindet.heat exchangers according to claim 46, wherein the liquid is in a single-phase State is. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem sich die Flüssigkeit in einem zweiphasigen Zustand befindet.heat exchangers according to claim 46, wherein the liquid is in a biphasic State is. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem wenigstens ein Teil der Flüssigkeit in der Grenzschicht einer Umwandlung von einem einphasigen Zustand in einem zweiphasigen Zustand unterliegt.heat exchangers according to claim 46, wherein at least a part of the liquid in the boundary layer of a conversion from a single-phase state in a biphasic state. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem ein bestimmter Finger des ersten Satzes mit einem geeigneten Abstand zu einem bestimmten Finger des zweiten Satzes angeordnet ist, um den Druckabfall in dem Wärmetauscher zu minimalisieren.heat exchangers according to claim 46, wherein a particular finger of the first set with a suitable distance to a particular finger of the second Set is arranged to reduce the pressure drop in the heat exchanger to minimize. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem wenigstens ein erster Anschluß vorgesehen ist, der mit dem ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die Flüssigkeit durch den wenigstens einen ersten Anschluß in den Wärmetauscher eintritt.heat exchangers according to claim 46, wherein provided at least a first terminal is that communicates with the first set of fingers, wherein the liquid enters the heat exchanger through the at least one first connection. Wärmetauscher nach Anspruch 51, bei dem wenigstens ein zweiter Anschluß vorgesehen ist, der mit dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die Flüssigkeit durch den wenigstens zweiten Anschluß aus dem Wärmetauscher austritt.heat exchangers according to claim 51, in which at least one second connection is provided is that communicates with the second set of fingers, wherein the liquid exits through the at least second connection from the heat exchanger. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem die Verteilerschicht über der Grenzschicht angeordnet ist, wobei die Flüssigkeit durch den ersten Satz von Fingern nach unten strömt und durch den zweiten Satz von Fingern nach oben strömt.heat exchangers according to claim 46, wherein the distribution layer is disposed over the boundary layer is, being the liquid flows down through the first set of fingers and through the second set from fingers upwards flows. Wärmetauscher nach Anspruch 46, wobei die Grenzschicht integral mit der Wärmequelle ausgebildet ist.heat exchangers according to claim 46, wherein the boundary layer is integral with the heat source is trained. Wärmetauscher nach Anspruch 46, wobei die Grenzschicht an die Wärmequelle angekoppelt ist.heat exchangers according to claim 46, wherein the boundary layer to the heat source is coupled. Wärmetauscher nach Anspruch 46, wobei die Finger des ersten Satzes in alternierender Anordnung mit den Fingern des zweiten Satzes positioniert sind.heat exchangers according to claim 46, wherein the fingers of the first set are alternating Arrangement are positioned with the fingers of the second set. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem jeder Finger die gleichen Längen- und Breitenabmessungen aufweist.heat exchangers according to claim 46, wherein each finger has the same length and Has width dimensions. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem wenigstens ein Finger eine andere Dimensionierung als die übrigen Finger hat.heat exchangers according to claim 46, in which at least one finger has a different dimension than the remaining Finger has. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem die Finger in wenigstens einer Dimension der Verteilerschicht nicht-periodisch angeordnet sind.heat exchangers according to claim 46, wherein the fingers are in at least one dimension the distributor layer are arranged non-periodically. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem wenigstens einer der Finger entlang einer Länge der Verteilerschicht wenigstens eine variierende Dimension aufweist.heat exchangers according to claim 46, wherein at least one of the fingers is along a Length of the distributor layer has at least one varying dimension. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem die Verteilerschicht mehr als drei und weniger als zehn parallele Finger aufweist.heat exchangers according to claim 46, wherein the distributor layer has more than three and has less than ten parallel fingers. Wärmetauscher nach Anspruch 52, bei dem eine erste Anschlußpassage vorhanden ist, die mit dem ersten Anschluß und dem ersten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die erste Anschlußpassage Flüssigkeit von dem ersten Anschluß zu dem ersten Satz von Fingern kanalisiert.heat exchangers according to claim 52, wherein a first port passage is present with the first connection and the first set of fingers communicates with the first port passage liquid from the first port to the first set of fingers channeled. Wärmetauscher nach Anspruch 62, bei dem eine zweite Anschlußpassage vorhanden ist, welche mit dem zweiten Anschluß und dem zweiten Satz von Fingern kommuniziert, wobei die zweite Anschlußpassage Flüssigkeit von dem zweiten Satz von Fingern zu dem zweiten Anschluß kanalisiert.heat exchangers according to claim 62, wherein a second connection passage is present, which with the second connection and the second set of fingers communicates with the second port passage liquid from the second set of fingers to the second port. Wärmetauscher nach Anspruch 46 mit einer Zwischenschicht zum Kanalisieren von Flüssigkeit zu und von einer oder mehreren vorbestimmten Stellen der Grenzschicht über wenigstens eine Leitung, wobei die Zwischenschicht zwischen der Grenzschicht und der Verteilerschicht angeordnet ist.heat exchangers according to claim 46 with an intermediate layer for channeling liquid to and from one or more predetermined locations of the boundary layer over at least a conduit, wherein the intermediate layer between the boundary layer and the distributor layer is arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 64, bei dem die Leitung in einer vorgegebenen Konfiguration angeordnet ist, um Flüssigkeit zu einer oder mehreren Heißstellen-Bereichen der Grenzschicht zu kanalisieren.heat exchangers according to claim 64, wherein the conduit is in a predetermined configuration is arranged to liquid to one or more hot spots areas to channel the boundary layer. Wärmetauscher nach Anspruch 64, bei dem die Leitung in einer vorgegebenen Konfiguration angeordnet ist, um Flüssigkeit von einer oder mehreren Grenzschicht-Heißstellenbereichen in der Grenzschicht zu kanalisieren.A heat exchanger according to claim 64, wherein the conduit is arranged in a predetermined configuration to remove liquid from one or more boundary layer hot spots in the boundary channel. Wärmetauscher nach Anspruch 64, wobei die Zwischenschicht an die Grenzschicht und die Verteilerschicht gekoppelt ist.heat exchangers according to claim 64, wherein the intermediate layer to the boundary layer and the distribution layer is coupled. Wärmetauscher nach Anspruch 64, wobei die Zwischenschicht integral mit der Grenzschicht und der Verteilerschicht ausgebildet ist.heat exchangers according to claim 64, wherein the intermediate layer is integral with the boundary layer and the distributor layer is formed. Wärmetauscher nach Anspruch 64, wobei die Leitung entlang der Zwischenschicht wenigstens eine variierende Dimension aufweist.heat exchangers according to claim 64, wherein the conduit is along the intermediate layer has at least one varying dimension. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem auf der Grenzschicht eine Beschichtung mit einer geeigneten thermischen Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K angeordnet ist.heat exchangers according to claim 46, wherein on the boundary layer a coating with a suitable thermal conductivity of at least 10 W / m-K is arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 46, wobei die Grenzschicht eine thermische Leitfähigkeit von wenigstens 100 W/m-K aufweist.heat exchangers according to claim 46, wherein the boundary layer has a thermal conductivity of at least 100 W / m-K. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem eine Anzahl von Säulen vorhanden ist, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Grenzschicht angeordnet sind.heat exchangers according to claim 46, wherein a number of columns are present, which in a predetermined pattern along the boundary layer are arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 72, wobei wenigstens eine der Säulen eine Flächenabmessung im Bereich von 102 μm bis 1002 μm aufweist.A heat exchanger according to claim 72, wherein at least one of the columns has a surface dimension in the range of 10 2 μm to 100 2 μm. Wärmetauscher nach Anspruch 72, wobei wenigstens eine der Säulen eine Höhe im Bereich zwischen 50 μm und 2 mm aufweist.heat exchangers according to claim 72, wherein at least one of the columns has a height in the range between 50 microns and 2 mm having. Wärmetauscher nach Anspruch 72, wobei wenigstens zwei der Säulen in einem Abstand von 10 bis 150 μm zueinander stehen.heat exchangers