DE102005030119A1

DE102005030119A1 - Vorrichtung mit einem justagetoleranten Rollenantrieb zum Transport von Objekten

Info

Publication number: DE102005030119A1
Application number: DE200510030119
Authority: DE
Inventors: Daniel Dr. Biro
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2005-06-28
Filing date: 2005-06-28
Publication date: 2007-01-04

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport von Objekten, die einen Rollenantrieb mit mehreren einzeln oder in Reihen hintereinander angeordneten Rotationskörpern mit Rotationsachsen aufweist, um die die Rotationskörper für den Transport angetrieben werden. Die Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Rotationskörper nicht rotationssymmetrisch um die Rotationsachsen ausgebildet sind und gemäß einer Alternative zumindest eine erste und eine zweite Gruppe von Rotationskörpern bilden, die so angeordnet sind, dass die Objekte in einer ersten Phase jeder Rotation der Rotationskörper nur auf Rotationskörpern der ersten Gruppe und in einer zweiten Phase jeder Rotation der Rotationskörper nur auf Rotationskörpern der zweiten Gruppe aufliegen. Die vorliegende Vorrichtung stellt geringe Anforderungen an die Justagegenauigkeit der Rotationskörper beim Transport von leichtem Transportgut.

Description

Technisches Anwendungsgebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport von Objekten, die einen Rollenantrieb mit mehreren einzeln oder in Reihen hintereinander angeordneten Rotationskörpern mit Rotationsachsen aufweist, um die die Rotationskörper für den Transport angetrieben werden.

Transportvorrichtungen sind für Gegenstände aller Art in vielen Bereichen der Technik bekannt. Gerade im Bereich der Halbleiterfertigung werden an ein Transportsystem für die zu prozessierenden Elemente jedoch besondere Anforderungen gestellt, da weder die Elemente selbst noch die einzelnen Prozessstationen durch das Transportsystem verunreinigt werden sollten. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet der vorliegenden Vorrichtung ist der Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Hochtemperaturzone eines Durchlaufofens. Selbstverständlich lässt sich die Vorrichtung jedoch auch für andere Anwendungen einsetzen, bei denen keine besonderen Temperaturbedingungen vorliegen. Die zu prozessierenden Elemente können hierbei bspw. scheibenförmig sein, z.B. Siliziumwafer, oder plattenförmig, z.B. Leiterplatten.

Zur Vermeidung von Verunreinigungen ist es bekannt, die einzelnen Prozessstationen, insbesondere die Hochtemperaturzonen oder Öfen, chargenweise zu betreiben. Ein derartiger Ofen im Bereich der Halbleitertechnologie besteht in der Regel aus einem hochtemperaturfesten Prozessrohr aus hochreinem Quarzglas oder Siliziumcarbid. Eine dieses Prozessrohr umschließende Heizung erwärmt den durch das Prozessrohr gebildeten Innenraum, den Prozessraum, auf Prozesstemperatur. Mehrere der zu prozessierenden Elemente werden vor dem Einbringen in den Ofen zunächst in Quarzglas- oder Silizimcarbid-Substratträgern angeordnet, die speziell nur für die Hochtemperaturzone verwendet werden. Anschließend wird der Träger mit den Elementen in das Prozessrohr eingefahren, um die Hochtemperaturprozessierung durchzuführen. Nach der Prozessierung wird der Träger mit den derart prozessierten Elementen wieder aus dem Ofen gefahren und die Elemente nach Abkühlung auf ca. Raumtemperatur in andere Transportträger umgeladen. Der Transport in und aus dem Ofen erfolgt mittels eines aus Siliziumcarbid oder Quarzglas bestehenden Paddels, das in den Träger eingreift.

Dieser Chargenbetrieb hat einerseits den Vorteil einer hohen Reinheit, da alle in den Ofen eingebrachten Träger und Antriebselemente aus hochreinen Materialien wie Quarzglas oder Siliziumcarbid bestehen. Auf der anderen Seite führt der Chargenbetrieb jedoch zu einem in einigen Fällen unerwünschten diskontinuierlichen Produktionsfluss.