according to claim 72, wherein at least two of the columns at a distance of 10 to 150 μm to each other stand. Wärmetauscher nach Anspruch 72, wobei auf den Säulen eine Beschichtung angeordnet ist, die eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist.heat exchangers according to claim 72, wherein disposed on the columns a coating which has a suitable thermal conductivity of at least 10 W / m-K having. Wärmetauscher nach Anspruch 46, wobei die Grenzschicht eine rauhe bzw. aufgerauhte Oberfläche aufweist.heat exchangers according to claim 46, wherein the boundary layer is roughened surface having. Wärmetauscher nach Anspruch 46, wobei auf der Grenzschicht eine mikroporöse Struktur angeordnet ist.heat exchangers according to claim 46, wherein on the boundary layer a microporous structure is arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 78, wobei die poröse Mikrostruktur eine Porosität von 50 bis 80 % aufweist.heat exchangers according to claim 78, wherein the porous Microstructure a porosity from 50 to 80%. Wärmetauscher nach Anspruch 78, wobei die poröse Mikrostruktur eine durchschnittliche Porengröße von 10 bis 200 μm aufweist.heat exchangers according to claim 78, wherein the porous Microstructure has an average pore size of 10 to 200 microns. Wärmetauscher nach Anspruch 78, wobei die poröse Mikrostruktur eine Höhe von 0,25 bis 2,00 mm aufweist.heat exchangers according to claim 78, wherein the porous Microstructure a height from 0.25 to 2.00 mm. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem eine Anzahl von Mikrokanälen vorhanden ist, die in einem vorgegebenen Muster entlang der Grenzschicht angeordnet sind.heat exchangers according to claim 46, wherein there are a number of microchannels which is arranged in a predetermined pattern along the boundary layer are. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei wenigstens einer der Mikrokanäle eine Flächendimension im Bereich von 102 bis 1002 μm aufweist.Heat exchanger according to claim 82, wherein at least one of the microchannels has a surface dimension in the range of 10 2 to 100 2 microns. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei wenigstens einer der Mikrokanäle eine Höhe im Bereich von 50 μm und 2 mm aufweist.heat exchangers according to claim 82, wherein at least one of the microchannels a Height in Range of 50 microns and 2 mm. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei wenigstens zwei der Mikrokanäle in einem Abstand von 10 bis 150 μm zueinander stehen.heat exchangers according to claim 82, wherein at least two of the microchannels in one Distance from 10 to 150 μm to stand by each other. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei wenigstens einer der Mikrokanäle eine Breite von 10 bis 100 μm aufweist.heat exchangers according to claim 82, wherein at least one of the microchannels a Width from 10 to 100 μm having. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei die Mikrokanäle an die Grenzschicht gekoppelt sind.heat exchangers according to claim 82, wherein the microchannels are coupled to the boundary layer are. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei die Mikrokanäle integral mit der Grenzschicht ausgebildet sind.heat exchangers according to claim 82, wherein the microchannels are integral with the boundary layer are formed. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei die Mikrokanäle entlang einer Dimension der Grenzschicht in Segmente unterteilt sind, zwischen denen jeweils wenigstens eine Nut angeordnet ist.heat exchangers according to claim 82, wherein the microchannels are along one dimension the boundary layer are divided into segments, between each one at least one groove is arranged. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei die Mikrokanäle entlang einer Dimension der Grenzschicht kontinuierlich verlaufen.heat exchangers according to claim 82, wherein the microchannels are along one dimension the boundary layer run continuously. Wärmetauscher nach Anspruch 89, wobei wenigstens eine Nut zu einem korrespondierenden Finger ausgerichtet ist.heat exchangers according to claim 89, wherein at least one groove to a corresponding finger is aligned. Wärmetauscher nach Anspruch 82, wobei auf den Mikrokanälen eine Beschichtung ausgebildet ist, welche eine geeignete thermische Leitfähigkeit von wenigstens 10 W/m-K aufweist.heat exchangers according to claim 82, wherein formed on the microchannels a coating which has a suitable thermal conductivity of at least 10 W / m-K having. Wärmetauscher nach Anspruch 46, bei dem eine Überhangdimension 0 bis 15 mm beträgt.heat exchangers according to claim 46, wherein an overhang dimension 0 to 15 mm.