Bei zahlreichen Prozessen, bei denen die Anforderungen an die Reinheit während der Prozessierung nicht ganz so hoch liegen, werden auch Transportsysteme für ein kontinuierliches Durchlaufverfahren durch den Prozessraum eingesetzt. Bei diesen Transportsystemen wird das Prozessgut mittels eines umlaufenden metallischen Kettenbandes durch die Prozesskammer befördert. Dieses Kettenband ist in den meisten Fällen aus Nickel-Chrom-Verbindungen gefertigt. Dies führt jedoch gerade bei der Halbleiterprozessierung dazu, dass aus dem Metallband Metallpartikel austreten und das Prozessgut verunreinigen. Weiterhin ist die thermische Masse des Kettenbandes im Vergleich zu der des Prozessgutes bspw. bei der Solarzellenherstellung enorm groß. Dies führt bei der Temperaturbehandlung zu ineffizienter Energieausbeute und unflexibler Prozessführung. Auch ein Beheizen des Prozessgutes von der Unterseite, das in manchen Fällen vorteilhaft ist, kann durch das Kettenband hindurch nicht erfolgen.

Aus einem Firmenprospekt von Koyo Thermo Systems ist eine keramische Kette für den Transport des Prozessgutes bekannt. Hierbei sind einzelne mit Löchern versehene Keramikplättchen mit Verbindungsstäben zu einer Laschenkette zusammengefügt. Diese Kette löst bei geeigneter Materialwahl das Kontaminationsproblem, ist allerdings noch mit einer sehr großen thermischen Masse behaftet und erlaubt ebenfalls kein direktes Beheizen des Transportgutes von unten, da sich durch die starke Abschattung der Kettenglieder auf dem Transportgut eine inhomogene, für den Prozess unvorteilhafte Temperaturverteilung ausbilden würde. Der Aufbau der Kette ist darüber hinaus recht komplex.

Aus der DE 100 59 777 A1 ist eine Vorrichtung zum Transport von Objekten bekannt, die die Transportproblematik mittels eines Hubbalkenantriebes löst.

Hierbei werden gespannte keramische Schnüre anstelle massiver Hubbalken verwendet. Diese Vorrichtung vermeidet die obigen Nachteile. Allerdings können die Schnüre unter starker Belastung durchhängen und unter Umständen auch reißen. Hierdurch ist diese Vorrichtung in der Ausführungslänge durch die auftretende Zugbelastung begrenzt und kann keine schweren Objekte transportieren.

Eine weiterhin bekannte Transportvorrichtung nutzt einen Rollenantrieb mit einer Rollenbahn für den Transport der Objekte. So wird bspw. von der Firma Tecnofines ein Ofen für Hochtemperaturanwendungen mit keramischen Rollen produziert. Aus anderen Technologiebereichen, bspw. der Glasindustrie, sind Rollenbahnen ebenfalls bekannt. Soll ein derartiger Rollenantrieb für den Transport leichter Objekte, bspw. leichter Substrate, eingesetzt werden, so müssen die Rollen genau gearbeitet und zueinander justiert sein. Rollen die nicht genau eingestellt oder verformt sind, können dazu führen, dass das Transportgut in seiner Bewegung behindert wird. Dies ist beispielhaft in der 1 dargestellt. Diese Figur zeigt die unterschiedlichen Rollen 2 eines Rollenantriebes bzw. einer Rollenbahn, auf denen ein leichtes Transportgut 1 gefördert wird. Die Bewegung des Transportgutes 1 in Transportrichtung wird durch die mit den Pfeilen angedeutete Rotationsbewegung der Rollen um ihre Rotationsachse bewirkt. In der 1 ist eine der Rollen 3 aufgrund mangelnder Justage ungünstig positioniert. Diese ungünstige Positionierung kann dazu führen, dass das Transportgut 1 an dieser Stelle hängen bleibt. Bei einem derartigen Rollenantrieb werden daher hohe Anforderungen an die Justage der horizontal angeordneten Rollen gestellt, damit das Transportgut zuverlässig transportiert wird. Durch Fehljustage können Rollenkonfigurationen entstehen, die den Transport behindern. Weiterhin kann es vorkommen, dass sich die Rollen während des Betriebes der Anlage verformen, wodurch ebenfalls der Transport gestört werden kann. Diese Problematik tritt besonders beim Transport von leichten Objekten, wie bspw. Siliziumscheiben, auf.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Vorrichtung zum Transport von Objekten mit einem Rollenantrieb anzugeben, bei der durch Fehljustage oder leicht verformte Rollen der Transport nicht behindert wird.

Darstellung der Erfindung

Die Aufgabe wird mit den Vorrichtungen gemäß Patentanspruch 1 und Patentanspruch 2 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Vorrichtungen sind Gegenstand der Unteransprüche oder lassen sich der nachfolgenden Beschreibung sowie den Ausführungsbeispielen entnehmen.

Die vorliegenden Vorrichtungen zum Transport von Objekten weisen einen Rollenantrieb mit mehreren in Transportrichtung einzeln oder in Reihen hintereinander angeordneten Rotationskörpern mit Rotationsachsen auf, um die die Rotationskörper für den Transport angetrieben werden. Die Vorrichtung zeichnet sich gemäß einer ersten Alternative dadurch aus, dass die Rotationskörper nicht rotationssymmetrisch um die Rotationsachsen ausgebildet sind und zumindest eine erste und eine zweite Gruppe von Rotationskörpern bilden, die so angeordnet sind, dass die Objekte in einer ersten Phase jeder vollständigen Rotation der Rotationskörper nur auf Rotationskörpern der ersten Gruppe und in einer zweiten Phase nur auf Rotationskörpern der zweiten Gruppe aufliegen.

Gemäß einer zweiten Alternative sind die Rotationskörper ebenfalls nicht rotationssymmetrisch um die Rotationsachsen ausgebildet. In dieser Alternative sind jedoch in Transportrichtung zwischen den Rotationskörpern oder zumindest zwischen einzelnen der Rotationskörper Auflagekörper angeordnet. Die Anordnung der Rotationskörper und der Auflagekörper ist derart, dass die Objekte in einer ersten Phase jeder Rotation der Rotationskörper nur auf den Rotationskörpern und in einer zweiten Phase nur auf den Auflagekörpern aufliegen. Anstelle der Rotationskörper der zweiten Gruppe sind also in dieser Alternative Auflagekörper vorgesehen, die vorzugsweise keine Bewegung ausführen, sondern lediglich eine Transportebene schaffen, auf der das Transportgut zwischenzeitlich abgelegt werden kann. Selbstverständlich könnten jedoch diese Auflagekörper auch rotationssymmetrisch als drehbare Auflagerollen ausgebildet sein.

Durch diese Ausgestaltung der Vorrichtung wird das Transportgut bei Fehljustierung oder bei leicht verbogenen Rotationskörpern nicht im Transport behindert, da es in der Vorrichtung gemäß der ersten Alternative jeweils durch die Rotationskörper der anderen Gruppe über die fehljustierten oder verbogenen Rotationskörper hinweg gehoben wird. Auch in der Vorrichtung der zweiten Alternative erfolgt aufgrund der Anordnung der Rotationskörper und Auflagekörper keine Behinderung, wie aus einem der Ausführungsbeispiele ersichtlich ist.

Die nicht rotationssymmetrische Ausbildung der Rotationskörper um die Rotationsachsen kann auf unterschiedliche Weise realisiert sein. So verlaufen in einer Ausgestaltung der vorliegenden Vorrichtungen die Rotationsachsen exzentrisch durch die Rotationskörper. Hierbei kann es sich auch um rotationssymmetrische Rollen handeln, deren Drehachse außerhalb des Zentrums liegt. In einer weiteren Ausgestaltung der Vorrichtungen kann die nicht rotationssymmetrische Ausgestaltung auch durch eine spezielle Formgebung der Rotationskörper erreicht werden. Die Rotationskörper weisen hierbei in einer Ebene senkrecht zu den Rotationsachsen eine größere Länge als Breite auf, wobei die Rotationsachsen in diesem Fall durch das Zentrum der Rotationskörper, d. h. den Mittelpunkt bzw. die Mittelachse der Stirnflächen der Rotationskörper verlaufen. In beiden Ausgestaltungen bewegt sich die Auflageebene für das Transportgut bei einer Rotation der Rotationskörper in vertikaler Richtung, d. h. senkrecht zur Transportrichtung, auf und ab.