DE102005031102A 2004-06-29 2005-06-28 Control method for controlling temperature of heat source, e.g. microprocessor, involves channeling two temperature fluids to and from heat exchange surface, respectively, wherein fluid is channeled to minimize temperature differences along Withdrawn DE102005031102A1 (en)

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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6840155B2 (en) * 2000-10-18 2005-01-11 Federal-Mogul World Wide, Inc. Multi-axially forged piston
US7204298B2 (en) * 2004-11-24 2007-04-17 Lucent Technologies Inc. Techniques for microchannel cooling
US7331378B2 (en) 2006-01-17 2008-02-19 Delphi Technologies, Inc. Microchannel heat sink
US7870893B2 (en) * 2006-04-06 2011-01-18 Oracle America, Inc. Multichannel cooling system with magnetohydrodynamic pump
US7672129B1 (en) * 2006-09-19 2010-03-02 Sun Microsystems, Inc. Intelligent microchannel cooling
US9453691B2 (en) 2007-08-09 2016-09-27 Coolit Systems, Inc. Fluid heat exchange systems
US8746330B2 (en) 2007-08-09 2014-06-10 Coolit Systems Inc. Fluid heat exchanger configured to provide a split flow
US9157687B2 (en) * 2007-12-28 2015-10-13 Qcip Holdings, Llc Heat pipes incorporating microchannel heat exchangers
JP5002522B2 (en) * 2008-04-24 2012-08-15 株式会社日立製作所 Cooling device for electronic equipment and electronic equipment provided with the same
US8474516B2 (en) * 2008-08-08 2013-07-02 Mikros Manufacturing, Inc. Heat exchanger having winding micro-channels
US20100326627A1 (en) * 2009-06-30 2010-12-30 Schon Steven G Microelectronics cooling system
JP5476585B2 (en) * 2010-01-15 2014-04-23 株式会社豊田中央研究所 Cooler
US20110186267A1 (en) * 2010-02-01 2011-08-04 Suna Display Co. Heat transfer device with anisotropic thermal conducting micro structures
US11073340B2 (en) * 2010-10-25 2021-07-27 Rochester Institute Of Technology Passive two phase heat transfer systems
US10365667B2 (en) 2011-08-11 2019-07-30 Coolit Systems, Inc. Flow-path controllers and related systems
WO2014141162A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Coolit Systems, Inc. Sensors, multiplexed communication techniques, and related systems
CN103946043B (en) * 2011-11-16 2016-06-01 丰田自动车株式会社 The chiller of electrical equipment
US9279626B2 (en) * 2012-01-23 2016-03-08 Honeywell International Inc. Plate-fin heat exchanger with a porous blocker bar
US8987892B2 (en) 2013-05-10 2015-03-24 Raytheon Company Method for creating a selective solder seal interface for an integrated circuit cooling system
JP6131730B2 (en) * 2013-06-17 2017-05-24 富士通株式会社 Semiconductor device and cooling method thereof
JP6439326B2 (en) 2014-08-29 2018-12-19 株式会社Ihi Reactor
US10415597B2 (en) 2014-10-27 2019-09-17 Coolit Systems, Inc. Fluid heat exchange systems
US11480398B2 (en) * 2015-05-22 2022-10-25 The Johns Hopkins University Combining complex flow manifold with three dimensional woven lattices as a thermal management unit
US10615100B2 (en) * 2016-12-08 2020-04-07 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Electronics assemblies and cooling structures having metalized exterior surface
US11452243B2 (en) 2017-10-12 2022-09-20 Coolit Systems, Inc. Cooling system, controllers and methods
US10431524B1 (en) * 2018-04-23 2019-10-01 Asia Vital Components Co., Ltd. Water cooling module
US11121061B2 (en) * 2018-11-20 2021-09-14 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Cooling chip structures having a jet impingement system and assembly having the same
US11662037B2 (en) 2019-01-18 2023-05-30 Coolit Systems, Inc. Fluid flow control valve for fluid flow systems, and methods
US11473860B2 (en) 2019-04-25 2022-10-18 Coolit Systems, Inc. Cooling module with leak detector and related systems
US11395443B2 (en) 2020-05-11 2022-07-19 Coolit Systems, Inc. Liquid pumping units, and related systems and methods
US11725886B2 (en) 2021-05-20 2023-08-15 Coolit Systems, Inc. Modular fluid heat exchange systems

Family Cites Families (101)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3654988A (en) * 1970-02-24 1972-04-11 American Standard Inc Freeze protection for outdoor cooler
US3800510A (en) * 1972-05-09 1974-04-02 Celanese Corp Separating assembly
FR2216537B1 (en) * 1973-02-06 1975-03-07 Gaz De France