Die einzelnen Rotationskörper der beiden Gruppen von Rotationskörpern bzw. die Rotationskörper und Auflagekörper sind vorzugsweise alternierend in Transportrichtung hintereinander angeordnet. Selbstverständlich ist es jedoch auch möglich, dass bspw. zwei Rotationskörper der ersten Gruppe sich mit zwei Rotationskörpern der zweiten Gruppe abwechseln. Entsprechendes gilt für einen Wechsel zwischen Rotationskörpern und Auflagekörpern.

Grundsätzlich sind bei der Vorrichtung der ersten Alternative die Rotationskörper der ersten und zweiten Gruppe so in der Vorrichtung angeordnet, dass die Objekte in einer ersten Phase jeder vollständigen Rotation der Rotationskörper nur auf Rotationskörpern der ersten Gruppe und in einer zweiten Phase jeder vollständigen Rotation der Rotationskörper nur auf Rotationskörpern der zweiten Gruppe aufliegen. Dies wird dadurch erreicht, dass die Rotationskörper der ersten Gruppe in anderer Orientierung relativ zur Rotationsachse angeordnet sind als die Rotationskörper der zweiten Gruppe, so dass sich die durch die beiden Gruppen gebildeten Auflageebenen beim Transport phasenverschoben auf und ab bewegen. In der Ausgestaltung der alternierenden Anordnung der Rotationskörper der unterschiedlichen Gruppen ist damit jede zweite Rolle hinsichtlich der Lage des Auflagepunktes gleich angeordnet. Bei einer simultanen Rotationsbewegung aller Rotationskörper ergibt sich eine phasenverschobene Bewegung der Auflagepunkte der unterschiedlichen Gruppen.

In der Vorrichtung der zweiten Alternative sind die Rotationskörper und die Auflagekörper so angeordnet, dass die Objekte in einer ersten Phase jeder Rotation der Rotationskörper nur auf den Rotationskörpern und in einer zweiten Phase nur auf den Auflagekörpern aufliegen. Dies wird dadurch erreicht, dass die durch die Auflagekörper gebildete Transport ebene zwischen den beiden Extremlagen liegt, zwischen denen sich während der Rotation die durch die Rotationskörper gebildete Transportebene auf und ab bewegt.

Dadurch werden zwei Transportebenen geschaffen, die im Wechsel das Transportgut übernehmen und so vermeiden, dass das Transportgut in seiner Bewegung durch verformte oder dejustierte Rollen behindert wird. Durch die zusätzliche vertikale Bewegung der Transportebenen wird das Transportgut über Schwellen auf einer Transportebene gehoben bzw. diese Schwellen tauchen unter der anderen Transportebene ab, so dass das Transportgut sicher weitertransportiert werden kann. Die Anforderungen an die Justage der Rotationskörper sind bei dieser Vorrichtung daher gering.

Grundsätzlich kann es sich bei den Rotationskörpern um lang gestreckte Rotationskörper handeln, deren Erstreckung in Richtung der Rotationsachsen die Breite des Transportgutes übersteigt. Weiterhin ist es selbstverständlich auch möglich, mehrere Rollen in Richtung der Rotationsachse nebeneinander anzuordnen, um auf diese Weise eine ausreichende Breite des Transportbandes zu erreichen. Neben der bevorzugten Ausgestaltung mit zwei Gruppen von Rotationskörpern ist es auch möglich, ein oder mehrere weitere Gruppen von Rotationskörpern vorzusehen, die sich jeweils mit den anderen Gruppen abwechseln und weitere Transportebenen schaffen. Die Rotationskörper der einzelnen Gruppen können hierbei identisch ausgebildet sein oder auch unterschiedliche Formen aufweisen, so lange die Funktion der Bereitstellung von sich phasenverschoben in vertikaler Richtung auf und ab bewegenden Transportebenen gewährleistet ist.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Die vorliegende Vorrichtung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen ohne Beschränkung des durch die Patentansprüche vorgegebenen Schutzbereiches nochmals kurz erläutert. Hierbei zeigen:
1 ein Beispiel für einen Rollenantrieb gemäß dem Stand der Technik;
2 ein erstes Beispiel für einen Rollenantrieb gemäß der vorliegenden Erfindung, bei dem die unterschiedlichen Phasen der Transportbewegung dargestellt sind;
3 ein zweites Beispiel für einen Rollenantrieb gemäß der vorliegenden Erfindung;
4 ein drittes Beispiel für einen Rollenantrieb gemäß der vorliegenden Erfindung;
5 ein viertes Beispiel für einen Rollenantrieb gemäß der vorliegenden Erfindung; und
6 ein fünftes Beispiel für einen Rollenantrieb gemäß der vorliegenden Erfindung.
Wege zur Ausführung der Erfindung
Der in 1 schematisch dargestellte Rollenantrieb gemäß dem Stand der Technik wurde bereits in der Beschreibungseinleitung näher erläutert. Bei diesem Rollenantrieb können Probleme beim Transport leichter Objekte auftreten, wenn einzelne Transportrollen 3 nicht korrekt justiert sind.
Mit dem vorliegenden Rollenantrieb wird ein derartiges Problem vermieden, wie im Beispiel der 2 gezeigt ist. Diese Figur zeigt einen Rollenantrieb mit nicht rotationssymmetrisch um die Rotationsachse 5 angeordneten Rotationskörpern, im Folgenden unabhängig von ihrer äußeren Form auch als Rollen bezeichnet. Die Antriebeinheit für die Rollen ist in dieser wie auch in den nachfolgenden Figuren nicht dargestellt. Diese Rotationskörper 2, 4 sind in diesem Beispiel ausgehend von einer kreisförmigen Querschnittsform seitlich abgeflacht. Sie bilden eine erste und eine zweite Gruppe von Rotationskörpern, die alternierend in Transportrichtung hintereinander angeordnet sind. Die Rotationskörper 2 der ersten Gruppe sind ebenso wie die Rotationskörper 4 der zweiten Gruppe untereinander identisch ausgerichtet. Die Rotationsachse 5 befindet sich jeweils im Mittelpunkt der Stirnflächen der Rotationskörper. Die Rotationskörper 2, 4 der beiden Gruppen sind jeweils so angeordnet, dass sich die Rotationskörper 2 und 4 während des Transportes des Transportgutes um 90° phasenverschoben bewegen, wie dies aus den vier Abbildungen der 2 ersichtlich ist. Während das Transportgut 1 auf den Rotationskörpern 2 der ersten Gruppe aufliegt, besteht keinerlei Kontakt zu den Rotationskörpern 4 der zweiten Gruppe. Drehen sich die Rotationskörper weiter, so wird das Transportgut schließlich von den Rotationskörpern 4 der zweiten Gruppe übernommen, während die Rotationskörper 2 der ersten Gruppe den Kontakt zum Transportgut verlieren.
In 2 ist weiterhin beispielhaft ein dejustierter Rotationskörper 3 angedeutet, der bei einer üblichen Ausgestaltung eines Rollenantriebes zu einer Behinderung des Transports führen könnte. Wie aus den unterschiedlichen Phasen des vorliegenden Antriebes ersichtlich ist, tritt dieses Problem bei der vorliegenden Vorrichtung nicht auf, da sich dieser Rotationskörper 3 unter dem Transportgut senkt bzw. das Transportgut 1 von den Rotationskörpern 4 der zweiten Gruppe über diesen fehljustierten Rotationskörper 3 gehoben wird.
Die 3–5 zeigen weitere beispielhafte Ausgestaltungen der vorliegenden Rotationskörper, die die gleiche Funktion erfüllen. Bei dem Beispiel der 3 befindet sich die Rotationsachse 5 der Rotationskörper 2, 4 bzw. Rollen nicht im Mittelpunkt der Rollenstirnfläche. Der Rollenquerschnitt ist hier kreisförmig dargestellt, kann aber selbstverständlich auch eine andere Form haben, wenn dadurch die zwei sich in vertikaler Richtung phasenverschoben hin und her bewegenden Transportebenen geschaffen werden. Hier ist die Rollenbauweise für alle Rollen gleich. Wesentlich ist jedoch nicht die Rollenbauweise selbst, sondern die phasenverschobene Bewegung der Rollengruppen.
4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine justagetolerante Rollenkonfiguration. Der Rollenquerschnitt ist hier linsenförmig, wobei sich die Rotationsachse 5 der Rotationskörper 2, 4 bzw. Rollen im Mittelpunkt der Rollenstirnfläche befindet. Auch durch diese Ausgestaltung wird die phasenverschobene Bewegung der Rollengruppen erreicht. Das Gleiche gilt für das Ausführungsbeispiel der 5, bei dem der Rollenquerschnitt im Wesentlichen rechteckig ist.
6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine justagetolerante Rollenkonfiguration. Der Rollenquerschnitt ist auch hier linsenförmig, wobei sich die Rotationsachse 5 der Rotationskörper 2 bzw. Rollen im Mittelpunkt der Rollenstirnfläche befindet. In diesem Beispiel wird nur eine Gruppe von Rotationskörpern 2 eingesetzt, zwischen denen starre Auflagekörper 6 angeordnet sind. Die Auflagekörper 6 bilden eine unbewegte Transportebene, auf der das Transportgut 1 in einer Phase der Rotation der Rotationskörper 2 abgesetzt wird. Die 6a und 6b zeigen hierbei jeweils vier Phasen der Rotationsbewegung. Während das Transportgut 1 auf den Rotationskörpern 2 aufliegt, besteht keinerlei Kontakt zu den Auflagekörpern 6. Drehen sich die Rotationskörper 2 weiter, so wird das Transportgut schließlich von den Auflagekörpern 6 aufgenommen, während die Rotationskörper 2 den Kontakt zum Transportgut 1 verlieren. Auf diese Weise wird auch durch einen fehljustierten Rotationskörper 3 der Transport nicht behindert, wie aus den vier Phasen der 6b ersichtlich ist.