US4312012A (en) * 1977-11-25 1982-01-19 International Business Machines Corp. Nucleate boiling surface for increasing the heat transfer from a silicon device to a liquid coolant
US4194559A (en) * 1978-11-01 1980-03-25 Thermacore, Inc. Freeze accommodating heat pipe
US4248295A (en) * 1980-01-17 1981-02-03 Thermacore, Inc. Freezable heat pipe
US4573067A (en) * 1981-03-02 1986-02-25 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Method and means for improved heat removal in compact semiconductor integrated circuits
US4450472A (en) * 1981-03-02 1984-05-22 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Method and means for improved heat removal in compact semiconductor integrated circuits and similar devices utilizing coolant chambers and microscopic channels
US4494171A (en) * 1982-08-24 1985-01-15 Sundstrand Corporation Impingement cooling apparatus for heat liberating device
US4516632A (en) * 1982-08-31 1985-05-14 The United States Of America As Represented By The United States Deparment Of Energy Microchannel crossflow fluid heat exchanger and method for its fabrication
US4567505A (en) * 1983-10-27 1986-01-28 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Heat sink and method of attaching heat sink to a semiconductor integrated circuit and the like
US4664181A (en) * 1984-03-05 1987-05-12 Thermo Electron Corporation Protection of heat pipes from freeze damage
US4903761A (en) * 1987-06-03 1990-02-27 Lockheed Missiles & Space Company, Inc. Wick assembly for self-regulated fluid management in a pumped two-phase heat transfer system
US5016138A (en) * 1987-10-27 1991-05-14 Woodman John K Three dimensional integrated circuit package
US4894709A (en) * 1988-03-09 1990-01-16 Massachusetts Institute Of Technology Forced-convection, liquid-cooled, microchannel heat sinks
US4896719A (en) * 1988-05-11 1990-01-30 Mcdonnell Douglas Corporation Isothermal panel and plenum
US4908112A (en) * 1988-06-16 1990-03-13 E. I. Du Pont De Nemours & Co. Silicon semiconductor wafer for analyzing micronic biological samples
US5009760A (en) * 1989-07-28 1991-04-23 Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University System for measuring electrokinetic properties and for characterizing electrokinetic separations by monitoring current in electrophoresis
US5083194A (en) * 1990-01-16 1992-01-21 Cray Research, Inc. Air jet impingement on miniature pin-fin heat sinks for cooling electronic components
US5179500A (en) * 1990-02-27 1993-01-12 Grumman Aerospace Corporation Vapor chamber cooled electronic circuit card
US6176962B1 (en) * 1990-02-28 2001-01-23 Aclara Biosciences, Inc. Methods for fabricating enclosed microchannel structures
US5858188A (en) * 1990-02-28 1999-01-12 Aclara Biosciences, Inc. Acrylic microchannels and their use in electrophoretic applications
US6054034A (en) * 1990-02-28 2000-04-25 Aclara Biosciences, Inc. Acrylic microchannels and their use in electrophoretic applications
US5016090A (en) * 1990-03-21 1991-05-14 International Business Machines Corporation Cross-hatch flow distribution and applications thereof
US5096388A (en) * 1990-03-22 1992-03-17 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Microfabricated pump
JPH07114250B2 (en) * 1990-04-27 1995-12-06 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション Heat transfer system
US5265670A (en) * 1990-04-27 1993-11-30 International Business Machines Corporation Convection transfer system
US5088005A (en) * 1990-05-08 1992-02-11 Sundstrand Corporation Cold plate for cooling electronics
US5203401A (en) * 1990-06-29 1993-04-20 Digital Equipment Corporation Wet micro-channel wafer chuck and cooling method
US5285347A (en) * 1990-07-02 1994-02-08 Digital Equipment Corporation Hybird cooling system for electronic components
US5099910A (en) * 1991-01-15 1992-03-31 Massachusetts Institute Of Technology Microchannel heat sink with alternating flow directions
US5099311A (en) * 1991-01-17 1992-03-24 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Microchannel heat sink assembly
JPH06342990A (en) * 1991-02-04 1994-12-13 Internatl Business Mach Corp <Ibm> Integrated cooling system
US5125451A (en) * 1991-04-02 1992-06-30 Microunity Systems Engineering, Inc. Heat exchanger for solid-state electronic devices