1: Transportgut
2: Rotationskörper der ersten Gruppe
3: fehljustierter Rotationskörper
4: Rotationskörper der zweiten Gruppe
5: Rotationsachse
6: Auflagekörper

Claims

Vorrichtung zum Transport von Objekten, die einen Rollenantrieb mit mehreren einzeln oder in Reihen hintereinander angeordneten Rotationskörpern (2, 4) mit Rotationsachsen (5) aufweist, um die die Rotationskörper (2, 4) für den Transport angetrieben werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationskörper (2, 4) nicht rotationssymmetrisch um die Rotationsachsen (5) ausgebildet sind und zumindest eine erste und eine zweite Gruppe bilden, deren Rotationskörper (2, 4) so angeordnet sind, dass die Objekte in einer ersten Phase jeder Rotation der Rotationskörper (2, 4) nur auf Rotationskörpern (2) der ersten Gruppe und in einer zweiten Phase nur auf Rotationskörpern (4) der zweiten Gruppe aufliegen.
Vorrichtung zum Transport von Objekten, die einen Rollenantrieb mit mehreren einzeln oder in Reihen hintereinander angeordneten Rotationskörpern (2) mit Rotationsachsen (5) aufweist, um die die Rotationskörper (2) für den Transport angetrieben werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationskörper (2) nicht rotationssymmetrisch um die Rotationsachsen (5) ausgebildet und in Transportrichtung zwischen den Rotationskörpern (2) oder zumindest zwischen einzelnen der Rotationskörper (2) Auflagekörper (6) angeordnet sind, wobei die Rotationskörper (2) und die Auflagekörper (6) so angeordnet sind, dass die Objekte in einer ersten Phase jeder Rotation der Rotationskörper (2) nur auf den Rotationskörpern (2) und in einer zweiten Phase nur auf den Auflagekörpern (6) aufliegen.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationskörper (2, 4) der ersten und zweiten Gruppe in Transportrichtung abwechselnd hintereinander angeordnet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationskörper (2) und die Auflagekörper (6) in Transportrichtung abwechselnd hintereinander angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationsachsen (5) exzentrisch durch die Rotationskörper (2, 4) verlaufen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationskörper (2, 4) in einer Ebene senkrecht zu den Rotationsachsen (5) eine größere Länge als Breite aufweisen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotationskörper (2, 4) und Auflagekörper (6) aus einem Material hoher thermischer Beständigkeit, insbesondere einem keramischen Material, bestehen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 zum Transport von zu prozessierenden Halbleiterelementen durch eine Prozesszone.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 zum Transport von zu prozessierenden Elementen durch eine Temperaturzone eines Durchlaufofens.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 zum Transport von Gläsern.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7 zum Transport von Leiterplatten.