US5199487A (en) * 1991-05-31 1993-04-06 Hughes Aircraft Company Electroformed high efficiency heat exchanger and method for making
DE69305667T2 (en) * 1992-03-09 1997-05-28 Sumitomo Metal Ind Heat sink with good heat dissipating properties and manufacturing processes
US5230564A (en) * 1992-03-20 1993-07-27 Cray Research, Inc. Temperature monitoring system for air-cooled electric components
US5294834A (en) * 1992-06-01 1994-03-15 Sverdrup Technology, Inc. Low resistance contacts for shallow junction semiconductors
US5275237A (en) * 1992-06-12 1994-01-04 Micron Technology, Inc. Liquid filled hot plate for precise temperature control
US5308429A (en) * 1992-09-29 1994-05-03 Digital Equipment Corporation System for bonding a heatsink to a semiconductor chip package
US5316077A (en) * 1992-12-09 1994-05-31 Eaton Corporation Heat sink for electrical circuit components
US5380956A (en) * 1993-07-06 1995-01-10 Sun Microsystems, Inc. Multi-chip cooling module and method
US5727618A (en) * 1993-08-23 1998-03-17 Sdl Inc Modular microchannel heat exchanger
US5704416A (en) * 1993-09-10 1998-01-06 Aavid Laboratories, Inc. Two phase component cooler
US5383340A (en) * 1994-03-24 1995-01-24 Aavid Laboratories, Inc. Two-phase cooling system for laptop computers
US5539153A (en) * 1994-08-08 1996-07-23 Hewlett-Packard Company Method of bumping substrates by contained paste deposition
US5508234A (en) * 1994-10-31 1996-04-16 International Business Machines Corporation Microcavity structures, fabrication processes, and applications thereof
US5585069A (en) * 1994-11-10 1996-12-17 David Sarnoff Research Center, Inc. Partitioned microelectronic and fluidic device array for clinical diagnostics and chemical synthesis
US5876655A (en) * 1995-02-21 1999-03-02 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for eliminating flow wrinkles in compression molded panels
JP3029792B2 (en) * 1995-12-28 2000-04-04 日本サーボ株式会社 Multi-phase permanent magnet type rotating electric machine
JP3090954B2 (en) * 1996-01-04 2000-09-25 ダイムラークライスラー アクチエンゲゼルシャフト Cooling member with pins
US6010316A (en) * 1996-01-16 2000-01-04 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Acoustic micropump
US5731954A (en) * 1996-08-22 1998-03-24 Cheon; Kioan Cooling system for computer
US5870823A (en) * 1996-11-27 1999-02-16 International Business Machines Corporation Method of forming a multilayer electronic packaging substrate with integral cooling channels
US5880524A (en) * 1997-05-05 1999-03-09 Intel Corporation Heat pipe lid for electronic packages
US5869004A (en) * 1997-06-09 1999-02-09 Caliper Technologies Corp. Methods and apparatus for in situ concentration and/or dilution of materials in microfluidic systems
US6019882A (en) * 1997-06-25 2000-02-01 Sandia Corporation Electrokinetic high pressure hydraulic system
US6013164A (en) * 1997-06-25 2000-01-11 Sandia Corporation Electokinetic high pressure hydraulic system
US6001231A (en) * 1997-07-15 1999-12-14 Caliper Technologies Corp. Methods and systems for monitoring and controlling fluid flow rates in microfluidic systems
US6034872A (en) * 1997-07-16 2000-03-07 International Business Machines Corporation Cooling computer systems
US6907921B2 (en) * 1998-06-18 2005-06-21 3M Innovative Properties Company Microchanneled active fluid heat exchanger
US6012902A (en) * 1997-09-25 2000-01-11 Caliper Technologies Corp. Micropump
US5842787A (en) * 1997-10-09 1998-12-01 Caliper Technologies Corporation Microfluidic systems incorporating varied channel dimensions
US6174675B1 (en) * 1997-11-25 2001-01-16 Caliper Technologies Corp. Electrical current for controlling fluid parameters in microchannels
US6019165A (en) * 1998-05-18 2000-02-01 Batchelder; John Samuel Heat exchange apparatus
US6196307B1 (en) * 1998-06-17 2001-03-06 Intersil Americas Inc. High performance heat exchanger and method
US6553253B1 (en) * 1999-03-12 2003-04-22 Biophoretic Therapeutic Systems, Llc Method and system for electrokinetic delivery of a substance
US6675875B1 (en) * 1999-08-06 2004-01-13 The Ohio State University Multi-layered micro-channel heat sink, devices and systems incorporating same
JP3518434B2 (en) * 1999-08-11 2004-04-12 株式会社日立製作所 Multi-chip module cooling system
US6360814B1 (en) * 1999-08-31 2002-03-26 Denso Corporation Cooling device boiling and condensing refrigerant
US6216343B1 (en) * 1999-09-02 2001-04-17 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Method of making micro channel heat pipe having corrugated fin elements
US6210986B1 (en) * 1999-09-23 2001-04-03 Sandia Corporation Microfluidic channel fabrication method
JP2001110956A (en) * 1999-10-04 2001-04-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd Cooling equipment for electronic component
JP2001185306A (en) * 1999-12-28 2001-07-06 Jst Mfg Co Ltd Connector for module
US6337794B1 (en) * 2000-02-11 2002-01-08 International Business Machines Corporation Isothermal heat sink with tiered cooling channels
DE60140837D1 (en) * 2000-04-19 2010-02-04 Thermal Form & Function Inc Cooling plate with cooling fins with a vaporizing coolant
US6366462B1 (en) * 2000-07-18 2002-04-02 International Business Machines Corporation Electronic module with integral refrigerant evaporator assembly and control system therefore
US6537437B1 (en) * 2000-11-13 2003-03-25 Sandia Corporation Surface-micromachined microfluidic devices
US6367544B1 (en) * 2000-11-21 2002-04-09 Thermal Corp. Thermal jacket for reducing condensation and method for making same
US6336497B1 (en) * 2000-11-24 2002-01-08 Ching-Bin Lin Self-recirculated heat dissipating means for cooling central processing unit
CA2329408C (en) * 2000-12-21 2007-12-04 Long Manufacturing Ltd. Finned plate heat exchanger
US6519151B2 (en) * 2001-06-27 2003-02-11 International Business Machines Corporation Conic-sectioned plate and jet nozzle assembly for use in cooling an electronic module, and methods of fabrication thereof
US6536510B2 (en) * 2001-07-10 2003-03-25 Thermal Corp. Thermal bus for cabinets housing high power electronics equipment
US6533029B1 (en) * 2001-09-04 2003-03-18 Thermal Corp. Non-inverted meniscus loop heat pipe/capillary pumped loop evaporator
US6527835B1 (en) * 2001-12-21 2003-03-04 Sandia Corporation Chemical preconcentrator with integral thermal flow sensor
US6679315B2 (en) * 2002-01-14 2004-01-20 Marconi Communications, Inc. Small scale chip cooler assembly
AU2003217757A1 (en) * 2002-02-26 2003-09-09 Mikros Manufacturing, Inc. Capillary evaporator
US6988534B2 (en) * 2002-11-01 2006-01-24 Cooligy, Inc. Method and apparatus for flexible fluid delivery for cooling desired hot spots in a heat producing device
US20040008483A1 (en) * 2002-07-13 2004-01-15 Kioan Cheon Water cooling type cooling system for electronic device
US6714412B1 (en) * 2002-09-13 2004-03-30 International Business Machines Corporation Scalable coolant conditioning unit with integral plate heat exchanger/expansion tank and method of use
DE10242776B4 (en) * 2002-09-14 2013-05-23 Alstom Technology Ltd. Method for operating an emission control system
DE10246990A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-22 Atotech Deutschland Gmbh Microstructure cooler and its use
US6994151B2 (en) * 2002-10-22 2006-02-07 Cooligy, Inc. Vapor escape microchannel heat exchanger
US6986382B2 (en) * 2002-11-01 2006-01-17 Cooligy Inc. Interwoven manifolds for pressure drop reduction in microchannel heat exchangers
US7000684B2 (en) * 2002-11-01 2006-02-21 Cooligy, Inc. Method and apparatus for efficient vertical fluid delivery for cooling a heat producing device
DE10393618T5 (en) * 2002-11-01 2005-11-17 Cooligy, Inc., Mountain View Method and apparatus for achieving temperature uniformity and for cooling overheat points in a heat generating device
US20060060333A1 (en) * 2002-11-05 2006-03-23 Lalit Chordia Methods and apparatuses for electronics cooling
US6992891B2 (en) * 2003-04-02 2006-01-31 Intel Corporation Metal ball attachment of heat dissipation devices
US7508672B2 (en) * 2003-09-10 2009-03-24 Qnx Cooling Systems Inc. Cooling system
TWM248227U (en) * 2003-10-17 2004-10-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Liquid cooling apparatus
US7184269B2 (en) * 2004-12-09 2007-02-27 International Business Machines Company Cooling apparatus and method for an electronics module employing an integrated heat exchange assembly

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